CN201339817Y - 管路中液体侦测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种管路中液体侦测系统，设置于液体输送装置中，该液体输送装置具有通过管路依序连接的液体容器和缓冲罐，与缓冲罐连接将气泡从缓冲罐排出的排出口，与缓冲罐连接将液体送入需要该液体的装置的使用端，其特征在于，该管路中液体侦测系统包括设置于该液体容器与缓冲罐之间感应管路中液体的第一液体传感器和设置于缓冲罐与排出口之间感应管路中液体的第二液体传感器。当上述二液体传感器侦测到缓冲罐的入口和排出口端都充满液体时，给液体输送装置的控制端发送一个信号，以停止气泡排出操作。这样一来，当管路中的气泡被完全排出时，可以及时停止排气泡动作，最大限度地减少液体的浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种液体输送装置，特别涉及一种管路中液体侦测系统。
背景技术
一般的液体输送装置，为了能在液体容器存液量不足时适时的补充用液，在液体输送装置中均设置有液体侦测装置以侦测并发出警示信号提醒操作人员补充液体。上述液体侦测系统，主要应用于机台本地供应(需要人为进行更换或添加)的化学品管路，其主要功能是，当供应源(例如：瓶子)发生断供(该瓶中的化学品用尽)时，触发机台报警以提醒操作人员更换(或添加)化学品，并在更换(或添加)完化学品后通过自身的排气装置，用于排出管路中多余的气泡。
在半导体工艺中，经常使用各种液体进行不同的工艺，例如光阻涂布工艺中，就使用光阻喷涂于晶片上，以进行微影工艺。
如图1所示，通常光阻涂布机台100包括通过管路依序连接的盛装光阻剂的光阻瓶1001、用来防止光阻瓶1001空乏后于管路中产生气泡的缓冲罐1002、与缓冲罐1002连接用于排出缓冲罐1002内气泡的气动阀1003、与缓冲罐1002连接将液体送入需要该液体的装置的使用端，与气动阀1003连接将气泡从缓冲罐1002排出的排出口。
上述公知的机台100为了侦测光阻剂的存量，会配置管路中液体侦测系统200。该管路中液体侦测系统200在光阻瓶1001与缓冲罐1002之间的管路中设置液体传感器2001，用以侦测光阻瓶1001的液体存量；在缓冲罐1002与使用端之间的管路中设置液体传感器2003，用以侦测缓冲罐1002的液体存量。当液体传感器2001侦测出光阻瓶1001中的液体量不足时，触发机台100发出警示信号，由于此时缓冲罐1002中仍有大量液体，所以可以在不停机的状态下更换(或添加)光阻剂，不需停机或进行重工；当液体传感器2003侦测出缓冲罐1002中的液体量不足时，触发机台100发出警示信号，并同时停止机台100运作，待等到更换(或添加)光阻剂之后，光阻涂布机台100将重新运作。在更换(或添加)完光阻剂后，管路中含有气泡，由于重力作用气泡会自动浮出光阻，停留在缓冲罐1002中光阻液面的上方，此时打开气动阀1003并且对光阻瓶1001通过氮气加压来排出管路中的气泡。
然而，在操作员进行排气泡的同时，由于为了保证液体输送的质量，实际排出气泡设定的时间往往比排出气泡所需的时间长，并且由于各种液体的粘稠度不一样，很难对气压或者时间进行统一化管理。因此，实际上每次排气泡都存在程度不一的液体浪费。
实用新型内容
为了克服上述的问题和缺陷，本实用新型提出了一种管路中液体侦测系统，设置于液体输送装置中，该液体输送装置具有通过管路依序连接的液体容器和缓冲罐，与缓冲罐连接将气泡从缓冲罐排出的排出口，与缓冲罐连接将液体送入需要该液体的装置的使用端，其特征在于，该管路中液体侦测系统包括设置于该液体容器与缓冲罐之间感应管路中液体的第一液体传感器和设置于缓冲罐与排出口之间感应管路中液体的第二液体传感器。
上述管路中液体侦测系统还包括设置于该缓冲罐与使用端之间感应管路中液体的第三液体传感器。
上述液体输送装置为光阻涂布机台。
上述液体容器为光阻瓶，光阻瓶内容纳有光阻。
上述缓冲罐与上述第二液体传感器之间的管路上设置有用于排出缓冲罐内气泡的气动阀。
上述气动阀和上述第二液体传感器与排出口的距离小于上述两者与缓冲罐的距离。
相较于现有的管路中液体侦测系统，本实用新型通过在缓冲罐与气泡排出口之间设置感应管路中液体的第二液体传感器，结合设置于液体容器与缓冲罐之间感应管路中液体的第一液体传感器，当上述二液体传感器侦测到缓冲罐的入口和排出口端都充满液体时，给液体输送装置的控制端发送一个信号，以停止气泡排出操作。这样一来，当管路中的气泡被完全排出时，可以及时停止排气泡动作，最大限度地减少液体的浪费，节省了因排气泡的过程而消耗的液体和工作人员的时间，增加了产品的优良率与减少制造成本。
附图说明
图1为传统管路中液体侦测系统的结构示意图。
图2为本实用新型一具体实施例的管路中液体侦测系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实用新型的上述目的、特征和优点将显而易见。
参照图2，为本实用新型一具体实施例的管路中液体侦测系统的结构示意图。在图2中，应用本实用新型的光阻涂布机台100包括通过同一条管路10依序连接的光阻瓶1001、用来防止光阻瓶1001空乏后于管路10中产生气泡的缓冲罐1002、与缓冲罐1002连接将光阻送入需要该光阻的装置的使用端；其中，缓冲罐1002还通过管路20连接用于排出缓冲罐1002内气泡的气动阀1003、与气动阀1003连接将气泡从缓冲罐1002排出的排出口。当然，光阻瓶1001可以是任何形式的容纳光阻的容器，不局限于附图中的瓶状容器。
继续参照图2，在光阻涂布机台100中还包括管路中液体侦测系统200。该管路中液体侦测系统200具有分别设置于光阻瓶1001与缓冲罐1002之间的管路10中的液体传感器2001；设置于气动阀1003与排出口之间的管路20中的液体传感器2002；以及设置于缓冲罐1002与使用端之间的管路10中的液体传感器2003；另外，为了尽量减少液体的浪费，气动阀1003和液体传感器2002应尽量靠近排出口端。
以下将说明本实用新型的管路中液体侦测系统200在进行光阻涂布工艺时的应用。
管路10中的液体传感器2001主要用来侦测出管路10′中是否有液体，当液体传感器2001侦测出管路10′中没有液体时，即代表光阻瓶1001中的液体已经用尽，此时触发机台100发出警示信号，在不停机的状态下更换光阻瓶。管路10中的液体传感器2003主要用来侦测出管路10″中是否有液体，当液体传感器2003侦测出管路10″中没有液体时，即代表缓冲罐1002的液体已经用尽，触发机台100发出警示信号，并同时停止机台100运作，待等到更换(或添加)光阻剂之后，光阻涂布机台100将重新运作。值得注意的是，在更换(或添加)完液体后，管路中会含有气泡，由于重力作用气泡会自动浮出液面，停留在缓冲罐1002中光阻液面的上方，此时需打开气动阀1003并且对光阻瓶1001通过氮气加压来排出管路中的气泡；当然，其中通入的气体可以是氮气或任一种合适的气体。而管路20中的液体传感器2002主要用来侦测管路20中是否充满液体，当液体传感器2002侦测出管路20中充满液体时，即代表缓冲罐1002内已无气泡。
从管路中液体侦测系统200在实际使用的全过程来看，常态下管路20也是充满液体的，也就是说在“排气泡”动作的前后这一侦测点的液体存在的状态是不变的，此时则需同时对管路10中的液体传感器2001的侦测结果进行参考，当液体传感器2001和液体传感器2002都侦测到充满液体时，给光阻涂布机台100的控制端发送一个信号：气泡已尽，以停止对光阻瓶1001加压并且关闭气动阀1003。这样一来，当管路中的气泡被完全排出时，可以及时停止排气泡动作，最大限度地减少液体的浪费。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非因此限定本实用新型的专利保护范围，本实用新型还可用于其他液体输送装置中，并不限运用于“光阻涂布机台”，所述液体也不限于“光阻”。故凡运用本实用新型的说明书及图示内容所谓的等效结构变化，或直接或间接运用于其他相关技术领域均同理皆包含于本实用新型所涵盖之范围内。
Claims (6)
1.一种管路中液体侦测系统，设置于液体输送装置中，该液体输送装置具有通过管路依序连接的液体容器和缓冲罐，与缓冲罐连接将气泡从缓冲罐排出的排出口，与缓冲罐连接将液体送入需要该液体的装置的使用端，其特征在于，该管路中液体侦测系统包括设置于该液体容器与缓冲罐之间感应管路中液体的第一液体传感器和设置于缓冲罐与排出口之间感应管路中液体的第二液体传感器。
2.根据权利要求1所述的管路中液体侦测系统，其特征在于，上述管路中液体侦测系统还包括设置于该缓冲罐与使用端之间感应管路中液体的第三液体传感器。
3.根据权利要求1所述的管路中液体侦测系统，其特征在于，上述液体输送装置为光阻涂布机台。
4.根据权利要求3所述的管路中液体侦测系统，其特征在于，上述液体容器为光阻瓶，容纳的液体为光阻。
5.根据权利要求4所述的管路中液体侦测系统，其特征在于，上述缓冲罐与上述第二液体传感器之间的管路上设置有用于排出缓冲罐内气泡的气动阀。
6.根据权利要求5所述的管路中液体侦测系统，其特征在于，上述气动阀和上述第二液体传感器与排出口的距离小于上述两者与缓冲罐的距离。
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