DE3912295A1 - Katodenzerstaeubungsanlage - Google Patents

Katodenzerstaeubungsanlage

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Description

Die Erfindung betrifft eine Katodenzerstäubungsanlage zur Beschichtung von Substraten in einer Vakuumkammer, in der ein rotierender Substratträger untergebracht ist, mit mindestens einer Katodenstation, einer Beladestation und Entladestation.
In der Vakuumverfahrenstechnik, insbesondere in der Dünn­ schichttechnik ist das Beschichten von Substraten, beispielsweise von Compactdisks (CD) bekannt. Die Compact­ disks sind ein modernes Speichermedium für digitale Infor­ mationen. In einem Sputterprozeß werden die geprägten Kunststoffscheiben mit beispielsweise einer Aluminium­ schicht von weniger als einem zehntausendstel Millimeter überzogen. Die hierzu eingesetzten Sputterbeschichtungs­ anlagen sind ringförmig aufgebaut. Über eine Schleuse in einem Sauberraum lädt und entlädt ein Roboter die Anlage. Von der Schleuse aus transportiert ein Substrat­ träger die Substrate durch die ringförmige Prozeßkammer. Das Besputtern erfolgt durch eine Hochleistungszerstäu­ bungskatode, die als Magnetron aufgebaut ist.
Eine solche Anlage wird beispielsweise in dem Prospekt 12-710.01 der ehemaligen Leybold-Heraeus GmbH beschrieben. Dieses bekannte Katodenzerstäubungssystem dient zur einseitigen Beschichtung mit einer laserreflektierenden Aluminiumschicht. Die Anlage hat eine ringförmige, hori­ zontal angeordnete Vakuumkammer mit Be- und Entladesta­ tion, Hochleistungszerstäubungskatode, Transportring mit Plattenaufnahme und dynamischen Schleusen zur Drucktrennung zwischen Beschichtungskammer und Be- und Entladestation.
Der Erfindung liegen folgende Aufgaben zugrunde: Mit der Erfindung soll die Möglichkeit geschaffen werden, an der Prozeß-, beziehungsweise Vakuumkammer, mehr Katodenstationen, Meßstationen und Stationen mit anderen Funktionen, wie Be- und Entladen der Anlage, unterzubrin­ gen, als dies bei Anlagen des Standes der Technik möglich ist. Es soll eine raumsparende Lösung geschaffen werden. Die Anschlüsse für Vakuum, Kühlwasser, Strom und Druckluft sollen extrem kurz werden. Das zur Halterung der Anlage notwendige Gestell, beziehungsweise Rahmen oder Ständer, soll gleichzeitig als Träger für die Versorgungsleitungen dienen. Es sollen Voraussetzungen für einen extrem kleinen Sauberraum geschaffen werden.
Es soll eine Katodenzerstäubungsanlage geschaffen werden, deren Prozeßkammer von allen Seiten leicht zugänglich ist. Insbesondere sollen die Wartungs-, Austausch- und Reparaturarbeiten von den beiden großen Seitenflächen der Vakuumkammer einfacher als beim Stand der Technik durchgeführt werden können.
Die Anlage soll nur eine kleine Stellfläche in Anspruch nehmen. Insbesondere soll es möglich sein, eine unmittel­ bare Kopplung im Fertigungsfluß der Katodenzerstäubungs­ anlage mit anderen Fertigungsanlagen herzustellen.
Die Erfindung macht es sich weiterhin zur Aufgabe, einen verbesserten Schutz gegen das Besputtern von Teilen der Transportvorrichtung für die Substrate zu erzielen. Außerdem soll die Abdichtung der Be- und Ent­ ladestation von dem übrigen Teil der Prozeßkammer verbes­ sert werden.
Es gehört weiterhin zur Aufgabe, die Transportvorrichtung für die Substrate leicht zu gestalten, damit kein großer Antrieb im Vakuum der Prozeßkammer notwendig ist.
Ein wesentlicher Teil der Aufgabe besteht darin, daß eine sehr gute, sichere Trennung des Katodenraums während des Sputtervorgangs vom übrigen Vakuumraum der Anlage erzielt wird.
Ein weiterer wesentlicher Teil der Aufgabenstellung besteht darin, daß die bisher bekannten Transportmittel für die Substrate, wie Transportplatten mit Substratauf­ nahmevorrichtungen, überflüssig werden. Diese Transport­ mittel des Standes der Technik bedürfen einer sehr aufwen­ digen und genauen Bearbeitung, sie sind daher sehr teuer.
Die gestellten Aufgaben werden erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Substratträger aus mindestens einer Trans­ portkelle besteht.
Dabei kann vorgesehen werden, daß die Transportkelle einen Substrataufnahmekörper (Aufnahmekörper) umfaßt, der vorzugsweise in Richtung der Achse der Katodenstation, beziehungsweise der Beladestation, beziehungsweise der Entladestation, bewegbar ist.
Als besonders zweckmäßig hat sich herausgestellt, daß die Transportkelle aus einem vorzugsweise kreisscheiben­ förmig ausgebildeten Substrataufnahmekörper und einem Arm besteht, der so ausgebildet und angeordnet ist, daß der Aufnahmekörper in Hinsicht auf die mit ihm zusammen­ wirkenden Teilen der Anlage, wie Teilen der Zerstäubungs­ katode, Teilen der Beladestation, Teilen der Entladesta­ tion während seiner Bewegung stets parallel zu diesen Teilen ausgerichtet ist.
In Fortführung dieses Gedankens wird vorgeschlagen, daß der Arm elastisch beweglich, insbesondere als federndes Bauteil ausgebildet ist.
Konkretisiert wird dieser Gedanke dadurch, daß der Arm ein Führungssystem, bestehend aus zwei parallel zueinander angeordneten Armelementen, aufweist, daß die Armelemente aus Blattfedern bestehen.
Eine saubere Trennung des Raums der Katodenstation wird dadurch erreicht, daß der Substrataufnahmekörper gegen die Katodenstation anpreßbar ausgebildet ist, daß ein Druckorgan für die Anpressung vorgesehen ist.
Eine Konzentration des Sputtermaterials auf das Substrat wird möglich gemacht, indem zwischen Katode einerseits und dem Substrataufnahmekörper und Substrat andererseits eine Maske angeordnet wird, auf die der Aufnahmekörper und das Substrat durch das Druckorgan anpreßbar sind.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird vorgesehen, daß Teile der Katodenstation, insbesondere der Maske, des Substrataufnahmekörpers und des vorzugsweise als Druckplatte ausgebildeten Druckorgans einen Vakuumraum bilden, der vakuumdicht trennbar ist gegenüber dem restlichen Teil der Vakuumkammer der Kato­ denzerstäubungsanlage.
Das erfinderische Grundprinzip kann in der Weise angewen­ det werden, daß der Substrataufnahmekörper gegen Teile der Beladestation anpreßbar ausgebildet ist und daß ein Druckorgan für die Anpressung vorgesehen ist.
In gleicher Weise kann vorgesehen werden, daß der Sub­ strataufnahmekörper gegen Teile der Entladestation anpreßbar ausgebildet ist und daß ein Druckorgan für die Anpressung vorgesehen ist.
Um die Transportkellen in Rotationsbewegung zu setzen, wird vorgeschlagen, daß für eine oder mehrere Transport­ kellen eine in Bezug auf die Katodenzerstäubungsanlage zentral angeordnete Antriebsvorrichtung vorgesehen ist, die die Transportkelle um einen bestimmten Winkel schritt­ weise in der Vakuumkammer der Katodenzerstäubungsanlage weitertransportiert.
Der Grundgedanke der Erfindung kann bei Vakuumkammern angewendet werden, die waagerecht oder in einer anderen Stellung montiert sind. In einem bevorzugten Ausführungs­ beispiel wird vorgeschlagen, daß die Vakuumkammer der Katodenzerstäubungsanlage senkrecht angeordnet ist, daß die Transportkelle, beziehungsweise die Transportkellen um eine waagerecht angeordnete Achse rotieren.
Um den im Bereich des Substrataufnahmekörpers auftretenden Gasströmen einen geringen Strömungswiderstand zu bieten und um die Kelle insgesamt leicht zu gestalten, wird vorgeschlagen, daß der Substrataufnahmekörper im wesent­ lichen die Form einer kreisförmigen Platte aufweist, die vorzugsweise mit kreisförmigen Ausnehmungen versehen ist.
Mit der Erfindung werden folgende Vorteile erzielt:
Die gestellten Aufgaben werden gelöst. Es wird eine sehr gute, sichere Trennung des Katodenraums während des Sputtervorgangs vom Vakuumraum der Anlage erzielt. Die bisher bekannten Transportmittel für die Substrate, wie Transportplatten mit eingebauten Substrataufnahmevor­ richtungen, deren Bearbeitung sehr aufwendig und sehr teuer ist, werden überflüssig. Durch das Kellenprinzip zusammen mit der senkrechten Anordnung der Vakuumkammer werden ausgezeichnete Voraussetzungen dafür geschaffen, daß eine Vielzahl von Stationen (Katodenstationen, Meß­ stationen, Ent- und Beladestation u.a.) untergebracht werden können. Die Anlage wird also in einem Höchstmaß ausgenutzt.
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung zu entnehmen. Diese Ausführungsbeispiele werden anhand von sieben Figuren erläutert.
Fig. 1 zeigt in axonometrischer Darstellung ein Ausfüh­ rungsbeispiel der erfindungsgemäßen Katodenzerstäubungs­ anlage.
Fig. 2 zeigt in einem Schnittbild einen Teilbereich der Zerstäubungskatode der Anlage nach Fig. 1.
Die Fig. 3 bis 5 zeigen eine Transportkelle.
Fig. 6 zeigt einen Teilbereich der Entladestation der Anlage nach Fig. 1.
Fig. 7 zeigt einen Teilbereich der Ladestation der Anlage nach Fig. 1.
Aus Fig. 1 ist die kreisscheibenförmige Ausgestaltung der Vakuumkammer, die mit 1 bezeichnet ist, erkennbar. Die Vakuumkammer ist in einem Rahmen oder Ständer 2 unter­ gebracht. Mit 3 ist die Gesamtheit der Beladestation bezeichnet. 4 kennzeichnet die Gesamtheit der Entladesta­ tion. Mit 5 ist eine geöffnete Katodenstation bezeichnet. Die Beladestation, Entladestation und die Katodenstation werden anhand der weiteren Figuren beschrieben.
In Fig. 1 ist die Vakuumkammer 1 teilweise geöffnet gezeichnet, so daß eine Transportkelle sichtbar wird. Sie besteht aus dem Arm 6 und dem Substrataufnahmekörper 7. Der Arm ist an einer zentralen Scheibe (Transportschei­ be) 8 angeordnet. Die Scheibe wird von einer Antriebsvor­ richtung 9 entsprechend dem Pfeil 10 um einen bestimmten Winkel schrittweise von Station zu Station gedreht. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist die Antriebsvorrichtung 9 zentral in Bezug auf die Vakuumkammer angeordnet. Mit 11 ist die zentrale Achse der Vakuumkammer bezeichnet.
Fig. 1 zeigt mehrere Katodenstationen und mehrere Meß­ stationen zur Überprüfung der Arbeitsweise der Anlage. Die Fig. 2 zeigt Einzelheiten einer Katodenstation. Die Gesamtheit der Katode ist mit 12 bezeichnet. Sie umfaßt das Target, das mit 13 gekennzeichnet ist. Es handelt sich um eine Hochleistungskatode (Magnetronka­ tode).
Während des Betriebs der Katode bildet sich im Bereich 14 vor der Katode ein Plasma, das durch das Magnetfeld der Magnetronkatode verdichtet wird. Aus dem Plasma heraus bombardieren positiv geladene Ionen das Target. Aus dem Target werden Materialpartikel gesputtert. Das Sputterma­ terial gelangt auf das Substrat, das in Fig. 2 mit 15 bezeichnet ist. Zwischen der Katode 12 einerseits und dem Substrat 15 und dem Substrataufnahmekörper 16 anderer­ seits ist eine Maske 17 angeordnet.
Während des Sputtervorgangs wird durch die Druckplatte 18 der Substrataufnahmekörper 16 und das Substrat in Richtung des Pfeils 20 gegen die Maske gepreßt.
In dieser Situation wird das Sputtermaterial auf das Substrat konzentriert. Andererseits wird vermieden, daß der Substrataufnahmekörper und andere Teile der Transport­ kelle besputtert werden. Durch die konische Form der Oberfläche 21 der Maske werden der Substrataufnahmekörper und die anderen Teile der Transportkelle abgeschattet. Gleichzeitig wird eine gute Schichtdickengleichmäßigkeit erzielt. Mit 19 ist der Antrieb für die Druckplatte 18 bezeichnet. Der Antrieb ist mittels O-Ring 22 an der Wand der Vakuumkammer abgedichtet.
Die Wände 23, 24, 25 der Katodenstation, die Katode selbst, die Maske 17, der Substrataufnahmekörper 16 und die Druckplatte 18 bilden während des Sputtervorgangs einen isolierten Vakuumraum 27, der gegenüber dem rest­ lichen Vakuumraum 26 der Katodenzerstäubungsanlage getrennt ist.
Mit 28 ist ein Vakuumanschluss bezeichnet, der zur Eva­ kuierung des soeben beschriebenen isolierten Katodenva­ kuumraums 27 dient. Mit 29, 30, 31, 32 sind O-Ringe bezeichnet, die der Abdichtung des Katodenvakuumraums dienen.
In Fig. 2 sind die Wände 33, 34 der Vakuumkammer der Katodenzerstäubungsanlage dargestellt. 35 ist eine Antriebsscheibe, beziehungsweise Transportscheibe, für den Arm der Transportkelle. Die Transportkelle selbst besteht aus einem Arm und dem beschriebenen Substratauf­ nahmekörper. Der Arm besteht aus zwei Armelementen 36, 37, die als Blattfedern ausgebildet sind. Die Blattfedern sind, wie aus Fig. 2 ersichtlich, parallel angeordnet.
Durch diese parallele Anordnung beschreibt der Substrat­ aufnahmekörper 16 eine parallele Bewegung während des Anpreßvorgangs, die man als "paralleles Versetzen" bezeichnen kann. Außerdem sind die Blattfedern 36, 37 so lang ausgebildet, daß keine nennenswerte Verkürzung des Kellenarms, beziehungsweise des Radiusses eintritt, das heißt, in Radialrichtung gibt es keinen nennenswerten Versatz.
Alternative Ausführungsformen in Hinsicht auf die parallele Anordnung zweier Blattfedern sind möglich. Es kommt in jedem Fall darauf an, daß zwei parallele Armelemente so angelenkt sind, daß der flächige Substrat­ aufnahmekörper 16 in Hinsicht auf die mit ihm zusammen­ wirkenden, beziehungsweise an ihn anliegenden flächigen Teile der Druckplatte 18 und der Maske 17 während seiner Bewegung stets parallel ausgerichtet bleibt.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist 11 die Rotationsachse, um die die Transportkellen in Takten, das heißt, schritt­ weise rotieren. Antriebsorgan ist eine innere Scheibe (Transportscheibe) 8. In der Ausführungsform gemäß Fig. 2 trägt diese Transportscheibe die Bezugsziffer 35. Die Bewegung, beziehungsweise das Takten um einen gewissen Winkel, wird mit hoher Genauigkeit durch einen Präzisions­ schalttisch bewirkt, wie er beispielsweise im Werkzeug­ maschinenbau eingesetzt wird.
Das Substrat wird durch die Transportkelle schrittweise von der Einschleusstation, beziehungsweise Ladestation, zu den Katodenstationen der Anlage transportiert.
Während des Sputtervorgangs wird durch die Erfindung eine sichere Trennung zwischen den Katodenvakuumräumen und dem restlichen Vakuumraum der Anlage gewährleistet.
Das Substrat kann einseitig oder beidseitig beschichtet werden. Bei einer beidseitigen Beschichtung ist in einer Station eine Katode gemäß Fig. 2 an der Vakuumkammerwand angeordnet, in einer weiteren Station wird eine Anordnung vorgesehen, die der der Fig. 2 entspricht, jedoch ist dann die Katode links angeordnet.
Das Substrat kann im Substrataufnahmekörper entweder in der Mitte über ein Zentralloch gehalten werden oder es kann, wie in Fig. 2 gezeigt, am äußeren Umfang einge­ klemmt sein.
Die Fig. 3 bis 5 zeigen die Transportkelle, die aus dem Substrataufnahmekörper, der in diesem Ausführungsbei­ spiel mit 38 bezeichnet ist, und dem Arm, der in seiner Gesamtheit mit 39 bezeichnet ist, besteht. Der Arm selbst wird aus zwei Blattfedern 40, 41 gebildet, siehe Fig. 5.
Die Fig. 5 ist ein Schnittbild entsprechend der Schnitt­ linie V/V der Fig. 3. Aus Fig. 5 ist ersichtlich, daß das Substrat, in diesem Ausführungsbeispiel mit 42 bezeichnet, an der rechten Oberfläche des Substratauf­ nahmekörpers angeordnet ist.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist eine andere Position für das Substrat vorgesehen. Nach Fig. 2 ist das Substrat nicht auf einer Oberfläche des Substratauf­ nahmekörper positioniert, sondern in der Mitte des Substrataufnahmekörpers.
Fig. 4 zeigt schematisch die Transportkelle nach Fig. 3, nachdem sie durch das Schrittgetriebe 9, siehe Fig. 1, um einen Schritt, beziehungsweise um eine Teilung, weitertransportiert worden ist, und zwar in Richtung des Pfeils 43.
Mit 44, 45 sind in Fig. 5 je ein O-Ring bezeichnet, die die Funktion des Abdichtens des vom restlichen Vakuum­ raum 26 der Katodenzerstäubungsanlage während des Sputter­ vorgangs abgetrennten Katodenvakuumraums 27 durchführen.
Aus Fig. 3 sind sechs kreisförmige Ausnehmungen erkenn­ bar, von denen eine mit 46 bezeichnet ist. Durch sie wird das Gewicht des Substrataufnahmekörpers reduziert. Außerdem wird der Strömungswiderstand für durchströmendes Gas durch die Ausnehmungen reduziert.
In Fig. 6 ist eine Entladestation gezeigt. Mit 47, 48 sind die Wände der Vakuumkammer 49 der Anlage bezeichnet. 50 ist die Transportscheibe, die vom Schrittgetriebe angetrieben wird. Mit 51, 52 sind die beiden Blattfedern des Arms der Transportkelle bezeichnet. 53 ist der Substrataufnahmekörper. Das Substrat selbst trägt das Bezugszeichen 54. Über die Anpreßvorrichtung 55 wird der Substrataufnahmekörper gegen die Wand 47 gepreßt. Anschließend wird das beschichtete Substrat entnommen.
Fig. 7 zeigt eine Ladestation. Es ist erkennbar, daß durch die Anpreßvorrichtung 56 der Substrataufnahmekörper 57 sich im gegen die Wand 58 angepreßten Zustand befin­ det. Die zweite Wand der Vakuumkammer der Anlage trägt das Bezugszeichen 59. Die Transportscheibe ist mit 60 bezeichnet. 61, 62 sind die beiden Blattfedern des Arms des Substrataufnahmekörpers 57. In dieser Position des Substrataufnahmekörpers kann dieser mit einem zu beschichtenden Substrat beladen werden.
Liste der Einzelteile:
 1 Vakuumkammer
 2 Rahmen, Ständer
 3 Beladestation
 4 Entladestation
 5 Katodenstation
 6 Arm
 7 Substrataufnahmekörper
 8 Transportscheibe
 9 Antriebsvorrichtung, Schrittgetriebe
10 Pfeil
11 Achse
12 Kathode
13 Target
14 Bereich, Plasma
15 Substrat
16 Substrataufnahmekörper
17 Maske
18 Druckplatte, Druckorgan
19 Antrieb
20 Pfeil
21 Oberfläche
22 O-Ring
23 Wand
24 Wand
25 Wand
26 Vakuumraum
27 Vakuumraum
28 Vakuumanschluß
29 O-Ring
30 O-Ring
31 O-Ring
32 O-Ring
33 Wand
34 Wand
35 Antriebsscheibe, Transportscheibe
36 Armelement, Blattfeder
37 Armelement, Blattfeder
38 Substrataufnahmekörper, Platte
39 Arm
40 Blattfeder
41 Blattfeder
42 Substrat
43 Pfeil
44 O-Ring
45 O-Ring
46 Ausnehmung
47 Wand
48 Wand
49 Vakuumkammer
50 Transportscheibe
51 Blattfeder
52 Blattfeder
53 Substrataufnahmekörper
54 Substrat
55 Anpreßvorrichtung
56 Anpreßvorrichtung
57 Substrataufnahmekörper
58 Wand
59 Wand
60 Transportscheibe
61 Blattfeder
62 Blattfeder

Claims (13)

1. Katodenzerstäubungsanlage zur Beschichtung von Substraten in einer Vakuumkammer, in der ein rotierender Substratträger untergebracht ist, mit mindestens einer Katodenstation, einer Beladestation und Entladestation, dadurch gekennzeichnet, daß der Substratträger aus mindestens einer Transportkelle besteht.
2. Katodenzerstäubungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportkelle einen Substrat­ aufnahmekörper (Aufnahmekörper) (16) umfaßt, der vorzugs­ weise in Richtung der Achse der Katodenstation, bezie­ hungsweise der Beladestation, beziehungsweise der Entlade­ station, bewegbar ist.
3. Katodenzerstäubungsanlage nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Transkortkelle aus einem vorzugsweise kreisscheibenförmig ausgebildeten Substrataufnahmekörper (16) und einem Arm besteht, der so ausgebildet und angeordnet ist, daß der Aufnahmekörper (16) in Hinsicht auf die mit ihm zusammenwirkenden Teilen der Anlage, wie Teilen der Zerstäubungskatode, Teilen der Beladestation, Teilen der Entladestation während seiner Bewegung stets parallel zu diesen Teilen ausgerichtet ist.
4. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Arm elastisch beweglich, insbesondere als federn­ des Bauteil ausgebildet ist.
5. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Arm ein Führungssystem, bestehend aus zwei parallel zueinander angeordneten Armelementen, aufweist, daß die Armelemente aus Blattfedern (36, 37) bestehen.
6. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahmekörper (16) gegen die Katoden­ station anpreßbar ausgebildet ist, daß ein Druckorgan (18) für die Anpressung vorgesehen ist.
7. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Katode einerseits und dem Substrataufnahme­ körper und Substrat andererseits eine Maske (17) angeord­ net ist, auf die der Aufnahmekörper (16) und das Substrat (15) durch das Druckorgan (18) anpreßbar sind.
8. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Teile der Katodenstation, insbesondere der Maske (17), des Substrataufnahmekörpers (16) und des vorzugsweise als Druckplatte ausgebildeten Druckorgans (18) einen Vakuumraum (27) bilden, der vakuumdicht trenn­ bar ist gegenüber dem restlichen Teil der Vakuumkammer (26) der Katodenzerstäubungsanlage.
9. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahmekörper (57) gegen Teile der Beladestation anpreßbar ausgebildet ist, daß ein Druck­ organ (56) für die Anpressung vorgesehen ist.
10. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahmekörper (53) gegen Teile der Ent­ ladestation anpreßbar ausgebildet ist, daß ein Druckorgan (55) für die Anpressung vorgesehen ist.
11. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für eine oder mehrere Transportkellen eine in Bezug auf die Katodenzerstäubungsanlage zentral angeordnete Antriebsvorrichtung (9) vorgesehen ist, die die Trans­ portkelle um einen bestimmten Winkel schrittweise in der Vakuumkammer (1) der Katodenzerstäubungsanlage weitertransportiert.
12. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumkammer (1) der Katodenzerstäubungsanlage senkrecht angeordnet ist, daß die Transportkelle, bezie­ hungsweise die Transportkellen um eine waagerecht angeord­ nete Achse (11) rotieren.
13. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahmekörper im wesentlichen die Form einer kreisförmigen Platte (38) aufweist, die vorzugsweise mit kreisförmigen Ausnehmungen (46) versehen ist.
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