KR101111455B1 - 현상장치, 현상방법, 및 현상액 순환방법 - Google Patents

Abstract

1) 현상처리가 행해지는 현상조와, 현상액을 수용하는 현상액 순환탱크와, 상기 현상액 순환탱크내의 현상액을 상기 현상조로 보내는 수단과, 상기 현상조에서 현상처리에 사용된 후의 현상액을 상기 현상액 순환탱크로 되돌리는 수단을 구비하는 현상액 순환계, 2) 상기 현상액을 여과액과 농축액으로 분리하는 한외여과 필터, 및 3) 상기 현상액 순환탱크로부터 일부가 꺼내어진 현상액을 수용하는 한외여과 농축액 탱크와, 상기 한외여과 농축액 탱크내의 현상액을 상기 한외여과 필터로 보내는 수단과, 상기 한외여과 필터로 분리된 농축액을 상기 한외여과 농축액 탱크로 되돌리는 수단과, 상기 한외여과 필터로 분리된 여과액을 상기 현상액 순환계로 되돌리는 수단을 구비하는 여과액?농축액 순환계를 구비하는 현상장치.

현상처리, 현상조, 현상액, 현상액 순환탱크, 현상액 순환계, 한외여과 필터, 한외여과 농축액 탱크, 여과액?농축액 순환계.

Description

현상장치, 현상방법, 및 현상액 순환방법{DEVELOPMENT DEVICE, DEVELOPMENT METHOD, AND DEVELOPER CIRCULATING METHOD}

본 발명은 현상장치, 현상방법, 및 현상액 순환방법에 관계되며, 특히, 컬러필터 제조에서 착색화소를 형성할 때의 현상에 관한 것이다.

액정 모니터 등에 사용되는 칼라필터는 미세한 적, 녹, 청 등의 패턴으로 이루어지는 광학소자이다. 그 제조 프로세스는 유리 등의 투명기판상에 감광성의 레지스트를 도포하고, 현상하는 등의 공정을 갖고, 각각의 색에 대해 동일한 프로세스가 반복된다. 이하, 칼라필터 제조에 있어서의 종래의 현상 공정에 대하여 설명한다.

현상 공정은 노광후의 미경화 레지스트의 용해, 박리제거를 목적으로 하며, 포토리소그래피 공정중에서도 패턴의 형상을 좌우하는 중요한 공정이다. 현상 공정에서 관리되는 항목으로서는 현상 시간, 현상액의 온도 등이 있고, 현상조의 구성이나 방식에 따라서도 다르지만, 모든 것은 사용하는 현상액의 현상력이 기준이 된다.

통상의 현상장치는 뱃치식, 낱장식을 불문하고, 현상조와 현상액 탱크로 구성되고, 현상액의 단순한 순환을 수반한다. 현상액의 현상력을 유지하기 위해서 는, 처리매수를 관리하여, 소정의 매수를 처리한 후에 현상액 탱크내의 현상액을 일제히 드레인 하는 방법이나, 또는 현상 신액의 보충과 현상액 탱크내의 현상액의 드레인을 일정한 간격으로 연속적으로 실시하는 방법이 있다.

현상액 탱크내의 현상액을 일제히 드레인 하는 방법의 경우, 부득이하게 가동이 정지된다. 따라서, 이 방법은 메인터넌스에 가까운 방법이다. 또, 관리하는 처리매수에도 따르지만, 초기의 현상액의 현상력과 드레인시의 현상액의 현상력은 크게 다르다. 따라서, 연속가동중의 면밀한 현상 패러미터의 조정이 필요하게 되어, 공장에 있어서의 프로세스 관리로서는 그다지 적합하지 않는다.

현상 신액의 보충과 현상액 탱크내의 현상액의 드레인을 일정 간격으로 연속적으로 실시하는 방법의 경우, 드레인량을 소량으로 하면 현상력은 극도로 저하되어 현상액 탱크내의 현상액의 오염도가 대단히 높아진다. 현상액 탱크내의 현상액의 오염도, 눈막힘 현상을 일으키는 현상액의 오염도는 장치 및 제품에 불량을 발생시키는 요인이 된다. 반대로, 드레인량을 증가하면 현상액 탱크내의 현상액의 오염도는 낮게 억제할 수 있지만 현상 신액의 보충량이 방대하게 되어 러닝코스트가 증가하여 채산이 맞지 않게 된다.

어느 방법을 취해도, 메인터넌스 직후의 현상액의 현상력의 변동은 피하기 어렵다. 또, 현상 신액의 공급량과 현상액 탱크내의 현상액의 오염도는 상반되는 패러미터이다. 즉, 러닝코스트를 낮게 유지하면서 현상액 탱크내의 현상액의 오염도도 낮은 상태로 유지할 수는 없다. 따라서, 제품품질에의 불량발생의 억제를 우선하고, 현상 신액의 공급량과 드레인량을 모두 많게 하여 가동하고 있는 것이 현 상이다.

해마다, 포토리소그래피의 제조라인은 대형화의 일로를 걷고 있다. 이 배경에는 특히 시장의 수요에 따르는 디스플레이의 대형화가 관계되고 있다. 제조라인의 대형화는 유틸리티 사용량을 증대시켜 장치의 메인터넌스성도 악화시킨다. 또한 제품의 대형화는 작업성의 악화로 연결되어, 프로세스 관리를 곤란하게 한다. 현상 공정을 포함하는 웨트 프로세스는 이들 제조라인의 대형화 및 제품의 대형화의 문제에 의해 크게 영향을 받는다.

이들 문제를 해결하기 위해서, 현상액의 재생에 관한 제안은 과거에도 행해졌고, 실제로 한외여과 필터를 사용한 현상액에의 재생방법이 고안되었다(일본 특개평 11-212275호 공보 참조). 그러나, 이 방법은 여과된 액만을 약액 조합처리하여 재이용하는 것으로, 필요한 여과액량의 확보에 시간이 걸리기 때문에 연속가동에는 부적합하다. 또 약액 조합처리에 의한 현상 신액에의 재생수단도 단속가동에서는 가능하지만 연속가동에서는 액조성의 연속 모니터링 등의 필요성이 나오기 때문에 적합하지 않다.

본 발명의 목적은 현상에 제공된 현상액을 한외여과 필터에 의해 처리하고, 여과액을 재이용하는 동시에 농축액을 순환시킴으로써 현상액의 품질을 저하시키지 않고, 러닝코스트를 낮게 억제하는 것을 가능하게 하고, 게다가 프로세스 관리가 극히 용이한 현상장치, 현상방법 및 현상액 순환방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 다른 목적은 장시간 사용시에 있어서 한외여과 필터의 눈막힘에 의한 여과액량의 저하를 방지하고, 메인터넌스성을 쉽게 하고, 연속가동에서도 현 상 패러미터의 세밀한 조정을 불필요하게 하고, 또, 제품이 대형화해도 작업성은 악화되지 않는 현상장치, 현상방법, 및 현상액 순환방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제 1 태양에 의하면, 1) 현상처리가 행해지는 현상조와, 현상액을 수용하는 현상액 순환탱크와, 상기 현상액 순환탱크내의 현상액을 상기 현상조로 보내는 수단과, 상기 현상조에서 현상처리에 사용된 후의 현상액을 상기 현상액 순환탱크로 되돌리는 수단을 구비하는 현상액 순환계, 2) 상기 현상액을 여과액과 농축액으로 분리하는 한외여과 필터, 및 3) 상기 현상액 순환탱크로부터 일부가 꺼내어지 현상액을 수용하는 한외여과 농축액 탱크와, 상기 한외여과 농축액 탱크내의 현상액을 상기 한외여과 필터로 보내는 수단과, 상기 한외여과 필터로 분리된 농축액을 상기 한외여과 농축액 탱크로 되돌리는 수단과, 상기 한외여과 필터로 분리된 여과액을 상기 현상액 순환계로 되돌리는 수단을 구비하는 여과액?농축액 순환계를 구비하는 현상장치가 제공된다.

이상과 같이 구성되는 본 발명의 제 1 태양에 관계되는 현상장치는 이하와 같은 여러가지 구성을 채택할 수 있다.

(1) 상기 한외여과 필터는 분획 분자량 1000~입경 10㎛의 여과정밀도를 갖는 구성.

(2) 현상장치의 연속가동시에 있어서 상기 한외여과 농축액 탱크내의 현상액의 일정량을 정기적으로 폐기하는 수단, 및 현상장치의 연속가동시에 있어서 상기 현상액 순환탱크에 정기적으로 현상 신액의 일정량을 공급하는 수단을 더 구비하는 구성.

(3) 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 조절하기 위한 조정 밸브, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 측정하는 유량계, 상기 한외여과 필터로부터의 농축액의 유량을 측정하는 유량계, 상기 여과액 유량과 농축액 유량의 비를 최적값으로 일정하게 유지하도록 자동조절하는 정투액률 모드 기구를 더 구비하는 구성.

(4) 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 조절하기 위한 조정 밸브, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 측정하기 위한 유량계, 및 상기 여과액 유량을 최적값으로 일정하게 유지하도록 자동조절하는 정여과액 유량 모드 기구를 더 구비하는 구성.

(5) 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 조절하기 위한 조정 밸브, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 압력을 측정하기 위한 압력계, 및 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 압력을 최적값으로 일정하게 유지하도록 자동조절하는 정여과액 압력 모드 기구를 더 구비하는 구성.

본 발명의 제 1 태양에 관계되는 현상장치는 상기 한외여과 필터에 역세정액을 송액하는 역세정액 공급계를 더 구비할 수 있다. 그 구체적 구성을 이하에 나타낸다.

(1) 상기 역세정액 공급계는 상기 역세정액의 유량을 측정하는 유량계 및 상기 역세정액의 압력을 측정하는 압력계를 구비하는 것.

(2) 상기 역세정액 공급계는 상기 한외여과 필터로 분리된 여과액을 여과 필터의 역세정액으로서 저장하는 역세정 탱크를 구비하는 것.

(3) 상기 역세정액 공급계는 상기 유량계 또는 압력계중 어느 하나로부터 피드백 된 측정값에 기초하여, 상기 역세정액의 유량 또는 압력을 설정값으로 유지하도록 제어하는 역세정 제어시스템을 구비하는 것.

(4) 상기 역세정 제어시스템은 역세정 시간을 설정하는 것이 가능한 것.

(5) 상기 역세정 제어시스템은 상기 한외여과 필터의 상류의 농축액 순환경로에 오토 밸브를 구비하고, 역세정시에 밸브폐쇄 상태 또는 밸브개방 상태를 선택가능한 것.

(6) 상기 역세정 제어시스템은 인버터를 갖는 역세정 펌프를 구비하고, 펌프 주파수를 제어함으로써 설정값을 유지하도록 제어하는 것.

(7) 상기 한외여과 필터를 복수개 구비하고, 제 1개째의 한외여과 필터로부터의 여과액을 상기 역세정 탱크에 저장하고, 저장한 여과액을 제 1개째의 한외여과 필터의 역세정액으로서 사용하고, 제 2개째 이후의 한외여과 필터를 동일하게 하여 순차 역세정하는 기구를 구비하고, 연속가동시에는 복수개의 한외여과 필터가 정기적으로 순차 역세정되는 것.

본 발명의 제 1 태양에 관계되는 현상장치는 상기 한외여과 필터를 복수개 구비하고, 제 1개째의 한외여과 필터내의 농축액의 흐름을 통상 상태에서 흐르는 방향과는 반대의 방향으로 역류시켜서 농축액의 흐름에 변화를 줌으로써 한외여과 필터내부를 세정하고, 제 2개째 이후의 한외여과 필터에 대해서 순차적으로 동일하게 하여 농축액의 흐름을 역류시키는 기구를 구비하고, 연속가동시에는 복수개의 한외여과 필터에 대해서 순차 농축액의 흐름을 역류시키는 구성으로 할 수 있다.

본 발명의 제 2 태양에 의하면, 이상의 어느 하나의 현상장치를 사용하고, 상기 현상조에서 상기 현상액 순환탱크로부터 보내진 현상액을 사용하여, 피현상체의 현상처리를 행하는 현상방법이 제공된다.

본 발명의 제 3 태양에 의하면, 이상의 어느 하나의 현상장치를 사용하고, 상기 한외여과 농축액 탱크로부터 현상액을 정기적으로 폐기하고, 이 폐기한 현상액에 상당하는 양의 현상 신액을 상기 현상액 순환탱크에 정기적으로 공급함으로써 액량 밸런스를 유지하는 현상액 순환방법이 제공된다.

도 1은 종래의 방식과 본 발명의 방식의 현상액 오염도와 시간의 상관을 도시하는 도면이다.

도 2는 본 발명의 1실시형태에 관한 현상장치의 흐름도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 관한, 역세정용 관로를 필요로 하지 않는 현상장치의 흐름도이다.

도 4는 역세정기구의 타임 차트의 설명도이다.

도 5는 역세정?역류기구의 타임 차트의 설명도이다.

이하, 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대하여 설명한다.

본 발명의 1실시형태에 따른 현상장치는 현상처리에 제공되는 현상액과 현상처리에 제공된 후의 현상액을 순환하는 현상액 순환계와, 현상처리에 제공된 후의 현상액의 일부를 여과액과 농축액으로 분리하는 한외여과 필터와, 한외여과 필터로 분리된 여과액을 현상액 순환계로 되돌리는 동시에, 농축액을 순환시키는 여과액?농축액 순환계로 구성된다.

즉, 현상액 순환계는 현상처리가 행해지는 현상조와, 현상액을 수용하는 현상액 순환탱크와, 상기 현상액 순환탱크내의 현상액을 상기 현상조로 보내는 수단과, 상기 현상조에서 현상처리에 사용된 후의 현상액을 상기 현상액 순환탱크로 되돌리는 수단을 구비하고, 여과액?농축액 순환계는 상기 현상액 순환탱크로부터 보내진 현상액을 수용하는 한외여과 농축액 탱크와, 상기 한외여과 농축액 탱크내의 현상액을 상기 한외여과 필터로 보내는 수단과, 상기 한외여과 필터로 분리된 농축액을 상기 한외여과 농축액 탱크로 되돌리는 수단과, 상기 한외여과 필터로 분리된 여과액을 상기 현상액 순환계로 되돌리는 수단을 구비한다.

이상과 같이 구성되는 본 발명의 1실시형태에 따른 현상장치에 의하면, 한외여과 필터를 구비함으로써, 현상액은 여과액과 농축액으로 분리되고, 여과액은 현상액 순환탱크로 보내지고, 농축액은 한외여과 농축액 탱크로 보내지므로, 현상처리후의 현상액은 오염도가 낮은 현상액 순환탱크와 오염도가 높은 한외여과 농축액 탱크에 각각 저장된다.

현상조에서 피현상 기판의 현상처리에 사용되는 현상액은 현상액 순환탱크로부터 보내지기 때문에, 오염도가 낮아 현상액의 오염에 기인하는 제품불량은 저감한다. 또, 현상조도 종래와 비교하여 오염이 낮은 현상액이 사용되기 때문에, 장치로 인한 문제는 줄어, 메인터넌스성도 향상된다.

또, 분획 분자량 1000~입경 10㎛의 여과정밀도를 갖는 한외여과 필터를 사용함으로써, 현상액중의 용해 이온은 트랩되지 않으므로, 현상액 바로 그것의 특성이 손실되지 않고, 또, 오염 물질을 트랩할 수 있어, 여과액의 오염도를 낮은 레벨로 유지할 수 있다.

또, 현상장치의 연속가동시에 있어서, 한외여과 농축액 탱크내의 현상액의 일정량을 정기적으로 폐기하고, 현상액 순환탱크에 정기적으로 현상 신액의 일정량을 공급함으로써, 연속가동시에 있어서, 현상 신액은 현상액 순환탱크에 정기 공급되고, 또, 오염도가 높은 한외여과 농축액 탱크로부터는 공급량분의 정기 폐기를 실시함으로써, 필요한 여과액량의 확보에 시간이 걸리지 않아, 효율이 좋은 공급, 폐액 플로우가 가능하게 되고, 현상액 사용량의 삭감으로 이어진다.

현상 신액에서 시작하는 초기 상태의 현상액은 현상력이 강하고, 그 후, 점차로 현상 활성이 저하되기 때문에, 그 과정에서의 현상 시간의 미세 조정은 필요하게 된다. 이것은 현상액중의 활성종이 저감되기 때문이다. 따라서 활성종의 보충을 위해서는 현상 신액의 보충이 불가결하게 된다. 그러나, 현상 신액의 공급, 한외여과 농축액 탱크로부터의 폐기량을 일정하게 유지하고 있기 때문에 소정의 처리매수로 현상력은 정상에 도달하고, 또한 메인터넌스 빈도가 낮기 때문에, 그 정상상태의 조건 고정인채로 현상 패러미터의 세밀한 조정을 불필요하게 하여, 장시간의 안정한 현상이 가능하게 된다.

이러한 현상액의 현상력의 정상상태는 현상 신액의 공급량, 한외여과 농축액 탱크로부터의 현상액의 정기적 폐기량으로 정해진다. 피현상 기판에 의한 현상액 부담량을 무시하면, 공급량=폐기량으로 되고, 양자를 증감시킴으로써 정상상태에서의 현상력을 조정할 수 있다. 감광제의 종류에 따라 장시간의 현상이 필요한 경우에는 양자를 증량하고, 반대로 단시간 현상이 가능한 감광제의 경우에는 감소시키는 조치를 취하여 적정화하는 것도 가능하다.

사용하는 한외여과 필터는 사용시간에 대응하여 적지 않게 열화를 일으키고, 이것은 여과액량의 저하로 이어진다. 그러나, 각각의 한외여과 필터에 일정한 간격으로 역세정처리를 실시함으로써 이 열화를 억제할 수 있다.

또, 여과액 유량과 농축액 유량의 비인 투액률을 일정하게 고정함으로써, 농축액 유량이 변동한 경우에도 항상 적정한 여과액량이 얻어지고, 필터에 이러한 부하가 항상 일정하게 되어, 부하변동에 따른 필터 내벽면에의 오염물 고착을 억제할 수 있다. 이것은 역세정 효과의 향상으로 이어진다.

또, 최적의 액유량을 일정하게 유지함으로써, 단시간에서의 한외여과 필터의 눈막힘을 없앨 수 있다.

또, 한외여과 필터의 여과측의 압력을 최적값으로 일정하게 유지함으로써, 필터링 방향에 가해지는 힘의 벡터를 낮추어, 농축액측의 필터 벽면에의 오염물 부착을 억제하여 결과적으로 필터의 수명을 연장시킬 수 있다.

또, 사용하는 한외여과 필터는 현상액의 오염 물질을 트랩함으로써, 시간경과와 함께 필터에 눈막힘이 생겨 여과액량이 저하된다. 그러나, 각각의 한외여과 필터에 일정한 간격으로 역류처리를 실시함으로써, 오염 물질의 눈막힘을 해소할 수 있어, 한외여과 필터 내부의 오염 물질을 제거할 수 있어, 눈막힘에 의한 유량 저하를 억제할 수 있다.

도 1에 종래의 방식과 본 발명의 방식의 비교를 나타낸다. A는 본 발명에 있어서의 방식을 채용한 시간-현상액 오염도의 상관을 나타낸다. 이에 대해 B는 소정 매수의 피현상 기판을 현상처리한 후에, 모든 현상액을 드레인 하고, 현상 신액을 공급한 경우, C는 현상 신액의 공급과 현상액 탱크내의 현상액의 드레인을 연속적으로 실시하고, 소정 매수의 피현상 기판을 현상처리한 후에 현상액의 교환을 행한 경우의 시간-현상액 오염도의 상관을 나타낸다.

B의 방식에서는, 현상액 탱크내의 현상액의 정기적 드레인 및 현상 신액의 정기적 공급을 행하고 있지 않기 때문에, 오염도는 거의 직선적으로 악화된다. 반대로, C는 이것을 행하고 있기 때문에, 어떤 현상처리 매수에서 오염도는 정상에 달하지만, 러닝코스트를 고려한 드레인량에서는 역시 현상액의 오염도는 높아, 제품품질에 지장을 초래하는 경우가 많다. A는 C와 동일한 정도의 현상 신액의 공급량에서도, 현상액의 오염도를 상당히 낮게 억제할 수 있어, 도 1에 도시하는 바와 같이, 현상액 탱크내의 현상액을 모두 드레인 할 때까지의 인터벌을 충분히 길게 설정할 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 제품이 대형화해도 작업성은 악화되지 않고, 프로세스 관리가 극히 용이한 현상장치, 현상방법, 및 현상액 순환방법이 제공된다.

본 발명자들은 컬러 필터 제조를 위한 현상처리를 행한 경우의 현상액의 피현상 기판 1장당의 현상액의 사용량에 대해, 도 1의 C에 상당하는 종래의 방식과 도 1의 A에 상당하는 본 발명의 방식을 비교한 실험을 행했다. 그 결과를 하기 표에 나타낸다.

상기 표 1에 있어서, BM은 블랙 매트릭스, R은 적색 패턴, G는 녹색 패턴, B는 청색 패턴, PS는 포스트 스페이서의 현상액의 사용량을 각각 나타낸다.

상기 표 1로부터, 현상액의 사용량은 종래의 방식에서는, 전체로 컬러 필터 1장당 13인 것에 반해, 본 발명의 방식에서는 5와, 반 이하로 감소한 것을 알 수 있다. 이 결과로부터, 본 발명의 방식에 의해 대단히 큰 코스트 삭감 효과가 얻어지는 것을 알 수 있다. 또한, 본 발명의 방식(A)에서는 어느 부재도 현상액의 사용량은 거의 동일하다. 특히, B나 PS의 사용량이 감소했다.

이하, 본 발명의 1실시형태에 관한 현상장치, 현상방법, 및 현상액 순환방법에 대해, 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

도 2는 본 발명의 1실시형태에 관한 현상장치의 흐름도이다. 참조숫자 4는 현상액 순환탱크를 나타내고, 현상 신액은 현상 신액 공급 관로(3)를 통하여 이 현상액 순환탱크(4)에 공급된다. 현상액 순환탱크(4)내의 현상액은 현상액 순환펌프(17)를 통하여 현상액 유즈 포인트(1)로 보내지고, 현상조(2)에서 피현상 기판이 현상처리 된다. 도 2중, 유즈 포인트(1)를 샤워링 공정으로 하고 있는데, 이 방법에 한정되는 것은 아니다. 현상에 사용된 현상액은 관로(24)를 통하여 현상액 순환탱크(4)로 되돌려지고, 이 순환은 장치가동시 연속적으로 반복된다.

현상액 순환탱크(4)에 저장되어 있는 현상액의 일부는 현상 순환액 송액 펌프(15)를 통하여 한외여과 농축액 탱크(5)로 보내진다. 도 2중에는 기재되어 있지 않지만, 현상 신액의 공급은 현상 신액 공급 관로(3)로부터 뿐만아니라, 한외여과 농축액 탱크(5)에도 공급 가능하다. 따라서, 현상액의 갱신시 등에 있어서, 현상액 순환탱크(4) 및 한외여과 농축액 탱크(5)가 빈 상태로 운전하는 경우에는, 우선 현상액 순환탱크(4) 및 한외여과 농축액 탱크(5) 쌍방에 현상 신액을 충전한다. 현상액 순환탱크(4) 및 한외여과 농축액 탱크(5)에는 현상액량을 관리하기 위해서 액면 센서를 설치하는 것이 바람직하다.

한외여과 농축액 탱크(5)내의 현상액은 농축액 송액 펌프(16)를 통하여 5개의 한외여과 필터(7~11)에 보내진다. 현상액은 한외여과 필터에서 필터를 투과하는 여과액과, 투과하지 못한 농축액으로 분리되고, 전자는 3방밸브(14)의 방향에, 후자는 한외여과 필터 농축액 순환 관로(21)에 보내진다. 한외여과 필터 농축액 순환 관로(21)는 농축액이 한외여과 농축액 탱크(5)로 되돌려지는 순환 관로이다. 여과액은 통상, 3방밸브(14)를 통하여 한외여과 필터 여과액 관로(22)를 통과하여, 여과액 탱크(12)에 저장된다. 또한, 여과액 탱크(12)로부터는 여과액 송액 펌프(18)를 통하여 현상액 순환탱크(4)로 연속하여 보내진다.

가동시에는, 정투액률 모드, 정여과액 유량 모드, 또는 정여과액 압력 모드중 어느 하나의 모드가 선택되고, 각각 투과액률(여과액 유량과 농축액 유량의 비), 여과액의 유량, 또는 여과액의 압력을 일정하게 유지하도록 제어된 상태에서, 현상장치가 가동한다. 여기에서, 농축액 송액 펌프(16)는 인버터에 의한 주파수제어에 의해, 농축액의 송액압, 유량을 변동시킬 수 있지만, 상기 3모드에 링크된 제어는 행해지지 않는다. 펌프(16)는 조건산출에 설정한 초기 설정 압력이 항상 유지되도록 독립적으로 인버터 제어된다. 즉, 현상장치의 가동중은 압력계(43)가 항상 설정값으로 되도록 제어되어 있다.

정투액률 모드의 경우, 유량계(39)의 값(여과액 유량)과 유량계(38)의 값(농축액 유량)의 비(투과액률)이 설정한 값이 되도록 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)를 피드백 제어한다. 적정한 투과액률은 필터의 종류에 의존하는 바가 크고, 특히 필터를 구성하는 중공사의 내경 및 분획 분자량에 의해 좌우된다. 투과액률이 높으면, 농축액 유량에 대한 여과액 유량이 높아지고, 중공사 막 내벽표면에서의 오염물의 체류를 촉진하여, 역세정 효과를 저하시킨다. 투과액률의 최적값은 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)를 완전개방했을 때의 값의 80% 이하로 하는 것이 좋다. 이것은 밸브(35)를 좁혀서 가동하는 경우도 동일하다.

정여과액 유량 모드의 경우, 유량계(39)의 값이 한외여과 필터의 종류에 따라 최적의 값이 되도록 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)를 피드백제어 한다. 한외여과 필터의 최적의 유량은 종류에 따라 상이하기 때문에, 유량이 최적이 아닌 경우, 단시간에 필터의 눈막힘이 생겨, 필요한 양의 여과액을 확보할 수 없게 될 우려가 있다. 최적 유량값은 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)를 완전개방했을 때의 값의 80% 이하로 하는 것이 좋다.

정여과액 압력 모드의 경우, 압력계(42)의 값이 일정해지도록 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)가 제어된다. 압력계(42)의 설정값은 한외여과 필터의 정격압력 보다도 작은 값으로 함으로써 불필요한 눈막힘을 막아, 한외여과 필터의 메인터넌스 기간을 길게 할 수 있다. 압력계(42)의 설정값은 에어 오퍼레이션 밸브를 완전개방했을 때는 0kPa로 되기 때문에, 10kPa 이상으로 하는 것이 좋다.

한외여과 필터(7~11)는 현상액의 오염도나 용해되어 있는 감광제의 종류에 따라, 최적의 여과정밀도의 것을 선정할 필요가 있다. 본 실시형태에서는 분획 분자량 1000~입경 10㎛의 범위의 한외여과 필터를 대상으로 한다. 여과정밀도가 분획 분자량 1000 보다 작은 한외여과 필터의 경우, 용해 이온의 투과도 저지되기 때문에, 현상액 그 자체의 특성조차 잃어버릴 우려가 있고, 반대로 여과정밀도가 10㎛를 넘는 한외여과 필터의 경우에는, 오염 물질을 트랩할 수 없어, 여과액의 청정도가 떨어지기 때문에, 일반 필터와 구별할 의의가 없어진다. 일반적으로, 한외여과 필터의 여과정밀도는 분획 분자량이라고 불리는 값으로 구분되고 있다.

또한, 본 발명에 사용가능한 한외여과 필터는 정밀여과 필터, 마이크로 필터 등의 명칭으로 범용되는 것도 포함한다.

한외여과 필터의 여과액은 역세정용의 액으로서도 사용된다. 연속가동시, 역세정되는 한외여과 필터로서 항상 1개의 한외여과 필터가 선택되고 있다. 여기에서는 1예로서 한외여과 필터(7)가 선택되어 있는 것으로 한다. 한외여과 농축액 탱크(5)로부터 농축액 송액 펌프(16)를 통하여 전체 한외여과 필터로 보내지지만, 역세정 모드로서 선택되어 있는 한외여과 필터(7)로부터 얻어지는 여과액은 3방밸브(14)를 통하여 한외여과 필터 역세정용 여과액 관로(23)를 통과하여, 역세정 탱크(13)에 저장된다.

역세정 탱크(13)는 액면 레벨 센서를 구비하고 있고, 센서가 소정의 액면 레벨을 검출한 시점에서, 역세정액 송액 펌프(19)가 가동을 개시하고, 역세정용 여과액 관로(23) 및 3방밸브(14)를 통하여 한외여과 필터(7)의 여과액측으로 보내지고, 한외여과 필터(7)의 역세정을 행한다. 역세정에 사용된 액은 폐기해도 좋지만, 여기에서는 밸브(34) 및 역세정액 리턴 관로(20)를 통하여 한외여과 농축액 탱크(5)로 되돌려지는 예를 게시한다. 역세정 조작은 시간관리로 되어, 소정시간의 역세정 조작후, 다음 한외여과 필터(8)가 역세정 모드로 선택되어, 동일한 조작이 반복된다.

역세정 경로(23)에는 유량계(45) 및 압력계(46)가 부착되어 있고, 역세정 유량고정 모드와 역세정 압력고정 모드중 어느 하나가 선택된다. 역세정 유량고정 모드를 선택하고 있는 경우에는, 유량계(45)의 값이 설정값이 되도록 역세정 펌프(16)가 인버터 제어된다. 또, 역세정 압력고정 모드를 선택하고 있는 경우에는 압력계(46)의 값이 설정값이 되도록 역세정 펌프(16)가 인버터 제어된다. 역세정 유량고정 모드, 역세정 압력고정 모드 쌍방 모두, 각각의 필터마다 설정값을 준비하는 것도 가능하다.

역세정 시간은 장치의 제어계에 의해 관리된다. 각각의 필터마다 역세정 시간을 설정하는 것도 가능하지만, 기본적으로 한외여과 필터(7~11)는 모두 동일한 역세정 시간으로 역세정 되는 것이 바람직하다.

역세정시의 오토 밸브(30)는 개방상태 또는 폐쇄상태중 어느 하나를 선택할 수 있는 것으로 하고, 통상은 개방상태이며, 즉 농축액을 순환시키고 있는 상태에서 운전한다. 그러나, 농축액 순환압력이 높을 경우, 또는 역세정의 효과가 낮은 필터를 사용하는 경우에는, 닫힌 상태에서 운전하는 것이 바람직하다.

연속가동시에, 1개의 한외여과 필터내에, 통상 상태에서의 흐름 방향과 역방향으로 농축액을 흘리는 것이 가능하다. 여기에서는 1예로서, 한외여과 필터(7)에 농축액을 역류시키는 것으로 한다. 이와 같이, 한외여과 필터내에 농축액을 역류시켜서, 농축액의 흐름에 변화를 줌으로써 한외여과 필터내를 세정하는 효과를 얻을 수 있다.

농축액 송액 펌프(16)로부터 보내진 농축액은 밸브(30) 및 3방밸브(28)를 통하여 역류용 관로(44)를 통과하고, 3방밸브(29)를 통하여 한외여과 필터에 유입된다. 한외여과 필터 세정후의 농축액은 밸브(31)를 통하여, 한외여과 농축액 탱크(5)로 되돌려진다. 역류시간은 시간관리로 하여 소정 시간 역류한다. 이때, 여과액측의 밸브(32)는 닫혀 있다.

도 3은 농축액의 역류용의 관로를 필요로 하지 않는 현상장치의 흐름도이다. 농축액을 역류시키는 한외여과 필터는 항상 1개 있는 것으로 한다. 여기에서는 1예로서 한외여과 필터(7)가 선택되어 있는 것으로 한다. 역류 모드로 됨과 동시에 밸브(30)를 폐쇄, 밸브(31)를 개방하면, 한외여과 필터(8~11)로부터의 농축액이 유량계(38)를 통하여 한외여과 필터(7)에 흘러들어와, 한외여과 필터(7)로의 역류가 개시된다. 이때, 밸브(32)는 폐쇄되어, 여과액이 한외여과 필터(7)로부터 유출되지 않도록 한다. 또, 밸브(35)는 한외여과 필터(8~11)로부터 한외여과 필터(7)에 적절한 양의 농축액이 흘러 들어 오도록 조절한다.

(실시예)

이하, 이상에서 설명한 실시형태에 따른 구체적인 실시예에 대해 설명한다. 도 2중의 현상액 순환탱크(4), 한외여과 농축액 탱크(5), 여과액 탱크(12), 역세정 탱크(13)는 모두 액면 관리 센서를 구비하고, 항상 액면을 일정하도록 각각의 펌프에 피드백되는 것으로 했다. 특히, 현상 순환액 송액 펌프(15), 농축액 송액 펌프(16), 여과액 송액 펌프(18)는 밀접하게 관계되어 있고, 모든 기준이 되는 것은 여과액 송액 펌프(18)로부터 보내지는 여과액 유량이다.

이 여과액 유량은 즉, 한외여과 필터로부터 얻어지는 여과액 유량을 의미하고 있고, 한외여과 필터 여과액 관로(22)에 부착된 유량계(36)로부터 펌프 주파수를 제어하고 있다. 이것은 여과액 탱크(12)의 액면관리 센서로부터의 정보도 함께 항상 유량을 정밀 관리하고 있다. 현상 순환액 송액 펌프(15)는 기본적으로는 여과액 송액 펌프(18)의 유량이 그대로 피드백되고 있지만, 현상액 순환탱크(4)의 현상 신액의 정기 공급이나 한외여과 농축액 탱크(5)의 정기 드레인의 영향도 있기 때문에, 각각이 소유하는 액면관리 센서로부터의 피드백도 받고 있다.

본 실시예에서는 여과액 송액 펌프(18)에 의해 현상액 순환탱크(4)에 보내지는 여과액 유량은 10리터/분, 현상 순환액 송액 펌프(15)에 의해 한외여과 농축액 탱크(5)에 보내지는 현상액의 유량은 여과액 유량과 균형을 이루는 양으로서, 10리터/분이고, 현상액 순환펌프(17)에 의해 유즈 포인트(1)에 보내지는 현상액의 유량은 247리터/분으로 했다.

정여과액 유량 모드에서는 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)를 완전개방 했을 때의 최대 유량의 80%를 유량계(39)의 설정값으로 한다. 이렇게 함으로써, 연속가동시에, 한외여과 필터의 내부벽면에 생기는 불필요한 눈막힘을 항상 방지하여, 항상 일정량의 여과액을 얻을 수 있다. 유량계(39)에 의해 측정된 유량값이 그대로 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)에 피드백 되어 있어, 여과액 유량을 설정값으로 제어할 수 있다.

정여과액 압력 모드에서는 압력계(42)의 압력값을 일정하게 함으로써 한외여과 필터의 눈막힘을 억제하고, 한외여과 필터의 메인터넌스 기간을 길게 할 수 있다. 압력계의 압력은 에어 오퍼레이션 밸브(조정 밸브)(32)에 피드백 되어 있어 여과액 압력을 일정하게 유지한다. 압력계(42)의 설정값은 0kPa 이상이 아니면 안된다. 효율적으로 여과액을 확보하기 위해서는 10kPa 이상으로 할 필요가 있다.

사용하는 한외여과 필터는 5개로 하고, 분획 분자량이 30,000~50,000, 예를 들면 50,000의 것을 선정했다. 안료를 포함하는 현상액으로부터 안료를 제거하기 위해서는, 분획 분자량 10,000 이하로 할 필요가 있는데, 분획 분자량을 너무 내리면 현상액 그 자체의 조성에도 영향을 주기 때문에, 분획 분자량은 30,000~50,000이 적정하다고 판단했다. 이것은 여과액량을 충분하게 확보하기 위해서이며, 도 1에서 도시하는 A의 정상상태에서의 오염도를 낮추기 위해서이다.

농축액을 보내는 펌프(16)는 5개의 한외여과 필터에 합계 약 700리터의 현상액을 송액하고, 약 3~10%, 예를 들면 5%의 여과액 회수율로 설계했다. 한외여과 필터에의 송액압력은 필터의 품질 규격 상한의 50%를 목표로 하고, 가동 시스템으로서는 송액압 고정 모드, 여과액 유량고정 모드의 2종 선택 가능한 장치로 했다.

송액압 고정 모드란 한외여과 필터의 입력측의 압력을 고정하여 가동하는 모드로, 여과액의 유량제어에는 관계되지 않는다. 즉, 액측 밸브(32)는 수동 밸브면 된다. 여과액 유량고정 모드란 여과액 경로(22)의 유량을 고정하는 모드이다. 쌍방 모두 압력계(43) 및 유량계(38)로부터 펌프(16)에 피드백이 걸려, 인버터에 의해 주파수 제어된다.

송액압 고정 모드는 농축액의 종류나 한외여과 필터의 시간 경과에 따른 막힘에 의해 여과액량이 변동하기 때문에, 현상액의 안정한 조성을 유지하기 위해서는 여과액 유량고정 모드가 바람직하다. 그것을 위해서는, 여과액 유량의 변동이 적고, 농축액 평균압력도 낮은 상태에서 가동할 수 있는 한외여과 필터를 선정할 필요가 있다. 또한, 농축액 평균압력이란 한외여과 필터의 입력측과 출력측의 압력을 가산하여 2로 나눈 값이며, 목표로서는 100kPa 이하인 것이 바람직하다.

이하에, 역세정의 실시예에 대해 나타내는데, 농축액 압력은 100kPa 정도인 것으로 한다.

농축액 평균압력이 100kPa 정도의 경우, 역세정시의 농축액 순환 밸브는 개방상태인 것이 바람직하다. 이것은, 일반적인 한외여과 필터의 품질 규격압력이 300kPa이므로, 300kPa의 역세정 압력을 인가함으로써, 차압 200kPa에서의 역세정 효과가 얻어지기 때문이다. 역세정 압력을 농축액 평균압력의 2배 이상으로 설정가능한 경우, 농축액을 순환시킨 상태에서 역세정을 실시한 쪽이 효과가 높다고 생각된다.

이상은 역세정 압력고정 모드에 관한 설명이지만, 역세정 압력이 동일하여도, 역세정 유량이 크게 변동하는 경우가 있다. 이것은 한외여과 필터의 눈막힘 상태와 관계되는 경우가 많다. 즉, 필터가 눈막힘 되어가면, 점차로 역세정 유량도 적어지고, 역세정 효과가 낮아지기 때문에, 한외여과 필터의 눈막힘을 가속시킨다. 이러한 현상이 일어나는 경우에는, 역세정 유량고정 모드를 선택하는 것이 바람직하다. 단, 이 경우는 역세정 압력의 상한을 만들 필요가 있다.

역세정 시간은 길면 길수록 세정효과는 높지만, 본 발명에서는 1개의 한외여과 필터당 20초를 최저한으로 하고, 그 이상인 것이 바람직하다. 전술한 바와 같이, 역세정은 한외여과 필터 1개씩 자기세정 되기 때문에, 역세정 시간을 너무 길게 잡으면, 1개의 한외여과 필터에 착목한 경우의 역세정 간격이 길어져버린다. 여기에서 말하는 역세정 간격은 역세정 인터벌이라고 부르고, 30분 이내가 되도록 역세정 시간과의 밸런스를 조정하고 있다. 도 4에 역세정 시간과 역세정 인터벌의 관계를 도시했다.

도 4중의 T1, T3, T5, T7, 및 T9는 각각의 한외여과 필터(7~11)에 있어서의 역세정 탱크의 저장 시간, T2, T4, T6, T8, T10은 각각의 한외여과 필터(7~11)의 역세정 시간이다. 그리고, 도면중의 T11이 역세정 인터벌이 된다. 저장 시간을 3분, 역세정 시간을 1분으로 상정한 경우, 역세정 인터벌은 단순 계산으로 20분이 된다. 역세정 후에 5개의 한외여과 필터(7~11) 모두의 가동을 짜 넣을 수도 있지만, 역세정 인터벌의 증가, 제어계에의 부하에 의한 여과액 유량이나 농축액 순환압력이 변동하기 때문에, 도 4에 도시하는 예에서는, 4개의 한외여과 필터의 가동을 상정했다.

저장 시간은 역세정액의 사용량에 크게 관련된다. 역세정액의 사용량이 많은 경우에는 다음의 한외여과 필터에 역세정 모드가 이행했을 때에, 사용한 분량의 여과액을 역세정 탱크에 저장할 필요가 있기 때문이다. 따라서, 역세정액의 사용량이 많으면 저장 시간이 길어지고, 결과적으로 역세정 인터벌이 길어진다.

역세정의 효과는 역세정 유량 또는 역세정 압력이 클 수록 높다. 따라서, 역세정 압력을 막 품질 규격값의 최대까지 올려서 정압 가동하면 최적인 것 같은 오해를 초래한다. 그러나, 실제는 역세정 인터벌과의 밸런스를 고려할 필요가 있다. 본 발명에서 역세정 유량고정 모드와 역세정 압력고정 모드중 어느쪽인가를 선택 가능하게 함으로써 역세정 조건과 역세정 인터벌의 밸런스를 한외여과 필터와 현상액과의 적합성에 입각하여 세밀하게 조건설정하는 것이 가능하게 된다.

다음에 여과액에 의한 역세정과 농축액의 역류에 의한 세정 쌍방을 행하는 기구의 타임 차트를 도 5에 도시한다. 도 5에 있어서, a는 도 1에서 도시하는 5개의 한외여과 필터를 모두 가동하고 있는 타임 인터벌을 나타낸다. g는 한외여과 필터(7)내의 농축액을 역류시키고, 그것에 의해 한외여과 필터를 세정하고 있는 타임 인터벌을 나타낸다. 이때, 한외여과 필터(7)의 여과액측의 밸브는 폐쇄되기 때문에, 얻어지는 여과액량은 타임 인터벌 a의 경우보다도 감소한다. b는 농축액의 역류의 설정시간이 종료되고, 여과액측의 밸브가 개방되고, 한외여과 필터(7)로부터 얻어지는 여과액이 역세정 탱크의 소정의 액체면 레벨에 도달할 때까지의 시간을 나타낸다. c는 역세정 탱크의 액면 센서가 설정된 액면 레벨을 검출하고, 한외여과 필터(7)의 역세정을 실시하기 위해서 요하는 시간을 나타낸다.

타임 인터벌 c가 완료된 시점에서, 5개의 한외여과 필터는 다시 가동으로 이행한다. d는 한외여과 필터(8)의 역세정 모드전의 전체 필터 가동시의 타임 인터벌을 나타낸다.

f는 타임 인터벌 a, g, b, 및 c의 합계이며, 세정(역세정 및 역류)를 위해서 선택된 한외여과 필터(7)의 1사이클은 이 시간으로 결정된다.

그 후, 역세정?역류 모드는 다음 한외여과 필터(8)로 이동되고, 타임 인터벌 h에서 다시 한외여과 필터(8)내의 농축액이 역류하고, 종료후, 역세정 탱크에 여과액 저장을 개시한다. 동일하게 하여, 이 역세정?역류 사이클을 각각의 한외여과 필터로 순차 실시한다.

1사이클중에서, b는 필터 송액압이나 필터의 종류에 의해 결정되는 시간이다. 따라서 c, f를 패러미터로 하여 결정함으로써, 1사이클은 임의로 결정된다. 이 패러미터의 결정에 의해, 여과액량, 역세정 효율이 결정되기 때문에, 적정한 값으로 가동할 필요가 있다. 역세정은 압력고정으로 하고, 단시간에 가능한 한 많이 투액하기 위해 압력 상한값 그대로의 값으로 실시했다.

Claims (17)

1) 현상처리가 행해지는 현상조와, 현상액을 수용하는 현상액 순환탱크와, 상기 현상액 순환탱크 내의 현상액을 상기 현상조로 보내는 수단과, 상기 현상조에서 현상처리에 사용된 후의 현상액을 상기 현상액 순환탱크로 되돌리는 수단을 구비하는 현상액 순환계,

2) 상기 현상액을 여과액과 농축액으로 분리하는 복수개의 한외여과 필터, 및

3) 상기 현상액 순환탱크로부터 일부가 꺼내어진 현상액을 수용하는 한외여과 농축액 탱크와, 상기 한외여과 농축액 탱크 내의 현상액을 상기 한외여과 필터로 보내는 수단과, 상기 한외여과 필터에서 분리된 농축액을 상기 한외여과 농축액 탱크로 되돌리는 수단과, 상기 한외여과 필터에서 분리된 여과액을 이 여과액을 수용하는 여과액 탱크를 거쳐 상기 현상액 순환계로 되돌리는 수단을 구비하는 여과액?농축액 순환계,

4) 상기 한외여과 필터에서 분리된 여과액의 일부를 여과 필터의 역세정액으로서 저장하는 역세정 탱크와, 상기 역세정 탱크로부터 상기 복수개의 한외여과 필터의 일부에 역세정액을 송액하는 수단을 구비하는 역세정액 공급계, 및

5) 현상장치의 연속가동시에 있어서 상기 한외여과 농축액 탱크 내의 현상액의 일정량을 정기적으로 폐기하는 수단 및 현상장치의 연속가동시에 있어서 상기 현상액 순환 탱크에 정기적으로 현상 신액의 일정량을 공급하는 수단을 구비하고,

상기 5)의 수단에 의해 현상액의 현상력의 조정이 가능한 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 1 항에 있어서, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 조절하기 위한 조정 밸브, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 측정하는 유량계, 상기 한외여과 필터로부터의 농축액의 유량을 측정하는 유량계, 상기 여과액 유량과 농축액 유량의 비를 최적값으로 일정하게 유지하도록 자동조절 하는 정투액률 모드 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 1 항에 있어서, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 조절하기 위한 조정 밸브, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 측정하기 위한 유량계 및 상기 여과액 유량을 최적값으로 일정하게 유지하도록 자동조절 하는 정여과액 유량 모드 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 유량을 조절하기 위한 조정 밸브, 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 압력을 측정하기 위한 압력계, 및 상기 한외여과 필터로부터의 여과액의 압력을 최적값으로 일정하게 유지하도록 자동조절 하는 정여과액 압력 모드 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 역세정액 공급계는 상기 역세정액의 유량을 측정하는 유량계 및 상기 역세정액의 압력을 측정하는 압력계를 구비하는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 5 항에 있어서, 상기 역세정액 공급계는 상기 유량계 또는 압력계중 어느 하나로부터 피드백 된 측정값에 기초하여, 상기 역세정액의 유량 또는 압력을 설정값으로 유지하도록 제어하는 역세정 제어시스템을 구비하는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 6 항에 있어서, 상기 역세정 제어시스템은 역세정 시간을 설정하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 6 항에 있어서, 상기 한외여과 필터의 상류의 농축액 순환경로에 오토 밸브를 구비하고, 상기 역세정 제어시스템은 상기 밸브를 역세정시에 밸브 폐쇄상태 또는 밸브 개방상태로 선택할 수 있는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 제 1개째의 한외여과 필터로부터의 여과액을 다른 한외여과 필터의 여과액과는 독립적으로, 상기 역세정 탱크에 저장하고, 저장한 여과액을 제 1개째의 한외여과 필터의 역세정액으로서 사용하고, 제 2개째 이후의 한외여과 필터를 동일하게 하여 순차 역세정하는 기구를 구비하고, 연속가동시에는 복수개의 한외여과 필터가 정기적으로 순차 역세정되는 것을 특징으로 하는 현상장치.

제 4 항에 있어서, 제 1개째의 한외여과 필터내의 농축액의 흐름을 통상 상태에서 흐르는 방향과는 반대인 방향으로 역류시켜서 농축액의 흐름을 변화시킴으로써 한외여과 필터 내부를 세정하고, 제 2개째 이후의 한외여과 필터에 대해 순차적으로 동일하게 하여 농축액의 흐름을 역류시키는 기구를 구비하고, 연속가동시에는 복수개의 한외여과 필터에 대해 순차적으로 농축액의 흐름을 역류시키는 것을 특징으로 하는 현상장치.

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