FI113849B - Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä - Google Patents

Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä Download PDF

Info

Publication number
FI113849B
FI113849B FI20010366A FI20010366A FI113849B FI 113849 B FI113849 B FI 113849B FI 20010366 A FI20010366 A FI 20010366A FI 20010366 A FI20010366 A FI 20010366A FI 113849 B FI113849 B FI 113849B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
nitrogen
gas
generator
nitrogen generator
pressure
Prior art date
Application number
FI20010366A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20010366A0 (fi
FI20010366A (fi
Inventor
Rami Hakala
Original Assignee
Laser Gas Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Laser Gas Oy filed Critical Laser Gas Oy
Priority to FI20010366A priority Critical patent/FI113849B/fi
Publication of FI20010366A0 publication Critical patent/FI20010366A0/fi
Priority to PCT/FI2002/000117 priority patent/WO2002066199A1/en
Publication of FI20010366A publication Critical patent/FI20010366A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI113849B publication Critical patent/FI113849B/fi

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/123Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/142Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

113849
Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä j Keksinnön kohteena on menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä, jolla suoritettavassa lasertyöstössä 5 käytetään suojakaasuna typpeä, joka tuotetaan ns.
typpigeneraattoria, kuten membrane-, PSA-erotinta tai vastaavaa käyttämällä, joka erottaa typpikaasua sillä käsitellystä kaasuvirtauksesta ja jolloin työstö-prosessin yhteydessä hyödynnetään sinänsä tunnetusti 10 kierrätystä.
Edellä mainitussa yhteydessä on tänä päivänä tunnettua käyttää ensinnäkin mitä erilaisimpia lasertyöstölait-teistoja, joissa esim. joko työstävä laseryksikkö | 15 liikkuu suhteessa työstettävään materiaaliin tai sitten työstettävä materiaali liikkuu suhteessa kiinteään lasertyöstimeen. Työstettäessä tämäntyyppisellä tekniikalla mitä erilaisimpia materiaaleja on välttämätöntä käyttää suojakaasua esim. materiaali-20 /valmistusteknisistä syistä johtuen ja mm. työstettä vän materiaalin syttymisen ja hapettumisen estämiseksi, mikä nykyisellään on toteutettu esim. siten, että lasertyöstimelle johdetaan puhdasta typpikaasua yksittäisistä typpipulloista muodostetusta suoja-25 kaasupatteristä. Tämän tyyppiseen ratkaisuun liittyy sellainen haitta, että suojakaasupatterin typpipulloja on tuotannon jatkuvuuden takaamiseksi välivarastoitava riittävän lukuisasti, minkä lisäksi niitä on sangen tiuhaan tahtiin vaihdettava, koska suojakaasun kulutus 30 on aika ajoin hyvinkin runsasta; Yhden tavanomaisen typpikaasupullon käyttöaika on keskimäärin ottaen noin 10 minuuttia.
Koska erillisten typpikaasupullojen käsittely on 35 edellä esitetyn tyyppisessä prosessoinnissa sangen työlästä, on tuotantoa pyritty kehittämään siihen suuntaan, että suojakaasuna käytettävä typpi tuotettaisiin ns. typpigeneraattoria käyttämällä. Kuvissa la I 113849 2 ja lb on esitetty esimerkinomaisesti kaksi tänä päivänä markkinoilla olevaa typpigeneraattorirat-kaisua, joita edellä mainittuun tarkoitukseen olisi periaatteessa mahdollista käyttää. Kuvassa la on 5 kuvattu erityisesti ns. PSA (Pressure Swing
Adsorption)-erotin, jonka prosessointiyksikössä on ns. spesiaaliaktiivihiilestä muodostettu molekyylipeti, jonka kautta ilma/paineilma johdetaan typen erottamiseksi siitä. Ko. erotin toimii käytännössä siten, että 10 prosessointiyksikön kulloinkin aktiivisena oleva erotinpatja toimii niin pitkään, kun riittävä erotuskyky saadaan säilymään, minkä jälkeen prosessi automaattisesti kytkee likaantuneen patjan pois käytöstä sen puhdistamiseksi esim. ns. vastakkaishuuhtelulla, 15 missä yhteydessä kytketään vuorostaan edellisessä vaiheessa puhdistumassa ollut patja uudelleenkäyttöön.
I Edellä esitetyn tyyppisellä typpigeneraattorilla on mahdollista tuottaa aina 99,9999 %:sta typpikaasua, mikä on käytännössä riittävän puhdasta myös erityisen 20 vaativaan laser-työstöön.
Toisaalta kuvassa Ib on esitetty esimerkinomaisesti ' eräs tänä päivänä markkinoilla oleva membrane-erotin, jossa erotuskyky perustuu pitkälti mekaaniseen suoda-j 25 tukseen. Nykyisin markkinoilla olevilla membrane- ; : suodattimilla on mahdollista tuottaa enintään noin '' < ί 99,9 %:sta typpikaasua, mikä ei mahdollista ko.
erottimien käyttöä sellaisenaan erityisesti vaativassa laser-työstössä.
il 30 ““ Em. typpigeneraattoreiden käytön ongelmallisuus k' lasertyöstössä johtuu nykyisellä tekniikalla ensinnä- ; V kin siitä, että typen erottaminen ilmasta/paineilmasta : t edellyttää sangen suurta typpigeneraattorin läpivir- X. 35 taamaa, minkä vuoksi typenerotusprosessin vaatima kokonaisteho on suhteettoman massiivinen käytännön valmiuksia silmälläpitäen. Lasertyöstössä tarvittavan suojakaasumäärän aikaansaamiseksi edellytetään tyypil- 113849 i 3 lisesti noin 6 m3/minuutti suuruista käsiteltävän ilman/paineilman tilavuusvirtaa typpigeneraattorin kautta. Tämä johtaa edelleen siihen, että prosessoitavan paineilman/ilman paineistuksessa tarvittavan 5 kompressorin tehon tulisi olla noin 40 kW. Näin suuri kompressoriteho ei ole kuitenkaan käytännössä enää perusteltua, koska se nostaa hankinta- ja käyttökustannuksia suhteettomasti, joten typenerotusprosessin hyödynnys edellä mainitussa yhteydessä ei ole nykyi-10 sellään taloudellisesti perusteltua. Toisaalta erityi sesti nykyisten membrane-erottimien käyttöön liittyy edelleen käytännössä se ongelma, että niiden erotuskyky ei ole sellaisenaan riittävän korkealla tasolla erityisen vaativaa laser-työstöä silmälläpitäen.
15
Aikaisemmasta tekniikan tasosta on löydettävissä esim.
; US-patentti 4,319,120, jossa suojakaasuna on esitetty käytettäväksi heliumia, minkä vuoksi, vaikkakin ko. kaasua siinä yhteydessä kierrätetäänkin, ei ko.
20 ratkaisu liity millään tavoin nyt esillä olevaa keksintöä vastaavaan aihepiiriin. Toisaalta viitejul-kaisussa WO 95/33594 on puolestaan esitetty periaat-teessä johdanto-osan mukainen toteutustapa typpikaasun :· hyödynnykseen, missä yhteydessä varsinainen tarkoitus : ' i 25 on kuitenkin erityisesti laservalolähteeseen kuuluvien ;"‘j peilien suojaaminen.
u“\. Nyt esillä olevan keksinnön mukaisen menetelmän tarkoituksena on saada aikaan ratkaiseva parannus 30 edellä esitettyihin ongelmiin ja siten kohottaa oleellisesti alalla vaikuttavaa tekniikan tasoa. Tämän tarkoituksen toteuttamiseksi keksinnön mukaiselle • ' j menetelmälle on pääasiassa tunnusomaista se, että i ; typpigeneraattorilla prosessoitavana kaasuna käytetään 35 suojakaasusuojatussa lasertyöstössä muodostuvaa työstökaasua.
4 113849
Keksinnön mukaisen menetelmän tärkeimpinä etuina mainittakoon sen yksinkertaisuus, tehokkuus ja toimintavarmuus, minkä ansiosta on ensinnäkin mahdollista toteuttaa taloudellisesti edullisella tavalla laser-5 työstöä, erityisesti nykyisellään sangen työlästä suojakaasun käyttöä/varastointia silmällä pitäen.
Keksinnön mukaisen menetelmän ansiosta on ensinnäkin mahdollista tehostaa merkittävästi suojakaasun käsittelyä, koska nykyisin vaadittavilta työläiltä typpi-10 pullovarastoinneilta ja niiden täydennyksiltä on mahdollista välttyä hyödyntämällä typpikaasun tuotannossa ns. omavaraista työstökaasun kiertoprosessia.
Keksinnön mukaisen menetelmän edullisuus perustuu erityisesti siihen yksinkertaiseen tosiasiaan, että 15 suojakaasusuojatussa lasertyöstössä muodostuvan työstökaasun happipitoisuus on nykyisen tietämyksen mukaan tyypillisesti korkeimmillaan noin 5 %, kun happipitoisuus ilmassa tai paineilmassa on noin 20 %.
Tämä tarkoittaa käytännössä sitä, että typpigeneraat-20 torin kautta johdettava tilavuusvirta pienenee uudel leen kierrätettävää työstökaasua hyödynnettäessä neljäsosaan siitä, mitä tarvittaisiin käytettäessä h:,' prosessiväliaineena ilmaa/paineilmaa, mikä luonnolli- sesti laskee typenerotusprosessissa tarvittavaa - ‘jj 2 5 käyttötehoa vastaavassa suhteessa. Näin ollen keksin- :<l'l nön mukainen menetelmä ensinnäkin helpottaa ratkaise- ;>'· vasti typenerotusprosessin koostamista em. tarkoituk- sessa, koska sen ansiosta on mahdollista käyttää paineistuksessa tavanomaisia kompressoreita ilman ^ 30 erityisen suuria tuottovaatimuksia. Tässä yhteydessä i 1“ myös ko. prosessin toimintavarmuus luonnollisesti T paranee, koska on mahdollista käyttää pitkälle stan- ; V dardoituja ja käytännössä hyväksi havaittuja kom- ' ponentteja.
. y. 3 5
Keksinnön mukaisen menetelmän edullisia sovellutuksia on esitetty siihen kohdistuvissa epäitsenäisissä patenttivaatimuksissa.
5 113849
Seuraavassa selityksessä keksintöä havainnollistetaan yksityiskohtaisesti samalla viittaamalla oheisiin piirustuksiin, joissa 5 kuvissa la ja Ib on esitetty eräitä edullisia menetelmän hyödynnykseen soveltuvia typpigeneraattoreita eli PSA-erotinta (kuva la) ja membrane-ero-10 tinta (kuva Ib), kuvassa 2 on esitetty erästä tyypillistä lasertyöstö-laitteistoa, jossa keksinnön mukaista mene-15 telmää on mahdollista hyödyntää, ja kuvassa 3 on esitetty erästä keksinnön mukaisen menetelmän edullista toimintaperiaatetta esimer-20 kinomaisena prosessikaaviona.
Keksinnön kohteena on menetelmä lasertyöstölaitteiston \:,L yhteydessä, jolla suoritettavassa lasertyöstössä LT
.L' käytetään suojakaasuna typpeä N2, joka tuotetaan ns.
! 'J 25 typpigeneraattoria 1, kuten membrane-, PSA-erotinta : : tai vastaavaa käyttämällä, joka erottaa typpikaasua : > sillä käsitellystä kaasuvirtauksesta. Typpigeneraatto- ;j". rilla 1 prosessoitavana kaasuna käytetään suoja- kaasusuojatussa lasertyöstössä LT muodostuvaa työstö-30 kaasua TK.
'1' Erityisesti kuvassa 2 esitettyyn edulliseen sovellu- ; V tuskohteeseen viitaten, lasertyöstöstä LT poistettu ja i esim. lasertyöstölaitteen yhteydessä esisuodatettu 35 työstökaasu TK lisäsuodatetaan LS erityisesti sen 03- ^ neutralointia varten ennen sen esim. kuvassa 3 periaa tetasolla kuvattuun typenerotusprosessiin I syöttämistä .
6 113849 i Edelleen menetelmän edullisena sovellutuksena erityi sesti kuvan 3 toimintakaavioon viitaten esipaineiste-taan kierrätettävä työstökaasu TK, edullisesti 5-20 kW:n tehoisella ruuvikompressorilla 2 tai vastaavalla 5 esim. 6-12 barin paineeseen, ennen sen typpigeneraat- toriin 1 syöttämistä.
Edelleen menetelmän edullisena sovellutuksena, typpi -generaattorilla 1 tuotettu typpikaasu N2 lisäpaineiste-10 taan, edullisesti 2-6 kW:n tehoisella mäntäkompresso- rilla 5 tai vastaavalla esim. 30-300 barin paineeseen, sen välivarastointia ja/tai hyödynnystä varten.
Edullisena sovellutuksena edelleen kuvassa 3 esitet-15 tyyn edulliseen toimintakaavioon viitaten, typpi- generaattorilla 1 tuotettua typpikaasua varastoidaan välivarastointijärjestelyssä 3, josta typpikaasu syötetään edelleen lasertyöstössä LT käytettäväksi.
Tässä yhteydessä varastointijärjestely 3 koostuu esim.
20 yhdestä yhtenäisestä kaasusäiliöstä tai sitten useista erillisistä kaasupulloista muodostetusta suoja-kaasupatterista.
< ; Edelleen edullisena menetelmän sovellutuksena on :v, 25 mahdollista toimia myös siten, että typpigeneraatto- , rilla 1 tuotettu typpikaasu puhdistetaan erityisesti _____; sen jäännöshapen eliminoimiseksi otsonoimalla, kuten otsonigeneraattorilla 4a, aktiivihiilisuodattamalla 4b ja kuivattamalla 4c. Otsonigeneraattorissa 4a typpi-30 kaasun sisältämä jäännöshappi muuttuu otsoniksi ja '·“ otsonigeneraattorin jälkeisessä aktiivihiilisuodatuk- t.k sessa 4b otsoni muuttuu edelleen vedeksi, joka poisteltu taan esim. PSA-kuivaimella 4c tai sitten vastaavalla esim. membrane-kuivaimella.
'k 35 ‘‘t" Vaihtoehtoisesti käytetään ns. N2-puhdistinta siten, että jäljellä olevan happimolekyylit poltetaan esim.
7 113849 vetykaasua hyväksikäyttäen esim. palladium-pedissä ja syntyvä vesi poistetaan sopivalla kuivaimella.
! Ϊ ...
Toimintakaaviossa kuvatun mukaisesti on typpigeneraat-5 torin 1 yhteyteen järjestetty edullisesti edelleen tasausjärjestely 6, kuten typpigeneraattorin 1 imupuo-lella oleva, edullisesti esim. 0,3-1 m3:n esivaraus-säiliö 6a ja sen painepuolella oleva, edullisesti esim. 0,5 - 2 m3:n jälkivaraussäiliö 6b.
10
Erityisesti kuvan 3 toimintakaaviossa esitetyn mukaisesti on tässä yhteydessä edullisena sovellutuksena esipaineistukseen käytetyn ruuvikompressorin 2 yhteydessä käytetty lisäksi kuivainta 7a ja suodatinta i 15 7b. Ensinmainittu on tarkoitettu kuivattamaan ruuvi- kompressoria käytettäessä muodostuvaa kosteutta ja j jälkimmäinen puolestaan eliminoimaan erityisesti ruuvikompressorikäytöstä prosessoitavaan nesteeseen kulkeutuvaa öljyä. Edellä mainituilla mitoitus- ja 20 toiminta-arvoilla on kuivaimen 7a teho edullisesti noin 2 kW. Vastaavasti typpigeneraattorin 1 teho noin 0,2 kW erityisesti kuvassa la esitetyn tyyppistä PSA-erotinta käytettäessä.
t l i ; lji' 25 On selvää, että keksintö ei rajoitu edellä esitettyi- hin tai selitettyihin sovellutuksiin, vaan sitä yO voidaan keksinnön perusajatuksen puitteissa muunnella vt kulloistenkin käyttöolosuhteiden ja prosessien edel lyttämien vaatimusten mukaisesti. Näin ollen tietyn 30 tyyppisissä prosesseissa on luonnollisesti mahdollista 'ϊ;. käyttää esim. kuvassa Ib esitetyn tyyppisiä membrane- ‘T erottimia, joissa typen puhtautta kuitenkin paranne- : V taan esim. kaaviossa 3 kuvatun tyyppistä, tyyppi- : j generaattorin yhteydessä olevaa jälkiotsonointia 35 hyödyntämällä tai sitten esim. kytkemällä useampia erottimia sarjaan. Luonnollisesti on lisäksi selvää, että edellä kuvatun tyyppistä toimintakaaviota on mahdollista varioida sangen runsaasti käyttämällä 8 113849 edellä esitetystä poikkeavia paineenkohotuslaitteita tai muita sinänsä tavanomaisia prosessiteknisiä laitteita/kytkentöjä. Lisäksi on luonnollisesti selvää, että samassa typenerotusprosessissa on mahdol-! 5 lista käyttää läpivirtaaman kasvattamiseksi useampia ; rinnakkaisia typpierottimia tai sitten typpikaasun ; puhtauden lisäämiseksi useampia sarjaan kytkettyjä typpierottimia. Käytännössä saattaa olla edelleen mahdollista toteuttaa typenerotusprosessi ilman edellä 10 kuvatun tyyppistä suuripaineista välivarastointijär jestelyä johtamalla typpigeneraattorilla tuotettu typpikaasu suoraan lasersyöttölaitteistolle.
<. < t t J.

Claims (8)

113849
1. Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä, jolla suoritettavassa lasertyöstössä (LT) käytetään 5 suojakaasuna typpeä (N2) , joka tuotetaan ns. typpi- generaattoria (1), kuten membrane-, PSA-erotinta tai vastaavaa käyttämällä, joka erottaa typpikaasua sillä käsitellystä kaasuvirtauksesta ja jolloin työstö-prosessin yhteydessä hyödynnetään sinänsä tunnetusti 10 kierrätystä, tunnettu siitä, että typpigeneraattorilla (1) prosessoitavana kaasuna käytetään suojakaasusuoja-! tussa lasertyöstössä (LT) muodostuvaa työstökaasua (TK) .
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että lasertyöstöstä (LT) poistettu, esisuodatettu työstökaasu (TK) lisäsuodatetaan (LS) ! erityisesti sen 03-neutralointia varten ennen sen typenerotusprosessiin (I) syöttämistä. 20
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetel mä, tunnettu siitä, että kierrätettävä syöttökaasu (TK) esipaineistetaan, sopivimmin 5-20 kW:n tehoisella ruuvikompressorilla (2) tai vastaavalla 6-12 barin 25 paineeseen, ennen sen typpigeneraattoriin (1) syöttämistä.
4. Jonkin edellisistä patenttivaatimuksista 1-3 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että typpi-30 generaattorilla (1) tuotettu typpikaasu lisäpaineiste- taan, sopivimmin 2-6 kW:n tehoisella mäntäkompresso-rilla (5) tai vastaavalla 30-300 barin paineeseen, sen välivarastointia ja/tai hyödynnystä varten.
5. Jonkin edellisistä patenttivaatimuksista 1-4 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että typpi generaattorilla (1) tuotettua typpikaasua (N2) varastoidaan välivarastointijärjestelyssä (3), josta 113849 typpikaasu syötetään edelleen lasertyöstössä (LT) käytettäväksi.
6. Jonkin edellisistä patenttivaatimuksista 1-5 5 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että tuotettua typpikaasua varastoidaan varastointijärjestelyyn (3), joka koostuu yhdestä yhtenäisestä kaasusäiliöstä tai useista erillisistä kaasupulloista muodostetusta suojakaasupatterista.
7. Jonkin edellisistä patenttivaatimuksista 1-6 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että typpi- j generaattorilla (1) tuotettu typpikaasu puhdistetaan erityisesti sen jäännöshapen eliminoimiseksi otsonoi-15 maila, kuten otsonigeneraattorilla (4a), aktiivihii- lisuodattamalla (4b) ja kuivattamalla (4c), ns. N2-puhdistimella ja/tai vastaavalla tavalla.
8. Jonkin edellisistä patenttivaatimuksista 1-7 20 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että typenerotus- prosessin (I) toimintaa tasataan typpigeneraattorin (1) yhteyteen järjestetyllä tasausjärjestelyllä (6), \,V: kuten typpigeneraattorin (1) imupuolella olevalla, sopivimmin 0,3 - 1 m3:n esivaraussäiliöllä (6a) ja/tai : ‘ ; 25 sen painepuolella olevalla, sopivimmin 0,5 - 2 m3:n jälkivaraussäiliöllä (6b). 113849
FI20010366A 2001-02-23 2001-02-23 Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä FI113849B (fi)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20010366A FI113849B (fi) 2001-02-23 2001-02-23 Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä
PCT/FI2002/000117 WO2002066199A1 (en) 2001-02-23 2002-02-14 Method in connection with a laser machining apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20010366 2001-02-23
FI20010366A FI113849B (fi) 2001-02-23 2001-02-23 Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20010366A0 FI20010366A0 (fi) 2001-02-23
FI20010366A FI20010366A (fi) 2002-08-24
FI113849B true FI113849B (fi) 2004-06-30

Family

ID=8560503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20010366A FI113849B (fi) 2001-02-23 2001-02-23 Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä

Country Status (2)

Country Link
FI (1) FI113849B (fi)
WO (1) WO2002066199A1 (fi)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1722451A1 (de) * 2005-05-10 2006-11-15 Wavelight Laser Technologie AG Lasersystem mit integrierter Stickstoffversorgung
US20080219317A1 (en) * 2007-03-06 2008-09-11 Pettit George H Gas-purged laser system and method thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1165636B (it) * 1979-03-05 1987-04-22 Fiat Auto Spa Metodo ed apparecchio per il controllo dei gas di copertura utilizzati nelle lavorazioni a mezzo di laser di potenza su pezzi metallici
CN1107570C (zh) * 1994-06-06 2003-05-07 阿曼德有限公司 向激光束机提供气态氮的方法和设备及一种激光束机

Also Published As

Publication number Publication date
FI20010366A0 (fi) 2001-02-23
WO2002066199A1 (en) 2002-08-29
FI20010366A (fi) 2002-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7025803B2 (en) Methane recovery process
US5004482A (en) Production of dry, high purity nitrogen
EP1405662A3 (en) CO2 recovery process for supercritical extraction
EP0702995A1 (en) Membrane gas separation
PE20010792A1 (es) Metodo y aparato para filtracion de liquido en multiples etapas
JPH06205949A (ja) 流体処理方法
DK1711435T3 (da) Anlæg og fremgangsmåde til rensning af spildevand ved hjælp af oxidering og membranfiltrering
EP2353699A1 (en) Sweep gas for membrane-based dehydration modules
CA2481540A1 (en) Liquid degassing system for power plant system layup
FI113849B (fi) Menetelmä lasertyöstölaitteiston yhteydessä
US6723153B2 (en) Isolation of SF6 from insulating gases in gas-insulated lines
KR101986776B1 (ko) 흡착-분리막 복합공정을 이용한 바이오가스 정제방법
US5647969A (en) Method and system for removing ionic species from water
JPH08131767A (ja) 高濃度二酸化炭素の分離回収方法
RU2255794C2 (ru) Способ регенерации и выделения оксифторидов серы из газовых смесей
JP2002363114A (ja) パーフルオロ化合物ガスの分離回収装置
EP0692297A2 (en) Gas prepurification
JPH0667449B2 (ja) ガスの脱湿法
JPH07247102A (ja) オゾン供給装置及び方法
WO2004009495A3 (en) Portable compact ultra high purity water system via direct processing from city feed water
KR101724182B1 (ko) 역삼투압 분리 방식을 통한 유기성 폐수 처리 시스템 및 방법
WO1998053710A1 (en) Apparatus and method for treating the atmosphere contained in enclosed spaces
KR20020061087A (ko) 유기용제 회수형 흡/탈착 시스템
CA2215777A1 (en) Process for shut-down of a membrane operation
KR0137254B1 (ko) 분리막장치 전처리 여과장치의 세척방법

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed