JPH0237711B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0237711B2 JPH0237711B2 JP59199353A JP19935384A JPH0237711B2 JP H0237711 B2 JPH0237711 B2 JP H0237711B2 JP 59199353 A JP59199353 A JP 59199353A JP 19935384 A JP19935384 A JP 19935384A JP H0237711 B2 JPH0237711 B2 JP H0237711B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection mirror
- total reflection
- mirror
- laser beam
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザビームを出射させるレーザ
発振器、特にレーザビームのモード制御に関する
ものである。
発振器、特にレーザビームのモード制御に関する
ものである。
第４図は従来のレーザ発振器の概略構成図であ
る。図において、１は部分透過鏡である部分反射
鏡、２Ａは全反射鏡、３は全反射鏡である。４は
モード選択用アパーチヤで、部分反射鏡１と全反
射鏡３との間に配設されている。光学共振器はこ
れらの反射鏡１，２Ａ，３とモード選択用アパー
チヤ４とで構成されている。５は励起領域で、全
反射鏡２Ａとモード選択用アパーチヤ４との間に
設けられ、光学共振器内に位置している。６は部
分反射鏡１から出射されるレーザビームである。
る。図において、１は部分透過鏡である部分反射
鏡、２Ａは全反射鏡、３は全反射鏡である。４は
モード選択用アパーチヤで、部分反射鏡１と全反
射鏡３との間に配設されている。光学共振器はこ
れらの反射鏡１，２Ａ，３とモード選択用アパー
チヤ４とで構成されている。５は励起領域で、全
反射鏡２Ａとモード選択用アパーチヤ４との間に
設けられ、光学共振器内に位置している。６は部
分反射鏡１から出射されるレーザビームである。
従来のレーザ発振器は上記のように構成され、
励起領域５で誘導放出されたレーザビーム６は全
反射鏡２Ａ，３と部分反射鏡１とによつて反覆通
過しながら増幅され、部分反射鏡１より外部へ放
出される。このレーザビーム６のモード制御はモ
ード選択用アパーチヤ４を交換することによつて
行つていた。
励起領域５で誘導放出されたレーザビーム６は全
反射鏡２Ａ，３と部分反射鏡１とによつて反覆通
過しながら増幅され、部分反射鏡１より外部へ放
出される。このレーザビーム６のモード制御はモ
ード選択用アパーチヤ４を交換することによつて
行つていた。
なお、第４図に示す従来例では、３が部分反射
鏡とした場合を説明したが、３を部分反射鏡とし
てもよい。この場合、部分反射鏡３からもレーザ
ビーム６が出射されることとなる。
鏡とした場合を説明したが、３を部分反射鏡とし
てもよい。この場合、部分反射鏡３からもレーザ
ビーム６が出射されることとなる。
上記のような従来のレーザ発振器では、部分反
射鏡１及び全反射鏡３はその曲率が変わらないも
のであるから、レーザビームのモード制御を行う
ためには、レーザ発振器を分解してモード選択用
アパーチヤ４を交換しなければならず、モード制
御を行うのに極めて手間と時間がかかるという問
題点があつた。
射鏡１及び全反射鏡３はその曲率が変わらないも
のであるから、レーザビームのモード制御を行う
ためには、レーザ発振器を分解してモード選択用
アパーチヤ４を交換しなければならず、モード制
御を行うのに極めて手間と時間がかかるという問
題点があつた。
この発明は、かかる問題点を解決するためにな
されたもので、手間をかけず短時間にしかも連続
的にモード制御が行えるレーザ発振器を得ること
を目的とする。
されたもので、手間をかけず短時間にしかも連続
的にモード制御が行えるレーザ発振器を得ること
を目的とする。
この発明に係るレーザ発振器は、光学共振器の
一部を構成する全反射鏡の少くとも１つはその曲
率を可変できる反射鏡として構成したものであ
る。
一部を構成する全反射鏡の少くとも１つはその曲
率を可変できる反射鏡として構成したものであ
る。
この発明においては、光学共振器の一部を構成
する全反射鏡の少くとも一つはその曲率を可変で
きる反射鏡としているので、モード制御を行う場
合にはそのいずれか一方の反射鏡の曲率を変えて
モード制御を行つている。
する全反射鏡の少くとも一つはその曲率を可変で
きる反射鏡としているので、モード制御を行う場
合にはそのいずれか一方の反射鏡の曲率を変えて
モード制御を行つている。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成図
である。図において、１は部分透過鏡である部分
反射鏡、２，３は全反射鏡で、一方の全反射鏡２
は水圧でその曲率が適宜変えることができる反射
鏡である。４はモード選択用アパーチヤ、５は励
起領域、６はレーザビームである。
である。図において、１は部分透過鏡である部分
反射鏡、２，３は全反射鏡で、一方の全反射鏡２
は水圧でその曲率が適宜変えることができる反射
鏡である。４はモード選択用アパーチヤ、５は励
起領域、６はレーザビームである。
上記のように構成されたレーザ発振器において
は、全反射鏡２の曲率を水圧で適宜の曲率に変
え、等価的なモード選択用アパーチヤ４の径を変
化させて部分反射鏡１より出射するレーザビーム
６のモードを制御する。このレーザビーム６の波
長範囲は1μｍから20μｍまでのものである。
は、全反射鏡２の曲率を水圧で適宜の曲率に変
え、等価的なモード選択用アパーチヤ４の径を変
化させて部分反射鏡１より出射するレーザビーム
６のモードを制御する。このレーザビーム６の波
長範囲は1μｍから20μｍまでのものである。
この実施例では、レーザビーム６のモードを制
御するのに全反射鏡２がその曲率を可変できる反
射鏡としているが、全反射鏡２を曲率が変わらな
い反射鏡とし、全反射鏡３をその曲率が水圧で可
変できる反射鏡としても良いことは勿論である。
御するのに全反射鏡２がその曲率を可変できる反
射鏡としているが、全反射鏡２を曲率が変わらな
い反射鏡とし、全反射鏡３をその曲率が水圧で可
変できる反射鏡としても良いことは勿論である。
また、全反射鏡２又は３はその曲率を水圧で可
変できるものとしているが、気圧で可変できるよ
うにしたものであつても良いことは勿論である。
変できるものとしているが、気圧で可変できるよ
うにしたものであつても良いことは勿論である。
更に、全反射鏡２がその曲率を可変できる反射
鏡とした場合、全反射鏡３を部分反射鏡として構
成してもよく、このときには、その部分反射鏡か
らもレーザビーム６が出射される。
鏡とした場合、全反射鏡３を部分反射鏡として構
成してもよく、このときには、その部分反射鏡か
らもレーザビーム６が出射される。
第２図は、この発明の他の実施例を示す概略構
成図である。この実施例は前記実施例のものより
出力増大のために励起領域を実質的に長くし、コ
ンパクト化のために反射鏡を増やして光のパスを
折り曲げたものである。図において、２はいずれ
も全反射鏡、３は全反射鏡又は部分反射鏡として
構成され、５は大きくしてパスが実質的には長く
なつた励起領域である。
成図である。この実施例は前記実施例のものより
出力増大のために励起領域を実質的に長くし、コ
ンパクト化のために反射鏡を増やして光のパスを
折り曲げたものである。図において、２はいずれ
も全反射鏡、３は全反射鏡又は部分反射鏡として
構成され、５は大きくしてパスが実質的には長く
なつた励起領域である。
この実施例も前記した実施例と同様に３が全反
射鏡であるときには、全反射鏡２或いは３をその
曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡としてモ
ード制御が行えるように構成されている。
射鏡であるときには、全反射鏡２或いは３をその
曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡としてモ
ード制御が行えるように構成されている。
第３図は、この発明の別の他の実施例を示す概
略構成図である。この実施例も第１図の実施例の
ものより、出力増大のために励起領域を長くし、
コンパクト化のために反射鏡を増やして光のパス
を折り曲げたものである。図において、２はいず
れも全反射鏡、３は全反射鏡又は部分反射鏡とし
て構成され、５はパスが実質的に長い複数の励起
領域である。
略構成図である。この実施例も第１図の実施例の
ものより、出力増大のために励起領域を長くし、
コンパクト化のために反射鏡を増やして光のパス
を折り曲げたものである。図において、２はいず
れも全反射鏡、３は全反射鏡又は部分反射鏡とし
て構成され、５はパスが実質的に長い複数の励起
領域である。
この実施例も第１図に示す実施例と同様に３が
全反射鏡であるときには、全反射鏡２或いは３を
その曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡とす
ることによつてモード制御が行えるように構成さ
れている。
全反射鏡であるときには、全反射鏡２或いは３を
その曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡とす
ることによつてモード制御が行えるように構成さ
れている。
この発明は以上説明したとおり、光学共振器の
一部を構成する全反射鏡の少なくとも一つをその
曲率を可変できる反射鏡とし、その反射鏡の曲率
を適宜に変えることによつてレーザビームのモー
ド制御が従来のようにレーザ発振器を分解するな
どしないで手間をかけることなく、短時間にしか
も連続的に行え、レーザ加工装置にとつて都合の
よい発散角をもつたレーザビームを出射できるレ
ーザ発振器を提供できるという効果がある。
一部を構成する全反射鏡の少なくとも一つをその
曲率を可変できる反射鏡とし、その反射鏡の曲率
を適宜に変えることによつてレーザビームのモー
ド制御が従来のようにレーザ発振器を分解するな
どしないで手間をかけることなく、短時間にしか
も連続的に行え、レーザ加工装置にとつて都合の
よい発散角をもつたレーザビームを出射できるレ
ーザ発振器を提供できるという効果がある。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略構成
図、第２図はこの発明の他の実施例を示す概略構
成図、第３図はこの発明の別の他の実施例を示す
概略構成図、第４図は従来のレーザ発振器の概略
構成図である。 図において、１は部分透過鏡、２は全反射鏡、
３は全反射鏡もしくは部分反射鏡、４はモード選
択用アパーチヤ、５は励起領域、６はレーザビー
ムである。なお、各図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
図、第２図はこの発明の他の実施例を示す概略構
成図、第３図はこの発明の別の他の実施例を示す
概略構成図、第４図は従来のレーザ発振器の概略
構成図である。 図において、１は部分透過鏡、２は全反射鏡、
３は全反射鏡もしくは部分反射鏡、４はモード選
択用アパーチヤ、５は励起領域、６はレーザビー
ムである。なお、各図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも一枚の部分反射鏡と、少くとも一
枚の全反射鏡と、モード選択用のアパーチヤと、
上記部分反射鏡、全反射鏡及びアパーチヤとで構
成された光学共振器内に設けられた少くとも一つ
の励起領域とからなり、上記全反射鏡の曲率を可
変としたレーザ発振器。 ２ 前記部分反射鏡から出射されるレーザビーム
はその波長範囲が1μｍから20μｍであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199353A JPS6178183A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199353A JPS6178183A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6178183A JPS6178183A (ja) | 1986-04-21 |
| JPH0237711B2 true JPH0237711B2 (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=16406346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59199353A Granted JPS6178183A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6178183A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3644145B2 (ja) * | 1996-08-21 | 2005-04-27 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
| JP2002151776A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-24 | Gigaphoton Inc | 真空紫外レーザ装置 |
| CN105375255A (zh) * | 2015-09-14 | 2016-03-02 | 北京理工大学 | 基于变透过率腔镜的激光器输出功率优化方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6088485A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | レ−ザ−共振器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4855838U (ja) * | 1971-10-18 | 1973-07-17 |
-
1984
- 1984-09-26 JP JP59199353A patent/JPS6178183A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6088485A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | レ−ザ−共振器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6178183A (ja) | 1986-04-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |