DE4107909C2 - Feldeffekt-Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren hierfür - Google Patents
Feldeffekt-Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren hierfürInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Feldeffekt-Halblei
tervorrichtung gemäß Oberbegriff der Ansprüche 1 und 9 und
ein Verfahren zur Herstellung einer Feldeffekt-Halbleiter
vorrichtung gemäß Oberbegriff des Anspruches 14.
Eine Vor
richtung bzw. ein Verfahren gemäß Oberbegriff der Ansprüche
1, 9 und 14 sind aus der US 4 866 495 bekannt.
Die Fig. 10A bis 12 zeigen als Beispiel einer Feld
effekt-Halbleitervorrichtung einen bekannten n-Kanal-Lei
stungs-MOSFET, welcher jedoch nicht das Merkmal (h)
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. das Merkmal (i)
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 9 aufweist. Dabei zeigt
die
Fig. 10A in einer schematischen Draufsicht den Ober
flächenteil des n-Kanal-Leistungs-MOSFET
100, und Fig. 10B
zeigt eine entlang der Linie B1-B1 aus Fig. 10A genommene
Schnittansicht. Fig. 10A entspricht einer aus der Ebene B3-
B3 aus Fig. 10B genommenen Draufsicht.
Der MOSFET 100 weist Schichten 3a und 3b vom n⁻-Typ auf,
welche auf einem Siliziumsubstrat 1 vom p-Typ gebildet sind.
Eine vergrabene Schicht 2 vom n⁺-Typ ist zwischen dem Sub
strat 1 und der Schicht 3b vom n⁻-Typ vorgesehen. Die
Schicht 3b vom n⁻-Typ arbeitet als eine Drainschicht vom n⁻-
Typ. Zwischen den Schichten 3a und 3b vom n⁻-Typ ist ein
Drainbereich 4 vom n⁺-Typ gebildet. Wie es aus Fig. 10A
ersichtlich ist, umgibt der Drainbereich 4 vom n⁺-Typ die
Schicht 3b vom n⁻-Typ, und die Kombination aus dem Drainbe
reich 4 vom n⁺-Typ und der Drainschicht 3b vom n⁻-Typ bildet
den Drainbereich des MOSFET.
In der Schicht 3b vom n⁻-Typ sind zwei erste Halbleiterbereiche 5
vom p-Typ gebildet. In jedem der ersten Halbleiterbereiche 5 vom p-
Typ ist ein Sourcebereich 6 vom n⁺-Typ als zweiter Halbleiterbereich vorgesehen, welcher
in der Mitte eine Öffnung aufweist. Die Abschnitte der ersten Halb
leiterbereiche 5 vom p-Typ, welche die Sourcebereiche 6 vom
n⁺-Typ umgeben, stellen kanalbildende Bereiche 9 dar.
Ein Gateisolierfilm 7 ist zur Bedeckung der Oberfläche der
Schicht 3b vom n⁻-Typ und von Teilen der Sourcebereiche 6
vom n⁺-Typ ausgebildet. Auf dem Gateisolierfilm 7 ist eine
Gateelektrode 8 gegenüber den kanalbildenden Bereichen 9 und
Randbereichen hiervon ausgebildet. Eine Sourceelektrode 10
ist derart vorgesehen, daß die Sourcebereiche 6 vom n⁺-Typ
und die ersten Halbleiterbereiche 5 vom p-Typ miteinander kurzge
schlossen sind. Ein Schichtisolierfilm 11 isoliert die Gate
elektrode 8 und die Sourceelektrode 10 elektrisch voneinan
der. Auf dem Drainbereich 4 vom n⁺-Typ ist eine Drainelek
trode 12 gebildet. Eine mit Massepegel verbundene Rückseitenelek
trode 13 ist auf der bodenseitigen Hauptoberfläche des Halb
leitersubstrates 1 gebildet. Wie es aus den Fig. 10a und 10b
ersichtlich ist, stellt der MOSFET 100 einen lateralen MOSFET
dar mit zwei MOS-Einheitszellen,
die parallel verbunden sind und bei denen die Gateelektrode
8 und die Drainelektrode 12 auf der oberen Oberflächenseite
des MOSFET 100 angeordnet sind.
Bei dem MOSFET 100 mit einer derartigen Struktur wird eine
Gatespannung zwischen der Gateelektrode 8 und der Source
elektrode 10 unter derartigen Bedingungen angelegt, daß eine
Drainspannung zwischen der Drainelektrode 12 und der Source
elektrode 10 angelegt ist. Somit werden Kanäle in den kanal
bildenden Bereichen 9 ausgebildet, und es fließt ein Strom
durch diese Kanäle zwischen der Drainelektrode 12 und der
Sourceelektrode 10. Die Größenordnung dieses Stromes kann
durch die Gatespannung gesteuert werden.
Für eine derartige Betriebsweise ist es notwendig, das
Potential der Sourcebereiche 6 vom n⁺-Typ und das Potential
der Mittenbereiche der ersten Halbleiterbereiche 5 vom p-Typ bei
dem selben Pegel und einander gleich zu halten.
Um diese Bedingungen zu erfüllen, ist die
Sourcelektrode 10 derart ausgebildet, daß die Sourcebereiche
6 vom n⁺-Typ und die Mittenabschnitte der Halbleiterbereiche
5 vom p-Typ miteinander kurzgeschlossen sind.
In Fig. 11 sind die Ausgangseigenschaften des MOSFET 100
gezeigt. Wenn eine Source-Drainspannung VD kleiner ist als
die Durchbruchsspannung VBD, steigt der Source-Drainstrom ID
als Funktion der Gatespannung VG an. Wenn die Source-Drain
spannung VD die Durchbruchsspannung VBD erreicht, bricht der
MOSFET 100 sofort durch. Unter Bezugnahme auf Fig. 12, wel
che einer entlang der Linie B2-B2 aus Fig. 9A genommenen
Schnittansicht entspricht, und auf Fig. 13, welche einer
teilweise vergrößerten Ansicht hieraus entspricht, wird die
ses Durchbruchsphänomen in dem MOSFET 100 im folgenden im
Detail untersucht.
Es wird der Fall betrachtet, bei dem die zwischen der
Sourceelektrode 10 und der Drainelektrode 12 angelegte
Drainspannung VD ansteigt. Wenn die Drainspan
nung VD die Durchbruchsspannung VBD zwischen der Drain
schicht 3b vom n⁻-Typ und dem Halbleiterbereich 5 vom p-Typ
erreicht, fließt ein in Fig. 12 durch Pfeile angedeuteter Durchbruchs
strom JC von der Drainschicht 3b vom n⁻-Typ zur Sourceelek
trode 10.
Wie es in Fig. 13 gezeigt ist, weist eine Äquivalenzschal
tung der MOS-Einheitszellen bei einem derartigen Zustand
eine umgekehrte Parallelverbindung zwischen einem parasitä
ren npn-Transistor Tr mit einem Basiswiderstand Ra und einer
Diode Da auf. Bei dem Durchbruchszustand ist der in den
Boden des Sourcebereiches 6 vom n⁺-Typ fließende Durch
bruchsstrom JC gemäß Fig. 12 über den Basiswiderstand Ra des
Transistors Tr zu der Sourceelektrode 10 gerichtet. Der
parasitäre Transistor Tr wird leitend, wenn die Größenord
nung des Durchbruchsstromes JC die folgende Gleichung (1)
erfüllt:
JC×Ra<0,6 [V] (1)
wobei "0,6 [V]" eine built-in-Spannung eines pn-Über
ganges bei Verwendung von Silizium darstellt. Aufgrund der
Leitung des parasitären Transistors Tr befinden sich die
jeweiligen MOS-Einheitszellen in einem Blockierzustand. Als
Ergebnis bricht der MOSFET 100 in einer kurzen Zeit zusam
men. Zur Verbesserung der anti-breakdown-Eigenschaften der
Halbleitervorrichtung eines derartigen Typs ist es notwen
dig zu verhindern, daß das Produkt (JC×Ra) in dem Durch
bruchszustand ansteigt.
Da jedoch bei dieser Vorrichtungsstruktur das Produkt
(JC×Ra) 0,6 [V] übersteigt, sobald die Drainspannung die
Durchbruchsspannung VBD erreicht, ist die Durchbruch-Eigen
schaft dieser Vorrichtung nicht übermäßig vergrößert. Dies
stellt ein Problem nicht nur für Leistungs-MOSFETs dar,
sondern ebenfalls für andere Feldeffekthalbleitervorrich
tungen, wie beispielsweise IGBTs.
Aus der eingangs genannten US 4 866 495 ist bereits be
kannt, zur Verbesserung der Durchbruch-Eigenschaften eine
Halbleiterbereichsgruppe von p-Leitungstyp in einen Ab
schnittt der Halbleiterschicht vom n--Leitungstyp zwischen
dem ersten Halbleiterbereich vom p-Typ und der Dreainelek
trode anzuordnen. Aus der genannten Schrift ist aber nicht erkennbar, wie
die Verteilung des P-Bereiches in der Ebene angeordnet ist.
Ohne nähere Angaben ist aus dem Gesamtverständnis heraus
davon auszugehen, daß die genannte P-Schicht als kontinu
ierliche bzw. zusammenhängende Schicht ausgebildet ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
eine gattungsgemäße Feldeffekt-Halbleitervorrichtung zur
Verfügung zu stellen, bei der die Durchbruch-Eigenschaften
weiter verbessert sind, und ferner ein Herstellungsverfah
ren für eine derartige Halbleitervorrichtung zur Verfügung
zu stellen.
Diese Aufgabe wird durch die Feldeffekt-Halbleitervor
richtung gemäß Anspruch 1 bzw. 9 durch ein Verfahren
gemäß Anspruch 14 gelöst.
Die "Halbleiterbereichsgruppe" entsprechend der vorliegenden
Erfindung kann eine Vielzahl von diskreten verteilten Berei
chen aufweisen oder kann aus einer Vielzahl von Bereichen
zusammengesetzt sein, welche miteinander in der Form bei
spielsweise eines Kammes verbunden sind.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus
den Unteransprüchen.
Weitere Vorteile der vorliegenden
Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von
Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung.
Es zeigt:
Fig. 1A eine Draufsicht eines MOSFET entsprechend einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 1B eine entlang der Linie A1-A1 aus Fig. 1A genom
mene Schnittansicht des MOSFET;
Fig. 2 eine entlang der Linie A2-A2 aus Fig. 1A genom
mene Schnittansicht des MOSFET;
Fig. 3A und 3B schematische Ansichten der Ausdehnung einer
Verarmungsschicht in dem bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel;
Fig. 4A und 4B schematische Ansichten der Ausdehnung einer
Verarmungsschicht in einem bekannten MOSFET, der keine
Halbleiterbereichsgruppe aufeist;
Fig. 5A bis 5H schematische Darstellungen der Herstellungs
prozesse des MOSFET entsprechend einem bevorzug
ten Ausführungsbeispiel;
Fig. 6A und 6B Draufsichten der MOSFETs entsprechend weite
ren, bevorzugten Ausführungsbeispielen der vor
liegenden Erfindung;
Fig. 7A eine Draufsicht des MOSFET entsprechend eines
weiteren, bevorzugten Ausführungsbeispieles;
Fig. 7B eine entlang der Linie A4-A4 aus Fig. 7A genom
mene Schnittansicht des MOSFET;
Fig. 8A eine schematische Draufsicht eines IGBT, an dem
ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorlie
genden Erfindung angewendet ist;
Fig. 8B eine entlang der Linie A5-A5 aus Fig. 8A genom
mene Schnittansicht des IGBT;
Fig. 9 eine Modifizierung einer Halbleiterbereichs
gruppe;
Fig. 10A eine Draufsicht eines MOSFET entsprechend der Fig. 4;
Fig. 10B eine entlang der Linie B1-B1 aus Fig. 10A genom
mene Schnittansicht des MOSFET;
Fig. 11 eine schematische Darstellung von Eigenschaften
eines MOSFET;
Fig. 12 eine schematische Darstellung eines Strompfades
eines Durchbruchsstromes in dem MOSFET nach den Fig. 4 und 10; und
Fig. 13 eine schematische Darstellung eines parasitären
Transistors in einem MOSFET.
Fig. 1A zeigt in schematischer Draufsicht einen Leistungs-
MOSFET 200 entsprechend einem bevorzugten Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung, und Fig. 1B zeigt eine
entlang der Linie A1-A1 aus Fig. 1A genommene Schnittan
sicht. Fig. 1A entspricht einer entlang der Ebene A3-A3 aus
Fig. 1B genommenen Draufsicht.
Jeweils gleiche Komponenten des MOSFET 200 sind mit den sel
ben Bezugsziffern wie bei dem in den Fig. 10A und 10B
gezeigten MOSFET 100 bezeichnet.
Die charakteristische Struktur des MOSFET 200 entsprechend
diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel besteht darin, daß
eine Halbleiterbereichsgruppe 30 vom p-Typ mit einer Viel
zahl von Halbleiterbereichen 31 vom p-Typ in dem oberen
Oberflächenabschnitt der Drainschicht 3b vom n⁻-Typ ausge
bildet ist. Diese Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ sind bei
ungefähr gleichförmigen Abständen voneinander in einer Ebene
angeordnet, welche im wesentlichen parallel ist zur oberen
Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 1. Die Anordnung
bzw. Matrix der Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ umgibt ein
Paar von mittig angeordneten ersten Halbleiterbereichen 5 vom p-
Typ.
Entsprechend der in etwa rechteckig in der Ebene ausgebilde
ten Form der mittig angeordneten ersten Halbleiterbereiche 5 vom p-
Typ bildet die Anordnung der Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ
ein Rechteck. Bei dem in Fig. 1A gezeigten Beispiel sind
vier Halbleiterbereiche vom p-Typ bei den Ecken der recht
eckigen Anordnung vorgesehen, und es sind acht Halbleiterbe
reiche 31 vom p-Typ dazwischen vorgesehen. Jeder von den
Halbleiterbereichen 31 vom p-Typ ist im Schnitt von kreis
förmiger Form und weist einen Boden auf, dessen Tiefe im
wesentlichen gleich ist mit der Tiefe des Bodens der ersten Halb
leiterbereiche 5 vom p-Typ.
Fig. 2 zeigt eine entlang der Linie A2-A2 aus Fig. 1A genom
mene vergrößerte Schnittansicht. Der MOSFET 200 wird auf die
selbe Weise wie der eingangs beschriebene MOSFET 100 verwen
det. Dies bedeutet, daß eine Gatespannung VG zwischen einer
Sourceelektrode 10 und einer Gateelektrode 8 angelegt wird,
wobei eine Drainspannung VD zwischen der Sourceelektrode 10
und einer Drainelektrode 12 angelegt ist. Somit werden
Kanäle in den kanalbildenden Bereichen 9 ausgebildet, und es
fließt ein Strom zwischen dem Drainbereich 4 vom n⁺-Typ und
den Sourcebereichen 6 vom n⁺-Typ.
Die bei der vorliegenden Erfindung vorgesehenen diskreten Halbleiter
bereiche 31 vom p-Typ tragen zu einer Verbesserung der Durchbruch-
Eigenschaften des MOSFET 200 bei, was im folgenden
erläutert wird.
Die Fig. 3A und 3B zeigen einen Durchbruchszustand des
MOSFET 200 entsprechend dem bevorzugten Ausführungsbeispiel,
und die Fig. 4A und 4B zeigen einen Durchbruchszustand des
eingangs beschriebenen MOSFET 100. Zunächst werden die Fig.
4A und 4B erläutert. Wenn sich der MOSFET 100 aufgrund einer
zwischen der Sourceelektrode 10 und der Drainelektrode 12
angelegten, relativ hohen Spannung in einem Durchbruchszu
stand befindet, erstreckt sich eine Verarmungsschicht F2 von
den Halbleiterbereichen 5 vom p-Typ zur Innenseite der
Schicht 3b vom n⁻-Typ. Jedoch ist die Ausdehnungsbreite der
Verarmungsschicht F2 nicht gleichförmig. In einem Abschnitt
S1 zwischen den beiden Halbleiterbereichen 5 vom p-Typ ist
die resultierende Verarmungsschicht F2 relativ breit, da
sich die jeweiligen Verarmungsschichten, welche sich von den
Halbleiterbereichen 5 vom p-Typ aus erstrecken, überlappen.
Auf der anderen Seite ist bei einem Abschnitt S2 zwischen
den Halbleiterbereichen 5 vom p-Typ und dem Drainbereich 4
vom n⁺-Typ die Ausdehnungsbreite der Verarmungsschicht
klein, da das oben erwähnte Überlappen fehlt. Dementspre
chend ist in dem Abschnitt S2 die elektrische Feldstärke
relativ groß, so daß folglich der über den Abschnitt S2 in
den parasitären Transistor Tr gemäß Fig. 13 fließende Durch
bruchsstrom ansteigt. Der Grund hierfür liegt darin, daß ein
Stromhauptpfad des parasitären Transistors von dem Drainbe
reich 4 vom n⁺-Typ zu den kanalbildenden Bereichen 9 gerich
tet ist, so daß dem Abschnitt S2 eine gewisse Bedeutung
zukommt.
Als nächstes werden die Fig. 3A und 3B erläutert. Da bei dem
MOSFET 200 die Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ vorgesehen
sind, erstreckt sich eine Verarmungsschicht F1 bis zur Peri
pherie der Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ. Dementsprechend
ist die elektrische Feldstärke in einem Abschnitt S3 verrin
gert, und folglich ist der Durchbruchsstrom verringert.
Sogar falls die Drainspannung eine Durchbruchsspannung
erreicht, ist der Durchbruchsstrom relativ niedrig gehalten,
und der Wert von (JC×Ra) ist ebenfalls klein gehalten, so
daß ein Leitendwerden des parasitären Transistors Tr verhin
dert wird. Als Ergebnis wird ein Blockierzustand nicht
erzeugt, sobald die Drainspannung die Durchbruchsspannung
erreicht, und es werden die Durchbruch-Eigenschaften des
MOSFET 200 verbessert.
Die Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ sind in dem Strompfad
zwischen dem Drainbereich 4 vom n⁺-Typ und den kanalbilden
den Bereichen 9 angeordnet. Falls angenommen wird, daß ein
wandförmiger durchgehender Halbleiterbereich vom p-Typ, wel
cher die Halbleiterbereiche vom p-Typ umgibt, vorgesehen
ist, verhindert dieser, daß Ladungsträger in dem Strompfad
in den leitenden Zustand des MOSFET 200 bewegt werden. Auf
der anderen Seite wird im Falle, daß die
Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ erfindungsgemäß als diskrete
Anordnung ausgebildet sind, der Strompfad über die
Abstände zwischen den Bereichen 31 in dem leitenden Zustand
des MOSFET 200 gewährleistet, so daß ein normaler Betrieb
des MOSFET 200 aufrechterhalten wird. Dies ist der Grund,
warum die Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ selektiv bzw.
teilweise ausgebildet sind.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 5A bis 5H werden die Herstel
lungsprozesse des MOSFET 200 im folgenden beschrieben.
Zuerst wird gemäß Fig. 5A ein Siliziumsubstrat 1 vom p-Typ
vorbereitet und eine Strukturierung eines Siliziumoxidfilms
41 auf der oberen Hauptoberfläche des Substrates gebildet.
Zum Erhalten einer Schicht 42 vom n⁺-Typ werden Verunreini
gungen vom N-Typ mit hoher Konzentration von einem Fenster
des Oxidfilmes 41 in das Substrat 1 diffundiert.
Als nächstes wird der Oxidfilm 41 entfernt, und es wird eine
epitaktische Schicht 3 vom n⁻-Typ gemäß Fig. 5B auf der obe
ren Hauptoberfläche des Substrates 1 gebildet. Es werden
Verunreinigungen von der Schicht 42 vom n⁺-Typ gemäß Fig. 5A
in die epitaktische Schicht 3 vom n⁻-Typ diffundiert,
wodurch eine vergrabene Schicht 2 vom n⁺-Typ gebildet wird.
Auf der oberen Oberfläche der epitaktischen Schicht 3 wird
eine Strukturierung eines weiteren Siliziumoxidfilmes 43 gebildet.
Über ein Fenster des Oxidfilmes 43 werden Verunreinigungen
vom n-Typ mit hoher Konzentration tief in die epitaktische
Schicht 3 diffundiert, wodurch ein Drainbereich 4 vom n⁺-Typ
gebildet wird. Der Drainbereich 4 vom n⁺-Typ trennt die epi
taktische Schicht 3 vom n⁻-Typ in eine Schicht 3b vom n⁻-Typ
in der Mitte und eine Schicht 3a vom n⁻-Typ in der Periphe
rie. Bei den im folgenden Bezug genommenen Fig. 5C bis 5G
ist lediglich der obere Abschnitt gemäß der Linie C-C aus
Fig. 5B gezeigt.
Bei dem in Fig. 5C gezeigten Schritt wird der Oxidfilm 43 in
der Mitte weggeätzt und statt dessen wird ein dünner Sili
ziumoxidfilm 44 gebildet. Der Oxidfilm 44 weist einen
Abschnitt auf, der später als Gateoxidfilm verwendet wird.
Bei der Ausbildung des Oxidfilmes 44 wird ferner ein dünner
Siliziumoxidfilm 45 auf dem Drainbereich 4 vom n⁺-Typ gebil
det.
Durch Bedecken mit Lackmaterial und Strukturieren des Mate
rials wird eine Lackschicht 46 mit einem Fenster 47 gemäß
Fig. 5D gebildet. Mittels der Maskierung mit der Lackschicht
46 werden Verunreinigungsionen vom p-Typ, im Ausführungsbeispiel
Bor, durch den Oxidfilm 44 in die Schicht 3b vom n⁻-Typ inji
ziert. Nach der Entfernung der Lackschicht 46 werden die
Verunreinigungen vom p-Typ thermisch in die Schicht 3b vom
n⁻-Typ diffundiert. Aufgrund dieses Schrittes wird eine dis
krete Anordnung der Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ in der
Nähe der oberen Oberfläche der Schicht 3b vom n⁻-Typ gebil
det. Wie es nicht näher in Fig. 5D dargestellt ist, ist
diese diskrete Anordnung gemäß Fig. 1A rechteckig und umgibt
eine rechteckige Zone. Sämtliche Halbleiterbereiche 31 vom
p-Typ sind in einer Ebene verteilt, welche im wesentlichen
parallel ist zur oberen Hauptoberfläche des Halbleitersub
strates 1 (in Fig. 5B).
Bei dem in Fig. 5E gezeigten nächsten Schritt wird eine
Polysiliziumschicht 48 auf der gesamten oberen Oberfläche
gebildet. Die Polysiliziumschicht 48 wird mit Lackmaterial
bedeckt, welches anschließend strukturiert wird, wodurch
eine zweite Lackstrukturierung 49 erhalten wird. Die zweite Lackstruktu
rierung 49 ist oberhalb der von der Anordnung der Halblei
terbereiche 31 vom p-Typ umgebenen Zone angeordnet.
Mittels der Maskierung mit der Lackstrukturierung 49 wird
die Polysiliziumschicht 48 selektiv weggeätzt, womit eine in
Fig. 5F dargestellte Gateelektrode 8 erhalten wird. Die
ebene Form der Gateelektrode 8 ist einem rechteckigen Ring
angenähert, wobei sich in der Mitte ein Fenster 50 befindet.
Durch den Oxidfilm 44 ist die Gateelektrode 8 elektrisch von
der Schicht 3b vom n⁻-Typ isoliert.
Als nächstes wird eine Lackstrukturierung 51 derart gebil
det, daß jede Fläche außer dem Fenster 50 mit Lackmaterial
bedeckt ist. Verunreinigungsionen vom p-Typ, im Ausführungs
beispiel Bor, werden durch das Fenster 50 in die Schicht 3b vom
n⁻-Typ zur Ausbildung eines Bereiches 52 vom p-Typ inji
ziert. Nach der Entfernung der Lackstrukturierungen 49 und
51 werden die Verunreinigungen in dem Bereich 52 vom p-Typ
thermisch zum Erhalten eines Halbleiterbereiches 5 vom p-Typ
als ein räumlich ausgedehnter Bereich von dem Bereich 52 vom
p-Typ diffundiert. Der Halbleiterbereich 5 vom p-Typ steht
dem Fenster 50 und einem Teil der Gateelektrode 8 gegenüber.
Bei dem in Fig. 5G gezeigten nächsten Schritt wird durch
Bedecken mit Lackmaterial und Strukturierung des Materials
eine Lackschicht 54 mit einem rechteckigen ringähnlichen
Fenster 55 gebildet. Die äußere Peripherie des Fensters 55
wird mit der Position des Fensters 50 der in Fig. 5F gezeig
ten Gateelektrode 8 justiert. Der Oxidfilm 44 gemäß Fig. 5F
wird mittels des Fensters 55 strukturiert, wodurch ein
Gateoxidfilm 7 und ein Oxidfilm 53 in der Mitte erhalten
werden. Daran anschließend werden Verunreinigungsionen vom
n-Typ, im Ausführungsbeispiel Arsen, durch das Fenster 55 in den
Halbleiterbereich 5 vom p-Typ zum Erhalten eines Sourcebe
reiches 6 vom n⁺-Typ diffundiert.
Nach diesem Schritt wird die Lackschicht 54 entfernt, und es
wird ein Siliziumoxidfilm auf der gesamten freiliegenden
Oberfläche gebildet. Kontaktlöcher 56 und 57 werden in
diesem Siliziumoxidfilm gebildet, wodurch ein Teil dieses
Siliziumoxidfilmes auf der Gateelektrode 8 in einem Schicht
isolierfilm 11 gemäß Fig. 5H gebildet wird. Durch Ausbilden
einer Aluminiumschicht und Strukturierung der Schicht werden
aufeinanderfolgend eine Sourceelektrode 10 und eine Drain
elektrode 12 erhalten. Die Sourceelektrode 10 befindet sich
in elektrischem Kontakt sowohl mit dem Sourcebereich 6 vom
n⁺-Typ, als auch mit dem Halbleiterbereich 5 vom p-Typ über
das Kontaktloch 56. Die Drainelektrode 12 befindet sich in
elektrischem Kontakt mit dem Drainbereich 4 vom n⁺-Typ über
das Kontaktloch 57. Auf der rückseitigen Hauptoberfläche des
Siliziumsubstrates 1 wird eine Rückseitenelektrode 13 aus Metall
gebildet.
Die Verteilung in der Ebene der Halbleiterbereiche 31 vom p-
Typ kann auch anders sein als die in Fig. 1A gezeigte Ver
teilung. Beispielsweise weist die in Fig. 6A gezeigte Halb
leiterbereichsgruppe 30 vom p-Typ lediglich vier Halbleiter
bereiche 31 vom p-Typ auf, welche den Ecken 5a eines Paares
von ersten Halbleiterbereichen 5 vom p-Typ gegenüberstehen. Der
Grund besteht darin, daß eine sich in die Halbleiterschicht
3b vom n⁻-Typ erstreckende Verarmungsschicht das größte
elektrische Feld in den Flächen erzeugt, welche diesen Ecken
5a gegenüberstehen.
In Fig. 6B ist eine Halbleiterbereichsgruppe 30 vom p-Typ
gezeigt, welche aus zwei rechteckigen Ringanordnungen von
Halbleiterbereichen 31 vom p-Typ aufweist. Die Bereiche 31,
die zu der inneren rechteckigen Ringanordnung gehören, und
die weiteren Bereiche 31, die zu der äußeren rechteckigen
Ringanordnung gehören, sind in versetzter Weise angeordnet.
Somit wird die Ausdehnungsbreite der Verarmungsschicht wei
ter vergrößert.
Bei einem in Fig. 7A gezeigten MOSFET 210 weist eine Halblei
terbereichsgruppe 34 eine Anordnung von vergrabenen Halblei
terbereichen 32 vom p-Typ auf, welche in der Schicht 3b vom
n⁻-Typ gebildet sind. Wie es in Fig. 7B gezeigt ist, welche
eine entlang der Linie A4-A4 aus Fig. 7A genommene
Schnittansicht darstellt, ist die Eingrabungstiefe der
Bereiche 32 im wesentlichen gleich der Tiefe des Bodens der
Halbleiterbereiche 5 vom p-Typ. In dem Fall, bei dem eine
derartige vergrabene Struktur angewendet ist, besteht ein
Vorteil darin, daß nicht nur die Bereiche 35 (in Fig. 7A)
zwischen den jeweiligen Bereichen 32 vom p-Typ, sondern auch
die Bereiche 36 (in Fig. 7B) zwischen den Bereichen 32 vom
p-Typ und dem Gateisolierfilm 7 den Strompfad zwischen den
kanalbildenden Bereichen 9 und dem Drainbereich 4 vom n⁺-Typ
in dem leitenden Zustand gewährleisten.
Fig. 8A zeigt in einer teilweisen Draufsicht ein Beispiel,
bei dem die vorliegende Erfindung auf einen IGBT (Insulated
Gate Bipolar Transistor) angewendet ist, wobei Fig. 8B eine
entlang der Linie A5-A5 aus Fig. 8A genommene Schnittansicht
darstellt. Eine entlang der Ebene A6-A6 aus Fig. 8B genom
mene Draufsicht entspricht der Fig. 8A. Bei einem IGBT 300
stellt eine Elektrode 316, welche in Kontakt ist mit den ersten
Halbleiterbereichen 5 vom p-Typ und den zweiten Halbleiterbereichen
6 vom n⁺-Typ, eine Emitterelektrode dar. In dem oberen Ober
flächenabschnitt der Schicht 3b vom n⁻-Typ sind eine ring
ähnliche Halbleiterschicht 313 vom n⁺-Typ und eine ringähn
liche Halbleiterschicht 314 vom p⁺-Typ vorgesehen, welche
selektiv hierin ausgebildet sind. Eine Kollektorelektrode
315 befindet sich in elektrischem Kontakt mit der als Kollektorbereich dienenden Halblei
terschicht 314 vom p⁺-Typ über ein Kontaktloch zwischen den
Oxidfilmen 11 und 43. Der IGBT 300 weist ebenfalls eine
Halbleiterbereichsgruppe vom p-Typ auf, welche aus einer
diskreten Anordnung der Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ in
dem oberen Oberflächenabschnitt der Schicht 3b vom n⁻-Typ,
welche die zweiten Bereiche 6 vom n⁺-Typ umgeben, zusammengesetzt
ist. Die Halbleiterbereiche 31 sind zwischen den Bereichen 6
vom n⁺-Typ und der Halbleiterschicht 313 vom n⁺-Typ angeord
net. Somit können die Durchbruch-Eigenschaften auf die
selbe Weise wie bei dem MOSFET 200 verbessert werden. Die
vorliegende Erfindung ist sowohl auf eine unipolare Feld
effekthalbleitervorrichtung, als auch auf eine bipolare
Feldeffekthalbleitervorrichtung anwendbar.
Sowohl bei dem MOSFET als auch bei dem IGBT können die
Halbleiterbereiche 31 vom p-Typ in einer Anordnung miteinan
der verbunden sein. Bei der in Fig. 9 dargestellten Halblei
terbereichsgruppe 39 sind die Halbleiterbereiche 31 vom p-
Typ in der Anordnung über einen ringähnlichen vergrabenen
Halbleiterbereich 38 vom p-Typ miteinander verbunden.
Solange Abstände zwischen benachbarten Halbleiterbereichen
31 vom p-Typ vorgesehen sind, kann der Strompfad in dem lei
tenden Zustand gewährleistet werden.
Claims (19)
1. Feldeffekthalbleitervorrichtung, welche aufweist:
- a) eine Halbleiterschicht eines ersten Lei tungstyps, welche auf einer Hauptoberfläche eines Halbleitersubstrates (1) eines zweiten Leitfähigkeitsty pes gebildet ist;
- b) einen ersten Halbleiterbereich vom zweiten Lei tungstyp, welcher selektiv in einem Oberflächenab schnitt der Halbleiterschicht (3a, 3b) gebildet ist;
- c) einen zweiten Halbleiterbereich (6) des ersten Leitungstyps, welcher selektiv in einem Oberflä chenabschnitt des ersten Halbleiterbereiches (5) gebildet ist;
- d) einen auf einer ersten Fläche einer exponierten Oberfläche des ersten Halbleiterbereiches (5) ge bildeten Isolierfilm (7);
- e) eine auf dem Isolierfilm gebildete Steuerelektrode (8);
- f) eine erste Hauptelektrode (10), welche zur Bedeckung einer zweiten Fläche der exponierten Oberfläche des ersten Halbleiterbereiches (5) und einer exponierten Oberfläche des zweiten Halbleiterberei ches (6) gebildet ist, wobei die zweite Fläche von der ersten Fläche über die exponierte Oberfläche des zweiten Halbleiterbereiches (6) getrennt ist;
- g) eine zweite Hauptelektrode (12), welche auf einer exponierten Oberfläche der Halbleiterschicht (31a, 3b) im Abstand von dem ersten Halbleiterbereich (5) gebildet ist; und
- h) eine Halbleiterbereichsgruppe (30, 34) vom zweiten
Leitungstyp, welche selektiv in einem Abschnitt der
Halbleiterschicht (3a, 3b) zwischen dem ersten
Halbleiterbereich (5) und der zweiten Hauptelektrode
gebildet (12) gebildet ist;
dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterbereichs gruppe (30, 34) aufweist: - (h-1) eine erste diskrete Anordnung von dritten Halbleiterbereichen (31, 32) vom zweiten Lei tungstyp, welche den ersten Halbleiterbereich (5) umgeben.
2. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der erste Halbleiterbereich (5) als Rechteck in einer Ebene parallel zur Hauptoberfläche ausgebildet ist; und
die erste diskrete Anordnung der dritten Halbleiterbe reiche (31) aufweist:
der erste Halbleiterbereich (5) als Rechteck in einer Ebene parallel zur Hauptoberfläche ausgebildet ist; und
die erste diskrete Anordnung der dritten Halbleiterbe reiche (31) aufweist:
- (h-1-1) vierte Halbleiterbereiche (31) vom zweiten Lei tungstyp, die bei Positionen in der Halbleiter schicht (3a, 3b) angeordnet sind, welche den Ecken des Rechtecks gegenüberstehen.
3. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß die erste diskrete Anordnung
der dritten Halbleiterbereiche (31) aufweist:
- (h-1-2) fünfte Halbleiterbereiche (31) vom zweiten Lei tungstyp, die bei Positionen in der Halbleiter schicht (3a, 3b) angeordnet sind, welche zwi schen den vierten Halbleiterbereichen definiert sind.
4. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder
3, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterbereichs
gruppe (30) aufweist:
- (h-2) eine zweite diskrete Anordnung von sechsten Halb leiterbereichen (31) vom zweiten Leitungstyp, die den ersten Halbleiterbereich (5) umgeben und wel che von der ersten diskreten Anordnung der drit ten Halbleiterbereiche (31) umgeben ist. (Fig. 6B).
5. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach Anspruch 4, da
durch gekennzeichnet, daß die dritten Halbleiterbereiche
(31) und die sechsten Halbleiterbereiche (31) ab
wechselnd zu einer versetzten Anordnung in der Ebene
angeordnet sind (Fig. 6B).
6. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder
der dritten Halbleiterbereiche (31) einen Boden in der
Halbleiterschicht (3a, 3b) aufweist und daß die Tiefe
des Bodens im wesentlichen gleich ist mit einer Boden
tiefe des ersten Halbleiterbereiches (5) in der Halb
leiterschicht (3a, 3b).
7. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder
der dritten Halbleiterbereiche (31) an der exponierten
Oberfläche der Halbleiterschicht (3a, 3b) freiliegt.
8. Feldeffekt-Halbleitervorrichtung nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Halbleiterbereichsgruppe (39) aufweist:
einen Halbleiterringbereich (38) vom zweiten Leitungs typ, welcher in der Halbleiterschicht (3a, 3b) vorgesehen ist und die dritten Halbleiterbereiche (31) mitein ander verbindet (Fig. 9).
einen Halbleiterringbereich (38) vom zweiten Leitungs typ, welcher in der Halbleiterschicht (3a, 3b) vorgesehen ist und die dritten Halbleiterbereiche (31) mitein ander verbindet (Fig. 9).
9. Feldeffekthalbleitervorrichtung, welche aufweist:
- a) eine Halbleiterschicht (2, 3b) eines ersten Lei tungstyps, welche auf einer Hauptoberfläche eines Halbleitersubstrats (1) eines zweiten Leitungstyps gebildet ist;
- b) einen ersten Halbleiterbereich (5) vom zweiten Lei tungstyp, welcher selektiv in einem Oberflächenab schnitt der Halbleiterschicht gebildet ist;
- c) einen zweiten Halbleiterbereich (6) vom ersten Lei tungstyp, welcher selektiv in einem Oberflächenab schnitt des ersten Halbleiterbereiches gebildet ist;
- d) einen auf einer ersten Fläche einer exponierten Oberfläche des ersten Halbleiterbereiches (5) ge bildeten Isolierfilm (7);
- e) eine auf dem Isolierfilm gebildete Steuerelektrode (8);
- f) eine erste Hauptelektrode (316), die zur Bedeckung einer zweiten Fläche der exponierten Oberfläche des ersten Halbleiterbereiches und einer exponierten Oberfläche des zweiten Halbleiterbereiches gebildet ist, wobei die zweite Fläche von der ersten Fläche über die exponierte Oberfläche des zweiten Halblei terbereiches getrennt ist;
- g) einen Kollektorbereich (314) vom zweiten Leitungs typ, welcher in einem Oberflächenabschnitt der Halbleiterschicht (2, 3b) im Abstand von dem ersten Halbleiterbereich gebildet ist;
- h) eine auf dem Kollektorbereich gebildete zweite Hauptelektrode (315); und
- i) eine Halbleiterbereichsgruppe (31) vom zweiten Lei
tungstyp, die selektiv in einem Abschnitt der Halb
leiterschicht zwischen dem ersten Halbleiterbereich
und der zweiten Hauptelektrode gebildet ist;
dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterbereichs gruppe aufweist: - (i-1) eine diskrete Anordnung von dritten Halblei terbereichen (31) vom zweiten Leitungstyp, welche den ersten Halbleiterbereich (5) um gibt. (Fig. 8a und 8B).
10. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach Anspruch 9, da
durch gekennzeichnet, daß
der erste Halbleiterbereich (5) als Rechteck in einer Ebene parallel zur Hauptoberfläche geformt ist und
daß die diskrete Anordnung der dritten Halbleiterbereiche (31) aufweist:
der erste Halbleiterbereich (5) als Rechteck in einer Ebene parallel zur Hauptoberfläche geformt ist und
daß die diskrete Anordnung der dritten Halbleiterbereiche (31) aufweist:
- (i-1-1) vierte Halbleiterbereiche (31) vom zweiten Lei tungstyp, welche bei Positionen in der Halblei terschicht angeordnet sind, die den Ecken des Rechtecks gegenüberstehen.
11. Feldeffekt-Halbleitervorrichtung nach Anspruch 10, da
durch gekennzeichnet, daß die diskrete Anordnung der
dritten Halbleiterbereiche aufweist:
- (i-1-2) fünfte Halbleiterbereiche (31) vom zweiten Lei tungstyp, welche bei Positionen in der Halblei terschicht angeordnet sind, die zwischen den vierten Halbleiterbereichen definiert sind.
12. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche
9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der
dritten Halbleiterbereiche (31) einen Boden in der
Halbleiterschicht aufweist und daß die Tiefe des Bodens
im wesentlichen gleich ist mit der Bodentiefe des er
sten Halbleiterbereiches (5) in der Halbleiterschicht
(2, 3b).
13. Feldeffekthalbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche
9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der
dritten Halbleiterbereiche (31) an einer exponierten
Oberfläche der Halbleiterschicht (2, 3b) freiliegt.
14. Verfahren zur Herstellung einer Feldeffekt-Halbleiter
vorrichtung, welche die Schritte aufweist:
- a) Bilden einer Halbleiterschicht (3a, 3b) eines ersten Leitungstyps auf einer Hauptoberfläche eines Halbleitersubstrates (1) eines zweiten Leitungstyps;
- b) selektives Einführen von ersten Verunreinigungen vom zweiten Leitungstyp in die Halbleiterschicht (3a, 3b) zur Ausbildung einer Halbleiterbereichs gruppe vom zweiten Leitungstyp, welche eine vorbe stimmte Zone der Halbleiterschicht (3a, 3b) in einer Ebene umgibt, welche im wesentlichen parallel ist zu der einen Hauptoberfläche;
- c) Bilden einer Steuerelektrodenschicht (8) auf der vorbestimmten Zone der Halbleiterschicht, wobei die Steuerelektrodenschicht durch einen ersten Isolier film (7) von der Halbleiterschicht (3b) elektrisch isoliert ist und ein Fenster (50) aufweist;
- d) Einführen von zweiten Verunreinigungen vom zweiten Leitungstyp durch das Fenster (50) in die Halblei terschicht (3b) zur Ausbildung eines ersten Halb leiterbereiches (5) vom zweiten Leitungstyp in der Halbleiterschicht, wobei der erste Halbleiterbe reich (5) dem Fenster und einem Teil der Steuer elektrodenschicht (8) gegenübersteht;
- e) selektives Einführen von dritten Verunreinigungen vom ersten Leitfähigkeitstyp durch einen Teil (55) des Fensters (50) in den ersten Halbleiterbereich (5) zur Ausbildung eines zweiten Halbleiterbereiches (6) vom ersten Leitungstyp in dem ersten Halblei terbereich (5);
- f) Bilden eines zweiten Isolierfilmes (11), welcher die Steuerelektrodenschicht bedeckt;
- g) Bilden einer ersten Hauptelektrodenschicht (10), welche durch das Fenster in elektrischem Kontakt ist mit jeder exponierten Oberfläche des ersten und des zweiten Halbleiterbereiches; und
- h) Bilden einer zweiten Hauptelektrode (12) auf einer
vorbestimmten Position einer exponierten Oberfläche
der Halbleiterschicht (3a, 3b) mit einem Abstand
von dem ersten Halbleiterbereich (5);
dadurch gekennzeichnet, daß:
der Schritt (b) derart durchgeführt wird, daß die Halbleiterbereichsgruppe eine diskrete Anorn nung von dritten Halbleiterbereichen (31) vom zwei ten Leitungstyp aufweist.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schritt (b) die Schritte aufweist:
- (b-1) Bilden einer ersten Isolierschicht (44) auf der Halbleiterschicht (3a, 3b);
- (b-2) Bilden einer Lackschicht auf der ersten Isolier schicht (44);
- (b-3) selektives Entfernen der Lackschicht zum Erhalten einer ersten Lackstrukturierung (46) mit Fenster öffnungen (47); und
- (b-4) selektives Einführen der ersten Verunreinigungen vom zweiten Leitungstyp in die Halbleiterschicht (3a, 3b) durch die Fensteröffnungen (47) zum Er halten der Halbleiterschicht (3a, 3b) umgibt.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schritt (b-4) den Schritt aufweist:
thermisches Diffundieren der ersten Verunreinigungen vom zweiten Leitungstyp in die Halbleiterschicht (3a, 3b) zum Erhalten der Halbleiterbereichsgruppe.
thermisches Diffundieren der ersten Verunreinigungen vom zweiten Leitungstyp in die Halbleiterschicht (3a, 3b) zum Erhalten der Halbleiterbereichsgruppe.
17. Verfahren nach Anspruch 14, 15 oder 16, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Schritt (c) die Schritte aufweist:
- (c-1) Bilden einer leitenden Schicht auf der ersten Isolierschicht;
- (c-2) Bilden einer zweiten Lackstrukturierung (49) auf der leitenden Schicht; und
- (c-3) selektives Ätzen der leitenden Schicht, während die zweite Lackstrukturierung als eine Maske zum Erhalten der Steuerelektrode (8) verwendet wird.
18. Verfahren nach Anspruch 14, 15, 16 oder 17, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Schritt Schritt (e) die Schritte auf
weist:
- (e-1) Bilden einer dritten Lackstrukturierung (54) auf der ersten Isolierschicht (44), wobei die dritte Lackstrukturierung (54) ein ringförmiges Fenster aufweist;
- (e-2) selektives Ätzen der ersten Isolierschicht (44), während die dritte Lackstrukturierung (54) als eine Maske zum Erhalten eines zweiten ringförmigen Fensters in der ersten Isolierschicht verwen det wird; und
- (e-3) selektives Einführen der dritten Verunreinigungen vom ersten Leitfähigkeitstyp in den ersten Halbleiter bereich durch das zweite ringförmige Fenster der ersten Isolierschicht (7) zur Bildung des zweiten Halbleiterbereiches (6) vom ersten Leitfähigkeitstyp.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch
gekennzeichnet, daß der Schritt (f) die Schritte auf
weist:
- (f-1) Entfernen der dritten Lackstrukturierung (54);
- (f-2) Bilden einer zweiten Isolierschicht auf der Steuer elektrode und in dem Fenster; und
- (f-3) selektives Entfernen der zweiten Isolierschicht zusammen mit einem Teil der ersten Isolierschicht (7), wobei nicht entfernte Teile der ersten Iso lierschicht als der erste Isolierfilm (7) dienen und wobei nicht entfernte Teile der zweiten Iso lierschicht (11) als zweiter Isolierfilm (11), der die Steuerelektrode bedeckt, dienen.
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