KR960703703A - 레이저 빔 기계에 가스 상태의 질소를 공급하기 위한 방법과 장치 - Google Patents

레이저 빔 기계에 가스 상태의 질소를 공급하기 위한 방법과 장치 Download PDF

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Abstract

공기중에 포함된 산소와 질소는 공기 분리기(15)에 의해서 분리된다. 분리된 질소가스는 밴드 미러에 보호가스로서 레이저 빔 기계에 광학 경로커버(11)로 공급된다. 또한, 분리된 질소가스 또는 산소가스는 보조 가스로서 선택적으로 레이저 빔 헤드(7)에 공급될 수 있다.
또한, 분리된 질소가스의 순도는 질소가스를 공급하기 위한 제1도관(47)과 질소가스를 공급하기 위한 제2도관(49) 사이에 압력 차를 근거로 미리 결정된 범위(94 내지 99.5%)안에 유지될 수 있다. 또한 공기 분리기로 공급되는 공기로부터 먼지를 제거하기 위한 필터(19)와 광학 경로 커버(11)에 공급되는 분리된 질소에서 기름안개를 제거하기 위한 제2필터(33)가 있는 것이 바람직하다.

Description

레이저 빔 기계에 가스 상태의 질소를 공급하기 위한 방법과 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (16)

  1. 공급되는 압축 공기로부터 산소와 질소를 분리하기 위하여 공기분리기(15)로 압축 공기를 공급 ; 그리고 외부 공기 압력보다 높은 압력으로 광학 경로 커버의 내부 압력을 유지하기 위해서, 레이저 빔 기계의 광학경로 시스템(13)의 광학 경로 커버(11)로 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 안내하는 단계를 포함하는 레이저 빔 기계의 광학 경로 시스템으로 질소가스를 공급하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 고농도 질소가스가 레이저 빔 기계에서 광학 경로 시스템(13)의 광학 경로 커버(11)로 안내되기 전에, 기름 안개를 제거하기 위하여 필터(33)로 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 통과시키는 단계를 포함하는 광학 경로 시스템을 질소가스를 공급하는 방법.
  3. 압축 공기로부터 산소와 질소를 분리시키기 위한 공기 분리기(15) ; 그리고 레이저 빔 기계의 광학 경로 시스템(13)의 광학 경로 커버(11)로 상기한 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 안내하기 위한 도관수단(23)을 포함하는 레이저 빔 기계의 광학 경로 시스템으로 질소가스를 공급하기 위한 장치.
  4. 제4항에 있어서, 압축 공기가 상기한 공기 분리기로 공급되기 전에 압축 공기로부터 먼지를 제거하기 위한 제1필터(19); 그리고 고농도 질소가스가 레이저 빔 기계에서 광학 경로 시스템의 광학 경로 커버로 안내되기 전에 고농도 질소가스에 포함된 기름 안개를 제거하기 위한 제2필터(33)를 포함하는 광학 경로 시스템으로 질소가스를 공급하기 위한 장치.
  5. 압축 공기에서 산소와 질소를 분리하기 위한 공기 분리기(15) ; 레이저 빔 기계의 광학 경로 커버(11)로 상기한 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 보호 가스로서 안내하기 위한 제1도관 수단(23) ; 그리고 레이저 빔 기계의 레이저 빔 헤드(7)로 상기한 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 보조 가스로서 안내하기 위한 제2도관 수단(39,41,47)을 포함하는 레이저 빔 기계.
  6. 제5항에 있어서, 압축 공기가 상기한 공기 분리기로 공급되기 전에, 압축 공기로부터 먼지를 제거하기 위한 제1필터(19) ; 그리고 고농도 질소가스가 레이저 빔 기계의 광학 경로 커버로 안내되기 전, 고농도 질소가스에 포함된 기름 안개를 제거하기 위한, 상기한 제1도관수단(23)에 위치한 제2필터(33)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제2도관 수단은 레이저 빔 헤드로 고농도 질소가스를 보조 가스로서 공급하기 위한, 레이저 빔 헤드(7)와 광학 경로 커버(11) 사이에 연결된 도관(39)이 레이저 빔 기계.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제2도관 수단은 레이저 빔 헤드로 고농도 질소가스를 보조 가스로서 공급하기 위해서, 상기한 공기 분리기와 레이저 헤드(7) 사이에 연결된 분지 도관(41)인 레이저 빔 기계.
  9. 제5항에 있어서, 상기 제2도관 수단은 질소가스를 방출하기 위한, 상기한 공기 분리기(15)의 제1출구(15B) 사이에 연결된 제1도관(47) ; 그리고 고농도 산소가스를 방출하기 위한, 상기한 공기 분리기(15)의 제2출구(15C) 사이에 연결된 제2도관(49)을 포함하는 레이저 빔 기계.
  10. 제9항에 있어서, 열렸을 때 레이저 빔 헤드 안으로 고농도 질소가스를 공급하기 위한 상기한 제1도관(47) 중간에 위치한 제1변환 밸브(55A) ; 그리고 열렸을 때 레이저 빔 헤드로 고농도 산소가스를 공급하기 위한 상기한 제2도관(49) 중간에 배치된 제2변환 밸브(55B)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 제1도관에서 압력을 제어하기 위한, 상기한 제1도관(47)의 중간에 위치한 제1압력 제어밸브(51A) ; 그리고 상기한 제2도관에서 압력을 제어하기 위한, 상기한 제2도관(49)의 중간에 위치한 제2압력 제어밸브(51B)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  12. 제11항에 있어서, 상기한 제1도관의 압력이 상기한 제1압력 제어밸브(51A)에 의해서 증가될 때, 질소가스의 순도는 증가하지만, 제1도관의 압력이 제1압력 제어밸브에 의해서 감소할 때는 질소가스의 순도는 감소하는 레이저 빔 기계.
  13. 제11항에 있어서, 상기한 제1도관의 압력이 상기한 제1압력 제어밸브(51A)에 의해서 일정하게 유지될 때 그리고 상기한 제2도관의 압력이 상기한 제2압력 제어밸브(51B)에 의해서 감소될 때, 고농도 질소가스의 순도는 증가하지만, 상기한 제1도관의 압력이 상기한 제1압력 제어밸브(51A)에 의해서 일정하게 유지될 때 그리고 제2도관의 압력이 상기한 제2압력 제어밸브(51B)에 의해서 증가될때는 고농도 질소가스의 순도는 감소되는 레이저 빔 기계.
  14. 제11항에 있어서, 상기한 제1, 제2도관들(47, 49) 사이에 압력 차가 대략 일정하게 유지될 때 고농도 질소가스의 순도는 대략 일정하게 유지될 수 있는 레이저 빔 기계.
  15. 제11항에 있어서, 상기한 제1압력 제어밸브(51A)를 원격 조정하기 위한 제1제어밸브(65A) ; 그리고 상기한 제2압력 제어밸브(51B)를 원격 조정하기 위한 제2제어밸브(65B)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  16. 제11항에 있어서, 상기한 제1, 제2도관들(47, 49) 사이에 압력 차가 대략 일정하게 유지될 수 있도록 하기 위해서 상기한 제1, 제2압력 제어밸브들(51A, 51B)을 동시에 연동으로 제어하기 위한 링크 구조(69)를 포함하는 레이저 빔 기계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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