DE712346T1 - Verfahren und vorrichtung zur zufuhr von stickstoff zu einer laserstrahlmaschine - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur zufuhr von stickstoff zu einer laserstrahlmaschineInfo
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- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 2
- 235000018453 Curcuma amada Nutrition 0.000 claims 1
- 241001512940 Curcuma amada Species 0.000 claims 1
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Claims (16)
1. Verfahren für die Zuführung von Stickstoffgas in das
Lichtweg-System einer Laserstrahlmaschine, welches die folgenden Verfahrensschritte umfaßt:
Zuführen von komprimierter Luft in einen Luftabscheider (15) zum Abscheiden von Sauerstoff und Stickstoff aus der zugeführten
komprimierten Luft; und
Einbringen des von dem Luftabscheider abgeschiedenen stickstof freichen Gases in eine Lichtweg-Abdeckung (11) des Lichtweg-Systems
(13) der Laserstrahlmaschine, um in der Lichtweg-Abdeckung einen Innendruck aufrecht zu erhalten, der höher
als der äußere Luftdruck ist.
2. Verfahren für die Zuführung von Stickstoffgas in das
Lichtweg-System nach Anspruch 1, des weiteren gekennzeichnet durch den Verfahrensschritt des Durchleitens des von dem
Luftabscheider abgeschiedenen stickstoffreichen Gases durch ein Filter (33) zur Entfernung von Ölnebel, bevor das stickstoff
reiche Gas in die Lichtweg-Abdeckung (11) des Lichtweg-Systems (13) der Laserstrahlmaschine eingeleitet wird.
3. Vorrichtung zur Zuführung von Stickstoffgas in das Lichtweg-System
einer Laserstrahlmaschine, mit:
einem Luftabscheider (15) zum Abscheiden von Sauerstoff und Stickstoff aus komprimierter Luft; und
Leitungseinrichtungen (23) zur Einleitung des von dem Luftabscheider abgeschiedenen stickstoffreichen Gases in eine
Lichtweg-Abdeckung (11) des Lichtweg-Systems (13) der Laserstrahlmaschine .
4. Vorrichtung zur Zuführung von Stickstoffgas in ein Lichtweg-System
nach Anspruch 3, des weiteren enthaltend:
ein erstes Filter (19) zur Entfernung von Staub aus der komprimierten
Luft, bevor die komprimierte Luft dem Luftabscheider zugeführt wird; und
ein zweites Filter (33) zur Entfernung von in dem stickstof freichen Gas enthaltenen Ölnebel, bevor das stickstoffreiche
Gas in die Lichtweg-Abdeckung des Lichtweg-Systems der Laserstrahlmaschine eingegeben wird.
5. Laserstrahlmaschine mit:
einem Luftabscheider (15) zur Abscheidung von Sauerstoff und Stickstoff aus komprimierter Luft;
ersten Leitungseinrichtungen (23) zum Einbringen des von dem Luftabscheider abgeschiedenen stickstoffreichen Gases in eine
Lichtweg-Abdeckung (11) der Laserstrahlmaschine als ein schützendes Gas; und mit
zweiten Leitungseinrichtungen (39,41,47) zum Einbringen des von dem Luftabscheider abgeschiedenen stickstoffreichen Gases
in einen Laserstrahl-Kopf (7) der Laserstrahlmaschine als ein Hilfsgas.
6. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 5, des weiteren enthaltend.:
ein erstes Filter (19) zum Entfernen von Staub aus der komprimierten
Luft, bevor die komprimierte Luft dem Luftabscheider eingegeben wird; und
ein zweites Filter (33), das in dieser ersten Leitungseinrichtung (23) angeordnet ist, zur Entfernung von in dem
stickstoffreichen Gas enthaltenen Ölnebel, bevor das stickstoffreiche
Gas in die Lichtweg-Abdeckung der Laserstrahlmaschine eingegeben wird.
7. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich
net/ daß die zweite Leitungseinrichtung aus einer Leitung (39) besteht, die zwischen der Lichtweg-Abdeckung (11) und
dem Laserstrahl-Kopf (7) angeschlossen ist zur Zuführung des stickstoffreichen Gases in den Laserstrahl-Kopf als ein
Hilfsgas.
8. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich net, daß die zweite Leitungseinrichtung eine Abzweigungsleitung
(41) ist, die zwischen dem Luftabscheider und dem Laserstrahl-Kopf (7) angeschlossen ist, zur Zuführung des stickstof
freichen Gases in den Laserstrahl-Kopf als ein Hilfsgas.
9. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich net, daß die zweite Leitungseinrichtung eine erste Leitung
(47) enthält, die an einer ersten Auslaßöffnung (15B) des Luftabscheiders (15) angeschlossen ist, zur Abgabe des stickstof
freichen Gases; und
eine zweite Leitung (49) aufweist, die an einer zweiten Auslaßöffnung
(15c) des Luftabscheiders (15) angeschlossen ist, zur Abgabe des sauerstoffreichen Gases.
10. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 9, des weiteren enthaltend:
ein erstes Umschaltventil (55A), das auf halber Länge der ersten Leitung (47) angeordnet ist, zur Zuführung des stickstof
freichen Gases in den Laserstrahl-Kopf, wenn es geöffnet ist; und
ein zweites Umschaltventil (55B), das auf halber Länge der zweiten Leitung (49) angeordnet ist, zur Zuführung des sauerstof
freichen Gases in den Laserstrahl-Kopf, wenn es geöffnet ist.
11. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 10, des weiteren enthaltend:
ein erstes Drucksteuerventil (51A), das auf halber Länge der ersten Leitung (47) angeordnet ist, zur Steuerung des Druckes
in der ersten Leitung; und
ein zweites Drucksteuerventil (51B), das auf halber Länge der zweiten Leitung (49) angeordnet ist, zur Steuerung des Drukkes
in der zweiten Leitung.
12. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 11, dadurch gekenn zeichnet, daß die Reinheit des stickstoffreichen Gases ansteigt,
wenn der Druck in der ersten Leitung durch das erste Drucksteuerventil (51A) angehoben wird, aber abfällt, wenn
der Druck darin von diesem abgesenkt wird.
13. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 11, dadurch gekenn zeichnet, daß die Reinheit des stickstoffreichen Gases ansteigt,
wenn der Druck in dieser ersten Leitung durch das erste Drucksteuerventil (51A) konstant gehalten wird und wenn
der Druck in der zweiten Leitung von dem zweiten Drucksteuerventil (51B) abgesenkt wird, aber abfällt, wenn der Druck in
der ersten Leitung von dem ersten Drucksteuerventil (51A) konstant gehalten wird und wenn der Druck in der zweiten Leitung
von dem zweiten Drucksteuerventil (51B) erhöht wird.
14. Lasersrrahlmaschine nach Anspruch 11, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Reinheit des stickstoffreichen Gases in etwa
konstant gehalten werden kann, wenn eine Druckdifferenz zwischen der ersten und der zweiten Leitung (47,49) in etwa
konstant gehalten wird.
15. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 11, des weiteren enthaltend:
ein erstes Steuerventil (65A) zur Fernbetätigung des ersten Drucksteuerventils (51A); und
ein zweites Steuerventil (65B) zur Fernbetätigung des zweiten Drucksteuerventils (51B).
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16. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 11, des weiteren ent-•haltend:
einen Verbindungsmechanismus (69) zur simultanen Steuerung
des ersten und des zweiten Drucksteuerventils (51A,51B), so daß eine Druckdifferenz zwischen der ersten und der zweiten Leitung (47,49) in etwa konstant gehalten werden kann.
des ersten und des zweiten Drucksteuerventils (51A,51B), so daß eine Druckdifferenz zwischen der ersten und der zweiten Leitung (47,49) in etwa konstant gehalten werden kann.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12354694A JP3305499B2 (ja) | 1994-06-06 | 1994-06-06 | レーザ加工機 |
JP12514094A JP3291125B2 (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | レーザ加工機に対するアシストガス供給方法及び装置 |
PCT/JP1995/001090 WO1995033594A1 (en) | 1994-06-06 | 1995-06-02 | Method and apparatus for supplying gaseous nitrogen to a laser beam machine |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE712346T1 true DE712346T1 (de) | 1996-11-07 |
Family
ID=26460435
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69507575T Expired - Lifetime DE69507575T3 (de) | 1994-06-06 | 1995-06-02 | Verfahren und Vorrichtung zur Zufuhr von Stickstoff zu einer Laserstrahlmaschine |
DE0712346T Pending DE712346T1 (de) | 1994-06-06 | 1995-06-02 | Verfahren und vorrichtung zur zufuhr von stickstoff zu einer laserstrahlmaschine |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69507575T Expired - Lifetime DE69507575T3 (de) | 1994-06-06 | 1995-06-02 | Verfahren und Vorrichtung zur Zufuhr von Stickstoff zu einer Laserstrahlmaschine |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5763855A (de) |
EP (1) | EP0712346B2 (de) |
KR (1) | KR100370875B1 (de) |
CN (1) | CN1107570C (de) |
DE (2) | DE69507575T3 (de) |
TW (1) | TW274645B (de) |
WO (1) | WO1995033594A1 (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 1995-06-02 US US08/578,543 patent/US5763855A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-02 DE DE69507575T patent/DE69507575T3/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-02 EP EP95920246A patent/EP0712346B2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-02 WO PCT/JP1995/001090 patent/WO1995033594A1/en active IP Right Grant
- 1995-06-02 KR KR1019960700493A patent/KR100370875B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-06-02 DE DE0712346T patent/DE712346T1/de active Pending
- 1995-06-08 TW TW084105811A patent/TW274645B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR960703703A (ko) | 1996-08-31 |
CN1107570C (zh) | 2003-05-07 |
WO1995033594A1 (en) | 1995-12-14 |
US5763855A (en) | 1998-06-09 |
EP0712346A1 (de) | 1996-05-22 |
DE69507575D1 (de) | 1999-03-11 |
CN1129416A (zh) | 1996-08-21 |
TW274645B (de) | 1996-04-21 |
DE69507575T3 (de) | 2006-03-02 |
DE69507575T2 (de) | 1999-06-02 |
EP0712346B1 (de) | 1999-01-27 |
KR100370875B1 (ko) | 2003-05-12 |
EP0712346B2 (de) | 2005-06-22 |
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