DE69837238T2 - Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung und Verfahren zu ihrer Ansteuerung - Google Patents

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft einen Festkörper-Bildaufnehmer und ein Ansteuerungsverfahren für einen solchen, und insbesondere betrifft sie einen Festkörper-Bildaufnehmer, bei dem eine Verstärkungseinrichtung (Spaltenverstärker) mit jeder von vertikalen Signalleitungen verbunden ist, und ein Ansteuerungsverfahren zum Beseitigen dort vorhandener Störsignale.
  • Die 1 zeigt einen von herkömmlichen Festkörper-Bildaufnehmern, wie er beispielsweise im US-Patent Nr. 5,345,266 offenbart ist. Dieser Festkörper-Bildaufnehmer verfügt über einen solchen Grundaufbau, dass Einheitspixel 101 zweidimensional in Matrixform angeordnet sind und eine Leitungsauswahl unter vertikalen Auswählleitungen 103 durch eine Vertikal-Scanschaltung 102 ausgeführt wird, und er ist ferner auch so aufgebaut, dass mit jeder vertikalen Signalleitung 104 ein Spaltenverstärker 105 verbunden ist, ein Pixelsignal jeder Pixeleinheit 101 auf Leitungsbasis im Spaltenverstärker 105 akkumuliert wird, und eine Spaltenauswahl durch eine Horizontal-Scanschaltung ausgeführt wird, um das so akkumulierte Pixelsignal über eine horizontale Scansignalleitung 107 und einen Leseverstärker 108 auszugeben.
  • Beim so aufgebauten herkömmlichen Festkörper-Bildaufnehmer ist sich jedoch die Vth(Schwellenwert)-Streuung jedes Pixels eines ein jedes Einheitspixel 101 aufbauenden MOS-Transistors direkt vor dem direkt mit dem Ausgangssignal des Bildaufnehmers überlagert. Da die Vth-Streuung für jedes Pixel einen festen Wert aufweist, erscheint auf dem Schirm ein festes Rauschsignalmuster (FPN; fixed pattern noise).
  • Um das feste Rauschsignalmuster zu unterdrücken, war es bisher erforderlich, eine Rauschbeseitigungsschaltung unter Verwendung eines Rahmenspeichers außerhalb des Bauteils anzubringen, um vorab entweder das Ausgangssignal (Rauschkomponente) im dunklen Zustand oder das Ausgangssignal (Bildkomponente) im hellen Zustand pro Pixel im Rahmenspeicher abzuspeichern, wobei zwi schen dem so gespeicherten Signal und dem anderen Pixelsignal eine Subtraktion ausgeführt wurde, um die Rauschkomponente auf Grund der Vth-Streuung zu beseitigen. Demgemäß muss ein Kamerasystem in demjenigen Umfang größer konzipiert werden, der der externen Montagegröße der Rauschbeseitigungsschaltung unter Verwendung des Rahmenspeichers entspricht.
  • Aus FR-A-2 736 782 ist ein Festkörper-Bildaufnehmer mit einem Pixelabschnitt mit zweidimensional in einer Matrixform angeordneten Einheitspixeln bekannt, von denen jedes über ein fotoelektrisches Wandlerelement zum fotoelektrischen Wandeln einfallenden Lichts verfügt, um eine Signalladung zu erhalten.
  • Aus US-A-4 041 519 ist ein integrierter Bildsensorschaltkreis mit Matrixarray bekannt, der über eine Horizontal- und Vertikal-Scaneinrichtung mit Sensorzellen innerhalb Spalten des Arrays verfügt, die einem analogen Ladungsleseverstärker zugeordnet ist.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten Festkörper-Bildaufnehmer zu schaffen, wie er in den Ansprüchen 1-3 angegeben ist.
  • Ferner ist ein Ansteuerungsverfahren gemäß der Erfindung geschaffen, wie es im Anspruch 13 angegeben ist.
  • Jedes Einheitspixel des so aufgebauten Festkörper-Bildaufnehmers verfügt über einen Auswählschalter und einen Ausleseschalter, so dass das Pixelsignal für jedes Pixel ausgelesen werden kann. Daher wird die vertikale Signalleitung als erste zurückgesetzt, und dann wird jedes Pixelsignal auf die vertikale Signalleitung ausgelesen, wodurch der Rücksetzpegel und der Signalpegel in dieser Reihenfolge pixelweise erhalten werden. Ferner kann durch Berechnen der Differenz zwischen dem Rücksetzpegel und dem Signalpegel die Rauschkomponente auf Grund der Streuung und der Pixeleigenschaften aufgehoben werden. Außerdem werden der Rücksetzpegel und der Signalpegel über denselben Pfad ausgegeben, so dass im Prinzip keinerlei bandförmige Rauschkomponente mit Korrelation in der vertikalen Richtung auftritt.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Schaltbild, das einen herkömmlichen Festkörper-Bildaufnehmer zeigt;
  • 2 ist ein schematisches Diagramm, das eine erste Ausführungsform eines Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der Erfindung zeigt;
  • 3 ist ein Timingdiagramm, das den Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der Erfindung veranschaulicht;
  • 4 ist ein Potenzialdiagramm, das den Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der Erfindung veranschaulicht;
  • 5 ist ein Schaltbild, das ein Beispiel des Aufbaus einer CDS-Schaltung zeigt;
  • 6 ist ein Timingdiagramm, wenn eine Feldausleseoperation ausgeführt wird;
  • 7 ist ein Potenzialdiagramm, das den Betrieb einer Modifizierung des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulicht;
  • 8 ist ein schematisches Diagramm, das eine zweite Ausführungsform des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der Erfindung zeigt;
  • 9 ist ein Timingdiagramm, das den Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der zweiten Ausführungsform veranschaulicht;
  • 10 ist ein Potenzialdiagramm (Teil 1), das den Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der zweiten Ausführungsform veranschaulicht;
  • 11 ist eine Potenzialdiagramm (Teil 2), das den Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der zweiten Ausführungsform veranschaulicht;
  • 12 ist ein Potenzialdiagramm (Teil 1), das eine Modifizierung des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der zweiten Ausführungsform veranschaulicht;
  • 13 ist ein Potenzialdiagramm (Teil 2) der Modifizierung des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der zweiten Ausführungsform; und
  • 14 ist ein Diagramm, das eine Kamera zeigt, bei der der Festkörper-Bildaufnehmer und das zugehörige Ansteuerungsverfahren gemäß der Erfindung angewandt sind.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Nachfolgend werden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben.
  • Die 2 ist ein Diagramm, das den Aufbau einer ersten Ausführungsform eines Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der Erfindung zeigt.
  • In der 2 entspricht eine durch eine gestrichelte Linie umgebene Fläche einem Einheitspixel 11. Das Einheitspixel 11 verfügt über eine Fotodiode (PD) 12, die als fotoelektrisches Wandlerelement zum Wandeln eines einfallenden Lichtsignals in ein elektrisches Signal (Signalladung) dient, einen MOS-Auswähltransistor 13, der als Auswählschalter zum Auswählen eines Pixels dient (d.h., dass das den MOS-Transistor 13 enthaltende Pixel ausgewählt wird, wenn dieser eingeschaltet wird), und einen MOS-Auslesetransistor 19, der als Ausleseschalter dient, um die Signalladung aus der Fotodiode 12 auszulesen (d.h., dass die in der Fotodiode 12 induzierte Signalladung über den MOS-Auslesetransistor 14 ausgelesen wird, wenn dieser eingeschaltet wird). Viele Einheitspixel 11 mit der obigen Struktur sind zweidimensional in Form einer Matrix angeordnet.
  • In jedem Einheitspixel 11 verfügt die Fotodiode 12 über eine Funktion zum Wandeln einfallenden Lichts in eine Signalladung (d.h. zum Ausführen eines fotoelektrischen Wandlungsvorgangs) und zum Ansammeln der so enthaltenen Signalladung, d.h., sie dient sowohl als fotoelektrischer Wandler als auch als Ladungsakkumulator. Der MOS-Auswähltransistor 13 und der MOS-Auslesetransistor 14 sind in Reihe zwischen die Kathodenelektrode der Fotodiode 12 und einer vertikale Signalleitung 15 geschaltet. Die Gateelektrode des MOS-Auswähltransistors 13 ist mit einer vertikalen Auswählleitung 16 verbunden, und die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors 14 ist mit einer Ausleseimpulsleitung 17 verbunden.
  • Ein als Verstärkungseinrichtung dienender Spaltenverstärker 19 zum Wandeln der auf die vertikale Signalleitung 15 ausgelesenen Signalladung in ein Spannungssignal, und ein Horizontal-MOS-Auswähltransistor 20 zum selektiven Ausgeben der Ausgangsspannung des Spaltenverstärkers 19 auf eine horizontale Signalleitung 18 sind in Reihe zwischen dem Endabschnitt der vertikalen Signalleitung 15 und der horizontalen Signalleitung 18 miteinander verbunden. Der Spaltenverstärker 19 kann so konzipiert sein, dass er eine Signalladung in einen Signalstrom wandelt. Ein Kondensator 21 und ein MOS-Rücksetztransistor 22, die als Rücksetzeinrichtung zum Rücksetzen der vertikalen Signalleitung 15 dienen, sind parallel mit dem Spaltenverstärker 19 verbunden.
  • Ferner sind eine Vertikal-Scanschaltung 23 zur Zeilenauswahl und eine Horizontal-Scanschaltung 29 zur Spaltenauswahl vorhanden. Jede dieser Scanschaltungen 23, 24 verfügt beispielsweise über ein Schieberegister. Ein von der Vertikal-Scanschaltung 23 ausgegebener Vertikalscanimpuls ΦVm wird an die vertikale Auswählleitung 16 gelegt, ein von der Horizontal-Scanschaltung 24 ausgegebener Ausleseimpuls ΦCn wird an die Ausleseimpulsleitung 17 gelegt, ein Horizontalscanimpuls ΦHn wird an die Gateelektrode des Horizontal-MOS-Auswähltransistor 20 gelegt, und ein Rücksetzimpuls ΦRn wird an die Gateelektrode des MOS-Rücksetztransistors 22 gelegt.
  • Beispielsweise ist eine Korrelationsdoppelabtastschaltung (nachfolgend als "CDS-Schaltung" bezeichnet) 26 als Differenzschaltung über einen Horizontalausgangsverstärker 25 an der Ausgangsanschlussseite der horizontalen Signalleitung 18 vorhanden. Die CDS-Schaltung 26 ist vorhanden, um die Differenz zwischen dem Rücksetzpegel und dem Signalpegel, wie sie sukzessive über die horizontale Signalleitung 18 von jedem der Einheitspixel 11 geliefert werden, vorhanden, und sie zeigt den Vorteil, dass ihre Schaltungsaufbau als Differenzschaltung einfach ist. Die spezielle Schaltungskonstruktion der CDS-Schaltung 26 wird später detailliert beschrieben.
  • Als Nächstes wird der Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf ein Potenzialdiagramm in der 9 unter Verwendung eines Timingdiagramms in der 3 beschrieben. Wie es aus der 4 erkennbar ist, ist die Fotodiode 12 mit einer HAD(Löcherakkumulierdiode)-Sensorstruktur konzipiert, bei der eine Löcherak kumulierstruktur einer p+-Schicht zur Oberflächenseite einer np-Diode hinzugefügt ist. Ferner verfügt jede Gateelektrode 13a, 14a des MOS-Auswähltransistor 13 und des MOS-Auslesetransistors 14 über einen Doppelgatestruktur mit einer einschichtigen Gateelektrode. Die Verwendung der Doppelgatestruktur sorgt für den Vorteil, dass die Fläche verkleinert werden kann.
  • Als Erstes wird in einer Zeitperiode a, in der der Vertikalscanimpuls ΦVm der Leitung m den Pegel L einnimmt, die Signalladung in der Fotodiode 12 in jedem Pixel 11 der Leitung m akkumuliert, während die Signalladung aus jedem Pixel einer anderen Leitung ausgelesen wird.
  • Als Nächstes wird, wenn der Vertikalscanimpuls ΦVm auf den Pegel H umgeschaltet wird, der MOS-Auswähltransistor 13 des Einheitspixels 11 der Leitung m eingeschaltet, und die in der Fotodiode 12 akkumulierte Signalladung fließt in ihn. In diesem Zustand wird, wenn der Rücksetzimpuls ΦRn auf den Pegel h gebracht wird, der MOS-Rücksetztransistor 12 eingeschaltet, und die vertikale Signalleitung 15 der Spalte n wird auf das Bezugspotenzial Vb des Spaltenverstärkers 19 zurückgesetzt. Der Rücksetzimpuls ΦRn wird auf den Pegel L umgeschaltet, und dann wird der Horizontalscanimpuls ΦHn auf den Pegel H gebracht, wodurch der Horizontal-MOS-Auswahltransistor 20 eingeschaltet wird und als Erstes die Rauschkomponente auf die horizontale Signalleitung 18 ausgegeben wird (Periode b).
  • Anschließend, wenn der Ausleseimpuls ΦCn der Spalte n auf den Pegel H umgeschaltet wird, wird der MOS-Auslesetransistor 14 des Einheitspixels 11 der Spalte n eingeschaltet, und die in der Fotodiode 12 akkumulierte Signalladung wird über den MOS-Auswähltransistor 13 und den MOS-Auslesetransistor 14 auf die vertikale Signalleitung 15 der Spalte n ausgelesen (Periode c).
  • Anschließend wird, durch die Rückführung vom mit der vertikalen Signalleitung 15 verbundenen Spaltenverstärker 19, die vertikale Signalleitung 15 auf das Bezugspotenzial Vb des Spaltenverstärkers 19 gebracht, und die dem Signal entsprechende Ladung wird auf den Kondensator 21 ausgelesen (Periode d). In einer Periode e bis zum Umschalten des Horizontalscanimpulses ΦHn auf den Pegel L, was durch Umschalten des Ausleseimpulses ΦCn auf den Pegel L erfolgt, wird die Signalkomponente an die horizontale Signalleitung 18 ausgegeben. Gleichzeitig wird in der Fotodiode 12 die nächste Ladungsakkumulierung gestartet.
  • Durch eine Reihe von Operationen, wie sie oben beschrieben sind, werden sukzessive Ausgangssignale der Rauschkomponente (Rauschpegel) und der Signalkomponente (Signalpegel) über denselben Pfad (den Spaltenverstärker 19, den Horizontal-MOS-Auswähltransistor 29 usw.) auf die horizontale Signalleitung 18 übertragen. Es erfolgt eine weitere Übertragung über den Horizontalausgangsverstärker 25 an die CDS-Schaltung 26, und durch die korrelierte Doppelabtastung wird eine Rauschaufhebung ausgeführt.
  • Die 6 zeigt eine spezielle Schaltungskonstruktion der CDS-Schaltung 26. Die CDS-Schaltung 26 verfügt über einen Klemmkondensator 33, der an einem zugehörigen Ende mit einem Eingangsanschluss 31 verbunden ist, einen MOS-Klemmtransistor 34, dessen eine Hauptelektrode mit dem anderen Ende des Klemmkondensators 33 verbunden ist, einen Abtast/Halte-MOS-Transistor 35, dessen eine Hauptelektrode mit dem anderen Ende des Klemmkondensators 33 verbunden ist, einen Abtast/Halte-Kondensator 36, der zwischen die andere Hauptelektrode des Abtast/Halte-MOS-Transistors 35 und Masse geschaltet ist, und einen Pufferverstärker 37, der zwischen die andere Hauptelektrode des Abtast/Halte-MOS-Transistors 35 und einen Ausgangsanschluss 38 geschaltet ist.
  • In dieser CDS-Schaltung 26 wird eine Klemmspannung Vc1 an die andere Hauptelektrode des MOS-Klemmtransistors 34 gelegt, und dessen Gateelektrode wird ein Klemmimpuls ΦCl zugeführt. Ferner wird der Gateelektrode des Abtast/Halte-MOS-Transistors 35 ein Abtast/Halte-Impuls ΦSh zugeführt.
  • Die so aufgebaute CDS-Schaltung wird als Differenzschaltung verwendet, und eine korrelierte Doppelabtastung erfolgt unter Verwendung der sukzessive zugeführten Rauschkomponente und Signalkomponente, wodurch die in der Signalkomponente enthaltende Rauschkomponente aufgehoben werden kann. Insbesondere werden das Rücksetzsignal und das Signal in dieser Reihenfolge über denselben Pfad an die horizontale Signalleitung 18 ausgegeben, und es werden sukzessive Ausgangssignale der Rauschkomponente und der Signalkomponente erhalten. Daher kann nicht nur die Vth-Streuung des MOS-Transistors des Einheitspixels 11 sondern auch das Rücksetzrauschen (sogenannte kTC-Rauschen), das zu einem streifenförmigen Rauschen mit festem Muster führt, unterdrückt werden.
  • Aus dem Timingdiagramm der 3 ist es ersichtlich, dass als Modifizierung dieser Ausführungsform der Ausleseimpuls ΦCn der Spalte n und der Rücksetzim puls ΦRn + 1 der Spalte n + 1 gemeinsam verwendet werden können. Ferner kann derselbe Betrieb, wie er oben beschrieben ist, auch entsprechend einem Timing erzielt werden, bei dem der Horizontalscanimpuls ΦHn der Spalte n und der Rücksetzimpuls ΦRn + 1 der Spalte n + 1 gemeinsam verwendet werden.
  • Betreffend die Schaltungsfunktion kann dieselbe Operation ausgeführt werden, wenn die Anordnung des MOS-Auswähltransistors 13 und des MOS-Auslesetransistors 14 invertiert ist. Wenn jedoch der MOS-Auslesetransistor 14, der wiederholt mit jeder 1H (Horizontalperiode) ein-/ausschaltet, auf der Seite der die Ladungsakkumulierung ausführenden Fotodiode 12 vorhanden ist, führt dies zum Auftreten eines Dunkelstroms. Daher ist es bevorzugter, dass der MOS-Auswähltransistor 13 auf der Seite der Fotodiode 12 vorhanden ist, wie es in der 2 dargestellt ist, da dann das Auftreten eines Dunkelstroms unterdrückt werden kann.
  • Ferner werden, wie es im Timingdiagramm der 6 dargestellt ist, die Signalladungen zweier Pixel in der vertikalen Richtung auf der vertikalen Signalleitung 15 beim Signalladungs-Lesevorgang durch gleichzeitiges Ansteuern jeweils zweier benachbarter vertikaler Auswählleitungen zu einander addiert, und so kann ein Halbbild-Lesevorgang, der das Zeilensprungverfahren unterstützt, implementiert werden. Genauer gesagt, werden die Vertikalscanimpulse ΦGv in den ungeradzahligen Halbbildern gleichzeitig in der Kombination ΦVm – 2 und ΦVm – 1, ΦVm und ΦVm + 1, Φvm + 2 und ΦVm + 3,... und im geradzahligen Halbbild in der Kombination ΦVm – 1 und ΦVm, ΦVm + 1 und ΦVm + 2,... erzeugt.
  • Bei der obigen Ausführungsform verfügt die jeweilige Gateelektrode 13a, 14a des MOS-Auswähltransistors 13 bzw. des MOS-Auslesetransistors 14 über eine einschichtige Gatestruktur, und so ist die Ausführungsform hinsichtlich des Prozesses einfach und zeigt eine kleinere Anzahl von Schritten, so dass ein Vorteil dahingehend besteht, dass der Preis niedrig ist.
  • Umgekehrt ist, wie es aus der 4 erkennbar ist, zwischen den Gateelektroden 13a, 14a ein n+-Diffusionsbereich vorhanden, so dass die Gefahr besteht, dass beim Übergangszeitpunkt von der Periode d zur Periode e die Rauschkomponente aufgrund der Streuung des Felddurchgriffs, wie er an der Gateelektrode 14a des MOS-Auslesetransistors 14 auftritt, verbleibt. Ferner besteht auch die Gefahr, dass Überlaufladungen, die Pixeln einer nicht ausgewählten Lei tung auftreten, zwischen den MOS-Auswähltransistor 13 und den MOS-Auslesetransistor 14 eindringen, so dass eine verschmierung auftritt.
  • Daher ist beim Festkörper-Bildaufnehmer gemäß der Modifizierung der ersten Ausführungsform, wie im Potenzialdiagramm der 7 dargestellt, jede Gateelektrode 13a, 14a des MOS-Auswähltransistors 13 und des MOS-Auslesetransistors 14 als Doppelgatestruktur mit einer zweischichtigen Gateelektrode konzipiert, und benachbarte Abschnitte überlappen miteinander. In derselben Figur repräsentiert die Periode a bis zur Periode e den Potenzialzustand von der Periode a bis zur Periode e im Timingdiagramm der 3, und die Grundoperation ist dieselbe wie bei der 9.
  • Wie oben beschrieben, überlappen die benachbarten Abschnitte der Gateelektroden 13a, 19a des MOS-Auswähltransistors 13 und des MOS-Auslesetransistors 14 miteinander, wodurch der in der 4 dargestellte n+-Diffusionsbereich nicht zwischen ihnen auftritt, so dass die Rauschkomponente aufgrund der Streuung des in der Gateelektrode 14a des MOS-Auslesetransistors 14 auftretenden Felddurchgriffs beim Übergangszeitpunkt von der Periode d zur Periode e ebenfalls vollständig übertragen werden kann.
  • Demgemäß tritt keinerlei Rauschen aufgrund der Gateelektrode 14a des MOS-Auslesetransistors 14 auf. Ferner wird die Überlaufsladung aus der Fotodiode 12 direkt an den mit der vertikalen Signalleitung 15 verbundenen n+-Diffusionsbereich geliefert, so dass die Verschmierung auf alleine diejenigen Ladungen herabgedrückt werden kann, wie sie innerhalb einer Pixelauslesezeit auftreten, was durch Zurücksetzen der vertikalen Signalleitung 15 unmittelbar vor dem Auslesen der Signalladung (Pixelsignal) erfolgt.
  • Die 8 ist ein schematisches Diagramm, das eine zweite Ausführungsform des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der Erfindung zeigt. In der 8 repräsentiert eine durch eine gestrichelte Linie umgebene Fläche ein Einheitspixel 51. Wie bei der ersten Ausführungsform verfügt das Einheitspixel 51 über eine als fotoelektrisches Wandlerelement dienende Fotodiode (PD) 52, einen als Auswählschalter zum Auswählen eines Pixels dienenden MOS-Auswähltransistor 53 sowie einen als Ausleseschalter dienenden MOS-Auslesetransistor 54 zum Auslesen einer Signalladung aus der Fotodiode 52, wobei sie zweidimensional in Form einer Matrix angeordnet sind.
  • Im Einheitspixel 51 ist der MOS-Auslesetransistor 54 zwischen die Kathodenelektrode der Fotodiode 52 und der vertikale Signalleitung 55 geschaltet. Ferner ist der MOS-Auswähltransistor 53 zwischen die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors 54 und die Ausleseimpulsleitung 57 geschaltet. Beispielsweise wird als MOS-Auswähltransistor 53 ein solcher vom Verarmungstyp verwendet. Die Gateelektrode des MOS-Auswähltransistors 53 ist mit der vertikalen Signalleitung 56 verbunden.
  • Ein Spaltenverstärker 59 zum Wandeln der aus der vertikalen Signalleitung 55 ausgelesenen Signalladung in ein Spannungssignal sowie ein Horizontal-MOS-Auswähltransistor 60 zum selektiven Ausgeben der Ausgangsspannung des Spaltenverstärkers 59 an die horizontale Signalleitung 58 sind in Reihe miteinander zwischen die vertikale Signalleitung 55 und die horizontale Signalleitung 58 geschaltet. Ein Kondensator 61 und ein MOS-Rücksetztransistor 62 zum Rücksetzen der vertikalen Signalleitung 55 sind parallel mit dem Spaltenverstärker 59 verbunden.
  • Ferner sind eine Vertikal-Scanschaltung 63 zur Zeilenauswahl und eine Horizontal-Scanschaltung 64 zur Spaltenauswahl vorhanden. Jede dieser Scanschaltungen 63 und 64 verfügt beispielsweise über ein Schieberegister. Der von der Vertikal-Scanschaltung 63 ausgegebene Vertikalscanimpuls ΦGm wird an die vertikale Auswählleitung 56 geliefert, und der von der Horizontal-Scanschaltung 64 ausgegebene Ausleseimpuls ΦCn wird an die Ausleseimpulsleitung 57 gegeben, ein Horizontalscanimpuls ΦHn wird an die Gateelektrode des Horizontal-MOS-Auswähltransistors 60 gegeben, und ein Rücksetzimpuls ΦRn wird an die Gateelektrode des MOS-Rücksetztranstors 62 gegeben. Eine CDS-Schaltung 66 mit dem in der 5 dargestellten Schaltungsaufbau ist als Differenzschaltung über einen Horizontalausgangsverstärker 65 hinweg vorhanden.
  • Als Nächstes wird der Betrieb des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der zweiten Ausführungsform mit diesem Aufbau unter Bezugnahme auf die Potenzialdiagramme der 10 und 11 unter Verwendung des Timingdiagramms der 9 beschrieben.
  • Wie es aus den 10 und 11 ersichtlich ist, verfügt die Fotodiode 52 über einen HAD-Sensoraufbau, bei dem eine aus einer p+-Schicht bestehende Löcherackumulierstruktur zur Oberflächenseite einer np-Diode hinzugefügt ist.
  • Als Erstes wird während der Periode a, in der sich der Vertikalscanimpuls ΦVm der Zeile m auf dem Pegel L befindet, die Signalladung in der Fotodiode 52 jedes der Pixel 51 der Zeile m akkumuliert, während die Signalladung aus den Pixeln der anderen Zeilen ausgelesen wird.
  • Anschließend wird, wenn der Vertikalscanimpuls ΦVm auf den Pegel H umgeschaltet wird, der MOS-Auswähltransistor 53 des Einheitspixels 51 der Zeile m eingeschaltet. Wenn der Rücksetzimpuls ΦRn in diesem Zustand auf den Pegel N gebracht wird, wird der MOS-Rücksetztransistor 62 eingeschaltet, und die vertikale Signalleitung 55 der Spalte n wird auf das Bezugspotenzial Vb des Spaltenverstärkers 69 rückgesetzt. Danach, wenn der Rücksetzimpuls ΦRn auf den Pegel L umgeschaltet wird und gleichzeitig der Horizontalscanimpuls ΦHn auf den Pegel H gebracht wird, wird der Horizontal-MOS-Auswähltransistor 60 eingeschaltet, und die Rauschkomponente wird als Erstes an die horizontale Signalleitung 58 ausgegeben (Periode b).
  • Anschließend, wenn der Ausleseimpuls ΦCn der Spalte n auf den Pegel H umgeschaltet ist, wird der Ausleseimpuls ΦCn über den MOS-Auswähltransistor 53, der sich im EIN-Zustand befand, an die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors 54 gegeben, wodurch die in der Fotodiode 52 akkumulierte Signalladung über den MOS-Auslesetransistor 54 auf die vertikale Signalleitung 55 der Spalte n ausgelesen wird (Periode c).
  • Anschließend wird, durch die Rückführung vom mit der vertikalen Signalleitung 55 verbundenen Spaltenverstärker 59, diese vertikale Signalleitung 55 auf das Bezugspotenzial Vb des Spaltenverstärkers 59 gebracht, und die dem Signal entsprechende Ladung wird auf den Kondensator 61 ausgelesen (Periode d). Danach, wenn der Ausleseimpuls ΦCn auf den Pegel L umgeschaltet ist, wird die Signalkomponente in der Periode e an die horizontale Signalleitung 58 ausgegeben, bis der Horizontalscanimpuls ΦHn auf den Pegel L umgeschaltet wird. Gleichzeitig wird die nächste Ladungsakkumulierung in der Fotodiode 62 gestartet.
  • Über eine Reihe von Vorgängen, wie sie oben beschrieben sind, wird, wie im Fall der ersten Ausführungsform, eine sukzessive Ausgabe der Rauschkomponente (Rauschsignalpegel) und der Signalkomponente (Signalpegel) auf der horizontalen Signalleitung 58 erhalten, und es erfolgt eine weitere Übertragung über den Horizontalausgangsverstärker 65 an die CDS-Schaltung 66, in der eine Rauschaufhebung durch korrelierte Doppelabtastung ausgeführt wird.
  • Insbesondere wird bei dieser Ausführungsform der Ausleseimpuls ΦCn über den Source/Drainanschluss des MOS-Auswähltransistors an die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors geliefert, so dass das Auftreten eines kTC-Rauschens des MOS-Auswähltransistors 53 und des MOS-Auslesetransistors 54 unterdrückt werden kann. In diesem Fall kann jede der Gateelektroden des MOS-Auswähltransistors 53 und des MOS-Auslesetransistors 54 als einschichtige Gateelektrode aufgebaut sein. Daher werden Vorteile dahingehend erzielt, dass der Prozess einfach ist, die Anzahl der Schritte klein ist und der Preis niedrig ist.
  • Ferner wird als MOS-Auswähltransistor 53 ein MOS-Transistor vom Verarmungstyp verwendet, und so können die folgenden Vorteile erzielt werden.
    • (1) Pro 1H werden mit dem Timing der Periode a in der 10 0V an die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors 54 angelegt. Andererseits wird, wenn ein normaler MOS-Transistor vom Anreicherungstyp verwendet wird, der MOS-Auswähltransistor 53 in der Periode a in der 12 ausgeschaltet, und so werden keine 0V an die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors 54 angelegt. Demgemäß muss das Potenzial des MOS-Auslesetransistors 54 für eine Halbbildperiode aufrechterhalten werden. Wenn jedoch ein Inverservorspannungsleckstrom groß ist oder ein Lichtleck groß ist, kann das Potenzial des Gates nicht aufrechterhalten werden, sondern es variiert während der Periode eines Halbbilds.
    • (2) Durch Anpassen des Potenzials des MOS-Auslesetransistors 54 wird mit dem Timing der Periode f der 11 unter Verwendung eines Verarmungstyps für den MOS-Auswähltransistor 53 ein positives Potenzial an die Gateelektrode des MOS-Auslesetransistors 54 gelegt, obwohl er vom Anreicherungstyp ist, und es kann eine Überlaufoperation ausgeführt werden. Im Ergebnis kann eine Aufhellverschmierung unterdrückt werden.
  • Bei dieser Ausführungsform ist als MOS-Auswähltransistor 53 ein MOS-Transistor vom Verarmungstyp verwendet, jedoch besteht keine Einschränkung auf den Verarmungstyp. Selbst wenn der Anreicherungstyp verwendet wird, kann der der oben beschriebenen Ausführungsform innewohnende Effekt erzielt wer den, obwohl nicht der Effekt erzielt werden kann, wie er dem oben beschriebenen Verarmungstyp innewohnt.
  • Die 12 und 13 sind Potenzialdiagramme, wenn als MOS-Auswähltransistor 53 ein MOS-Transistor vom Anreicherungstyp verwendet wird.
  • Beim Festkörper-Bildaufnehmer der zweiten Ausführungsform kann die das Zeilensprungsverfahren unterstützende Halbbild-Ausleseoperation dadurch implementiert werden, dass jeweils zwei benachbarte Vertikalauswählsignale gleichzeitig betrieben werden, wie es im Timingdiagramm der 6 dargestellt ist, wie im Fall des Festkörper-Bildaufnehmers gemäß der ersten Ausführungsform.
  • Die 14 ist ein Diagramm, das eine Kamera zeigt, bei der der Festkörper-Bildaufnehmer und das Abtast/Halte-MOS-Transistor für diesen, wie sie oben beschrieben sind, angewandt sind. In der 14 wird einfallendes Licht von einem Gegenstand durch ein optisches System mit einer Linse 70 auf die Bildaufnahmefläche des Festkörper-Bildaufnehmers 71 fokussiert. Einer der oben beschriebenen Festkörper-Bildaufnehmer kann als Festkörper-Bildaufnehmer 71 verwendet werden. Der Festkörper-Bildaufnehmer 71 wird entsprechend dem oben beschriebenen Abtast/Halte-MOS-Transistor durch ein Ansteuerungssystem 62 angesteuert, das einen Timinggenerator enthält. Das Ausgangssignal des Festkörper-Bildaufnehmers wird durch einen Signalprozessor 73 verschiedenen Signalverarbeitungen unterzogen, um Videosignale zu erhalten.
  • Wie oben beschrieben, kann, gemäß der Erfindung, bei einem Festkörper-Bildaufnehmer, bei dem der Spaltenverstärker mit jeder vertikalen Signalleitung verbunden ist, das Signal jedes Pixels auf Pixelbasis ausgelesen werden, wobei als Erstes die vertikale Signalleitung rückgesetzt wird und dann ein Pixelsignal an diese vom fotoelektrischen Wandlerelement ausgelesen wird, um dadurch den Rücksetzpegel und den Signalpegel sukzessive an denselben Pfad auszugeben, und danach wird die Differenz zwischen dem Rücksetzpegel und dem Signalpegel berechnet. Daher können ein Rauschen mit festem Muster aufgrund einer Charakteristikstreuung aller Einheitspixel und ein streifenförmiges Rauschen mit festem Muster mit Korrelation in der vertikalen Richtung bei diesem Bauteil unterdrückt werden, so dass dies zu einer Verringerung der Größe des Kamerasystems bei der oben beschriebenen Kamera unter Verwendung des Festkörper-Bildaufnehmers als Bildaufnehmer beitragen kann.

Claims (15)

  1. Festkörper-Bildaufnehmer mit: einem Pixelabschnitt mit Einheitspixeln (11; 51), die zweidimensional mit Matrixform angeordnet sind, wobei jedes derselben über ein fotoelektrisches Wandlerelement zum fotoelektrischen Wandeln einfallenden Lichts, um eine Signalladung zu erhalten, und zum Speichern der so erhaltenen Signalladung, verfügt, einem Auswählschalter (13; 53) zum Auswählen eines Pixels, und einem Ausleseschalter (14; 54) zum Auslesen der Signalladung aus dem fotoelektrischen Wandlerelement auf eine vertikale Signalleitung (15; 55); mehreren Verstärkungseinrichtungen (19; 59), die mit den jeweiligen vertikalen Signalleitungen (15; 55) verbunden sind und die auf diese ausgelesene Signalladung in ein elektrisches Signal wandeln; und mehreren Rücksetzeinrichtungen (21, 22; 61, 62) zum Rücksetzen jeder der vertikalen Signalleitungen; dadurch gekennzeichnet, dass das fotoelektrische Wandlerelement über eine Fotodiode (12; 52) mit HAD-Sensorstruktur verfügt.
  2. Festkörper-Bildaufnehmer mit: einem Pixelabschnitt mit Einheitspixeln (11; 51), die zweidimensional mit Matrixform angeordnet sind, wobei jedes derselben über ein fotoelektrisches Wandlerelement zum fotoelektrischen Wandeln einfallenden Lichts, um eine Signalladung zu erhalten, und zum Speichern der so erhaltenen Signalladung, verfügt, einem Auswählschalter (13; 53) zum Auswählen eines Pixels, und einem Ausleseschalter (14; 54) zum Auslesen der Signalladung aus dem fotoelektrischen Wandlerelement auf eine vertikale Signalleitung (15; 55); mehreren Verstärkungseinrichtungen (19; 59), die mit den jeweiligen vertikalen Signalleitungen (15; 55) verbunden sind und die auf diese ausgelesene Signalladung in ein elektrisches Signal wandeln; und mehreren Rücksetzeinrichtungen (21, 22; 61, 62) zum Rücksetzen jeder der vertikalen Signalleitungen; dadurch gekennzeichnet, dass jede der Rücksetzeinrichtungen (21, 22; 61, 62) die vertikalen Signalleitungen (15; 55) synchron mit einem Auslesetiming vor einem Pixel- oder Horizontalscantiming rücksetzt.
  3. Festkörper-Bildaufnehmer mit: einem Pixelabschnitt mit Einheitspixeln (11; 51), die zweidimensional mit Matrixform angeordnet sind, wobei jedes derselben über ein fotoelektrisches Wandlerelement zum fotoelektrischen Wandeln einfallenden Lichts, um eine Signalladung zu erhalten, und zum Speichern der so erhaltenen Signalladung, verfügt, einem Auswählschalter (13; 53) zum Auswählen eines Pixels, und einem Ausleseschalter (14; 54) zum Auslesen der Signalladung aus dem fotoelektrischen Wandlerelement auf eine vertikale Signalleitung (15; 55); mehreren Verstärkungseinrichtungen (19; 59), die mit den jeweiligen vertikalen Signalleitungen (15; 55) verbunden sind und die auf diese ausgelesene Signalladung in ein elektrisches Signal wandeln; und mehreren Rücksetzeinrichtungen (21, 22; 61, 62) zum Rücksetzen jeder der vertikalen Signalleitungen; dadurch gekennzeichnet, dass jede der Rücksetzeinrichtungen (21, 22) die vertikale Signalleitung (15; 55) unmittelbar vor dem Auslesen der Signalladung aus dem fotoelektrischen Wandlerelement rücksetzt.
  4. Festkörper-Bildaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Auswählschalter (13) und der Ausleseschalter (14) in Reihe zueinander zwischen das fotoelektrische Wandlerelement (12) und die vertikale Signalleitung (15) geschaltet sind.
  5. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 4, bei dem der Auswählschalter (13) auf der Seite des fotoelektrischen Wandlerelements angeordnet ist.
  6. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 5, bei dem sowohl der Auswählschalter (13) als auch der Ausleseschalter (14) über einen MOS-Transistor mit Doppelgatestruktur verfügen.
  7. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 7, bei dem jede Gateelektrode des Auswählschalters (13) und des Ausleseschalters (14) über eine zweischichtige Gateelektrode verfügt und benachbarte Abschnitte miteinander überlappen.
  8. Festkörper-Bildaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Ausleseschalter (54) zwischen das fotoelektrische Wandlerelement (52) und die vertikale Signalleitung (55) geschaltet ist und der Auswählschalter (53) zwischen eine Steuerelektrode des Ausleseschalters (54) und eine Ausleseimpulsleitung (57) geschaltet ist.
  9. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 8, bei dem der Auswählschalter (53) über einen Verarmungs-MOS-Transistor verfügt.
  10. Festkörper-Bildaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem ein Horizontalauswählschalter (20; 60) zum gemeinsamen Ausgeben eines Rücksetzpegels auf die vertikale Signalleitung (15; 55) zum Rücksetzzeitpunkt der Rücksetzeinrichtung (21, 22; 61, 62) und eines auf die vertikale Signalleitung nach dem Rücksetzen ausgelesenen Signalpegels zwischen der vertikalen Signalleitung (15; 55) und der horizontalen Signalleitung (18; 58) vorhanden ist.
  11. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 11, ferner mit einer Differenzschaltung (26; 66) zum Berechnen der Differenz zwischen dem sukzessive durch den Horizontalauswählschalter (20; 60) ausgegebenen Rücksetzpegel und dem Signalpegel.
  12. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 11, bei dem die Differenzschaltung über eine Korrelations-Doppelabtastschaltung verfügt.
  13. Verfahren zum Ansteuern eines Festkörper-Bildaufnehmers, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Festkörper-Bildaufnehmer mit einem Pixelabschnitt mit Einheitspixeln, die zweidimensional mit Matrixform angeordnet sind, wobei jedes derselben über ein fotoelektrisches Wandlerelement zum fotoelektrischen Wandeln einfallenden Lichts, um eine Signalladung zu erhalten, und zum Speichern der so erhaltenen Signalladung, verfügt, einem Auswählschalter zum Auswählen eines Pixels, und einem Ausleseschalter zum Auslesen der Signalladung aus dem fotoelektrischen Wandlerelement auf eine vertikale Signalleitung; mehreren Verstärkungseinrichtungen, die mit den jeweiligen vertikalen Signalleitungen verbunden sind und die auf diese ausgelesene Signalladung in ein elektrisches Signal wandeln; als Erstes die vertikale Signalleitung rückgesetzt wird und dann ein Pixelsignal aus dem fotoelektrischen Wandlerelement auf die vertikale Signalleitung ausgelesen wird, um den Rücksetzpegel und den Signalpegel in dieser Reihenfolge über denselben Weg sukzessive auszugeben und danach die Differenz zwischen dem Rücksetzpegel und dem Signalpegel berechnet wird.
  14. Ansteuerungsverfahren für einen Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 13, bei dem der Reihe nach jeweils zwei benachbarte vertikale Auswählleitungen angesteuert werden und Signalladungen zweier Pixel in der vertikalen Richtung auf der vertikalen Signalleitung gemischt werden, um einen Auslesevorgang mit ein Zeilensprungverfahren unterstützender Rückkopplung auszuführen.
  15. Kamera mit: einem optischen System zum Fokussieren einfallenden Lichts von einem Objekt auf einen Festkörper-Bildaufnehmer; einem Ansteuerungssystem zum Ansteuern des Festkörper-Bildaufnehmers entsprechend dem Ansteuerungsverfahrens des Anspruchs 13 oder des Anspruchs 14; und einem Signalverarbeitungssystem zum Verarbeiten eines Ausgangssignals des Festkörper-Bildaufnehmers, wobei in diesem Festkörper-Bildaufnehmer die Merkmale mindestens eines der Ansprüche 1 bis 12 implementiert sind.
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