CN102662311A - 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统 - Google Patents

一种化学品输送装置、显影设备和显影系统 Download PDF

Info

Publication number
CN102662311A
CN102662311A CN2012101096873A CN201210109687A CN102662311A CN 102662311 A CN102662311 A CN 102662311A CN 2012101096873 A CN2012101096873 A CN 2012101096873A CN 201210109687 A CN201210109687 A CN 201210109687A CN 102662311 A CN102662311 A CN 102662311A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fluid reservoir
chemicals
developing
chemical delivery
delivery device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012101096873A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102662311B (zh
Inventor
汪栋
魏崇喜
万冀豫
吴洪江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Beijing BOE Display Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201210109687.3A priority Critical patent/CN102662311B/zh
Publication of CN102662311A publication Critical patent/CN102662311A/zh
Priority to PCT/CN2012/086392 priority patent/WO2013152600A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102662311B publication Critical patent/CN102662311B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06—Details or accessories
    • B67D7/78—Arrangements of storage tanks, reservoirs or pipe-lines

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

本发明提供一种化学品输送装置、显影设备和显影系统，化学品输送装置包括储液罐组，储液罐组中的储液罐通过配管与目标工艺槽连接，其中，储液罐组中的一个储液罐为用于手动配比化学品的手动配比储液罐，手动配比储液罐分别通过设置有水泵的配管与其它储液罐连接，用以向所述其它储液罐输送化学品。本发明提供的化学品输送装置，可以避免由于中央化学品供应系统中断化学品供应导致产品发生缺陷，有利于提高产品良率，同时降低产品成本。

Description

一种化学品输送装置、显影设备和显影系统
技术领域
本发明涉及化学品输送的技术领域，具体地，涉及一种化学品输送装置、显影设备和显影系统。
背景技术
在集成电路、液晶显示器等制作过程中，利用显影工艺对曝光后的光刻胶进行显影以在基板上获得电路图图形，显影工艺的质量直接影响到集成电路、液晶显示器等的质量。
在现有技术中，利用中央化学品供应系统向显影设备中输送显影液，显影设备利用显影液对基板上的光刻胶进行显影。图1为现有技术中显影设备的结构示意图。如图1所示，现有技术中的显影设备包括化学品输送装置和显影槽等，其中，化学品供应装置包括储液罐组、配管和水泵102，储液罐组中的各个储液罐101与外部的中央化学品供应系统20连接，储液罐组中的各个储液罐101将从中央化学品供应系统20接受一定浓度的显影液等化学品，然后再将显影液等化学品通过水泵分别输送到各个显影槽，显影槽中放置有完成光刻工艺的基板，显影液对经过光刻工艺的基板上的光刻胶进行显影，以得到电路图的图形。
利用现有设备进行显影工艺的过程中，在中央化学品控制系统由于停电或其它故障等原因中断向各个储液罐101输送化学品时，导致正在进行的显影工艺突然中断，由于无法连续向显影槽供应化学品，造成正在进行显影工艺的产品的严重缺陷，导致成本增大。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种化学品输送装置、显影设备和显影系统，用于解决现有技术中在中央化学品控制系统中断输送化学品的情况下，由于无法连续供应化学品造成正在进行显影工艺的产品的缺陷，导致成本增大。
为此，本发明提供一种化学品输送装置，包括储液罐组，所述储液罐组中的储液罐通过配管与目标工艺槽连接，其中，所述储液罐组中的一个储液罐为用于手动配比化学品的手动配比储液罐，所述手动配比储液罐分别通过设置有水泵的配管与其它储液罐连接，用以向所述其它储液罐输送化学品。
其中，所述储液罐组中的各储液罐上还设置有用于接收外部设备输入的化学品的连接管。
其中，所述储液罐组中的部分储液罐还用于回收从所述目标工艺槽排出的化学品；所述部分储液罐上安装有检测所述化学品电导率的电导率仪。
其中，所述储液罐组中的各储液罐上分别安装有检测所述化学品电导率的电导率仪。
其中，所述各储液罐与所述电导率仪之间设置有水泵，所述水泵用于将所述储液罐中的化学品输送到所述电导率仪。
本发明还提供一种显影设备，包括化学品输送装置和显影槽，其中，所述化学品输送装置采用上述的任意一种所述的结构；
所述化学品输送装置中的储液罐组中的各储液罐通过设置有水泵的配管与所述显影槽连接。
其中，在所述储液罐与所述显影槽之间的配管上还设置有过滤器，所述过滤器用于过滤化学品中的微粒。
其中，所述过滤器的数量至少为2个。
其中，所述储液罐组中的部分储液罐用于回收从所述显影槽排出的显影液。
本发明还提供一种显影系统，其中，包括中央化学品供应系统和上述的任意一种所述的显影设备。
本发明具有下述有益效果：
本发明提供的化学品输送装置，在中央化学品供应系统发生故障或其它原因而中断向化学品输送装置供应化学品时，可以在化学品输送装置的手动配比储液罐中配成预设浓度的化学品，通过水泵将手动配比储液罐中的化学品输送到其它储液罐中，以使储液罐组中的各个储液罐都能连续向目标工艺槽中输出化学品，避免由于中断化学品供应导致产品发生缺陷，有利于提高产品良率，同时降低产品成本。
附图说明
图1为现有技术中显影设备的结构示意图；
图2为本发明化学品输送装置第一实施例的结构示意图；
图3为本发明化学品输送装置第二实施例的结构示意图；
图4为本发明提供的显影设备实施例的结构示意图；
图5为本发明显影系统实施例的结构示意图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的化学品输送装置、显影设备和显影系统进行详细描述。
本发明提供的化学品输送装置各实施例中，化学品输送装置中的储液罐组包括至少2个储液罐，其中一个储液罐为用于手动配比化学品的手动配比储液罐，手动配比储液罐通过配管与其它的储液罐相连接，在手动配比储液罐与其它储液罐相连接的配管上设置有水泵102，水泵102可以为手动配比储液罐向其它储液罐输送化学品提供动力。当中央化学品供应系统正常地向化学品输送装置供应化学品时，手动配比储液罐与其它储液罐的用途一致，都可以向对应的目标工艺槽供应化学品。
图2为本发明化学品输送装置第一实施例的结构示意图。如图2所示，本实施例化学品输送装置中的储液罐组包括3个储液罐101，分别为1#储液罐、2#储液罐和3#储液罐，2#储液罐作为手动配比储液罐用于配比预设浓度的化学品；2#储液罐通过设置有水泵102的配管分别与1#储液罐和3#储液罐连接，设置在配管上的水泵102将储存在2#储液罐的化学品分别输送到1#储液罐和3#储液罐，然后1#储液罐和3#储液罐再将预设浓度的化学品输送到显影槽中。将位于1#储液罐和3#储液罐之间的2#储液罐作为手动配比储液罐，以减少配管的使用量，节省成本。
在实际应用中，储液罐组中的各个储液罐上还设置有用于接收外部设备输入的化学品的连接管，外部设备可以为中央化学品供应系统(Center Chemical Supply System，CCSS)。
本实施例提供的化学品输送装置，在中央化学品供应系统发生故障或其它原因而中断向化学品输送装置供应化学品时，可以在化学品输送装置的手动配比储液罐中配成预设浓度的化学品，通过水泵将手动配比储液罐中的化学品输送到其它储液罐中，以使储液罐组中的各个储液罐都能连续向目标工艺槽中输出化学品，避免由于中断化学品供应导致产品发生缺陷，有利于提高产品良率，同时降低产品成本。
图3为本发明化学品输送装置第二实施例的结构示意图。如图3所示，在图2所示的化学品输送装置的基础上，本实施例化学品输送装置中的各个储液罐101上还连接有电导率仪103，电导率仪103用于检测各个储液罐中化学品的电导率，通过化学品的电导率得到化学品的浓度；通常将电导率仪103设置在储液罐101的外部，以方便观察；同时，为了实时检测化学品的电导率，在储液罐101上设置一个化学品自循环结构，化学品自循环结构包括配管、电导率仪103和水泵102，化学品自循环结构中配管的两端均与储液罐101连通，通过水泵102抽取储液罐中的化学品输送到电导率仪103以实时检测化学品的电导率，经过电导率仪103检测后的化学品将重新返回到储液罐101中；在实现对化学品电导率实时检测的同时，将检测后的化学品重新输送到储液罐101中，避免了化学品的浪费，降低了成本。
在图3所示的结构中，1#储液罐和2#储液罐同时具备向显影槽中供应显影液、以及回收显影槽中排出的显影液两种功能，也就是说1#储液罐和2#储液罐中的显影液一直处于循环状态，显影液浓度会实时变化，因此需要对其中的显影液浓度进行实时监测；故而，在本实施例中，需要在1#储液罐和2#储液罐上设置电导率仪103来测定其中显影液的电导率，并进一步得到显影液的浓度数据。
而对于另外的3#储液罐，由于3#储液罐是单向地向显影槽供应显影液，因此其中的显影液浓度变化不大。如果从成本上考虑，在3#储液罐上可以不用设置电导率仪103；而从系统控制精度上考虑的话，则优选在每个储液罐上均设置电导率仪103。
图4为本发明提供的显影设备实施例的结构示意图。如图4所示，本实施例显影设备包括化学品输送装置和显影槽，其中，化学品输送装置采用图2或图3所示的结构，本实施例以图3所示的结构来介绍技术方案，选择2#储液罐作为手动配比储液罐，目标工艺槽为显影槽。在本实施例中，将外部的中央化学品供应系统与化学品输送装置中的各个储液罐101连接，每个储液罐101通过配管连接至少一个显影槽104，其中，1#储液罐和2#储液罐均与1～4#显影槽连接，3#储液罐连接到5#显影槽。
由于待显影产品对显影液的浓度要求并不相同，对显影液浓度的精度要求高的待显影产品可以放置在5#显影槽中，对显影液浓度的精度要求相对不高的待显影产品放置在1-4#显影槽中；为了节省显影液，还可以将完成显影工艺后从1-5#显影槽排出的部分显影液回收到1#储液罐中，以充分利用显影液。连接到各个显影槽104的配管上设置有水泵102，以从各个储液罐101中抽取显影液而到达对应的显影槽104；同时，为防止沙子等细小颗粒进入显影槽104，还可以在储液罐101和显影槽104之间的配管上设置一个或多个过滤器105，避免细小颗粒从储液罐101中进入显影槽104而导致待显影产品被污染或损伤，从而提高产品的良率。
在中央化学品供应系统正常向化学品输送装置输送显影液的情况下，1#储液罐向1-4#显影槽供应显影液，3#储液罐向5#显影槽供应显影液，此时，作为手动配比储液罐的2#储液罐为备用灌，2#储液罐也可以向1-4#显影槽供应显影液；当中央化学品供应系统断电或发生故障等原因而中断向显影设备输送显影液时，在作为手动配比储液罐的2#储液罐中迅速配比出预设浓度的显影液，通过2#储液罐上化学品自循环结构中的水泵102抽取正在配比的显影液到达电导率仪103，电导率仪103实时检测正在配比的显影液的电导率以得到其浓度，当显影液的浓度到达预设浓度范围时，2#储液罐与1#储液罐、3#储液罐之间配管上的水泵102将符合浓度要求的显影液从2#储液罐输送到1#储液罐和3#储液罐，然后1#储液罐向1-4#显影槽供应显影液，3#储液罐向5#显影槽供应显影液，各个显影槽104中。
本实施例中，当中央化学品供应系统中断向化学品输送装置供应化学品时，将储液罐组中的一个储液罐作为手动配比储液罐，在手动配比储液罐中配成预设浓度的显影液，然后通过水泵将手动配比储液罐中的化学品输送到其它的储液罐中，以使储液罐组中的各个储液罐都能连续向显影槽中输出显影液，避免由于中断显影液供应导致正在进行显影工艺的产品发生缺陷，有利于提高产品良率，同时可以降低产品成本。
图5为本发明显影系统实施例的结构示意图。如图5所示，本实施例显影系统包括显影设备和中央化学品供应系统，其中显影设备中的化学品输送装置可以采用图2或图3所示的结构，中央化学品供应系统向显影设备供应显影液或其它化学品，以完成显影工艺。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种化学品输送装置，包括储液罐组，所述储液罐组中的储液罐通过配管与目标工艺槽连接，其特征在于，所述储液罐组中的一个储液罐为用于手动配比化学品的手动配比储液罐，所述手动配比储液罐分别通过设置有水泵的配管与其它储液罐连接，用以向所述其它储液罐输送化学品。
2.根据权利要求1所述的化学品输送装置，其特征在于，所述储液罐组中的各储液罐上还设置有用于接收外部设备输入的化学品的连接管。
3.根据权利要求1所述的化学品输送装置，其特征在于，所述储液罐组中的部分储液罐还用于回收从所述目标工艺槽排出的化学品；所述部分储液罐上安装有检测所述化学品电导率的电导率仪。
4.根据权利要求1所述的化学品输送装置，其特征在于，所述储液罐组中的各储液罐上分别安装有检测所述化学品电导率的电导率仪。
5.根据权利要求3或4所述的化学品输送装置，其特征在于，所述各储液罐与所述电导率仪之间设置有水泵，所述水泵用于将所述储液罐中的化学品输送到所述电导率仪。
6.一种显影设备，包括化学品输送装置和显影槽，其特征在于，所述化学品输送装置采用权利要求1-5任一所述的结构；
所述化学品输送装置中的储液罐组中的各储液罐通过设置有水泵的配管与所述显影槽连接。
7.根据权利要求6所述的显影设备，其特征在于，在所述储液罐与所述显影槽之间的配管上还设置有过滤器，所述过滤器用于过滤化学品中的微粒。
8.根据权利要求7所述的显影设备，其特征在于，所述过滤器的数量至少为2个。
9.根据权利要求6所述的显影设备，其特征在于，所述储液罐组中的部分储液罐用于回收从所述显影槽排出的显影液。
10.一种显影系统，其特征在于，包括中央化学品供应系统和权利要求6-9任一所述的显影设备。
CN201210109687.3A 2012-04-13 2012-04-13 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统 Expired - Fee Related CN102662311B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210109687.3A CN102662311B (zh) 2012-04-13 2012-04-13 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统
PCT/CN2012/086392 WO2013152600A1 (zh) 2012-04-13 2012-12-12 化学品输送装置、显影设备和显影系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210109687.3A CN102662311B (zh) 2012-04-13 2012-04-13 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102662311A true CN102662311A (zh) 2012-09-12
CN102662311B CN102662311B (zh) 2015-12-02

Family

ID=46771818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210109687.3A Expired - Fee Related CN102662311B (zh) 2012-04-13 2012-04-13 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN102662311B (zh)
WO (1) WO2013152600A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013152600A1 (zh) * 2012-04-13 2013-10-17 京东方科技集团股份有限公司 化学品输送装置、显影设备和显影系统
CN111943843A (zh) * 2020-08-21 2020-11-17 北京七星华创集成电路装备有限公司 化学品回收设备

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105118770B (zh) * 2015-08-25 2017-12-26 武汉华星光电技术有限公司 一种剥离液供给系统
EP3489199B1 (en) * 2017-11-23 2020-08-26 Riprup Company S.A. Apparatus and method for mineralizing a fluid

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61248051A (ja) * 1985-04-25 1986-11-05 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 感光性平版印刷版の現像処理方法
CN1441321A (zh) * 2002-02-27 2003-09-10 三菱化学工程株式会社 显影液供给装置
CN101417209A (zh) * 2007-10-22 2009-04-29 天津海之凰科技有限公司 一种节能减压膜蒸馏装置及方法
CN101942661A (zh) * 2009-07-07 2011-01-12 倪党生 用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统及方法
WO2011037080A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 富士フイルムグラフィックシステムズ株式会社 平版印刷版現像廃液削減装置
CN201857288U (zh) * 2010-10-13 2011-06-08 樊利华 一种超声波氨氮吹脱气浮装置
CN202152917U (zh) * 2011-06-17 2012-02-29 尚德太阳能电力有限公司 药液供给系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10320842A (ja) * 1997-05-19 1998-12-04 Sony Disc Technol:Kk ディスク原盤の製造方法
DE60111283T2 (de) * 2000-01-31 2006-05-11 Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara Verfahren zum Nachfüllen von Entwickler in einem automatischen Entwicklungsgerät
WO2008056506A1 (fr) * 2006-11-09 2008-05-15 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Matériau de plaque d'impression photosensible et procédé de fabrication de la plaque d'impression
CN102662311B (zh) * 2012-04-13 2015-12-02 京东方科技集团股份有限公司 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61248051A (ja) * 1985-04-25 1986-11-05 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 感光性平版印刷版の現像処理方法
CN1441321A (zh) * 2002-02-27 2003-09-10 三菱化学工程株式会社 显影液供给装置
CN101417209A (zh) * 2007-10-22 2009-04-29 天津海之凰科技有限公司 一种节能减压膜蒸馏装置及方法
CN101942661A (zh) * 2009-07-07 2011-01-12 倪党生 用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统及方法
WO2011037080A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 富士フイルムグラフィックシステムズ株式会社 平版印刷版現像廃液削減装置
CN201857288U (zh) * 2010-10-13 2011-06-08 樊利华 一种超声波氨氮吹脱气浮装置
CN202152917U (zh) * 2011-06-17 2012-02-29 尚德太阳能电力有限公司 药液供给系统

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013152600A1 (zh) * 2012-04-13 2013-10-17 京东方科技集团股份有限公司 化学品输送装置、显影设备和显影系统
CN111943843A (zh) * 2020-08-21 2020-11-17 北京七星华创集成电路装备有限公司 化学品回收设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN102662311B (zh) 2015-12-02
WO2013152600A1 (zh) 2013-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102662311A (zh) 一种化学品输送装置、显影设备和显影系统
CN203090778U (zh) 一种pam一体化自动加药装置
CN201768708U (zh) 循环清洗系统
CN103769351A (zh) 一种光刻胶回收系统
CN104971522A (zh) 一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法
CN201339817Y (zh) 管路中液体侦测系统
CN205575559U (zh) 一种用于自流式液体灌装机的定量灌装机构
CN207244217U (zh) 一种染色助剂输送系统
CN213171588U (zh) 一种新型反渗透机组杀菌剂智能加药系统
CN210764382U (zh) 一种循环水池自动加药的控制结构
CN203275982U (zh) 长距离管道输煤终端站设备集中控制系统
CN201556028U (zh) 显影设备
CN211587876U (zh) 一种缓冲预配型清洗主站
CN203715263U (zh) 一种测温定量灌装设备
CN210995691U (zh) 一种pvc材料的快速自动配料机构
CN203131430U (zh) 一种化学液分配系统
CN203737408U (zh) 一种药液加药装置
CN206951145U (zh) 静态加药装置
CN104103546A (zh) 化学液供应与回收装置
CN201031203Y (zh) 新型石灰自动投加装置
CN206869545U (zh) 一种数控机床冷却液回收再利用装置
CN105353591A (zh) 一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置
CN216900583U (zh) 一种药液回收系统
CN203079054U (zh) 一种稳定液体输出流量的储液箱
CN213926474U (zh) 一种用于纯水分配及回收的供水装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20151202

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee