DE69925797T2 - Ferroelektrische Speicheranordnung - Google Patents

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine ferroelektrische Speichervorrichtung, die ferroelektrische Kondensatoren umfaßt, und, genauer gesagt, eine ferroelektrische Speichervorrichtung, die Daten von 3 oder mehr Werten in einem ferroelektrischen Kondensator in sich speichert.
  • 2. Beschreibung der verwandten Technik
  • Halbleiterspeichervorrichtungen werden im allgemeinen klassifiziert in flüchtige Halbleiterspeichervorrichtungen wie beispielsweise DRAMs (Dynamic Random Access Memory: dynamischer Speicher mit wahlfreiem Zugriff), die Elektroenergie benötigen, um in sie geschriebene Daten zu halten, und nichtflüchtige Halbleiterspeichervorrichtungen wie beispielsweise Flash-Speicher und EEPROMs (Electric Erasable Programmable Read Only Memory: elektrisch löschbarer programmierbarer Speicher), die keine Elektroenergie benötigen, um die geschriebenen Daten zu halten. Die Leistung einer Halbleiterspeichervorrichtung wird oft durch die Speicherkapazität, die Zugriffsgeschwindigkeit und den Energieverbrauch derselben ausgedrückt.
  • Als Halbleiterspeichervorrichtungen mit großer Kapazität und hoher Geschwindigkeit werden hauptsächlich DRAMs für den Hauptspeicher von verschiedenen Arten von Computern verwendet. Da DRAMs jedoch flüchtig sind, ist eine Auffrischoperation erforderlich, um die geschriebenen Daten zu halten, woraus ein hoher Energieverbrauch resultiert.
  • Flash-Speicher und EEPROMs werden hauptsächlich in Dateisystemen, Speicherkarten, tragbaren Einrichtungen und dergleichen als nichtflüchtige Halbleiterspeichervorrichtungen mit großen Kapazitäten und niedrigem Energieverbrauch verwendet. Jedoch wird bei Flash-Speichern und EEPROMs eine ziemlich lange Zeit benötigt, um Daten hineinzuschreiben.
  • Indessen sind ferroelektrische Speichervorrichtungen, die ferroelektrische Kondensatoren in Speicherzellen derselben umfassen, in jüngster Zeit als Halbleiterspeichervorrichtungen mit den Vorteilen sowohl von DRAMs als auch von Flash-Speichern und EEPROMs entwickelt worden.
  • Eine ferroelektrische Speichervorrichtung kann Binärdaten unter Verwendung einer dielektrischen Restpolarisation speichern, die auch dann bestehenbleibt, wenn eine Spannung, die auf einen ferroelektrischen Kondensator angewendet wird, 0 wird.
  • 1 zeigt eine Konfiguration einer Speicherzelle einer ferroelektrischen Speichervorrichtung dieser Art.
  • In 1 umfaßt eine Speicherzelle 1 einen ferroelektrischen Kondensator 3 und einen Transistor 5, der ein Transfer-Gate ist. Der Transistor 5 ist aus einem NMOS (N-Kanal-Metalloxid-Halbleiter) gebildet.
  • Eine Plattenleitung PL ist mit einer Elektrode 3a des ferroelektrischen Kondensators 3 zum Anwenden einer Spannung auf diese verbunden. Eine Transfer-Elektrode 5a des Transistors 5 ist mit der anderen Elektrode 3b des ferroelektrischen Kondensators 3 verbunden.
  • Eine Bitleitung BL, die eine Datenübertragungsleitung ist, ist mit der anderen Transfer-Elektrode 5b des Transistors 5 verbunden. Eine Wortleitung WL, die den Transistor 5 ein- und ausschaltet, ist mit der Gate-Elektrode 5c des Transistors 5 verbunden.
  • 2 zeigt eine Beziehung (Hystereseschleife, die durch "a", "b", "c" and "d" gebildet wird) zwischen einer Spannung E, die zwischen den Elektroden 3a und 3b des ferroelektrischen Kondensators 3 angewendet wird, und einer Polarisationsladungsdichte P desselben. Die angewendete Spannung E ist eine Spannung VBL der Bitleitung BL bezüglich einer Referenzspannung VPL der Plattenleitung PL (das heißt, Spannung VBL – Spannung VPL).
  • Im folgenden wird eine Operation zum Schreiben von Daten in die Speicherzelle 1 erläutert.
  • Wenn Daten "1" in die obige Speicherzelle 1 geschrieben werden, wird die Plattenleitung PL auf 0V gesetzt und wird die Wortleitung WL auf einen hohen Pegel gesetzt, wie in 3 gezeigt. In diesem Zustand wird die Bitleitung BL von 0V auf VCC und dann auf 0V verändert. 0V ist eine Erdspannung, und VCC ist eine Energiezufuhrspannung.
  • Die Spannung mit hohem Pegel, die auf die Wortleitung WL angewendet wird, wird auf eine Summe aus VCC und einer Spannung gesetzt, die höher als ein Schwellenwert des Transistors 5 ist, und VCC, die auf die Bitleitung BL angewendet wird, wird mit Sicherheit zu der Elektrode 3b des ferroelektrischen Kondensators 3 übertragen.
  • Als Resultat ändert sich, wie in 4 gezeigt, eine Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 von "e" auf "b" und dann auf "c". Auch in dem Fall, wenn der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 vor der Schreiboperation nicht "e" ist, ändert sich die Polarisationsladung auf Grund der Schreiboperation immer von "b" auf "c". Als Resultat wird ein dielektrischer Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 nach der Operation des Schreibens von Daten "1" in ihn ein positiver Polarisationsladungswert Pr ("c") sein. Dies ist der Zustand, wenn Daten "1" gespeichert sind.
  • Wenn andererseits Daten "0" in die Speicherzelle 1 geschrieben werden, wird die Plattenleitung PL auf VCC gesetzt und wird die Wortleitung WL auf einen hohen Pegel gesetzt, wie in 5 gezeigt, und die Bitleitung BL wird von VCC auf 0V und dann von 0V auf VCC verändert.
  • Als Resultat verändert sich, wie in 6 gezeigt, die Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 von "f" über "d" auf "a". Auch in dem Fall, wenn der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 vor der Schreiboperation nicht "f" ist, ändert sich die Polarisationsladung auf Grund der Schreiboperation immer von "d" auf "a". Als Resultat wird der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 nach der Operation des Schreibens von Daten "0" in ihn ein negativer Polarisationsladungswert -Pr ("a") sein. Dies ist der Zustand, wenn Daten "0" gespeichert sind.
  • 7 zeigt Operationszeitlagen der Wortleitung WL und der Plattenleitung PL und Veränderungen der Spannung der Bitleitung BL bei einer Operation zum Lesen von Daten, die in die Speicherzelle 1 geschrieben sind. Die Leseoperation wird ausgeführt, indem die Spannung der Plattenleitung PL von 0V auf VCC und dann auf 0V verändert wird, während die Wortleitung WL auf einem hohen Pegel ist. Die Spannung der Bitleitung BL wird vor der Leseoperation auf 0V gesetzt und in einen schwimmenden Zustand versetzt, wenn die Daten gelesen werden.
  • 8 zeigt eine Veränderung der Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 bei der Leseoperation.
  • Wenn Daten "1" in die Speicherzelle 1 geschrieben sind, verändert sich die Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 durch die Leseoperation von "c" auf "d". Eine elektrische Ladung ΔQ1, die durch die Veränderung der Polarisationsladung erzeugt wird, wird auf solch eine Weise verteilt, daß die Spannungen der Bitleitung BL und der Elektrode 3b des ferroelektrischen Kondensators 3 ausgegli chen werden. Als Resultat steigt die Spannung der Bitleitung BL, wie in 7 gezeigt, auf V1 an.
  • Wenn andererseits Daten "0" in die Speicherzelle 1 geschrieben sind, verändert sich die Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 durch die Leseoperation von "a" auf "d", wie in 8 gezeigt. Eine elektrische Ladung ΔQ2, die durch die Veränderung der Polarisationsladung erzeugt wird, wird auf solch eine Weise verteilt, daß die Spannungen der Bitleitung BL und der Elektrode 3b des ferroelektrischen Kondensators 3 ausgeglichen werden. Als Resultat steigt die Spannung der Bitleitung BL, wie in 7 gezeigt, auf V0 an.
  • Die Spannung der Bitleitung BL wird dann durch einen Leseverstärker, der nicht gezeigt ist, von V1 auf VCC oder von VO auf 0V verändert. Dann werden die Daten "1" oder "0" gelesen, die in der Speicherzelle 1 gespeichert sind.
  • Nach Vollendung des Lesens verändert sich die Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 zu der Zeit, wenn die Spannung der Plattenleitung PL 0V wird, auf -Pr ("a"). Aus diesem Grund werden, falls die Daten, die in den ferroelektrischen Kondensator 3 geschrieben sind, "1" sind, die gespeicherten Daten invertiert, und ein Neuspeichern ist erforderlich.
  • Ein Neuspeichern von Daten wird ausgeführt, wenn die Spannung der Bitleitung BL durch den Leseverstärker verstärkt wird. Bei der Verstärkung beträgt die. Spannung der Plattenleitung PL 0V. In dem Fall, wenn die Lesedaten "1" sind, wird die Spannung der Bitleitung BL, die durch den Leseverstärker verstärkt wird, VCC, und die Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 verändert sich somit auf "b", und die Daten "1" werden hineingeschrieben, wie in dem Fall, der in 4 gezeigt ist.
  • Falls die Lesedaten "0" sind, bleibt die dielektrische Restpolarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 vor und nach dem Lesen auf "a". Die Speicherzelle 1 bleibt in dem Zustand des Speicherns von Daten "0" in derselben.
  • Oben sind die Lese- und Schreiboperationen von Binärdaten "1" und "0" erläutert worden. Der Wert der dielektrischen Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators 3 verändert sich im allgemeinen als Antwort auf die Spannung der Bitleitung BL bezüglich der Referenzspannung der Plattenleitung PL beim Schreiben.
  • Deshalb verändert sich, wie in 9 gezeigt, in dem Fall, wenn der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 zum Beispiel "a" ist, der Wert auf P1, wenn die Bitleitungsspannung (VBL – VPL) V2 wird.
  • Ebenso wird, wenn die Spannung der Bitleitung BL (VBL – VPL) V3 wird, in dem Fall, wenn der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 "a" ist, der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 P2.
  • Mit anderen Worten, der Zustand der dielektrischen Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators 3 verändert sich in Abhängigkeit von der Spannung, die auf die Bitleitung BL angewendet wird. Deshalb wird das Speichern von 3 oder mehr Werten unter Verwendung der dielektrischen Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators 3 unter verschiedenen Aspekten erläutert.
  • Bei einem Versuch zum Realisieren der ferroelektrischen Speichervorrichtung, die 3 oder mehr Werte in dem ferroelektrischen Kondensator 3 speichert, treten jedoch die folgenden Probleme auf, die beim Speichern von Binärdaten nicht auftreten.
  • Das erste Problem wird dadurch verursacht, daß die dielektrische Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators 3 nicht nur von der angewendeten Spannung sondern auch von der Hysterese abhängt.
  • Zum Beispiel wird, wie in 10 gezeigt, eine Spannung V3, die einem logischen Wert entspricht, auf den ferroelektrischen Kondensator 3 angewendet, und der logische Wert wird in die Speicherzelle 1 geschrieben. Nach dieser Schreiboperation wird die Spannung V3 auf den ferroelektrischen Kondensator 3 angewendet, um den logischen Wert wieder in ihn zu schreiben.
  • Dabei verändert sich die Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators 3 in der Reihenfolge von "a", "g", "h", "j" und "k". Selbst wenn dieselbe Spannung auf den ferroelektrischen Kondensator 3 angewendet wird, um denselben logischen Wert zu schreiben, verändert sich deshalb die dielektrische Restpolarisation desselben auf eine Vielzahl von Werten (P3 und P4 in diesem Fall). Als Resultat wird der geschriebene logische wert nicht korrekt wiederhergestellt.
  • Das zweite Problem wird durch die Unstimmigkeit zwischen dem Polarisationsladungswert bei Anwendung einer Spannung auf die Bitleitung BL bei einer Schreiboperation und einem dielektrischen Restpolarisationswert nach der Schreiboperation verursacht.
  • Zum Beispiel verändert sich in der in 2 gezeigten Hystereseschleife die Polarisationsladung bei Anwendung der Spannung VCC auf die Bitleitung BL bei der Schreiboperation auf "b". Indessen verändert sich die dielektrische Restpolarisation nach der Schreiboperation auf "c". Deshalb ist der dielektrische Restpolarisationswert kleiner als die Polarisationsladung.
  • Immer wenn die Daten gelesen werden, ist demzufolge die Spannung der Bitleitung BL kleiner als die Spannung derselben beim Schreiben der Daten. Deshalb können die Daten einfach durch den Vergleich der Spannungen beim Lesen und Schreiben nicht korrekt gelesen werden.
  • Des weiteren wird, wenn ein Datenneuschreiben erforderlich ist, falls die Spannung beim Lesen einfach für das Neuschreiben verwendet wird, eine Veränderung auf einen dielektrischen Restpolarisationswert beobachtet, der sich von dem Wert vor dem Neuschreiben unterscheidet. Im Falle von Binärdaten kann die Spannung beim Lesen durch einen Leseverstärker verstärkt werden und treten keine derartigen Probleme auf.
  • Das dritte Problem ist auf das Laden eines parasitären Kondensators innerhalb der Speicherzelle 1 beim Schreiben von Daten zurückzuführen.
  • Ein parasitärer Kondensator Cp existiert, wie in 11 gezeigt, zwischen der Elektrode 3b des ferroelektrischen Kondensators 3 und dem Transfer-Gate 5a des Transistors 5 in der Speicherzelle 1. Der parasitäre Kondensator Cp wird als Antwort auf die Spannung geladen, die auf die Bitleitung BL beim Schreiben von Daten angewendet wird.
  • Deshalb ist, wie in 12 gezeigt, die dielektrische Restpolarisation unmittelbar nach Vollendung des Datenschreibens P5 und somit eine Summe aus einer natürlichen dielektrischen Restpolarisation Pr und der Ladung des parasitären Kondensators Cp. Die elektrische Ladung in dem parasitären Kondensator Cp wird mit der Zeit allmählich entladen, wodurch bewirkt wird, daß sich der dielektrische Restpolarisationswert P5 mit der Zeit auf Pr verändert.
  • Als Resultat verändern sich nach dem Schreiben im Laufe der Zeit Daten, die zu lesen sind. Im Falle von Binärdaten kann, da Daten durch die elektrischen Ladungen ΔQ1 und ΔQ2 gelesen werden, die in 8 gezeigt sind, die elektrische Ladung in dem parasitären Kondensator Cp als Fehler behandelt werden.
  • Auf Grund der obigen Beschreibungen sind Probleme vorhanden gewesen, die gelöst werden müssen, um Daten von 3 oder mehr Werten in dem ferroelektrischen Kondensator 3 zu speichern und die gespeicherten Daten korrekt zu lesen.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung ist erdacht worden, um die obigen Probleme zu lösen, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine ferroelektrische Speichervorrichtung vorzusehen, die Daten von irgendeinem von 3 oder mehr Werten in einem ferroelektrischen Kondensator in sich speichern und lesen kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist durch Anspruch 1 definiert.
  • Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine ferroelektrische Speichervorrichtung vorzusehen, die Daten, die in einem ferroelektrischen Kondensator darin gespeichert sind, mit Sicherheit als ursprünglichen digitalen Wert wiederherstellen kann.
  • Noch ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Vergleich einer analogen Lesespannung, die aus einem ferroelektrischen Kondensator gelesen wird, mit einer analogen Referenzlesespannung mit Sicherheit und hoher Genauigkeit auszuführen, wenn Daten gelesen werden, die in dem ferroelektrischen Kondensator gespeichert sind.
  • Noch ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist das Detektieren eines Fehlers in einer Schaltung oder dergleichen durch Ausgeben von Fehlerinformationen, wenn Daten, die in einem ferroelektrischen Kondensator gespeichert sind, nicht korrekt wiederhergestellt werden.
  • Noch ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen dielektrischen Restpolarisationswert eines ferroelektrischen Kondensators entsprechend Schreibdaten beizubehalten, indem der Einfluß einer anfänglichen oder vorherigen dielektrischen Restpolarisation vor dem Schreiben der Daten in den ferroelektrischen Kondensator unterdrückt wird.
  • Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist das korrekte Lesen von Daten, ohne durch eine elektrische Ladung beeinträchtigt zu werden, die in einem parasitären Kondensator in einem ferroelektrischen Kondensator gespeichert ist.
  • Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist das Ausführen einer Neuschreiboperation mit Sicherheit nach dem Lesen von Daten unter Verwendung des ursprünglichen digitalen Wertes, der aus einer analogen Lesespannung wiederhergestellt wurde.
  • Eine ferroelektrische Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung umfaßt eine Speicherzelle, die einen ferroelektrischen Kondensator enthält, einen DA-Konverter zum Empfangen von irgendeinem von 3 oder mehr digitalen Werten und Anwenden einer analogen Schreibspannung entsprechend dem eingegebenen digitalen Wert auf eine Elektrode des ferroelektrischen Kondensators, um zu bewirken, daß eine dielektrische Restpolarisation in dem ferroelektrischen Kondensator auftritt, und eine AD-Konvertierungsschaltung zum Empfangen einer analogen Lesespannung, die als Antwort auf den dielektrischen Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators erhalten wird, und zum Wiederherstellen der analogen Lesespannung als ursprünglichen digitalen Wert.
  • Der DA-Konverter empfängt einen digitalen Wert, der zu schreiben ist, und wendet die analoge Schreibspannung ent sprechend dem eingegebenen digitalen Wert auf die Elektrode des ferroelektrischen Kondensators an. Als Resultat tritt in dem ferroelektrischen Kondensator die dielektrische Restpolarisation entsprechend der Schreibspannung auf. Der Wert der dielektrischen Restpolarisation kann in Abhängigkeit von der analogen Schreibspannung auf eine Vielzahl von Werten gesetzt werden. Deshalb können Daten von irgendeinem von 3 oder mehr Werten in dem ferroelektrischen Kondensator gespeichert werden.
  • Die AD-Konvertierungsschaltung empfängt die analoge Lesespannung, die als Antwort auf den dielektrischen Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators erhalten wurde, und stellt die analoge Lesespannung als ursprünglichen digitalen Wert wieder her. Mit anderen Worten, die geschriebenen Daten (der digitale Restpolarisationswert) werden durch die AD-Konvertierungsschaltung gelesen.
  • Auf diese Weise wird es möglich, Daten von 3 oder mehr Werten in dem ferroelektrischen Kondensator zu speichern und die gespeicherten Daten zu lesen.
  • Gemäß einem der Aspekte der vorliegenden Erfindung umfaßt die AD-Konvertierungsschaltung eine Vielzahl von Referenzspeicherzellen, eine DA-Konvertierungseinheit, eine Vergleichseinheit und eine Wiederherstellungseinheit.
  • Die DA-Konvertierungseinheit wendet eine analoge Referenzschreibspannung, die einen Wert hat, der sich von der analogen Schreibspannung unterscheidet, die auf die Speicherzelle angewendet wird, auf eine Elektrode eines ferroelektrischen Kondensators in jeder der Referenzspeicherzellen an. Als Resultat tritt eine dielektrische Restpolarisation in dem ferroelektrischen Kondensator entsprechend der analogen Referenzschreibspannung auf.
  • Die Vergleichseinheit vergleicht jede analoge Referenzlesespannung, die als Antwort auf die dielektrische Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators in jeder der Referenzspeicherzellen erhalten wird, mit einer analogen Lesespannung, die als Antwort auf die dielektrische Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators in der Speicherzelle erhalten wird.
  • Die Wiederherstellungseinheit stellt den ursprünglichen digitalen Wert auf der Basis des Vergleichsresultats durch die Vergleichseinheit wieder her.
  • Deshalb kann der digitale Wert, der durch den DA-Konverter geschrieben wird, mit Sicherheit als ursprünglicher digitaler Wert wiederhergestellt werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung setzt eine DA-Konvertierungseinheit jede analoge Referenzschreibspannung auf einen Zwischenwert zwischen jeder analogen Schreibspannung entsprechend jedem digitalen Wert. Wenn die Daten gelesen werden, ist deshalb eine Differenz zwischen der analogen Lesespannung und der analogen Referenzlesespannung groß, wodurch ein leichter Vergleich zwischen beiden Spannungen ermöglicht wird.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung sind die Speicherzelle und die Referenzspeicherzellen in ein und derselben Größe und Form gebildet. Deshalb sind die Charakteristiken der Speicherzelle und der Referenzspeicherzellen dieselben. Als Resultat wird, wenn Daten geschrieben werden, ein vorbestimmter dielektrischer Restpolarisationswert entsprechend einer analogen Schreibspannung oder einer analogen Referenzschreibspannung in jedem der ferroelektrischen Kondensatoren der Speicherzelle und der Referenzspeicherzellen festgesetzt.
  • Auch wenn Daten gelesen werden, kann die analoge Lesespannung genau mit jeder analogen Referenzlesespannung verglichen werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die Kapazität einer Bitleitung, die einen DA-Konverter und eine Speicherzelle verbindet, dieselbe wie die Kapazität jeder Referenzbitleitung, die eine DA-Konvertierungseinheit mit jeder Referenzspeicherzelle verbindet. Beim Datenlesen können deshalb eine analoge Lesespannung und eine analoge Referenzlesespannung, die beide den dielektrischen Restpolarisationswert von jedem ferroelektrischen Kondensator korrekt widerspiegeln, erhalten und genau verglichen werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung gibt eine Wiederherstellungseinheit Fehlerinformationen, wenn das ursprüngliche digitale Signal nicht wiederhergestellt werden kann, auf der Basis eines Vergleichsresultats aus, das durch eine Vergleichseinheit erhalten wird, und es kann ein Fehler in einer Schaltung auf Grund einer Minderung oder eines Ausfalls eines ferroelektrischen Kondensators detektiert werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung setzt eine Polarisationsinitialisierungsschaltung einen dielektrischen Restpolarisationswert eines ferroelektrischen Kondensators in sich auf einen vorbestimmten Wert. Deshalb kann der Einfluß von der anfänglichen oder vorherigen dielektrischen Restpolarisation unterdrückt werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung setzt eine Polarisationsinitialisierungsschaltung einen dielektrischen Restpolarisationswert eines ferroelektrischen Kondensators vor einer Schreiboperation auf einen vorbestimmten Wert. Immer wenn dieselbe analoge Schreibspannung oder analoge Referenzschreibspannung auf den ferroelektri schen Kondensator bei einer Schreiboperation angewendet wird, hat deshalb die dielektrische Restpolarisation denselben Wert. Als Resultat ist der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators entsprechend Schreibdaten derselbe.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung entlädt eine Entladungsschaltung eine elektrische Ladung in einem parasitären Kondensator eines ferroelektrischen Kondensators. Deshalb wird die Leseoperation durch die elektrische Ladung, die in dem parasitären Kondensator gespeichert ist, nicht beeinträchtigt, und korrekte Daten können gelesen werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung entlädt eine Entladungsschaltung eine elektrische Ladung in einem parasitären Kondensator nach einer Schreiboperation oder vor einer Leseoperation. Deshalb wird die elektrische Ladung, die in dem parasitären Kondensator eines ferroelektrischen Kondensators beim Schreiben von Daten gespeichert wird, vor einer Leseoperation entladen, und nur die elektrische Ladung, die einer dielektrischen Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators entspricht, kann als analoge Lesespannung oder analoge Referenzlesespannung erhalten werden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden Daten in eine Speicherzelle neu geschrieben, indem der wiederhergestellte ursprüngliche digitale Wert einem DA-Konverter eingegeben wird. Durch Ausführen des Neuschreibens von Daten unter Verwendung einer analogen Schreibspannung, die erhalten wird, indem der wiederhergestellte ursprüngliche digitale Wert dem DA-Konverter eingegeben wird, statt eine analoge Lesespannung zu verwenden, die aus einer Speicherzelle gelesen wird, wird ein dielektrischer Restpolari sationswert eines ferroelektrischen Kondensators entsprechend dem ursprünglichen digitalen Wert korrekt festgesetzt.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Schaltungsdiagramm, das eine Speicherzelle einer herkömmlichen ferroelektrischen Speichervorrichtung zeigt;
  • 2 zeigt eine Beziehung zwischen einer Spannung, die auf einen ferroelektrischen Kondensator angewendet wird, der in 1 gezeigt ist, und einer Polarisationsladungsdichte desselben;
  • 3 ist ein Schaltungsdiagramm, das einen Zustand zeigt, wenn Daten "1" in die Speicherzelle geschrieben sind, die in 1 gezeigt ist;
  • 4 zeigt Veränderungen der Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators von 3, wenn Daten "1" in die Speicherzelle geschrieben sind;
  • 5 ist ein Schaltungsdiagramm, das einen Zustand zeigt, wenn Daten "0" in die Speicherzelle geschrieben sind, die in 1 gezeigt ist;
  • 6 zeigt Veränderungen der Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators von 5, wenn Daten "0" in die Speicherzelle geschrieben sind;
  • 7 ist ein Zeitlagendiagramm, das eine Operation zum Lesen von Daten zeigt, die in die Speicherzelle von 1 geschrieben sind;
  • 8 zeigt Veränderungen der Polarisationsladung des ferroelektrischen Kondensators von 7, wenn Daten gelesen werden, die in die Speicherzelle geschrieben sind;
  • 9 zeigt Veränderungen einer dielektrischen Restpolarisation entsprechend einer Spannung, die auf den ferroelektrischen Kondensator von 1 angewendet wird;
  • 10 zeigt ein Beispiel für die Abhängigkeit der dielektrischen Restpolarisation des ferroelektrischen Kondensators, der in 1 gezeigt ist, von der Hysterese;
  • 11 ist ein Schaltungsdiagramm, das einen parasitären Kondensator in der Speicherzelle von 1 zeigt;
  • 12 zeigt einen Zustand, wenn eine elektrische Ladung in dem parasitären Kondensator von 11 zu einem natürlichen dielektrischen Restpolarisationswert hinzugefügt wird;
  • 13 ist ein Blockdiagramm, das ein Grundprinzip der ersten Ausführungsform einer ferroelektrischen Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 14 zeigt einen Überblick über die erste Ausführungsform der ferroelektrischen Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • 15 ist ein Zeitlagendiagramm von externen Signalen, internen Signalen und Steuersignalen in der ersten Ausführungsform;
  • 16 ist ein Schaltungsdiagramm einer Datensteuereinheit und einer Speicherzelleneinheit, die in 14 gezeigt sind;
  • 17 ist ein Diagramm einer RD-Konvertierungsschaltung, die in 16 gezeigt ist;
  • 18 zeigt eine Operation zum Schreiben von Daten in einen ferroelektrischen Kondensator in der ersten Ausführungsform;
  • 19 zeigt eine Operation zum Lesen von Daten aus dem ferroelektrischen Kondensator in der ersten Ausführungsform;
  • 20 ist ein Zeitlagendiagramm, das die Schreib- und Leseoperationen in der ersten Ausführungsform zeigt; und
  • 21 ist ein Blockdiagramm, das einen Codierer in der zweiten Ausführungsform der ferroelektrischen Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen werden im folgenden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung eingehend erläutert.
  • 13 ist ein Blockdiagramm, das ein Grundprinzip der ersten und zweiten Ausführungsformen eines ferroelektrischen Speichers der vorliegenden Erfindung zeigt. Der ferroelektrische Speicher der vorliegenden Erfindung umfaßt einen DA-Konverter, eine Speicherzelle 1, die einen ferroelektrischen Kondensator 3 enthält, und eine AD-Konvertierungsschaltung.
  • Die AD-Konvertierungsschaltung umfaßt eine DA-Konvertierungseinheit 31, eine Vielzahl von Referenzspeicherzellen 35, von denen jede einen ferroelektrischen Kondensator 36 enthält, eine Vergleichseinheit 37 und eine Wiederherstellungseinheit. Die Wiederherstellungseinheit entspricht einem Codierer 39, der später erläutert wird.
  • 14 zeigt die erste Ausführungsform der ferroelektrischen Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung. In dieser Ausführungsform wird der ferroelektrische Speicher als Speicherchip hergestellt.
  • In 14 umfaßt die ferroelektrische Speichervorrichtung in dieser Ausführungsform eine Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 100, die die Eingabe und Ausgabe von externen Signalen steuert, eine Signalsteuereinheit 200, die verschiedene Arten von Steuersignalen aus eingegebenen externen Signalen erzeugt und die gesamte Vorrichtung steuert, eine Datensteuereinheit 300, die Eingangsdaten Din und Ausgangs daten Dout steuert, und eine Speicherzelleneinheit 400, die Daten speichert.
  • Ein Taktsignal CLK, ein Chipfreigabesignal /CE, ein Schreibfreigabesignal /WE, Adreßsignale AD und Datensignale DQ werden der Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 100 zugeführt. Die Datensignale DQ sind Eingangs-/Ausgangssignale, während die Signale, die nicht die Datensignale DQ sind, alle externe Eingangssignale sind. Die Signale, wie etwa die Adreßsignale AD und die Datensignale DQ, die durch dicke Pfeile gekennzeichnet sind, sind Bussignale, die eine Vielzahl von Leitungen verwenden.
  • Die Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 100 empfängt das Taktsignal CLK, das Chipfreigabesignal /CE, das Schreibfreigabesignal /WE, die Adreßsignale AD und die Datensignale DQ durch einen Eingabepuffer, der nicht gezeigt ist, und gibt ein internes Taktsignal CLKin, ein internes Chipfreigabesignal CEin, ein internes Schreibfreigabesignal WEin, interne Adreßsignale ADin an die Signalsteuereinheit 200 aus. In dieser Beschreibung bedeutet der Ausdruck "/", der zum Beispiel bei /CE und /WE verwendet wird, ein Signal mit negativer Logik, das heißt, ein Signal, das aktiv wird, wenn es auf dem niedrigen Pegel ist.
  • Die Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 100 gibt die Eingangsdaten Din, die Schreibdaten sind, an die Datensteuereinheit 300 aus und empfängt die Ausgangsdaten Dout, die Lesedaten sind, von der Datensteuereinheit 300. Die Eingangsdaten Din und die Ausgangsdaten Dout sind durch Eingabepuffer und Ausgabepuffer, die beide nicht gezeigt sind, mit Leitungen der Datensignale DQ verbunden.
  • Die Signalsteuereinheit 200 erzeugt auf der Basis von Signalen, die von der Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 100 eingegeben werden, ein Selektionssignal SEL, ein DA- Freigabesignal DAE, ein Initialisierungssignal INT, ein Verriegelungssignal CK, ein Signal einer Referenzwortleitung WLr und ein Signal einer Referenzplattenleitung PLr und gibt die erzeugten Signale an die Datensteuereinheit 300 aus.
  • Unter Verwendung des internen Taktsignals CLKin, des internen Chipfreigabesignals CEin, des internen Schreibfreigabesignals WEin und der internen Adreßsignale ADin selektiert die Signalsteuereinheit 200 eine vorbestimmte Wortleitung WL und eine vorbestimmte Plattenleitung PL und gibt Signale der selektierten Leitungen an die Speicherzelleneinheit 400 aus.
  • Bitleitungen BL sind zwischen der Datensteuereinheit 300 und der Speicherzelleneinheit 400 verbunden.
  • 15 zeigt ein Zeitlagendiagramm von externen Signalen, internen Signalen und Steuersignalen, die durch die Signalsteuereinheit 200 erzeugt werden. In dieser Ausführungsform der ferroelektrischen Speichervorrichtung wird eine interne Steuerung synchron mit dem Taktsignal CLK ausgeführt, das von außen eingegeben wird. Eine Schreiboperation wird in einem Schreibzyklus, der aus 3 Taktzyklen gebildet ist, von dem ersten Zyklus C1 bis zum dritten Zyklus C3 ausgeführt. Eine Leseoperation wird in einem Lesezyklus, der aus 4 Taktzyklen gebildet ist, von dem vierten Zyklus C4 bis zum siebten Zyklus C7 ausgeführt.
  • Die Zeitlage der Eingabe von externen Signalen ist als Zeitlagenspezifikation definiert, und die externen Signale werden gemäß dieser Spezifikation eingegeben.
  • Die Signalsteuereinheit 200 umfaßt eine Logikschaltung, die Steuersignale zu der in 15 gezeigten Zeitlage ausgibt. Im folgenden wird eine Operation der Signalsteuereinheit 200 in jedem der Taktzyklen erläutert.
  • Im ersten Zyklus C1 setzt die Signalsteuereinheit 200 das Initialisierungssignal INT, die Wortleitung WL, die Referenzwortleitung WLr, die Plattenleitung PL und die Referenzplattenleitung PLr auf den hohen Pegel und andere Signale auf den niedrigen Pegel. Im zweiten Zyklus C2 setzt die Signalsteuereinheit 200 das DA-Freigabesignal DAE, die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr auf den hohen Pegel und andere Signale auf den niedrigen. Im dritten Zyklus C3 setzt die Steuereinheit 200 das Anfangssignal INT, die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr auf den hohen Pegel und andere Signale auf den niedrigen.
  • Im vierten Zyklus C4 setzt die Steuereinheit 200 die Wortleitung WL, die Referenzwortleitung WLr, die Plattenleitung PL und die Referenzplattenleitung PLr auf den hohen Pegel und andere Signale auf den niedrigen. Im fünften Zyklus C5 setzt die Steuereinheit 200 das Initialisierungssignal INT, das Verriegelungssignal CK, die Wortleitung WL, die Referenzwortleitung WLr, die Plattenleitung PL und die Referenzplattenleitung PLr auf den hohen Pegel und die anderen Signale auf den niedrigen. Im sechsten Zyklus C6 setzt die Steuereinheit 200 das Selektionssignal SEL, die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr auf den hohen Pegel und die anderen Signale auf den niedrigen. Im siebten Zyklus C7 setzt die Steuereinheit 200 das Selektionssignal SEL, das DA-Freigabesignal DAE, das Initialisierungssignal INT, die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr auf den hohen Pegel und die anderen Signale auf den niedrigen.
  • 16 zeigt einen Überblick über die Schaltungskonfiguration der Datensteuereinheit 300 und der Speicherzelleneinheit 400. Die Speicherzelleneinheit 400 ist von einer gestrichelten Linie umgeben. Der Einfachheit der Erläuterung halber zeigt 16 eine Mindestkonfiguration, um 4 Werte durch 2-Bit-Eingangsdaten Din1 und Ding zu speichern.
  • In 16 umfaßt die Datensteuereinheit 300 den DA-Konverter 21, die AD-Konvertierungsschaltung 23, einen NMOS 25, Selektionsschalter 27a und 27b und einen Steuerschalter 29.
  • Der DA-Konverter 21 enthält Eingangsanschlüsse 21a und 21b, an denen 2-Bit-Daten eingegeben werden können, und er hat eine Funktion zum Ausgeben einer analogen Schreibspannung proportional zu einem von 4 digitalen Werten, die von seinen Eingangsanschlüssen 21a und 21b eingegeben werden. Der DA-Konverter 21 kann die minimale Ausgangsspannung und die maximale Ausgangsspannung verändern, indem seine Referenzanschlüsse Ref(+) und Ref(–) auf vorbestimmte Werte gesetzt werden.
  • Der Eingangsanschluß 21a ist über den Selektionsschalter 27a mit der Leitung entweder der Eingangsdaten Ding oder der Ausgangsdaten Dout2 verbunden. Der Eingangsanschluß 21b ist über den Selektionsschalter 27b mit der Leitung entweder der Eingangsdaten Din1 oder der Ausgangsdaten Dout1 verbunden.
  • Die Selektionsschalter 27a und 27b werden durch das Selektionssignal SEL ein- und ausgeschaltet. Die Selektionsschalter 27a und 27b verbinden die Eingangsanschlüsse 21a und 21b mit den Leitungen der Eingangsdaten Din1 und Ding, wenn das Selektionssignal SEL auf dem niedrigen Pegel ist. Die Selektionsschalter 27a und 27b verbinden die Eingangsanschlüsse 21a und 21b mit den Leitungen der Ausgangsdaten Dout1 und Dout2, wenn das Selektionssignal SEL auf dem hohen Pegel ist.
  • Ein Ausgangsanschluß 21c des DA-Konverters 21 ist über den Steuerschalter 29 mit der Bitleitung BL verbunden. Das DA-Freigabesignal DAE schaltet den Steuerschalter 29 ein und aus. Der Steuerschalter 29 trennt den Ausgangsanschluß 21c von der Bitleitung BL, wenn das DA-Freigabesignal DAE auf dem niedrigen Pegel ist, und verbindet den Anschluß 21c mit der Bitleitung BL, wenn das DA-Freigabesignal DAE auf dem hohen Pegel ist.
  • Jeder von den Selektionsschaltern 27a und 27b und dem Steuerschalter 29 ist aus einem CMOS-Schalter gebildet, bei dem eine Source-Elektrode des NMOS und eine Drain-Elektrode des PMOS verbunden sind und eine komplementäre Signalleitung mit jeder Gate-Elektrode des NMOS und PMOS verbunden ist.
  • Eine Drain-Elektrode des NMOS 25 ist mit der Bitleitung BL verbunden, und die Source-Elektrode des NMOS wird auf 0V (Erdspannung) gesetzt. Die Leitung des Initialisierungssignals INT ist mit der Gate-Elektrode des NMOS 25 verbunden.
  • Die AD-Konvertierungsschaltung 23 empfängt die Bitleitung BL, das Initialisierungssignal INT und das DA-Freigabesignal DAE und gibt Ausgangsdaten Dout1 und Dout2 aus.
  • In der Speicherzelleneinheit 400 ist eine Vielzahl von Speicherzellen 1 vertikal und horizontal ausgerichtet. Die Speicherzellen 1 haben dieselbe Konfiguration wie die herkömmliche Speicherzelle 1, die in 1 gezeigt ist. Jede der Speicherzellen 1 enthält einen ferroelektrischen Kondensator 3 und einen Transistor 5, der aus einem NMOS gebildet ist.
  • Der Einfachheit der Erläuterung halber sind nur zwei Speicherzellen 1 gezeigt. Eine Wortleitung WL1, eine Plattenleitung PL1 und die Bitleitung BL sind mit einer der Speicherzellen 1 verbunden, und eine Wortleitung WL2, eine Plattenleitung PL2 und die Bitleitung sind mit der anderen Speicherzelle 1 verbunden. Ein parasitärer Kondensator Cp existiert zwischen dem ferroelektrischen Kondensator 3 und dem Transistor 5 in jeder der Speicherzellen 1.
  • 17 zeigt eine Konfiguration der AD-Konvertierungsschaltung 23. Die AD-Konvertierungsschaltung 23 umfaßt eine DA-Konvertierungseinheit 31 mit 3 DA-Konvertern 31-1, 31-2 und 31-3, 3 Steuerschalter 33, 3 Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3, eine Vergleichseinheit 37 mit 3 Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 und 3 Flipflop-Schaltungen 38-1, 38-2 und 38-3, einen Codierer 39 und 3 NMOSs 41. Eine Leseoperation, die später erläutert wird, wird möglich, indem eine Anzahl von Schaltungskomponenten (3 in diesem Fall) eingesetzt wird, die um 1 kleiner als der eingegebene digitale Wert (4 Werte in diesem Fall) ist, abgesehen von dem Codierer 39.
  • Jeder der DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 hat Eingangsanschlüsse 31a und 31b, an denen 2-Bit-Daten eingegeben werden können. Die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 haben eine Funktion zum Ausgeben von 4 analogen Referenzschreibspannungen proportional zu digitalen Werten, die von den Eingangsanschlüssen 31a und 31b eingegeben werden. Die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 haben eine 1/2LSB-Spannungsversetzung gegenüber dem DA-Konverter 21 in der Datensteuereinheit 300. Die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 können maximale und minimale Ausgangsspannungen verändern, indem ihre Referenzanschlüsse Ref(+) und Ref(–) auf vorbestimmte Werte gesetzt werden.
  • 0V werden beiden Eingangsanschlüssen 31a und 31b des DA-Konverters 31-1 eingegeben. 0V und VCC werden den Eingangsanschlüssen 31a und 31b des DA-Konverters 31-2 eingegeben. VCC und 0V werden Eingangsanschlüssen 31a und 31b des DA-Konverters 31-3 eingegeben.
  • Deshalb gibt der Ausgangsanschluß 31c des DA-Konverters 31-1 eine analoge Referenzschreibspannung entsprechend einem digitalen Wert "0" aus. Der Ausgangsanschluß 31c des DA-Konverters 31-2 gibt eine analoge Referenzschreibspannung entsprechend einem digitalen Wert "1" aus, und der Ausgangsanschluß 31c des DA-Konverters 31-3 gibt eine analoge Referenzschreibspannung entsprechend einem digitalen Wert "2" aus.
  • Durch die oben beschriebene 1/2LSB-Versetzung ist jede der analogen Referenzschreibspannungen, die von den DA-Konvertern 31-1, 31-2 und 31-3 ausgegeben werden, um 1/2LSB größer als die analoge Schreibspannung, die durch den DA-Konverter 21 als Antwort auf jeden der digitalen Werte ausgegeben wird.
  • Als Resultat hat die analoge Referenzschreibspannung, die durch den DA-Konverter 31-1 ausgegeben wird, einen Zwischenwert zwischen analogen Schreibspannungen, die von dem DA-Konverter 21 als Antwort auf digitale Werte "0" und "1" ausgegeben werden. Die analoge Referenzschreibspannung, die durch den DA-Konverter 31-2 ausgegeben wird, hat einen Zwischenwert zwischen analogen Schreibspannungen, die von dem DA-Konverter 21 als Antwort auf digitale Werte "1" und "2" ausgegeben werden. Die analoge Referenzschreibspannung, die durch den DA-Konverter 31-3 ausgegeben wird, hat einen Zwischenwert zwischen analogen Schreibspannungen, die von dem DA-Konverter 21 als Antwort auf digitale Werte "2" und "3" ausgegeben werden.
  • Jeder der Ausgangsanschlüsse 31c der DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 ist über jeweils einen der Steuerschalter 33 mit Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 bzw. BLr3 verbunden. Die Steuerschalter 33 werden durch das DA-Freigabesignal DAE ein- und ausgeschaltet. Die Steuerschalter 33 trennen die Ausgangsanschlüsse 31c von den Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 bzw. BLr3, wenn das DA-Freigabesignal DAE auf dem niedrigen Pegel ist, und verbinden die Ausgangsanschlüsse 31c mit den Referenzbitleitungen, wenn das DA-Freigabesignal DAE auf dem hohen Pegel ist.
  • Jeder der Steuerschalter 33 ist aus einem CMOS-Schalter oder dergleichen gebildet, wie auch der obige Steuerschalter 29.
  • Die Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 sind mit jeweils einem der Drain-Gates der NMOSs 41 verbunden. Source-Elektroden der NMOSs 41 sind geerdet (das heißt, auf 0V gesetzt). Gate-Elektroden der NMOSs 41 sind mit der Leitung des Initialisierungssignals INT verbunden.
  • Die Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 haben dieselbe Größe und Form wie die oben beschriebene Speicherzelle 1. Deshalb ist eine Charakteristik der ferroelektrischen Kondensatoren 36 innerhalb der Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 dieselbe wie jene des ferroelektrischen Kondensators 3 in der Speicherzelle 1. Parasitäre Kondensatoren Cp existieren, wie in der Speicherzelle 1, auch zwischen ferroelektrischen Kondensatoren 36 und Transistoren 5 in den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3.
  • Die Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 sind mit den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 bzw. 35-3 verbunden. Die Referenzwortleitung WLr, die Referenzplattenleitung PLr sind auch mit den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 verbunden. Eine Lastkapazität der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 ist dieselbe wie jene der Bitleitung BL. Zum Beispiel ist die Verdrahtungslänge und Verdrahtungsbreite der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 dieselbe wie bei der Bitleitung BL in derselben Verdrahtungsschicht.
  • Dadurch, daß dieselbe Lastkapazität der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 wie jene der Bitleitung BL vorhanden ist, können die Spannungen der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 genau mit der Spannung der Bitleitung BL verglichen werden.
  • Spannungen der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 werden Anschlüssen "–" der Komparatoren 37-1, 37-2 bzw. 37-3 eingegeben. Die Bitleitung BL ist mit Anschlüssen "+" der Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 verbunden. Wenn die Spannung der Bitleitung BL höher als die Spannung von jeder der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 ist, ist die Ausgabe von jedem der Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 hoch.
  • Ausgangsanschlüsse der Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 sind mit Eingangsanschlüssen der Flipflop-Schaltungen 38-1, 38-2 bzw. 38-3 verbunden. Das Verriegelungssignal CK ist mit jedem der Takteingangsanschlüsse der Flipflop-Schaltungen 38-1, 38-2 und 38-3 verbunden. Die Flipflop-Schaltungen 38-1, 38-2 und 38-3 erhalten die Ausgabe von den Komparatoren 37-1, 37-2 bzw. 37-3 beim Anstieg des Verriegelungssignals CK.
  • Ausgangsanschlüsse der Flipflop-Schaltungen 38-1, 38-2 und 38-3 sind mit Eingangsanschlüssen L1, L2 bzw. L3 des Codierers 39 verbunden. Ausgangsanschlüsse Q1 und Q2 des Codierers 39 sind jeweilig mit Leitungen der Ausgangsdatensignale Dout1 und Dout2 verbunden.
  • Der Codierer 39 codiert Signale, die an seinen Eingangsanschlüssen L1, L2 und L3 eingegeben werden, auf der Basis einer Wahrheitstabelle, die in Tabelle 1 gezeigt ist. Ein Codierresultat wird als Ausgangsdatensignale Dout1 und Dout2 ausgegeben. Deshalb wird ein digitaler Wert, der in den ferroelektrischen Kondensator 3 geschrieben ist, durch den Codierer 39 wiederhergestellt. TABELLE 1
    Figure 00270001
  • Als nächstes wird eine Operation zum Schreiben von Daten in die obige ferroelektrische Speichervorrichtung erläutert.
  • Vor der Schreiboperation erfolgt die Initialisierung der dielektrischen Restpolarisation der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 in der Speicherzelle 1 und den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3. Bei der Initialisierung der Speicherzelle 1 ist das Initialisierungssignal INT auf einem hohen Pegel und ist die Bitleitung BL auf 0V. Die Plattenleitung PL ist auf der Energiezufuhrspannung VCC, und die Wortleitung WL ist hoch. Bei der Initialisierung der Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 ist das Initialisierungssignal INT auf dem hohen Pegel und sind die Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 auf 0V. Die Referenzplattenleitung PLr ist auf der Energiezufuhrspannung VCC, und die Referenzwortleitung WLr ist hoch.
  • Durch die Initialisierung der dielektrischen Restpolarisation, wie in 18 gezeigt, ändern sich die Polarisationsladungen der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 auf "d" und dann auf "a" bei Vollendung der Initialisierung. Als Resultat ist der dielektrische Restpolarisationswert der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 der Speicherzelle 1 und der Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 zu Beginn einer Schreiboperation immer "a", und es werden keine Effekte von einer anfänglichen oder vorherigen dielektrischen Restpolarisation beobachtet.
  • Der DA-Konverter 21 empfängt die Eingangsdaten Din1 und Ding und gibt an die Bitleitung BL eine der analogen Schreibspannungen W0, W1, W2 und W3 entsprechend den digitalen Eingangswerten "0", "1", "2" bzw. "3" aus. Da die Spannung der Plattenleitung PL immer 0 ist, ist die Spannung, die an die Bitleitung BL ausgegeben wird, die Spannung, die zwischen den beiden Elektroden des ferroelektrischen Kondensators 3 anzuwenden ist. Dabei werden das DA-Freigabesignal DAE und die Wortleitung WL auf den hohen Pegel gesetzt.
  • Die Ausgangsanschlüsse 31c des DA-Konverters 31-1, 31-2 und 31-3 geben analoge Referenzschreibspannungen Wr1, Wr2 bzw. Wr3 aus, die die Zwischenspannungen zwischen den analogen Schreibspannungen W0, W1, W2 und W3 sind, die durch den DA-Konverter 21 ausgegeben werden, wie es oben beschrieben worden ist.
  • Die Referenzanschlüsse Ref(+) und Ref(–) des DA-Konverters 21 und der DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 werden auf vorbestimmte Werte gesetzt, und eine maximale Ausgangsspannung von den DA-Konvertern 21 und 31-1, 31-2 und 31-3 ist niedriger als VCC, während eine minimale Ausgangsspannung höher als 0V ist. Mit anderen Worten, jeder von dem DA-Konverter 21 und den DA-Konvertern 31-1, 31-2 und 31-3 gibt eine Spannung innerhalb eines Schreibverwendungsbereichs in 18 aus.
  • Dadurch, daß die Referenzanschlüsse Ref(+) und Ref(–) wie oben eingestellt werden, werden keine Abschnitte G1 und G2 in 18 mit moderaten Neigungen der Hystereseschleife bei kleinen Differenzen der dielektrischen Polarisations werte verwendet. Deshalb kann ein Datenvergleich beim Datenlesen, das später beschrieben ist, mit Sicherheit ausgeführt werden.
  • Die Spannung mit hohem Pegel, die auf die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr angewendet wird, wird auf einen Wert gesetzt, der eine Summe aus VCC und einer Spannung ist, die höher als eine Schwellenspannung des Transistors 5 ist. Die Spannungen, die auf die Bitleitung BL und die Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 angewendet werden, werden mit Sicherheit den ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 zugeführt.
  • Der dielektrische Restpolarisationswert des ferroelektrischen Kondensators 3 in der Speicherzelle 1 wird durch das Schreiben der Daten durch den DA-Konverter 21 irgendeiner von Pw0, Pw1, Pw2 und Pw3 entsprechend den digitalen Werten "0", "1", "2" bzw. "3" sein. Der dielektrische Restpolarisationswert von jedem der ferroelektrischen Kondensatoren 36 in den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 wird durch das Schreiben der Daten durch die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 Pr1, Pr2 bzw. Pr3 sein. Die Ordnung der dielektrischen Restpolarisationswerte lautet Pw3 > Pr3 > Pw2> Pr2 > Pw1 > Pr1 > Pw0.
  • Mit anderen Worten, unter Verwendung der 3 DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 und der 3 Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3, deren Anzahl (3 in diesem Fall) um 1 kleiner als die Anzahl der digitalen Eingangswerte (4 Werte in diesem Fall) ist, tritt die dielektrische Restpolarisation mit den Werten Pr1, Pr2 und Pr3 auf, die Zwischenwerte der dielektrischen Restpolarisationswerte Pw0, Pw1, Pw2 und Pw3 sind.
  • Die elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp in der Speicherzelle 1 und in den Referenzspeicher zellen 35-1, 35-2 und 35-3, die durch die Schreiboperation erzeugt werden, werden entladen. Dabei ist das Initialisierungssignal INT auf dem hohen Pegel und die Bitleitung BL auf 0V. Die Plattenleitung PL ist auf 0V, und die Wortleitung ist auf dem hohen Pegel. Auf diese Weise wird die Entladung ausgeführt und wird die Schreiboperation vollendet.
  • Als nächstes wird eine Operation zum Lesen von Daten aus der ferroelektrischen Speichervorrichtung erläutert. Die Leseoperation wird ausgeführt, indem bewirkt wird, daß die Plattenleitung PL VCC erreicht, während die Wortleitung WL auf dem hohen Pegel ist.
  • Dabei wird, wie in 19 gezeigt, irgendeine der elektrischen Ladungen ΔQw0, ΔQw1, ΔQw2 und ΔQw3 entsprechend einem der dielektrischen Restpolarisationswerte Pw0, Pw1, Pw2 und Pw3 des ferroelektrischen Kondensators 3 in der Speicherzelle 1 erzeugt. Die erzeugte elektrische Ladung ΔQw0 (ΔQw1, ΔQw2 oder ΔQw3) wird auf solch eine Weise verteilt, daß die Spannung der Bitleitung BL und die Spannung des ferroelektrischen Kondensators 3 ausgeglichen werden. Als Resultat nimmt die Spannung der Bitleitung BL als Antwort auf den dielektrischen Restpolarisationswert Pw0, Pw1, Pw2 oder Pw3 zu.
  • Elektrische Ladungen ΔQr1, ΔQr2 und ΔQr3 werden entsprechend den dielektrischen Restpolarisationswerten Pr1, Pr2 und Pr3 der ferroelektrischen Kondensatoren 36 in den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 bzw. 35-3 erzeugt. Jede der erzeugten elektrischen Ladungen ΔQr1, ΔQr2 und ΔQr3 wird auf solch eine Weise verteilt, daß die Spannungen der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2, BLr3 den Spannungen der ferroelektrischen Kondensatoren 36 in den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 bzw. 35-3 gleich werden. Als Resultat steigen die Spannungen der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 gemäß den dielektrischen Restpolarisationswerten Pr1, Pr2 bzw. Pr3 auf vorbestimmte Werte.
  • Die Spannungen der Bitleitung BL und der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 werden dann durch die Vergleichseinheit 37 verglichen.
  • Wenn zum Beispiel ein digitaler Wert "2" gespeichert ist, lautet der dielektrische Restpolarisationswert Pw2, und bei der Leseoperation wird die elektrische Ladung ΔQw2 in dem ferroelektrischen Kondensator 3 erzeugt. Da ΔQr3 (BLr3) > ΔQw2 (BL) > ΔQr2 (BLr2) ist, ist die Spannung der Bitleitung BL höher als die Spannung der Referenzbitleitung BLr2 und niedriger als die der Referenzbitleitung BLr3. Deshalb erreicht die Ausgabe von den Komparatoren 37-1 und 37-2 den hohen Pegel, während die Ausgabe von dem Komparator 37-3 auf dem niedrigen Pegel ist.
  • Mit anderen Worten, durch 3 Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3, deren Anzahl (3 in diesem Fall) um 1 kleiner als die Anzahl der digitalen Eingangswerte (4 in diesem Fall) ist, kann die Spannung entsprechend irgendeiner der elektrischen Ladungen ΔQw0, ΔQw1, ΔQw2 und ΔQw3, die in der Bitleitung BL erzeugt wird, und die Spannung, die in jeder der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 erzeugt wird, ohne weiteres verglichen werden.
  • Die Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 geben das Vergleichsresultat an den Codierer 39 aus. Der Codierer 39 bewirkt, daß die Ausgangsdaten Dout1 und Dout2 einen hohen bzw. niedrigen Pegel gemäß der Wahrheitstabelle in Tabelle 1 haben. Mit anderen Worten, die Operation des Lesens der geschriebenen Daten "2" ist vollendet.
  • Durch das Lesen von Daten verändern sich die Polarisationsladungen der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 über den Bereich von "d" in die unmittelbare Nähe von "a". Die Polarisationsladungswerte erreichen nicht exakt "d" und "a". Beim Lesen von Daten steigen die Spannungen der Bitleitung BL und der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 auf vorbestimmte Spannungen, und daher erreichen die Spannung (VBL – VPL) der Bitleitung BL und die Spannung der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 bezüglich der Plattenleitung PL bzw. der Referenzplattenleitung PLr nicht exakt -VCC. Deshalb erreichen die Polarisationsladungswerte nicht exakt "d" und "a".
  • Als Resultat erreichen die dielektrischen Restpolarisationswerte der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 ungefähr -Pr, wodurch bewirkt wird, daf1 die geschriebenen Daten zerstört werden. Deshalb ist eine anschließende Neuschreiboperation erforderlich.
  • Um zu bewirken, daß die dielektrischen Restpolarisationswerte der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 exakt -Pr betragen, wird vor der Neuschreiboperation eine Initialisierung der dielektrischen Restpolarisation der Speicherzelle 1 und der Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 ausgeführt.
  • Die Neuschreiboperation wird ausgeführt, indem der digitale Wert, der durch den Codierer 39 wiederhergestellt wird, dem DA-Konverter 21 eingegeben wird. Mit anderen Worten, das Selektionssignal SEL wird zuerst auf den hohen Pegel angehoben, und die Selektionsschalter 27a und 27b werden umgeschaltet. Dann wird das DA-Freigabesignal DAE verändert, um den hohen Pegel zu erreichen, wird die Wortleitung WL auf den hohen Pegel bzw. die Plattenleitung PL auf 0V gesetzt. In diesem Zustand geben der DA-Konverter 21 und die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 einen analogen Schreibspannungswert WO oder W1 oder W2 oder W3 und analoge Referenzschreibspannungen Wr1, Wr2 bzw. Wr3 aus. Auf diese Weise wird die Neuschreiboperation ausgeführt.
  • Nach der Neuschreiboperation werden die elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp der Speicherzelle 1 und der Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 entladen. Die Leseoperation ist dann vollendet.
  • 20 zeigt ein Zeitlagendiagramm der Schreiboperation und der Leseoperation, die oben beschrieben sind. Bei der Schreiboperation wird im ersten Zyklus C1 des Schreibzyklus die Initialisierung der dielektrischen Restpolarisation der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 ausgeführt. Im zweiten Zyklus C2 werden Daten in die Speicherzelle 1 geschrieben und werden die vorbestimmten Werte in die Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 geschrieben. Im dritten Zyklus C3 werden die elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp entladen und wird die Schreiboperation vollendet.
  • Im vierten Zyklus C4 im Lesezyklus werden die geschriebenen Daten aus der Speicherzelle 1 gelesen und werden die vorbestimmten Daten aus den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 gelesen. Im fünften Zyklus C5 wird die dielektrische Restpolarisation initialisiert. Im sechsten Zyklus C6 wird der digitale Wert in die Speicherzelle 1 neu geschrieben und werden auch die vorbestimmten digitalen Werte in die Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 neu geschrieben. Das Neuschreiben der Daten in der Speicherzelle 1 in diesem Zyklus erfolgt unter Verwendung des digitalen Wertes, der durch den Codierer 39 wiederhergestellt wird. Im siebten Zyklus C7 werden die elektrischen Ladungen, die in den parasitären Kondensatoren Cp gespeichert sind, entladen und wird die Neuschreiboperation vollendet.
  • In der ferroelektrischen Speichervorrichtung in der obigen Konfiguration wird irgendeine von den analogen Schreibspannungen W0, W1, W2 und W3, die den 4 digitalen Werten entsprechen, die durch den DA-Konverter 21 konvertiert werden, auf den ferroelektrischen Kondensator 3 der Speicherzelle 1 angewendet, und es tritt die dielektrische Restpolarisation von irgendeinem der Werte Pw0, Pw1, Pw2 und Pw3 auf. Ferner wird die Spannung der Bitleitung BL, die sich als Antwort auf die elektrische Ladung ΔQw0 (oder ΔQw1, ΔQw2, ΔQw3) verändert, die durch den dielektrischen Restpolarisationswert Pw0 (oder Pw1, Pw2, Pw3) erhalten wird, durch die AD-Konvertierungsschaltung 23 detektiert und als ursprünglicher digitaler Wert wiederhergestellt. Deshalb wird es möglich, 4 digitale Werte in dem ferroelektrischen Kondensator 3 zu speichern und die gespeicherten Daten zu lesen.
  • Des weiteren umfaßt die AD-Konvertierungsschaltung 23 die Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3. Deshalb kann der ursprüngliche digitale Wert mit Sicherheit wiederhergestellt werden, indem die analogen Referenzlesespannungen, die von den dielektrischen Restpolarisationswerten Pr1, Pr2 und Pr3 erhalten werden, und die analoge Lesespannung, die von irgendeinem der dielektrischen Restpolarisationswerte Pw0, Pw1, Pw2 und Pw3 in der Speicherzelle 1 erhalten wird, verglichen werden.
  • In der ferroelektrischen Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung umfaßt die AD-Konvertierungsschaltung 23 die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3, die Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 und den Codierer 39. Deshalb können die DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 in die Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 die analogen Referenzschreibspannungen Wr1, Wr2 und Wr3 schreiben, die sich von den analogen Schreibspannungen W0, W1, W2 und W3 unterscheiden. Als Resultat können die Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3 die analogen Referenzlesespannungen, die von den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3 erhalten werden, mit der analogen Lesespannung vergleichen, die von der Speicherzelle 1 erhalten wird, und der Codierer 39 kann den ursprünglichen digitalen Wert wiederherstellen.
  • Unter Verwendung der 3 DA-Konverter 31-1, 31-2 und 31-3 und der 3 Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3, deren Anzahl (3 in diesem Fall) um 1 kleiner als die Anzahl von digitalen Eingangswerten (4 in diesem Fall) ist, können deshalb die dielektrischen Restpolarisationswerte Pr1, Pr2 und Pr3 erhalten werden, die Zwischenwerte der dielektrischen Restpolarisationswerte Pw0, Pw1, Pw2 und Pw3 sind. Des weiteren kann unter Verwendung der 3 Komparatoren 37-1, 37-2 und 37-3, deren Anzahl (3 in diesem Fall) um 1 kleiner als die Anzahl der digitalen Eingangswerte (4 in diesem Fall) ist, die analoge Lesespannung, die der elektrischen Ladung ΔQw0 (oder ΔQw1, ΔQw2, ΔQw3) entspricht, mit den analogen Referenzlesespannungen verglichen werden, die in den Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 erzeugt werden.
  • Darüber hinaus werden die analogen Referenzschreibspannungswerte Wr1, Wr2 und Wr3, die von den DA-Konvertern 31-1, 31-2 und 31-3 ausgegeben werden, auf Zwischenwerte der analogen Schreibspannungen W0, W1, W2 und W3 gesetzt, die in die Speicherzelle 1 geschrieben werden können. Deshalb kann eine Differenz zwischen den analogen Referenzlesespannungen und der analogen Lesespannung beim Lesen von Daten groß sein, und daher kann der Vergleich der analogen Referenzlesespannungen und der analogen Lesespannung mit Sicherheit ausgeführt werden.
  • Die Speicherzelle 1 hat dieselbe Größe und Form wie die Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3. Deshalb ist die Charakteristik des ferroelektrischen Kondensators 3 in der Speicherzelle 1 dieselbe wie jene der ferroelektrischen Kondensatoren 36 in den Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 und 35-3. Demzufolge kann beim Schreiben von Daten irgendeine der analogen Schreibspannungen W0, W1, W2 und W3 und irgendeiner der vorbestimmten dielektrischen Restpolarisationswerte entsprechend den analogen Referenzschreibspannungen Wr1, Wr2 und Wr3 für die ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 der Speicherzelle 1 und der Referenzspeicherzellen 35-1, 35-2 bzw. 35-3 festgelegt werden. Beim Lesen von Daten können die analogen Referenzlesespannungen Wr1, Wr2 und Wr3 mit hoher Genauigkeit mit der analogen Lesespannung verglichen werden.
  • Die Lastkapazitäten der Bitleitung BL und der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 sind dieselben. Deshalb können die analoge Lesespannung und die analogen Referenzlesespannungen, die die dielektrischen Restpolarisationswerte der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 korrekt widerspiegeln, erhalten werden, und der Vergleich der analogen Lesespannung und der analogen Referenzspannungen kann mit hoher Genauigkeit ausgeführt werden.
  • Die Bitleitung BL und die Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 sind über die NMOSs 4 und 25 geerdet (0V), und die Spannungen dieser Leitungen können durch das Initialisierungssignal INT auf 0V gesetzt werden. Indem bewirkt wird, daß die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr den hohen Pegel erreichen, und bewirkt wird, daß die Plattenleitung PL und die Referenzplattenleitung PLr auf VCC sind, können deshalb die dielektrischen Restpolarisations werte der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 auf einen vorbestimmten wert (-Pr) initialisiert werden.
  • Als Resultat können die dielektrischen Restpolarisationswerte der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 vor der Schreiboperation immer auf denselben Wert gesetzt werden, und ein Effekt der anfänglichen oder vorherigen dielektrischen Restpolarisation wird nicht beobachtet.
  • Die Spannungen der Bitleitung BL und der Referenzbitleitungen BLr1, BLr2 und BLr3 können durch das Initialisierungssignal INT auf 0V gesetzt werden. Indem bewirkt wird, daß die Wortleitung WL und die Referenzwortleitung WLr den hohen Pegel erreichen und die Plattenleitung PL und die Referenzplattenleitung PLr auf 0V sind, können deshalb die elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp in den ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 entladen werden und können korrekte Daten gelesen werden, ohne durch die elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp beeinträchtigt zu werden.
  • Als Resultat können durch das Entladen der elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp nach einer Schreiboperation oder vor einer Leseoperation die elektrischen Ladungen, die beim Datenschreiben in den parasitären Kondensatoren Cp gespeichert werden, vor einer Leseoperation entladen werden. Deshalb können nur die elektrischen Ladungen, die der dielektrischen Restpolarisation der ferroelektrischen Kondensatoren 3 und 36 entsprechen, als analoge Lesespannung und die analogen Referenzlesespannungen erhalten werden.
  • Die Leitungen der Ausgangsdaten Dout1 und Dout2, die den digitalen Wert aufweisen, der durch den Codierer 39 wiederhergestellt wird, sind über die Selektionsschalter 27b und 27a mit den Eingangsanschlüssen 21b und 21a des DA- Konverters 21 verbunden. Deshalb kann das Neuschreiben von Daten in die Speicherzelle 1 unter Verwendung des wiederhergestellten ursprünglichen digitalen Wertes statt unter Verwendung der aus der Speicherzelle 1 gelesenen analogen Lesespannung mit Sicherheit ausgeführt werden.
  • 21 zeigt einen Codierer 43 in der zweiten Ausführungsform einer ferroelektrischen Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung.
  • Die Konfigurationen, abgesehen von dem Codierer 43, sind dieselben wie in der ersten Ausführungsform.
  • In dieser Ausführungsform nutzt der Codierer 43 ein Fehlersignal zum Ausgeben von Fehlerinformationen. Der Codierer 43 gibt die Ausgangsdatensignale Dout1 und Dout2 und das Fehlersignal als Antwort auf Werte der Eingangsanschlüsse L1, L2 und L3 gemäß einer in Tabelle 2 gezeigten Wahrheitstabelle aus. TABELLE 2
    Figure 00380001
  • Mit anderen Worten, der Codierer 43 bewirkt, daß das Fehlersignal den hohen Pegel erreicht, wenn die Werte der Eingangsanschlüsse L1, L2 und L3 nicht dem digitalen Eingangswert entsprechen. Wenn die Werte, die den Eingangsanschlüssen L1, L2 und L3 eingegeben werden, auf Grund einer Minderung oder eines Ausfalls der Referenzspeicherzellen 35-1 35-2 und 35-3 dem geschriebenen digitalen Wert nicht entsprechen, erreicht das Fehlersignal den hohen Pegel.
  • Indem das Fehlersignal unter Verwendung einer anderen Schaltung überwacht wird, kann deshalb der Fehler in der Vorrichtung detektiert werden.
  • In der ersten Ausführungsform ist die Konfiguration zum Speichern von 4 Werten in der Speicherzelle 1 unter Verwendung von 2-Bit-Eingangsdaten erläutert worden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausführungsform begrenzt. Zum Beispiel kann auch eine Konfiguration zum Speichern von 8 Werten in der Speicherzelle 1 unter Verwendung von 3-Bit-Eingangsdaten eingesetzt werden. Alternativ ist auch eine Konfiguration möglich, bei der jeweils 4 Werte in 2 Speicherzellen gespeichert werden.
  • In der obigen ersten Ausführungsform ist das Beispiel für das Entladen der elektrischen Ladungen in den parasitären Kondensatoren Cp nach Vollendung einer Schreiboperation erläutert worden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf solch eine Ausführungsform begrenzt. Das Entladen kann zum Beispiel beim Start einer Leseoperation ausgeführt werden.
  • In der obigen ersten Ausführungsform ist das Beispiel für die Herstellung eines Speicherchips erläutert worden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf solch eine Ausführungsform begrenzt. Der ferroelektrische Speicher kann zum Beispiel als Modul in einer System-LSI gebildet sein.

Claims (11)

  1. Ferroelektrischer Speicher mit: einer Speicherzelle (1), die einen ferroelektrischen Kondensator (3) enthält; einem DA-Konverter (21) zum Anwenden einer analogen Schreibspannung, die irgendeinem von 3 oder mehr digitalen Werten entspricht, auf eine Elektrode des ferroelektrischen Kondensators, um zu bewirken, daß in dem Kondensator eine dielektrische Restpolarisation auftritt; und einer AD-Konvertierungsschaltung (23) zum Wiederherstellen als ursprünglichen digitalen Wert auf der Basis einer analogen Lesespannung, die als Antwort auf die dielektrische Restpolarisation des Kondensators erhalten wird.
  2. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, bei dem die AD-Konvertierungsschaltung (23) umfaßt: eine Vielzahl von Referenzspeicherzellen (35), von denen jede einen ferroelektrischen Kondensator enthält; eine DA-Konvertierungseinheit (31) zum Anwenden einer analogen Referenzschreibspannung, die sich von der analogen Schreibspannung unterscheidet, auf eine Elektrode des Kondensators in jeder der Referenzspeicherzellen, um zu bewirken, daß in dem Kondensator eine dielektrische Restpolarisation auftritt; eine Vergleichseinheit (37) zum Vergleichen einer analogen Referenzlesespannung, die als Antwort auf den dielektrischen Restpolarisationswert erhalten wird, mit der analogen Lesespannung; und einer Wiederherstellungseinheit (39) zum Wiederherstellen als ursprünglichen digitalen Wert auf der Basis des Vergleichsresultats von der Vergleichseinheit.
  3. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 2, bei dem die DA-Konvertierungseinheit jede der analogen Referenzschreibspannungen auf einen Zwischenwert zwischen jeder der analogen Schreibspannungen einstellt.
  4. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 2 oder 3, bei dem die Speicherzellen und die Referenzspeicherzellen in derselben Größe und Form gebildet sind.
  5. Ferroelektrischer Speicher nach irgendeinem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem der DA-Konverter mit der Speicherzelle durch eine Bitleitung verbunden ist und die DA-Konvertierungseinheit in der AD-Konvertierungsschaltung mit den Referenzspeicherzellen durch Referenzbitleitungen verbunden ist, die dieselbe Kapazität wie die Bitleitung haben.
  6. Ferroelektrischer Speicher nach irgendeinem der Ansprüche 2 bis 5, bei dem die Wiederherstellungseinheit Fehlerinformationen ausgibt, wenn der ursprüngliche digitale Wert auf der Basis des Vergleichsresultats von der Vergleichseinheit nicht wiederhergestellt werden kann.
  7. Ferroelektrischer Speicher nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 6, ferner mit einer Polarisationsinitialisierungsschaltung zum Einstellen des dielektrischen Restpolarisationswertes des ferroelektrischen Kondensators auf einen vorbestimmten Wert.
  8. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 7, bei dem die Polarisationsinitialisierungsschaltung den dielek trischen Restpolarisationswert vor einer Schreiboperation einstellt.
  9. Ferroelektrischer Speicher nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 8, ferner mit einer Entladungsschaltung zum Entladen einer Ladung, die in einem parasitären Kondensator des ferroelektrischen Kondensators gespeichert ist.
  10. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 9, bei dem die Entladungsschaltung die in dem parasitären Kondensator gespeicherte Ladung nach einer Schreiboperation oder vor einer Leseoperation entlädt.
  11. Ferroelektrischer Speicher nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem eine Operation zum Neuschreiben von Daten in der Speicherzelle ausgeführt wird, indem der wiederhergestellte ursprüngliche digitale wert dem DA-Konverter eingegeben wird.
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