DE69823724T2

DE69823724T2 - Plasma Anzeigetafel

Info

Publication number: DE69823724T2
Application number: DE69823724T
Authority: DE
Inventors: Shinichiro Chiyoda-ku Nagano
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1997-03-14
Filing date: 1998-03-12
Publication date: 2005-05-04
Anticipated expiration: 2018-03-13
Also published as: JP3588961B2; KR19980080061A; EP0865068B1; EP1351270A2; EP0865068A3; JPH10255664A; EP0865068A2; US6137226A; DE69823724D1; EP1351270A3

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Plasma-Anzeigetafeln, und insbesondere auf eine Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp.
Beschreibung des Standes der Technik
5 ist eine perspektivische Ansicht, die eine erste herkömmliche Struktur einer Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp zeigt. In 5 bezeichnet das Zeichen 1 ein Frontglassubstrat als ein erstes Glassubstrat. Die Zeichen 2x_n bis 2x_n+2 bezeichnen x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden, die aus einem transparenten leitenden Film gebildet und auf dem Frontglassubstrat 1 vorgesehen sind. Die Zeichen 2y_n bis 2y_n+1 bezeichnen y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden, die aus einem transparenten leitenden Film gebildet und auf dem Frontglassubstrat 1 vorgesehen sind. Bei diesem Stand der Technik sind diese x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden und die entsprechenden der y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden, z. B. die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_n und die y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n , benachbart und parallel zueinander angeordnet, um einen Satz zu bilden.
Die Zeichen 3x_n bis 3x_n+2 bezeichnen x-Buselektroden, die auf die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+2 gelegt sind, um eine Spannung an die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+2 zu liefern. Beispielsweise liefert die x-Buselektrode 3x_n Spannung zu der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_n . Die Zeichen 3y_n bis 3y_n+1 bezeichnen y-Buselektroden, die auf die y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 gelegt sind, um Spannung zu den y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 zu liefern. Beispielsweise liefert die y-Buselektrode 3y_n Spannung zu der y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n . Die x-Buselektroden und die y-Buselektroden bei diesem Stand der Technik, z. B. die x-Buselektrode 3x_n und die x-Buselektrode 3y_n , sind benachbart und parallel zueinander angeordnet, um einen Satz zu bilden.
Das Zeichen 4 bezeichnet eine dielektrische Schicht, die die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+2 , die y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden bis 2y_n+1 , die x-Buselektroden 3x_n bis 3x_n+2 und die y-Buselektroden bis 3y_n+1 bedeckt. Das Zeichen 5 bezeichnet einen aus Magnesiumoxid (nachfolgend als MgO bezeichnet) gebildeten Katodenfilm, der auf die dielektrische Schicht 4 aufgebracht ist und als ein Schutz und als eine Katode wirkt, wenn eine Entladung stattfindet. Das Zeichen 6 bezeichnet ein hinteres Glassubstrat als ein zweites Glassubstrat, das mit dem Frontglassubstrat 1 ein Paar bildet, wobei die dielektrische Schicht 4 und dergleichen dazwischen angeordnet ist.
Das Zeichen 7 bezeichnet Adressenelektroden, die auf dem hinteren Glassubstrat 6 in einer Richtung angeordnet sind, die normal zu der Richtung ist, in der sich die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+2 und die y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 erstrecken. Ein Entladungsraum ist zwischen dem Katodenfilm 5 und den Adressenelektroden 7 vorgesehen. Dieser Entladungsraum ist gefüllt mit einer Gasmischung enthaltend Neon (Ne) und Xenon (Xe). Das Zeichen 8 bezeichnet Begrenzungsrippen (nachfolgend als Teilungsglieder bezeichnet), die zwischen benachbarten Adressenelektroden 7 vorgesehen sind. Die vorstehenden Enden der Teilungsglieder 8 sind in Kontakt mit dem Katodenfilm, um den Entladungsraum in mehrere Zellen zu unterteilen.
Die Zeichen 9R, 9G und 9B bezeichnen roten, grünen bzw. blauen Leuchtstoff, die auf die Oberfläche der Adressenelektroden 7 und die Seitenwand von Teilungsgliedern 8 aufgebracht sind. Das Zeichen 10 bezeichnet Entladungsdeaktivierungsfilme, die den Räumen zwischen den y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden und x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen zugewandt angeordnet sind, z. B. dem Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_n+1 , wobei die dielektrische Schicht 4 und der Katodenfilm 5 dazwischen angeordnet sind. Diese Entladungsdeaktivierungsfilme 10 sind aus einem isolierenden Material gebildet. Die Breite der Entladungsdeaktivierungsfilme 10 überschreitet nicht die Summe der Breiten einer y-Entladungsaufrechter haltungselektrode und einer x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode in benachbarten Sätzen und der Breite des Abstands zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode in den benachbarten Sätzen.
Als nächstes wird die Treiberfolge oder die Arbeitsweise der mit Bezug auf 5 beschriebenen Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp beschrieben.
Schritt A1: Zeilenfolgen-Schreibentladung
Die y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 werden zeilenweise aufeinanderfolgend abgetastet. Ein Bildsignal entsprechend den zu der Plasma-Anzeigetafel auszugebenden Bilddaten wird synchron mit dem zeilenweisen Abtasten zu den Adressenelektroden 7 ausgegeben. Dies bewirkt eine Schreibentladung oder die Wechselstromentladung an den Kreuzungen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 und der Adressenelektroden 7 zwischen 2y_n und 2x_n oder zwischen 2y_n+1 und 2x_n+1 . Dann wird eine Wandladung auf der Oberfläche des Katodenfilms 5 in der Nähe der y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 , die die Schreibentladung durchgeführt haben, akkumuliert. Andererseits wird eine Wandladung mit der entgegengesetzten Polarität auf der Oberfläche des Katodenfilms in der Nähe der x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+1 akkumuliert.
Schritt A2: Entladungsaufrechterhaltung zwischen x und y
Die zeilenweise Schreibentladung wird gefolgt durch eine Entladungsaufrechterhaltung oder die Wechsel stromentladung zum Aufrechterhalten des Entladungszustands zwischen den y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 , die die Schreibentladung durchgeführt haben, und den entsprechenden x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+2 , z. B. zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_n .
Schritt A3: Gesamtflächen-Schreibentladung
Unabhängig von der Anwesenheit/Abwesenheit der auf der Oberfläche des Katodenfilms 5 angesammelten Wandladung wird eine zum Durchführen der Schreibentladung erforderliche Spannung zwischen den gegenüberliegenden x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+2 und den y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 , die auf die gesamte Oberfläche des Frontglassubstrats 1 gelegt sind, angelegt.
Schritt A4: Gesamtflächen-Entladungslöschung
Ein Löschimpuls wird zwischen den gegenüberliegenden x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_n bis 2x_n+1 und den y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n bis 2y_n+1 , die auf die gesamte Oberfläche des Frontglassubstrats 1 gelegt sind, angelegt, um die bei der nächsten Treibersequenz A1 unerwünschte Wandladung zu löschen.
Der Leuchtstoff 9R empfängt ultraviolette Strahlen, die in dem Prozess der Entladung imitiert wurden, um fluoreszierende rote Farbe zu imitieren. In gleicher Weise imitiert der Leuchtstoff 9G grüne Farbe, und der Leuchtstoff 9B imitiert blaue Farbe.
6 ist eine Schnittansicht der in 5 gezeigten Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp. Diese Schnittansicht der Plasma-Anzeigetafel in 6 zeigt nicht das hintere Glassubstrat 6, die Adressenelektroden 7, die Teilungsglieder 8 und die Leuchtstoffe 9R, 9G und 9B. Diese Technik ist beispielsweise in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 9-102280 offenbart.
7 ist eine Schnittansicht, die eine zweite herkömmliche Struktur einer Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp zeigt. In 7 zeigen dieselben Bezugszeichen wie diejenigen bei dem herkömmlichen, in 5 und 6 gezeigten Beispiel dieselben oder entsprechende Teile, die hier nicht wieder beschrieben werden. Bei diesem herkömmlichen Beispiel ist eine x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode, z. B. die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m , zwischen zwei y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden, z. B. zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 angeordnet.
Bei diesem herkömmlichen Beispiel bilden eine x-Buselektrode und zwei y-Buselektroden einen Satz. Diese Technik ist beispielsweise in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 2-226639 offenbart. Die Plasma-Anzeigetafel nach der zweiten Struktur hat nichts, was den Entladungsdeaktivierungsfilmen 10, die in der Plasma-Anzeigetafel nach der ersten Struktur vorgesehen sind, entspricht.
Für das Ziel der Verbesserung der Lichtemissionshelligkeit der Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp nach der ersten Struktur, um eine gut zu se hende Plasma-Anzeigetafel zu erhalten, ist es erforderlich die gegenüber liegenden x-Buselektroden 3x_n bis 3x_n+2 und y-Buselektroden 3y_n bis 3y_n+1 in den jeweiligen Sätzen, beispielsweise die y-Buselektrode 3y_n und die x-Buselektrode 3x_n in großen Abständen oder Spalten anzuordnen. Jedoch ist das Ausbilden großer Spalte auf dem Frontglassubstrat 1 zwischen den gegenüber liegenden x-Buselektroden 3x_n bis 3x_n+2 und y-Buselektroden 3y_n bis 3y_n+1 in ihren jeweiligen Sätzen, z. B. der Spalt zwischen der y-Buselektrode 3y_n und der x-Buselektrode 3x_n , beschränkt aufgrund des begrenzten Raums des Frontglassubstrats 1. Weiterhin tritt hierbei das Problem auf, dass die Spalte zwischen benachbarten der x-Buselektroden 3x_n bis 3x_n+2 und der y-Buselektroden 3y_n bis 3y_n+1 , beispielsweise der Spalt zwischen der y-Buselektrode 3y_n–1 und der x-Buselektrode 3x_n , kleiner werden, was eine fehlerhafte Entladung zwischen benachbarten Buselektroden in verschiedenen Sätzen, z. B. zwischen der y-Buselektrode 3y_n–1 und der x-Buselektrode 3x_n bewirken kann.
Die fehlerhafte Entladung zwischen benachbarten Buselektroden in verschiedenen Sätzen, z. B. zwischen der y-Buselektrode 3y_n–1 und der x-Buselektrode 3x_n , kann verhindert werden, indem die Entladungsdeaktivierungsfilme 10 an Stellen ausgebildet werden, die den Räumen zwischen beispielsweise der y-Buselektrode 3y_n–1 und der x-Buselektrode 3x_n durch die dielektrische Schicht 4 und den Katodenfilm 5 zugewandt sind.
Es kann verstanden werden, dass die Plasma-Anzeigetafel nach der zweiten Struktur einer Verbesserung der Plasma-Anzeigetafel nach der ersten Struktur entspricht, die durchgeführt wurde, um die Gesamtzahl der x-Buselektroden und der y-Buselektroden zu verringern, die auf dem Frontglassubstrat mit einer gegebenen Anzahl von Zellen vorgesehen sind, indem sich zwei y-Buselektroden eine x-Buselektrode so teilen, dass die einander zugewandten x- und y-Buselektroden mit vergrößerten Spalten angeordnet werden können, um die Lichtemissionshelligkeit für eine bequem zu sehende Anzeige zu verbessern.
Jedoch wird bei der Plasma-Anzeigetafel nach der zweiten Struktur, wenn die Entladung beispielsweise zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m beginnt, die davor auf dem Katodenfilm 5 akkumulierte Wandladung in dem Bereich über der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m gleichförmig reduziert. Dann wird der Anstieg der Entladung, die danach zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 , die die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n teilt und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m besonders instabil.
Weiterhin sind bei der Plasma-Anzeigetafel nach der zweiten Struktur, wenn die Abstände zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, z. B. der Abstand zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n , klein sind, beispielsweise die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und die y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–1 geneigt, fehlerhaft eine Entladung durchzuführen, die einbezogen ist in die Entladung zwischen der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n .
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
EP-A-0 762 373 bezieht sich teilweise auf eine Anzeigetafel mit einer Struktur, die ähnlich der vorstehend beschriebenen zweiten herkömmlichen Struktur ist.
JP-A-02220330 offenbart eine Gasentladungstafel mit Entladungselektroden, die einen Teil von benachbarten X-Elektroden gemeinsam sind, ähnlich wie bei der vorbeschriebenen zweiten herkömmlichen Struktur.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Eine Plasma-Anzeigetafel gemäß der vorliegenden Erfindung ist wie in Anspruch 1 dargestellt.
Wenn eine gegebene Anzahl von Zellen in einem gegebenen Raum vorgesehen ist, ist eine verminderte Anzahl von Entladungsaufrechterhaltungselektroden auf dem ersten Glassubstrat vorgesehen, was ermöglicht, dass Buselektroden, die in den gegenüber liegenden gemeinsamen Elektroden enthalten sind, und die Buselektroden, die in unabhängigen Elektroden enthalten sind, in vergrößerten Abständen anzuordnen sind, wodurch die Lichtemissionshelligkeit der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird.
Weiterhin unterstützt, wenn eine der unabhängigen Elektroden in einem Satz von Entladungsaufrechterhaltungselektroden eine Entladung durchführt, die Bildung des isolierenden Teils in einer Position, die der gemeinsamen Elektrode durch die dielektrische Schicht zugewandt ist, die Wandladung auf der Seite der anderen unabhängigen Elektrode, die auf der ande ren Seite der gemeinsamen Elektrode in demselben Satz vorgesehen ist, wodurch ermöglicht wird, dass die unabhängigen Elektroden in demselben Satz von Entladungsaufrechterhaltungselektroden eine stabile Entladung durchführen.
Vorzugsweise weist die Plasma-Anzeigetafel gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung weiterhin zweite isolierende Teile auf, die an Positionen vorgesehen sind, die Positionen zwischen benachbarten der unabhängigen Elektroden in benachbarten der mehreren Entladungsaufrechterhaltungselektrodensätzen zugewandt sind, wobei die dielektrische Schicht dazwischen angeordnet ist.
Dies verhindert eine fehlerhafte Entladung zwischen einer gemeinsamen Elektrode in einem bestimmten Entladungsaufrechterhaltungselektrodensatz und einer unabhängigen Elektrode in einem benachbarten Entladungsaufrechterhaltungselektrodensatz.
Vorzugsweise sind bei der Plasma-Anzeigetafel gemäß der vorliegenden Erfindung die ersten und zweiten isolierenden Teile aus einem derartigen isolierenden Material gebildet, dass die Zündspannung zwischen den unabhängigen Elektroden und den gemeinsamen Elektroden in Anwesenheit der ersten oder zweiten isolierenden Teile höher ist als die Zündspannung zwischen den unabhängigen Elektroden und den gemeinsamen Elektroden in Anwesenheit nur eines auf der dielektrischen Schicht vorgesehenen Katodenfilms.
Dann wird der Entladungsstrom gesteuert, um das Auftreten von fehlerhafter Entladung zu verhindert.
Vorzugsweise sind bei der Plasma-Anzeigetafel gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung die ersten und die zweiten isolierenden Teile gebildet durch Aufbringen des isolierenden Materials auf die dielektrische Schicht oder den Katodenfilm, während das isolierende Material verdampft wird.
Dies verbessert den visuellen Kontrast, der Plasma-Anzeigetafel auf der Grundlage der Tatsache, dass das Oxid mit Mangel an Sauerstoff eine schwärzere Tönung zeigt.
Vorzugsweise ist bei der Plasma-Anzeigetafel nach der vorliegenden Erfindung das isolierende Material Al₂O₃ oder TiO₂.
Da diese Substanzen eine höhere Entladungsspannung als der Katodenfilm erfordern, wird der Entladungsstrom gesteuert.
Vorzugsweise weist die Plasma-Anzeigetafel gemäß der vorliegenden Erfindung weiterhin unabhängige Teile auf, die aus einem Material mit einer Lichtabschirmeigenschaft gebildet und auf dem ersten Glassubstrat zwischen benachbarten der unabhängigen Elektroden in benachbarten der mehreren Entladungsaufrechterhaltungselektrodensätze vorgesehen sind.
Dies verhindert, dass die weiße Basis des Leuchtstoffs durch die Spalte zwischen benachbarten unabhängigen Elektroden in zwei getrennten Entladungsaufrechterhaltungselektrodensätzen gesehen werden, wodurch der visuelle Kontrast der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird.
Vorzugsweise sind bei der Plasma-Anzeigetafel gemäß der vorliegenden Erfindung die unabhängigen Teile aus demselben Material wie die unabhängigen Elektroden gebildet.
Daher können die unabhängigen Teile und die unabhängigen Elektroden leicht gebildet werden durch Verwendung des Musterdesigns von Fotomasken, die in derselben Fotolithografie verwendet werden. Die unabhängigen Teile können somit leicht gebildet werden ohne einen neuen Prozess für die Bildung der unabhängigen Teile hinzuzufügen.
Vorzugsweise ist bei der Plasma-Anzeigetafel gemäß der vorliegenden Erfindung das Material der unabhängigen Teile Chrom.
Da Chrom einen dunklen metallischen Glanz und eine hohe Lichtabschirmeigenschaft hat, verbessert es den visuellen Kontrast der Plasma-Anzeigetafel.
Die vorliegende Erfindung wurde gemacht angesichts der vorbeschriebenen Probleme und des Wunsches, eine Plasma-Anzeigetafel vorzusehen, die das Problem verhindert, dass, wenn die Entladung beispielsweise zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_n beginnt, vorher auf den Film 5 in dem Bereich oberhalb der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m akkumulierte Wandladung gleichförmig reduziert wird, so dass die danach durchgeführte Entladung zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 , die die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m mit der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n teilt, und der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m in einer stabilen Weise ansteigen kann.
Es ist auch wünschenswert, eine Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp vorzusehen, die das Auftreten von fehlerhafter Entladung verhindern kann, die zwischen einer x-Buselektrode einem bestimmten Satz und einer y-Buselektrode in einem Satz benachbart den Satz enthalten die x-Buselektrode bewirkt wird.
Diese und andere Aufgaben, Merkmal, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlicher anhand der folgenden detaillierten Beschreibung der vorliegenden Erfindung, wenn sie in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Schnittansicht, die eine Plasma-Anzeigetafel nach einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine Schnittansicht, die eine Plasma-Anzeigetafel nach einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
3 ist eine Schnittansicht, die eine Plasma-Anzeigetafel nach einem dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
4 ist eine Schnittansicht, die eine Plasma-Anzeigetafel zeigt, die nicht die bei dem dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschriebenen y-Entladungsdeaktivierungsfilme aufweist.
5 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Plasma-Anzeigetafel nach dem Stand der Technik zeigt.
6 ist eine Schnittansicht, die die Plasma- Anzeigetafel nach dem Stand der Technik zeigt.
7 ist eine Schnittansicht, die eine Plasma-Anzeigetafel nach dem Stand der Technik zeigt.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
Erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
Ein erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer Plasma-Anzeigetafel vom Oberflächenentladungstyp gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 1 beschrieben. 1 ist eine Schnittansicht, die die Plasma-Anzeigetafel zeigt. In 1 zeigen dieselben Bezugszeichen wir diejenigen in den Beispielen nach dem Stand der Technik dieselben oder entsprechenden Teile und diese Teile werden hier nicht wieder beschrieben. Das Ausführungsbeispiel wird in Bezug auf die Unterschiede beschrieben. Obgleich dies in 1 nicht gezeigt ist, haben das hintere Glassubstrat 6, die Adressenelektroden 7, die Teilungsglieder 8 und die Leuchtstoffe 9R, 9G, 9B dieselben Strukturen wie diejenigen in 5.
Die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_m–1 bis 2x_m+1 und die y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2y_n–2 bis 2y_n+3 sind bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel in der folgenden Reihenfolge angeordnet: y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–2 , x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m–1 , y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–1 , y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n , x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m , y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 , y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 , x- Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m+1 und y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+3 . Sie erstrecken sich senkrecht zu der Richtung, in der sich die in 5 gezeigten Adressenelektroden 7 erstrecken. Eine x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode, beispielsweise die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m , führt eine Entladung in der n-ten Zeile mit der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n und in der (n + 1)-ten Zeile mit der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 durch.
Da die die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_m–1 bis 2x_m+1 im allgemeinen mit einer gemeinsamen Elektrode verbunden sind, tritt kein Widerspruch in der elektrischen Verbindung auf, wenn die x-Entladungsaufrechterhaltungselektroden 2x_m–1 bis 2x_m+1 in der vorgenannten Reihenfolge angeordnet sind.
Das Zeichen 11 bezeichnet isolierende Teile, die als x-Entladungsdeaktivierungsfilme dienen, welche an Positionen vorgesehen sind, die den gemeinsamen Elektroden oder x-Buselektroden 3x_m–1 bis 3x_m+1 über die dielektrische Schicht 4 und die Katodenschicht 5 zugewandt sind.
Das Zeichen 12 bezeichnet isolierende Teile, die als y-Entladungsdeaktivierungsfilme dienen, welche an Positionen vorgesehen sind, die den Räumen zwischen zwei benachbarten unabhängigen Elektroden oder y-Buselektroden, beispielsweise dem Raum zwischen der y-Buselektrode 3y_n und der y-Buselektrode 3y_n–1 , durch die dielektrische Schicht 4 und die Katodenschicht 5 zugewandt sind. Eine x-Buselektrode und 2 y-Buselektroden auf ihren beiden Seiten bilden einen Satz von Entladungsaufrechterhaltungselektroden.
Die Breite der y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 überschreitet nicht die Summe der Breiten von zwei y-Buselektroden in benachbarten Sätzen, beispielsweise der Breiten der y-Buselektrode 3y_n und der y-Buselektrode 3y_n–1 , und der Breite des Raums zwischen den beiden y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in den benachbarten Sätzen.
Wenn der Abstand zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, beispielsweise der Abstand zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n ausreichen groß ist, ist es nicht besonders erforderlich, die bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel gezeigten y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 vorzusehen.
Bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Katodenfilm 5 auf die dielektrische Schicht 4 gelegt, und die x- und y-Entladungsdeaktivierungsfilme 11 und 12 sind musterartig darüber angeordnet. Jedoch können die x- und y-Entladungsdeaktivierungsfilme 11 und 12 eben auf die dielektrische Schicht 4 gelegt sein und dann kann der Katodenfilm 5 musterartig darauf angeordnet sein in der negativen Gestalt der in 1 gezeigten x- und y-Entladungsdeaktivierungsfilme 11 und 12.
Wie vorstehend diskutiert ist, ist bei der Plasma-Anzeigetafel nach dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel eine x-Buselektrode 3x_m–1 (oder 3x_m ; 3x_m+1 ) zwischen zwei y-Buselektroden 3y_n–2 , 3y_n–1 (oder 3y_n , 3y_n+1 , 3y_n+2 , 3y_n+3 ) angeordnet und wird von diesen geteilt. Wenn demgemäß dieselbe Anzahl von Zellen bei einer Plasma-Anzeigetafel gebildet wird, die densel ben Raum wie diejenigen bei den herkömmlichen haben, wird eine verringerte Gesamtzahl von x-Buselektroden 3x_m–1 bis 3x_m+1 und y-Buselektroden 3y_n–2 bis 3y_n+3 auf dem Frontglassubstrat 1 gebildet. Dann können gegenüberliegende x-Buselektroden und y-Buselektroden, beispielsweise die x-Buselektrode 3x_m und die y-Buselektrode 3y_n , mit größeren Spalten vorgesehen sein, wodurch die Lichtemissionshelligkeit der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird.
Da weiterhin die Plasma-Anzeigetafel nach dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel die y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 aufweist, die in der Nähe der Grenzen zwischen benachbarten Sätzen von Elektroden vorgesehen sind, beispielsweise in der Position, die den Abstand zwischen den benachbarten y-Buselektroden 3y_n–1 und 3y_n durch die dielektrische Schicht 4 und den Katodenfilm 5 zugewandt ist, wird der Fluss des Entladungsstroms gesteuert. Demgemäß wird verhindert, selbst wenn die Abstände zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen beispielsweise der Abstand zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n , klein sind, dass die x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und die y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n–1 in die Entladung zwischen der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n einbezogen werden, um fehlerhaft eine Entladung durchzuführen.
Weiterhin weist die Plasma-Anzeigetafel nach dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel die x-Entladungsdeaktivierungsfilme 11 an Positionen auf, die den x-Buselektroden 3x_m–1 bis 3x_m+1 durch die dielektrische Schicht 4 und den Katodenfilm 5 zugewandt sind. Dies verhindert das Problem, dass beispielsweise die zwischen der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 zu haltende Wandladung verloren geht, einbezogen in die Entladung zwischen der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n . Dies ermöglicht der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 , eine stabile Entladung durchzuführen, selbst nachdem die Entladung zwischen der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n gestartet wurde.
Zweites bevorzugtes Ausführungsbeispiel
Als nächstes wird ein anderes bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf 2 beschrieben. Bei der in 2 gezeigten Plasma-Anzeigetafel nach dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Abstand zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, z. B. der Abstand zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 , ausreichen größer als bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel.
Bei der in 2 gezeigten Plasma-Anzeigetafel nach dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist ein Muster von y-Entladungsdeaktivierungsfilmen 12 mit einer Lichtabschirmeigenschaft an den Positionen ausgebildet, die den Räumen zwischen benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden, z. B. dem Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 durch die dielektrische Schicht 4 und den Katodenfilm zugewandt sind.
Die Bildung der lichtabschirmenden y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 verhindert in gewissem Ausmaß das Problem, dass die weiße Basis der Leuchtstoffe 9R, 9G und 9B durch die Räume zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen in der Plasma-Anzeigetafel sichtbar ist, wodurch der visuelle Kontrast der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird.
Die y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 mit einer Lichtabschirmeigenschaft können gebildet werden, indem ein isolierendes Material für die y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 z. B. Aluminiumoxid (nachfolgend als Al₂O₃ bezeichnet) oder Titanoxid (nachfolgend als TiO₂ bezeichnet) aus der stoichiometrischen Zusammensetzung in einen Sauerstoffmangelzustand gebracht wird. Hierdurch wird die Erscheinung ausgenutzt, dass diese Oxide bei einem Mangel an Sauerstoff eine schwärzere Tönung darstellen.
Insbesondere werden die y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 enthaltend Oxide mit Sauerstoffmangel gebildet durch Aufbringen einer Probe von Al₂O₃ oder TiO₂ auf den Katodenfilm 5, während die Probe mit stoichiometrischer Zusammensetzung verdampft wird, um einen Teil von Sauerstoff zu zersetzen und zu eliminieren. Die aus Al₂O₃ oder TiO₂ gebildeten y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 haben eine höhere Entladungsspannung als die aus MgO gebildeten y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12. Die Tabelle 1 zeigt experimentelle Ergebnisse, die dies bestätigen.
Tabelle 1
Wie vorstehend diskutiert ist, hat die Plasma-Anzeigetafel nach dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel ein Muster von y-Entladungsdeaktivierungsfilmen 12 mit einer Lichtabschirmeigenschaft, die an Positionen angeordnet sind, die den Räumen zwischen benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden, beispielsweise dem Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 mit dazwischen angeordneter dielektrischer Schicht 4 und Katodenfilm 5 zugewandt sind.
Die Bildung der y-Entladungsdeaktivierungsfilme 12 mit einer Lichtabschirmeigenschaft verhindert in gewissem Ausmaß das Problem, dass die weiße Basis der Leuchtstoffe 9R, 9G und 9B durch die Räume zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen in der Plasma-Anzeigetafel sichtbar sind, wodurch der visuelle Kon trast der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird.
Drittes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
Als nächstes wird ein anderes bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 3 beschrieben. Bei der in 3 gezeigten Plasma-Anzeigetafel nach dem dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist wie bei dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Abstand zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, beispielsweise der Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 ausreichen groß. Bei der in 3 gezeigten Plasma-Anzeigetafel sind Metallschattenmuster 13 als unabhängige Teile, die aus demselben Material wie die x-Buselektroden 3x_m bis 3x_m+1 und die y-Buselektroden 3y_n bis 3y_n+3 gebildet sind, in den Räumen zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, die bei dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel gezeigt sind, beispielsweise in dem Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 vorgesehen. An die Metallschattenmuster 13 ist keine externe Spannung angelegt, d. h. sie schwimmen.
Typischerweise sind die x-Buselektroden 3x_m bis 3x_m+1 und die y-Buselektroden 3y_n bis 3y_n+3 aus einem mehrschichtigen Film gebildet, der aus Chrom (Cr), Kupfer (Cu) und Cr-Filmen zusammengesetzt ist, oder aus einem mehrschichtigen Film, der aus Aluminium (Al)- und Cr-Filmen zusammengesetzt ist. Diese mehrschichtigen Filme haben eine perfekte Lichtabschirmeigenschaft.
Insbesondere wird in vielen Plasma-Anzeigetafeln der Cr-Film mit einem dunklen metallischen Glanz und einer hohen Lichtabschirmeigenschaft gesehen. Wenn der aus Cr-Film gebildete mehrschichtige Film als das Schattenmuster 13 in dem Raum beispielsweise zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 vorgesehen ist, verhindert er, dass die weiße Basis der Leuchtstoffe 9R, 9G und 9B durch den Raum zwischen den beiden benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen in der Plasma-Anzeigetafel sichtbar ist, wodurch der visuelle Kontrast der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird.
Da diese mehrschichtigen Filme auf die gesamte Oberfläche durch Sputter-Aufbringung oder gleichen gelegt sind, und dann durch Fotolithographie und Ätzen geformt werden, können die Schattenmuster 13 leicht gebildet werden durch Verwendung des Musterdesigns der in der Fotolithographie für die x-Buselektroden und die y-Buselektroden verwendete Fotomaske. Demgemäß ist es nicht erforderlich, einen neuen Prozess für die Bildung der Schattenmuster 13 hinzuzufügen.
4 ist eine Schnittansicht, die eine Struktur einer Plasma-Anzeigetafel mit dem Metallschattenmustern 13 ohne ein Muster von y-Entladungsdeaktivierungsfilmen 12 an den Positionen, die den Räumen zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, beispielsweise dem Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 mit der dielektrischen Schicht 4 und dem Katodenfilm 5 dazwischen angeordnet zugewandt sind, zeigt. Bei dieser Struktur akkumuliert eine Entladung, die beispielsweise zwischen der x-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2x_m und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 erfolgt, eine Wandladung auf dem Katodenfilm 5, der dem Metallschattenmuster 13 durch die dielektrische Schicht 4 zugewandt ist, was eine Funkenentladung in einem bestimmten Augenblick bewirkt.
Somit hat die Plasma-Anzeigetafel nach dem dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel die Metallschattenmuster 13 mit einer Lichtabschirmeigenschaft, die aus demselben Material wie die x-Buselektroden 3x_m bis 3x_m+1 und die y-Buselektroden 3y_n bis 3y_n+2 gebildet sind, in den Abständen zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen, z. B. in dem Raum zwischen der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+1 und der y-Entladungsaufrechterhaltungselektrode 2y_n+2 . Dies verhindert, dass die weiße Basis der Leuchtstoffe 9R, 9G und 9B durch die Räume zwischen zwei benachbarten y-Entladungsaufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen bei der Plasma-Anzeigetafel sichtbar sind, wodurch der visuelle Kontrast der Plasma-Anzeigetafel verbessert wird. Weiterhin reduziert die Plasma-Anzeigetafel nach dem dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel die Gefahr des Auftretens einer Funkenentladung.
Während die Erfindung im einzelnen beschrieben wurde, ist die vorstehende Beschreibung in allen Aspekten illustrativ und nicht beschränkend. Es ist darauf hinzuweisen, dass zahlreiche andere Modifikationen und Veränderungen durchgeführt werden können, ohne den Bereich der beanspruchten Erfindung zu verlassen.

Claims

Plasma-Anzeigetafel, welche aufweist: ein erstes Glassubstrat (1) und ein zweites Glassubstrat (6), die einander zugewandt sind; mehrere Sätze von Entladungsaufrechterhaltungselektroden, wobei jeder Satz zumindest eine gemeinsame Aufrechterhaltungselektrode (2x_m ) für benachbarte Anzeigelinien enthält, die auf einer Oberfläche des ersten Glassubstrats (1), die dem zweiten Glassubstrat (6) zugewandt ist, vorgesehen ist, welche gemeinsamen Aufrechterhaltungselektroden (... 2x_m–1 , 2x_m , 2x_m+1 ...) sich parallel zueinander erstrecken; eine dielektrische Schicht (4), die die mehreren Sätze von Entladungsaufrechterhaltungselektroden bedeckt; mehrere Adressenelektroden (7), die parallel in einer Richtung senkrecht zu den gemeinsamen Aufrechterhaltungselektroden (... 2x_m–1 , 2x_m , 2x_m+1 ...) auf einer Oberfläche des zweiten Glassubstrats (6), die dem ersten Glassubstrat (1) zugewandt ist, mit einem Raum zwischen der dielektrischen Schicht (4) und den Adressenelektroden (7) vorgesehen sind; Teilungsglieder (8), die zwischen dem ersten und zweiten Glassubstrat (1, 6) vorgesehen sind, um den Raum in mehrere Zellen zu unterteilen; und einen Leuchtstoff (9R, 9G, 9B), der die Teilungsglieder (8) bedeckt; dadurch gekennzeichnet, dass die Tafel mehrere erste isolierende Entladungsdeaktivierungsfilme (11) aus Entladungsdeaktivierungsmaterial aufweist, die an Stellen vorgesehen sind, welche den gemeinsamen Aufrechterhaltungselektroden (... 2x_m–1 , 2x_m , 2x_m+1 ...) zugewandt sind, wobei die dielektrische Schicht (4) zwischen ihnen angeordnet ist.
Plasma-Anzeigetafel nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend einen Katodenfilm (5), der zwischen den ersten Entladungsdeaktivierungsfilmen (11) und der dielektrischen Schicht (4) vorgesehen ist.
Plasma-Anzeigetafel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin die ersten Entladungsdeaktivierungsfilme (11) aus einem derartigen isolierenden Entladungsdeaktivierungsmaterial gebildet sind, dass die Zündspannung zwischen der gemeinsamen Aufrechterhaltungselektrode (2x_m ) und einer der gemeinsamen Aufrechterhaltungselektrode (2x_m ) benachbarten Entladungsaufrechterhaltungselektrode in Anwesenheit des ersten Entladungsdeaktivierungsfilms (11) höher als die Zündspannung zwischen der gemeinsamen Aufrechterhaltungsmethode (2x_m ) und einer der gemeinsamen Aufrechterhaltungselektrode (2x_m ) benachbarten Aufrechterhaltungselektrode in Anwesenheit nur eines auf der dielektrischen Schicht (4) vorgesehenen Katodenfilms (5) ist.
Plasma-Anzeigetafel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der jeder Satz der Entladungsaufrechterhaltungselektroden zwei unabhängige Aufrechterhaltungselektroden (2y_n , 2y_n+1 ) auf beiden Seiten der gemeinsamen Aufrechterhaltungselektrode (2x_m ) enthält, vorgesehen auf ei ner Oberfläche des ersten Glassubstrats (1), die dem zweiten Glassubstrat (6) zugewandt ist, wobei die gemeinsame Aufrechterhaltungselektrode (2x_m ) und die beiden unabhängigen Aufrechterhaltungselektroden (2y_n , 2y_n+1 ) sich im Allgemeinen parallel zueinander erstrecken; und wobei die Anzeigetafel weiterhin mehrere zweite isolierende Entladungsdeaktivierungsfilme (12) aus Entladungsdeaktivierungsmaterial aufweist, die an Stellen vorgesehen sind, die den Stellen zwischen benachbarten der unabhängigen Aufrechterhaltungselektroden (2y_n–1 , 2y_n ) in benachbarten der mehreren Entladungsaufrechterhaltungselektrodensätze zugewandt sind, wobei die dielektrische Schicht (4) zwischen ihnen angeordnet ist.
Plasma-Anzeigetafel nach Anspruch 4, weiterhin aufweisend einen Katodenfilm (5), der zwischen den ersten und zweiten Entladungsdeaktivierungsfilmen (12) und der dielektrischen Schicht vorgesehen ist.
Plasma-Anzeigetafel nach Anspruch 4 oder Anspruch 5, bei der die ersten und zweiten Entladungsdeaktivierungsfilme (11, 12) aus einem derartigen isolierenden Entladungsdeaktivierungsmaterial gebildet sind, dass die Zündspannung zwischen den beiden unabhängigen Aufrechterhaltungselektroden (2y_n , 2y_n+1 ) und der gemeinsamen Elektrode (3x_m ) in Anwesenheit des ersten und des zweiten Entladungsdeaktivierungsfilms (11, 12) höher als die Zündspannung zwischen den beiden unabhängigen Aufrechterhaltungselektroden (2y_n , 2y_n+1 ) und der gemeinsamen Elektrode (2x_m ) in Anwesenheit von nur einem auf der dielektrischen Schicht (4), vorgesehenen Katodenfilms (5) ist.
Plasma-Anzeigetafel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin aufweisend unabhängige Teile (13), die aus einem Material mit einer Lichtabschirmeigenschaft gebildet und auf dem ersten Glassubstrat (1) zwischen benachbarten der unabhängigen Aufrechterhaltungselektroden (2y_n–1 , 2y_n ) in benachbarten der mehreren Entladungsaufrechterhaltungselektrodensätze vorgesehen sind.
Verfahren zum Herstellen einer Plasma-Anzeigetafel, welches aufweist: Vorsehen mehrerer Sätze von Entladungsaufrechterhaltungselektroden auf einem Glassubstrat (1), wobei jeder Satz von Entladungsaufrechterhaltungselektroden zumindest eine gemeinsame Elektrode für benachbarte Anzeigelinien enthält; Bilden einer dielektrischen Schicht (4) auf den mehreren Sätzen von Entladungsaufrechterhaltungselektroden; und Bilden mehrerer erster isolierender Entladungsdeaktivierungsfilme (11) aus Entladungsdeaktivierungsmaterial auf der dielektrischen Schicht (4), von denen jeder einer jeweiligen gemeinsamen Aufrechterhaltungselektrode zugewandt ist.
Verfahren nach Anspruch 8, bei dem jeder Satz der Entladungsaufrechterhaltungselektroden zwei unabhängige Aufrechterhaltungselektroden auf beiden Seiten der gemeinsamen Aufrechterhaltungselektroden enthält; welches Verfahren weiterhin die Bildung mehrerer zweiter isolierender Entladungsdeaktivierungsfilme (12) aus Entladungsdeaktivierungsmaterial auf der dielektrischen Schicht (4), Positionen zwischen benachbarten unabhängigen Aufrechterhaltungselektroden in benachbarten Sätzen von Elektroden zugewandt, aufweist.
Verfahren nach Anspruch 8 oder Anspruch 9, weiterhin aufweisend die Bildung eines Katodenfilms (5) zwischen den Entladungsdeaktivierungsfilmen (11, 12) und der dielektrischen Schicht (4).
Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, bei dem die ersten Entladungsdeaktivierungsfilme gebildet werden durch Aufbringen von isolierendem Entladungsdeaktivierungsmaterial auf die dielektrische Schicht (4) oder den Katodenfilm (5), während das isolierende Material verdampft wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, bei dem die zweiten Entladungsdeaktivierungsfilme gebildet werden durch Aufbringen von isolierendem Entladungsdeaktivierungsmaterial auf die dielektrische Schicht (4) oder den Katodenfilm (5), während das isolierende Material verdampft wird.