DE3538743A1 - Magnetkopf einer zusammensetzung aus mehreren komponenten und verfahren zur herstellung eines solchen magnetkopfes - Google Patents

Description

VICTOR COMPANY OF JAPAN, LTD., Yokohama, Japan

Magnetkopf einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten und Verfahren zur Herstellung eines solchen Magnetkopfes

Die vorliegende Erfindung geht aus von einem Magnetkopf einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten gemäß den Merkmalen im Oberbegriff des Anspruchs 1 und betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Magnetkopfes und betrifft insbesondere Magnetköpfe einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten, im folgenden kurz Kompoundmagnetkopf genannt, zum Ausführen magnetischer Aufzeichnung und Wiedergabe und ein Herstellungsverfahren für einen solchen Magnetkopf.

Ein Magnetkopf, der eine Aufzeichnung und Wiedergabe von einem Signal bezüglich eines magnetischen Aufzeichnungsmediums einer hohen Koerzitivkraft, wie z.B. eines Metallbandes, ausführt, muß bei der Aufzeichnung eine hohe Sättigungsflußdichte haben und bei der Wiedergabe insbesondere im Hochfrequenzbereich eine hohe Permeabilität haben, um eine ausreichende Wiedergabeempfindlichkeit zu erzielen. Es ist bekannt, daß ein Magnetkopf mit einer hohen Sättigungsflußdichte hergestellt werden kann, indem ein magnetisches metallisches Material wie Sendust (registriertes Warenzeichen) und amorphe Metalle zur Herstellung des Magnetkopfes benutzt werden. Andererseits ist es auch bekannt, daß ein Magnetkopf mit einer hohen Permeabilität herstellbar ist, indem ein magnetisches Ferrit zur Herstellung des Magnetkopfes benutzt wird.

Wird jedoch der Magnetkopf im wesentlichen aus magnetischem metallischen Material hergestellt, so ist es zwar möglich, eine zufriedenstellende Aufzeich-

nungscharakteristik zu erzielen, jedoch ist der elektrische Widerstand des magnetischen metallischen Materials bei der Wiedergabe klein, und die Permeabilität nimmt entsprechend aufgrund von Wirbelströmen ab. Infolgedessen ergibt sich bei der Wiedergabe eine Verschlechterung in der Permeabilität insbesondere im Hochfrequenzbereich, und es ist unmöglich, eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik zu erzielen. Ist andererseits der Magnetkopf im wesentlichen aus einem magnetischen Ferrit hergestellt, ist es zwar möglich, eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik zu erzielen, jedoch unmöglich, eine zufriedenstellende Aufzeichnungscharakteristik zu erzielen.

Um daher sowohl eine zufriedenstellende Aufzeichnungscharakteristik und auch eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik zu erzielen, wurden verschiedenste Arten von Kompoundmagnetköpfen vorgeschlagen» In der vorliegenden Anmeldung bezeichnet ein "Kompound- oder Kompositmagnetkopf" einen Magnetkopf, der aus mehreren Komponenten zusammengesetzt ist und aus einem magnetischen metallischen Material und einem magnetischen Ferrit hergestellt ist.

Ein erster bekannter gebräuchlicher Kompoundmagnetkopf weist ein Paar von Magnetkopfkemhälften auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind, und wird weiter unten in der Figurenbeschreibung näher erläutert. In einem Bereich dieses Magnetkopfes, in dem ein Spalt ausgebildet ist, ist jede dieser Magnetkopfkemhälften auf angenähert die Spurbreite verjüngt, und ein aus einem magnetischen metallischen Material hergestellter Film ist auf einem vorderen Endbereich des verjüngten Bereichs der Magnetkopfkernhälfte ausgebildet. Das Paar von Magnetkopfkemhälften ist mit einem Spaltglied miteinander verbunden, welches zwischen den jeweiligen magnetischen Metallfilmen liegt. Entspre-

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chend dieser ersten Art von gebräuchlichen Magnetköpfen ist der Spalt durch die aus magnetischem metallischem Material hergestellten magnetischen Metallfilae gebildet, so daß es möglich ist, eine hohe Sättigungsflußdichte zu erzielen. Da Jedoch die Filmdicken der magnetischen Metallfilme extrem klein sind, ist der Magnetkopf während der Aufzeichnung in einem Zustand nahe der Sättigungsmagnetisierung. Aus diesem Grund besteht der Nachteil, daß die AufzeichnungsCharakteristik nicht merklich verbessert ist. Darüber hinaus existiert eine Begrenzung zwischen den Magnetkopfkernhälften und dem magnetischen Metallfilm auf dem vorderen Endbereich des verjüngten Bereichs der Magnetkopfkemhälfte, wobei diese Begrenzung parallel zu dem Spalt ist. Aus diesem Grund wirkt die Begrenzung wie ein Pseudospalt. Folglich besteht ein weiterer Nachteil darin, daß die Aufzeichnungs- und Wiedergabecharakteristik durch diesen Pseudospalt verschlechtert ist.

Andererseits gibt es eine zweite Art von gebräuchlichem Kompoundmagnetkopf, der ebenfalls ein Paar von Magnetkopfkernhälften aus einem magnetischen Ferrit aufweist und der im Zusammenhang mit der Figurenbeschreibung an Hand der Zeichnungen näher erläutert wird. Bei diesen! Magnetkopf ist jede Magnetkopfkernhälfte auf eine Breite verjüngt, die im Bereich des Magnetkopfes, in dem der Spalt ausgebildet ist, schmaler als die Spurbreite ist. Ein aus einem magnetischen metallischen Material hergestellter Film ist auf einem Scheitelbereich und geneigten Oberflächen des verjüngten Bereichs der Magnetkopfkernhälfte ausgebildet. Das Paar von Magnetkopfkernhälften ist miteinander mit einem Spaltglied verbunden, das zwischen den jeweiligen magnetisehen Metallfilmen liegt, die auf den Scheitelbereichen der verjüngten Bereiche ausgebildet sind. Betrachtet man die magnetischen Metallfilme dieses Magnetkopfes

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von einer Kontaktfläche aus, die mit einem magnetischen Aufzeichnungsmedium (beispielsweise einem Magnetband) in Gleitkontakt kommt, so bilden diese Metallfilme angenähert die Form eines X. Entsprechend dieser zweiten Art von gebräuchlichem Magnetkopf ist eine Begrenzung zwischen der Magnetkopfkernhälfte und dem magnetischen Metallfilm auf dem Scheitelbereich des verjüngten Bereiches nicht parallel zu dem Spalt, so daß der Nachteil des Pseudospaltes nicht auftritt. Jedoch ist die Oberfläche des magnetischen Metallfilmes auf dem Scheitelbereich des verjüngten Bereiches nicht flach, und diese Oberfläche wird vor dem Zusammenfügen des Paares von Magnetkopfkernhälften geläppt und abgeflacht. Wird die Oberfläche des magnetischen Metallfilmes derart geläppt, so ändert sich die Spurbreite und es ist außerordentlich schwer, die Spurbreite auf eine gewünschte Spurbreite zu regeln. Wird die Kontaktfläche nach dem Zusammenfügen der Magnetkopfkernhälften begradigt oder geläppt, so daß die Kontaktfläche eine gewünschte Krümmung aufweist, so ändert sich die Spurbreite aufgrund dieser Läppung ebenfalls. Infolgedessen ist es außerordentlich schwierig, eine genaue Einstellung der gewünschten Spurbreite zu erzielen. Da sich darüber hinaus die Spurbreite bei der Durchführung der Läppung ändert, ist die Produktivität des Magnetkopfes schlecht, und die Herstellungskosten sind daher hoch.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Magnetkopf einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten ausgehend von den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten anzugeben, durch die die zuvor beschriebenen Nachteile beseitigt sind. 35

Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand der Ansprüche 1 und 7 gelöst.

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-Ίθ-

Der erfindungsgemäße Kompoundmagnetkopf veist eine erste und eine zweite Magnetkopfkernhälfte auf, die jeweils aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind, ein Spaltglied, das zwischen der ersten und zweiten Magnetkopfkernhälfte liegt, einen ersten verjüngten Bereich, der auf der ersten Magnetkopfkernhälfte ausgebildet ist und zu dem Spaltglied hin verjüngt ist, wobei dieser Bereich durch erste und zweite kurvenförmige Vertiefungen ausgebildet ist, ferner einen zweiten verjüngten Bereich, der auf der zweiten Magnetkopfkernhälfte ausgebildet ist, zu dem Spaltglied hin verjüngt ist und durch dritte und vierte kurvenförmige Vertiefungen ausgebildet ist, einen ersten Film aus einem magnetischen metallischen Material, der auf einem Oberflächenbereich der ersten kurvenförmigen Vertiefung ausgebildet ist, und einen zweiten Metallfilm aus einem magnetischen metallischen Material, der auf einem Oberflächenbereich der dritten kurvenförmigen Vertiefung ausgebildet ist. Dabei weisen der erste und der zweite Film Filmdicken auf, die gleich einer gewünschten Spurbreite in einem Bereich sind, in dem der erste und zweite Film in Kontakt mit dem Spaltglied kommen und einen Spalt des Magnetkopfes ausbilden. Der erfindungsgemäße Magnetkopf liefert sowohl eine zufriedenstellende Aufzeichnungscharakteristik als auch eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik. Außerdem ist es möglich, die Spurbreite des Magnetkopfes auf einen gewünschten Wert genau einzustellen.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten weist Verfahrensschritte auf, in denen zunächst auf einer ersten Blockhälfte aus magnetischem Ferrit mit einem vorbestimmten Intervall erste kurvenförmige Vertiefungen ausgebildet werden und anschließend zweite kurvenförmige Vertiefungen auf einer zweiten

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Blockhälfte aus diesem magnetischen Ferrit ausgebildet werden, ein erster Film aus einem magnetischen metallischen Material auf jeder ersten kurvenförmigen Vertiefung und ein zweiter Film aus diesem magnetischen metallischen Material auf jeder zweiten kurvenförmigen Vertiefung ausgebildet werden, eine Glasfüllung über die ersten und zweiten Filme in die ersten und zweiten kurvenförmigen Vertiefungen gefüllt wird, die Oberflächen der ersten und zweiten Blockhälften, die Spaltflächen bilden, geläppt werden, dritte kurvenförmige Vertiefungen auf der ersten Blockhälfte derart angrenzend an die ersten kurvenförmigen Vertiefungen ausgebildet werden, daß der erste Film über einen vorbestimmten Bereich in einer Umgebung der Spaltfläche freiliegt, und vierte kurvenförmige Vertiefungen auf der zweiten Blockhälfte derart angrenzend an die zweiten kurvenförmigen Vertiefungen ausgebildet werden, daß der zweite Film über einen vorbestimmten Bereich in einer Umgebung der Spaltfläche freiliegt, ein Block hergestellt wird, indem die erste und zweite Blockhälfte mit einem Spaltglied zusammengefügt werden, das zwischen den Spaltflächen liegt, so daß die Filmdicken der ersten und zweiten Filme in Bereichen, in denen Spalte des Magnetkopfes ausgebildet sind, in ihrer Lage zusammenfallen, und abschließend dieser Block scheibenweise in mehrere Magnetköpfe zerteilt wird. Mit diesem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich, mit zufriedenstellender Produktivität Kompoundmagnetköpfe herzustellen, die Spurbreiten aufweisen, die exakt auf eine gewünschte Spurbreite festgelegt sind, so daß die Magnetkopf e sowohl eine zufriedenstellende Aufzeichnungsais auch Wiedergabecharakteristik aufweisen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

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la folgenden wird die Erfindung an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:

F I G . 1A und 1B eine perspektivische Ansicht und eine vergrößerte teilweise Aufsicht eines Beispiels von einem bekannten gebräuchlichen Kompoundmagnetkopf;

FIG. 2A und 2B eine perspektivische Ansicht und eine vergrößerte teilweise Aufsicht eines weiteren Beispiels von einem bekannten gebräuchlichen Kompoundmagnetkopf ;

FIG. 3A und 3B eine perspektivische Ansicht und eine vergrößerte teilweise Aufsicht eines Ausführungsbeispieles des erfindungsgeaäßen Kompoundmagnetkopfes; und

F I G . 4 bis 9 Blockhälften, die ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung des erfindungsgemäßen Kompoundmagnetkopfes verdeutlichen.

Zunächst wird an Hand der FIG. 1A und 1B ein Beispiel von einem gebräuchlichen Kompoundmagnetkopf beschrieben. Ein Magnetkopf 10 weist ein Paar von Magnetkopfkernhälften 11 und 12 auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind. Dabei ist in der FIG. 1A auf die Darstellung einer Spule verzichtet. Die Kernhälften 11 und 12 weisen jeweils sich verjüngende oder verengte Bereiche 11a und 12a auf, die zu einem Spaltbereich 13 hin angenähert auf eine Spurbreite t verengt sind. Ferner weisen die Kernhälften Filme oder dünne Schichten 14 und 15 auf, die aus einem magnetischen Metallmaterial hergestellt sind und die jeweils auf den vorderen Endbereichen der verjüngten Bereiche 11a und 12a ausgebildet sind. Die Kernhälften 11 und 12 sind über ein Spaltglied 16 verbun-

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den, das zwischen den Filmen 14 und 15 liegt. Eine Glasdichtung oder Glasfüllung 17 füllt ausgeschnittene Bereiche, die zur Schaffung der sich verjüngenden Bereiche 11a und 12a ausgebildet werden.

In diesem bekannten Magnetkopf 10 ist jedoch ferner ein Spalt durch die Filme 14 und 15 ausgebildet, die aus dem magnetischen Metallmaterial hergestellt sind, der es ermöglicht, eine hohe Sättigungsflußdichte zu erzielen. Da jedoch die Schichtdicken der Filme 14 und 15 extrem klein sind, so wird der Magnetkopf 10 bei einer Aufzeichnung nahe der Sättigungsmagnetisierung betrieben. Daher ergibt sich als Nachteil, daß die Aufzeichnungseigenschaft nicht merklich verbessert ist.

Zusätzlich ist eine Begrenzung 18 zwischen der Kernhälfte 11 und dem Film 14 auf dem vorderen Endbereich des sich verjüngenden Bereiches 11a der Kernhälfte 11 parallel zu dem Spalt ausgebildet, und es ist eine weitere Begrenzung 19 zwischen der Kernhälfte 12 und dem Film 15 auf dem vorderen Endbereich des sich verjüngenden Bereichs 12a der Kernhälfte 12 ebenfalls parallel zu dem Spalt ausgebildet. Diese Begrenzungen 18 und 19 wirken als Pseudospalte. Folglich tritt als weiterer Nachteil auf, daß die Aufzeichnungs- und Wiedergabecharakteristiken durch diese Pseudospalte verschlechtert sind.

In den FIG. 2A und 2B ist ein weiteres Beispiel eines gebräuchlichen Kompoundmagnetkopfes gezeigt.

Dieser Magnetkopf ist beispielsweise in der japanischen Offenlegungsschrift 58-155513 beschrieben. Hierbei weist ein Magnetkopf 20 ein Paar von Magnetkopfkernhälften 21 und 22 auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind. In der FIG. 2A ist auf die Darstellung einer Spule verzichtet. Die Kernhälften 21 und 22 weisen sich verjüngende oder verengte Bereiche 21a und 22a auf, die zu einem Spaltbereich 23 hin

auf eine Breite, die kleiner als die Spurbreite t ist, verengt sind. Ferner weisen die Kernhälften Filme 24 und 25 auf, die aus einem magnetischen Metallmaterial hergestellt sind und die auf Scheitelbereichen und abgeschrägten Oberflächen der sich verjüngenden Bereiche 21a und 22a ausgebildet sind. Die Kernhälften 21 und sind über ein Spaltglied 26 verbunden, das zwischen den Filmen 24 und 25 auf den Scheitelbereichen ausgebildet ist. Eine Glasdichtung 27 füllt ausgeschnittene Bereiehe, die bei der Schaffung der verengten Bereiche 21a und 22a ausgebildet werden.

Entsprechend diesem gebräuchlichen Magnetkopf 20 ist ist eine Begrenzung 28 zwischen der Kernhälfte 21 und dem Film 24 auf dem Scheitelbereich des verengten Bereiches 21a nicht parallel zu dem Spalt, und es ist eine Begrenzung 29 zwischen der Kernhälfte 22 und dem Film 25 auf dem Scheitelbereich des verengten Bereiches 22a nichtparallel zu dem Spalt. Folglich tritt der Nachteil des Pseudospalts nicht auf. Die Oberflächen der Filme 24 und 25 auf den Scheitelbereichen der jeweiligen verengten Bereiche 21a und 22a sind nicht flach, und diese Oberflächen werden vor der Zusammenfügung der Kernhälften 21 und 22 geläppt und abgeflacht bzw. egalisiert. Werden die Oberflächen geläppt, ändert sich die Spurbreite, wobei es jedoch extrem schwer ist, die Spurbreite auf einen gewünschten Wert einzustellen. Wenn ferner eine Kontaktfläche, die einen Gleitkontakt mit einem nicht dargestellten magnetischen Aufzeichnungsmedium herstellt, nach der Zusammenfügung der Kernhälften 21 und 22 so geläppt und poliert wird, daß diese Kontaktfläche eine gewünschte Krümmung oder Kurve aufweist, so ändert sich die Spurbreite auch aufgrund dieser Läppung. Es ist infolgedessen außerordentlich schwer, exakt die gewünschte Spurbreite einzustellen, da sich die Spurbreiten vor und nach der Zusammenfügung der Kernhälften 21 und 22 ändern. Da

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die Spurbreite sich ändert, wenn die Läppung ausgeführt wird, ist darüber hinaus die Produktivität des Magnetkopfes 20 schlecht, und die Herstellungskosten für den Magnetkopf sind hoch.

Es ist möglich, den Aufbau des Magnetkopfes 20 so zu modifizieren, daß die Spurbreite sich während der Läppung nicht ändert, die nach dem Zusammenfügen der Kernhälften 21 und 22 ausgeführt wird. In diesem Fall wird jedoch der Wiedergabewirkungsgrad schlecht, da die Reluktanz oder der magnetische Widerstand des Rückspaltes groß wird.

In den FIG. 1A, 1B, 2A, 2B und den im folgenden beschriebenen Figuren sind die Dicke des Filmes und die Breite des Spaltes jeweils im Vergleich zu den übrigen Teilen des Magnetkopfes vergrößert dargestellt, um auf diese Weise den Aufbau des Magnetkopfes leicht erkennbar und verständlich darzustellen.

In dem erfindungsgemäßen Magnetkopf sind die Nachteile der beschriebenen gebräuchlichen Magnetköpfe beseitigt, wobei im folgenden an Hand der FIG. 3A und 3B ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Kompoundmagnetkopfes erläutert wird. Ein gezeigter Magnatkopf 30 ist beispielsweise für den Einsatz in einem Videobandaufzeichnungsgerät geeignet. Der Magnetkopf weist im großen und ganzen ein Paar von Magnetkopfkernhälften 31 und 32 auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind. Ferner weist er Filme 33 und 34 auf, die aus magnetischem Metallmaterial hergestellt sind, ferner Glasfüllungen oder Glasdichtungen 35 und 36 und ein Spaltglied 37. Die Kernhälften 31 und 32 weisen jeweils schmal zulaufende Bereiche 31a und 32a auf, die zu einem Spaltbereich 38 hin verjüngt sind. Der verjüngte Bereich 31a ist durch ein Paar von kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 und 31b2 ausgebildet , und

der verjüngte Bereich 32a ist durch ein Paar von entsprechenden kurvenförmigen Vertiefungen 32b1 und 32b2 ausgebildet. Der Film 33 ist auf einer der Oberflächen der kurvenförmigen Vertiefung 31b1 ausgebildet, und der Film 34 ist auf einer der Oberflächen der kurvenförmigen Vertiefung 32b1 ausgebildet. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Filme 33 und 34 aus einer Legierung des Fe-Si-Al-Systems ausgebildet und durch ein Sputter- oder Zerstäubungsverfahren aufgebracht. Jedoch sind die Verfahren zur Ausbildung der Filme 33 und 34 nicht auf Sputterverfahren beschränkt, und es sind andere Verfahren wie Anlagerungs-, Aufdampf- und Niederschlagverfahren denkbar. Außerdem ist das magnetische metallische Material für die Filme 33 und 34 nicht auf die Legierung im Fe-Si-Al-System beschränkt, und es sind magnetische metallische Materialien mit einer hohen Sättigungsflußdichte denkbar wie beispielsweise eine amorphe Legierung im Co-Zr-System. Die Filmdicken der Filme 33 und 34 sind beim Spaltbereich 38 gleich der Spurbreite t, und die Spurbreite t ist beispielsweise im Bereich 15/um bis 22/um eingestellt.

Für die Glasfüllungen 35 und 36 wird ferner beispielsweise ein tiefschmelzendes Glas benutzt. Die Glasfüllung 35 wird über den Film 33 in die eine kurvenförmige Vertiefung 31b1 gefüllt und in die andere kurvenförmige Vertiefung 31b2, auf der kein Film vorgesehen ist, so daß der Film 33 durch die Glasfüllung 35 geschützt ist. In ähnlicher Weise wird die Glasfüllung 36 über den Film 34 in die eine kurvenförmige Vertiefung 32b1 gefüllt und in die andere kurvenförmige Vertiefung 32b2, auf der kein Film vorgesehen ist, so daß der Film 34 ebenfalls durch die Glasfüllung 36 geschützt ist. Wenn folglich eine Kontaktfläche 39 des Magnetkopfes 30 zur Schaffung eines Gleitkontaktes mit einem nicht dargestellten magnetischen Aufzeichnungsmedium wie eines Magnetbandes geläppt wird, um eine ge-

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wünschte Krümmung oder Kurve zu erhalten, so werden die Filme 33 und 34 durch diesen Läppungsprozeß nicht beschädigt.

Eine öffnung 40 ist in der Kernhälfte 32 vorgesehen, die dazu dient, eine nicht gezeigte Spule aufzunehmen.

Die Kernhälften 31 und 32 sind mit dem Spaltglied 37, das zwischen den Filmen 33 und 34 liegt, durch ein Bindeagens wie ein tiefschmelzendes Glas verbunden, wobei bei dieser Zusammenfügung die Filme 33 und 34 in Richtung der Filmdicke in ihrer Lage zusammenfallen und ausgerichtet sind, d.h. exakt zusammenfallen. Das Spaltglied 37 ist beispielsweise ein Quarzfilm. Entsprechend ist der Magnetkopf 30 in der Umgebung des Spaltbereiches 38 allein durch die Filme 33 und 34 ausgebildet. Ferner erstrecken sich die Filme 33 und 34 von der Kontaktfläche 39 aus gesehen angenähert S-förmig über diese Kontaktfläche. Daher ist eine Begrenzung zwischen der Kernhälfte 31 und dem Film 33 auf der Oberfläche der kurvenförmigen Vertiefung 31b1 der Kernhälfte 31 nicht parallel zu dem Spalt, und es ist eine Begrenzung zwischen der Kernhälfte 32 und dem Film 34 auf der Oberfläche der kurvenförmigen Vertiefung 32b1 der Kernhälfte 32 ebenfalls nicht parallel zu dem Spalt. Infolgedessen wirken die Begrenzungen nicht als Pseudospalte, und es ist möglich, eine zufriedenstellende Aufzeichnung und Wiedergabe mit geringem Rauschen auszuführen. Da die Filme 33 und 34 ferner auf den Oberflächen der jeweiligen kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 und 32b1 über einen großen Bereich ausgebildet sind, wird in der Umgebung des Spaltbereichs 38 keine magnetische Sättigung vorliegen, so daß der Magnetkopf 30 für die Benutzung eines magnetisehen Aufzeichnungsmediums (beispielsweise eines Metallbandes, das für Videobandaufzeichnungsgeräte benutzt wird) mit einer hohen Koerzitivfeldstärke geeig-

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net ist.

Im folgenden wird ein Ausfünrungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung des erfindungsgemäßen Kompoundmagnetkopfes an Hand der FIG. 4 bis 9 beschrieben. In diesen Figuren sind die Teile und Bereiche, die denen in den FIG. 3A und 3B entsprechen, mit denselben Bezugszeichen versehen.

Die FIG* 4 zeigt eine magnetische Ferritblockhälfte 42a. Da eine weitere magnetische Ferritblockhälfte 42b, die zusammen mit der Blockhälfte 42a einen Block 45 bildet, mit der Blockhälfte 42a übereinstimmt und demselben Verfahren wie die Blockhälfte 42a unterworfen wird, wird im folgenden das Herstellungsverfahren nur für die eine Blockhälfte 42a beschrieben, und auf die Beschreibung des äquivalenten Verfahrens für die andere Blockhälfte 42b wird verzichtet.

Mehrere von ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 sind auf der Oberfläche der Blockhälfte 42a jeweils mit vorbestimmten Zwischenräumen ausgebildet, wie die FIG. 4 zeigt. Dabei ist der Abstand oder das Intervall zwischen zwei benachbarten ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 so gewählt, daß eine zweite kurvenförmige Vertiefung 31b2 mit angenähert der gleichen Form und Anordnung wie der ersten kurvenförmigen Vertiefung 31b1 zwischen zwei benachbarten ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 in einem späteren Verfahrensschritt ausgebildet werden kann.

Anschließend wird der Film 33, der aus magnetischem metallischem Material wie einer Legierung des Fe-Si-Al-Systems oder einer amorphen Legierung des Co-Zr-Systems hergestellt ist, auf der Oberfläche von jeder der ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 der

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Blockhälfte 42a beispielsweise durch ein Sputterverfahren oder Aufdampfungs- und Anlagerungsverfahren aufgebracht. Diese Aufbringungsverfahren werden in einer schrägen Richtung A bezüglich einer Oberfläche 42a-1 der Blockhälfte 42a durchgeführt, so daß der Film 33 über angenähert die Hälfte der gesamten Oberfläche von jeder der ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 ausgebildet ist, wie es durch die Schraffüren in FIG. 5 angedeutet ist. Die Filmdicke des Films 33 ist so ausgewählt, daß sie in dem Bereich der Oberfläche 42a-1, in dem der Spalt liegt, gleich der gewünschten Spurbreite ist. Die Oberfläche 42a-1 ist die Oberfläche, die die Spaltoberfläche ausbildet und entspricht der Oberfläche in FIG. 4.

Die Glasfüllung 35, die beispielsweise ein tiefschmelzendes Glas ist, ist entsprechend der FIG. 6 in jede der ersten kurvenformigen Vertiefungen 31b1 über dem Film 33 ausgebildet. Anschließend werden Verfahrensschritte wie das Ausbilden von Öffnungen und Rillen für die nichtgezeigte Spule in der Blockhälfte 42a durchgeführt. Ferner werden überstehende Teile der Glasfüllung 35 entfernt, und die Oberfläche 42a-1 wird geläppt, um die Blockhälfte 42a, wie sie in FIG. 7 gezeigt ist, mit einer Spaltfläche 43 herzustellen. Da der Film 33 an Ort und Stelle gehalten wird bzw. fixiert ist und durch die Glasfüllung 35 geschützt ist, so kann der während der Verfahrensschritte, bei denen die öffnungen und Rillen für die Spule auf der Blockhälfte 42a ausgebildet werden und die Oberfläche 42a-1 geläppt wird, nicht beschädigt werden.

Wie die FIG. 8 zeigt, werden daraufhin die zweiten kurvenformigen Vertiefungen 31b2 angrenzend zu entsprechenden ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31b1 ausgebildet, um so die Filme 33 über einen vorbestimmten Bereich in der Umgebung der Spaltfläche 43 freizu-

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legen. Auch wenn der Film 33 derart über den vorbestimmten Bereich in der Umgebung der Spaltfläche 43 freigelegt ist, so bleibt doch der übrige Bereich des Films 33 zuverlässig an Ort und Stelle fixiert und ist darüber hinaus durch die Glasfüllung 35 geschützt, so daß der Film 33 sich nicht von der Blockhälfte 42a ablösen kann. Beim Freilegen des Films 33 über den vorbestimmten Bereich in der Umgebung der Spaltfläche 43 ist es möglich, den Film 33 in Richtung der FiImdicke geringfügig abzutragen, um so die gewünschte Spurbreite einzustellen. Das Spaltglied 37, das beispielsweise aus einem Quarzfilm besteht, wird auf der Spaltfläche von einer der Blockhälften 42a und 42b ausgebildet. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das Spaltglied 37 entsprechend der FIG. 8 auf der Spaltfläche 43 der Blockhälfte 42a ausgebildet.

Das Paar von Blockhälften 42a und 42b, die durch die zuvor beschriebenen Verfahrenεschritte hergestellt werden, werden mittels eines Bindeagens wie beispielsweise eines tiefschmelzenden Glases zusammengefügt, um den in FIG. 9 gezeigten Block 45 herzustellen. Die Blockhälften 42a und 42b werden dabei so zusammengefügt, daß die Filmdicken der Filme 33 und 34 an den Spaltflächen (Spaltbereich 38) ausgerichtet sind und zusammenfallen, wobei das Spaltglied 37 zwischen den ausgerichteten Spaltflächen liegt.

Daraufhin werden die Glasfüllungen 35 und 36 in die entsprechenden kurvenförmigen Vertiefungen 31b2 und 32b2 gefüllt, und die Kontaktfläche 39 wird geläppt, um die gewünschte Oberflächenkrümmung zu erhalten. Danach wird der Block 45 scheibenweise in mehrere der Kompoundmagnetköpfe 30 zerschnitten, die den in den FIG. 3A und 3B gezeigten Aufbau haben. Es ist möglich, den Block 45 entlang der gestrichelten Linien der FIG. 9 schräg zu schneiden, wenn der Spaltbereich

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einen Azimutwinkel aufweisen soll. Falls der Spaltbereich 38 keinen Azimutwinkel erfordert, kann der Block 45 auch in senkrechter Richtung zu der Spaltfläche geschnitten werden.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung ist es möglich, mit einer hohen Produktivität den erfindungsgemäßen Kompoundmagnetkopf herzustellen, der sowohl eine zufriedenstellende Aufzeichnungscharakteristik und eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik aufweist als auch geringes Rauschen bewirkt, da keine Pseudospalte vorhanden sind.

Dabei ist die vorliegende Erfindung nicht auf die an Hand der Figuren gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern es sind zahlreiche Abwandlungen und Änderungen möglich, ohne von der Erfindungsidee abzuweichen und den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.

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ORIQiNAL INSPECTED

Claims (12)

11085 Reichel u. Ks'-ch-sl 6CCu Frankfurt G. M. 1 3538743 YICTOR COMPANY OF JAPAN. LTD., Yokohama, Japan Patentansprüche

1. Magnetkopf einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten mit einer ersten und einer zweiten Magnetkopfkernhälfte, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind; einem zwischen der ersten und zweiten Magnetkopfkernhälfte angeordneten Spaltglied, einem ersten verjüngten Bereich, der auf der ersten Magnetkopfkernhälfte ausgebildet ist und zu dem Spaltglied hin verjüngt ist, und der durch eine erste und eine zweite kurvenförmige Vertiefung ausgebildet ist, und mit einem zweiten verjüngten Bereich, der auf der zweiten Magnetkopfkernhälfte ausgebildet ist und zu dem Spaltglied hin verjüngt ist und der durch eine dritte und eine vierte kurvenförmige Vertiefung ausgebildet ist,

dadurch gekennzeichnet, daß ein erster Film (33), der aus einem magnetischen metallischen Material hergestellt ist, auf der Oberfläche der ersten kurvenförmigen Vertiefung (31b1) ausgebildet ist und ein zweiter aus einem magnetischen metallischen Material hergestellter Film (3^) auf der Oberfläche der dritten kurvenförmigen Vertiefung (32b1) ausgebildet ist, und. daß der erste und der zweite Film Filmdicken aufweisen, die in einem Bereich (38), in dem der erste und der zweite Film mit dem Spaltglied

(37) in Kontakt sind, gleich einer gewünschten Spaltbreite sind.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Glasfüllung (35, 36) vorgesehen ist, die über dem ersten (33) und zweiten (34) Film in die erste (31b1) und dritte (32b1) kurvenförmige Vertiefung gefüllt sind.

3. Magnetkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der erste (33) und zweite (34) Film durch ein Sputterverfahren hergestellt sind.

4. Magnetkopf nach Anspruch 3»
dadurch gekennzeichnet, daß die Dicken des ersten (33) und zweiten (34) Films jeweils zu den vorderen Enden dee ersten (31a) und zweiten (31b) verjüngten Bereichs hin zunehmen.

5. Magnetkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische metallische Material eine Legierung des Fe-Si-Al Systems ist.

6. Magnetkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der erste (33) und zweite (34) Film eine Dicke im Bereich von 15/Ue bis zu 22 /um in dem Bereich (38) aufweist, in dem der Spalt des Magnetkopfes (30) ausgebildet ist.

7. Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten, gekennzeichnet durch Verfahrensschritte des Ausbildens von ersten kurvenförmigen Vertiefungen (3"'b1) auf einer ersten aus einem magnetischen Ferrit hergestellten Blockhälfte (42a) mit einem vorbestimmten Abstand und von zweiten kurvenförmigen Vertiefungen (32b1) auf einer zweiten aus dem magnetischen Ferrit hergestellten Blockhälfte (42b), des Aufbringens eines ersten Films (33) aus einem magnetischen metallischen Material auf den Oberflächen jeder ersten kurvenförmigen Vertiefung und eines zweiten Films (34) aus einem magnetischen metallischen Material auf den Oberflächen jeder zweiten

kurvenförmigen Vertiefung, des Einfüllens einer Glasfüllung (35, 36) über dem ersten und zweiten Film in die ersten und zweiten kurvenförmigen Vertiefungen, des Läppens von Oberflächen (43) der ersten und der zweiten Blockhälfte, wobei diese Oberflächen die Spaltflächen (43) bilden, des Ansbildens von dritten kurvenförmigen Vertiefungen (31b2) so angrenzend an die ersten kurvenförmigen Vertiefungen auf der ersten Blockhälfte, daß der erste Film über einen vorbestimmten Bereich in einer Umgebung der Spaltfläche freiliegt, und von vierten kurvenförmigen Vertiefungen (32b2) auf der zweiten Blockhälfte so angrenzend an die zweiten kurvenförmigen Vertiefungen, daß der zweite Film über den vorbestimmten Bereich in einer Umgebung der Spaltfläche freiliegtj des Herstellens eines Blockes (45) durch Verbinden der ersten und zweiten Blockhälfte mit einem Spaltglied (37), das zwischen den Spaltflächen liegt, so daß die Filmdicken des ersten und zweiten Films in Bereichen (38), in denen die Spalte der Magnetköpfe ausgebildet sind, in ihrer Lage zusammenfallen, wobei die Filmdicken des ersten und zweiten Films an den Bereichen, in denen die Spalte der Magnetköpfe ausgebildet sind, gleich einer gewünschten Spaltbreite sind; und des scheibenweisen Zerteilens des Blocks in mehrere Magnetköpfe (30).

8. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß der Verfahrensschritt des Aufbringens der ersten (33) und zweiten (34) Filme durch ein Sputterverfahren ausgeführt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß beim Verfahrensschritt des Aufbringens der ersten (33) und zweiten (34) Filme diese Filme durch ein Sputterverfahren einer Legierung des Fe-Si-Al Systems aufgebracht werden.

10. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß beim Verfahrensschritt des Aufbringens der ersten (33) und zweiten (34) Filme diese Filme über angenähert Jeweils der Hälfte der Oberflächen der ersten (31b1) und zweiten (32b1) kurvenförmigen Vertiefungen durch ein Sputterverfahren des magnetischen metallisehen Materials in schräger Richtung (A) zu den Spaltflächen (43) aufgebracht werden.

11. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß beim Verfahrensschritt des Ausbildens der dritten (31b2) und vierten (32b2) kurvenförmigen Vertiefungen die ersten (33) und zweiten (34) Filme über den vorbestimmten Bereich in Richtung der Filmdicke so abgetragen werden, daß die Filmdicke der ersten und zweiten Filme in einem Bereich (38), in dem der Spalt des Magnetkopfes ausgebildet ist, gleich der gewünschten Spurbreite ist.

12. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren weiterhin vor dem Verfahrens schritt des scheibenweisen Zerteilens des Blockes (45) einen Verfahrensschritt, in dem eine Glasfüllung (35, 36) in die dritten (31b2) und vierten (32b2) kurvenförmigen Vertiefungen gefüllt wird, und einen Verfahrensschritt aufweist, in dem eine Kontaktfläche (39), die in Gleitkontakt ait einem magnetischen Aufzeichnungsmedium kommt, geläppt wird.