DE746961C - Vorrichtung zum Aufbringen lichtempfindlicher Schichten auf insbesondere lichtdurchlassige Traeger - Google Patents

Vorrichtung zum Aufbringen lichtempfindlicher Schichten auf insbesondere lichtdurchlassige Traeger

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DE746961C
DE746961C DEH163316D DEH0163316D DE746961C DE 746961 C DE746961 C DE 746961C DE H163316 D DEH163316 D DE H163316D DE H0163316 D DEH0163316 D DE H0163316D DE 746961 C DE746961 C DE 746961C
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Germany
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container
coating liquid
arm
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DEH163316D
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English (en)
Inventor
Fritz Hermann Hausleiter
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum.Aufbringen lichtempfindlicher Schichten auf insbesondere lichtdurchlässige Träger Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufbringen lichtempfindlicher Schichten auf insbesondere lichtdurchlässige Träger, wie z. B. Filme u. dgl., mit Hilfe einer Schleuder, in deren Mittelpunkt die Beschichtungsflüssigkeit durch einen über die Mitte der Schleuder gebrachten Behälter für die Beschichtungsflüssigkeit aufgegeben wird.
  • Bei den bekannten Vorrichtungen dieser Art wird der Behälter von Hand über die Mitte der Schleuder geführt. Da nun eine gleichmäßige Verteilung und ein sparsamer Verbrauch der Beschichtungsflüssigkeit erwünscht sind, muß die Flüssigkeit möglichst genau in der Mitte der Schleuder aufgegeben werden. Das gelingt nun aber beim Aufbringen der Beschichtungsflüssigkeit mittels eines frei von Hand über die Mitte der Schleuder zu führenden Behälters in den wenigsten Fällen. Meist wird nämlich die Beschichtungsflüssigkeit mehr oder minder weit vom Mittelpunkt der Schleuder aufgegeben; wodurch, abgesehen von dem Mehrverbrauch an Beschichtungsflüssigkeit, die Gefahr besteht, dar die Flüssigkeit sich ungleichmäßig über den zu überziehenden Träger ausbreitet und sogenannte Straßen bildet.
  • Um diesen Nachteil zu vermeiden, ist nach der Erfindung der die Beschichtungsflüssigkeit enthaltende Behälter an einem schwenkbaren, vorzugsweise an der Seitenwand der Schleuder gelagerten Arm angeordnet. Hierdurch wird erreicht, daß der Aufgabebehälter beim Einschwenken des Armes sicher über den Mittelpunkt der Schleuder gelangt und die Flüssigkeit während der ganzen Beschichtung tatsächlich und nicht nur vorübergehend einmal zufällig im Mittelpunkt aufgegeben wird, was zur Folge hat, daß die Flüssigkeit sich immer gleichmäßig über den zu überziehenden Träger verteilt. Jeder Träger erhält somit auch dieselbe Beschaffenheit wie die vorhergehenden Träger.
  • Vorteilhaft wird der den Aufgabebehälter tragende Arm in seiner Länge verstellbar ausgebildet. Fernerhin kann der Arm bzw. nur der vordere Teil desselben und mit ihm der Aufgabebehälter in der Höhe verstellbar sein. Zitfn Halten des :1"tifgabebehälters wird zweckmäßig der Arm an seinem freien Ende zu einer Schlinge o. dgl. ausgebildet, auf oder in der der Behälter abnehmbar ruht.
  • Um zu erreichen, da,ß in der Zei.teinlieit die richtig abgemessene Menge der Beschichtungsflüssigkeit auf den züi beschichtenden Träger gelangt, mull die Auslaßöffnung des Behälters je nach der Beschaffenheit der Beschichtungsflüssigkeit eine bestimmte Weite haben. Es darf nämlich von der Lösung nur jeweils so viel auf den umlaufenden Träger gelangen, als durch die Zentrifugalkraft weiter befördert werden kann, da, wenn z. B. mehr Flüssigkeit aus dein Behälter abfließt, es zu Cberstürzungen an den Randzonen der sich ausbreitenden Flüssigkeit kotntnt und Straßen entstehen. Diese Straßen bilden sich auch. wenn zu wenig Flüssigkeit auf die Platte aufgebracht wird. t m dies "Ziel züi erreichen, tim also nicht jedesmal mit der Änderung der Bechichtungsfliissigkeit einen neuen rehälter mit entsprechender Öffnung einsetzen zu müssen, kann die Behälteröffnung erfindungsgeinäß in ihrer Weite reggelbar ausgebildet sein. Die Weite der Auslaßöffnutig des Behälters karm auch in vorteilhafter Weise entsprechend der Viscosität der jeweils benutzten Beschichtungsflüssigkeit einstellbar sein. Hierdurch wird an Bcschichtungsflüssigkeit gespart.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht der Behälter aus einem züi einem Trichter gestalteten Sieb, das in dein schlaufenartigen Ende des :-.rmes ruht. Ebenso kann in dem Behälter. und zwar vornehmlich in der Nähe seiner Austrittsöffnung, ein Sieb vorgesehen sein.
  • Die Merkmale der Unteransprüche sind nicht an sich, sondern nach Maßgabe von deren Zurückbeziehung nur in Verbindung mit den Merkmalen vorangehender Ansprüche Gegenstand der Erfindung.
  • Auf der Zeichnung ist schematisch ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt, und zwar zeigt Abb. i einen Grundriß einer Schleuder mit verschwenkbarein, den =@ufgabebehä lter tra-Betiden .lt-m und Abb. : einen Längsschnitt der Mili. i.
  • Der mit Beschichtungsflüssigkeit zu überziehende Träger, z. B. ein Film oder eine Glasplatte, wird auf die Grundfläche i aufgebracht. Diese Grundfläche i wird in bekannter Weise, z. B. über einen Riementrieb, in Drehung versetzt, während das Gehäuse 2 der Schleuder stillsteht. An der Seitenwand 3 der Schleuder sind Lager .1, 5 für einen Arm 6 vorgesehen, der in diesen Lagern schwenkbar gelagert ist. Dur vordere Teil 7 diese, Arines c> ist in einer ' auf dem Schenkel 8 des Armes 6 in senkrechter Richtung verschiebbaren und mittels einer Mutter 9 in der jeweils gewünschten Höhenlage feststellbaren Hülse io derart gelagert, daß er auch in waagerechter Richtung verschiel)bar ist. Zu diesem Zweck hat die FTülse io einen Ansatz i i, in dem dt-t- Teil 7 verschiebbar gelagert ist und durch eine Schraube 12 in der jeweiligen Einstellage gesichert wird.
  • Das vordere Ende des Teiles j ist @tls Schlaufe 13 ausgebildet und dient zur Aufnahme eines die Beschichtungstlüssigkeit auf die Platte i bringenden Behälters, z.B. eitles Trichters i.T, in welchem ein Sieb angeordnet ist, das gleichzeitig dazu dient, Luftblasen zttrückzuhalten.
  • Die #liuslaßöffnung hat eine hustininite Größe und steht in einem gewissen Vet-hä ltnis zur Art der Lösung,. mit der beschichtet werden soll. Es darf nmlich durch die Ofnung in der Zeiteinheit nur soviel BeschIchtungsflüssigkeit auf die umlaufende Platte i gelangen, als dort durch die Zentrifugalkraft weitet befördert «-erden kann. Kommt mehr 13eschichtungsflüssiglieit auf die Platte. so kornrot es zu Überstürzungen an den Randzonen der sich ausbreitenden Flüssigkeit. und es etnstehen Straßen auf dein zu üeschiiIitenden Träger, so daß dieser mit einer gegebenen Menge Beschichtungsflüssigkeit nicht bedeckt wird oder erst dann, wenn die Menge et-liiilit wird. Ähnlich verhält es sich, weite die i)ftnttng züi klein ist, weil dann nicht genügend I-Jeschiclitungsflüssigkeit auf die rotierende Platte i gelangt, die Ausbreitung (irt-sull)ett nicht richtig Schritt hält und es dann zu den Straßenbildungen kommt, die den erhöhten Verbrauch an der meist t@ertviilleti Beschichtungsflüssigkeit bedinget). Dit@r-iille der Öffnung muß der Viscosität der jeweiligen Beschichtungsflüssigkeit ungefälii- angepaßt sein. Am einfachsten wählt man <lauer einen Aufgabebehälter, dessen _@wlal:@iiifnung in ihrer Weite regelbar- ist, indem z. B. zwei (>der mehrere gegeneinander- verschieb- oder drehbare, untereinanderliegende Sieb- öder Lochscheiben vor der Auslaföffnung des Behälters angeordnet sind, so dal) inan sie entsprechend der Viscosität der jeweiligen Beschichtungsflüssigkeit verstellen kann. Der Aufgabebehälter wird dabei vorteilhaft leicht lii,lrir mit dein Teil 7 des Armes 6 verbunden.
  • Die Erfindung ist nicht auf die Anordnung des Armes an der Seitenwand 3 des Schleudergehäuses beschränkt, sondern es kann auch jede andere Ausbildung gewählt werdet), die es ermöglicht, den Aufgahebehälter genau über die Mitte der Schleuder züi bringen. So kann z. B. der Aufgabebehälter auch an einuni Tiber der Schleuder befindlichen <),--stell befr;tigt sein, und zwar derart, daß der ihn tragende Arm o. dgl. je nach Bedarf über die Mitte der Schleuder geschwenkt bzw. von derselben entfernt werden kann.

Claims (7)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zum Aufbringen lichtempfindlicher Schichten auf insbesondere, lichtdurchlässige Träger mit Hilfe einer Schleuder, in deren Mittelpunkt die Beschichtungsflüssigkeit durch einen über die Mitte der Schleuder gebrachten Behälter für die Beschichtungsflüssigkeit aufgegeben wird, dadurch gekennzeichnet, daß, der Behälter (T4) an einem schwenkbaren, vorzugsweise an der Seitenwand (3) der Schleuder gelagerten Arm (6, 7) angeordnet ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Arm (6, 7) in seiner Länge verstellbar ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Arm (6, 7) bzw. nur der vordere Teil (7) des Armes und mit ihm der Behälter (T4) in der Höhe verstellbar ist.
  4. Vorrichtung nach einem der Allsprüche i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Arm (6, 7) an seinem freien Ende zu einer Schlinge (13) o. dgl. ausgebildet ist, auf oder in der der Behälter (i,.) abnehmbar ruht.
  5. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche -i bis q., dadurch gekennzeichnet, daß in dem Behälter (i-[) ein Sieb vorgesehen ist, und zwar vornehmlich in der Nähe seiner Austrittsöffnung.
  6. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der -Behälter (T4) aus einem zu einem Trichter gestalteten Sieb bestellt.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der An-Sprüche i bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslaßöffnung des Aufgabebehälters (T4) für die Beschichtungsflüssigkeit in ihrer Weite regelbar ist. B. Vorrichtung nach einem der Ansprüche i bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Weite der Auslaßöffnung des Behälters (i-.) jeweils entsprechend der Viscosität der Beschichtungsflüssigkeit eingestellt wird. Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegenstandes vorn Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: deutsche Patentschriften .... Nr. a.25 I 5a, 635 73-h
DEH163316D 1940-09-28 1940-09-29 Vorrichtung zum Aufbringen lichtempfindlicher Schichten auf insbesondere lichtdurchlassige Traeger Expired DE746961C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1096197B (de) * 1957-09-23 1960-12-29 Hanns Waldhauser Vorrichtung zum UEberziehen von ebenen Schichttraegern mit lichtempfindlichen Schichten

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE425154C (de) * 1923-05-23 1926-02-12 Eugen Albert Dr Vorrichtung zum UEberziehen von ebenen Flaechen mit gleichmaessigen Schichten, insbesondere fuer Zwecke der Reproduktionstechnik
DE635734C (de) * 1933-05-18 1936-09-24 William Carl Huebner Vorrichtung zum Aufbringen einer fluessigen, spaeter trocknenden Schicht auf Platten, insbesondere einer lichtempfindlichen Schicht auf Druckplatten

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