CN111943843A - 化学品回收设备 - Google Patents
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 162
- 238000011084 recovery Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 265
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 59
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000001802 infusion Methods 0.000 claims description 39
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 6
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims description 6
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 239000002893 slag Substances 0.000 claims description 3
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 abstract description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 6
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 abstract description 6
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C67/00—Preparation of carboxylic acid esters
- C07C67/48—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
- C07C67/52—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives by change in the physical state, e.g. crystallisation
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Abstract
本发明实施例提供一种化学品回收设备，该设备包括回收和冷凝装置，与工艺设备的排气口连接，用于回收排气口排放的气态化学品，并将气态化学品转换为液态化学品；储液装置，与回收和冷凝装置连接，用于存储液态化学品；抽液装置，与储液装置连接，用于抽取储液装置中的液态化学品；以及处理和输送装置，位于抽液装置和工艺设备的进液口之间，用于对抽液装置抽取的液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求，并将处理后的液态化学品输送至工艺设备。本发明实施例提供的化学品回收设备，可以对原本弃置不用的废气进行回收再利用，从而可以节省原物料，降低设备运营成本，减少环境污染。
Description
技术领域
本发明涉及化学品回收技术领域，具体地，涉及一种化学品回收设备。
背景技术
在液晶显示面板生产的工艺过程中，需要在玻璃基板上进行光刻胶涂布(PRCoating)，在涂布过程中，需要不断地利用丙二醇甲醚醋酸酯(以下简称PGMEA)有机溶剂清洗涂布机的喷头，清洗后的废液在涂布机的真空装置进行减压的过程中由液体变为气体，然后被抽取排放至废气管道中。
具体来说，如图1所示，为PGMEA有机溶剂的供液结构示意图。当涂布机101有药液需求时，供液管路上的通断阀102开启，中央化学品供应系统(简称CCSS)通过供液管路将PGMEA有机溶剂输送至涂布机101中，以对涂布机101的喷头进行清洗；当清洗结束之后，真空装置103将液态的PGMEA有机溶剂转换为气态，并被抽取排放至废气管路104中。
但是，排掉的PGMEA有机溶剂对环境有一定的危害性，同时由于PGMEA有机溶剂的消耗量较大，直接排放也是一种浪费。
发明内容
本发明实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种化学品回收设备，其可以对原本弃置不用的废气进行回收再利用，从而可以节省原物料，降低设备运营成本，减少环境污染。
为实现上述目的，本发明实施例提供了一种化学品回收设备，包括：
回收和冷凝装置，与工艺设备的排气口连接，用于回收所述排气口排放的气态化学品，并将所述气态化学品转换为液态化学品；
储液装置，与所述回收和冷凝装置连接，用于存储所述液态化学品；
抽液装置，与所述储液装置连接，用于抽取所述储液装置中的所述液态化学品；以及
处理和输送装置，位于所述抽液装置和所述工艺设备的进液口之间，用于对所述抽液装置抽取的所述液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求，并将处理后的所述液态化学品输送至所述工艺设备。
可选的，所述处理和输送装置包括第一输液管路和设置在所述第一输液管路上的处理单元，其中，所述第一输液管路位于所述抽液装置和所述工艺设备的进液口之间；所述处理单元用于对经过的所述液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求。
可选的，所述处理和输送装置还包括第二输液管路，所述第二输液管路位于化学品供应设备和所述第一输液管路的进液端之间；并且，在所述第一输液管路上设置有第一通断阀；在所述第二输液管路上设置有第二通断阀。
可选的，所述处理和输送装置还包括第三输液管路，所述第三输液管路位于所述化学品供应设备和所述工艺设备的进液口之间；并且，在所述第三输液管路上设置有第三通断阀。
可选的，所述化学品回收设备还包括排液管路，所述排液管路上设置有第四通断阀；其中，所述排液管路的输入端与所述抽液装置的输出端连接，用于在所述第四通断阀开启时排出所述抽液装置抽取的所述液态化学品。
可选的，所述储液装置包括用于存储所述液态化学品的储液罐和液位检测单元，所述液位检测单元用于实时检测所述储液罐中存储的所述液态化学品的液位，并将其发送至所述控制单元；
所述控制单元用于根据当前工况选择性地开启所述第一通断阀、所述第二通断阀、所述第三通断阀和所述第四通断阀中的一个；所述当前工况包括所述液位检测单元发送的所述液位的高低、所述工艺设备是否有使用所述液态化学品的请求以及所述化学品回收设备是否宕机中的两个。
可选的，所述处理单元包括过滤器和液渣收集单元，其中，所述过滤器设置在所述第一输液管路上，用于过滤所述液态化学品中的杂质；所述液渣收集单元用于收集所述杂质。
可选的，所述处理单元包括分子筛过滤器，所述分子筛过滤器设置在所述第一输液管路上，用于去除所述液态化学品中的水份。
可选的，所述处理和输送装置还包括液体采样单元，所述液体采样单元与所述处理单元的输出端连接，用于检测经过所述处理单元处理后的所述液态化学品是否满足工艺要求。
可选的，所述抽液装置包括抽液管路和设置在所述抽液管路上的抽液泵、第五通断阀和流量检测单元；其中，所述抽液管路位于所述储液装置与所述处理和输送装置之间
本发明实施例的有益效果：
本发明实施例提供的化学品回收设备，其通过利用回收和冷凝装置及储液装置，可以实现气态化学品的回收、液态的转换和对液态化学品的存储，并利用抽液装置以及处理和输送装置，可以实现使回收的液态化学品的满足工艺要求，并实现再利用，从而可以对原本弃置不用的废气进行回收再利用，进而可以节省原物料，降低设备运营成本，减少环境污染。
附图说明
图1为PGMEA有机溶剂的供液结构示意图；
图2为本发明第一实施例提供的化学品回收设备的结构图；
图3为本发明第二实施例提供的化学品回收设备的结构图；
图4为本发明第三实施例提供的化学品回收设备的结构图；
图5为本发明第四实施例提供的化学品回收设备的结构图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例提供的化学品回收设备进行详细描述。
第一实施例
请参阅图2，本实施例提供的化学品回收设备，其例如可以回收涂布机1中的废气，涂布机1的真空装置11将液态的丙二醇甲醚醋酸酯(以下简称PGMEA)有机溶剂转换为气态，并被抽取排放至废气管路12中。具体地，化学品回收设备包括回收和冷凝装置2、储液装置3、抽液装置4以及处理和输送装置5。其中，回收和冷凝装置2与工艺设备的排气口(即，废气管路12)连接，用于回收该排气口排放的气态化学品，并将气态化学品转换为液态化学品。
在本实施例中，回收和冷凝装置2可以包括抽气泵21和冷凝器22，其中，抽气泵21与废气管路12连接，用以抽取废气管路12中的气态化学品，并输送至冷凝器22中，该抽取泵21例如为干泵；冷凝器22用于将气态化学品冷凝，使之转换为液态化学品。例如将气态的PGMEA有机溶剂冷凝转换为液态的PGMEA有机溶剂。
储液装置3与回收和冷凝装置2连接，具体与冷凝器22的出液端连接，用于存储液态化学品；储液装置3例如包括储液罐。在一些实施例中，储液装置3还包括液位检测单元31，该液位检测单元31用于实时检测储液罐中存储的液态化学品的液位。液位检测单元31例如为液位传感器。
抽液装置4与储液装置3连接，用于抽取储液装置3中的液态化学品。抽液装置4的结构可以有多种，例如，在本实施例中，抽液装置4包括抽液管路41和设置在该抽液管路41上的抽液泵44、第五通断阀42和流量检测单元43；其中，抽液管路41的输入端与储液装置3连接，具体与储液罐的输出端连接；抽液管路41位于储液装置3与处理和输送装置5之间。抽液泵44用于抽取储液罐中的液态化学品，例如为隔膜泵。第五通断阀42用于接通或断开抽液管路41；流量检测单元43用于检测流经的液体流量，以能够对回收的液态化学品的总量进行统计。
处理和输送装置5位于抽液装置4和工艺设备1的进液口之间，用于对抽液装置4抽取的液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求，并将处理后的液态化学品输送至工艺设备1。处理和输送装置5的结构可以有多种，例如，在本实施例中，处理和输送装置5包括第一输液管路51和设置在该第一输液管路51上的处理单元，其中，第一输液管路51位于抽液装置4和工艺设备1的进液口之间，具体例如为第一输液管路51的两端分别与抽液装置4(具体为抽液管路41的输出端)和工艺设备1的进液口连接；处理单元用于对经过的液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求。
处理单元的结构可以有多种，例如，在本实施例中，处理单元可以包括过滤器52和液渣收集单元55，其中，过滤器52设置在第一输液管路51上，用于过滤液态化学品中的杂质；液渣收集单元55用于收集过滤出的杂质。对于液态的PGMEA有机溶剂的过滤，过滤器52的滤芯精度例如可以为0.2μm。
又如，在本实施例中，处理单元还可以包括分子筛过滤器53，该分子筛过滤器53设置在第一输液管路51上，用于去除液态化学品中的水份。对于液态的PGMEA有机溶剂，分子筛过滤器53能够去除PGMEA有机溶剂中的水份，使PGMEA有机溶剂中的含水量≤2％。
在一些实施例中，处理和输送装置5还包括液体采样单元54，该液体采样单元55与处理单元的输出端连接，用于检测处理单元处理后的液态化学品是否满足工艺要求，例如，液体采样单元55与第一输液管路51连接，以检测第一输液管路51中位于处理单元的输出端处的液态化学品。
另外，根据具体工况需求，在第一输液管路51上的相应位置处还设置有多个第一通断阀，用于控制第一输液管路51的通断，例如四个第一通断阀(56a、56b、56c和56d)，根据具体需要，这些通断阀中有的为手动阀，有的为自动阀。
当工艺设备1有使用液态化学品的请求，且储液罐内液位高于预设的最低液位时，开启第五通断阀42和四个第一通断阀(56a、56b、56c和56d)，并开启抽液泵44，以使储液罐中的液态化学品依次经由抽液管路41和第一输液管路51向工艺设备1供液。液态化学品的流动路径如图2中的加粗路径所示。
本实施例提供的化学品回收设备，其通过利用回收和冷凝装置2及储液装置3，可以实现气态化学品的回收、液态的转换和对液态化学品的存储，并利用抽液装置4以及处理和输送装置5，可以实现使回收的液态化学品的满足工艺要求，并实现再利用，从而可以对原本弃置不用的废气进行回收再利用，进而可以节省原物料，降低设备运营成本，减少环境污染。
第二实施例
本实施例提供的化学品回收设备，其是在上述第一实施例的基础上所做的改进。具体地，请参阅图3，在上述第一实施例的基础上，处理和输送装置5还包括第二输液管路61，该第二输液管路61位于化学品供应设备(例如为中央化学品供应系统，简称CCSS)6和第一输液管路51的进液端之间，具体例如为第二输液管路61的两端分别与化学品供应设备6和第一输液管路51的进液端连接；并且，在第二输液管路61上设置有第二通断阀62。
借助上述第二输液管路61，可以将化学品供应设备6提供的液态化学品输送至第一输液管路51中，并经由处理单元的处理之后，使其满足工艺要求，并输送至工艺设备1中。这样，可以选择使用化学品供应设备6提供的液态化学品，或者储液罐中的液态化学品向工艺设备1中供应。例如，当工艺设备1有使用液态化学品的请求，且储液罐内液位低于预设的最低液位时，关闭第五通断阀42和第一通断阀56a，并且抽液泵44不工作；并且，三个第一通断阀(56b、56c和56d)和第二通断阀62开启，化学品供应设备6提供的液态化学品依次经由第二输液管路61和第一输液管路51向工艺设备1供液。液态化学品的流动路径如图3中的加粗路径所示。
第三实施例
本实施例提供的化学品回收设备，其是在上述第二实施例的基础上所做的改进。具体地，请参阅图4，在上述第二实施例的基础上，处理和输送装置5还包括第三输液管路63，该第三输液管路63位于化学品供应设备6和工艺设备1的进液口之间，具体例如为第三输液管路63的两端分别与化学品供应设备6和工艺设备1的进液口连接；并且，在第三输液管路63上设置有第三通断阀64。
借助上述第三输液管路63，可以将化学品供应设备6提供的液态化学品直接输送至工艺设备1中，而不经过处理和输送装置5。这样，可以在其他部件出现故障时，例如因为软件系统出现故障，而导致自动阀无法正常开启时，可以开启第三通断阀64，此时化学品供应设备6提供的液态化学品依次经由第三输液管路63向工艺设备1供液。液态化学品的流动路径如图4中的加粗路径所示。
需要说明的是，在实际应用中，根据具体需要，还可以保留上述第三输液管路63，而省去第二输液管路61。
第四实施例
本实施例提供的化学品回收设备，其是在上述第三实施例的基础上所做的改进。具体地，请参阅图5，在上述第三实施例的基础上，化学品回收设备还包括排液管路71，该排液管路71上设置有两个第四通断阀(72，73)，其中，排液管路71的输入端与抽液装置4的输出端(具体与抽液管路41的输出端)连接，用于在两个第四通断阀(72，73)开启时排出抽液装置4抽取的液态化学品。
借助上述排液管路71，可以将储液罐提供的液态化学品排出，而不再继续使用。这样，可以在储液罐中的液位高于预设的最高液位且工艺设备没有使用所述液态化学品的请求时，直接将多余的液态化学品排放出去。液态化学品的流动路径如图5中的加粗路径所示。
在上述各个实施例中，化学品回收设备还可以包括控制单元(图中未示出)，该控制单元用于控制相应部件的工作，例如各个自动阀的通断。
具体地，控制单元用于根据当前工况选择性地开启上述第一通断阀、第二通断阀、第三通断阀和两个第四通断阀中的一个；当前工况包括液位检测单元31发送的液位的高低、工艺设备1是否有使用液态化学品的请求以及化学品回收设备是否宕机中的两个。
例如，液位检测单元31实时检测储液罐中存储的液态化学品的液位，并将其发送至控制单元；控制单元判断该液位是否高于预设的最低液位，若是，则可以在工艺设备1有使用液态化学品的请求时，控制第五通断阀42和两个第一通断阀(56a和56c)开启，并控制抽液泵44开启，以使储液罐中的液态化学品依次经由抽液管路41和第一输液管路51向工艺设备1供液。液态化学品的流动路径如图2中的加粗路径所示。
若液位低于预设的最低液位，且工艺设备1有使用液态化学品的请求时，则控制单元控制第五通断阀42和第一通断阀56a关闭，并且控制抽液泵44停止工作；并且，控制三个第一通断阀(56b、56c和56d)和第二通断阀62开启，以使化学品供应设备6提供的液态化学品依次经由第二输液管路61和第一输液管路51向工艺设备1供液。液态化学品的流动路径如图3中的加粗路径所示。
控制单元还用于判断液位检测单元31发送的液位是否高于预设的最高液位以及工艺设备是否有使用液态化学品的请求，若当前液位高于预设的最高液位以及工艺设备没有使用液态化学品的请求，则控制两个第四通断阀(72，73)开启，以直接将多余的液态化学品排放出去。液态化学品的流动路径如图5中的加粗路径所示。
又如，在其他部件出现故障时，例如因为软件系统出现故障，而导致自动阀无法正常开启时，通知单元可以控制第三通断阀64开启，此时化学品供应设备6提供的液态化学品依次经由第三输液管路63直接向工艺设备1供液。液态化学品的流动路径如图4中的加粗路径所示。
综上所述，本发明上述各个实施例提供的化学品回收设备，其通过利用回收和冷凝装置及储液装置，可以实现气态化学品的回收、液态的转换和对液态化学品的存储，并利用抽液装置以及处理和输送装置，可以实现使回收的液态化学品的满足工艺要求，并实现再利用，从而可以对原本弃置不用的废气进行回收再利用，进而可以节省原物料，降低设备运营成本，减少环境污染。
作为另一个技术方案，本发明实施例还提供一种显示面板制造系统，包括用于制作显示面板的工艺设备，以及本发明上述各个实施例提供的上述化学品回收设备，用于回收工艺设备排放的气态化学品，并通过对该气态化学品进行处理，获得满足工艺要求的液态化学品。
在实际应用中，本发明实施例提供的显示面板制造系统可以应用于诸如光刻胶涂布机等的工艺设备。液态化学品例如包括PGMEA有机溶剂。
本发明实施例提供的显示面板制造系统，其通过采用本发明实施例提供的上述化学品回收设备，可以对原本弃置不用的废气进行回收再利用，进而可以节省原物料，降低设备运营成本，减少环境污染。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种化学品回收设备，其特征在于，包括：
回收和冷凝装置，与工艺设备的排气口连接，用于回收所述排气口排放的气态化学品，并将所述气态化学品转换为液态化学品；
储液装置，与所述回收和冷凝装置连接，用于存储所述液态化学品；
抽液装置，与所述储液装置连接，用于抽取所述储液装置中的所述液态化学品；以及
处理和输送装置，位于所述抽液装置和所述工艺设备的进液口之间，用于对所述抽液装置抽取的所述液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求，并将处理后的所述液态化学品输送至所述工艺设备。
2.根据权利要求1所述的化学品回收设备，其特征在于，所述处理和输送装置包括第一输液管路和设置在所述第一输液管路上的处理单元，其中，所述第一输液管路位于所述抽液装置和所述工艺设备的进液口之间；所述处理单元用于对经过的所述液态化学品进行处理，以使其满足工艺要求。
3.根据权利要求2所述的化学品回收设备，其特征在于，所述处理和输送装置还包括第二输液管路，所述第二输液管路位于化学品供应设备和所述第一输液管路的进液端之间；并且，在所述第一输液管路上设置有第一通断阀；在所述第二输液管路上设置有第二通断阀。
4.根据权利要求3所述的化学品回收设备，其特征在于，所述处理和输送装置还包括第三输液管路，所述第三输液管路位于所述化学品供应设备和所述工艺设备的进液口之间；并且，在所述第三输液管路上设置有第三通断阀。
5.根据权利要求4所述的化学品回收设备，其特征在于，所述化学品回收设备还包括排液管路，所述排液管路上设置有第四通断阀；其中，所述排液管路的输入端与所述抽液装置的输出端连接，用于在所述第四通断阀开启时排出所述抽液装置抽取的所述液态化学品。
6.根据权利要求5所述的化学品回收设备，其特征在于，所述储液装置包括用于存储所述液态化学品的储液罐和液位检测单元，所述液位检测单元用于实时检测所述储液罐中存储的所述液态化学品的液位，并将其发送至所述控制单元；
所述控制单元用于根据当前工况选择性地开启所述第一通断阀、所述第二通断阀、所述第三通断阀和所述第四通断阀中的一个；所述当前工况包括所述液位检测单元发送的所述液位的高低、所述工艺设备是否有使用所述液态化学品的请求以及所述化学品回收设备是否宕机中的两个。
7.根据权利要求2所述的化学品回收设备，其特征在于，所述处理单元包括过滤器和液渣收集单元，其中，所述过滤器设置在所述第一输液管路上，用于过滤所述液态化学品中的杂质；所述液渣收集单元用于收集所述杂质。
8.根据权利要求2所述的化学品回收设备，其特征在于，所述处理单元包括分子筛过滤器，所述分子筛过滤器设置在所述第一输液管路上，用于去除所述液态化学品中的水份。
9.根据权利要求2所述的化学品回收设备，其特征在于，所述处理和输送装置还包括液体采样单元，所述液体采样单元与所述处理单元的输出端连接，用于检测经过所述处理单元处理后的所述液态化学品是否满足工艺要求。
10.根据权利要求1所述的化学品回收设备，其特征在于，所述抽液装置包括抽液管路和设置在所述抽液管路上的抽液泵、第五通断阀和流量检测单元；其中，所述抽液管路位于所述储液装置与所述处理和输送装置之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010850769.8A CN111943843A (zh) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | 化学品回收设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010850769.8A CN111943843A (zh) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | 化学品回收设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111943843A true CN111943843A (zh) | 2020-11-17 |
Family
ID=73359521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010850769.8A Pending CN111943843A (zh) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | 化学品回收设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111943843A (zh) |
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2020
- 2020-08-21 CN CN202010850769.8A patent/CN111943843A/zh active Pending
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