JP2607653B2 - ガスレーザ装置の伝送路 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、風洞内への外気の侵入を防いだガスレーザ
装置の伝送路に関する。

（従来の技術） 従来のガスレーザ装置の伝送路の一例を示す第２図に
おいて、図示しない共振器が内蔵されレーザガスが減圧
封入された風洞１の左側壁のレーザ光の出射部には、左
側に反射鏡2aを収納した窓ダクト２の右端が取付られ、
この窓ダクト２の上部は上方に設けられた窓ダクト３の
右端に接続されている。

そして、この窓ダクト３の右端には凹面鏡3aが、左側
には凹面鏡3bがそれぞれ収納され、窓ダクト３の左端に
は図示しないレーザ加工ヘッドに接続される伝送路４の
基端が接続されており、更に窓ダクト３の中間やや左寄
りの下部には、下端に排気ポンプ６が接続された排気ダ
クト５が接続され、窓ダクト３内の排気ダクト５の接続
部のすぐ左側には、オリフス板4aが、やや右余りにはオ
リフス板4bがそれぞれ設けられている。

この結果、風洞１から出射されたレーザ光は、反射鏡
2aで上方に直角に反射され、凹面鏡3aに入射後左方に反
射されて窓ダクト３の中央で集光後、拡大されて左端の
凹面鏡3bに入射する。すると、このレーザ光は、下方に
直角に反射されて伝送路４を経て図示しない加工ヘッド
から図示しないワークに照射される。

（発明が解決しようとする課題） ところが、このように構成されたガスレーザ装置の伝
送路では、図示しない伝送路から侵入した外気がもし窓
ダクト2,3を経て風洞１内に入ると、風洞１内のレーザ
ガスの濃度が下って発振器の出力が下がるおそれがあ
る。

そのため、伝送路内の圧力を更に下げることも考えら
れるが、すると排気ポンプの容量が増える。

そこで本発明の目的は、排気ポンプの容量を増やすこ
となく、風洞１内への外気の侵入を防ぐことのできるガ
スレーザ装置の伝送路を得ることである。〔発明の構
成〕 （課題を解決するための手段と作用） 本発明は、レーザ発振器から出射されたレーザ光を伝
送する伝送路の出射口近くに、レーザ光を反射して伝送
する一対の凹面反射鏡を設け、この凹面反射鏡の焦点と
その前後にオリフス板を設け、前方と中間のオリフス板
間に排気ダクトを、中間と後方のオリフス板間にガス供
給ダクトを接続し酸素検出器を挿入し、酸素検出器の検
出信号でガス供給ダクトからのレーザガスの供給量を制
御することで、排気ダクトに接続された排気ポンプの容
量を上げることなく、レーザ風洞内への外気の侵入を防
いだガスレーザ装置の伝送路である。

（実施例） 以下、本発明のガスレーザ装置の伝送路の一実施例を
図面を参照して説明する。但し、第２図と重複する部分
は省く。

第１図において、窓ダクト３の中央部内側のほぼレー
ザ光の集束部には、環状のオリフス板4cが設けられ、窓
ダクト３の下面には、オリフス板4cとその右側のオリフ
ス板4b間にガス供給ダクト７が接続され、このガス供給
ダクト７の下部には、電磁弁７を介してレーザガスボン
ベ９が接続されている。そして、窓ダクト３のオリフス
4bと4c間には、酸素検出器10が取付られ、この酸素検出
器10の検出信号線10aは電磁弁８を駆動する電磁弁駆動
装置11の入力側に接続され、この電磁弁駆動装置11の出
力側は電磁弁８に接続されている。

このような構成のガスレーザ装置の伝送路において、
今、レーザガスボンベ９から少量のレーザガスを出しな
がら真空ポンプ６を起動すると、窓ダクト３内の圧力は
排気ダクト５の接続部が最低となって、図示しない加工
ヘッドの方から侵入した外気がオリフス板4cより中に入
ることはない。更に、レーザガスボンベ９内の圧力の低
下で、もし、外気がオリフス板4cよりも内部に入って
も、酸素検出器10の検出信号により電磁弁駆動装置11で
電磁弁11の開き角度を拡げることで対応することができ
る。

この結果、排気ポンプ６の容量を減らすことができる
だけでなく、レーザガスボンベ９からのレーザガスの供
給量もボンベ内の圧力の変化に対応して必要最小限に抑
えることができる。

なお上記実施例において、オリフス板4a,4b,4cは内径
も同径となっているが、中央のオリフス板4cの内径はレ
ーザ光の集束径に会わせて最小限にしてもよい。そのと
きは窓ダクト３内の排気ダクト５の結合部とガス供給ダ
クト７の結合部との圧力比を上げることができるので更
に効果がある。

更に上記実施例では、酸素検出器10はオリフス板4b,4
cの中央部に設けてあるが、なるべくオリフス板4cに近
づけてもよい。このときは検出ガスである外部からの空
気の通路が狭いので、検出がより容易になる利点があ
る。

〔発明の効果〕

以上、本発明によれば、ガスレーザ発振器から出射さ
れたレーザ光を伝送する伝送路の出射口寄りに、レーザ
光を反射して伝送する一対の凹面反射鏡を設け、この凹
面反射鏡の焦点と焦点の前後にオリフス板を設け、前方
のオリフス板間に排気ダクトを接続し、後方のオリフス
板間にレーザガスボンベからレーザガスを供給するガス
供給ダクトの接続部と酸素検出器を設けて、この酸素検
出器の信号でガス供給ダクトからのレーザガス量を制御
したので、排気ポンプの容量を増やすことなく、レーザ
風洞内への伝送路からの外気の侵入を防ぐことのできる
ガスレーザ装置の伝送路を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のガスレーザ装置の伝送路の一実施例を
示す部分断面図、第２図は従来のガスレーザ装置の伝送
路を示す部分断面図である。 ３……レーザ光伝送路としての窓ダクト 4a,4b,4c……オリフス板 ５……排気ダクト ７……ガス供給ダクト ８……電磁弁 10……酸素検出器

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガスレーザ発振器から出射されたレーザ光
   の伝送路の基端近傍に前記レーザ光を反射して前記伝送
   路の先端へ伝送する一対の凹面反射鏡が設けられ、この
   凹面反射鏡間の前記レーザ光の焦点の前後にオリフス板
   が設けられ、前記レーザ光の焦点と前記前方のオリフス
   板間に排気ダクトが接続されたガスレーザ装置の伝送路
   において、 前記伝送路の前記レーザ光の焦点に第３のオリフス板を
   設け、この第３のオリフス板と前記後方のオリフス板間
   にレーザガス供給ダクトの供給口と出力側が前記レーザ
   ガス供給ダクトの電磁弁に接続された酸素検出器を設け
   たことを特徴とするガスレーザ装置の伝送路。