JPS62234384A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
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- JPS62234384A JPS62234384A JP61077678A JP7767886A JPS62234384A JP S62234384 A JPS62234384 A JP S62234384A JP 61077678 A JP61077678 A JP 61077678A JP 7767886 A JP7767886 A JP 7767886A JP S62234384 A JPS62234384 A JP S62234384A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 3
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザビーム位置検出手段を備えたレーザ
装置の位置検出の信頼性向上に関するものである。
装置の位置検出の信頼性向上に関するものである。
〔従来の技術Ｊ
第４因（ａ）ｔ；！例えば特開昭６０−１１５２７３号
公報に示され次従来のレーザ装置を示す断面構成図。
公報に示され次従来のレーザ装置を示す断面構成図。
第４図（ｈ） （ｃ）は各々従来のレーザ装置の主要部
を示す部分正面図及び断面側面図である。図において。
を示す部分正面図及び断面側面図である。図において。
＋１１はレーザ媒質であり、ガスレーザを例にとれば放
電等によって励起されたガス、ガラスレーザを例にとれ
ばフラッシュランプ等により励起され次ガラスである。
電等によって励起されたガス、ガラスレーザを例にとれ
ばフラッシュランプ等により励起され次ガラスである。
（２）および（３１はレーザ媒質をはさんで対向して設
置された共振器ミラーで、（２１は全反射ミラー、（３
１は部分反射ミラー、（４）は上記ミラー（２）、（３
）間に発生するレーザビーム（５）の光路内に配置され
、レーザビームの光軸上に開口部（７）ヲ有するアパー
チャ部材、 ＋６１１−！外部に散出されたレーザビー
ム、（８１Ｈアパ一チヤ部材（４）の開口部（７）外周
上に設けられた複数個の光センサーでフォトダイオード
、熱電対、サーミスタ、白金抵抗体などであリ、（９）
はセンサー保持具である。
置された共振器ミラーで、（２１は全反射ミラー、（３
１は部分反射ミラー、（４）は上記ミラー（２）、（３
）間に発生するレーザビーム（５）の光路内に配置され
、レーザビームの光軸上に開口部（７）ヲ有するアパー
チャ部材、 ＋６１１−！外部に散出されたレーザビー
ム、（８１Ｈアパ一チヤ部材（４）の開口部（７）外周
上に設けられた複数個の光センサーでフォトダイオード
、熱電対、サーミスタ、白金抵抗体などであリ、（９）
はセンサー保持具である。
次に動作について説明する。ミラー＋２１． （３１は
共振器を構成しており・両ミラー間を往復するレーザビ
ーム（５）ハレーザ媒質（１１により増幅されしだいに
その強度が増すが、ある一定以上の大きさになると、そ
の一部が部分反射ミラー（３）よりレーザビーム（６）
として外部に出射される。
共振器を構成しており・両ミラー間を往復するレーザビ
ーム（５）ハレーザ媒質（１１により増幅されしだいに
その強度が増すが、ある一定以上の大きさになると、そ
の一部が部分反射ミラー（３）よりレーザビーム（６）
として外部に出射される。
共振器内には９通常開口部（７）ヲもクアパーチャ部材
（４）が挿入され、レーザビームの外径の制限をおこな
っている。
（４）が挿入され、レーザビームの外径の制限をおこな
っている。
共振器ミラー＋２１． （３１のいずれかが配置不良を
おこしレーザビーム（５）と開口部（７）との同軸度が
ずれると、レーザビーム（６）の形状がぐずれたり、そ
の出射方向がずれ・レーザビーム（６）ヲ用いて加工等
をおこなう場合には加工不良が発生する。第４図に示す
レーザ装置では開口部（７１の外周上に複数個の光セン
サ−（８）が配置され開口部（７）にエリはし切られた
レーザビームがこれら光センサ−（８）に入射するが、
この入射レーザビームの光量が変化することにより、レ
ーザビームのずれが検出できる。
おこしレーザビーム（５）と開口部（７）との同軸度が
ずれると、レーザビーム（６）の形状がぐずれたり、そ
の出射方向がずれ・レーザビーム（６）ヲ用いて加工等
をおこなう場合には加工不良が発生する。第４図に示す
レーザ装置では開口部（７１の外周上に複数個の光セン
サ−（８）が配置され開口部（７）にエリはし切られた
レーザビームがこれら光センサ−（８）に入射するが、
この入射レーザビームの光量が変化することにより、レ
ーザビームのずれが検出できる。
従って、光センサ−（８）の各出力が、ミラー（２１゜
（３１とアパーチャ部材（４）とが良好に配置された場
合の値となるように、ミラー＋２１． ＋３１又はアパ
ーチャ部材（４）全調節すれば、常に良好なレーザビー
ムが得られることになる。
（３１とアパーチャ部材（４）とが良好に配置された場
合の値となるように、ミラー＋２１． ＋３１又はアパ
ーチャ部材（４）全調節すれば、常に良好なレーザビー
ムが得られることになる。
従来のレーザ装置は以上のように構成されているが、数
ＫＷ級のＣＯ２レーザや、高出刃パルスレーザ等に適用
した場合には、開口部によりはし切りされるレーザビー
ムが強いため、アパーチャ部材から反射し９光センサー
が誤動作をおこす等の問題が発生することがあった。
ＫＷ級のＣＯ２レーザや、高出刃パルスレーザ等に適用
した場合には、開口部によりはし切りされるレーザビー
ムが強いため、アパーチャ部材から反射し９光センサー
が誤動作をおこす等の問題が発生することがあった。
この発明は上記のような問題点全解消するためになされ
たもので、アパーチャ部材に入射するレーザビームが強
い場合にも、安定に光センサーが作動し・信頼性よくレ
ーザビームの位置検出ができるレーザ装置金得ること？
目的とする。
たもので、アパーチャ部材に入射するレーザビームが強
い場合にも、安定に光センサーが作動し・信頼性よくレ
ーザビームの位置検出ができるレーザ装置金得ること？
目的とする。
この発明に係るレーザ装置＃は、アパーチャ部材全レー
ザビーム吸収体で構成し、かつレーザ媒質側の開口部外
周面に傾斜部を設け、この傾・斜部の傾斜角を・上記傾
斜部で反射するレーザビームが光軸をはさんで対向する
傾斜部へ入射吸収されるようにしたものである。
ザビーム吸収体で構成し、かつレーザ媒質側の開口部外
周面に傾斜部を設け、この傾・斜部の傾斜角を・上記傾
斜部で反射するレーザビームが光軸をはさんで対向する
傾斜部へ入射吸収されるようにしたものである。
この発明におけるアパーチャ部材外周面に設けられた傾
斜部は、はし切りされるレーザビーム及びはし切りされ
たレーザビームの反射ビームを吸収し、光センサーに上
記はし切りビームの反射光が入射するのを防ぐ。
斜部は、はし切りされるレーザビーム及びはし切りされ
たレーザビームの反射ビームを吸収し、光センサーに上
記はし切りビームの反射光が入射するのを防ぐ。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図（ａｌはこの発明の一実施例によるレーザ装置を
示す断面構成図、第１図（ｂ）（ｃｌは各々この発明の
一実施例によるレーザ装置の主要部を示す部分正面図及
び断面側面図である。
示す断面構成図、第１図（ｂ）（ｃｌは各々この発明の
一実施例によるレーザ装置の主要部を示す部分正面図及
び断面側面図である。
図において、第４図と同一符号は同−又は相当部分を示
す。
す。
（４）はレーザビーム吸収体エリなるアパーチャ部材で
１例えばＣＯ２レーザビーム用の吸収体としてはアルミ
に硬質アルマイトを施したものが用いられる。（４４ハ
このアパーチャｉ 材（４１の、レーザ媒質側の開口部
外周面に設けられた傾斜部であり。
１例えばＣＯ２レーザビーム用の吸収体としてはアルミ
に硬質アルマイトを施したものが用いられる。（４４ハ
このアパーチャｉ 材（４１の、レーザ媒質側の開口部
外周面に設けられた傾斜部であり。
その傾斜角は傾斜部で反射する反射レーザビーム（５６
）が光軸をはさんで対向する傾斜部に入射吸収されるよ
うに１例えば光軸に対し４５° をなす。
）が光軸をはさんで対向する傾斜部に入射吸収されるよ
うに１例えば光軸に対し４５° をなす。
次に動作について説明する。ミラー（２）、（３（は共
振器を構成しており９両ミラー間金往復するレーザビー
ム（５）はレーザ媒質（１１により増幅されしだいにそ
の強度が増すが、ある一定以上の大きさになると、その
一部が部分反射ミラー（３１エリレーザビーム（６）と
して外部に出射される。
振器を構成しており９両ミラー間金往復するレーザビー
ム（５）はレーザ媒質（１１により増幅されしだいにそ
の強度が増すが、ある一定以上の大きさになると、その
一部が部分反射ミラー（３１エリレーザビーム（６）と
して外部に出射される。
共振器内には９通常開口部（７１ｆｃもつアパーチャ部
材（４）が挿入され、レーザビームの外径の制限をおこ
なっているが、共振器ミラー（２：、（３）のいずれか
が配置不良をおこし、レーザビーム（５）と開口部（７
）との同軸度がずれると、レーザビーム（６１の形状が
ぐずれたり、その出射方向がずれ、レーザビーム（６）
により加工等をおこなう場合には加工不良が発生する。
材（４）が挿入され、レーザビームの外径の制限をおこ
なっているが、共振器ミラー（２：、（３）のいずれか
が配置不良をおこし、レーザビーム（５）と開口部（７
）との同軸度がずれると、レーザビーム（６１の形状が
ぐずれたり、その出射方向がずれ、レーザビーム（６）
により加工等をおこなう場合には加工不良が発生する。
この場合には開口部（７）の外周に配置された複故個の
光センサ−（８１に入射する。開口部（７）にエリはし
切りされるレーザビームの光量が変化することにエリレ
ーザビームのずれが検出されるため、光センサ−（８）
の各出力がミラー＋２１． ＋３１とアパーチャ部材［
４１とが良好に配置され次場合の値となるように、ミラ
ー１２１． （３１まｆｃはアパーチャ部材（４１ヲ調
節すれば、常に良好なレーザビームが得られることにな
る。
光センサ−（８１に入射する。開口部（７）にエリはし
切りされるレーザビームの光量が変化することにエリレ
ーザビームのずれが検出されるため、光センサ−（８）
の各出力がミラー＋２１． ＋３１とアパーチャ部材［
４１とが良好に配置され次場合の値となるように、ミラ
ー１２１． （３１まｆｃはアパーチャ部材（４１ヲ調
節すれば、常に良好なレーザビームが得られることにな
る。
また、開口部（７）によりはし切りされたレーザビーム
は傾斜部０４で吸収され、傾斜部θ４の吸収率が低い場
合には反射され・光軸をはさんで対向する傾斜ｓ （４
４）にレーザビーム（５６）としていま一度入射して吸
収される。例えばアパーチャ部材の傾斜部がアルミに硬
質アルマイトを施し穴もので構成されているとすると０
０２ レーザビームの吸収率は９３％であり、７−あま
りのレーザビームが反射される。しかし、このＴｔＩＩ
Ｉのレーザビームは対向する傾斜部にその９３チが吸収
されるため結局はし切りされるレーザビームのうち、光
センサーにむけて反射するレーザビームは７％Ｘ７％＃
０．５チと著しく小さい。
は傾斜部０４で吸収され、傾斜部θ４の吸収率が低い場
合には反射され・光軸をはさんで対向する傾斜ｓ （４
４）にレーザビーム（５６）としていま一度入射して吸
収される。例えばアパーチャ部材の傾斜部がアルミに硬
質アルマイトを施し穴もので構成されているとすると０
０２ レーザビームの吸収率は９３％であり、７−あま
りのレーザビームが反射される。しかし、このＴｔＩＩ
Ｉのレーザビームは対向する傾斜部にその９３チが吸収
されるため結局はし切りされるレーザビームのうち、光
センサーにむけて反射するレーザビームは７％Ｘ７％＃
０．５チと著しく小さい。
なお・上記実施例では、光センサーはレーザビームの出
射方向に対して、アパーチャ部材（４）の前面に配置す
る例を示したが、第２図に示ｆ工すに傾斜部に設けられ
た貫通穴Ｇ１１ｌ？通過するレーザビームを検出する工
うにしてもよい。この場合は傾斜部を設けることにより
開口部（７）端面での反射光が光センサ−（８）に入射
するのを防ぐことができる。
射方向に対して、アパーチャ部材（４）の前面に配置す
る例を示したが、第２図に示ｆ工すに傾斜部に設けられ
た貫通穴Ｇ１１ｌ？通過するレーザビームを検出する工
うにしてもよい。この場合は傾斜部を設けることにより
開口部（７）端面での反射光が光センサ−（８）に入射
するのを防ぐことができる。
また１位置検出手段の配置は、第３［ｋｌ （ａ） （
ｂ）でもよく要はレーザビームをはし切りさえすればよ
い。
ｂ）でもよく要はレーザビームをはし切りさえすればよ
い。
以上のように、この発明によればレーザ装置におけるア
パーチャ部材をレーザビーム吸収体で構成しかつレーザ
媒質側の開口部外周面に傾斜部を設け、この傾斜部の傾
斜角を、上記傾斜部で反射するレーザビームが光０ｂｔ
−ｈさんで対向する傾斜部へ入射吸収されるようにした
ので、アパーチャ部材の開口部ではし切りされるレーザ
ビームが光センサーに入射ぜず、光センサーは誤動作を
おこずことなく信頼性工くレーザビームの位置を検出で
きる効果がある。
パーチャ部材をレーザビーム吸収体で構成しかつレーザ
媒質側の開口部外周面に傾斜部を設け、この傾斜部の傾
斜角を、上記傾斜部で反射するレーザビームが光０ｂｔ
−ｈさんで対向する傾斜部へ入射吸収されるようにした
ので、アパーチャ部材の開口部ではし切りされるレーザ
ビームが光センサーに入射ぜず、光センサーは誤動作を
おこずことなく信頼性工くレーザビームの位置を検出で
きる効果がある。
第１図（ａｔはこの発明の一実施例によるレーザ装置を
示す断面構成図、第１図（ｂｌ （ｃｌは各々この発明
の一実施例によるレーザ装置の主要部を示す部分正面図
及び断面側面図、第２図（ａ）及び第３図（ａ） （ｂ
）は各々この発明の他の実施例によるレーザ装置′ヲ示
す断面構成図、第２■（ｂ）（ｃｌは各々この発明の他
の実施例によるレーザ装置の主要部を示す部分正面図及
び断面ａｔ面図、第４図（ａ）は従来のレーザ装置を示
す断面構成図、並びに第４図（ｂｌ （ｃｌは各々従来
のレーザ装置の主要部を示す部分正面図及び断面側面図
である。 （１）・・・レーザ媒質 （２１・・・全反射ミラー
（３）・・・部分反射ミラー （４）・・・アパーチャ
部材 ＋５１ ＋６１・・・レーザビーム （７）・・
・開口部 （８）・・・光センサ−＠滲・・・傾斜部
（５６）・・・反射レーザビーム なお１図中、同一符号は同−又は相当部分金示？− 笥 １ 図 噴 １ ズ （＋）） ’Ｃ）５６二反吋レー
サ゛ヒ−こ 第２図 （ｂ） （Ｃ） 第３図 ｃａ） ＠ ３ 図 Ｃｂ）
示す断面構成図、第１図（ｂｌ （ｃｌは各々この発明
の一実施例によるレーザ装置の主要部を示す部分正面図
及び断面側面図、第２図（ａ）及び第３図（ａ） （ｂ
）は各々この発明の他の実施例によるレーザ装置′ヲ示
す断面構成図、第２■（ｂ）（ｃｌは各々この発明の他
の実施例によるレーザ装置の主要部を示す部分正面図及
び断面ａｔ面図、第４図（ａ）は従来のレーザ装置を示
す断面構成図、並びに第４図（ｂｌ （ｃｌは各々従来
のレーザ装置の主要部を示す部分正面図及び断面側面図
である。 （１）・・・レーザ媒質 （２１・・・全反射ミラー
（３）・・・部分反射ミラー （４）・・・アパーチャ
部材 ＋５１ ＋６１・・・レーザビーム （７）・・
・開口部 （８）・・・光センサ−＠滲・・・傾斜部
（５６）・・・反射レーザビーム なお１図中、同一符号は同−又は相当部分金示？− 笥 １ 図 噴 １ ズ （＋）） ’Ｃ）５６二反吋レー
サ゛ヒ−こ 第２図 （ｂ） （Ｃ） 第３図 ｃａ） ＠ ３ 図 Ｃｂ）
Claims (2)
- （１）レーザ媒質をはさんで対向して配置された共振器
ミラーこれらミラー間に発生するレーザビームの光路内
に配置され、上記レーザビームの光軸上に開口部を有す
るアパーチャ部材、及び上記アパーチャ部材の開口部外
周上に設けられた複数個の光センサーを備えたものにお
いて、上記アパーチャ部材はレーザビーム吸収体であり
、かつ上記レーザ媒質側の上記開口部外周面に傾斜部を
有し、上記傾斜部の傾斜角を、上記傾斜部で反射するレ
ーザビームが上記光軸をはさんで対向する傾斜部に入射
吸収されるようにしたことを特徴とするレーザ装置。 - （２）傾斜角は光軸に対し４５°である特許請求の範囲
第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61077678A JPS62234384A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61077678A JPS62234384A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62234384A true JPS62234384A (ja) | 1987-10-14 |
Family
ID=13640546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61077678A Pending JPS62234384A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62234384A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02284784A (ja) * | 1989-04-24 | 1990-11-22 | Amada Co Ltd | レーザ発振器 |
| WO2000074183A1 (fr) * | 1999-06-01 | 2000-12-07 | Komatsu Ltd. | Dispositif laser ultraviolet |
| JP2006253671A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Hitachi Via Mechanics Ltd | ビームドリフト補償装置及び方法 |
| JP2008177608A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外部整形光学装置とスラブレーザとレーザ装置 |
| JP2009022822A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP61077678A patent/JPS62234384A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02284784A (ja) * | 1989-04-24 | 1990-11-22 | Amada Co Ltd | レーザ発振器 |
| US6785319B1 (en) | 1999-01-06 | 2004-08-31 | Komatsu Ltd. | Ultraviolet laser device |
| WO2000074183A1 (fr) * | 1999-06-01 | 2000-12-07 | Komatsu Ltd. | Dispositif laser ultraviolet |
| JP2006253671A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Hitachi Via Mechanics Ltd | ビームドリフト補償装置及び方法 |
| JP2009022822A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
| JP2008177608A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外部整形光学装置とスラブレーザとレーザ装置 |
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