JP5287459B2 - 限外濾過フィルタの洗浄方法及び限外濾過フィルタを用いた現像装置 - Google Patents
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Description
前記逆洗浄する工程が、前記複数の限外濾過フィルタの各々の状態を、逆洗浄に使用する濾液を収納する逆洗浄タンク内に備えた液量計から得られた液面の上昇する速度を基に、限外濾過フィルタの閉塞及びリークを判定し、
前記検知された状態に応じて個別に逆洗浄の条件を設定することを特徴とする限外濾過フィルタの洗浄方法である。
前記逆洗浄に使用する前記濾液を収納する逆洗浄タンク内に液量計を備え、
前記液量計から得られる液面の上昇する速度を基に前記複数の限外濾過フィルタの閉塞及びリークを判定し、その判定に応じて個別に逆洗浄の条件設定する機構を有することを特徴とする現像装置である。
るとともに、逆洗浄対象の限外濾過フィルタを順次切り換えて、各限外濾過フィルタを適切に再生することにより、濾過能力の標準化を図ることができる。
20・・・現像槽
30・・・限外濾過濃縮液タンク
40・・・限外濾過フィルタ
45・・・三方弁
50・・・濾液リザーブタンク
60・・・逆洗浄タンク
61・・・貯蔵濾液
62・・・送液ポンプ
64・・・状態検知機構
65・・・液量計
65L・・・最低液面
65H・・・最高液面
66・・・逆洗浄条件設定駆動機構
68・・・信号線
70・・・現像新液供給タンク
80・・・装置制御系
85・・・逆洗浄駆動機構
Claims (4)
- 複数の限外濾過フィルタを並列に並べて液を通過させる循環機構において、前記複数の限外濾過フィルタの内で順次一つずつの限外濾過フィルタを逆洗浄する工程を含む限外濾過フィルタの洗浄方法であって、
前記逆洗浄する工程が、前記複数の限外濾過フィルタの各々の状態を、逆洗浄に使用する濾液を収納する逆洗浄タンク内に備えた液量計から得られた液面の上昇する速度を基に、限外濾過フィルタの閉塞及びリークを判定し、
前記検知された状態に応じて個別に逆洗浄の条件を設定することを特徴とする限外濾過フィルタの洗浄方法。 - 前記検知された状態に応じて個別に限外濾過フィルタの逆洗浄の条件を設定する動作が、前記逆洗浄の時間及び逆洗浄させるポンプの周波数により制御されることを特徴とする請求項1に記載の限外濾過フィルタの洗浄方法。
- 現像液循環系を有する現像装置であって、循環現像液の一部を並列配置された複数の限外濾過フィルタにより濾過して濾液と濃縮液とに分離する手段を備え、前記複数の限外濾過フィルタの内で順次一つずつの限外濾過フィルタを逆洗浄する手段を備えた現像装置において、
前記逆洗浄に使用する前記濾液を収納する逆洗浄タンク内に液量計を備え、
前記液量計から得られる液面の上昇する速度を基に前記複数の限外濾過フィルタの閉塞及びリークを判定し、その判定に応じて個別に逆洗浄の条件設定する機構を有することを特徴とする現像装置。 - 前記検知された状態に応じて個別に限外濾過フィルタの逆洗浄の条件を設定する機構が、前記逆洗浄の時間及び逆洗浄させるポンプの周波数により制御されることを特徴とする請求項3に記載の現像装置。
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