KR960703703A - 레이저 빔 기계에 가스 상태의 질소를 공급하기 위한 방법과 장치 - Google Patents

레이저 빔 기계에 가스 상태의 질소를 공급하기 위한 방법과 장치 Download PDF

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Abstract

공기중에 포함된 산소와 질소는 공기 분리기(15)에 의해서 분리된다. 분리된 질소가스는 밴드 미러에 보호가스로서 레이저 빔 기계에 광학 경로커버(11)로 공급된다. 또한, 분리된 질소가스 또는 산소가스는 보조 가스로서 선택적으로 레이저 빔 헤드(7)에 공급될 수 있다.
또한, 분리된 질소가스의 순도는 질소가스를 공급하기 위한 제1도관(47)과 질소가스를 공급하기 위한 제2도관(49) 사이에 압력 차를 근거로 미리 결정된 범위(94 내지 99.5%)안에 유지될 수 있다. 또한 공기 분리기로 공급되는 공기로부터 먼지를 제거하기 위한 필터(19)와 광학 경로 커버(11)에 공급되는 분리된 질소에서 기름안개를 제거하기 위한 제2필터(33)가 있는 것이 바람직하다.

Description

레이저 빔 기계에 가스 상태의 질소를 공급하기 위한 방법과 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (16)

  1. 공급되는 압축 공기로부터 산소와 질소를 분리하기 위하여 공기분리기(15)로 압축 공기를 공급 ; 그리고 외부 공기 압력보다 높은 압력으로 광학 경로 커버의 내부 압력을 유지하기 위해서, 레이저 빔 기계의 광학경로 시스템(13)의 광학 경로 커버(11)로 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 안내하는 단계를 포함하는 레이저 빔 기계의 광학 경로 시스템으로 질소가스를 공급하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 고농도 질소가스가 레이저 빔 기계에서 광학 경로 시스템(13)의 광학 경로 커버(11)로 안내되기 전에, 기름 안개를 제거하기 위하여 필터(33)로 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 통과시키는 단계를 포함하는 광학 경로 시스템을 질소가스를 공급하는 방법.
  3. 압축 공기로부터 산소와 질소를 분리시키기 위한 공기 분리기(15) ; 그리고 레이저 빔 기계의 광학 경로 시스템(13)의 광학 경로 커버(11)로 상기한 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 안내하기 위한 도관수단(23)을 포함하는 레이저 빔 기계의 광학 경로 시스템으로 질소가스를 공급하기 위한 장치.
  4. 제4항에 있어서, 압축 공기가 상기한 공기 분리기로 공급되기 전에 압축 공기로부터 먼지를 제거하기 위한 제1필터(19); 그리고 고농도 질소가스가 레이저 빔 기계에서 광학 경로 시스템의 광학 경로 커버로 안내되기 전에 고농도 질소가스에 포함된 기름 안개를 제거하기 위한 제2필터(33)를 포함하는 광학 경로 시스템으로 질소가스를 공급하기 위한 장치.
  5. 압축 공기에서 산소와 질소를 분리하기 위한 공기 분리기(15) ; 레이저 빔 기계의 광학 경로 커버(11)로 상기한 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 보호 가스로서 안내하기 위한 제1도관 수단(23) ; 그리고 레이저 빔 기계의 레이저 빔 헤드(7)로 상기한 공기 분리기에 의해서 분리된 고농도 질소가스를 보조 가스로서 안내하기 위한 제2도관 수단(39,41,47)을 포함하는 레이저 빔 기계.
  6. 제5항에 있어서, 압축 공기가 상기한 공기 분리기로 공급되기 전에, 압축 공기로부터 먼지를 제거하기 위한 제1필터(19) ; 그리고 고농도 질소가스가 레이저 빔 기계의 광학 경로 커버로 안내되기 전, 고농도 질소가스에 포함된 기름 안개를 제거하기 위한, 상기한 제1도관수단(23)에 위치한 제2필터(33)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제2도관 수단은 레이저 빔 헤드로 고농도 질소가스를 보조 가스로서 공급하기 위한, 레이저 빔 헤드(7)와 광학 경로 커버(11) 사이에 연결된 도관(39)이 레이저 빔 기계.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제2도관 수단은 레이저 빔 헤드로 고농도 질소가스를 보조 가스로서 공급하기 위해서, 상기한 공기 분리기와 레이저 헤드(7) 사이에 연결된 분지 도관(41)인 레이저 빔 기계.
  9. 제5항에 있어서, 상기 제2도관 수단은 질소가스를 방출하기 위한, 상기한 공기 분리기(15)의 제1출구(15B) 사이에 연결된 제1도관(47) ; 그리고 고농도 산소가스를 방출하기 위한, 상기한 공기 분리기(15)의 제2출구(15C) 사이에 연결된 제2도관(49)을 포함하는 레이저 빔 기계.
  10. 제9항에 있어서, 열렸을 때 레이저 빔 헤드 안으로 고농도 질소가스를 공급하기 위한 상기한 제1도관(47) 중간에 위치한 제1변환 밸브(55A) ; 그리고 열렸을 때 레이저 빔 헤드로 고농도 산소가스를 공급하기 위한 상기한 제2도관(49) 중간에 배치된 제2변환 밸브(55B)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 제1도관에서 압력을 제어하기 위한, 상기한 제1도관(47)의 중간에 위치한 제1압력 제어밸브(51A) ; 그리고 상기한 제2도관에서 압력을 제어하기 위한, 상기한 제2도관(49)의 중간에 위치한 제2압력 제어밸브(51B)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  12. 제11항에 있어서, 상기한 제1도관의 압력이 상기한 제1압력 제어밸브(51A)에 의해서 증가될 때, 질소가스의 순도는 증가하지만, 제1도관의 압력이 제1압력 제어밸브에 의해서 감소할 때는 질소가스의 순도는 감소하는 레이저 빔 기계.
  13. 제11항에 있어서, 상기한 제1도관의 압력이 상기한 제1압력 제어밸브(51A)에 의해서 일정하게 유지될 때 그리고 상기한 제2도관의 압력이 상기한 제2압력 제어밸브(51B)에 의해서 감소될 때, 고농도 질소가스의 순도는 증가하지만, 상기한 제1도관의 압력이 상기한 제1압력 제어밸브(51A)에 의해서 일정하게 유지될 때 그리고 제2도관의 압력이 상기한 제2압력 제어밸브(51B)에 의해서 증가될때는 고농도 질소가스의 순도는 감소되는 레이저 빔 기계.
  14. 제11항에 있어서, 상기한 제1, 제2도관들(47, 49) 사이에 압력 차가 대략 일정하게 유지될 때 고농도 질소가스의 순도는 대략 일정하게 유지될 수 있는 레이저 빔 기계.
  15. 제11항에 있어서, 상기한 제1압력 제어밸브(51A)를 원격 조정하기 위한 제1제어밸브(65A) ; 그리고 상기한 제2압력 제어밸브(51B)를 원격 조정하기 위한 제2제어밸브(65B)를 포함하는 레이저 빔 기계.
  16. 제11항에 있어서, 상기한 제1, 제2도관들(47, 49) 사이에 압력 차가 대략 일정하게 유지될 수 있도록 하기 위해서 상기한 제1, 제2압력 제어밸브들(51A, 51B)을 동시에 연동으로 제어하기 위한 링크 구조(69)를 포함하는 레이저 빔 기계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (78)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE514450C2 (sv) 1995-01-31 2001-02-26 Aga Ab Sätt vid laserskärning och gaskomposition för användning därvid
DE29509648U1 (de) * 1995-06-19 1995-09-14 Trumpf Gmbh & Co Laserbearbeitungsmaschine mit gasgefülltem Strahlführungsraum
EP0997761A4 (en) * 1997-06-10 2000-09-13 Nippon Kogaku Kk OPTICAL DEVICE, ITS CLEANING METHOD, PROJECTION ALIGNING DEVICE, AND ITS MANUFACTURING METHOD
DE19734715A1 (de) * 1997-08-11 1999-02-25 Lambda Physik Gmbh Vorrichtung zum Spülen des Strahlenganges eines UV-Laserstrahles
DE29714489U1 (de) * 1997-08-13 1997-10-09 Trumpf Gmbh & Co Laserbearbeitungsmaschine mit Gasausgleichsvolumen
JPH11224839A (ja) * 1998-02-04 1999-08-17 Canon Inc 露光装置とデバイス製造方法、ならびに該露光装置の光学素子クリーニング方法
DE69905971D1 (de) * 1998-05-13 2003-04-24 Enshu Seisaku Kk Gaszuführungssystem für Stickstoff für eine Trockenschneidmaschine
FR2779078A1 (fr) * 1998-05-29 1999-12-03 Air Liquide Procede de decoupe laser de l'aluminium et de ses alliages
US6424666B1 (en) 1999-06-23 2002-07-23 Lambda Physik Ag Line-narrowing module for high power laser
US6381256B1 (en) 1999-02-10 2002-04-30 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6795473B1 (en) 1999-06-23 2004-09-21 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a prism-grating as line-narrowing optical element
US6442182B1 (en) 1999-02-12 2002-08-27 Lambda Physik Ag Device for on-line control of output power of vacuum-UV laser
US6490307B1 (en) 1999-03-17 2002-12-03 Lambda Physik Ag Method and procedure to automatically stabilize excimer laser output parameters
US6426966B1 (en) 1999-02-10 2002-07-30 Lambda Physik Ag Molecular fluorine (F2) laser with narrow spectral linewidth
US6822187B1 (en) 1998-09-09 2004-11-23 Gsi Lumonics Corporation Robotically operated laser head
US6463086B1 (en) 1999-02-10 2002-10-08 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6965624B2 (en) * 1999-03-17 2005-11-15 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6546037B2 (en) 1999-02-10 2003-04-08 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6678291B2 (en) 1999-12-15 2004-01-13 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser
US6421365B1 (en) 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6389052B2 (en) 1999-03-17 2002-05-14 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6717973B2 (en) 1999-02-10 2004-04-06 Lambda Physik Ag Wavelength and bandwidth monitor for excimer or molecular fluorine laser
US6327290B1 (en) 1999-02-12 2001-12-04 Lambda Physik Ag Beam delivery system for molecular fluorine (F2) laser
US6219368B1 (en) 1999-02-12 2001-04-17 Lambda Physik Gmbh Beam delivery system for molecular fluorine (F2) laser
US6727731B1 (en) 1999-03-12 2004-04-27 Lambda Physik Ag Energy control for an excimer or molecular fluorine laser
US6700915B2 (en) 1999-03-12 2004-03-02 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a resonator containing an optical element for making wavefront corrections
DE29907349U1 (de) 1999-04-26 2000-07-06 Lambda Physik Gmbh Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
FR2793179A1 (fr) * 1999-05-06 2000-11-10 Air Liquide Installation de soudage ou de coupage par faisceau laser avec dispositif de concentration du flux de gaz d'assistance
EP1072351A1 (en) 1999-07-08 2001-01-31 Pierre Diserens Method for laser cutting
US6785316B1 (en) 1999-08-17 2004-08-31 Lambda Physik Ag Excimer or molecular laser with optimized spectral purity
US6553050B1 (en) 1999-11-18 2003-04-22 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6529533B1 (en) 1999-11-22 2003-03-04 Lambda Physik Ag Beam parameter monitoring unit for a molecular fluorine (F2) laser
US6603788B1 (en) 1999-11-23 2003-08-05 Lambda Physik Ag Resonator for single line selection
US6795456B2 (en) 1999-12-20 2004-09-21 Lambda Physik Ag 157 nm laser system and method for multi-layer semiconductor failure analysis
US6907058B2 (en) 2000-01-25 2005-06-14 Lambda Physik Ag Energy monitor for molecular fluorine laser
US7075963B2 (en) 2000-01-27 2006-07-11 Lambda Physik Ag Tunable laser with stabilized grating
US6735232B2 (en) 2000-01-27 2004-05-11 Lambda Physik Ag Laser with versatile output energy
US6618403B2 (en) 2000-03-16 2003-09-09 Lambda Physik Ag Method and apparatus for compensation of beam property drifts detected by measurement systems outside of an excimer laser
US6834066B2 (en) 2000-04-18 2004-12-21 Lambda Physik Ag Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers
US6862307B2 (en) * 2000-05-15 2005-03-01 Lambda Physik Ag Electrical excitation circuit for a pulsed gas laser
US6577663B2 (en) 2000-06-19 2003-06-10 Lambda Physik Ag Narrow bandwidth oscillator-amplifier system
US6603789B1 (en) 2000-07-05 2003-08-05 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser with improved beam parameters
US6807205B1 (en) 2000-07-14 2004-10-19 Lambda Physik Ag Precise monitor etalon calibration technique
US6801561B2 (en) 2000-09-25 2004-10-05 Lambda Physik Ag Laser system and method for spectral narrowing through wavefront correction
US6747741B1 (en) 2000-10-12 2004-06-08 Lambda Physik Ag Multiple-pass interferometric device
FI113849B (fi) * 2001-02-23 2004-06-30 Laser Gas Oy Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä
US6804327B2 (en) * 2001-04-03 2004-10-12 Lambda Physik Ag Method and apparatus for generating high output power gas discharge based source of extreme ultraviolet radiation and/or soft x-rays
FR2825305A1 (fr) * 2001-06-01 2002-12-06 Air Liquide Procede et installation de soudage laser avec buse laterale de distribution de gaz
DE10138866B4 (de) * 2001-08-08 2007-05-16 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Bohren eines Lochs in ein Werkstück mittels Laserstrahls
US6998620B2 (en) * 2001-08-13 2006-02-14 Lambda Physik Ag Stable energy detector for extreme ultraviolet radiation detection
US6756564B2 (en) * 2001-12-31 2004-06-29 Andrx Pharmaceuticals Llc System and method for removing particulate created from a drilled or cut surface
DE50212323D1 (de) 2002-08-01 2008-07-10 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Laserbearbeitungsmaschine
DE20306336U1 (de) * 2003-04-22 2003-06-26 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Strahlführung einer Laserbearbeitungsmaschine
FR2858474A1 (fr) * 2003-07-28 2005-02-04 Safmatic Machine laser a chemin optique equipe d'une chicane de contournement du miroir de renvoi
CN1867813B (zh) * 2003-10-14 2011-01-26 洛德公司 用于测量距离的磁致伸缩传感器
FR2868718B1 (fr) * 2004-04-08 2007-06-29 3D Ind Soc Par Actions Simplif Dispositif de decoupe au laser pour detourer, ajourer, poinconner
DE502005011214D1 (de) * 2005-02-25 2011-05-19 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Verfahren zum Spülen von Leitungen und/oder Hohlräumen einer Laserbearbeitungsmaschine
EP1722451A1 (de) * 2005-05-10 2006-11-15 Wavelight Laser Technologie AG Lasersystem mit integrierter Stickstoffversorgung
JP5014614B2 (ja) * 2005-10-26 2012-08-29 ヤマザキマザック株式会社 レーザ加工機光路系のシール装置
WO2007128333A1 (de) 2006-05-09 2007-11-15 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Laserbearbeitungsmaschine mit einer einrichtung zum belüften der laserstrahlführung und verfahren zum belüften der laserstrahlführung einer laserbearbeitungsmaschine
US20080219317A1 (en) 2007-03-06 2008-09-11 Pettit George H Gas-purged laser system and method thereof
DE102007030397B4 (de) 2007-06-29 2013-04-11 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Laseranlage mit einer Aufbereitungsvorrichtung für die Druckluft eines Strahlführungsraums und entsprechendes Aufbereitungsverfahren
WO2009152836A1 (de) 2008-06-20 2009-12-23 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Laserbearbeitungsmaschine mit einem photoakustisch-messkopf in der eine gasatmosphäre enthaltenden strahlführung
DE102009058054B4 (de) 2009-12-14 2011-12-08 Airco Systemdruckluft Gmbh Stickstoff-Generator, dessen Verwendung sowie Verfahren zur vor Ort Herstellung von Stickstoff
FR2956337B1 (fr) * 2010-02-16 2012-03-02 Air Liquide Installation d'usinage laser avec source de gaz commune pour l'oscillateur et la tete laser
DE112011100039B4 (de) * 2010-06-14 2014-01-02 Mitsubishi Electric Corp. Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren
CN102476244A (zh) * 2010-11-23 2012-05-30 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种激光切割方法及激光切割机
JP6148878B2 (ja) 2012-03-14 2017-06-14 株式会社アマダホールディングス レーザ加工機の同軸ノズル
JP2013239696A (ja) 2012-04-16 2013-11-28 Amada Co Ltd ファイバレーザ発振器，ファイバレーザ加工装置，及びファイバレーザ発振器の除湿方法
CN103537815A (zh) * 2013-10-18 2014-01-29 昆山思拓机器有限公司 激光设备光学器件防灰尘系统
US10773340B2 (en) * 2015-12-28 2020-09-15 General Electric Company Metal additive manufacturing using gas mixture including oxygen
US10583532B2 (en) * 2015-12-28 2020-03-10 General Electric Company Metal additive manufacturing using gas mixture including oxygen
CN107150169A (zh) * 2016-03-02 2017-09-12 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种铝合金的无毛刺切割方法
CN105807430A (zh) * 2016-03-17 2016-07-27 邓泳安 一种具有高效散热功能的平行离散光束发射系统
CN109570148A (zh) * 2018-11-08 2019-04-05 中国科学院半导体研究所 直连空压机的激光清洗一体机
CN111906439B (zh) * 2020-06-19 2022-02-22 宁波大艾激光科技有限公司 一种激光冲击强化的光路保护装置
CN114535794B (zh) * 2022-04-25 2022-08-23 济南邦德激光股份有限公司 一种激光切割头的气路系统
WO2024013566A1 (en) * 2022-07-15 2024-01-18 Manufacturing Service Solutions Limited High pressure filter panel for lasers

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4977566A (ko) * 1972-11-28 1974-07-26
JPS59215292A (ja) * 1983-05-20 1984-12-05 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ加工装置
JPS60121097A (ja) * 1983-12-02 1985-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ加工装置
EP0148405B1 (de) * 1983-12-13 1988-10-12 Messer Griesheim Gmbh Verfahren zur Kantenfindung einer auf eine Werkstückkante zubewegten, gasausströmenden Schweiss- und/oder Schneiddüse
JPS63299884A (ja) * 1987-05-30 1988-12-07 Komatsu Ltd レ−ザ加工装置
JPS6444296A (en) * 1987-08-12 1989-02-16 Fanuc Ltd Assist gas control system
JPH0215895A (ja) * 1988-07-04 1990-01-19 Toshiba Corp ガスレーザ装置の伝送路
DE3906571A1 (de) * 1989-03-02 1990-09-06 Festo Kg Lichtleiter
KR0136566B1 (ko) * 1989-10-12 1998-07-01 가따다 데쯔야 레이저 절단방법
JPH03221290A (ja) † 1990-01-24 1991-09-30 Hitachi Ltd レーザ加工機
US4977566A (en) * 1990-02-02 1990-12-11 Spectra-Physics, Inc. Purged cavity solid state tunable laser
JP2736182B2 (ja) * 1991-02-28 1998-04-02 ファナック株式会社 レーザ装置及びレーザ溶接方法
JPH0584590A (ja) * 1991-09-26 1993-04-06 Amada Co Ltd レーザ加工用アシストガス供給装置
JPH05185267A (ja) * 1992-01-16 1993-07-27 Fanuc Ltd レーザ加工装置
DE69219101T2 (de) * 1992-02-03 1997-07-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Laserbearbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Höhe des Kondensor
US5559584A (en) * 1993-03-08 1996-09-24 Nikon Corporation Exposure apparatus

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Publication number Publication date
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WO1995033594A1 (en) 1995-12-14
EP0712346A1 (en) 1996-05-22

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