JPS61293695A - レ−ザ集光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はレーザ集光装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

レーザ光を集光する手段としては通常はレンズが用いら
れている。しかし、レーザ光が高出力化になるにつれて
、レンズのような透過形光学系では長時間の使用に耐え
ず、実用的に無理であることが知られている。このよう
な場合１反射形の金属製の凹面鏡が使われている。しか
し、この凹面鏡は耐光強度の点では秀れているが、集光
性能が劣るという欠点があり、使用の妨げとなっていた
。

この点についてさらに説明を加えると、第２図に示すよ
うに、（１）はレーザ発振器（図示せず）から放出され
たレーザ光でそのビーム断面（２）はほぼ円形になって
いる。このレーザ光（１）を凹面鏡（３）に入射し直角
方向に反射させながら集光すると、凹面鏡（３）からの
距離によって（４）に示すように大きさと形状を異にし
た楕円形のビーム断面をもつレーザ光（５）となシ、小
さな点に集光することはない。このことは、エネルギー
密度の低下、方向による加工幅の違いとなり、好適なレ
ーザ加工ができないという不都合があった。

〔発明の目的〕

本発明は凹面鏡によってレーザ光を高エネルギー密度に
集光するレーザ集光装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するために、レーザ発振器より放出され
たレーザ光を偏向する第１の凹面鏡と。

この第１の凹面鏡による反射光をさらに偏向する第２の
凹面鏡とを備えた構成にしたものである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す。すなわち。

翰は第１の凹面鏡で、レーザ発振器住υから放出されビ
ーム断面が円形になるレーザ光α湯を図中上方に直角に
反射する角度にされて設置されている。

α騰は第２の凹面鏡で、第１の凹面鏡−での第１の反射
光（１４）をこの反射光傾および反射前のレーザ光ａ２
の各軸に直交する光路となる第２の反射光α９にして反
射する角度にされて設置されている。ここで、第１の凹
面鏡α１の曲率半径をＲ１，第２の凹面鏡ａ３の曲率半
径を鳥とし、また、第１．第２の凹面鏡の反射面におけ
る中心（ＣＩ）、（Ｃり間の距離を１とし、中心（Ｃ１
）から第２の反射光αｅの集光点までの距離をＺｃとす
ると、入射レーザ光が完全なる平行光のとき、Ｒ，、Ｒ
，、Ｊ−およびＺｃの各位は次の関係式を満足すること
になる。

なお、実際のレーザ光は完全なる平行光ではないので上
式の近傍にて最適調節する必要がある。

〔発明の効果〕

一枚の凹面鏡によりては断面が円形のレーザビームを一
点に集光することができないという問題を、適当な曲率
半径を有し、かつ適当に離れた二枚の凹面鏡を用いるこ
とにより除去することが可能になった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す模式図、第２図は従来
例を示す模式図である。 ＜１（１・・・第１の凹面＊（Ｌυ・・・レーザ発振器
αａ・・・レーザ光　　　　　（１３・・・第２の凹面
鏡代理人　弁理士　　則　近　憲　借 問　　　　　　竹　花　喜久男

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ発振器より放出されたレーザ光を偏向する第１の
   凹面鏡と、この第１の凹面鏡による反射光をさらに偏向
   する第２の凹面鏡とを備えたことを特徴とするレーザ集
   光装置。