DE69622618T2 - Metallenthaltende Zusammensetzung zum Bilden einer elektronenemittierenden Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes - Google Patents

Metallenthaltende Zusammensetzung zum Bilden einer elektronenemittierenden Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes

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JP28634495A JP3217946B2 (ja) 1995-10-09 1995-10-09 電子放出部形成用材料並びに該材料を用いた電子放出素子、電子源、表示素子及び画像形成装置の製造方法
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JP10480896A JP3215322B2 (ja) 1996-04-03 1996-04-03 電子放出素子製造用の金属含有水溶液、それを用いた電子放出素子、電子源、表示素子および画像形成装置の製造方法
JP10480796A JP3227090B2 (ja) 1996-04-03 1996-04-03 電子放出素子形成用の金属含有水溶液、並びに該水溶液を用いた電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法

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Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0736892B1 (de) 1995-04-03 2003-09-10 Canon Kabushiki Kaisha Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierende Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes
DE69622618T2 (de) * 1995-04-04 2003-03-20 Canon Kk Metallenthaltende Zusammensetzung zum Bilden einer elektronenemittierenden Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes
JP3302278B2 (ja) 1995-12-12 2002-07-15 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法並びに該製造方法を用いた電子源及び画像形成装置の製造方法
CN1115708C (zh) * 1996-04-26 2003-07-23 佳能株式会社 电子发射器件、电子源和图像形成装置的制造方法
JP3352385B2 (ja) * 1997-03-21 2002-12-03 キヤノン株式会社 電子源基板およびそれを用いた電子装置の製造方法
JP3520396B2 (ja) 1997-07-02 2004-04-19 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス基板と表示装置
WO1999010862A1 (fr) * 1997-08-21 1999-03-04 Seiko Epson Corporation Afficheur a matrice active
JP3580092B2 (ja) * 1997-08-21 2004-10-20 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス型表示装置
JP3075535B2 (ja) 1998-05-01 2000-08-14 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3102787B1 (ja) 1998-09-07 2000-10-23 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、及び画像形成装置の製造方法
WO2000021063A1 (fr) * 1998-10-06 2000-04-13 Canon Kabushiki Kaisha Procede de commande d'affichage d'image
KR100472686B1 (ko) 1998-10-14 2005-03-08 캐논 가부시끼가이샤 화상 형성 장치의 제조 방법 및 그 제조 방법에 의해제조된 화상 형성 장치
WO2000045964A1 (fr) * 1999-02-08 2000-08-10 Canon Kabushiki Kaisha Composant electronique, procede de production d'une source d'electrons, composant de formation d'image et dispositif servant a fabriquer un composant electronique
JP3323847B2 (ja) 1999-02-22 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
DE60044482D1 (de) * 1999-03-05 2010-07-15 Canon Kk Bilderzeugungsvorrichtung
JP4250345B2 (ja) * 2000-02-08 2009-04-08 キヤノン株式会社 導電性膜形成用組成物、導電性膜の形成方法および画像形成装置の製造方法
JP3729702B2 (ja) * 2000-04-13 2005-12-21 松下電器産業株式会社 ブラウン管用バルブの再生方法
KR100498739B1 (ko) * 2000-09-01 2005-07-01 캐논 가부시끼가이샤 전자방출소자, 전자원 및 화상형성장치의 제조방법
JP3634805B2 (ja) * 2001-02-27 2005-03-30 キヤノン株式会社 画像形成装置の製造方法
JP2002359347A (ja) * 2001-03-28 2002-12-13 Seiko Epson Corp 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
JP4659256B2 (ja) 2001-04-17 2011-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子製造用金属組成物、それを用いた電子放出素子の製造方法
JP3854889B2 (ja) * 2001-04-19 2006-12-06 キヤノン株式会社 金属または金属化合物パターンの製造方法および電子源の製造方法
JP2003022892A (ja) * 2001-07-06 2003-01-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置の製造方法
JP3634828B2 (ja) 2001-08-09 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び画像表示装置の製造方法
GB2379083A (en) * 2001-08-20 2003-02-26 Seiko Epson Corp Inkjet printing on a substrate using two immiscible liquids
JP3902995B2 (ja) * 2001-10-11 2007-04-11 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3902998B2 (ja) * 2001-10-26 2007-04-11 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3647436B2 (ja) * 2001-12-25 2005-05-11 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置、及び電子放出素子の製造方法
KR100442963B1 (ko) * 2001-12-29 2004-08-04 주식회사 하이닉스반도체 고순도의 금속막 제조방법
JP3634852B2 (ja) * 2002-02-28 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法
JP3884979B2 (ja) * 2002-02-28 2007-02-21 キヤノン株式会社 電子源ならびに画像形成装置の製造方法
JP3884980B2 (ja) * 2002-02-28 2007-02-21 キヤノン株式会社 電子源及び該電子源を用いた画像形成装置の製造方法
JP3902964B2 (ja) 2002-02-28 2007-04-11 キヤノン株式会社 電子源の製造方法
JP3634850B2 (ja) * 2002-02-28 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
JP3535871B2 (ja) * 2002-06-13 2004-06-07 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置及び電子放出素子の製造方法
GB2431892B (en) * 2002-09-26 2007-06-27 Printable Field Emitters Ltd Creating layers in thin-film structures
GB0222360D0 (en) * 2002-09-26 2002-11-06 Printable Field Emitters Ltd Creating layers in thin-film structures
JP4076486B2 (ja) * 2002-10-23 2008-04-16 株式会社リコー 電子源基板製造装置
US7064475B2 (en) * 2002-12-26 2006-06-20 Canon Kabushiki Kaisha Electron source structure covered with resistance film
GB0315477D0 (en) * 2003-07-02 2003-08-06 Plastic Logic Ltd Rectifying diodes
US7537799B2 (en) * 2003-07-11 2009-05-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Methods of forming electrically conductive pathways using palladium aliphatic amine complexes
TWI228389B (en) * 2003-12-26 2005-02-21 Ind Tech Res Inst Method for forming conductive plugs
JP3740485B2 (ja) * 2004-02-24 2006-02-01 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置の製造方法及び駆動方法
US7858145B2 (en) * 2004-08-31 2010-12-28 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing electroconductive member pattern, and methods of manufacturing electron source and image displaying apparatus each using the same
US7824466B2 (en) 2005-01-14 2010-11-02 Cabot Corporation Production of metal nanoparticles
US8383014B2 (en) 2010-06-15 2013-02-26 Cabot Corporation Metal nanoparticle compositions
WO2006076609A2 (en) 2005-01-14 2006-07-20 Cabot Corporation Printable electronic features on non-uniform substrate and processes for making same
US7575621B2 (en) 2005-01-14 2009-08-18 Cabot Corporation Separation of metal nanoparticles
US8334464B2 (en) 2005-01-14 2012-12-18 Cabot Corporation Optimized multi-layer printing of electronics and displays
US7625814B2 (en) * 2006-03-29 2009-12-01 Asm Nutool, Inc. Filling deep features with conductors in semiconductor manufacturing
US7485561B2 (en) * 2006-03-29 2009-02-03 Asm Nutool, Inc. Filling deep features with conductors in semiconductor manufacturing
US7491646B2 (en) * 2006-07-20 2009-02-17 Xerox Corporation Electrically conductive feature fabrication process
JP4201040B2 (ja) * 2006-11-09 2008-12-24 セイコーエプソン株式会社 インク組成物、及びパターン形成方法
KR101542631B1 (ko) * 2007-07-26 2015-08-07 전자빔기술센터 주식회사 나노-구조 팁을 구비한 전자 방출원 및 이를 이용한 전자 칼럼
US8440467B2 (en) * 2007-09-28 2013-05-14 William Marsh Rice University Electronic switching, memory, and sensor devices from a discontinuous graphene and/or graphite carbon layer on dielectric materials
JP4416032B2 (ja) * 2007-12-10 2010-02-17 セイコーエプソン株式会社 充填液
EP2542634A4 (de) * 2010-03-01 2016-03-02 Sun Chemical Corp Oberflächenspannung von tinten für hochgeschwindigkeitsdruck
CN108219591B (zh) * 2012-02-29 2022-02-18 新加坡朝日化学及锡焊制品有限公司 包含金属前体纳米颗粒的油墨
JPWO2014046306A1 (ja) * 2012-09-21 2016-08-18 住友化学株式会社 導電性膜形成用の組成物
JP6061741B2 (ja) * 2013-03-13 2017-01-18 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチビームの電流調整方法
US10099938B2 (en) * 2013-12-12 2018-10-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Electrically conductive thin films

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4113507A (en) * 1976-12-01 1978-09-12 Ppg Industries, Inc. Method of preparing a solution for making electroconductive tin oxide films
US4434084A (en) * 1981-09-23 1984-02-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Base metal conductor cathode coating for tantalum capacitors
US4952035A (en) * 1985-03-22 1990-08-28 Canon Kabushiki Kaisha Optical element and device using same
US4957851A (en) * 1985-04-16 1990-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Image recording medium comprising a diacetylene derivative compound film and a radiation absorbing layer
JPS61246743A (ja) * 1985-04-25 1986-11-04 Canon Inc 光記録媒体
US4840821A (en) * 1985-05-27 1989-06-20 Canon Kabushiki Kaisha Method of and apparatus for forming film
US4798694A (en) * 1985-08-09 1989-01-17 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing composite materials
JPS6235326A (ja) * 1985-08-09 1987-02-16 Canon Inc 表示素子
JPS62141110A (ja) * 1985-12-11 1987-06-24 Canon Inc ゲル繊維の製造方法
US4798740A (en) * 1986-03-31 1989-01-17 Canon Kabushiki Kaisha Polymerizable film and pattern forming method by use thereof
US4939556A (en) * 1986-07-10 1990-07-03 Canon Kabushiki Kaisha Conductor device
JPS6431332A (en) * 1987-07-28 1989-02-01 Canon Kk Electron beam generating apparatus and its driving method
EP0335326B1 (de) * 1988-03-28 1994-06-15 Canon Kabushiki Kaisha Ionenpermeable Membran und Ionentransportverfahren unter Verwendung dieser Membran
JP2610160B2 (ja) * 1988-05-10 1997-05-14 キヤノン株式会社 画像表示装置
DE68913894T2 (de) * 1988-10-21 1994-09-22 Canon Kk Verfahren zur Herstellung eines Polymergels, Polymergel und Stellglied, das dieses benutzt.
JP2782224B2 (ja) * 1989-03-30 1998-07-30 キヤノン株式会社 画像形成装置の駆動方法
US5001598A (en) * 1989-04-20 1991-03-19 Engelhard Corporation Sinter control additive
NL8901075A (nl) * 1989-04-28 1990-11-16 Philips Nv Inrichting ten behoeve van elektronengeneratie en weergeefinrichting.
JPH07105283B2 (ja) * 1991-03-07 1995-11-13 富士ゼロックス株式会社 抵抗体膜形成材料、抵抗体膜および電子部品
DE69233570T2 (de) * 1991-09-09 2006-07-27 Canon K.K. Quantitativer Nachweis von Verbindungen in Coexistenz im System mit anderen Verbindungen
US5292551A (en) * 1992-06-29 1994-03-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for producing electroconductive powders
JPH0731871A (ja) 1993-05-18 1995-02-03 Canon Inc 膜構造物
KR100214428B1 (ko) * 1993-06-30 1999-08-02 후지무라 마사지카, 아키모토 유미 적외선차단재와 그것에 사용하는 적외선차단분말
EP0740324B1 (de) 1993-12-22 1999-04-21 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren einer elektronemittierenden Vorrichtung
US5516458A (en) * 1994-08-30 1996-05-14 Eastman Kodak Company Coating composition used to prepare an electrically-conductive layer formed by a glow discharge process containing tin carboxylate, antimony alkoxide and film-forming binder
DE69622618T2 (de) * 1995-04-04 2003-03-20 Canon Kk Metallenthaltende Zusammensetzung zum Bilden einer elektronenemittierenden Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes
JP3241613B2 (ja) * 1995-10-12 2001-12-25 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
JP3229223B2 (ja) * 1995-10-13 2001-11-19 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造法並びに電子放出素子製造用金属組成物

Also Published As

Publication number Publication date
US6270389B1 (en) 2001-08-07
US6123876A (en) 2000-09-26
CN1146061A (zh) 1997-03-26
EP0736890A1 (de) 1996-10-09
CN1110833C (zh) 2003-06-04
EP0736890B1 (de) 2002-07-31
KR100229231B1 (ko) 1999-11-01
DE69622618D1 (de) 2002-09-05

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