DE69507575T3 - Verfahren und Vorrichtung zur Zufuhr von Stickstoff zu einer Laserstrahlmaschine - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Zufuhr von Stickstoff zu einer Laserstrahlmaschine Download PDF

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserstrahlmaschine nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Wie es gut bekannt ist, ist eine Laserstrahlmaschine mit einem Laserstrahloszillator und einem Laserstrahlkopf versehen. Des weiteren ist eine Mehrzahl gebogener Spiegel zwischen dem Laserstrahloszillator und dem Laserstrahlkopf vorgesehen, um den Laserstrahl, der von dem Laserstrahloszillator erzeugt wird, zu dem Laserstrahlkopf zu leiten.
  • Hier wird der Laserstrahlpfad von dem Laserstrahloszillator zu dem Laserstrahlkopf als ein optisches Pfadsystem bezeichnet, das üblicherweise gegenüber der Außenluft durch die Verwendung eines Rohrteils zur Sicherheit und zum Staubschutz abgeteilt ist.
  • Des weiteren sind in der Laserstrahlmaschine mit bewegbarem Laserstrahlkopf beide unter Verwendung von Balgen oder einem Teleskoprohr, usw. verbunden, da sich die optische Pfadlänge von dem Laserstrahloszillator zu dem Laserstrahlkopf ändert. Des weiteren wird, um zu verhindern, daß Außenluft in das optische Pfadsystem eintritt, trockene, von einer Trocknungseinheit gereinigte Luft üblicherweise in das optische Pfadsystem eingeführt, um verschiedene optische Elemente, wie gebogene Spiegel, Linsen, usw. zu schützen.
  • Bei der oben erwähnten, herkömmlichen Konstruktion der Laserstrahlmaschine ist Staub äußerst gering verglichen mit der Außenluft, da trockene und reine Luft dem optischen Pfadsystem zugeführt wird, um zu verhindern, daß Außenluft in das optische Pfadsystem eintritt. Jedoch gibt es ein Problem dahingehend, daß sich die optischen Elemente durch Sauerstoff oder eine sehr geringe Menge Feuchtigkeit verschlechtern, die in der trockenen und reinen Luft enthalten ist, wenn die Laserstrahlmaschine während mehrerer Stunden verwendet worden ist.
  • Des weiteren wird ein Hilfsgas, wie Luft, Sauerstoff, Stickstoff, Argon, usw., üblicherweise bei der Laserstrahlbearbeitung verwendet, das entsprechend der Art des Plattenmaterials, den Laserstrahlbearbeitungsbedingungen, usw. geeignet ausgewählt wird.
  • Luft, Sauerstoff und Stickstoff werden im allgemeinen jedoch als das Hilfsgas verwendet, weil Argon teuer ist (mit Ausnahme des Falls, bei dem das zu bearbeitenden Material Titan ist).
  • In dem Fall, in dem Luft als das Hilfsgas verwendet wird, kann Druckluft ohne weiteres durch Verwendung eines Kompressors erhalten werden. In dem Fall von Sauerstoff oder Stickstoff jedoch müssen eine Sauerstoffflasche oder eine Stickstoffflasche hergestellt werden, so daß das Hilfsgas nicht wirtschaftlich ist.
  • Um diese Probleme zu überwinden, offenbart JP-A-05 084590, die eine Laserstrahlmaschine nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 repräsentiert, ein Verfahren und eine Vorrichtung, wobei Sauerstoff und Stickstoff in Luft voneinander durch eine Lufttrennvorrichtung getrennt werden, so daß der abgetrennte Sauerstoff und Stickstoff als das Hilfsgas verwendet werden können. Bei diesem Verfahren kann, da Sauerstoff und Stickstoff in Luft nach der Trennung ohne Verwendung irgendwelcher Gasflaschen verwendet werden kann, das Hilfsgas zu relativ niedrigen Kosten erhalten werden.
  • Bei dem oben erwähnten Verfahren und Vorrichtung besteht jedoch, da der Druck des Hilfsgases, das dem Laserstrahlkopf zugeführt wird, entsprechend den Laserstrahlbearbeitungsbedingungen eingestellt werden muß, ein anderes Problem dahingehend, daß sich die Reinheit des Sauerstoffs oder Stickstoffs, die durch die Lufttrennvorrichtung getrennt worden sind, ändert, wenn immer der Hilfsgasdruck eingestellt wird mit dem Ergebnis, daß ein schädlicher Einfluß auf die Laserstrahlbearbeitung erzeugt wird.
  • Sich dieser Probleme bewusst, ist es deshalb die Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, die Qualität eines Laserstrahls in einer Laserstrahlmaschine zu verbessern, um das optische Pfadsystem zuverlässiger gegenüber einer Verschlechterung (aufgrund von Oxidation, Feuchtigkeit usw.) statt durch trockene und reine Luft zu schützen.
  • Um die erwähnte Zielsetzung zu erreichen, schafft die vorliegende Erfindung eine Laserstrahlmaschine gemäß Anspruch 1.
  • Des weiteren wird bevorzugt, daß die Laserstrahlmaschine ferner umfaßt: einen ersten Filter zur Entfernung von Staub aus der Druckluft, bevor die Druckluft der genannten Lufttrennvorrichtung zugeführt wird; und einen zweiten in der genannten ersten Leitungseinrichtung angeordneten Filter zur Entfernung von Ölnebel, der in dem stickstoffreichen Gas enthalten ist, bevor das stickstoffreiche Gas in die optische Pfadabdeckung des optischen Pfadsystems der Laserstrahlmaschine eingeführt wird.
  • In der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung ist es, da das stickstoffreiche Gas, das eine äußerst geringe Menge an Sauerstoff und Feuchtigkeit enthält, dem optischen Pfadsystem unter einem höheren Druck als der Atmosphärendruck zugeführt wird, möglich, wirksam einen Brandunfall des optischen Pfadsystems zu verhindern und die optischen Teile gegenüber einer Verschlechterung aufgrund von Oxidation und Feuchtigkeit verglichen mit der herkömmlichen trockenen Luft zu schützen.
  • Des weiteren ist es in der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung, da das stickstoffreiche Gas ebenfalls dem Laserstrahlkopf als ein Hilfsgas zugeführt wird, möglich, das stickstoffreiche Gas wirksam zu nutzen, das durch die Lufttrennvorrichtung abgetrennt worden ist.
  • Des weiteren ist es in der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, da das stickstoffreiche Gas dem Laserstrahlkopf als ein Hilfsgas zugeführt wird, indem die Reinheit des stickstoffreichen Gases oder des sauerstoffreichen Gases auf einem erwünschten konstanten Wert oder innerhalb eines vorbestimmten Bereiches (z. B. 94 bis 99,5 %) die ganze Zeit gehalten wird, das Auftreten von Metallzunder während der Laserstrahlverarbeitung zu verhindern.
  • Des weiteren ist es in der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung, da der erste Filter zur Entfernung von Staub aus der Luft, die der Lufttrennvorrichtung zugeführt wird, und der zweite Filter zum Entfernen von Ölnebel aus dem abgetrennten Stickstoff, der der optischen Pfadabdeckung zugeführt wird, vorgesehen sind, möglich, die Lebensdauer der optischen Teile des optischen Pfadsystems zu verbessern.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen:
  • 1 ist eine schematische Darstellung, die eine erste Ausführungsform der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2A und 2B sind Darstellungen zur Unterstützung bei der Erklärung des Ölnebel-Anhafttestverfahrens bzw. der Testergebnisse;
  • Ausführungsformen der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung werden hier unten unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
  • In 1 ist die Laserstrahlmaschine 1 mit einem Laserstrahloszillator 3 und einem Laserstrahlkopf 7 versehen, der eine Kondensatorlinse 5 aufweist. Der Laserstrahloszillator 3 ist mit dem Laserstrahlkopf 7 über ein optisches Pfadsystem 13 verbunden, das aus einer Mehrzahl gebogener Spiegel 9 und einer optischen Abdeckung 11 zusammengesetzt ist. Die gebogenen Spiegel 9 führen einen Laserstrahl LD, der durch den Laserstrahloszillator 3 erzeugt wird, zu dem Laserstrahlkopf 7. Die optische Abdeckung 11 ist ein geeignetes Rohrteil, Balgen, Teleskoprohr, usw. Des weiteren ist das optische Pfadsystem 13 das gleiche wie in dem Fall des Standes der Technik, so daß irgendeine ausführliche Beschreibung von ihm hier unterlassen wird.
  • Zusätzlich ist eine Lufttrennvorrichtung 15 vorgesehen, um Sauerstoff und Stickstoff von der Druckluft abzutrennen. Das abgetrennte, stickstoffreiche Gas wird in die optische Pfadabdeckung 11 eingebracht, um das optische Pfadsystem 13 zu schützen. Die Lufttrennvorrichtung 15 ist ein Modul, in dem eine große Anzahl hohler Fäden (aus Polyimid gebildet) als ein Paket innerhalb eines Behälters angeordnet ist. Die hohle Polyimidfasermembrane ist mit einer solchen Funktion versehen, daß Sauerstoff leichter als Stickstoff hindurchdringen kann.
  • Deshalb ist es, wenn Druckluft in die Lufttrennvorrichtung 15 durch eine Einlaßöffnung 15A eingebracht wird, und deshalb durch die hohlen Fäden fließt, da Sauerstoff, Feuchtigkeit und Ölnebel der Druckluft selektiv durch die Membranen der hohlen Polyimidfäden hindurchgehen, möglich, ein stickstoffreiches Gas (Reinheit: 94 bis 99,5 %) von einer ersten Auslaßöffnung 15B zu erhalten. Andererseits werden der hindurchgegangene Sauerstoff, Feuchtigkeit und Ölnebel durch eine zweite Auslaßöffnung 15C als ein sauerstoffreiches Gas ausgetragen. Das oben erwähnte, stickstoffreiche Gas (durch Entfernen von Sauerstoff, Feuchtigkeit und Ölnebel aus der Luft erhalten) ist trockenes Gas (Stickstoff), die einen Taupunkt von ungefähr –50 Grad unter Atmosphärendruck aufweist. Im Vergleich mit dem üblichen Kühlschranktrockner, der einen Taupunkt von ungefähr –10 Grad unter Atmosphärendruck aufweist, kann man verstehen, daß das stickstoffreiche Gas äußerst vorteilhaft ist, wenn es verwendet wird, das optische Pfadsystem 13 zu schützen.
  • Um Druckluft in die Lufttrennvorrichtung 15 einzuführen, wird eine Druckquelle 17, wie ein Kompressor, vorgesehen. Des weiteren ist ein Filter 19 zwischen der Druckquelle 17 und der Einlaßöffnung 15A der Lufttrennvorrichtung 15 verbunden, um Staub und Ölnebel zu entfernen, die in der Hochdruckluft enthalten sind, die durch die Druckquelle 17 erhalten wird.
  • Des weiteren ist, um das stickstoffreiche Gas, das von der Druckluft durch die Lufttrennvorrichtung 15 abgetrennt worden ist, in die optische Pfadabdeckung 11 des optischen Pfadsystems 13 einzubringen, eine Leitung (Rohr 23) zwischen der ersten Auslaßöffnung 15B der Lufttrennvorrichtung 15 und einer Verbindungsöffnung 21 der optischen Pfadabdeckung 11 verbunden. Des weiteren ist die zweite Auslaßöffnung 15C der Lufttrennvorrrichtung 15 zum Atmosphärendruck geöffnet.
  • In der oben erwähnten Konstruktion wird die Druckluft der Druckquelle 17, nachdem sie durch den Filter 19 zur Entfernung von Staub- und Ölnebel hindurchgegangen ist, der Lufttrennvorrichtung 15 durch die Einlaßöffnung 15A hindurch zugeführt. Die dem Lufttrennvorrichtung 15 durch die Einlaßöffnung 15A hindurch zugeführte Druckluft wird in Sauerstoff (der Feuchtigkeit, restlichen Ölnebel enthält (die durch den Filter 19 hin durchgegangen sind)) und Stickstoff getrennt, wenn sie durch die hohlen Fadenmembranen hindurchgeht. Als Ergebnis ist es möglich, ein stickstoffreiches Gas (Reinheit: 94 bis 99,5 %) durch die erste Auslaßöftnung 15B hindurch bzw. das sauerstoffreiche Gas zu erhalten, das durch die zweite Auslaßöffnung 15C der Lufttrennvorrrichtung 15 hindurchgegangen ist.
  • In diesem Fall ist es, da das stickstoffreiche Gas trockene Luft mit einem Taupunkt von ungefähr –50 Grad unter Atmosphärendruck aufweist, wenn es der optischen Pfadabdeckung 11 des optischen Pfadsystems 13 durch die Leitung 23 zugeführt wird, möglich, den Druck innerhalb der optischen Pfadabdeckung 11 höher als den Atmosphärendruck beizubehalten.
  • In anderen Worten ist es, da die optische Abdeckung 11 bei einem höheren als dem Atmosphärendruck gehalten wird und des weiteren mit stickstoffreichem Gas gefüllt ist, die äußerst wenig Sauerstoff enthält (Stickstoffreinheit: 94 bis 99,5 %) möglich, die optische Abdeckung 11 gegenüber einem Brandunfall oder die optischen Teile (z. B. die gebogenen Spiegel 9) gegenüber einer Verschlechterung (z. B. aufgrund von Oxidation oder Feuchtigkeit) wirksamer im Vergleich mit dem herkömmlichen Fall zu schützen, bei dem die trockene Luft dem optischen Pfadsystem zugeführt wird.
  • In der obigen Beschreibung wird das stickstoffreiche Gas einfach in die optische Pfadabdeckung 11 zum Schutz des optischen Pfadsystems 13 eingeführt. Hier jedoch ist es möglich, zu überlegen, daß das trockene Gas unmittelbar auf die gebogenen Spiegel 9 geblasen werden kann, um die Oberflächen der gebogenen Spiegel 9 zu reinigen. Um die Möglichkeit des direkten Blasens des trockenen Gases gegen die gebogenen Spiegel 9 zur Oberflächenreinigung zu prüfen, wurden die folgenden Tests gemacht:
    Wie es in 2(A) gezeigt ist, ist eine Testleitung 27 mit der ersten Auslaßöftnung 15B der Lufttrennvorrrichtung 15 statt der Leitung 23 verbunden. Ein Testspiegel 25 wird in die Luft in einem Abstand von ungefähr 50 mm von einem Ende 27E der Testleitung 27 entfernt gehalten. Des weiteren ist eine kegelförmige Abdeckung 29 nahe dem Ende der Testleitung 27 angebracht, um zu verhindern, daß Außenluft eingeführt wird.
  • In der oben erwähnten Konstruktion wurde das stickstoffreiche Gas gegen den Testspiegel 25 geblasen. In diesem Test jedoch wurde bestätigt, daß einiger Ölnebel 31 auf der Oberfläche des Testspiegels 25 nach ungefähr sechs Stunden anhaftete.
  • Der oben erwähnte Test gibt an, daß das stickstoffreiche Gas weiterhin eine geringe Menge Ölnebel enthält. Deshalb besteht, wenn das stickstoffreiche Gas unmittelbar gegen die gebogenen Spiegel 9 geblasen wird, um deren Oberfläche zu reinigen, obgleich die gebogenen Spiegel 9 nicht in kurzer Zeit verschlechtert werden, die Möglichkeit, daß die gebogenen Spiegel 9 nach der Verwendung einer längeren Zeit verschlechtert werden (z. B. sieben Stunden oder länger).
  • Um das oben erwähnte Problem zu überwinden, wurde, wie es in 2(B) gezeigt ist, ein Filter 33, der aktiven Kohlenstoff (Holzkohle) aufwies, auf halber Strecke mit der Testleitung 27 verbunden, und ein ähnlicher Test wurde ausgeführt. In diesem Fall wurde bestätigt, daß kein Ölnebel auf der Oberfläche des Prüfspiegels 25 selbst nach 400 Stunden bestätigt wurde. Der oben erwähnte Test gibt an, daß es äußerst wirksam ist, Ölnebel unter Verwendung des Filters 33 mit aktivem Kohlenstoff zu entfernen.
  • Demgemäß ist es in der Laserstrahlmaschine, die in 1 gezeigt ist, erwünscht, den Filter 33, der aktiven Kohlenstoff aufweist, mit der Leitung 23 zu verbinden, um sicher eine kleine Menge Ölnebel zu entfernen, die noch in dem stickstoffreichen Gas zurückbleibt.
  • Hier ist es auch möglich, den Filter 33, der aktiven Kohlenstoff aufweist, zwischen den Filter 19 und die Einlaßöffnung 15A der Lufttrennvorrrichtung 15 einzufügen. In diesem Fall wird jedoch, da die gesamte Menge Druckluft, die der Lufttrennvorrichtung 15 zugeführt wird, gefiltert werden muß, bevorzugt, den Filter 33 auf der Seite der Leitung 23 im Hinblick auf die Lebensdauer des Filters 33 einzufügen.
  • Andererseits wird der Druck innerhalb der optischen Pfadabdeckung 11 des optischen Systems 13 höher als der Atmosphärendruck (Außenluftdruck) gehalten. In diesem Fall ist es möglich, die optische Pfadabdeckung 11 derart zu konstruieren, daß ein Teil des zugeführten stickstoffreichen Gases nach außen durch einen geeigneten Zwischenraum ausgebracht werden kann, der zwischen den Verbindungsabschnitten einiger Elemente der optischen Pfadabdeckung 11 gebildet wird. Bei dieser Ausführungsform jedoch wird, um den Druck innerhalb der optischen Pfadabdeckung 11 auf einem stabilen, konstanten Wert beizubehalten, eine Austragsöffnung 34 an einer Position der optischen Pfadabdeckung 11 gebildet, und des weiteren ist ein Ablaßventil 35 mit dieser Austragsöffnung 34 verbunden.
  • Als Ergebnis ist es, da der Innendruck innerhalb der optischen Pfadabdeckung 11 auf einen konstanten Wert durch das Ablaßventil 35 eingestellt werden kann, selbst wenn das Volumen der optischen Pfadabdeckung 11 verringert oder vergrößert wird, und dadurch sein Innendruck erhöht oder verringert wird, wenn der Laserstrahlkopf 7 bewegt wird, möglich, stets den Innendruck innerhalb der optischen Pfadabdeckung 11 auf einem konstanten Druckwert beizubehalten. Deshalb ist es möglich, zu verhindern, daß die gebogenen Spiegel 9 aufgrund von Schwankungen des Innendrucks gestört werden.
  • Des weiteren ist bei der vorliegenden Erfindung, da das stickstoffreiche Gas wirksam als ein Schutzgas für das optische Pfadsystem 13 verwendet wird, die Austragsöffnung 34 der optischen Pfadabdeckung 11 mit dem Laserstrahlkopf 7 über eine Leitung 39 verbunden, die ein in ihrer Mitte verbundenes Sperrventil 37 aufweist. In anderen Worten ist es möglich, das stickstoffreiche Gas in der optischen Pfadabdeckung 11 als ein Hilfsgas nach Bedarf zu verwenden. In diesem Fall kann das stickstoffreiche Gas wirksamer verwendet werden.
  • Des weiteren ist es auch möglich, ein Abzweigungsrohr 41, das ein Drosselventil 34 aufweist, zwischen der Leitung 23 und dem Laserstrahlkopf 7 zu verbinden, so daß das stickstoffreiche Gas unmittelbar dem Laserstrahlkopf 7 als ein Hilfsgas zugeführt werden kann. In diesem Fall ist es, solange die Menge an stickstoffreichem Gas in der Leitung 23 ausreichend ist, möglich, das stickstoffreiche Gas als das Hilfsgas zu verwenden, ohne einen schädlichen Einfluß auf den Druck innerhalb der optischen Pfadabdeckung 11 auszuüben (kein Ausführungsbeispiel der Erfindung).
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Wie es oben beschrieben worden ist, ist es in der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung, da das stickstoffreiche Gas, das eine äußerst geringe Menge an Sauerstoff und Feuchtigkeit enthält, dem optischen Pfadsystem unter einem höheren Druck als der Atmosphärendruck zugeführt wird, möglich, wirksam einen Brandunfall des optischen Pfadsystems zu verhindern und die optischen Teile gegenüber einer Verschlechterung aufgrund von Oxidation und Feuchtigkeit im Vergleich zu herkömmlicher trockener Luft zu schützen.
  • Des weiteren ist es bei der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung, da das stickstoffreiche Gas auch dem Laserstrahlkopf als ein Hilfsgas zugeführt wird, möglich, das stickstoffreiche Gas, das durch die Lufttrennvorrichtung abgetrennt worden ist, wirksam zu verwenden.
  • Ferner ist es bei der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung, da das stickstoffreiche Gas dem Laserstrahlkopf als ein Hilfsgas zugeführt wird, indem die Reinheit des stickstoffreichen Gases oder des sauerstoffreichen Gases auf einem erwünschten konstanten Wert oder innerhalb eines vorbestimmten Bereiches (z. B. 94 bis 99,5 %) die ganze Zeit gehalten werden kann, möglich, das Auftreten von Metallzunder während der Laserstrahlbearbeitung zu verhindern.
  • Des weiteren ist es bei der Laserstrahlmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, da der erste Filter zur Entfernung von Staub aus der Luft, die der Lufttrennvorrichtung zugeführt wird, und der zweite Filter zur Entfernung von Ölnebel aus dem abgetrennten Stickstoff, der der optischen Pfadabdeckung zugeführt wird, vorgesehen sind, die Lebensdauer der optischen Teile des optischen Pfadsystems zu verbessern.

Claims (4)

  1. Laserstrahlmaschine, aufweisend: einen Laserstrahloszillator (3) zur Erzeugung eines Laserstrahls, einen Laserstrahlkopf (7) zur Bearbeitung eines Werkstückes, und ein optisches Pfadsystem (13), das den Laserstrahloszillator (3) mit dem Laserstrahlkopf (7) verbindet, wobei das optische Pfadsystem (13) von einer optischen Pfadabdeckung (11) umschlossen ist, und die optische Pfadabdeckung (11) den Laserstrahlmaschinenkopf (7) mit dem Laseroszillator (3) verbindet, und eine Vorrichtung zur Zuführung von stickstoffreichem Gas aufweisend: eine Lufttrennvorrichtung (15) zur Abscheidung von Sauerstoff und Stickstoff aus komprimierter Luft; eine erste Leitungseinrichtung, die ausgebildet ist, um stickstoffreiches Gas von der Lufttrennvorrichtung (15) zu dem Laserstrahlmaschinenkopf (7) der Laserstrahlmaschine zu fördern, als Hilfsgas zur Verwendung in einem Bearbeitungsvorgang; gekennzeichnet durch eine zweite Leitungsvorrichtung zum Zuführen von stickstoffreichem Gas von der Lufttrennvorrichtung (15) zu der optischen Pfadabdeckung (11) als ein Schutzgas für ein optisches Pfadsystem (13), das die optische Pfadabdeckung (11) aufweist, wobei die erste Leitungseinrichtung eine Leitung (39) ist, die die optische Pfadabdeckung (11) mit dem Laserstrahlkopf (7) verbindet, zum Einführen von stickstoffreichem gas in der optischen Pfadabdeckung (11) in den Laserstrahlkopf (7) als Schutzgas.
  2. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 1, außerdem aufweisend: einen ersten Filter (19) zur Beseitigung von Staub aus der komprimierten Luft bevor die komprimierte Luft zu der Lufttrennvorrichtung (15) zugeführt wird; und einen zweiten Filter (33) angeordnet in der zweiten Leitungseinrichtung (23) zum Beseitigen von Ölnebel, enthalten in dem stickstoffreichen Gas, ehe das stickstoffreiche Gas in die optische Pfadabdeckung (11) eingeführt wird.
  3. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 1 oder 2, wobei das optische Pfadsystem (13) außerdem zumindest einen gebogenen Spiegel aufweist.
  4. Laserstrahlmaschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck des stickstoffreichen Gases in dem Laserpfadsystem (13) auf einem Niveau höher als Atmosphärendruck gehalten wird.
DE69507575T 1994-06-06 1995-06-02 Verfahren und Vorrichtung zur Zufuhr von Stickstoff zu einer Laserstrahlmaschine Expired - Lifetime DE69507575T3 (de)

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