JPS6348873A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、不安定形共振器を備えたガスレーザ発振装置
、特にはレーザ出力を測定する構造を改良したガスレー
ザ発振装置に関する。

（従来の技術） 共振器として不安定形共振器を用いたガスレーザ発振装
置の一例が第７図に示されている。この第７図において
、１は凸面状反射部を有する反射ミラー、２はこの反射
ミラー１より径大な凹面状反射部を有するハーフミラ−
製の折返しミラーで、これら反射ミラー１及び折返しミ
ラー２により不安定形共振器３が構成されている。この
場合、−ザ光５が上記反射ミラー１と折返しミラー２と
の間で復数回折返されて反射ミラー１の反射部の範囲か
ら外れることにより、レーザ出力Ｐ（が発生する。６は
光センサで、これはハーフミラ−製の折返しミラー２を
透過した微小量の透過レーザ光７を受光してその受光量
に応じたレベルの検知信号を出力する。ここで、透過レ
ーザ光７のうちレーザ出力ＰＣと線形関係を有するのは
、折返しミラー２の周縁部に分布する周縁部透過レーザ
光Ｐ１であり、反射ミラー１に対応した部分、つまり折
返しミラー２の中央部分に分布する中央部透過レーザ光
Ｐ２は上記レーザ出力Ｐ（と線形関係にない。このため
、較正器８により、光センサ６からの検知信号を中央部
透過レーザ光Ｐ２に相当する分だけ補正した補正検知信
号を得ると共に、この補正検知信号を出力モニタ９に与
えることにより、出力モニタ９にレーザ出力Ｐ（に対応
した検知出力が表示されるようになっている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来構成では、較正器８により、光
センサ６の検知信号を補正し、補正検知信号とレーザ出
力Ｐ（との間に線形関係を持たせるようにしているので
、不安定形共振器３のアライメントが変化した場合には
補正検知信号とレーザ出力Ｐ（との間に線形関係が無く
なる虞が有り、レーザ出力Ｐｅをモニタする場合の信頼
性が低いという欠点があった。また、較正器８を必要と
する分だけ全体の構造が複雑化するという問題点もあっ
た。

そこで、本発明の目的は、光センサの検知信号とレーザ
出力との間に線形関係を持たせることができて、レーザ
出力をモニタする場合の信頼性を向上し得ると共に、全
体の構成を簡単化できるガスレーザ発振装置を提供する
にある。

［発明の構成〕 （問題点を解決するための手段） 本発明は、凸面状の反射部を有した反射ミラー及びこの
反射ミラーより径大な凹面状の反射部対象としたもので
あり、前記折返しミラーを透過したレーザ光を受光して
その受光量に応じた検知信号を出力する光センサを折返
しミラーの後方に設けると共に、前記折返しミラーを透
過するレーザ光のうち前記反射ミラーに対応した部分に
分布するレーザ光が上記光センサに受光されることを阻
止する遮蔽手段を折返しミラー及び光センサ間に設ける
ように構成したところに特徴を有する。

（作用） 折返しミラー及び光センサ間に遮蔽手段を設けることに
より、折返しミラーを透過するレーザ光のうち反射ミラ
ーに対応した部分に分布するレーザ光、つまりレーザ出
力と線形関係にないレーザ光が光センサに受光されるこ
とを阻止するように構成したので、光センサからの検知
信号とレーザ出力との間に線形関係が確実に存するよう
になる。

（実施例） 以下、本発明の第１の実施例につき第１図乃至第４図を
参照して説明する。

まず、第３図において、１１は例えば無酸素銅基板製の
反射ミラーで、これは凸面状反射部１１ａを有している
。１２はノ１−フミラー製例えばセレン化亜鉛（Ｚ　ｎ
　Ｓ　ｅ）基板にＡｕコーティングを施した折返しミラ
ーで、これは反射ミラー１１より径大な凹面状反射部１
２ａを有している。

そして、これら反射ミラー１１及び折返しミラー１２か
ら不安定形共振器１３が構成されている。

１４は反射ミラー１１及び折返しミラー１２の各中心部
分間に存するレーザ発振源で、これから発振されたレー
ザ光１５が」−記反射ミラー１１と折返しミラー１２と
の間で複数回折返し反射されてから、その反射されたレ
ーザ光１５が反射ミラー１１の凸面状反射部１１ａの範
囲から外れ、以て、略リング状のレーザ出力Ｐ（が発生
するようになっている。このレーザ出力ＰＬは図示しな
いレンズ或はミラーにより所定の集光点に集光される。

１６は折返しミラー１２の後方に設けられた光センサで
、これはハーフミラ−製の折返しミラー１２を透過した
微小量の透過レーザ光１７を受光してその受光量に応じ
たレベルの検知信号を出力する。ここで、折返しミラー
１２を透過する透過レーザ光１７は、折返しミラー１２
の周縁部に対応する周縁部透過レーザ光Ｐ１と、反射ミ
ラー１１に対応した部分たる折返しミラー１２の中央部
に対応する中央部透過レーザ光Ｐ２とを合せたものであ
るが、周縁部透過レーザ光Ｐ１は第４図（ｃ）に示すよ
うにレーザ出力Ｐｆと線形関係を有しており、中央部透
過レーザ光Ｐ２は第４図（ｂ）に示すようにレーザ出力
Ｐ１．と線形関係をＨしていない。従って、周縁部透過
レーザ光Ｐ１と中央部透過レーザ光Ｐ２とを加えた透過
レーザ光１７とレーザ出力ＰＣとは、第４図（ａ）に示
すように線形関係を有していない。

さて、１８は折返しミラー１２及び光センサ１６間に設
けられた遮蔽手段で、以下これについて第１図及び第２
図に従って詳述する。即ち、１９は円筒部材で、これは
、光センサ１６の受光面部１６ａの周囲部に突設された
若干テーバ状の反射コーン１６ｂと嵌合され、抜は止め
用のねじ２０により光センサ１６に固定されている。２
１は略円柱状のレーザ光吸収体であり、これは、その径
寸法が反射ミラー１１の径寸法と略零しくなるように形
成されており、例えば２本の支持棒２２゜２２により円
筒部材１９の中心部に位置して固定されるようになって
いる。これにより、透過レーザ光１７のうち中央部透過
レーザ光Ｐ２が光センサ１６の受光面部１６ａに受光さ
れることを阻止するように構成されている。また、周縁
部透過レーザ光Ｐ１が受光面Ｒ１６Ｈに受光されること
を妨げないように、支持棒２２．２２は周縁部透過レー
ザ光Ｐ１が照射される面積が可能な限り小さくなるよう
に設定されている。尚、円筒部材１９及び支持棒２２は
熱伝導性の高い材質により形成されており、中央部透過
レーザ光Ｐ２がレーザ光吸収体２１に吸収されて、レー
ザ光吸収体２１が発熱したときその熱が支持棒２２を介
して円筒部材１９に伝わり、この円筒部材１９から放熱
されして、第３図において、２゛３は出力モニタで、こ
れは光センサ１６からの検知信号を入力してこの検知信
号に応じたレーザ出力Ｐ（の検知出力を表示するように
なっている。

このような構成の本実施例によれば、折返しミラー１２
と光センサ１６との間に遮蔽手段１８を設け、この遮蔽
手段１８のレーザ光吸収体２１により中央部透過レーザ
光Ｐ２が光センサ１６に受光されることを阻止するよう
に構成したので、第４図（Ｃ）に示すようにレーザ出力
ＰＩと線形関係を有する周縁部透過レーザ光Ｐ１のみが
光センサ１６に受光されるようになるから、光センサ１
６からの検出信号がレーザ出力Ｐ（と線形関係を宵する
ようになる。これにより、従来とは異なり較正器８が不
要になって全体の構成を簡単化できると共に、出力モニ
タ２３によってレーザ出力Ｐｉを正確にモニタできる。

第５図及び第６図は本発明の第２の実施例を示すもので
、第１の実施例と異なるところのみ説明する。即ち、２
４はレーザ光吸収体２１に代わるレーザ光反射体で、こ
れは折返しミラー１２を透過した中央部透過レーザ光Ｐ
２のみを反射してその光路を例えば直角に折曲させる反
射部２４ａを有している。そして、反射部２４ａで反射
された中央部透過レーザ光Ｐ２は円筒部材１９に形成さ
れた透孔１９ａを通過する。２５は円筒部月１９の外周
に透孔１９ａに対応して設けられたレーザ光吸収体で、
これは、円筒部祠１９に突設された熱伝導性の良い支持
棒２６により支持されており、透孔１９ａを介した中央
部透過レーザ光Ｐ２を吸収するようになっている。この
第２の実施例においても、第１の実施例と同様な作用効
果を得ることができる。

［発明の効果コ 本発明は以上の説明から明らかなように、凸面状の反射
部を有した反射ミラー及びこの反射ミラーより径大な凹
面状の反射部を有した／翫−フミラー製の折返しミラー
を備えた不安定形共振器を設けると共に、前記折返しミ
ラーを透過したレーザ光を受光してその受光量に応じた
検知信号を出力する光センサをその折返しミラーの後方
に設け、更に、前記折返しミラーを透過するレーザ光の
うち前記反射ミラーに対応した部分に分布するレーザ光
が上記光センサに受光されることを阻１１−する遮蔽手
段を折返しミラー及び光センサ間に設けるように構成し
たので、光センサの検知信号とレーザ出力との間に線形
関係を持たせることができて、レーザ出力のモニタの信
頼性を向上し得ると共に、全体の構成を簡ｒド化できる
という優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の第１の実施例を示すもので
、第１図は要部の縦断側面図、第２図は要部の正面図、
第３図は作用説明用の概略構成図、第４図は特性図であ
り、第５図及び第６図は本発明の第２の実施例を示す第
１図及び第２図相当図である。また、第７図は従来構成
を示す第３図相当図である。 ８は遮蔽手段を示す。 代理人　弁理士　　則　近　　憲　仏 間　　　　　　　　三　　俣　　　弘　　文１′：３ 第１　図 第２図 第４図 第５図 第６０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、凸面状の反射部を有した反射ミラー及びこの反射ミ
   ラーより径大な凹面状の反射部を有したハーフミラー製
   の折返しミラーを備えた不安定形共振器と、前記折返し
   ミラーの後方に設けられその折返しミラーを透過したレ
   ーザ光を受光してその受光量に応じた検知信号を出力す
   る光センサと、折返しミラーを透過するレーザ光のうち
   前記反射ミラーに対応した部分に分布するレーザ光が上
   記光センサに受光されることを阻止する遮蔽手段とを具
   備してなるガスレーザ発振装置。