JPS6178183A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6178183A JPS6178183A JP59199353A JP19935384A JPS6178183A JP S6178183 A JPS6178183 A JP S6178183A JP 59199353 A JP59199353 A JP 59199353A JP 19935384 A JP19935384 A JP 19935384A JP S6178183 A JPS6178183 A JP S6178183A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- curvature
- reflection mirror
- mirror
- total
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この究明は、レーザビームを出射さぜるレーザ発振器、
特にレーザビームのモード制御に関するもので、５る。
特にレーザビームのモード制御に関するもので、５る。
〔従来の技術］
第４図は従来のレーザ発振器の概略門成図でめる。図に
おいて、（１）は部分透過棟でめる部分反射鏡、（２人
）は全反射鏡、（３）は全反射鏡でろる。
おいて、（１）は部分透過棟でめる部分反射鏡、（２人
）は全反射鏡、（３）は全反射鏡でろる。
（４）ハモード選択用アバーティで、部分反射鏡（１）
と全反射鏡（３）との間に配役さ゛れている。光学共振
器はこれらの反射鏡＋１）、（２＾） 、 ＋３）とモ
ード選択用アパーチャ（４）とで碑戎されている。（５
）は励起領域で、全反射鏡（２Ａ）とモード選択用アパ
ーチャ（４）との間に設けられ、光学共振器内に位ｌｉ
ｔ している。（６）は部分反射鏡（］）から出射され
るレーザビームでろ杢。
と全反射鏡（３）との間に配役さ゛れている。光学共振
器はこれらの反射鏡＋１）、（２＾） 、 ＋３）とモ
ード選択用アパーチャ（４）とで碑戎されている。（５
）は励起領域で、全反射鏡（２Ａ）とモード選択用アパ
ーチャ（４）との間に設けられ、光学共振器内に位ｌｉ
ｔ している。（６）は部分反射鏡（］）から出射され
るレーザビームでろ杢。
従来のレーザイら振器は上記のようＩで構成きれ、励起
領域（５）で誘導放出されたレーザビーム（６）は全反
射Ｒ（２Ａ） 、 ｆ３）と部分反射ｗＡ（１）とによ
って反覆通過しながら増幅され、部分反射鏡（１）より
外部へ放出される。このレーザビーム（６）のモード制
御はモード選択用アパーチャ（４）を交換することによ
って行っていた。
領域（５）で誘導放出されたレーザビーム（６）は全反
射Ｒ（２Ａ） 、 ｆ３）と部分反射ｗＡ（１）とによ
って反覆通過しながら増幅され、部分反射鏡（１）より
外部へ放出される。このレーザビーム（６）のモード制
御はモード選択用アパーチャ（４）を交換することによ
って行っていた。
なお、４５１図に示す従来例で汀、（３）が全反射鏡と
した場合を説明したが、（３）を部分反射鏡としてもよ
い。この場合、部分反射鏡（３）からもレーザビーム（
６）が出射されることとなる。
した場合を説明したが、（３）を部分反射鏡としてもよ
い。この場合、部分反射鏡（３）からもレーザビーム（
６）が出射されることとなる。
〔発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来のレーザ発振器で汀、部分反射ｊ４（
１１及び全反射鏡（３）はその曲率が変わらないもので
めるから、レーザビームのモード制呻を行うためＶＣは
、レーザ発振器を分解してモード選択用アパーチャ（４
）を交換しなければならず、モード制ｍｔ−行うのに極
めて手；−１と時間がかかるという問題点がめった。
１１及び全反射鏡（３）はその曲率が変わらないもので
めるから、レーザビームのモード制呻を行うためＶＣは
、レーザ発振器を分解してモード選択用アパーチャ（４
）を交換しなければならず、モード制ｍｔ−行うのに極
めて手；−１と時間がかかるという問題点がめった。
この光切は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、手間をかけず短時間にしかも連続的にモード制御
が行えるレーザ発振器を得ることを目的とする、 〔問題点を解決するだめの手段〕 この発明に係るレーザ発振器は、光学共振器の一部を構
成する部分反射鏡又は全反射鏡の少なくともいずれか一
万μ七の曲率を可変できる反射鏡として構成したもので
ろる。
ので、手間をかけず短時間にしかも連続的にモード制御
が行えるレーザ発振器を得ることを目的とする、 〔問題点を解決するだめの手段〕 この発明に係るレーザ発振器は、光学共振器の一部を構
成する部分反射鏡又は全反射鏡の少なくともいずれか一
万μ七の曲率を可変できる反射鏡として構成したもので
ろる。
この発明においては、光学共振器の一部を構成する部分
反射却又は全反射鏡の少なくともいずれか一部はその曲
率を可変できる反射鏡としているので、モード制御を行
う場合にはそのいずれか一部の反射民の曲率を変えてモ
ード制御を行っている。
反射却又は全反射鏡の少なくともいずれか一部はその曲
率を可変できる反射鏡としているので、モード制御を行
う場合にはそのいずれか一部の反射民の曲率を変えてモ
ード制御を行っている。
第１図はこの発明の一実施例金示す概略構成図でろる。
図において、（１）ハ部分透過箋でろる部分反射鏡、（
２）、（３）Ｈ全反射鏡で、−万の全反射鏡（２）は水
圧でその曲率が適宜変えることができる反射鏡でるる。
２）、（３）Ｈ全反射鏡で、−万の全反射鏡（２）は水
圧でその曲率が適宜変えることができる反射鏡でるる。
（４）はモード選択用アパーチャ、（５）は励起領域、
（６）ハレーザビームで６る。
（６）ハレーザビームで６る。
上記のように購成避れたレーザ発振器においては、全反
射部（２）の曲率を水圧で適宜の曲率に変え。
射部（２）の曲率を水圧で適宜の曲率に変え。
等価的なモード選択用アパーチャ（ル）の径を変化させ
て部分反射＠（１）より出射するレーザビーム（６）の
モードを制御する。このレーザビーム（６）の波長範囲
は１μｍから２０μｍ までのものでるる。
て部分反射＠（１）より出射するレーザビーム（６）の
モードを制御する。このレーザビーム（６）の波長範囲
は１μｍから２０μｍ までのものでるる。
この実施例では、レーザビーム（６）のモードを制御す
るのに全反射鏡（２）が七の曲率を可変できる反射鏡と
しているが、全反射鏡（２）を曲率が変わらない反射色
とし、全反射鏡（３）全その曲率が水圧で可変できる反
射鏡としても良いことは勿論である。
るのに全反射鏡（２）が七の曲率を可変できる反射鏡と
しているが、全反射鏡（２）を曲率が変わらない反射色
とし、全反射鏡（３）全その曲率が水圧で可変できる反
射鏡としても良いことは勿論である。
また、全反射鏡（２）又ハ（３）はその曲率を水圧で可
変できるものとしているが、気圧で可変できるようにし
たものでめりても良いことは勿論でめる。
変できるものとしているが、気圧で可変できるようにし
たものでめりても良いことは勿論でめる。
更に、全反射鏡（２）がその曲率を可変できる反射鏡と
した場合、全反射鏡（３）を部分反射焼として構成して
もよく、このときにげ、その部分反射鏡からもレーザビ
ーム（６）が出射される。
した場合、全反射鏡（３）を部分反射焼として構成して
もよく、このときにげ、その部分反射鏡からもレーザビ
ーム（６）が出射される。
次に、上記した実施例では、全反射…（２）を、セの曲
率を可変できるとしているが、全反射部（２）を曲率が
変わらない反射鏡とし、部分反射節（りを七の曲率を水
圧又は気圧で可変できる反射−としてもよい。この場合
には、部分反射鏡（１）より出射するレーザビーム（６
）のモードを制御することができると共に曲率が変わる
ことによって、レンズトシての焦点距離が変化すること
から、レーザビーム（６）の発散角も制御することがで
きる。従って、レーザ加工装置にとって都合のよい発散
角をもったレーザビームを出射できることになる。
率を可変できるとしているが、全反射部（２）を曲率が
変わらない反射鏡とし、部分反射節（りを七の曲率を水
圧又は気圧で可変できる反射−としてもよい。この場合
には、部分反射鏡（１）より出射するレーザビーム（６
）のモードを制御することができると共に曲率が変わる
ことによって、レンズトシての焦点距離が変化すること
から、レーザビーム（６）の発散角も制御することがで
きる。従って、レーザ加工装置にとって都合のよい発散
角をもったレーザビームを出射できることになる。
また、全反射鏡（３）を部分反射鏡として構成したとき
Ｋは、部分反射鏡（１）又は（３）のいずれかをその曲
率をｏＴ変できる反射鏡としてもよい。
Ｋは、部分反射鏡（１）又は（３）のいずれかをその曲
率をｏＴ変できる反射鏡としてもよい。
ｖｇ２図は、この発明の他の実施例を示す概略構成図で
あろうこの実施例は前記実施例のものより出力増大のた
めに励起便域を実質的に長くし、コンパクト化のために
反射鏡を増やして光のバスを折り曲げたものであるう図
において、（２）はいずれも全反射鏡、（３）は全反射
鏡又は部分反射鏡として構成され、（５） ｔ′ｓ大き
くしてバスが実質的には長くなつ九励起領域である。
あろうこの実施例は前記実施例のものより出力増大のた
めに励起便域を実質的に長くし、コンパクト化のために
反射鏡を増やして光のバスを折り曲げたものであるう図
において、（２）はいずれも全反射鏡、（３）は全反射
鏡又は部分反射鏡として構成され、（５） ｔ′ｓ大き
くしてバスが実質的には長くなつ九励起領域である。
この実施例も前記した実施例と同様［（３）が全反射鏡
であるときには、全反射！Ｒ（２）或いは（３）をその
曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡としてモード１
ｉｌｌ 仰が行えるように構成されている。また、（３
）が部分反射？玉であるとさＫは、部分反射鏡（１）或
いは（３）を七の曲率を水圧又は気圧で可変できる反射
篤としてモード１ｉｉｌｌ 鍔と発散角の制御が行える
ようＶＣｔ！々或されているものである、第５図に、こ
の発明の別の他の実施例を示す概略ｒ４構成である。こ
の実施例も第１図の実施例のも６つより、出力増大のた
めに励起領域を長くし、コ／パクト化のために反射模ｆ
増やして光のパスを折り曲けたものである。図において
、（２）はいずれも全反射鏡、（３）は全反射鏡又は部
分反射鏡としてＩＱ成され、（５）はパスが実珂的に長
い複数の励起領域である。
であるときには、全反射！Ｒ（２）或いは（３）をその
曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡としてモード１
ｉｌｌ 仰が行えるように構成されている。また、（３
）が部分反射？玉であるとさＫは、部分反射鏡（１）或
いは（３）を七の曲率を水圧又は気圧で可変できる反射
篤としてモード１ｉｉｌｌ 鍔と発散角の制御が行える
ようＶＣｔ！々或されているものである、第５図に、こ
の発明の別の他の実施例を示す概略ｒ４構成である。こ
の実施例も第１図の実施例のも６つより、出力増大のた
めに励起領域を長くし、コ／パクト化のために反射模ｆ
増やして光のパスを折り曲けたものである。図において
、（２）はいずれも全反射鏡、（３）は全反射鏡又は部
分反射鏡としてＩＱ成され、（５）はパスが実珂的に長
い複数の励起領域である。
この実施例も４１図に示す実施例と同様に（３）が全反
射鏡であるときには、全反射鏡（２）或いは・３）をそ
の曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡とすることに
よってモード制御が行えるように構成されている。また
、（３）が部分反射鏡であるときには、部分反射鏡（１
）或いは（３）をその曲率を水圧又は気圧で可変できる
反射鏡としてモード制御と発散角の制御とが行えるよう
に構成されているものである。
射鏡であるときには、全反射鏡（２）或いは・３）をそ
の曲率を水圧又は気圧で可変できる反射鏡とすることに
よってモード制御が行えるように構成されている。また
、（３）が部分反射鏡であるときには、部分反射鏡（１
）或いは（３）をその曲率を水圧又は気圧で可変できる
反射鏡としてモード制御と発散角の制御とが行えるよう
に構成されているものである。
この発明は以上説明したとおり、光学共振器の一部を構
成する部分反射鏡又は全反射鏡の少なくともいずれか一
部をその曲率を可変できる反射鏡とし、その反射鏡の曲
率を適宜に変えることによってレーザビームのモード制
御が従来のようにレーザ発振器を分解するなどしないで
手ｒＩ！Ｉをかけることなく、短時間にしかも連続的に
行え、部分反射鏡の曲率を変えるようにしたと＠ＶＣｕ
、 レーザビームの発散角の制御もあわせて行え、レ
ーザ加工装置にとって都合のよい発散角をもったレーザ
ビームを出射できるレーザ発振器を提供できるという効
果がある。
成する部分反射鏡又は全反射鏡の少なくともいずれか一
部をその曲率を可変できる反射鏡とし、その反射鏡の曲
率を適宜に変えることによってレーザビームのモード制
御が従来のようにレーザ発振器を分解するなどしないで
手ｒＩ！Ｉをかけることなく、短時間にしかも連続的に
行え、部分反射鏡の曲率を変えるようにしたと＠ＶＣｕ
、 レーザビームの発散角の制御もあわせて行え、レ
ーザ加工装置にとって都合のよい発散角をもったレーザ
ビームを出射できるレーザ発振器を提供できるという効
果がある。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略構成図、第２
図はこの発明の他の実施例を示す概略構成図、第６図は
この発明の別の他の実施例を示す概略構成図、第４図は
従来のレーザ発振器の概略構成図である。 図において、（１）は部分］過鏡、（２）は全反射鏡、
（３）は全反射鏡もしくに部分反射鏡、（４）にモード
選択用アパーチャ、＋５） ｔ−１ｔ １７／７起領域
、（６）はレーザビームである。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１因 １・を衿ｔ＊４を 第２図
図はこの発明の他の実施例を示す概略構成図、第６図は
この発明の別の他の実施例を示す概略構成図、第４図は
従来のレーザ発振器の概略構成図である。 図において、（１）は部分］過鏡、（２）は全反射鏡、
（３）は全反射鏡もしくに部分反射鏡、（４）にモード
選択用アパーチャ、＋５） ｔ−１ｔ １７／７起領域
、（６）はレーザビームである。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１因 １・を衿ｔ＊４を 第２図
Claims (4)
- （１）少なくとも一枚の部分反射鏡と、少なくとも一枚
の全反射鏡と、モード選択用アパーチャとで構成された
光学共振器内に少なくとも一つの励起領域を設け、部分
反射鏡からレーザビームを出射させるようにしたレーザ
発振器において、前記部分反射鏡又は全反射鏡の少なく
ともいずれか一方はその曲率を可変できる反射鏡とした
ことを特徴とするレーザ発振器。 - （２）前記部分反射鏡から出射されるレーザビームはそ
の波長範囲が１μｍから２０μｍであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。 - （３）前記曲率を可変できる反射鏡は水圧で制御される
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発
振器。 - （４）前記曲率を可変できる反射鏡は気圧で制御される
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199353A JPS6178183A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199353A JPS6178183A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6178183A true JPS6178183A (ja) | 1986-04-21 |
| JPH0237711B2 JPH0237711B2 (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=16406346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59199353A Granted JPS6178183A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6178183A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5825801A (en) * | 1996-08-21 | 1998-10-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser apparatus |
| JP2002151776A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-24 | Gigaphoton Inc | 真空紫外レーザ装置 |
| CN105375255A (zh) * | 2015-09-14 | 2016-03-02 | 北京理工大学 | 基于变透过率腔镜的激光器输出功率优化方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4855838U (ja) * | 1971-10-18 | 1973-07-17 | ||
| JPS6088485A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | レ−ザ−共振器 |
-
1984
- 1984-09-26 JP JP59199353A patent/JPS6178183A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4855838U (ja) * | 1971-10-18 | 1973-07-17 | ||
| JPS6088485A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | レ−ザ−共振器 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5825801A (en) * | 1996-08-21 | 1998-10-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser apparatus |
| JP2002151776A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-24 | Gigaphoton Inc | 真空紫外レーザ装置 |
| CN105375255A (zh) * | 2015-09-14 | 2016-03-02 | 北京理工大学 | 基于变透过率腔镜的激光器输出功率优化方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237711B2 (ja) | 1990-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |