JPS609676B2 - ガスフロ−レ−ザ発振器 - Google Patents
ガスフロ−レ−ザ発振器Info
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- JPS609676B2 JPS609676B2 JP58140432A JP14043283A JPS609676B2 JP S609676 B2 JPS609676 B2 JP S609676B2 JP 58140432 A JP58140432 A JP 58140432A JP 14043283 A JP14043283 A JP 14043283A JP S609676 B2 JPS609676 B2 JP S609676B2
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- reflector
- chamber
- housing
- gas
- aperture
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/0818—Unstable resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスフローレーザ発振器に係る。
本発明の発振器は−軸沿いに伸長したハウジングと、
−該ハウジングの一端に配置された第１反射器と、一該
第１反射器に対向して前記ハウジング内に配置された第
２反射器であって、第１反射器と第２反射器との間に第
１チャンバを形成し第２反射器と該ハウジング他端との
間に第２チャンバを形成すべく緑が該ハウジングの壁面
に密封的に固定されており、且つこれら第１及び第２チ
ャンバを互に蓮通させる開□を備えた第２反射器と、−
活性レーザガスを前記第２チャンバ内に導入するための
手段と「−該ガスを前記第１チャンバから流出させるた
めの手段と、−該第１チャンバ内に配置されており、前
記第１及び第２反射器上で反射する光線が発生するよう
活性ガス中に放電を起こすべく電流源に接続された２つ
の電極とを備えている。
第１反射器に対向して前記ハウジング内に配置された第
２反射器であって、第１反射器と第２反射器との間に第
１チャンバを形成し第２反射器と該ハウジング他端との
間に第２チャンバを形成すべく緑が該ハウジングの壁面
に密封的に固定されており、且つこれら第１及び第２チ
ャンバを互に蓮通させる開□を備えた第２反射器と、−
活性レーザガスを前記第２チャンバ内に導入するための
手段と「−該ガスを前記第１チャンバから流出させるた
めの手段と、−該第１チャンバ内に配置されており、前
記第１及び第２反射器上で反射する光線が発生するよう
活性ガス中に放電を起こすべく電流源に接続された２つ
の電極とを備えている。
ガスは第２反射器の開□を介して第１チャンバ内に流入
し、この開口の断面積とガス圧とは第１チャンバ内に渦
流を発生させるよう選択してある。フランス特許公開Ｆ
Ｒ−Ａ第２２４３５３８号に開示されているこの種の公
知発振器では、空洞共振器が第１反射器と第２反射器と
により形成されている。
し、この開口の断面積とガス圧とは第１チャンバ内に渦
流を発生させるよう選択してある。フランス特許公開Ｆ
Ｒ−Ａ第２２４３５３８号に開示されているこの種の公
知発振器では、空洞共振器が第１反射器と第２反射器と
により形成されている。
出力レーザ光は第２反射器の開□を通過し、第２チャン
バの壁面に形成された透明窓を介してハウジングの外へ
出るのであるが、この空洞共振器内で振動する光線は第
２反射器の開口に対応する断面を有した第１チャンバの
麹方向円柱状ゾーンの一部を通過するにすぎないためか
なり大きな出力損失が生じる。この欠点を改良すべく、
２つのグループに分散された複数の（例えば１４個の）
反射器を備えた「マルチパツセージ（ｍｕｌｔｉｐａｓ
ｓａ鱒）」と称する空洞共振器の使用が提案された。
バの壁面に形成された透明窓を介してハウジングの外へ
出るのであるが、この空洞共振器内で振動する光線は第
２反射器の開口に対応する断面を有した第１チャンバの
麹方向円柱状ゾーンの一部を通過するにすぎないためか
なり大きな出力損失が生じる。この欠点を改良すべく、
２つのグループに分散された複数の（例えば１４個の）
反射器を備えた「マルチパツセージ（ｍｕｌｔｉｐａｓ
ｓａ鱒）」と称する空洞共振器の使用が提案された。
この共振器では振動光線がこれら反射器相互間で、第１
チャンバ内部空間のほぼ全体を通過するジグザグ形ビー
ムとして発生する。しかし乍らこのような構造では空洞
共振器を囲む多数の反射器上での反射によって大きな光
損失が生じ、そのため出力が所望の値より遥かに少しし
か増大しない。本発明の目的は前記フランス特許公開Ｆ
Ｒ−Ａ第２２４３５３８号により公知のレーザ発振器を
改良して出力を著しく増大させることにある。
チャンバ内部空間のほぼ全体を通過するジグザグ形ビー
ムとして発生する。しかし乍らこのような構造では空洞
共振器を囲む多数の反射器上での反射によって大きな光
損失が生じ、そのため出力が所望の値より遥かに少しし
か増大しない。本発明の目的は前記フランス特許公開Ｆ
Ｒ−Ａ第２２４３５３８号により公知のレーザ発振器を
改良して出力を著しく増大させることにある。
本発明の対象は前述の如く規定されるタイプのガスフロ
ーレ−ザ発振器であり、該発振器は−第１反射器が中央
に配置された第１反射面とこれに続く周緑の第２反射面
とを有しており、これら反射面はいずれもほぼ円錐形で
あって前記の胸上に互に同軸的に配置されていると共に
該軸の垂直面に対し互に逆方向に傾斜しており、第２反
射器が平面形で前記軸と同心的に配置されており、前記
開□が軸方向開口であり、その結果第２反射器より送ら
れる光線の環状第１ビームが前記第２及び第１円錐形面
上で順次反射して該鞠周囲に柱状第２ビームを形成し、
該第２ビームが環状１ビームにより占拠されずに自由空
間として残された軸方向スペースのほぼ全体を占拠し且
つ第２反射器の開□を介して第２チャンバ内に浸透する
ことと、−該発振器自体が前記軸と同心的な凸形第３反
射器と、第２及び第３反射器間で該軸上に配置された平
面形第４反射器とをも備えており、該第３反射器が発散
状同軸第３ビームを形成すべく前記円柱状第２ビームを
反射するよう第２チャンバ内に配置されており、該第４
反射器が中央開口を有していると共に軸の垂直面に対し
傾斜しており、そのため一方では前記第２ビームと第３
ビームの軸方向部分とが該中央関口を通過し、他方では
第３ビームの残りの周緑部分が第４反射器上で反射して
第４ビームとなり、第１、第２、第３及び第４反射器が
レーザ効果を発生すべく光線を増幅させる機能をもつ不
安定空洞共振器（ｃａｖｉｆｅ′ ｒｅ′ｓｏ肌ａｎｔ
ｅｉｎｓｔａｂｌｅ）を構成し、第４ビームがレーザ光
を構成し、前記ハウジングが該レーザ光をハウジングへ
出すための手段を備えていることとを特徴とする。
ーレ−ザ発振器であり、該発振器は−第１反射器が中央
に配置された第１反射面とこれに続く周緑の第２反射面
とを有しており、これら反射面はいずれもほぼ円錐形で
あって前記の胸上に互に同軸的に配置されていると共に
該軸の垂直面に対し互に逆方向に傾斜しており、第２反
射器が平面形で前記軸と同心的に配置されており、前記
開□が軸方向開口であり、その結果第２反射器より送ら
れる光線の環状第１ビームが前記第２及び第１円錐形面
上で順次反射して該鞠周囲に柱状第２ビームを形成し、
該第２ビームが環状１ビームにより占拠されずに自由空
間として残された軸方向スペースのほぼ全体を占拠し且
つ第２反射器の開□を介して第２チャンバ内に浸透する
ことと、−該発振器自体が前記軸と同心的な凸形第３反
射器と、第２及び第３反射器間で該軸上に配置された平
面形第４反射器とをも備えており、該第３反射器が発散
状同軸第３ビームを形成すべく前記円柱状第２ビームを
反射するよう第２チャンバ内に配置されており、該第４
反射器が中央開口を有していると共に軸の垂直面に対し
傾斜しており、そのため一方では前記第２ビームと第３
ビームの軸方向部分とが該中央関口を通過し、他方では
第３ビームの残りの周緑部分が第４反射器上で反射して
第４ビームとなり、第１、第２、第３及び第４反射器が
レーザ効果を発生すべく光線を増幅させる機能をもつ不
安定空洞共振器（ｃａｖｉｆｅ′ ｒｅ′ｓｏ肌ａｎｔ
ｅｉｎｓｔａｂｌｅ）を構成し、第４ビームがレーザ光
を構成し、前記ハウジングが該レーザ光をハウジングへ
出すための手段を備えていることとを特徴とする。
以下、本発明による発振器の一具体例を示す単一添付図
面に基づき、本発明の非限定的特定実施態様を説明する
。
面に基づき、本発明の非限定的特定実施態様を説明する
。
この図には軸２に沿ったほぼ円柱状のハウジング１が示
されている。
されている。
該ハウジングの一端には鏡３が配置されている。この鏡
はほぼ円錐形の頂端５ををつ反射面４を中央に、ほぼ円
錐合形の反射面６を周縁部に有している。これら反射面
４，６は軸２を中心とした回転面であり、円７に沿って
互に接続されており、且つ図の如くＷ形の断面が得られ
るよう軸２の垂直面に対して互に逆方向に傾斜している
。ハウジング１内には平面鏡８が軸２と同０的に且つ鏡
３と対向して配置されている。
はほぼ円錐形の頂端５ををつ反射面４を中央に、ほぼ円
錐合形の反射面６を周縁部に有している。これら反射面
４，６は軸２を中心とした回転面であり、円７に沿って
互に接続されており、且つ図の如くＷ形の断面が得られ
るよう軸２の垂直面に対して互に逆方向に傾斜している
。ハウジング１内には平面鏡８が軸２と同０的に且つ鏡
３と対向して配置されている。
該平面鏡の縁は環状パッキン９を介してハウジング１の
内壁に固定されており、そのため談容器内では鏡３及び
８間にチャンバ１０が形成され且つ該容器残留空間がチ
ャンバ１１を構成している。鏡８は環状であり、この環
の内側の円柱状側面にはノズル（山ｙきｒ３ １２が軸
２方向に固定されている。このノズル１２のスロートの
直径は円７の直径にほぼ等しいｏチヤンバ１０内には夫
々鏡３と８との近傍に２つの環状電極１３及び１４が配
置されている。
内壁に固定されており、そのため談容器内では鏡３及び
８間にチャンバ１０が形成され且つ該容器残留空間がチ
ャンバ１１を構成している。鏡８は環状であり、この環
の内側の円柱状側面にはノズル（山ｙきｒ３ １２が軸
２方向に固定されている。このノズル１２のスロートの
直径は円７の直径にほぼ等しいｏチヤンバ１０内には夫
々鏡３と８との近傍に２つの環状電極１３及び１４が配
置されている。
高圧直流源１５の２つの端子は夫々電極１３と１４とに
接続されている。チャンバ１１内には凸形鏡１６が軸２
と同０的に配置されている。この鏡の反射面は鏡３方向
に面している。鏡８及び１６間には中央関口１８を備え
た鏡１７が軸２上で該軸に対し傾斜して配置されている
。チャンバ１１内には前記関口１８を通過する横軸２０
と同Ｄ的に凹形鏡１９も配置されている。また、チャン
バ１１を包囲する容器壁面には軸２０上に位置する閉口
２１が備えられている。該チャンバ１１は管２４を介し
てコンブレッサ２３の出口に接続された開放部２２を有
しており、チャンバ１０は鏡３の縁と容器１の壁面との
間に開放部２５を有している。
接続されている。チャンバ１１内には凸形鏡１６が軸２
と同０的に配置されている。この鏡の反射面は鏡３方向
に面している。鏡８及び１６間には中央関口１８を備え
た鏡１７が軸２上で該軸に対し傾斜して配置されている
。チャンバ１１内には前記関口１８を通過する横軸２０
と同Ｄ的に凹形鏡１９も配置されている。また、チャン
バ１１を包囲する容器壁面には軸２０上に位置する閉口
２１が備えられている。該チャンバ１１は管２４を介し
てコンブレッサ２３の出口に接続された開放部２２を有
しており、チャンバ１０は鏡３の縁と容器１の壁面との
間に開放部２５を有している。
これら開放部２５は管２６を介してコンブレツサ２３の
入口に接続されており、該コンブレツサ２３はガスリザ
ーバ２７に接続されている。以上添付図面に基づき説明
してきたレーザ発振器は次の如く機能する。
入口に接続されており、該コンブレツサ２３はガスリザ
ーバ２７に接続されている。以上添付図面に基づき説明
してきたレーザ発振器は次の如く機能する。
先ずコンブレッサ２３を始動させて炭酸ガスと窒素とヘ
リウムとの混合気をリザーバ２７からチャンバ１１内へ
導入する。
リウムとの混合気をリザーバ２７からチャンバ１１内へ
導入する。
導入された気体はノズル１２を介してチヤンバ１０内へ
流入する。この混合気の供給は、チャンバ１１内の圧力
を周囲の大気圧よりやや高めにすべ〈調整するのが好ま
しい。例えば周囲の圧力が１０１３ミリバールの場合は
チャンバ１１内の圧力を１０２８ミリバールにする。開
放部２５を介してコンブレッサ２３の吸引作用を受ける
チャンバ１０内のガス圧はノズル１２の存在により降下
する。該チャンバ１０内の圧力は約１３０ミリバールで
あってよい。チャンバ１０の流出口の断面積と、ノズル
１２のスロートの断面積と、チヤンバ１１内の混合気の
圧力とチャンバ１０の直径と、反射器３及び８間の距離
とは、ノズル１２を介し流出してチヤンバ１０の鯛方向
ゾーンを矢印２８の如く流動するガスフローが、反射器
３の前に到達するとチャンバ１０の側壁方向に移動し更
にチャンバ１０壁面の近傍を矢印２９方向に流動してそ
の結果渦流３０を生じるように決定する。
流入する。この混合気の供給は、チャンバ１１内の圧力
を周囲の大気圧よりやや高めにすべ〈調整するのが好ま
しい。例えば周囲の圧力が１０１３ミリバールの場合は
チャンバ１１内の圧力を１０２８ミリバールにする。開
放部２５を介してコンブレッサ２３の吸引作用を受ける
チャンバ１０内のガス圧はノズル１２の存在により降下
する。該チャンバ１０内の圧力は約１３０ミリバールで
あってよい。チャンバ１０の流出口の断面積と、ノズル
１２のスロートの断面積と、チヤンバ１１内の混合気の
圧力とチャンバ１０の直径と、反射器３及び８間の距離
とは、ノズル１２を介し流出してチヤンバ１０の鯛方向
ゾーンを矢印２８の如く流動するガスフローが、反射器
３の前に到達するとチャンバ１０の側壁方向に移動し更
にチャンバ１０壁面の近傍を矢印２９方向に流動してそ
の結果渦流３０を生じるように決定する。
次に電源１５のスイッチを入れてチャンバ翼０内の電極
１３及び１４間に放電を起こす。
１３及び１４間に放電を起こす。
この放電は前述の如く渦流３０状に流動する活性ガス内
では特に安定性が高く且つ均質である。反射器８，３，
１６及び１７は不安定空洞共振器を構成しており、該空
洞共振器内で振動光線が作られる。
では特に安定性が高く且つ均質である。反射器８，３，
１６及び１７は不安定空洞共振器を構成しており、該空
洞共振器内で振動光線が作られる。
この光線は鏡８により往路と同一の軌道に沿って反射さ
れた環状円柱形ビーム３１を含んでいる。該ビームはそ
の後面６及び４上で順次反射しその結果該ビーム３１と
平行で且つ逆方向の鞠方向円柱形ビーム３２が生じる。
鏡３のほぼ円錐形の回転面４及び６の母線は実際には正
確な直線ではなくほぼ直線状の曲線で構成されており、
その輪郭はビーム３２がビーム３１と厳密に平行となる
よう決定されている。
れた環状円柱形ビーム３１を含んでいる。該ビームはそ
の後面６及び４上で順次反射しその結果該ビーム３１と
平行で且つ逆方向の鞠方向円柱形ビーム３２が生じる。
鏡３のほぼ円錐形の回転面４及び６の母線は実際には正
確な直線ではなくほぼ直線状の曲線で構成されており、
その輪郭はビーム３２がビーム３１と厳密に平行となる
よう決定されている。
このような非直線的輪郭を実際に形成する場合はダイヤ
モンド工具を用いて反射器３を切削加工しなければなら
ない。ノズル１２のスロートの直径が鏡３の面４及び６
間の接合部を構成する円７の直径にほぼ等しいため、ビ
ーム３２は該ノズル１２のスロートを辛うじて通過し、
鏡１６上で反射する。
モンド工具を用いて反射器３を切削加工しなければなら
ない。ノズル１２のスロートの直径が鏡３の面４及び６
間の接合部を構成する円７の直径にほぼ等しいため、ビ
ーム３２は該ノズル１２のスロートを辛うじて通過し、
鏡１６上で反射する。
ビーム３２はまた、環状ビーム３１が占拠しないチャン
バ１０内の軸方向自由空間をほぼ全面的に占拠する。鏡
１７の開□１８はビーム３２を辛うじて通過させるよう
形成する。凸形鏡１６は軽く発散したビーム３３が得ら
れるようビーム３２を反射する。その結果鏡１６方向に
面した鏡１７の面が該ビーム３３の周綾部を反射し、こ
のように反射した部分３６が出力レーザ光を構成する。
添付図面に示されている具体例ではこのビーム３６が凹
形鏡１９により逆方向に反射してビーム３４となり、鏡
１７の関口１８を通過してハウジング１壁面の開口２１
内の点３５に収束する。この開口２１‘ま直径が約３側
であってよく、レーザェネルギを囲陣外へ送出せしめる
。ビーム３１及び３２は互に交差することなく放電チャ
ンバ１０の有効空間をほぼ全面的に占拠するため、前述
の公知レーザ発振器に比べてかなり大きい出力レーザェ
ネルギが得られる。
バ１０内の軸方向自由空間をほぼ全面的に占拠する。鏡
１７の開□１８はビーム３２を辛うじて通過させるよう
形成する。凸形鏡１６は軽く発散したビーム３３が得ら
れるようビーム３２を反射する。その結果鏡１６方向に
面した鏡１７の面が該ビーム３３の周綾部を反射し、こ
のように反射した部分３６が出力レーザ光を構成する。
添付図面に示されている具体例ではこのビーム３６が凹
形鏡１９により逆方向に反射してビーム３４となり、鏡
１７の関口１８を通過してハウジング１壁面の開口２１
内の点３５に収束する。この開口２１‘ま直径が約３側
であってよく、レーザェネルギを囲陣外へ送出せしめる
。ビーム３１及び３２は互に交差することなく放電チャ
ンバ１０の有効空間をほぼ全面的に占拠するため、前述
の公知レーザ発振器に比べてかなり大きい出力レーザェ
ネルギが得られる。
また「本発明による不安定空洞共振器は比較的少ない鏡
によって機能するためマルチパッセージ形空洞共振器を
使用した場合に生じるェネルギ損失が大幅に減少する。
本発明の発振器により送出されるビームは角度の安定化
がマルチパッセージ形空洞共振器を用いるレーザの場合
より容易である。不安定空洞共振器ではモノモードの出
力ビームが得られるため或種の用途においては有利であ
る。更に、レーザビームが容器の開□を介して送出され
るため、先行技術で一般的に使用されている透明窓内で
の反射及び吸収による損失が回避される。その代りにガ
スは損失するが「 この開□近傍の容器内ガス圧を周囲
の大気圧よりほんの少し高めにすれば損失を極めて徴量
に抑えることができる。本発明のレーザ発振器は例えば
切削加工用レーザなど工業用レーザを実現するのに使用
し得る。
によって機能するためマルチパッセージ形空洞共振器を
使用した場合に生じるェネルギ損失が大幅に減少する。
本発明の発振器により送出されるビームは角度の安定化
がマルチパッセージ形空洞共振器を用いるレーザの場合
より容易である。不安定空洞共振器ではモノモードの出
力ビームが得られるため或種の用途においては有利であ
る。更に、レーザビームが容器の開□を介して送出され
るため、先行技術で一般的に使用されている透明窓内で
の反射及び吸収による損失が回避される。その代りにガ
スは損失するが「 この開□近傍の容器内ガス圧を周囲
の大気圧よりほんの少し高めにすれば損失を極めて徴量
に抑えることができる。本発明のレーザ発振器は例えば
切削加工用レーザなど工業用レーザを実現するのに使用
し得る。
図は本発明によるレーザ発振器の一具体例を示す説明図
である。 １……ハウジング、３，８，１６，１７，１９・・・・
・・反射器、９・…・・環状パッキン、１０・・・…第
１チャンバ、１１……第２チャンバ、１２……ノズル、
１３，１４・・・・・・電極、１５・・・・・・高圧直
流源、２３……コンブレツサ、２７”””ガスリザーノ
ゞ。
である。 １……ハウジング、３，８，１６，１７，１９・・・・
・・反射器、９・…・・環状パッキン、１０・・・…第
１チャンバ、１１……第２チャンバ、１２……ノズル、
１３，１４・・・・・・電極、１５・・・・・・高圧直
流源、２３……コンブレツサ、２７”””ガスリザーノ
ゞ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 軸沿いに伸長したハウジングと、 該ハウジングの一端に配置された第１反射器と、 該
第１反射器に対向して前記ハウジング内に配置された第
２反射器であつて、第１反射器と第２反射器との間に第
１チヤンバを形成し第２反射器とハウジング他端との間
に第２チヤンバを形成すべく縁が該ハウジング壁面に密
封的に固定されており且つこれら第１チヤンバ及び第２
チヤンバを互に連通させる開口を備えた第２反射器と、
活性レーザガスを前記第２チヤンバ内に導入するため
の手段と、 該ガスを前記第１チヤンバから流出させる
ための手段と、 第１チヤンバ内に配置されており、前
記第１及び第２反射器上で反射する光線が発生するよう
活性ガスの放電を起こすべく電流源に接続された２つの
電極とを備えており、 前記活性ガスが第２反射器の開
口を通過し、該開口の断面とガス圧とが第１チヤンバ内
に渦流を発生させるよう選択されており、 前記第１反
射器が中央に配置された第１反射面とこれに続く周縁の
第２反射面とを有しており、これら反射面がいずれもほ
ぼ円錐形であつて前記軸上に互に同軸的に配置されてい
ると共に該軸の垂直面に対し互に逆方向に傾斜しており
、前記第２反射器が平面形であつて前記軸と同心的に配
置されており、前記開口が軸方向であり、その結果第２
反射面より送られる光線の環状第１ビームが前記第２及
び第１円錐形反射面上で順次反射して該軸周囲に円柱状
第２ビームを形成し、該第２ビームが環状第１ビームに
よつて占められることのない軸方向スペースのほぼ全体
を占拠し且つ第２反射器の開口を介して第２チヤンバ内
に浸透することと、 発振器自体が前記軸と同心的な凸
形第３反射器と、第２及び第３反射器間で該軸上に配置
された平面形第４反射器とをも備えており、該第３反射
器が発散状同軸第３ビームを形成すべく前記円柱状第２
ビームを反射するよう第２チヤンバ内に配置されており
、該第４反射器が中央開口を有していると共に前記軸の
垂直面に対し傾斜しており、そのため一方では前記第２
ビームと第３ビームの軸方向部分とが該中央開口を通過
し、他方では第３ビームの残りの周縁部が該第４反射器
上で反射して第４ビームとなり、第１、第２、第３及び
第４反射器がレーザ効果を発生すべく光線を増幅させる
機能をもつ不安定空洞共振器を構成し、第４ビームがレ
ーザ光を構成し、前記ハウジングが該レーザ光をハウジ
ング外へ出すための手段を備えていることとを特徴とす
るガスフローレーザ発振器。 ２ レーザ光エネルギを第５ビームに従い一点に収束さ
せるべく配置された凹形第５反射器をも備えていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の発振器。 ３ レーザ光をハウジング外に出すための前記手段が第
２チヤンバを包囲するハウジング壁面に形成された開口
から成つており、レーザ光エネルギの前記収束点が該開
口内にあり、第２チヤンバに活性ガスを供給するための
前記手段が該チヤンバ内の活性ガス圧を該開口近傍でハ
ウジング外の気体圧力より少し高めに維持し得ることを
特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の発振器。 ４ 第５反射器が、該反射器と前記収束点との間に位置
する第４反射器の開口を介して第５ビームが通過するよ
う配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第２
項に記載の発振器。 ５ 第１チヤンバ内にガス圧降下を生じさせるべく第２
チヤンバを貫通したノズルを備えており、前記軸方向開
口が該ノズルのスロートで構成されていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の発振器。 ６ 第２チヤンバ内に活性ガスを導入し且つ第１チヤン
バから該ガスを流出させる手段がコンプレツサを含んで
おり、該コンプレツサの入口が第１チヤンバに、出口が
第２チヤンバに接続されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の発振器。 ７ 活性レーザガスが窒素と炭酸ガスとヘリウムとの混
合気であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の発振器。
Applications Claiming Priority (2)
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| JPS5943585A JPS5943585A (ja) | 1984-03-10 |
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Family Applications (1)
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