DE60135206D1 - Röntgenabbildungseinrichtung und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Röntgenabbildungseinrichtung und verfahren zu ihrer herstellung

Info

Publication number
DE60135206D1
DE60135206D1 DE60135206T DE60135206T DE60135206D1 DE 60135206 D1 DE60135206 D1 DE 60135206D1 DE 60135206 T DE60135206 T DE 60135206T DE 60135206 T DE60135206 T DE 60135206T DE 60135206 D1 DE60135206 D1 DE 60135206D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
production
imaging device
ray imaging
ray
imaging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60135206T
Other languages
English (en)
Inventor
Harumichi Mori
Ryuji Kyushima
Kazuki Fujita
Masahiko Honda
Takuya Homme
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Application granted granted Critical
Publication of DE60135206D1 publication Critical patent/DE60135206D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144—Devices controlled by radiation
    • H01L27/146—Imager structures
    • H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
    • H01L27/14658—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
    • H01L27/14663—Indirect radiation imagers, e.g. using luminescent members
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144—Devices controlled by radiation
    • H01L27/146—Imager structures
    • H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
    • H01L27/14687—Wafer level processing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
DE60135206T 2000-02-25 2001-02-23 Röntgenabbildungseinrichtung und verfahren zu ihrer herstellung Expired - Lifetime DE60135206D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000049616 2000-02-25
PCT/JP2001/001356 WO2001063321A1 (fr) 2000-02-25 2001-02-23 Dispositif d'imagerie a rayons x et son procede de fabrication

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE60135206D1 true DE60135206D1 (de) 2008-09-18

Family

ID=18571527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60135206T Expired - Lifetime DE60135206D1 (de) 2000-02-25 2001-02-23 Röntgenabbildungseinrichtung und verfahren zu ihrer herstellung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6747277B2 (de)
EP (1) EP1258739B1 (de)
JP (1) JP4293584B2 (de)
AU (1) AU2001234152A1 (de)
DE (1) DE60135206D1 (de)
WO (1) WO2001063321A1 (de)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3815766B2 (ja) * 1998-01-28 2006-08-30 キヤノン株式会社 二次元撮像装置
US7596425B2 (en) * 2003-06-13 2009-09-29 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method
US7495226B2 (en) * 2006-05-26 2009-02-24 Carestream Health, Inc. Compact and durable encasement for a digital radiography detector
DE102006038969B4 (de) * 2006-08-21 2013-02-28 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenkonverterelement und Verfahren zu dessen Herstellung
JP4894453B2 (ja) * 2006-10-25 2012-03-14 コニカミノルタエムジー株式会社 放射線画像検出器
FR2910222B1 (fr) * 2006-12-19 2009-01-23 Trixell Sas Soc Par Actions Si Dispositif de protection d'un composant electronique
JP5050572B2 (ja) * 2007-03-05 2012-10-17 コニカミノルタエムジー株式会社 放射線画像検出器
JP5004848B2 (ja) * 2007-04-18 2012-08-22 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
US20100038519A1 (en) * 2008-08-12 2010-02-18 Cho-Yi Lin Image Sensing Module
JP5441400B2 (ja) * 2008-12-19 2014-03-12 キヤノン株式会社 撮像装置、放射線撮像装置及びその製造方法
JP2010145349A (ja) * 2008-12-22 2010-07-01 Toshiba Corp 放射線検出装置
JP2011137665A (ja) * 2009-12-26 2011-07-14 Canon Inc シンチレータパネル及び放射線撮像装置とその製造方法、ならびに放射線撮像システム
JP2011247686A (ja) * 2010-05-25 2011-12-08 Fujifilm Corp 放射線画像撮影装置
JP2011247684A (ja) * 2010-05-25 2011-12-08 Fujifilm Corp 放射線画像撮影装置及びその組立方法
JP5603713B2 (ja) * 2010-08-31 2014-10-08 富士フイルム株式会社 放射線撮影装置
DE102011013057A1 (de) * 2011-03-04 2012-09-06 Helmholtz Zentrum München Deutsches Forschungszentrum Für Gesundheit Und Umwelt (Gmbh) Strahlungsdetektor und Messeinrichtung zur Detektion von Röntgenstrahlung
DE102011013058A1 (de) 2011-03-04 2012-09-06 Helmholtz Zentrum München Deutsches Forschungszentrum Für Gesundheit Und Umwelt (Gmbh) Röntgenkamera zur ortsaufgelösten Detektion von Röntgenstrahlung
RU2461022C1 (ru) 2011-04-15 2012-09-10 Закрытое Акционерное Общество "Импульс" Плоскопанельный приемник рентгеновского излучения и способ его изготовления
DE102012211909A1 (de) * 2012-07-09 2014-01-09 Siemens Aktiengesellschaft Strahlungsdetektor
EA021593B1 (ru) * 2012-11-21 2015-07-30 Закрытое Акционерное Общество "Импульс" Детектор рентгеновского изображения, способ изготовления фоточувствительного элемента и способ изготовления детектора
CZ2013669A3 (cs) * 2013-08-30 2015-01-07 České vysoké učení technické v Praze Ústav technické a experimentální fyziky Detektor ionizujícího záření umožňující vytvoření souvislého digitálního obrazu
JP6310216B2 (ja) * 2013-09-06 2018-04-11 キヤノン株式会社 放射線検出装置及びその製造方法並びに放射線検出システム
JP2015068653A (ja) * 2013-09-26 2015-04-13 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線検査装置
JP6270450B2 (ja) * 2013-12-13 2018-01-31 キヤノン株式会社 放射線検出装置、放射線検出システム、及び、放射線検出装置の製造方法
CN107112288B (zh) * 2014-12-17 2020-02-07 京瓷株式会社 电子部件安装用封装件以及电子装置
US10446582B2 (en) * 2014-12-22 2019-10-15 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Method of providing an imaging system and imaging system thereof
JP6659182B2 (ja) * 2018-07-23 2020-03-04 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線撮像システム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01223729A (ja) * 1988-03-02 1989-09-06 Nec Corp 半導体装置の製造方法
US4870279A (en) * 1988-06-20 1989-09-26 General Electric Company High resolution X-ray detector
JPH05312960A (ja) * 1992-05-13 1993-11-26 Hitachi Medical Corp Ｘ線検出器
JPH0954162A (ja) * 1995-08-17 1997-02-25 Ge Yokogawa Medical Syst Ltd Ｘ線検出器およびその製造方法
JP3805031B2 (ja) 1995-10-20 2006-08-02 キヤノン株式会社 光電変換装置
JPH09257942A (ja) * 1996-03-18 1997-10-03 Hitachi Medical Corp 多素子ｘ線検出器
US5834782A (en) * 1996-11-20 1998-11-10 Schick Technologies, Inc. Large area image detector
JP4036929B2 (ja) * 1997-09-24 2008-01-23 株式会社東芝 Ｘ線検出装置
US6091795A (en) * 1997-10-10 2000-07-18 Analogic Corporation Area detector array for computer tomography scanning system
JP2002162474A (ja) * 2000-11-27 2002-06-07 Sharp Corp 電磁波検出器およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6747277B2 (en) 2004-06-08
US20020195568A1 (en) 2002-12-26
WO2001063321A1 (fr) 2001-08-30
AU2001234152A1 (en) 2001-09-03
EP1258739A4 (de) 2003-05-14
JP4293584B2 (ja) 2009-07-08
EP1258739A1 (de) 2002-11-20
EP1258739B1 (de) 2008-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60135206D1 (de) Röntgenabbildungseinrichtung und verfahren zu ihrer herstellung
DE60042914D1 (de) Halbleitervorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung
DE60034389D1 (de) Festkörperbildaufnahmevorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE60233058D1 (de) Silsesquioxanderivate und verfahren zu ihrer herstellung
DE69917111D1 (de) Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE69931287D1 (de) Zweidimensionaler Bilddetektor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE69929311D1 (de) Oximanderivate und verfahren zu ihrer herstellung
DE60219839D1 (de) Abbildungsvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
DE60233612D1 (de) Strahlungsdetektoren und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE60131745D1 (de) Filtervorrichtung und verfahren zu deren herstellung
DE69922815D1 (de) Gipsplatte und verfahren zu ihrer herstellung
DE60128656D1 (de) Mehrschichtige leiterplatte und verfahren zu ihrer herstellung
DE60113215D1 (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
AT501583B8 (de) Dualband-antenne und verfahren zu ihrer herstellung
DE60231548D1 (de) N; formkörper und verfahren zu ihrer herstellung
DE60120093D1 (de) Bildgebende Vorrichtung und bildgebendes Verfahren
DE60221201D1 (de) Polyoxyalkylen-derivate und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE60035549D1 (de) Bildaufzeichnungsgerät und Verfahren
DE60201368D1 (de) Bildaufnahmegerät und Verfahren zu dessen Herstellung
DE60230486D1 (de) Display-vorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung
DE60024801D1 (de) Polyurethanharnstofffasern und verfahren zu ihrer herstellung
DE60129818D1 (de) Strahlungsdetektor und verfahren zu seiner herstellung
DE60125888D1 (de) Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE60144157D1 (de) Elektrochemische einrichtung und verfahren zu ihrer herstellung
DE60124428T8 (de) Lüftungsvorrichtung und verfahren zu dessen herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition