JPH0215895A - ガスレーザ装置の伝送路 - Google Patents
ガスレーザ装置の伝送路Info
- Publication number
- JPH0215895A JPH0215895A JP63164951A JP16495188A JPH0215895A JP H0215895 A JPH0215895 A JP H0215895A JP 63164951 A JP63164951 A JP 63164951A JP 16495188 A JP16495188 A JP 16495188A JP H0215895 A JPH0215895 A JP H0215895A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- oscillator
- gas
- transmission passage
- transmission line
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 39
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分野)
本発明は風胴内への空気の侵入を防いだがスレーザ装置
の伝送路に関する。
の伝送路に関する。
(従来の技術)
従来のガスレーザ装置の伝送路の一例を示す第2図にお
いて、図示しない共振器が内蔵された発振器1には、右
下に新しいレーザガスを供給するガスボンベ11が連結
され、左上には図示しない共振器の出射鏡から出射され
たレーザ光の伝送路2の基端部2aの右端が取付けられ
ている。
いて、図示しない共振器が内蔵された発振器1には、右
下に新しいレーザガスを供給するガスボンベ11が連結
され、左上には図示しない共振器の出射鏡から出射され
たレーザ光の伝送路2の基端部2aの右端が取付けられ
ている。
又、この基端部2aの左端には出射されたレーザ光を上
方へ転送する反射鏡3Aが取付られ、伝送路・2の上部
右端2bには反射鏡3Aで反射されたレーザ光を左端2
Cの凹面反射鏡3Cに転送する凹面反射鏡3Bが取付け
られ、凹面反射鏡3Cで反射された左端下方へ転送され
たレーザ光は図示しない伝送路端の集光ミラーで集光さ
れて図示しないワークに照射される。
方へ転送する反射鏡3Aが取付られ、伝送路・2の上部
右端2bには反射鏡3Aで反射されたレーザ光を左端2
Cの凹面反射鏡3Cに転送する凹面反射鏡3Bが取付け
られ、凹面反射鏡3Cで反射された左端下方へ転送され
たレーザ光は図示しない伝送路端の集光ミラーで集光さ
れて図示しないワークに照射される。
更に、伝゛送路2の中間内部には、環状のオリフス板4
A、4Bが取付けられ、左側のオリフス板4Bの右方か
らは下方に排気ダクト5が取付けられ、この排気ダクト
5の下端には排気ポンプ6が接続されている。
A、4Bが取付けられ、左側のオリフス板4Bの右方か
らは下方に排気ダクト5が取付けられ、この排気ダクト
5の下端には排気ポンプ6が接続されている。
そして3.ガネボンベ11からは発振器1内ρレーザガ
スが常に所定の密度と圧力になるようにレーザガスが供
給され、伝送路2内の空気が入らないように伝送路2内
はポンプ6で排気されている。
スが常に所定の密度と圧力になるようにレーザガスが供
給され、伝送路2内の空気が入らないように伝送路2内
はポンプ6で排気されている。
(発明が解決しようとする課題)
しかし、発振器1内は大気圧よりも減圧されているので
、もし伝送路2がら空気が入ると、レーザガスの密度が
下がって発振器の出力が下がる。
、もし伝送路2がら空気が入ると、レーザガスの密度が
下がって発振器の出力が下がる。
そのため、伝送路2の圧力を下げて発振器1への侵入を
防ぐことも考えられるが、すると排気ポンプ6の容量を
増やさなければならない。
防ぐことも考えられるが、すると排気ポンプ6の容量を
増やさなければならない。
そこで、本発明の目的は、排気ポンプ6の容量を増やす
ことなく、発振器1への空気の侵入を防ぐことのできる
ガスレーザ装置の伝送路を得ることである。
ことなく、発振器1への空気の侵入を防ぐことのできる
ガスレーザ装置の伝送路を得ることである。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段と作用)
本発明は、ガスレーザ発振器から出射されたレーザ光を
伝送する伝送路の基端部に一対の凹面反射鏡を設け、こ
の凹面反射鏡間のレーザ光の焦点とこの前後にオリフス
板を設け、焦点と前方に設けられたオリフス板間の伝送
路に排気ダクトを接続し、焦点と後方に?=’Ucプら
れたオリフス板間の伝送路に発振器内のレーザガスを導
くバイパス管を接続して、伝送路の空気の発振器への侵
入を防いだガスレーザ装置の伝送路である。
伝送する伝送路の基端部に一対の凹面反射鏡を設け、こ
の凹面反射鏡間のレーザ光の焦点とこの前後にオリフス
板を設け、焦点と前方に設けられたオリフス板間の伝送
路に排気ダクトを接続し、焦点と後方に?=’Ucプら
れたオリフス板間の伝送路に発振器内のレーザガスを導
くバイパス管を接続して、伝送路の空気の発振器への侵
入を防いだガスレーザ装置の伝送路である。
(実施例)
以下、本発明のガスレーザ装置の伝送路の一実施例を第
1図を参照して説明する。但し、第2図と重複する部分
は省く。
1図を参照して説明する。但し、第2図と重複する部分
は省く。
第1図において、伝送路2内の中間部には、環状のオリ
フス板4A、4B、4Cが取付けられ、排気ダクト5は
オリフス板4Bと4C間に接続され、オリフス板4Aと
4B間にはバイパス管7の一端、が接続され、このバイ
パス管7の中間部にはコンプレッサ10が接続され、他
端は発振器1の左端に接続されている。
フス板4A、4B、4Cが取付けられ、排気ダクト5は
オリフス板4Bと4C間に接続され、オリフス板4Aと
4B間にはバイパス管7の一端、が接続され、このバイ
パス管7の中間部にはコンプレッサ10が接続され、他
端は発振器1の左端に接続されている。
このように構成したガスレーザ装置において、今、コン
プレッサ10を駆動すると、発振器1内の放電後のレー
ザガスの一部は伝送路2の排気ダクト5の基端側に送り
込まれるので、伝送路2の内反射鏡2b;2C間の圧力
が上りとくにオリフス4 a、 4 b間の圧力が上る
。すると主に排気ダクト5よりも先端方向から侵入した
空気は基端方向への浸入を阻止されるだけでなく、”反
射鏡38゜30間の伝送路内の圧力が上っているので、
真空ポンプ6の容量は増やさなくても伝送路の先端方向
から侵入した空気を容易に排出することができる。
プレッサ10を駆動すると、発振器1内の放電後のレー
ザガスの一部は伝送路2の排気ダクト5の基端側に送り
込まれるので、伝送路2の内反射鏡2b;2C間の圧力
が上りとくにオリフス4 a、 4 b間の圧力が上る
。すると主に排気ダクト5よりも先端方向から侵入した
空気は基端方向への浸入を阻止されるだけでなく、”反
射鏡38゜30間の伝送路内の圧力が上っているので、
真空ポンプ6の容量は増やさなくても伝送路の先端方向
から侵入した空気を容易に排出することができる。
なお、第1図において、オリフス板4Bの内径は、左右
のオリフス板4A、4Cと同径になっているが、オリフ
ス板4Bを反射鏡38.3C間のレーザ光の焦点に位置
させることで、極めて小さくすることができ、その結果
、コンプレッサ10と排気ポンプ6の容量を減らすこと
ができる。
のオリフス板4A、4Cと同径になっているが、オリフ
ス板4Bを反射鏡38.3C間のレーザ光の焦点に位置
させることで、極めて小さくすることができ、その結果
、コンプレッサ10と排気ポンプ6の容量を減らすこと
ができる。
同じく、伝送路2へ接続される排気ダクト5と、バイパ
ス7とをほとんど接する程度に近接させると、オリフス
板4A、4Gも寄せることができ、内径を小ざくできる
ので、更に排気ポンプ6とコンプレッサ10の容量を減
らすことができる。
ス7とをほとんど接する程度に近接させると、オリフス
板4A、4Gも寄せることができ、内径を小ざくできる
ので、更に排気ポンプ6とコンプレッサ10の容量を減
らすことができる。
[発明の効果]
以上、本発明のガスレーザ装置の伝送路によれば、レー
ザ発振器から出射されたレーザ光を伝送する伝送路の基
端部近傍にレーザ光を伝送する一対の凹面反射鏡を設け
、この凹面反射鏡の焦点と焦点の前後にオリフス板を設
け、伝送路の先端奇りのオリフス板間に排気ダクトを連
結し、伝送路の基喘寄りのオリフス板間にレーザ装置内
のレーザガスを送り込むバイパス管を連結したので、排
気ポンプの容量を増やすことなく、レーザ伝送路内の空
気の発振器内への侵入を防ぐことのできるガスレーザ装
置の伝送路を得ることができる。
ザ発振器から出射されたレーザ光を伝送する伝送路の基
端部近傍にレーザ光を伝送する一対の凹面反射鏡を設け
、この凹面反射鏡の焦点と焦点の前後にオリフス板を設
け、伝送路の先端奇りのオリフス板間に排気ダクトを連
結し、伝送路の基喘寄りのオリフス板間にレーザ装置内
のレーザガスを送り込むバイパス管を連結したので、排
気ポンプの容量を増やすことなく、レーザ伝送路内の空
気の発振器内への侵入を防ぐことのできるガスレーザ装
置の伝送路を得ることができる。
第1図は本発明のガスレーザ装置の伝送、路の一実施例
を示す断面図、第2図は従来のガスレーザ装置の伝送路
の一例を示す部分断面図である。 1・・・レーザ発振器 2・・・伝送路 3A。 3B・・・凹面反射鏡 4A。 4B。 4C・・・オリフス板 5・・・排気ダクト 7・・・バイパス管
を示す断面図、第2図は従来のガスレーザ装置の伝送路
の一例を示す部分断面図である。 1・・・レーザ発振器 2・・・伝送路 3A。 3B・・・凹面反射鏡 4A。 4B。 4C・・・オリフス板 5・・・排気ダクト 7・・・バイパス管
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガスレーザ発振器から出射されたレーザ光の伝送路の基
端に前記レーザ光を反射して前記伝送路の先端へ伝送す
る一対の凹面反射鏡が設けられ、この凹面反射鏡間の前
記レーザ光の焦点の前方と後方にオリフス板が設けられ
、前記前方のオリフス板と前記レーザ光の焦点間に排気
ダクトが接続されたガスレーザ装置の伝送路において、 前記レーザ光の焦点にオリフス板を設け、このオリフス
板と前記後方のオリフス板間に前記レーザ発振器の風胴
内のレーザガスを導くバイパス管を接続したことを特徴
とするガスレーザ装置の伝送路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63164951A JPH0215895A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | ガスレーザ装置の伝送路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63164951A JPH0215895A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | ガスレーザ装置の伝送路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0215895A true JPH0215895A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15802963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63164951A Pending JPH0215895A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | ガスレーザ装置の伝送路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0215895A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5763855A (en) * | 1994-06-06 | 1998-06-09 | Amada Company, Limited | Method and apparatus for supplying gaseous nitrogen to a laser beam machine |
US5897800A (en) * | 1996-07-17 | 1999-04-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser beam machine based on optically scanning system |
US6229112B1 (en) * | 1999-04-30 | 2001-05-08 | W. A. Whitney Co. | Air handling system for a laser-equipped machine tool |
US8726775B2 (en) | 2009-06-26 | 2014-05-20 | Mitsubishi Heavy Industries Printing & Packaging Machinery, Ltd. | Punching scrap removal device and blade mount for rotary die cutter |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5969988A (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-20 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP63164951A patent/JPH0215895A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5969988A (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-20 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5763855A (en) * | 1994-06-06 | 1998-06-09 | Amada Company, Limited | Method and apparatus for supplying gaseous nitrogen to a laser beam machine |
US5897800A (en) * | 1996-07-17 | 1999-04-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser beam machine based on optically scanning system |
US6229112B1 (en) * | 1999-04-30 | 2001-05-08 | W. A. Whitney Co. | Air handling system for a laser-equipped machine tool |
US8726775B2 (en) | 2009-06-26 | 2014-05-20 | Mitsubishi Heavy Industries Printing & Packaging Machinery, Ltd. | Punching scrap removal device and blade mount for rotary die cutter |
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