DE3422105C2 - Verfahren zur pyrolytischen Bildung einer Beschichtung auf einer Glasunterlage und Vorrichtung dafür - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bildung eines Über­ zugs aus einer Metallverbindung auf einer Seite eines frisch gebildeten Bandes aus heißem Glas während seiner Vorwärtsbewegung durch eine Beschichtungsstation, wobei das Verfahren das Besprühen dieser Unterlage in dieser Station mit einem Beschichtungsvorläufermaterial umfaßt, aus welchem diese Beschichtungs-Metallverbindung auf der Unterlagenseite gebildet wird. Die Erfindung umfaßt auch die Vorrichtung, welche zur Durchführung eines solchen Verfahrens angewandt werden kann.

Während der letzten zehn Jahre wurde viel Forschung mit dem Ziel durchgeführt, Verfahren zu entwickeln, mit welchen Beschichtungen mit hoher optischer Qualität unter normalen Fabrikbedingungen und mit wirtschaftlich annehmbaren Kosten gebildet werden können. Es ist seit langer Zeit anerkannt, daß ein Hauptproblem darin besteht, wie man die Bedingungen in der Beschichtungsstation so steuert, daß die Beschich­ tung vorbestimmte optische Eigenschaften über die gesamte beschichtete Fläche hat. Die optischen Eigenschaften hän­ gen offensichtlich unter anderem von der Dicke der Beschich­ tung und von ihrer Zusammensetzung und Struktur ab und da­ her müssen diese Faktoren so gleichmäßig wie möglich über die gesamte Fläche der Beschichtung eingehalten werden.

Es ist aus der verfügbaren Literatur ersichtlich, daß der Richtung beträchtliche Aufmerksamkeit geschenkt wurde, in welche das Beschichtungsvorläufermaterial gesprüht wird, und zwar als ein Faktor, welcher die Ergebnisse des Verfahrens beein­ flussen kann. In einigen früher vorgeschlagenen Verfahren wird das Beschichtungsvorläufermaterial so gesprüht, daß es einen Tröpfchenstrom bildet, dessen Achse senkrecht zum Weg der Unterlage ist. Bei anderen bekannten Verfahren wer­ den die Tröpfchen gegen die Unterlage als ein Strom abgegeben, dessen Achse nach unten gegen die Unterlage gerichtet ist, entweder in Richtung der Fortbewegung der Unterlage oder in der entgegengesetzten Richtung. Diese verschiedenen Verfah­ ren sind zum Beispiel in der GB 1 523 991 B gezeigt.

Bei gewissen früher vorgeschlagenen Sprühverfahren wird das Vorläufermaterial in einer Mehrzahl von Tröpfchenströmen versprüht, welche über die Breite der zu beschichtenden Fläche angeordnet sind. Bei anderen Verfahren wird Vorläufer­ material in einem Strom versprüht (im folgenden als "fächern­ der Strom" bezeichnet), der wiederholt über die Unterlage versetzt wird.

Um konstante und vorhersehbare Beschichtungsbedingungen zu erzeugen, ist es anerkannte Praxis, das Versprühen des Vor­ läufermaterials so zu steuern, daß die dynamischen Zustände in der Auftreffzone der Vorläufertröpfchen auf die Unter­ lage so weit wie möglich ins Gleichgewicht gebracht werden. Es wurde jedoch schon vor vielen Jahren erkannt, daß zu beanstandende Beschichtungsdefekte auch dann auftreten, wenn die Momenta der Tröpfchen kurz vor dem Kontakt mit der Unterlage sehr gering sind. Dies ist deshalb der Fall, weil die erzielte Beschichtungsqualität vom Einfluß der Bedingungen in der Gasumgebung oberhalb der Unterlage abhängig ist. Es wurden daher verschiedene Wege vorgeschlagen, auf diese Umgebung dahingehend einzuwirken, daß Substanzen, welche die Beschichtung nachteilig beeinflussen können, entfernt werden.

Ein Beispiel für ein Verfahren, welches eine Umgebungs­ steuerungsmaßnahme umfaßt, wird in der oben angegebenen GB 1 523 991 B beschrieben. Bei diesem Verfahren werden Saugkräfte in Absaugleitungen erzeugt, die so angeordnet sind, daß sie einen Abfluß von Gasen vom Tröpfchenstrom und dessen Auftreffzone bewirken. In dieser Druckschrift wird angegeben, daß die Maßnahme die Tendenz, daß sich Zersetzungsprodukte auf der Unterlage oder dem bereits gebildeten Überzug ablagern, die aus dem Bereich der Gas­ abgebung stammen, vermeidet oder vermindert, und daß es diese Steuerungsmaßnahme erleichtert, Schichten mit homogener Struktur zu bilden und ein gleichförmiges Beschich­ tungsgemisch auf der Unterlage zu erzielen, vorausgesetzt, daß als eine Vorbedingung des Verfahrens die Saugkräfte so gesteuert werden, daß sie praktisch keinen Einfluß auf die Wege der Vorläufertröpfchen zur Unterlage haben.

Weitere Verfahren, die Umgebungssteuerungsmaßnahmen betref­ fen, werden in den GB 2 068 937 A und 2 069 992 A beschrieben. Das in der GB 2 068 937A beschriebene Ver­ fahren erfolgt in der Weise, daß ein senkrecht gerichteter oder geneigter fächerartiger Sprühstrom angewandt und Gas zeitlich versetzt mit dem Tröpfchenstrom oder den Tröpfchen­ strömen quer über den fächerförmigen Weg des Sprühstroms geblasen wird. Der Zweck dieses Gasausstoßes ist es, die Atmosphäre im fächerartigen Weg des Tröpfchenstroms oder der Tröpfchenströme durch Entfernung dampfförmiger Reaktions­ produkte, die ansonsten durch den oder jeden Tröpfchenstrom mit zur Unterlage geführt würden, zu reinigen. In dieser Druckschrift wird angegeben, daß der Gaskühlstrom konti­ nuierlich abgegeben werden kann, vorausgesetzt, daß dessen Quelle in Tandemanordnung mit der Quelle des oder jedes Tröpfchenstroms versetzt ist. Wird andererseits das Spülgas aus einer stationären Quelle abgegeben, so erfolgt die Gas­ abgabe intermittierend phasenverschoben mit der Bewegung des Sprühstroms, so daß der Gasspülstrom nicht auf die Tröpfchen trifft.

Gemäß dem in der GB 2 069 992 A (DE-OS 31 03 195) beschriebenen Verfahren werden die Vorläufertröpfchen in einer Richtung versprüht, die nach unten und vorwärts oder nach unten und rückwärts zur Unterlage geneigt ist (wobei mit "vorwärts" die Bewegungsrichtung der Unterlage gemeint ist), und ein Gas­ strom wird gegen die Rückseite des oder jedes nach unten geneigten Tröpfchenstroms abgegeben. Dieser Gasausstoß bewirkt eine Verminderung des Auftretens von Beschichtungs­ fehlern und führt zu einer leichten Diffusion, insbeson­ dere an der Beschichtungsoberfläche oder an der Grenzzone zwischen dem Überzug und der Unterlage. Der Grund für diesen Effekt wird darin vermutet, daß das Gas Substanzen abfängt, die anderweitig von der unmittelbar an der Rückseite des oder jedes Tröpfchenstroms gelegenen Umgebung mit zur Unter­ lage geführt werden. In der Druckschrift wird angegeben, daß die Vorläufertröpfchen in einer Vielzahl von Strömen aus stationären, quer über der Bewegungsbahn der Unterlage ver­ teilten Quellen abgegeben werden können, wobei das Gas von einer oder mehreren stationär angeordneten Öffnungen, die sich quer über die Bewegungsbahn der Unterlage erstrecken oder in Querrichtung dazu verteilt sind, ausgeblasen werden kann. Wahlweise kann von einem oder mehreren fächerförmigen Tröpfchenströmen Gebrauch gemacht werden und das Gas kann von einer oder mehreren Öffnungen abgegeben werden, die in Querrichtung über die Bewegungsbahn der Unterlage versetzt sind, zusammen mit dem oder jedem Tröpfchenstrom. In der Druckschrift wird angezeigt, daß die Stärke des oder jedes Gasstroms nicht derart sein sollte, daß der oder jeder Tröpfchenstrom unbeständig und veränderlich wird.

Unter Heranziehung einer oder mehrerer der oben angegebenen Umgebungssteuerungsmaßnahmen ist es möglich, Beschichtungen mit sehr guter optischer Qualität unter den Bedingungen der Massenproduktion zu bilden. Die bekannten Verfahren sind jedoch in bezug auf die erzielbaren Schichtbildungsraten (ausgedrückt als Beschichtungsvolumen pro Zeiteinheit) beschränkt. Dies ist deshalb der Fall, weil die bekannten Verfahren auf dem Prinzip beruhen, die dynamischen Bedingun­ gen an der Sprühzone so beständig wie möglich zu halten. Um diesen Bedingungen zu genügen, wird das Sprühen in sol­ cher Weise gesteuert, daß eine ziemlich sanfte Ablagerung der Tröpfchen auf der Unterlage erfolgt, und die Umgebungs­ bedingungen werden in solcher Weise gesteuert, daß die Tröpfchenflugbahnen so wenig wie möglich gestört werden. Die maximal zulässige Schichtbildungsrate, die erzielt werden kann, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann von einem Verfahren zum anderen variieren, doch ist sie in allen Fällen zu niedrig, um die Schichtbildungsraten zu erzielen, die bisweilen wünschenswert sind. Die Schichtbildungsrate bestimmt offensichtlich die Dicke der Schicht auf einem Glasband, das sich mit einer gegebe­ nen Geschwindigkeit durch die Beschichtungsstation bewegt.

Aufabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfah­ ren sowie eine Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens bereitzustellen, wobei das Verfahren zur Erzielung höherer Schichtbildungs­ geschwindigkeiten als aus dem Stand der Technik bekannt sind, geeignet und deshalb zur Erzeugung dickerer Schichten und/oder zur Beschichtung von Glasbändern, die sich schnell durch die Beschichtungsstation bewegen, verwendbar ist.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentansprüche 1 und 14 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen 2-13 bzw. 15-24.

Der Erfindungsgegenstand weicht insofern merklich von der anerkannten Praxis ab, daß, statt den Sprühstrom zur Erzie­ lung eines ziemlich sanften Aufschlags der Tröpfchen auf der Auftreffzone zu steuern, den Tröpfchen ein ausreichendes Momentum, also mechanisches Moment, verliehen wird, um ein wesentliches Verspritzen von Material von der zu beschich­ tenden Bandoberfläche zu bewirken. In Kombination mit einem derartigen, relativ energiereichen Sprühstrom wird von einem Gasspülstrom oder von Gasspülströmen ausreichender Stärke Gebrauch gemacht, um die Spritzer von der Nachbarschaft des Sprühstroms weg und hin zu einem Bereich zu führen, von dem sie von der Umgebung des Bandes entfernt werden. Die Wirk­ samkeit dieser kombinierten Maßnahmen hängt von der Auswahl einer bestimmten Orientierung des oder jedes gesprühten Tröpfchenstroms und von einer bestimmten Richtung des oder jedes Gasspülstroms in bezug auf die Bewegungsrichtung des Bandes ab. Der oder jeder Tröpfchenstrom muß schräg nach unten gegen den Weg der Unterlage gerichtet sein, und der oder jeder Gasspülstrom muß ebenfalls in der Vorwärtsrich­ tung strömen.

Erfindungsgemäß ist es möglich, optische Beschichtungen guter Qualität mit wesentlich höheren Geschwindigkeiten zu erzeugen als diejenigen, die mit den angegebenen bekannten Verfahren erzielbar sind. Die Kombination der die Erfindung kennzeichnenden Verfahrensmerkmale führt zu den höheren Beschichtungsgeschwindigkeiten und gleichzeitig zur Bildung von Überzügen mit gar keinen oder nur einer sehr geringen Anzahl von inneren oder Oberflächendefekten, die eine Licht­ diffusion bewirken.

Dem Fachmann ist wohlbekannt, daß qualitativ hochwertige optische Überzüge nicht nur relativ frei von derartigen Defekten sein müssen, sondern auch von praktisch gleich­ förmiger Dicke sein müssen, und daß die Norm der Dicken­ gleichförmigkeit durch Temperaturbedingungen, die einen Ein­ fluß auf die Schichtbildung haben, beeinflußt wird. Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens können bekannte Temperatursteuerungsmaßnahmen ergriffen werden, um die Bil­ dung eines Überzugs, dessen Dickengleichförmigkeit von hohem Niveau ist, zu fördern.

Eine besonders empfehlenswerte Temperatursteuerungsmaßnahme ist die in der GB 2 078 710 A beschriebene, wonach ein frisch gebildetes Glasband vor dessen Beschichtung thermisch konditioniert wird, um Temperaturgradienten, die über die Breite des zu beschichtenden Bandes verlaufen, zu vermeiden oder zu vermindern. Die thermische Konditionierungsstufe kann zum Beispiel das Erhitzen der Ränder des Glasbandes umfassen, um das raschere Abkühlen dieser Ränder, das in der Regel auftritt, wenn das Band von der Flachglasproduk­ tionsanlage abtransportiert wird, zu kompensieren.

Gemäß bestimmten, sehr vorteilhaften Ausführungsformen der Erfindung bestehen die Sprühtröpfchen aus Beschichtungsvor­ läufermaterial in wäßriger Lösung. Im Vergleich zu Verfahren, bei denen ein flüchtiges organisches Lösungsmittel, das von den Tröpfchen auf ihrem Weg zur Unterlage weitestgehend verdampfen kann, zur Anwendung gelangt, erreicht bei Ver­ fahren, die von einer wäßrigen Lösung des Vorläufermaterials Gebrauch machen, ein größerer Anteil des gesprühten Lösungs­ mittels das Band und in den bisher bekannten Beschichtungsverfahren erwiesen sich die maximal erzielbaren Schichtbildungsgeschwindigkeiten unter derartigen Umständen als besonders stark begrenzt. Derartige Beschichtungsverfahren können durch Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens weit übertroffen werden.

Die Erfindung erweist sich als besonders wertvoll zur Erzeu­ gung von Überzügen aus Vorläufermaterial, das eine nur gerin­ ge Ausbeute an Beschichtungsmaterial bringt, das heißt, aus einem Vorläufermaterial mit niedrigem Umwandlungsfaktor. Ein niedriger Umwandlungsfaktor neigt dazu, die Schicht­ bildungsgeschwindigkeit zu beschränken. Dadurch, daß es ermöglicht wird, die Geschwindigkeit, mit der Schichten aus diesen Vorläufermaterialien gebildet werden können, beträcht­ lich zu erhöhen, leistet die Erfindung einen sehr wichtigen Beitrag zu dem hier in Frage stehenden Spezialgebiet der Technik. In den wichtigsten Ausführungsformen der Erfindung dient zur Schichtbildung ein Vorläufermaterial, das, zumin­ dest so, wie es in den versprühten Tröpfchen vorliegt, an­ organisch ist. Derartige Materialien haben niedrige Umwand­ lungsfaktoren im Vergleich zu organischen Materialien. So erweist es sich zum Beispiel als vorteilhaft, als Sprüh­ material eine wäßrige Lösung einer Zinnverbindung, zum Bei­ spiel hydratisiertes Zinn(II)-chlorid (SnCl₂·H₂O), zur Bildung eines Zinnoxidüberzugs auf dem Glas zu verwenden. In der Praxis reagiert nur ein kleiner Teil der als das Vorläufermaterial verwendeten Zinnverbindung unter Bildung des Überzugs. Eine wäßrige Lösung einer Zinnverbindung dient gemäß bestimmten Ausführungsformen der Erfindung als das Sprühmaterial.

Die potentiellen Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens werden selbstverständlich am besten bei hohen Abgabe­ volumengeschwindigkeiten des Vorläufermaterials erzielt. In der Praxis setzt dies wiederum voraus, daß das den oder jeden Tröpfchenstrom bildende Material unter einem relativ hohen Druck versprüht wird. Vorzugsweise wird das Vorläufer­ material unter einem Überdruck von wenigstens 10 bar ver­ sprüht.

Die Geschwindigkeit der Sprühtröpfchen hängt bei jeder gegebenen Verfahrensweise nicht nur vom Druck ab, unter dem die Tröpfchen versprüht werden, sondern auch von anderen Faktoren, einschließlich der Form der Sprühdüse oder anderer Sprühköpfe und der Größe der Sprühöffnungen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren hat wenigstens ein Tröpfchenstrom eine mittlere Geschwindigkeit, die wenigstens Schallgeschwindigkeit ist.

Das Gas, das von rückwärts hinter dem oder jedem Tröpfchen­ strom abgegeben wird, muß eine ausreichende Fließenergie haben, um die Spritzer aus Material nach vorn von der Nach­ barschaft des oder jedes Tröpfchenstroms wegzutragen. Die erforderliche minimale Volumengeschwindigkeit der Strömung dieses Gasen in die Atmosphäre hinter dem oder jedem Tröpfchenstrom hängt unter anderem von der Größe oder Gesamt­ größe der Gasabgabeöffnung oder -öffnungen ab.

Die gesamte Volumengeschwindig­ keit der Strömung des Gases beträgt wenigstens 130 Nm³/h.

In vorteilhafter Weise ist das gesamte (NTP)-Volumen von Gas, das hinter den oder jeden Tröpfchenstrom abgegeben wird, wenigstens gleich 40% des gesamten (NTP)-Volumens von Trä­ gergas, das mit den Tröpfchen abgegeben wird.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Beschichtung auf der Unterlage mit einer Volumengeschwin­ digkeit von wenigstens 6 cm³/min gebildet. Durch geeignete Wahl der Volumengeschwindigkeit der Strömung des Beschichtungs­ vorläufermaterials können so hohe Raten der Schichtmaterial­ bildung auf dem Glasband leicht erreicht werden unter gleich­ zeitiger Erzielung sehr guter optischer Qualitäten.

Die Erfindung ist hauptsächlich dafür vorgesehen, Beschich­ tungen von wenigstens 700 nm Dicke zu erzeugen und die Menge an pro Zeiteinheit versprühtem Vorläufermaterial wird vor­ zugsweise entsprechend gesteuert. Gemäß bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung wird eine Beschichtung von wenigstens 700 nm Dicke und von mindestens 2 m Breitenaus­ dehnung auf einem frisch erzeugten Band aus heißem Glas, das sich mit einer Geschwindigkeit von wenigstens 4,5 m/min durch die Beschichtungsstation bewegt, gebildet. Dies sind recht harte Bedingungen und ganz allgemein kann gesagt werden, daß die bekannten Verfahren nicht imstande sind, derartigen Bedingungen nachzukommen, es sei denn, daß ein sehr reak­ tives Vorläufermaterial versprüht wird. Das erfindungsgemäße Verfahren vermag diese Bedingungen zu erfüllen unter Bil­ dung qualitativ guter Beschichtungen, selbst aus relativ wenig reaktiven Vorläufermaterialien, zum Beispiel wäßrigen Lösungen anorganischer Substanzen.

Die bei einer bestimmten Verfahrensweise erhaltene Schicht­ bildungsgeschwindigkeit durch die Temperaturbedingungen, welche einen Einfluß auf die Schichtbildungsreaktion ausüben, beein­ flußt. Innerhalb bestimmter Grenzen kann die Schichtbildungs­ geschwindigkeit und in einigen Fällen die Beschichtungsqualität gestei­ gert werden durch Erhöhung der Temperatur, die das Glas in der Beschichtungsstation hat. Gemäß bestimmter vorteilhaf­ ter Ausführungsformen der Erfindung wird die Temperatur des Glases vor der Beschichtung erhöht durch Erhitzen des Glases in einer thermischen Konditionierungsstation zwischen der Beschichtungsstation und der Einrichtung, in welcher das Glasband gebildet wird. In dieser thermischen Konditionie­ rungsstation kann das Glasband über seine gesamte Breite erhitzt werden, jedoch in unterschiedlicher Weise, um Tempe­ raturgradienten in Querrichtung zum Band zu vermindern oder auszuschalten, wie dies in der angegebenen GB 2 078 710 A beschrieben ist.

Es bringt bestimmte Vorteile mit sich, eine Oberflächen­ schicht des Glasbandes auf der zu beschichtenden Seite ent­ weder ausschließlich oder in einem höheren Maße als den Rest der Glasdicke zu erhitzen in einer der Beschichtungs­ station vorgeschalteten thermischen Konditionierungsstation längs des Weges, den das Band zurücklegt. Das Erhitzen der Oberflächenschicht reicht aus, um die Dicke oder die Dicke und die Qualität der Beschichtung zu beeinflussen. Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens erweist es sich daher als besonders vorteilhaft, die angegebene Ober­ flächenschicht auf eine höhere Temperatur zu erhitzen als den Rest der Glasdicke, bevor das Band in die Beschichtungs­ station eintritt. Zum Zwecke des Erhitzens dieser Oberflä­ chenschicht wird diese Seite des Glasbandes einem oder mehre­ ren Heizstrahlern ausgesetzt, die eine Schwarzkörpertempe­ ratur unterhalb 1100°C haben. Die von einem Heizstrahler mit einer Schwarzkörpertemperatur unterhalb 1100°C emit­ tierte Strahlungshitze wird von dem Glas stark absorbiert, so daß praktisch die gesamte einfallende Strahlungsenergie durch eine dünne Oberflächenschicht absorbiert wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann aufeinanderfolgende thermische Konditionierungsbehandlungen vor der Beschich­ tungsoperation umfassen. Gemäß dem Gegenstand der DE 34 17 597 A1 kann eine thermische Konditionierzone vorliegen, in der Temperaturgradienten quer zum Band vermin­ dert und wenn möglich ausgeschaltet werden, sowie eine nach­ folgende thermische Konditionierzone, in der Hitze aus­ schließlich oder praktisch ausschließlich auf eine Oberflä­ chenschicht des Glases auf der zu beschichtenden Seite auf­ gebracht wird, indem diese Seite einem oder mehreren Heiz­ strahlern in der oben angegebenen Weise ausgesetzt wird. Bei Anwendung dieser Verfahrensweise kann das Temperaturprofil durch die Dicke des Glases nach der Beschichtungsstufe hoch­ gradig so sein, wie es wäre, wenn die Oberflächenerhitzung und die Beschichtungsstufe weggelassen werden. Dies ist von Vorteil, weil dann, wenn die Zusammensetzung oder die Dicke der Beschichtung modifiziert werden soll oder auch, wenn das Beschichten des Glasbandes beendet werden soll, dies dadurch erfolgen kann, daß die Zulieferung des Beschichtungs­ materials gestoppt und der oder die Oberflächenerhitzer ab­ geschaltet werden, und unter solchen Umständen bedarf eine nachfolgende Temperierungseinrichtung keiner oder nur einer geringfügigen Einstellung. Wie leicht einzusehen, übt das Sprühen des Beschichtungsvorläufermaterials einen Kühleffekt auf die beschichtete Seite des Bandes aus, der bei Wegfall der Oberflächenerhitzungsstufe durch die Dicke des Glases einen Temperaturgradienten erzeugen würde, dessen Steilheit dazu neigt, sich mit der Volumengeschwindigkeit der Strömung des versprühten Materials und des Trägergases zu erhöhen. Die Anwendung der Oberflächenerhitzungsstufe bedingt daher einen besonderen Vorteil, wenn bei hohen Schichtbildungs­ geschwindigkeiten gearbeitet wird.

Die Temperaturbedingungen, welche die Schichtbildungsreak­ tionen beeinflussen, umfassen auch die Temperatur der ver­ sprühten Tröpfchen. Das Ausmaß, bis zu welchem das Vorläu­ fermaterial vor dessen Versprühen (wenn überhaupt) erhitzt wird, kann daher als ein Steuerungsfaktor eingesetzt werden, der es ermöglicht, die Dicke und in einigen Fällen möglicher­ weise auch die Qualität der gebildeten Schicht innerhalb bestimmter Grenzen zu variieren.

Gemäß bestimmten vorteilhaften Ausführungsformen der Erfin­ dung weist das Gas, das in die Atmosphäre hinter dem oder die Tröpfchenströme abgegeben wird, um den vorwärts gerich­ teten Fluß des Gases zur Umhüllung der rückwärtigen Hälfte des oder jedes Tröpfchenstromes aufrecht zu erhalten, eine solche Temperatur auf, daß der Gasfluß die Temperatur der Tröpfchen des oder der Ströme auf ihrem Weg zur Unterlage beeinflußt. Die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfah­ rens in dieser Weise macht vom Gegenstand der GB 2 068 934 A Gebrauch.

Das Glas kann bis zu einem solchen Ausmaß vorerhitzt werden, daß der Gasfluß heizend wirkt oder das Abkühlen der versprüh­ ten Tröpfchen vermindert mit dem Ergebnis, daß die gebildete Schicht dicker ist als sie anderweitig wäre. Wahlweise kann das Gas bei einer solchen Temperatur abgegeben werden, daß der Gasfluß einen Kühleffekt auf die Tröpfchen ausübt. Ganz allgemein kann gesagt werden, daß ein solcher Kühleffekt zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nicht erforderlich ist, doch können sich Umstände ergeben, in denen er mit Vorteil genützt werden kann, zum Beispiel zum Zwecke einer gesteuerten Verminderung der Schichtdicke, wenn sich herausstellt, daß diese zu Beginn größer als erforder­ lich ist, oder beim Übergang von einer Beschichtungsspezi­ fikation zur anderen. Um eine gleichförmige Beschichtung der Unterlage zu fördern, erweist es sich als zweckmäßig, daß die Auftreffzone des oder jedes Tröpfchenstroms auf der Unterlage eine beträchtliche Länge, gemessen längs des Weges des Glasbandes, aufweist. Diesbezüglich wird es bevor­ zugt, daß der oder jeder Tröpfchenstrom auf dem Band in einem ziemlich flachen spitzen Winkel auftrifft. Aus diesem Grunde und unter Berücksichtigung praktischer Erwägungen der Vorrichtungskonstruktion wird es bevorzugt, daß die Achse des oder jedes Tröpfchenstroms einen Winkel von zwi­ schen 20° und 40° mit dem Glasband bildet.

Vorzugsweise bildet wenigstens ein Teil des hinter den oder jeden Tröpfchenstrom abgegebenen Gases einen Strahl, der gegen das Band derart gerichtet ist, daß die Achse des Strahls mit dem Band einen Winkel bildet, der nicht gerin­ ger ist als ein Wert gleich 10° weniger als der Winkel zwi­ schen dem Band und der Achse eines solchen Tröpfchenstroms. Diese Bedingung erwies sich als vorteilhaft zur Erzielung guter Resultate bei einer sehr kompakten räumlichen Anordnung der Gasabgabe- und Sprühdüsen. So ist es zum Beispiel zweck­ mäßig, daß die Achse eines derartigen Gasstrahls mit dem gleichen Winkel auf das Band auftrifft wie die Achse des Tröpfchenstroms oder bei einem steileren Winkel (zum Bei­ spiel steiler um bis zu 20°) als die Achse dieses Tröpfchen­ stroms.

Vorzugsweise trifft das hinter den oder jeden Tröpfchenstrom abgegebene Gas auf das Band in einer Zone oder in Zonen auf, die nahe der Rückseite der Auftreffzone dieses oder dieser Tröpfchenströme auf dem Band liegen oder diese überlappen. Es erfolgt dann keine unnötige Vernichtung der kinetischen Energie des abgegebenen Gases, bevor es seine entscheidend wichtige Spülwirkung rund um den Tröpfchenstrom ausgeübt hat.

Das Gas kann aus einer oder mehreren schlitzähnlichen Öffnun­ gen abgegeben werden unter Bildung eines Vorhangs, der sich über die gesamte Breite des Bandweges oder fast in solcher Weise erstreckt, doch hätte dies aufgrund der erforderlichen Gasgeschwindigkeit die Abgabe einer sehr großen Menge Gas zur Folge. Um die Menge an ausgestoßenem Gas zu vermindern, erweist es sich als vorteilhaft, das Gas aus einer oder mehreren Düsen abzugeben, die so versetzt werden, daß sie den Bandweg synchron mit dem oder jedem Tröpfchenstrom wie­ derholt überqueren. So kann zum Beispiel das Gas praktisch symmetrisch unterhalb dieses oder eines entsprechenden Tröpfchenstroms abgegeben werden und vorzugsweise wird so verfahren.

Gemäß vorteilhaften Ausführungsformen der Erfindung wird das hinter den oder jeden Tröpfchenstrom abgegebenen Gas aus einer einzigen querlaufenden Düse, zum Beispiel einer Düse mit einer schlitzähnlichen Abgabeöffnung, und vorzugs­ weise einer Düse zur Erzeugung eines fächerartigen Strahls, ausgestoßen. Ein wirksamerer Gasabgabeverlauf wird jedoch erzielt, wenn nach einer bevorzugten Ausführungsform das hinter den oder jeden Tröpfchenstrom abgegebene Gas aus einer Mehrzahl von querlaufenden Düsen ausgestoßen wird, die praktisch symmetrisch bezüglich einer Ebene verteilt sind, welche die Achse eines solchen Tröpfchenstroms umfaßt. Durch Abgabe des Gases aus einer Mehrzahl von Düsen ist es leichter, Gasströme zu erzeugen, die in einer sehr wirksamen Art und Weise eine bestimmte Richtung in bezug auf den Tröpfchenstrom haben. Demzufolge kann ein bestimmter Effekt unter Verwendung eines geringeren Gasvolumens erzielt wer­ den, als wenn ein einziger großer Strahl zum Einsatz gelangt. Außerdem sind die Gasströme relativ einstellbar. Die am meisten bevorzugte Verfahrensweise, die sich als diejenige erwiesen hat, die zu den besten Ergebnissen führt, ist die Abgabe des Gases von einer Gruppe von drei Düsen, wobei diese Gruppe eine mittlere Düse umfaßt, deren Achse in oder nahe der angegebenen Ebene liegt, und einem Paar von äußeren Düsen, die auf jeder Seite einer solchen mittleren Düse an­ geordnet sind.

Bei Verwendung einer derartigen Dreifach-Strahlanordnung bildet die Achse des mittleren Gasstrahls, das heißt des aus der mittleren Düse austretenden Strahls mit dem Band vorzugs­ weise einen Winkel, der zwischen 10° weniger und 20° mehr ist als der Winkel zwischen dem Band und der Achse des zu­ gehörigen Tröpfchenstroms. Dieser Bereich ist aus empiri­ schen Daten abgeleitet, die erkennen lassen, daß diese Beziehung zwischen den Neigungswinkeln des mittleren Gas­ strahls und des Tröpfchenstroms dazu beitragen, daß der maximale Nutzen aus der Erfindung gezogen werden kann. Die­ ses anzustrebende Ergebnis kann weiter dadurch gefördert werden, daß die äußeren Strahlen so gerichtet werden, daß deren Achsen mit dem Band einen Winkel bilden, der gleich dem oder flacher als der Neigungswinkel des mittleren Strahls ist. Dieses Merkmal findet in einigen erfindungsgemäßen Aus­ führungsformen Anwendung. Gemäß den bevorzugteren Ausführungs­ formen sind die äußeren Gasstrahlen zu dem Glasband in einem flacheren Winkel geneigt als der mittlere Strahl. Der flachere Winkel gibt den äußeren Gas strahlen ein größeres Vorwärts- Momentum, das deren Effektivität vergrößert.

Ein weiterer Faktor, der die Wirkung der Gasströme in einer Dreifach-Strahlanordnung beeinflußt, ist die räumliche Beziehung zwischen den Zonen, in denen die ausgestoßenen Bahnen der Gasströme auf das Band auftreffen. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die aus den äußeren Düsen austretenden Gasströme auf das Band in Zonen auftreffen, die sich nach vorwärts über die Auftreffzone des Gasstroms erstrecken, welcher von der mittleren Düse austritt.

Um das Säubern der Atmosphäre und der Unterlage auf beiden Seiten des Tröpfchenstroms zu fördern, erweist es sich als zweckmäßig, daß die Gasströme, die aus den äußeren Düsen austreten, nach vorwärts um zwischen 5 und 15° von einer Ebene divergieren, welche die Achse des zügehörigen Tröpfchen­ stroms und die Achse des mittleren Gasstrahls umfaßt. In eini­ gen Ausführungsformen der Erfindung wird von einer divergierenden Richtung der äußeren Gasströme Gebrauch gemacht. Gemäß bevorzugten Ausführungsformen gehen jedoch die äußeren Gasströme nach vorwärts gegen diese Ebene zusammen. Eine der­ artige konvergierende Anordnung erfordert einen größeren Platzbedarf zur Unterbringung der Gasabgabedüsen, sie führt jedoch zu einer effizienteren Wirkung der Gasströme beim Mitreißen von Spritzern des Beschichtungsmaterials.

Wenn das hinter dem oder jedem Tröpfchenstrom abgegebene Gas von einer Mehrzahl von Gasabgabedüsen des oben angegebenen Typs ausgestoßen wird, können diese Düsen so angeordnet sein, daß deren Achsen in einer gemeinsamen Ebene liegen.

Es erweist sich als besonders vorteilhaft, daß dann, wenn eine Mehrzahl von Gasströmen hinter den oder jeden Tröpfchen­ strom abgegeben wird, derartige Gasströme diese Tröpfchenströme vor deren Auftreffen auf das Band unter Bildung eines konti­ nuierlichen Gasvorhangs zusammenlaufen.

Vorzugsweise haben die hinter den oder jeden Tröpfchenstrom abgegebenen Gasströme sich gegenseitig überlappende Auftreff­ zonen auf dem Band, die sich hinter der Auftreffzone des Tröpfchenstroms befinden oder sich mit dieser überlappen.

Die Erfindung betrifft ferner die in Patentanspruch 14 angegebene Vorrichtung. Diese Vorrichtung umfaßt vor­ zugsweise eines oder mehrere der folgenden wahlweisen Merk­ male:

• (i) Die Achse der oder jeder Sprühabgabedüse bildet einen Winkel zwischen 20° und 40° mit dem Weg des Bandes.
• (ii) Wenigstens eine der Gasabgabedüsen ist mit ihrer Achse in einem Winkel zum Weg des Bandes angeordnet, der gleich oder größer ist als ein Wert von 10° weniger als der Winkel zwischen diesem Weg und der Achse der zugeordneten Sprühabgabedüse.
• (iii) Die Gasabgabedüsen sind praktisch symmetrisch bezüg­ lich einer Ebene angeordnet, welche die Achse dieser Sprühabgabedüse umfaßt.
• (iv) Es ist eine Gruppe von drei Gasabgabedüsen vorgesehen, wobei diese Gruppe eine mittlere Düse umfaßt, deren Achse in oder nahe zu einer Ebene liegt, welche die Achse der Sprühabgabedüse umfaßt, und ein Paar äuße­ rer Düsen, die an jeder Seite dieser mittleren Düse angeordnet sind.
• (v) Bei Vorliegen einer Gruppe von Gasabgabedüsen des in (iv) angegebenen Typs nimmt die Achse der mittleren Düse mit dem Weg des Bandes einen Winkel ein, der zwischen 10° weniger und 20° mehr als der Winkel zwi­ schen dem Weg des Bandes und der Achse der Sprühabgabe­ düse beträgt, und vorzugsweise nehmen die Achsen der äußeren Düsen mit dem Weg des Bandes einen Winkel ein, der gleich oder geringer ist als der Winkel zwischen diesem Weg des Bandes und der Achse der mittleren Düse.
• (vi) Bei Vorliegen einer Gruppe von Gasabgabedüsen des in (iv) oder (v) angegebenen Typs gehen die Achsen der äußeren Düsen nach vorwärts, um zwischen 5° und 15° von dieser Ebene, welche die Achse der Sprühabgabe­ düse umfaßt, auseinander.
• (vii) Bei Vorliegen einer Gruppe von Gasabgabedüsen des in (iv) oder (v) angegebenen Typs gehen die Achsen der äußeren Düse gegen diese Ebene, welche die Achse der Sprühabgabedüse umfaßt, zusammen.
• (viii) Die Gasabgabedüsen sind in solcher Weise angeordnet, daß deren Achsen praktisch in einer gemeinsamen Ebene liegen.
• (ix) Es sind Einrichtungen zur Erhitzung des Gases vor des­ sen Abgabe durch die Gasabgabedüsen vorgesehen.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird durch die beigefügte Zeichnung näher veranschaulicht, in der darstel­ len

Fig. 1 und 2 schematische Wiedergaben der Abgabe von Beschich­ tungsvorläufermaterial und Gas, und

Fig. 3 ein Vertikalschnitt einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung.

In den Fig. 1 und 2 wird ein Strom 1 von Tröpfchen aus Beschichtungsvorläufermaterial aus einer eine Öffnung 2 auf­ weisenden Düse gegen den Weg 3 eines Bandes aus heißem Glas gesprüht. Das Glas bewegt sich längs des Weges 3 in der Vor­ wärtsrichtung, die durch den Pfeil 4 in Fig. 1 bezeichnet ist. Der Tröpfchenstrom 1 trifft den Weg 3 des Bandes über einer elliptischen Auftreffzone 5, die wiederholt die Breite des Bandweges überquert. Der Tröpfchenstrom 1 wird mit aus­ reichender Geschwindigkeit versprüht, um ein Verspritzen zu verursachen. Um die in Vorwärtsrichtung 4 verspritzten Tröpfchen wegzureißen und abzuführen, wird Gas von rückwärts hinter dem Tröpfchenstrom abgegeben. Wie aus Fig. 2 ersicht­ lich, werden drei Gasströme, deren Achsen mit 6, 7 und 8 bezeichnet sind, von den Gasabgabedüsenöffnungen 9, 10, 11 abgegeben unter Bildung eines vorwärts gerichteten Stroms von Gas, das auf dem Bandweg 3 an den Auftreffzonen 12, 13 und 14 auftrifft, wobei mindestens ein Teil desselben direkt hinter der Tröpfchenstrom-Auftreffzone 5 liegt, so daß die hintere Hälfte 15 dieser Zone wenigstens am Bodenteil seiner Flugbahn vom Gas umhüllt wird, das vom Glasband abgelenkt wird.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Praxis befindet sich die Sprühdüsenöffnung 2 60 cm ober­ halb des Bandweges, wobei die Achse 16 in der Vorwärtsrich­ tung 4 in einem Winkel von 30° auf den Transportweg 3 ein­ gestellt ist. Die Gasabgabedüsenöffnungen 9, 10, 11 sind 7 cm vor und 23,5 cm unterhalb der Sprühdüsenöffnung 2 vor­ gesehen. Die Achsen 6, 7, 8 der Gasdüsenöffnungen sind koplanar in einer Ebene von 45° zur Horizontalen. Die Achse 7 der mittleren Gasdüsenöffnung 10 ist in Vorwärtsrichtung 4 eingestellt und so angeordnet, daß ein flacher fächerför­ miger Strahl mit einer Breitenstreuung von 53° in der Ebene der Gasdüsenachse abgegeben wird. Der horizontale Abstand zwischen jeder der seitlichen Düsenöffnungen 9 und 11 und eine vertikale Ebene, welche die Achse 7 der mittleren Gas­ abgabeöffnung 10 umfaßt, beträgt 9 cm und jede der seit­ lichen Düsenachsen 6, 8 divergiert um 9° von der Achse 7 der mittleren Öffnung in der Ebene dieser Achsen. Jede der beiden seitlichen Düsen ist so angeordnet, daß sie einen runden Gasstrom von 20° abgeben. Die gesamte Zone der Gas­ auftreff-Flächen 12, 13, 14 auf dem Bandweg ist somit wenig­ stens zweimal so breit wie die Auftreffzone 5 des Tröpfchen­ stroms 1.

Gemäß Fig. 3 wird ein kontinuierliches Band von Flachglas 17 längs eines Weges 3 in einer Vorwärtsrichtung 4 mit Hilfe von Transportrollen 18 durch eine Beschichtungsstation 19 in einen Tunnel mit einer Decke 20 und einem Boden 21 bewegt. Die Tunneldecke 20 weist einen in Querrichtung verlaufenden Schlitz 22 auf und auf jeder Seite desselben läuft eine Schiene 23, die einen Schlitten 24 trägt, auf dem ein Sprüh­ kopf 25 zum Versprühen von Tröpfchen aus Beschichtungsvorläu­ fermaterial und eine Gasabgabeeinrichtung 26 zur Abgabe von Gas, wie dies im Zusammenhang mit den Fig. 1 und 2 beschrie­ ben ist, montiert ist. Abgase werden durch einen Schacht 27 abgesaugt.

Beispiel 1

Es sollte ein frisch gebildetes Band aus Floatglas mit einer mit Dotierungsmittel versehenen Zinnoxidschicht hergestellt werden, um dann aus diesem Band Glasscheiben mit Infrarot- abschirmenden Eigenschaften gewinnen zu können.

Um dies zu bewerkstelligen, wurde eine Beschichtungsstation des in Fig. 3 veranschaulichten Typs zwischen dem Ausgang aus dem Schwimmtank und dem Eingang zum Kühlkanal vorgesehen, so daß das Band durch Pyrolyse beschichtet wer­ den konnte, während es noch heiß war. Die Sprüheinrichtung und die Gasabgabeeinrichtung in dieser Beschichtungsstation waren so ausgestaltet, daß ein Tröpfchenstrom und ein drei­ strahliger Gasstrom des in Fig. 2 dargestellten Typs gebil­ det wurden, wobei die relative Lage zueinander und die Winkel der Sprüh- und Gasabgabedüsen sowie die Formen und Beziehungen der Gasstrahl-Auftreffzonen der oben im Zusam­ menhang mit Fig. 2 beschriebenen praktischen Ausführungs­ form entsprachen.

Das Band war 2,5 m breit, 6 mm dick und bewegte sich durch die Beschichtungsstation mit einer Geschwindigkeit von etwa 8,5 m/min, wobei seine mittlere Temperatur etwa 600°C betrug.

Eine Lösung aus SnCl₂·2H₂O, NH₄HF₂ und Wasser wurde her­ gestellt.

Zur Bildung einer 750 nm dicken Beschichtung wurde diese Beschichtungsvorläuferlösung mit einer Beschichtungsgeschwindigkeit 165 l/h durch eine Zerstäuberdüse versprüht unter Verwendung von Luft als Trägergas, die mit 250 Nm³/h unter einem Über­ druck von 14 bar eingespeist wurde, während die Düse in Querrichtung zur Laufrichtung des Bandes mit einer Frequenz von 25 Zyklen pro Minute hin- und herbewegt wurde. Diese Sprühgeschwindigkeit reichte aus, um ein beträchtliches Ver­ spritzen beim Auftreffen des Tröpfchenstroms auf dem Glas­ band zu bewirken.

Um diese Tröpfchen in der Stromabwärtsrichtung gegen den Absaugschacht mitzureißen, so daß ein Teil der Oberfläche des Bandes zumindest zu dem Zeitpunkt, bevor es das erste Mal vom Tröpfchenstrom als solchem bestrichen wird, mit ihnen nicht in Kontakt gelangt, wurde Luft aus der mittleren Düse 10 mit einer Volumengeschwindigkeit von 90 Nm³/h und von jeder der äußeren Düsen 9, 11 mit einer Volumengeschwin­ digkeit von 45 Nm³/h, was einer Gesamtvolumengeschwindigkeit der Strömung von 180 Nm³/h entsprach, abgegeben. Die Luft wurde unter einem Überdruck von 4,4 bar abgegeben. Diese Abgabe von Gas aus den drei Düsen verhinderte praktisch, daß beim Verspritzen gebildete Streutröpfchen mit dem Band in Kontakt gelangten. Die gebildete Beschichtung wurde geprüft und es zeigte sich, daß sie von guter optischer Qualität war. Bei der Durchführung dieses Beispiels wurde den Gasabgabedüsen bei einer Temperatur von 20-25°C Luft zugeführt. Die Luft könnte allerdings auch vorerhitzt wer­ den unter Erzielung gleich guter Ergebnisse.

Beispiel 2

Ein frisch gebildetes Band aus Glas von 2,5 m Breite, das mit 7 m/min vorwärts bewegt wurde, wurde in einer Beschich­ tungsstation, die mit Sprüh- und Gasabgabeeinrichtungen, wie sie in Beispiel 1 zur Anwendung gelangten, ausgestattet war, beschichtet. Bei der Durchführung dieses Beispiels war, ebenso wie in Beispiel 1, die Sprühdüsenöffnung 60 cm ober­ halb des Bandweges angebracht und deren Achse umschloß mit dem Bandweg einen Winkel von 30°, und die Öffnungen 9, 10, 11 der Gasabgabedüsen waren 7 cm vor und 23,5 cm unterhalb der Sprühdüsenöffnung 2 vorgesehen. Die Achse 7 des mittle­ ren Gasstrahls hatte jedoch die gleiche Neigung (30°) auf das Glasband wie die Achse 16 des Tröpfchenstroms, der hori­ zontale Abstand zwischen jeder der äußeren Gasabgabeöffnun­ gen 9 und 11 und einer vertikalen, die Achse der mittleren Gasabgabeöffnung 10 umfassenden Ebene betrug 44 cm, und jede der äußeren Gasabgabedüsen war so eingestellt, daß deren Achse eine Neigung von 10° auf das Glasband hatte und nach vorwärts zusammenlief gegen die vertikale Ebene, welche die Achse der mittleren Düse umfaßte, die mit die­ ser Ebene einen Winkel von 15° einschloß.

Eine Lösung von Beschichtungsvorläufermaterial, wie es in Beispiel 1 zur Anwendung gelangte, wurde mit einer Geschwindigkeit von 165 l/h versprüht, unter Verwendung von Luft als Träger­ gas, die mit 270 Nm³/h unter einem Überdruck von 14,5 bar eingespeist wurde, während die Düse quer zur Laufrichtung des Bandes mit einer Frequenz von 25 Zyklen pro Minute hin- und herversetzt wurde. Unter diesen Bedingungen erfolgte ein Verspritzen des versprühten Materials von der Bandober­ fläche.

Luft wurde unter einem Überdruck von 3 bar von der mittleren Düse 10 mit einer Volumengeschwindigkeit von 61 Nm³/h und von jeder der äußeren Düsen 9 und 11 mit einer Volumen­ geschwindigkeit von 45 Nm³/h abgegeben.

Die gebildete Beschichtung wurde geprüft und es zeigte sich, daß sie von guter optischer Qualität war.

Beispiel 3

Die in Beispiel 2 beschriebene Verfahrensweise wurde wieder­ holt, jedoch unter Anwendung folgender Modifikationen. Die äußeren Gasabgabedüsen wurden in einem horizontalen Abstand von 63 cm von der die mittlere Gasabgabedüse umfassenden vertikalen Ebene versetzt und so geneigt, daß die Achse je­ der dieser äußeren Düsen gegen diese mittlere vertikale Ebene mit einem eingeschlossenen Winkel von 20° zusammen­ lief und eine Neigung von 20° gegen das Glasband hatte; außerdem wurde Luft von jeder dieser äußeren Düsen mit einer Volumengeschwindigkeit von 35 Nm³/h unter einem Überdruck von 2 bar abgegeben und zu diesem Zweck wurden die äußeren Düsen unabhängig von der mittleren Gasabgabedüse mit Luft beschickt. Wie im Beispiel 2 wurde Luft aus der mittleren Düse mit 61 Nm³/h unter einem Überdruck von 3 bar abgegeben. Es wurde ein Überzug mit guter optischer Qualität gebildet.

Claims (24)

1. Verfahren zur pyrolytischen Bildung einer Beschichtung aus einer Metallverbindung auf einer heißen Glas-Unterlage, die mit wenigstens 4,5 m/min durch eine Beschichtungsstation transpor­ tiert wird, bei dem in einer Beschichtungsstation

• - Beschichtungsvorläufermaterial in Form von Tröpfchen schräg gegen den Weg der Unterlage aus Einrichtungen, welche den Weg der Unterlage wiederholt queren, gesprüht wird,
• - wobei der wenigstens eine Tröpfchenstrom zumindest Schall­ geschwindigkeit aufweist und
• - bei dem hinter dem wenigstens einen Tröpfchenstrom Gas mit einer minimalen Gesamtvolumengeschwindigkeit von 130 Nm³/h in die Atmosphäre abgegeben wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der wenig­ stens eine Tröpfchenstrom unter einem Überdruck von wenigstens 10 bar versprüht wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung mit einer Volumengeschwindigkeit von wenigstens 6 cm³/min gebildet wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung mit einer Dicke von wenigstens 700 nm aufge­ bracht wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine wäßrige Lösung aus Beschichtungsvorläufermaterial, vorzugs­ weise eine wäßrige Lösung einer anorganischen Zinnverbindung, in einem Trägergas versprüht wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das gesamte (NTP)-Volumen des Gases, das hinter dem wenig­ stens einen Tröpfchenstrom abgegeben wird, wenigstens 40% des gesamten (NTP)-Trägergasvolumens ist, das mit den Tröpfchen abge­ geben wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse des wenigstens einen Tröpfchenstroms einen Winkel von 20° bis 40° mit der Unterlage bildet.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil des hinter jedem Tröpfchenstroms abgegebenen Gasstroms mit der Unterlage einen Winkel ausbildet, der um nicht mehr als 10° von dem Winkel zwischen der Unterlage und der Achse des wenigstens einen Tröpfchenstroms abweicht.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das hinter dem wenigstens einen Tröpfchenstrom abgegebene Gas in Form von drei Gasströmen abgegeben wird, die so angeordnet sind, daß sie den Weg der Unterlage synchron mit dem Tröpfchenstrom überqueren, wobei die äußeren Gasströme auf der Unterlage in Zonen auftreffen, die sich nach vorwärts über die Auftreffzone des mittleren Gasstromes erstrecken.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das hinter dem wenigstens einen Tröpfchenstrom abgegebene Gas als eine Mehrzahl von Gasströmen abgegeben wird, die so angeordnet sind, daß sie den Weg der Unterlage synchron mit dem Tröpfchenstrom überqueren, und daß sie vor ihrem Auftreffen auf der Unterlage unter Bildung eines kontinuierlichen Gasvorhanges zusammenlaufen.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehr­ zahl der hinter dem wenigstens einen Tröpfchenstrom abgegebenen Gasströme sich gegenseitig überlappende Auftreffzonen auf der Unter­ lage bilden, die hinter der Auftreffzone des Tröpfchenstroms liegen oder diese überlappen.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeich­ net, daß das in die Atmosphäre hinter dem wenigstens einen Tröpf­ chenstrom abgegebene Gas erwärmt wird.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeich­ net, daß eine thermische Konditionierung der Unterlage vor ihrer Beschichtung durchgeführt wird.

14. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprü­ che 1 bis 13 mit

• - einem Förderer zum Transport der zu beschichtenden Unterlage längs eines Weges durch eine Beschichtungsstation,
• - mindestens einer Sprüheinrichtung mit mindestens einer Sprüh­ abgabedüse, die den Weg der Unterlage wiederholt quert, und den wenigstens einen Tröpfchenstrom schräg gegen den Weg der Unterlage sprüht,
• - mindestens einer Gasabgabeeinrichtung mit einer Vielzahl von Gasabgabedüsen, die so angeordnet sind, daß Gasstrahlen in die Atmosphäre hinter dem wenigstens einen Tröpfchenstrom ab­ gebbar sind,
• - einem Mechanismus zur synchronen Bewegung der Sprüh- und Gasabgabedüsen.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, mit mindestens einer Strahlungsheiz­ einrichtung vor der Beschichtungsstation zur thermischen Konditionie­ rung der Unterlage.

16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, mit Einrichtungen zur Erhit­ zung des Gases vor dessen Abgabe durch die Gasabgabedüsen.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei der die Achse der wenigstens einen Sprüheinrichtung einen Winkel zwischen 20° und 40° zu dem Weg der Unterlage bildet.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, bei der wenigstens eine Gasabgabedüse mit ihrer Achse einen Winkel zum Weg der Unter­ lage ausbildet, der um nicht mehr als 10° von dem Winkel zwischen der Unterlage und der Achse der Sprühabgabedüse abweicht.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, die eine Gruppe von drei Gasabgabedüsen aufweist, wobei die Achse der mittleren Düse einen Winkel zum Weg der Unterlage ausbildet, der um nicht mehr als 10° weniger und um nicht mehr als 20° mehr von dem Winkel zwi­ schen dem Weg der Unterlage und der Achse der wenigstens einen Sprühabgabedüse abweicht.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, bei der die Achsen der äußeren Düsen mit dem Weg der Unterlage einen Winkel ausbilden, der gleich oder geringer ist als der Winkel zwischen dem Weg der Unterlage und der Achse der mittleren Düse.

21. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, bei der die äußeren Düsen so angeordnet sind, daß die Achsen fächerförmig auseinandergehen.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, bei der die Achsen der äußeren Düsen einen Winkel zwischen 5° und 15° zur Achse der Sprühabgabedüse ausbilden.

23. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, bei der die äußeren Düsen so angeordnet sind, daß die Achsen zueinanderlaufend ausgerichtet sind.

24. Vorrichtung nach Anspruch 19 bis 23, bei der die Achsen der Gas­ abgabedüsen in einer gemeinsamen Ebene liegen.