AT396928B

AT396928B - Verfahren und vorrichtung zum pyrolytischen überziehen von glas

Info

Publication number: AT396928B
Application number: AT0304086A
Authority: AT
Inventors: Jean-Francois Thomas; Robert Terneu; Albert Van Cauter; Robert Van Laethem
Original assignee: Glaverbel
Priority date: 1985-12-20
Filing date: 1986-11-14
Publication date: 1993-12-27
Also published as: IT8667825A0; JP2565694B2; FR2592029B1; SE465219B; ATA304086A; NO864094L; CA1260776A; NL194000B; LU86665A1; GB8531425D0; NO864094D0; DE3638435A1; US4728353A; NO170005B; DE3638435C2; IT1195834B; NL194000C; SE8604889L; JPS62148342A; NL8602904A

Description

AT396928B

Die Erfindung betrifft ein pyrolytisches Überzugsverfahren, bei dem ein warmes Glassubstrat in Scheibenoder Bandform unter einer Überzugskammer durchläuft, die nach unten gegen das Substrat rieh öffnet und in der ein Überzug auf der Oberseite dieses Substrats aus dem Überzugsvorläufermaterial gebildet wird, wobei das Glassubstrat ein frisch geformtes Band heißen Glases ist und der Überzug, nachdem dieses Band eine Bandformmigsanlage verläßt, vor seinem Eintritt in einen Kühlofen geformt wird. Die Erfindung befaßt sich auch mit einer Vorrichtung zur pyrolytischen Bildung eines Metallverbindungsüberzuges auf einer Oberfläche eines heißen Glassubstrats in Band- oder Scheibenform mit Fördereinrichtungen zum Fördern eines solchen Substrats längs einer Bahn in Abströmrichtung, einer Dach- oder Deckenkonstruktion, die eine Überzugskammer bildet, die nach unten auf diese Bahn offen ist und mit Einrichtungen, um dieses Überzugsvorläufermaterial in diese Kammer einzubringen, wobei die Überzugsstation zwischen dem Austritt aus einer Bandformungsanlage und dem Eintritt in einen Kühlofen angeordnet ist.

Solche Verfahren und Vorrichtungen sind brauchbar bei der Herstellung von mit Überzug versehenem Glas für verschiedene Zwecke, wobei der Überzug so ausgewählt ist, daß er auf dem Glas gewisse besondere gewünschte Eigenschaften hervorruft. Besonders wichtige Beispiele von Überzügen, die auf Glas aufgebracht werden können, sind solche, die so ansgelegt sind, daß sie das (spezifische) Emissionsvermögen der überzogenen Fläche bezüglich Infrarotstrahlung reduzieren, insbesondere Infrarotstrahlung mit Wellenlängen über 3 |xm, sowie solche, die das Gesamtenergietransmissionsvermögen des überzogenen Glases in bezug auf Solarstrahlung vermindern. Es ist beispielsweise bekannt, Glas mit einem Überzug niedrigen Infrarotemissionsvermögens aus Zinndioxid für Wärmehaltezwecke auszubilden; auch ist bekannt, Glas mit einem Überzug, der das Transmissionsvermögen für Sonnenenergie reduziert, aus einem Metalloxid wie Titanoxid oder einem Gemisch aus Metalloxiden wie Fe203 + CoO + G2O3 anzugeben, mit dem Hauptziel, den Solarwärmegewinn oder -blendung zu vermindern. Überzüge, die auf Glas zur Verwendung für Verglasungszwecke aufgebracht werden, sollten von hoher und gleichförmiger optischer Qualität sein; außerdem sollen sie haltbar sein. Natürlich sollte der gebildete Überzug eine korrekte Dicke % den beabsichtigten Zweck haben; auch sollte es kommerziell wünschenswert sein, daß die Bildungsrate des Überzugsmaterials ausreichend sein sollte, um die gewünschte Überzugsdicke selbst dann aufzubauen, wenn das Substrat sich bei ziemlich hoher Geschwindigkeit bewegt, wie beispielsweise durch andere Verfahren im Herstellungsablauf diktiert wird.

Verschiedenartige sich mit dem Übeizugsverfahren befassende Faktoren zeitigten Einfluß in der Art und Weise, wie der Überzug auf dem Substrat gebildet wurde; unter diesen können die physikalische Phase des Materials, aus dem der Überzug gebildet wird, und die Natur dieses Materials sowie die Energie genannt werden, mit der dieses Material veranlaßt wird, das Substrat zu kontaktieren. Auch spielt die Temperatur der Überzugskammer und des zu überziehenden Substrats eine Rolle.

Beispielsweise ist bekannt, daß die Geschwindigkeit, bei der Überzugsreaktionen ablaufen, von der Temperatur abhängt. Im allgemeinen erfolgt der Überzugsaufbau umso schneller, je höher die Temperatur und je feiner die Kristallsttuktur des gebildeten Überzugs ist. Eine gleichförmig feine Kristallstruktur ist günstig für eine hohe Überzugsqualität und für die Haltbarkeit.

Aus der DE-OS 3417596, der DE-OS 3315332, der DE-OS 3123693 und der DE-OS 3103234 ist ein Stand der Technik bekanntgeworden, bei welchem darauf abgezielt wurde, das Überzugsvorläufermaterial mit Düsen unmittelbar oberhalb der Substratebene auszubringen, um ein Verdampfen des Überzugsvorläufermaterials auf dem Weg zur zu beschichtenden Oberfläche mit Sicherheit zu vermeiden. Weiters wurde bei diesem bekannten Stand der Technik darauf abgezielt durch Einbringen von gerichteten Gasströmen von der zu beschichtenden Substratoberfläche beim Beschichten rückprallendes Material sicher zu entfernen, um ein Absetzen eines derartigen bereits oxidierten Materials mit Sicherheit zu vermeiden, da dies als Ursache für Fehlstellen und mangelnde Qualität der zur bildenden Beschichtung betrachtet wurde.

Der DE-OS 3123693 ist darüberhinaus zu entnehmen, daß in die Überzugskammer in Abstand von der Sübstratbahn ein Gasstrom eingebracht wird, welcher keineswegs zur Ausbildung einer definierten Gas-Schicht oberhalb der Substratbahn sondern zur Entfernung von unerwünschtem Beschichtungsmaterial dient. Der Überzugskammer ist eine Vorkammer vorgeschaltet, in welcher mittels Heizeinrichtungen eine Erwärmung und Vergleichmäßigung der Oberflächentemperatur des zu beschichtenden Glasbandes bzw. Glassubstrates erfolgt.

Bei bekannten Verfahren hat man somit immer versucht, die Temperatur des heißen Substrats vor der Überzugsbildung zu regeln; Schritte wurden immer unternommen, um die Temperatur der gesamten Umgebung innerhalb der Überzugskammer zu regeln.

Die Erfindung beruht auf der Entdeckung, daß die Überzugsqualität stark von einem Faktor beeinflußt wird, der bisher übeisehen wurde, nämlich der Temperatur der Atmosphäre unmittelbar oberhalb des Substrats in der Zone, wo die Überzugsbildung beginnt.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist im wesentlichen dadurch gekennzeichnet, daß die gasförmige Umgebung in unmittelbarer Nachbarschaft der Oberseite des Substrats wenigstens in der Zone, in der diese Übeizugsbildung beginnt, geregelt wird, indem vorgewärmtes Gas in Strömlingsrichtung des Glassubstrats zugeführt und in diese Kammer in Kontakt mit dem Substrat eintritt und eine Decken- oder Dünnschicht bildet, -2-

AT396928B die das Substrat wenigstens in dieser Zone überdeckt

Die Möglichkeit einer Regelung der gasförmigen Umgebung in Kontakt mit dem Substrat in der Zone, wo die Überzugsbildung beginnt, ist ein Faktor, der bisher übersehen wurde. Es hat sich herausgestellt, daß es bei weitem leichter ist, Bedingungen in solch einer Deckenschicht mit dem erforderlichen Genauigkeitsgrad zu regeln, als die gesamte Umgebung innerhalb der Überzugskammer zu regeln. Außerdem ist es möglich, eine allgemeine Gasströmung in Kontakt mit dem Substrat von einem Ort anströmseitig zu dem Bereich, wo die Überzugsbildung beginnt, derart zu erzeugen, daß an dieser Zone ein Mikroklima in Kontakt mit der Substratfläche herrscht, welches empfänglich für die Überzugsreaktionen, die stattfinden sollen, ist

Um dies zu tun, ist es notwendig, die atmosphärische Schicht zu regeln oder zu modifizieren, die normalerweise in die Überzugskammer in Kontakt mit dem Substrat mitgerissen wurde, wenn vorgewärmtes Gas geliefert wird, so daß die das Glas abdeckende Schicht für die Überzugsreaktionen günstig konditioniert gemacht wird. Dies unterscheidet sich insbesondere von gewissen bekannten Techniken, bei denen die natürlich mitgerissene Glasschicht gestört wird, in dem starke Ströme relativ kühlen Gases auf das Substrat am anströmseitigen Ende der Überzugskammer gerichtet werden. Weil es weiterhin relativ einfach ist, die Bedingungen innerhalb dieser Deckenschicht zu regeln, ist es relativ einfach, diese Bedingungen einzustellen, beispielsweise um geringere Veränderungen in der Dicke des Überzuges zu kompensieren, der während eines kontinuierlichen Produktionslaufs abgeschieden wird.

Ausführungsformen der Erfindung, bei denen eine allgemeine Abwärtsströmung eines Überzugsvorläufermaterials oberhalb der Deckenschicht innerhalb der Überzugskammer stattfindet, sind besonders günstig für die Bildung von Hochqualitätsüberzügen wegen der Regelung, die so über die Strömung der Reaktionsteilnehmer innerhalb der Atmosphäre der Überzugskammer ausgeübt wird.

Vorzugsweise wird so vorgegangen, daß eine allgemeine Gasströmung gleichlaufend mit dem Glassubstrat längs der Übeizugskammer wenigstens zum Teil dadurch aufrechterhalten wird, daß atmosphärisches Material aus dieser Kammer an deren Abströmende angesaugt wird. In dem Ausmaß, in dem diese Abwärtsströmung durch Saugkräfte aufrechterhalten wird, die in den Abgasleitungen am abströmseitigen Ende erzeugt werden, sind die auf das Gas am anströmseitigen Ende der Überzugskammer wirkenden Kräfte sowie durch die Gasströmung am anströmseitigen Ende der Kammer ausgeübten Kräfte mehr diffus. Es hat sich herausgestellt, daß dies eine anfängliche Bildung eines Überzugssubstrats begünstigt, das von feiner und gleichförmiger Kristallstruktur am anströmseitigen Ende der Überzugskammer ist. Die Überzugskristallstruktur an der Glas/Überzugsgrenzfläche hat einen starken Einfluß auf die Art und Weise, in welcher der Rest der Überzugsdicke sich aufbaut, während das Substrat entlang der Überzugskammer wandert, und ist darüber hinaus von größerer Wichtigkeit bei der Bildung von Hochqualitätsübeizügen.

Ein Verfahren nach der Erfindung gibt die größten Vorteile, wenn es innerhalb einer im wesentlichen geschlossenen Überzugskammer durchgeführt wird, wodurch ein Reißen der Deckenschicht durch ungeordnete Ströme verhindert wird. Tatsächlich ist die wahrscheinlichste Quelle solcher ungeordneter Ströme im abströmseitigen Ende der Überzugskammer zu sehen. Nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist somit die Überzugskammer im wesentlichen an ihrem abströmseitigen Ende geschlossen, um einen Austausch des atmosphärischen Materials zwischen dem abströmseitigen Ende der Überzugskammer und einem weiteren abströmseitigen Bereich der Substratbahn zu verhindern. Solch ein Schließen kann beispielsweise durch Abgasleitungen erfolgen, die quer über die volle Breite der Überzugskammer am abströmseitigen Ende sich erstrecken. Die Einhaltung dieses Merkmals zeitigt auch den Vorteil, daß jede Verdünnung oder Verunreinigung der Atmosphäre im abströmseitigen Ende der Übeizugskammer aus dem weiteren abströmseitigen Bereich vermindert wird; Ströme der Überzugskammeratmosphäre werden daran gehindert, bei der weiteren Verarbeitung des Substrats zu stören und irgendwelches zusätzliches unerwünschtes Material auf den Überzug in Strömungsrichtung hinter der Überzugskammer äbzuscheiden. Erfindungsgemäß ist das Glassubstrat ein frischgeformtes Band heißen Glases; der Überzug wird gebildet, nachdem das Band eine Bandformungsanlage verläßt und bevor es in einen Kühlofen eintritt.

Die Überzugskammer kann so an einem Ort vorgesehen sein, wo sich das Glas auf jeden Fall auf einer Temperatur befindet, die geeignet für das Ablaufen pyrolytischer Überzugsreaktionen ist, so daß bei der Erwärmung des Glases auf solch eine Temperatur auftretende Kosten vermieden oder wesentlich reduziert werden. Wichtig ist, daß das Überziehen innerhalb einer Kammer stattfindet, die physisch sich von der Wandformungsanlage auf der einen Seite und dem Kühlofen auf der anderen Seite unterscheidet Gibt es keine solche Unterscheidung, und dies ist üblich bei früher auf diesem Gebiet bekanntgewordenen Vorschlägen für das Ablaufen des Übeiziehens innerhalb der Länge des Kühlofens, dann wären atmosphärische Bedingungen innerhalb der Überzugskammer geeignet durch Ströme von Gas gestört zu werden, die von dem Kühlofen und von der Bandformungsanlage abströmen - solche Ströme schleppen oft Staub und andere Verunreinigungsstoffe mit sich, die sonst in den Überzug als Defekte eingebaut werden; auch würde sonst die Gefahr bestehen, daß der Verlauf der atmosphärischen Ströme im Kühlofen gestört würde, was zu weniger günstigen Kühlbedingungen führen würde.

Abhängig von den Druckbedingungen oberhalb und unterhalb des Substrats an der Überzugskammer kann für die Atmosphäre Neigung bestehen, aus einem Bereich unterhalb des Substrats nach oben an seinen Seiten vorbeizuströmen, wo es die mit Vorläufer beladene Atmosphäre oberhalb des Substrats verdünnen könnte. Dies -3-

AT396928B kann zur Bildung von Obeizugsabscheidungen führen, die über den Substraträndem dünner als über dem Mittelteil des Substrats sind, mit dem Ergebnis, daß ein gewisser Anteil der Breite des überzogenen Substrats von nicht akzeptabler Qualität ist. Alternativ kann Neigung für die mit Vorläufermaterial beladene Atmosphäre bestehen, unter dem Substrat zu strömen, wo sie möglicherweise als unerwünschter Überzug auf dessen Unterseite sich abscheiden würde. Abhängig vom Strömungsmuster oder Strömungsverlauf der atmosphärischen Strömung in und unterhalb der Überzugskammer kann dieser unerwünschte Überzug mehr oder weniger regelmäßig sein, jedoch so dünn, daß er zu durchaus beanstandungswerten Interferenzeffekten führt; beispielsweise kann es sich um einen mehr oder weniger regelmäßigen Überzug handeln, dessen Dicke gegen die Mitte des Substrats abnimmt; oder es kann sich um einen ziemlich unregelmäßigen Überzug eines Musters handeln, der gedanklich an die Markierungen auf einem Backgammon-Brett erinnert. Um diese Nachteile zu vermindern, sorgen besonders bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung dafür, daß wenigstens über einen Teil der Länge der Überzugskammer die Strömung atmosphärischen Materials an den Seitenrändem des Substrats vorbei und zwischen den Zonen vertikal oberhalb und vertikal unterhalb des Substrats, beispielsweise durch seitliche Saugeinrichtungen und/oder Ablenkbleche unterbunden wird. Es hat sich herausgestellt, daß bei dieser Vorgehensweise die mit nutzbarem Überzug versehene Breite vergrößert werden kann; dies ist besonders wertvoll, wenn der Überzug ein frischgeformtes kontinuierliches Glasband ist.

Es hat sich herausgestellt, daß die Art und Weise, in welcher das Übeizugsvorläufermaterial in die Überzugskammer eingeführt wird, für die Überzugsqualität nicht kritisch ist Beispielsweise kann es in der Dampfphase eingeführt werden.

Vorteilhaft jedoch wird in an sich bekannter Weise eine Überzugsvorläuferlösung nach unten und in Strömabwärtsrichtung versprüht Dies erleichtert das Austragen des Überzugsvorläufermaterials, dessen relativ geringe Störungen an der Deckenschicht notwendig sind, weil verdampftes Material bereits ein gewisses Moment oder einen gewissen Impuls in Abströmrichtung hat Auch wird die Bahn des versprühten Materials, verglichen mit dem vertikalen Versprühen aus da* gleichen Höhe, länger, so daß mehr Zeit besteht damit das Überzugsvorläufermaterial in der Uberzugskammer vor Kontakt mit dem Substrat konditioniert wird.

Bevorzugt wird, daß eine Überzugsvorläuferlösung nach unten in die Überzugskammer und durch die Deckenschicht versprüht wird, da hierdurch in beachtlicher Weise die Handhabung der großen Mengen an Übeizugsmaterial erleichtert werden, die erforderlich sind, um dicke Überzüge, insbesondere auf rasch sich bewegenden Substraten zu bilden. Die erfindungsgemäße Maßnahme läßt sich so auf die Bildung von Überzügen relativ hoher Dicke, beispielsweise Dicken von 500 nm oder mehr, anpassen.

Bekannt sind gewisse Nachteile, die mit bekannten Techniken des Überziehens in flüssiger Phase Zusammenhängen. Bei solchen bekannten Techniken ist es sehr schwierig, Fleckenbildung beim gebildeten Überzug aufgrund des Verspritzens versprühter Tröpfchen zu vermeiden, wenn sie gegen das Substrat aufschlagen. Auch wenn übliche Flüssigphasenüberzugstechniken verwendet werden, kann der Kontakt zwischen den üblicherweise ziemlich großen Mengen an übersprühter Überzugslösung sowie als heißes Substrat zu beachtlichen Schwierigkeiten führen, insbesondere wenn der Überzug auf einem frisch gebildeten Band heißen Glases abgeschieden wird, weil dies störend bezüglich einer nachfolgenden Kühlbehandlung ist Das Ergebnis dafür ist darin zu sehen, daß das Glas schlecht gekühlt wird; in gewissen Fällen lassen im Glasband nach dem Kühlen eingebundene Restspannungen ein Schneiden nur schwierig zu, wobei diese sogar so sein können, daß sie zu Bruch, wenn ein Schneiden in Scheiben erfolgt, Anlaß geben.

Um diese Probleme zu reduzieren oder zu eliminieren, sorgen gewisse besonders vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung dafür, daß eine Sprühzone der Überzugskammer erwärmt wird, um eine Verdampfung eines Teiles des Überzugsvorläufermaterials hervorzurufen, bevor dieses das Substrat erreicht, um die Atmosphäre in dieser Zone mit verdampfter Überzugsvorläuferlösung zu beladen, daß die Lösung mit ausreichender Energie versprüht wird, um einen zwangsweisen Aufschlag des restlichen versprühten Überzugsvorläufeimaterials gegen das Substrat sicherzustellen, um ein Überziehen der Substratfläche zu initiieren, und daß die mit Uberzugsvorläufermaterial in der Dampfphase beladene Atmosphäre in Abströmrichtung aus der Sprühzone längs und in Kontakt mit der überzogenen Substratfläche für eine Kontaktzeit von wenigstens 10 Sekunden strömt, wonach das Restmaterial dieses mit Vorläufer beladenen Stromes vom Substrat fort gerichtet wird.

Durch Einhalten dieses Merkmals wird es möglich, für einen gegebenen Durchsatz an Vorläuferaustrag die Länge der Ströme zu reduzieren, die gegen das Glas in der Zone, wo die Überzugsbildung stattfindet, auftreffen. Dies ist besonders wertvoll bei der Verminderung einer Störung an der Deckenschicht der Atmosphäre, die mit dem Substrat in Kontakt steht und kann zur Bildung eines Überzugs sehr hoher Qualität führen. Relativ geringe Mengen an ausgetragenem Material können in die Deckenschicht eindringen und zwangsweise gegen das Glas aufschlagen oder auftreffen, so daß die Deckenschicht weitgehend ungestört bleibt

Solch ein Verfahren ist brauchbar bei der Bildung von Überzügen, die niedrige und gleichförmig niedrige Blendung zeitigen. Dies ist besonders überraschend, da man es bisher als notwendig angesehen hat, Überzugsvorläufermaterial sowie Reaktionsproduktdämpfe vom Substrat so schnell wie möglich zu entfernen - Kontaktzeiten von 2 bis 5 sec sind bei früher bekannten Verfahren üblich -, um die Gefahr von Fremdabscheidungen aus diesen Dämpfen zu reduzieren, die zu einem Anstieg an der Blendung führen würden.

Die Gründe, warum die Verwendung solch eines Verfahrens einen günstigeren Überzugsqualitätsstandard -4-

AT396928B begünstigen sollte, sind nicht völlig klar. Eine mögliche Erklärung ist darin zu sehen, daß ein wesentlicher Anteil der Dicke des Überzugs aus dem Vorläufermaterial in der Dampfphase aufgebaut wird, während das Substrat aus dem Kanalteil der Überzugskammer ausläuft. DieDampfphasenüberzugstechniken begünstigen bekanntlich eine feine und gleichförmige Kristallstruktur im Überzug. Dies erklärt aber nicht, warum das Ergebnis bei solchen Ausführungsformen der Erfindung zur Bildung eines Überzugs führen sollte, der eine bei weitem regelmäßigere Dicke hat als durch die Verwendung üblicher Dampfphasenüberzugsverfahren erhältlich sind. Eine andere mögliche Erklärung ist darin zu sehen, daß, obwohl nur ein kleiner Anteil der Überzugsdicke aus dem Vorläufermaterial in der Dampfphase gebildet wird, eine Konditionierung des neugebildeten Hauptkörpers des Überzugs während dieser Kontaktzeit von wenigstens 10 sec eintritt, innerhalb welcher das Substrat dem Überzugsvorläuferdampf ausgesetzt wird, so daß die Kristallstruktur des Überzugs derart modifiziert werden kann, daß er günstig für die Uberzugsqualität ist und insbesondere, daß ein Voraussetzen des frisch gebildeten Überzugs gegen Vorlänferdampf dazu führt, daß alle kleinen Poren im Überzug gefüllt werden, was zu einem härteren und kompakteren und wetterbeständigerem Überzug führt Beispielsweise läßt sich die Maßnahme nach der Erfindung mit Vorteil kombinieren mit einer Maßnahme in der hiermit zusammenhängenden Patentanmeldung A 3039/86 (AT-PS ...), die ein Verfahren zum pyrolytischen Bilden eines Metallverbindungsüberzugs auf einer Oberseite eines heißen Glassubstrats in Band- oder Scheibenform während dessen Förderung in Abströmrichtung längs einer Bahn durch eine Überzugskammer führt, in der wenigstens ein Strom der Überzugsvorläuferlösung nach unten gegen das Substrat versprüht wird. Das besondere an dieser Maßnahme in der Parallelanmeldung ist daß eine Sprühzone dieser Überzugskammer erwärmt wird, um eine Verdampfung des Teil des Uberzugsvorläufermaterials hervorzurufen, bevor dieses das Substrat erreicht um die Atmosphäre in dieser Zone mit verdampftem Überzugsvorläufermaterial zu beladen; die Lösung wird mit ausreichender Energie versprüht, um einen zwangsweisen Kontakt des restlichen versprühten Überzugsvorläufermaterials gegen das Substrat sicherzustellen und ein Überziehen dieser Substratfläche zu initiieren; auch wird die mit Überzugsvorläufermaterial in Dampfphase beladene Atmosphäre veranlaßt in Abströmrichtung aus der Sprühzone längs und in Kontakt mit der überzogenen Substratfläche für eine Kontaktzeit von wenigstens 10 Sekunden zu strömen, wonach das Restmaterial dieses mit Überzug beladenen Stroms von dem Substrat fort gerichtet wird.

Bei einer anderen, besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird zum Bilden eines Metalloxidüberzugs so vorgegangen, daß das Überzugsvorläufermaterial sowie oxidierendes Gas kontinuierlich in eine Mischzone, die außer Kontakt mit dem Substrat steht, gegeben werden, in welcher ein inniges Gas-Vorläuferdampf-Gemisch erzeugt wird und ein Strom dieses Gemisches kontinuierlich aus dieser Mischzone in und längs eines Kanals oder einer Durchlaufbahn in Kontakt mit der Substratfläche geleitet wird.

Hierdurch wird wieder die Störung der Deckenschicht durch das ausgetragene Überzugsvorläufermatmal gestört. In der Tat ist es ziemlich überraschend, daß die Deckenschicht aus Gas über dem Substrat nicht als Abschirmung dient und diese mit Dampf beladene Atmosphäre daran hindert, einen Überzug auf dem Glas zu bilden. Jedoch kann ein Überzug sehr hoher Qualität in dieser Weise gebildet werden, vermutlich aufgrund der Tatsache, daß die Überzugsvorläuferdämpfe sich in die Deckenschicht im wesentlichen ohne deren allgemeine Strömung zu stören, mischen können.

Besonders überraschend ist es, daß diese Vermischung nicht zu einer vorzeitigen Bildung von Überzugsreaktionsprodukten führt, die längs des Kanals oberhalb des Substrats zugeführt würden und als Fremdabscheidungen ausfallen würden, welche Fehler auf oder im Überzug bilden würden. Es ist auch überraschend, daß die Ausbildung eines innigen Gemisches aus Überzugsvorläufermaterial und oxidierender Atmosphäre innerhalb der Mischzone, wobei dann veranlaßt wird, das Gemisch längs des Kanals in Kontakt mit dem Substrat zu strömen, ausreichend ist, um einen Überzug zu erreichen, der im wesentlichen frei von nicht vorhersagbaren Veränderungen in seiner Dicke ist und daß die genaue Art und Weise, in welcher das Überzugsvorläufermaterial in die Überzugskammer eingeführt wird, nicht kritisch ist, um eine solche Dickenregelmäßigkeit zu erreichen. Auch lohnt der Hinweis, daß im Gegensatz zu dem, was zu erwarten wäre, eine solche Mischung tatsächlich ausreichend nicht-reagiertes Überzugsvorläufermaterial für die Bildung eines Überzugs auf dem Substrat verfügbar läßt, während dieses Material in der Dampfphase längs des Kanals abstiömt. Dies hat nichts gemeinsam mit der Lehre des Standes der Technik auf diesem Gebiet

Erfindungsgemäß wurde festgestellt, daß solche besonders bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung die Bildung von Überzügen hoher und gleichförmiger Qualität erleichtern und es ermöglichen, daß solche Überzüge mit regelmäßigerer Dicke als bisher möglich gebildet werden.

Solche Ausführungsformen der Erfindung erbringen besondere Vorteile in der Bildung relativ dicker Überzüge, beispielsweise solche oberhalb von 400 nm Dicke. Es hat sich herausgestellt, daß eine rasche Entfernung der dampfbeladenen Atmosphäre nicht eine Forderung nach einem im wesentlichen defektfreien Überzug ist; so steht mehr Zeit zur Verfügung, während der der Überzug sich auf eine gewünschte Dicke auf bauen kann.

Mit Vorteil läßt sich die Maßnahme nach der Erfindung kombinieren mit der hiermit zusammenhängenden Patentanmeldung A 3041/86 (AT-PS ...). In der hier zur Kombination herangezogenen Parallelanmeldung ist ein Verfahren beschrieben und beansprucht, um pyrolytisch einen Metalloxidüberzug auf einer Oberseite eines heißen Glassubstrats in Scheiben- oder Bandform während seiner Förderung in Abströmrichtung längs einer -5-

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Bahn zu bilden, die unter eine nach unten offene Überzugskammer führt; bei jenem Verfahren wird pyrolytisch ein Metalloxidüberzug auf einer Oberfläche eines heißen Glassubstrats in Scheiben- oder Bandform während dessen Förderung in Abströmrichtung längs einer Bahn gebildet, die unter einer nach unten offenen Überzugskammer durchführt; bei diesem Verfahren wird dieser Überzug aus einem Übeizugsvorläuferdampf und einem oxidierenden Dampf gebildet, die in Abströmrichtung längs eines Kanals dieser Überzugskammer, gegen die die Substratfläche fieiliegt, gefördert werden. Die Erfindung in der Parallelanmeldung zeichnet sich dadurch aus, daß dieses Überzugsvorläufermaterial sowie das oxidierende Gas kontinuierlich in eine Mischzone eingefiihrt werden, in welcher dieses Vorläufermaterial und das oxidierende Gas zusammen außer Kontakt mit dem Substrat gebracht werden und in welchem sie Mischkräften ausgesetzt weiden, um eine Atmosphäre zu erzeugen, die ein inniges Gemisch aus Vorläuferdampf und oxidiertem Gas umfaßt Ein Strom dieses Gemisches wird veranlaßt kontinuierlich aus dieser Mischzone in und längs des Kanals in Kontakt mit der oberen Substratfläche zu strömen.

Vorteilhaft wird das die Deckenschicht bildende Gas in größerem Ausmaß vorgewärmt als dies durch Wärmeübergang vom Substrat alleine möglich wäre. Es hat sich als besonders günstig für eine hohe und gleichförmige Qualität erwiesen, daß die Temperatur der Gase innerhalb der Deckenschicht so hoch wie möglich liegen soll, um die bestmöglichen Bedingungen für die anfängliche Überzugsbildung zu erzeugen. Hierdurch wird auch eine schnelle Überzugsaufbaurate begünstigt

Eines der Probleme, auf dem viel Forschungsarbeit liegt ist das von Veränderungen in der Überzugsdicke quer über die Breite des im Überzug begriffenen Substrats. Ein besonderer Teil dieses Problems ist darin zu sehen, daß sich herausgestellt hat daß bei dem Überziehen eines heißen, frisch gebildeten Bandes aus Flachglas die Ränder des Bandes mit geringerer Dicke als der Mittelbandstreifen überzogen werden. Diese Randbereiche erfüllen also nicht die gewünschten Qualitätsstandards und werden als Abfall behandelt Darum wurde die Verdünnung am Überzugsvorläufermaterial an den Seiten der Überzugskammer als ein möglicher Grund dieses Phänomens angegeben. Neuere Forschungen haben zu dem Ergebnis geführt daß dies auch auf Temperaturunregelmäßigkeiten quer über die Breite des zu überziehenden Substrats zu sehen ist Beispielsweise ist bekannt daß Material innerhalb der Überzugskammer leichter mehr kühlt je enger es an den Seitenwandungen der Kammer ist

Nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird das die seitlichen Randteile der Deckenschicht bildende Gas in größerem Ausmaß als in seiner Mitte vorgewärmt Wie erwähnt tritt natürlich ein Wärmeverlust durch die Seitenwandungen der Überzugskammer und jedes zur Kamm« führenden Kanals ein; hierdurch wird ein thermischer Grenzschild aufgebaut der es möglich macht, daß Wärmeverluste kompensiert werden. Als besonderes Beispiel dieser Vorteile, die sich durch die Einhaltung dieses bevorzugten Merkmals nach der Erfindung erreichen lassen, ist zu notieren, daß dann, wenn ein frisch geformtes Band heißen Glases gebildet wird, selbst dann, wenn das Glas in die Überzugskammer mit im wesentlichen gleichförmigem Temperannprofil quer üb« seine Breite eintritt, beim Fehlen einer spezifischen Regelung der Atmosphäre in Kontakt mit dem Band in der Zone, wo die Überzugsbildung beginnt ein Sechstel der Bandbreite an jedem Seitenrand von unakzeptierbarer Qualität sein kann; so ist ein Drittel der gesamten Bandbreite nur als Ausschuß anzusehen. Durch Einhalten dieses Merkmals hat sich herausgestellt daß die Breite des Nutzüberzugs gesteigert werden kann und daß unter optimalen Arbeitsbedingungen die Nutzproduktausbeute nicht so sehr durch die Qualität des Überzugs an den Bandrändem als durch die Qualität des Glases selbst an diesen Rändern begrenzt ist Es ist in Erinnerung zu halten, daß aufgrund von verschiedenen Faktoren einige wenige Zentimeter an jedem Rand eines Glasbandes von unregelmäßiger und nicht akzeptabler optischer Qualität sind und daß sie in jedem Fall verworfen oder als Glasscherben verwendet werden müssen.

Vorteilhaft wird wenigstens über den seitlichen Rändern des Substrates das Gas in der Deckenschicht auf eine Temperatur erwärmt, die größer als die der darunter liegenden Randteile des Substrates ist. Die Einhaltung dieses Merkmals führt zur Bildung eines Überzugs verbesserter optischer Qualität und Haltbarkeit und besserer Gleichförmigkeit in der Dicke, wenigstens an den Rändern des Substrats; dies führt zu einer Kompensation für Wärmeverluste durch diese Seitenwandungen.

Vorteilhaft wird das Gas zur Bildung der Deckenschicht aus einer benachbarten Vorkammer in das Anströmende der Überzugskammer eingespeist. Dies ist ein sehr einfacher Weg, um die Bildung einer Deckenschicht aus das Substrat bedeckendem Gas sicherzustellen, die durch das Substrat dann mitgerissen werden kann, um in Kontakt hiermit wenigstens so weit wie die Zone, in welcher die Überzugsbildung beginnt, zu wandern. Das anströmseitige Ende dieser Vorkammer ist vorteilhaft im wesentlichen geschlossen und verhindert die Strömung des Gases in diese Vorkammer aus einer anströmseitigen, beispielsweise eine bandbildenden Anlage; so wird eine Pufferzone erzeugt, aus welcher Gas zum Aufrechterhalten dieser Deckenschicht zugefuhrt werden kann.

Vorteilhaft wird die Gasvorwärmung wenigstens zum Teil in dieser Vorkammer und in einem Bereich oberhalb des Substratniveaus vorgenommen. Dies erleichtert eine direkte Steuerung der Temperatur des in die Überzugskamm« aus der Vorkammer eintretenden Gases.

Gas innerhalb der Vorkamm« kann auf irgendeine zweckmäßige Weise erwärmt werden; vorteilhaft wird diese Gasvorwärmung in dieser Vorkammer durch Brenner vorgenommen, da dies als äußerst zweckmäßig angesehen wird und eine leichte und genaue Regelung der Erwärmung bei schnellem Ansprechen auf irgendein -6-

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Einstellen auf Heizenegelungen oder -Steuerungen erlaubt.

Vorteilhaft wird vorgewärmtes Gas nach oben in die Seiten der Vorkammer aus einem Bereich unterhalb des Niveaus des Substrats eingeblasen. Dies begünstigt eine Kompensation für seitliche Wärmeverluste am Niveau des Substrats, während es einen günstigen Einfluß auf die atmosphärischen Bedingungen hat, die in der Vorkammer oberhalb des Substrats existieren, insbesondere, weil hierdurch leicht kalte Luft daran gehindert wird, durch die Seitenwandungen der Vorkammer einzutreten.

Alternativ oder zusätzlich wird nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung vorgewärmtes Gas in die Vorkammer in Strömungsrichtung aus einem Ort oberhalb des Niveaus des Substrats geblasen. Hierdurch, so wurde gefunden, wird eine Abströmung des Gases in und durch die Überzugskammer hervorgerufen; dies ist besonders vorteilhaft bei Ausführungsformen der Erfindung, bei denen die Vorkammer nicht an ihrem anströmseitigen Ende geschlossen ist.

Alternativ oder zusätzlich ist es vorteilhaft, daß vorgewärmtes Gas nach unten in diese Vorkammer geblasen wird und daß das Gas daran gehindert wird, nach unten vorbei an den seitlichen Rändern des Substrates zu strömen. Dies ist eine andere zweckmäßige Art und Weise, um vorgewärmtes Gas in die Vorkammer einzuführen, um die atmosphärischen Bedingungen oberhalb des Substrats zu regeln.

Hingewiesen wurde bereits darauf, daß es wünschenswert ist, eine Regelung über die Temperatur der Gasdecke insbesondere zur Kompensierung von Wärmeverlusten durch die Seitenwandungen der Überzugskammer auszuüben. Nach einem alternativen oder zusätzlichen Weg der Bewerkstelligung einer solchen Kompensation ist nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung dafür gesorgt, daß der Volumenströmungsdurchsatz des die Deckenschicht bildenden Gases differentiell quer über die Breite des Substrats geregelt wird.

Vorzugsweise wird über einen wesentlichen Teil der Höhe der Kammer atmosphärisches Material in einer allgemeinen Abwärtsströmung zum Teil dadurch gehalten, daß ein Gasstrom in die Kammer in Stromabwärtsrichtung geblasen wird. Die Einhaltung dieses Merkmals ist besonders günstig, wenn eine allgemeine Stromabwärtsströmung des atmosphärischen Materials innerhalb der Überzugskammer begünstigt werden soll, während der atmosphärische Druck innerhalb der Kammer auf einem Niveau derart gehalten wird, daß nur eine geringe oder keine Tendenz besteht, daß äußeres atmosphärisches Material in die Kammer durch irgendwelche Spalte in ihren Wandungen gesaugt wird, beispielsweise aufgrund von Ansaugen an ihrem abströmseitigen Ende.

Vorzugsweise wird wenigstens ein Hilfsstrom vorgewärmten Gases in diese Überzugskammer eingeführt, um in Abströmrichtung in oder benachbart der Deckenschicht und durch die Zone, in der die Überzugsbildung stattfindet, zu strömen. Solch ein Hilfsgasstrom hat den Vorteil, daß der Abströmimpuls der Deckenschicht verstärkt wird und/oder dieser gegen ungeordnete Ströme innerhalb der Kammer geschützt wird. Auch ermöglicht die Verwendung solch eines Stroms eine relativ feine Regelung der Temperatur und/oder des Strömungsdurchsatzes der Deckenschicht (Dünnschicht) als ganzes.

Eine besonders wichtige Verwendung für ein Verfahren nach der Erfindung ist in der Bildung von Zinnoxidüberzügen unter Verwendung von Zinn(II)chlorid als Überzugsvorläufermaterial zu sehen. Zinnoxidüberzüge, die das Emissionsvermögen im Hinblick auf langwellige Infrarotstrahlung der Oberflächen der Glasscheiben, auf die sie aufgebracht werden, reduzieren, werden weitestgehend zur Verminderung des Wärmeübergangs υοπ Verglasungsstrukturen verwendet. Dies ist natürlich nur ein Beispiel für den Zweck, für den das Verfahren angewendet werden kann. Nach einem anderen Beispiel kann das Verfahren zum Bilden eines Überzugs aus Titanoxid, eines Überzugs aus einem Gemisch von Oxiden, beispielsweise einem Gemisch aus Kobalt, Eisen und Chromoxiden verwendet werden.

Gegenstand der Erfindung ist auch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art, welche im wesentlichen dadurch gekennzeichnet ist, daß anströmseitig zu dieser Überzugskammer eine Vorkammer vorgesehen ist, die mit der Uberzugskammer über einen Eintrittsschlitz in Verbindung steht, der zum Teil durch die Bahn des Substrats gebildet ist und über welche Gas in die Überzugskammer strömt, so daß bei Betrieb der Vorrichtung eine Deckenschicht gebildet wird, die die Oberseite des Substrats längs eines ersten Teils der Länge dieser Kammer bedeckt, und daß Einrichtungen vorgesehen sind, um regelbar das die Deckenschicht bildende Gas vorzuwärmen.

Solch eine Vorrichtung ist besonders geeignet zur Bildung von Hochqualitätsüberzügen regelmäßiger Dicke in einem kontinuierlichen Verfahren, beispielsweise einem Verfahren der vorbeschriebenen Art. Die Vorrichtung kann an irgendeinem zweckmäßigen Ort angebracht sein. Solch eine Vorrichtung ist besonders vorteilhaft, da sie es ermöglicht, die Bedingungen in der Zone zu regeln, wo die Überzugsbildung stattfindet, und die sonst schwierig zu modifizieren sind.

Vorzugsweise ist eine Abgasleitung mit einem oder mehreren Einlässen am abströmseitigen Ende der Überzugskammer angeordnet. Dort vorgesehene Abgasleitungen sind besonders günstig zur Erzeugung von Saugkräften, die auf das Gas am anströmseitigen Ende der Überzugskammer wirken und eine allgemeine, in Abströmrichtung gerichtete Materialströmung in der Überzugskammer aufrechterhalten, während sichergestellt wird, daß keinerlei Totzone innerhalb der Kammer vorhanden ist, wo korrosives Vorläufermaterial oder Reaktionsprodukte sich ansammeln können, und daß die auf die Atmosphäre am anströmseitigen Ende dieser Kammer ausgeübten Kräfte ziemlich diffus werden. Es hat sich herausgestellt, daß -7-

AT 396 928 B hierdurch leicht jede Störung in den atmosphärischen Strömen, die im abströmseitigen Ende der Überzugskammer verbleiben, reduziert werden kann.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist eine gekrümmte Abgasauffangeinrichtung vorgesehen, die sich quer über wenigstens den größeren Teil des Substratweges am abströmseitigen Ende der Überzugskammer erstreckt, wobei diese Auffangeinrichtung oder dieser Krümmer zum Teil wenigstens einen Auslaßleitungseinlaß bildet. Solch eine Vorrichtung ist von einfacher Konstruktion und leicht anzubringen. Die Verwendung einer gekrümmten Auffangeinrichtung ist besonders wertvoll, wenn anzusaugendes Material glatt in den Abgasleitungseinlaß eingesaugt wird, und trägt dazu bei, Pumpen von Gegendruck zu vermeiden, welche die atmosphärischen Strömungen in dem Kanal unterbrechen können. Besonders wünschenswert ist die Verwendung eines solchen Auffangkrümmers, der sich quer über die volle Breite der Überzugskammer erstreckt und höheneinstellbar oberhalb der Substratbahn ist, beispielsweise mittels einer Schwenklagerung, so daß ein maximales Schließen des abströmseitigen Endes der Überzugsstation erreicht wird.

Nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist eine Begrenzungswandung oberhalb der Substratbalm angeordnet, die sich quer über die volle Breite der Überzugskammer erstreckt und deren abströmseitiges Ende im wesentlichen verschließt. Solch eine Begrenzungs- bzw. Schirmwand kann beispielsweise durch diese Auffangauslaßeinrichtung vorgesehen sein. Dies ist ein sehr einfacher Weg, mit dem sichergestellt wird, daß Änderungen in den Bedingungen unmittelbar hinter dem Ende der Überzugskammer keinen direkten Einfluß auf Bedingungen innerhalb der Überzugskammer und umgekehrt haben.

Erfindungsgemäß ist diese Überzugsstation zwischen dem Austritt aus der Bandformungsanlage und dem Eintritt in einen (Tunnel) Kühlofen vorgesehen. Dies ist geschehen, damit das Glas die Überzugsstation bei einer Temperatur erreichen kann, die gleich oder nahe derjenigen ist, die für das Ablaufen des pyrolytischen Überzugs erforderlich ist Somit fällt durch das Einhalten dieses Merkmals die Notwendigkeit einer weiteren Heizvorrichtung fort, wie sie erforderlich sein würde, um die Temperatur des zu überziehenden Glases von Zimmertemperatur aus zu erhöhen.

Vorzugsweise sind über wenigstens einen Teil der Länge da* Kammer Einrichtungen vorgesehen, um die Strömung atmosphärischen Materials an den Seiten der Substratbahn entlang bzw. vorbei und zwischen den Zonen vertikal oberhalb und vertikal unterhalb dieser Bahn zu unterbinden. Solch eine unerwünschte Strömung atmosphärischen Materials kann zu einer unregelmäßigen Abscheidung des Überzugsmaterials auf der Ober-und/oder Unterseite des Substrats, insbesondere an seinen Randbereichen, führen.

Besonders bevorzugt ist die Sprüheinrichtung für das flüssige Überzugsvorläufermaterial nach unten und in Abströmrichtung gerichtet. Dies ist also eine sehr einfache Vorrichtung zum Austragen relativ großer Mengen an Überzugsvorläufermaterial, wie es zur Bildung von ziemlich dicken Überzügen erforderlich sein kann; hierdurch wird ein Austrag ohne Unterbrechung einer allgemeinen Strömung atmosphärischen Materials längs der Uberzugskammer in Abströmrichtung möglich, wie dies für die Bildung von Hochqualitätsüberzügen günstig ist

Bei solchen Ausführungsformen bevorzugt man besonders, daß die Sprüheinrichtung für die Uberzugsvorläuferlösung in einer Höhe oberhalb der Substratbahn von wenigstens 75 cm angeordnet ist; daß Heizeinrichtungen vorgesehen sind, um Wärme an die Sprühzone zu liefern; daß die Dach- oder Deckenkonstruktion einen Durchlaufbahn- oder Kanalteil der Überzugskammer bildet, die von der Sprühzone in Abströmrichtung führt und der Überzugskammer eine Gesamtlänge von wenigstens 2 Metern verleiht; und daß in an sich bekannter Weise Absaugeinrichtungen vorgesehen sind, um das atmosphärische Material innerhalb des Kanals längs der Substratbahn an das abströmseitige Ende des Kanals und in die Abgasleitungsausbildung zu fördern.

Eine Vorrichtung mit diesen Merkmalen ist besonders brauchbar. Man kann eine solche Vorrichtung wirtschaftlicher als übliche Dampfüberzugsvorrichtungen betreiben, in welchen das gesamte Überzugsvorläufermaterial vor dem Kontakt mit dem Glas verdampft sein muß; sie ist zudem einfacher in der Herstellung als bekannte Sprühvorrichtungen, insbesondere wegen der Probleme, die mit dem Verspritzen und Mitreißen großer Mengen versprühter Uberzugsvorläuferlösung von der Zone fort Zusammenhängen, wo der Überzug geformt wird. Dies kann dagegen leicht vermieden werden, wenn sichergestellt wird, daß die gelieferte Wärme ausreicht, um einen wesentlichen Anteil des versprühten Überzugsvorläufermaterials zu verdampfen.

Bei der Verwendung einer solchen Vorrichtung hat sich herausgestellt, daß es sehr viel leichter wird, Überzüge hoher optischer Qualität und gleichförmiger Struktur in verläßlicher und reproduzierbarer Weise selbst bei hohen Uberzugsbildungsraten zu formen, ohne daß hohe thermische Spannungen im Glas induziert worden. Insbesondere hat sich herausgestellt, daß es sehr viel einfacher ist, Überzüge zu bilden, die einen niedrigen und gleichförmig niedrigen Trübungsfaktor haben.

Um natürlich eine solch reproduzierbare hohe Überzugsqualität zu erreichen, sollte die Vorrichtung in geeigneter Weise eingesetzt werden; die Kombination von Merkmalen der oben angegebenen Art ist aber besonders günstig hinsichtlich des Erleichtems von Regelbedingungen innerhalb der Überzugskammer. Um diese guten Ergebnisse zu erreichen, wurde gefunden, daß bei der Verwendung der Vorrichtung es das beste ist, die Steuer- oder Regelbedingungen so einzustellen, daß ein wesentlicher Anteil der Überzugsvorläuferlösung verdampft ist, bevor sie in die Deckenschicht oder Dünnschicht zum Kontaktieren des Substrats eindringt, so daß die Deckenschicht nicht in erheblicher Weise durch das versprühte Material gestört wird und so daß die -8-

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Atmosphäre innerhalb der Sprühzone mit Überzugsvorläuferdampf beladen wird, der dann längs der Durchlaufbahn angesaugt wird, wo er in Kontakt mit dem Substrat verbleibt.

Man hat es bisher als notwendig erachtet, die Vorläuferlösung nahe vom Substrat auszutragen; eine Sprühhöhe von 30 cm oder weniger ist üblich, damit das Vorläufermaterial keine Zeit hat, mit der Atmosphäre in der Überzugskammer zu reagieren und Reaktionsprodukte zu bilden, die sich auf dem Substrat abscheiden können und Fehler auf dem Überzug bilden. Man hat es auch als notwendig angesehen, überschüssiges Überzugsvorläufermaterial und Reaktionsprodukte vom Substrat fort so bald wie möglich zu saugen, um Störabscheidungen auf dem Substrat zu verhindern; Überzugskammerlängen von 60 cm bis 100 cm sind im Stand der Technik typisch.

Der Grund, warum eine solche erfindungsgemäße Vorrichtung die hohen Standards an Überzugsqualität begünstigen sollten, sind nicht völlig klar, es verbleibt jedoch die Tatsache, daß man mit Hilfe einer solchen Vorrichtung in die Lage versetzt ist, Überzüge mit gleichförmigerem und niedrigerem Trübungsfaktor zu bilden als bisher möglich. Die gebildeten Überzüge können von hoher optischer Qualität und einer regelmäßigen und vorhersagbaren Dicke sein. Unter Verwendung dieser Vorrichtung ist es weiters möglich, diese Überzüge auf Glassubstraten schneller und daher auf größere Dicken und auf sich schneller bewegende Substrate als dies bisher möglich war, auszubilden.

Dies bedeutet tatsächlich nun eine radikale Abkehr von den Lehren des Standes der Technik auf dem Gebiet pyrolytischer Überzugsvorrichtungen. Diese ist in der hiermit zusammenhängenden Patentanmeldung A 3039/86 (AT-PS...) beschrieben.

Dort handelt es sich darum, pyrolytisch einen Metallverbindüngsüberzug auf einer Oberfläche eines heißen Glassubstrats in Scheiben- oder Bandform zu bilden. Fördereinrichtungen sind vorgesehen, um ein Substrat in Bewegungsrichtung längs einer Bahn zu fördern; eine Überzugsstation umfaßt eine Dachkonstruktion, die eine Überzugskammer bildet, die nach unten auf diese Bahn offen ist, und es sind Einrichtungen vorgesehen, um die Überzugsvorläuferlösung in diese Kammer nach unten gegen das Substrat zu versprühen. Die dortige Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß die Sprüheinrichtung so angeordnet ist, daß sie die Überzugsvorlauferlösung in einer Sprühzone dieser Überzugskammer von einer Höhe oberhalb des Substrats von wenigstens 75 cm versprüht; Heizeinrichtungen sind vorgesehen, um Wärme an diese Sprühzone zu liefern; diese Dachkonstruktion bildet einen Durchlaufbahnteil dieser Überzugskammer, die in Bewegungsrichtung von der Sprühzone fort führt und der Überzugskammer eine Gesamtlänge von wenigstens 2 Metern erteilt; Einrichtungen sind vorgesehen, um Saugkräfte auf das atmosphärische Material innerhalb dieser Durchlaufbahn auszuüben und das Material dazu zu bringen, längs der Substratbahn gegen das Abströmende dieser Durchlaufbahn zu strömen und in die Abgasleitung zur Abführung dieses Materials von der Substratbahn einzutreten.

Nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Übeizugskammer einen Kanal auf, längs dessen Überzugsvorläuferdampf und oxidierendes Gas in Abströmrichtung in Kontakt mit der oberen Kontaktfläche während des Förderns des Substrats geführt werden können, wobei in der Sprühzone eine Mischzone vorgesehen ist, in welcher Überzugsvorläufermaterial und oxidierendes Gas zusammen außer Kontakt mit dem Substrat eingebracht und gemischt werden können.

Diese Vorrichtung ist besonders geeignet zur Bildung von Hochqualitätsüberzügen, die im wesendichen frei von nichtvorhersagbaren Dickenveränderungen bei hohen Überzugsbildungsraten und in einem kontinuierlichen Verfahren sind.

Auch hierdurch wird eine verminderte Störung der Deckenschicht durch das ausgetragene Überzugsvor-läufermaterial ermöglicht sowie ein Überzug sehr hoher Qualität kann unter Verwendung der Vorrichtung gebildet werden, vermutlich aufgrund der Tatsache, daß die Überzugsvorläuferdämpfe sich in die Deckenschicht im wesentlichen ohne Störung ihrer allgemeinen Strömung einmischen können.

Als ein Beispiel für solche Ausführungsformen kann bei der Vorrichtung nach der Erfindung mit Vorteil auch eines oder mehrere Merkmale der Vorrichtung verwirklicht werden, die in der hiermit zusammenhängenden Patentanmeldung A 3041/86 (AT-PS ...) beschrieben sind. Beschrieben und beansprucht sind dort Vorrichtungen zur Verwendung bei der pyrolytischen Bildung eines Metalloxidüberzugs auf eine Oberseite eines heißen Glassubstrats in Scheiben- oder Bandform, wobei die Vorrichtung umfaßt: Fördereinrichtungen zum Fördern eines solchen Substrats in Abströmrichtung längs einer Bahn; eine Dachkonstruktion, die eine Überzugskammer bildet, die nach unten auf diese Bahn offen ist und eine Durchlaufbahn bildet, längs der Überzugsvorläuferdampf und oxidierendes Gas in Abströmrichtung in Kontakt mit der oberen Substratfläche während der Förderung des Substrats geführt werden können. Jene Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß Einrichtungen vorgesehen sind, die eine Mischzone bilden, in welcher das Überzugsvorläufermaterial und das oxidierende Gas außer Kontakt mit dem Substrat zusammengebracht und vermischt werden können und dabei eine Atmosphäre bilden, die aus einem innigen Gemisch von Vorläuferdampf und oxidierendem Gas besteht, wobei die Mischzone in Verbindung mit der Durchlaufbahn steht und es einem Strom dieses innigen Gemisches erlaubt, längs der Durchlaufbahn von der Mischzone zu strömen.

Besonders bevorzugt man erfindungsgemäß, daß die Deckenkonstruktion einen merklichen Abfall in der Höhe oberhalb der Substratbahn in Abströmrichtung aufweist, wodurch die abströmseitige Strömung des atmosphärischen Materials aus der Austragszone des Überzugsvorläufermaterials in die Überzugskammer -9-

AT 396 928 B gedrosselt wird. Das Einhalten dieses Merkmals ermöglicht eine relativ hohe anströmseitige Austragszone und gibt weiten Raum zum Vermischen des ausgetragenen Überzugsvorläufermaterials in die Atmosphäre innerhalb dieser Zone, die als Speicher für Überzugsmaterialdämpfe dienen kann, die veranlaßt werden, abwärts gegen das Substrat zu strömen und sich mit der Deckenschicht oder Dünnschicht vermischen und gegen das abströmseitige Ende in der Überzugskammer in konzentriertem und gleichförmigem Strom entlangströmen, was günstig für die Formung des Überzugsmaterials aus der Dampfphase ist.

Vorzugsweise sind die Gasvorheizeinrichtungen regelbar, um die jeweiligen Bereiche der Decken- oder Dünnschicht quer über die Breite der Substratbahn in unterschiedlichem Ausmaß zu erwärmen. Dies ermöglicht eine feinere Kontrolle der Temperatur des Gases, welches dazu bestimmt ist, die Decken- oder Dünnschicht zu bilden.

Vorteilhaft ist diese Gasvorwärmeinrichtung regelbar, um das Gas, welches die seitlichen Randteile dieser Deckenschicht bildet, in größerem Ausmaß als das Gas zu erwärmen, welches die mittleren Teile dieser Schicht bildet. Günstig ist dies insbesondere, weil hierdurch eine Kompensation der erhöhten Kühlung der Atmosphäre innerhalb der Überzugskammer möglich wird, welche in benachbarten Seitenwandungen dieser Kammer stattrindet, so daß ein breites Substratband begünstigt wird, welches auf die gewünschte Dicke überzogen wird.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfaßt die Trennwand oberhalb des Eintrittsschlitzes einen Schieber zum Einstellen der Öffnung des Eintrittsschlitzes. Dies gibt ein weiteres Mittel, um die Bedingungen in der Deckenschicht der Gasströmung in der Überzugskammer zu regeln, beispielsweise zur Veränderung der Geschwindigkeit einer solchen Gasströmung in Anpassung an vorherrschende Bedingungen unterhalb der Austragszone des Überzugsvorläufermaterials.

Vorteilhaft ist die Ausbildung so getroffen, daß der Schieber in unabhängig beweglichen Abschnitten aufgebaut ist, um die Eintrittsschlitzöffnungen differentiell über die Breite der Substratbahn einzustellen, so daß diese Regelung unabhängig an unterschiedlichen Stellen quer über die Breite der Substratbahn vorgenommen werden kann, beispielsweise bei Ermittlung von Dickenveränderungen in dem gebildeten Überzug.

Nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind Einrichtungen vorgesehen, um die Atmosphäre innerhalb der Vorkammer von oberhalb des Niveaus der Substratbahn zu erwärmen. Dies ist eine sehr einfache Vorrichtung, um direkt die Temperatur der Deckenschicht der Atmosphäre in Kontakt mit der Oberseite eines Substrats innerhalb der Vorkammer zu beeinflussen.

Vorteilhaft umfaßt diese Vorkammerheizeinrichtung Brenner, da hierdurch ein sehr wirksamer Heizeffekt, eine einfache Einsteilbarkeit und ein schnelles Ansprechen auf jedes Verstellen möglich wird.

Vorteilhaft sind Einrichtungen vorgesehen, um vorgewärmtes Gas in diese Vorkammer zu blasen. Dies macht es möglich, daß Gas in die Vorkammer ohne oder bei reduziertem Wärmeverlust auf ein hierin befindliches Substrat eingeblasen werden kann; dies bedeutet, daß eine adäquate Zuführung von Gas zur Bildung der Deckenschicht aus einer kleineren Vorkammer geliefert werden kann.

Vorzugsweise sind Mittel vorgesehen, um vorgewärmtes Gas nach oben in die Seiten der Vorkammer von einem Bereich unterhalb des Niveaus der Substratbahn zu blasen. Dies ist eine äußerst zweckmäßige und wirksame Vorrichtung zum Kompensieren von Wärmeverlusten durch die Seitenwandungen der Vorkammer.

Vorteilhaft sind Einrichtungen vorgesehen, um vorgewärmtes Gas in die Vorkammer in Abströmrichtung aus einem Bereich oberhalb des Niveaus der Substratbahn zu blasen. Dies ist eine andere zweckmäßige Weise, um vorgewärmtes Gas in die Vorkammer zu blasen; es ergibt sich der zusätzliche Vorteil, daß eine allgemeine stromabwärts gerichtete Gasströmung in und durch die Überzugskammer stattfindeL

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind Einrichtungen vorgesehen, um vorgewärmtes Gas nach unten in die Vorkammer zu blasen und um das Gas daran zu hindern, nach unten an den seitlichen Rändern der Substratbahn vorbei zu strömen. Dies ist ein weiterer zweckmäßiger Weg, wie man vorgewärmtes Gas in die Vorkammer blasen kann, um die Atmosphäre unmittelbar oberhalb der Substratbahn zu regeln.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Ausbildung so getroffen, daß die Vorkammer üb» ein Dach oder eine Decke verfügt, die schräg nach unten gegen den Kopf des Eintrittsschlitzes geht oder sich verjüngt. Dies begünstigt eine glatte Gasströmung in und durch den Eintrittsschlitz, um die Deckenschicht in Kontakt mit einem Substrat auf der Bahn zu bilden.

Vorzugsweise sind Mittel vorgesehen, um einen Gasstrom in die Kammer in Stromabwärtsrichtung zu blasen, um eine allgemeine Abwärtsströmung des atmosphärischen Materials über einen wesentlichen Teil der Höhe der Kammer auffechtzuerhalten. Eine solche Einrichtung trägt dazu bei, den atmosphärischen Druck innerhalb der Überzugskammer aufrechtzuerhalten und so die Wahrscheinlichkeit zu reduzieren, daß irgendwelche ungeordneten Luftströme in diese Kammer durch ihre Wandungen eingesaugt werden und daß gewünschte Muster der atmosphärischen Strömungen hierin stören; eine solche allgemeine Abwärtsströmung trägt auch dazu bei, die Deckenschicht der Atmosphäre nach unten auf dem Substrat zu halten.

Vorteilhaft sind Mittel vorgesehen, um wenigstens einen Hilfsstrom vorgewärmten Gases in die Überzugskammer auszutiagen, der in Strömungsabwärtsrichtung in oder benachbart dieser Deckenschicht und durch die Zone, in der die Überzugsbildung stattrindet, strömt Ein Hilfsgasstrom kann hierdurch erzeugt werden, um die Deckenschicht (Dünnschicht) zu verstärken und/oder sie gegen ungeordnete Ströme zu schützen, die innerhalb der Kammer existieren können. Auch erlaubt die Verwendung eines solchen Stroms eine relativ -10-

AT396928B feine Regelung der Temperatur und/oder des Strömungsdurchsatzes der Deckenschicht als ganzes.

Beispielsweise Ausfuhrungsformen der Erfindung sollen nun mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert werden. Diese zeigen in Fig. 1 bis 3 je eine geschnittene Seitenansicht einer Ausführungsform einer Überzugsvorrichtung nach der Erfindung; Fig. 4 einen Schnitt längs der Linie (IV-IV) der Fig. 3. 5

FigurJ.

Nach Figur 1 umfaßt die Vorrichtung zum pyrolytischen Ausbilden eines Metallverbindungsüberzugs auf einer Oberfläche eines erwärmten Glassubstrats (1) in Scheiben- oder Bandform Fördereinrichtungen, wie Rollen (2), um ein Substrat in Abströmrichtung (3) längs einer Bahn zu fördern, die durch das Bezugszeichen 10 (1) angegeben ist Die Bahn (1) fuhrt unter eine Überzugsstation (4), die eine Dachkonstruktion (5) umfaßt, die eine Überzugskammer (6) bildet, die mich unten auf das Substrat (1) offen ist; Sprühdüsen sind schematisch bei (7) angedeutet, um einen Strom von Überzugsvorläuferlösung in die Kammer (6) in eine Richtung nach unten gegen das Substrat (1) zu versprühen. Die Sprühdüse (7) ist angeordnet, um den Strom an Überzugsvorläuferlösung in eine Sprühzone (9) der Überzugskammer (6) zu versprühen. In der dargestellten Ausführungsform 15 ist die Sprühdüse (7) so angeordnet, daß sie Überzugsvorläufermaterial, beispielsweise aus einer Höhe von wenigstens 75 cm oberhalb der Substratbahn und vorteilhaft wenigstens 1,2 m versprüht. Sie ist von an sich bekanntem Typ. Die Düse ist so angeordnet, daß sie die Überzugsvorläuferlösung in Richtung (8) nach unten gegen das Substrat (1) und in Abströmrichtung (3) versprüht und ist hin und her längs einer (nicht dargestellten) Bahn quer über die Breite der Substratbahn beweglich. 20 Nach der dargestellten Ausführungsform sind Heizeinrichtungen vorgesehen, um Wärme an diese Sprühzone zu liefern. Diese Heizeinrichtung umfaßt nach unten gerichtete Strahlungsheizeinrichtungen (10), die in der Decke der Sprühzone (9) vorgesehen sind. Eine Leitung (11) ist vorgesehen, um einen Strom vorgewärmten Gases in die Sprühzone (9) in eine Richtung auszutragen, unter der der versprühte Strom ($) aus Überzugsvorläufermaterial geschnitten wird. Die Leitung (11) ist mit ihrer Austragsöffnung (12) in der 25 oberen Hälfte der Höhe zwischen der Sprühdüse (7) und dem Substrat (1) angeordnet und so vorgesehen, daß sie diesen Gasstrom von einer Stelle anströmseitig zur Überzugsvorläufersprühaustragsachse austrägt. Die Austragsöffnung (12) hat geringere Breite als die Substratbahn (1) und wird hin und her quer über die Sprühzone in Tandem mit der Sprühdüse (7) bewegt Aus der Öffnung (12) ausgetragenes Gas wird zunächst im wesentlichen horizontal quer über die Querbahn des Tröpfchenstroms (7) gerichtet, um eine Gasziikulation 30 innerhalb der Sprühzone aufrechtzuerhalten.

Das ausgetragene Gas ist geeigneterweise Luft, die beispielsweise auf eine mittlere Temperatur im Bereich zwischen 300 bis 600 °C vorgewärmt ist Die Heizeinrichtungen (10) sargen für eine Verdampfung von Teil des Stroms der versprühten Tröpfchen während deren Wanderung gegen das Substrat (1) und der so geformte Dampf wird in den Strom vorgewärmter Luft mitgerissen, die aus der Öffnung (12) ausgetragen wird. 35 Die Dachkonstruktion (5) bildet einen Teil der Durchlaufbahn (13) der Übeizugskammer (6) und führt abströmseitig von der Sprühzone (9) fort und verleiht der Überzugskammer (6) eine Länge von wenigstens 2 m, vorzugsweise eine Länge von wenigstens 5 m. In der dargestellten Ausführungsform umfaßt die Dach- oder Deckenkonstruktion (5) eine Brückenwandung (14) über die Substratbahn, die im wesentlichen vertikal nach unten geht und einen Austrittsschlitz (15) am äbströmseitigen Ende der Sprühzone bildet und diese Zone von 40 der Durchlaufbahn (Kanal) trennt; der Kanal (13) hat eine Höhe, die in Abströmrichtung von einem Maximalwert am Austrittsschlitz (15) abnimmt. Die Höhe des Austrittsschlitzes (15) ist geringer als die halbe Höhe zwischen der Sprühdüse (7) und dem Substrat (1).

Am äbströmseitigen Ende der Durchlaufbahn bzw. des Kanals (13) wird atmosphärisches Material in die Abgasleitung (16) mit einem Einlaß (17) gesaugt, der zum Teil durch eine gekrümmte, löffelartige oder 45 Abfangausbildung (18) gebildet ist, die sich oberhalb der Bahn des Substrats (1) über die volle Breite des Kanals oder der Durchlaufbahn erstreckt und im wesentlichen ihr abstiömseitiges Ende schließt, so daß im wesentlichen die Strömung atmosphärischen Materials in und aus der Überzugskammer (6) am äbströmseitigen Ende des Kanals (13) verhindert wird. Solch eine Krümmer- oder Abfangausbildung (18) kann nach Wunsch schwenkbar gelagert sein, so daß sie mit minimalem Abstand zum Substrat (1) einstellbar wird. Auch am 50 äbströmseitigen Ende des Kanals (13) wird atmosphärisches Material in die seitliche Abgasleitung (19) gesaugt, die an jeder Seite der Überzugskammer angeordnet ist, um eine seitliche Verbreitung des atmosphärischen, längs der Überzugskammer strömenden Materials zu begünstigen. In der Tat erstreckt sich diese seitliche Abgasleitung (19) im wesentlichen über die gesamte Länge des Kanals und weit in die Sprühzone hinein, fast bis zu ihrem anströmseitigen Ende und hindert Überzugsvorläuferdämpfe daran, unter der 55 Substiafbahn (1) zu strömen.

Die Überzugsstation (4) ist zwischen dem Austritt aus einer Bandformungsanlage (nicht dargestellt), beispielsweise einem Floatbehälter sowie dem Eintritt in einen Kühlofen (20) angeordnet.

Ein Übergang von der Bandformungsanlage zur Überzugskammer (6) hat ein Dach oder eine Decke (21); das anströmseitige Ende der Überzugskammer wird durch eine Stirnwand (22) bestimmt, von der ein Schieber (23) 60 nach unten hängt, der für Freiraum für das Substrat (1) sorgt, das in die Überzugskammer über einen Eintrittsschlitz (31) passiert.

Anströmseitig zum Schieber (23) ist eine Vorkammer (25) vorgesehen, in welcher Heizeinrichtungen (26) -11-

AT396928B vorgesehen sind. Solche Heizeinrichtungen können Strahlungsheizeinrichtnngen oder ein oder mehrere Brenner sein oder es kann sich, wie dargestellt, um einen Rippenradiator handeln. Ein Deckenelement (27) ist vom Übergangsdach (21) sowie da anströmseitigen Wand (22) der Überzugskammer abgehängt und bildet ein Dach für die Vorkammer (25), das schräg nach unten gegen den Eintrittsschlitz (24) der Uberzugskammer verläuft. ‘ Im Betrieb wird ein halbnatürlicher Gasstrom in das abströmseitige Ende der Überzugskammer (6) aus der Vorkammer (25) gesogen, so daß die gasförmige Umgebung in unmittelbarer Nachbarschaft der Oberseite des Substrats (1) wenigstens in der Zone, in der die Überzugsbildung beginnt, durch vorgewärmtes Gas geregelt wird, das in Abströmrichtung (3) in die Kammer (6) eingleitet wird und in der Kammer in Kontakt mit dem Substrat (1) tritt und eine Decken- oder Dünnschicht bildet, die das Substrat wenigstens so weit wie die Kontaktzone mit dem Überzugsvorläufermaterial abdeckt.

Der Einfluß der Stirnwand (22) und des Schiebers (23) bestehen darin, die Höhe des Stroms atmosphärischen Materials zu regeln, das in die Überzugskammer (6) aus der Anströmrichtung strömt und die Decken- oder Dünnschicht bildet, welche das Band abdeckt, so daß atmosphärische Bedingungen innerhalb des Gebiets, wo die Überzugsbildung stattfindet, leichter geregelt werden können.

Beispiel-!

Nach einer spezifischen praktischen, in Figur 1 gezeigten Ausführungsform hat die Überzugskammer (6) etwas mehr als 3 Meter Breite zur Aufnahme von Glasbändem mit einer Breite bis zu etwa 3 Metern. Die Dachkonstruktion (5) oberhalb der Sprühzone (9) der Überzugskammer befindet sich über 1 Meter oberhalb des Niveaus der Bandbahn (1); die Sprühöffnung der Tröpfchenauslaßdüse (7) befindet sich nahe dem Niveau dieses Daches. Die Düse (7) ist so angeordnet, daß sie einen konischen Tröpfchenstrom in einer Richtung (8) unter einem Winkel von 45° zur Horizontalen abgibt. Die Brückenwandung (14) am abströmseitigen Ende der Sprühzone (7) ist von der anströmseitigen Stirnwand (22) der Überzugskammer um 2,2 Meter getrennt. Kanal bzw. Durchlaufbahn (13) haben eine Höhe, die von 40 cm am Austrittsschlitz (15) auf 25 cm am abströmseitigen Ende sich vermindert. Die Länge des Kanals beträgt 4,5 Meter.

Die Vorrichtung ist besonders ausgelegt zur Bildung von Zinnoxidüberzügen, die aus einer Lösung von Zinn(H)chlorid als Überzugsvorläufermaterial stammen.

Bei Verwendung einer solchen Vorrichtung wurde ein Zinnoxidüberzug von 750 nm Dicke auf einem 6 mm dicken Floatglasband gebildet, das bei einer Geschwindigkeit von 8,5 m/min. lief. Das Glas trat in die Überzugskammer bei einer Temperatur von 600 °C ein; das verwendete Überzugsvorläufermaterial war eine wäßrige Lösung von Zinn(II)chlorid, die Ammoniumbifluorid als Dotierungsionen im Überzug enthielt Die Lösung wurde von der Düse bei einem Durchsatz von 2201/Std. versprüht während die Düse quer über die Bandbahn hin- und hergeführt wurde.

Strahlungsheizer in der Decke der Sprühzone wurden eingeschaltet und Luft wurde durch die Öffnung bei einem Durchsatz von 6000 Nm^/min bei einer Temperatur von 400 °C abgegeben. Als Ergebnis wurde Teil des versprühten Stroms an Überzugsvorläufermaterial verdampft von dem nur ein Teil verblieb, der weiter zwangsweise gegen das Glas auftraf. Der so gebildete Überzugsvorläuferdampf wurde im Strom vorgewärmter Luft mitgerissen, die aus der Öffnung (12) ausgetragen wurde und strömte durch den Austrittsschlitz (15) und längs des Kanals (13) in die Abgasleitung. Das Beispiels nutzt die in der hiermit zusammenhängenden Patentanmeldung A 3039/86 (AT-PS ...) beschriebenen Maßnahmen.

Saugkräfte wurden in der Abgasleitung (16), (19) zur Entfernung von etwa 100 000 nvfyh atmosphärischen Materials aus der Überzugskammer bei einer mittleren Temperatur von etwa 350 °C erzeugt, wodurch in einer Deckenschicht oder Dünnschicht Gas abgezogen wurde, das von der Heizeinrichtung (26) vorgewännt war und das Substrat bedeckte. Solch eine Vorwärmung erfolgte durch Erwärmung eines Rippenradiators auf "rote Hitze".

Zusätzlich neigten die seitlichen Saugeinrichtungen (19) dazu, atmosphärisches Material aus dem Bereich unterhalb des Niveaus des Bandes zu saugen, wodurch ein Wechsel atmosphärischen Materials zwischen den Zonen vertikal oberhalb und vertikal unterhalb der Bahn verhindert wurde. Es hat sich herausgestellt, daß dies zu einer exeptionell feinen Regelung der Atmosphäre unmittelbar oberhalb des Substrats im Bereich, wo die Bildung des Überzugs begann, führte. Dies zeigte sich auch als besonders günstig hinsichtlich der Schaffung eines regelmäßigen Überzugs der geforderten Dicke und das hier durch die Breite der Bahn vergrößert wurde, über die der Überzug auf die geforderte Dicke gebildet wurde.

Im Ergebnis hatte der Überzug eine feinkristallige Struktur an der Glas/Überzuggrenzfläche, die zu einer gleichförmigen Überzugsstruktur hoher Qualität und damit guten optischen Eigenschaften führte; der Einschluß von Überzugsreaktionsprodukten, die sonst zu Fehlem führten, wurden eher vermieden.

Figur 2

In Figur 2 wurden gleiche Bezugszeichen für analoge Funktionen wie in Figur 1 vergeben.

In der Sprühzone (9) am anströmseitigen Ende der Überzugskammer (6) fehlen die Heizeinrichtungen (10) sowie die Gasauslaßleitung (11). Eine Gasauslaßleitung (27) mit einem Auslaßschlitz (28), der über die volle Breite der Überzugskammer sich erstreckt, ist zum Austragen zusätzlichen Überzugsvorläufermaterials in der -12-

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Dampfphase vorgesehen, um im Tröpfchenstrom mitgerissen zu werden.

Abströmseitig zum Austrittsschlitz (15) unterhalb der Brückenwand (14) läuft die Deckenkonstruktion (5) weiter und bildet einen Kanal- oder Durchlaufbahnteil (13) der Überzugskammer (6), die wieder von sich vermindernder Höhe ist

Die Decke (5) des Kanals (13) ist von poröser Konstruktion; über ihr ist eine Beruhigungskammer (29) vorgesehen, die mit vorgewärmter Luft über die Leitung (30) gefüllt werden kann, so daß diese vorgewärmte Luft durch die Decke des Kanalabschnitts (13) eingeführt werden kann und eine Grenzschicht gegen Korrosion des Daches dort und gegen Kondensation der Überzugs vorläuferdämpfe auf dem Dach bildet Längs des Kanals (13) sind Ablenkbleche (31) vorgesehen, die an jeder Seite der Überzugskammer vorgesehen sind und von den Seitenwandungen der Überzugskammer nach innen und über die Ränder des Substrats (1) vorstehen. Diese "Umlenkbleche" erstrecken sich über die volle Länge der vom Kanal eingenommenen Substratbahn; tatsächlich erstrecken sich diese Umlenkbleche längs des gesamten Wegs bis zum anströmseitigen Ende der Vorkammer (25) und sind nur in dem Bereich unterbrochen, wo sie den versprühten Strom (8) an Überzugsvorläufermaterial stören würden.

Unterhalb der anströmseitigen Stirnwand (22) der Überzugskamm«- (6) ist der vertikale, in Figur 1 gezeigte Schieb« (23) «setzt durch einen schwenkbaren Schieb« (32), der einen variablen Eintrittsschlitz (31) beläßt, so daß die Geschwindigkeit, mit der das atmosphärische Material in die Übeizugskammer aus der Vorkammer (33) zur Bildung ein« das Glas bedeckenden Deckenschicht gesogen werden kann, leicht« regelbar wird. Zusätzlich sind Gasaustragsleitungen (33) zum Austragen vorgewärmten Gases nach unten in die Vorkammer vorgesehen, um die Lage an atmosphärischem Material unmittelbar oberhalb des Substrats (1) wenigstens bis zur Zone zu bilden, wo d« Strom an Überzugsmaterial gegen das Glas auftritt bzw. aufschlägt. Das anströmseitige Ende der Vorkammer ist im wesentlichen durch eine Begrenzungswandung (34) geschlossen.

Einrichtungen (35) sind vorgesehen, um Gas in die Umgebung des Substrats auszutragen, so daß ein kontinuierlicher Strom gebildet wird, der in Abströmrichtung (3) unterhalb jedem Rand der Substratbahn (1) und längs wenigstens einem Teil d« von der Überzugskammer (6) eingenommenen Bahnlänge strömt

Die Gasaustragseinrichtungen (35) unter dem Band umfassen vier Beruhigungskammem (36), die zu je zwei angeordnet sind und im wesentlichen über die volle Breite d« Übeizugsstation (4) sich «strecken. Im Kopf jeder Beruhigungskamm« (36) ist ein Schlitz (37) ausgebildet der von ein« Deflektorlippe (38) begrenzt ist so daß durch die Schlitze (37) eingeblasenes Gas in Abströmrichtung (3) längs der Uberzugsstation (4) gerichtet wird. Die Schlitze (37) erstrecken sich über die volle Länge jeder B«uhigungskammer (36) qu« üb« die Überzugsstation (4). Gewünschtenfalls können solche Schlitze durch eine Vielzahl von unter Abstand angeordneten Öffnungen ersetzt sein. Wie Figur 2 zeigt, ist eine Deflektorplatte (39) oberhalb der Beruhigungskammem (36) angeordnet so daß eingeblasenes Gas nicht direkt gegen das Substrat (1) ausgetragen wird. Die Beruhigungskammem (36) können mit vorgewäimtem Gas aus beiden Seiten der Überzugsstation (4), beispielsweise von Wärmeaustauschern, beschickt sein. Luft kann als ausgetragenes Gas Verwendung finden; diese kann ohne weiteres durch Wärmeaustausch mit Ofenrauchgasen erwärmt werden. Dieses Gas ist vorzugsweise bis innerhalb 50 °C der Temperatur des Substrats erwärmt, die das letztere bei Eintritt in die Übeizugskammer (6) hat

Unterhalb des Substrats (1) ausgetragenes Gas kann aus der Umgebung des Substrats (1) durch eine wünschenswert vorgesehene Abgasleitung (40) entfernt sein; sie kann mit ihrem Einlaß quer unter der Substratbahn angeordnet sein, beispielsweise ausgerichtet auf den obigen Bahnauslaßeimer (17) angeordnet sein.

Nahe dem anströmseitigen Ende der Überzugskammer kurz oberhalb des Niveaus des Substrats ist eine Hilfsgasaustragsleitung (41) vorgesehen, um vorgewärmtes Gas in die Kammer benachbart dem Substrat auszutragen und in Abströmrichtung zu strömen, um die Deckenschicht zu verstärken, die in die Überzugskammer am Schieber (32) vorbei eingeführt wird, um weiter die Atmosphäre in Kontakt mit dem Substrat zu konditionieren, wo der erste Kontakt mit dem Überzugsvorläufermaterial stattfindet.

Beispiel 2

Die Vorrichtung nach Fig. 2 wurde verwendet zur Bildung eines Zinnoxidüberzugs der gleichen Dicke wie in Beispiel 1 auf einem Glasband d« gleichen Dicke und das sich bei der gleichen Geschwindigkeit bewegte. Das Überzugsvorläufermaterial war Zinn(II)chlorid, das in Dimethylformamid gelöst war, dies wurde aus einer Düse (7) ausgetragen, die 75 cm öterhalb des Bandes sich befand und gegen die Horizontale um 30° geneigt war. Zinn(IV)chloriddampf wurde aus dem Schlitz (28) ausgetragen. Die in d« Sprühzone (9) gebildeten Dämpfe wurden längs des Kanals (13) durch frontales Ansaugen allein durch die Abgasleitung (16) und bei einem Durchsatz, derart, daß dem Üb«zug die gewünschte Dicke gegeben wurde, gesaugt

Das Glas trat m die Übeizugskammer (6) bei einer Temperatur von 600 °C ein und auf 600 °C vorgewärmte Luft wurde beieinem Durchsatz von 3000 Nmß/h in die Vorkamm« (25) aus der Leitung (33) ausgetragen und strömte in die Überzugskammer als das Glas bedeckende Deckenschicht

Atmosphärisches Material innerhalb der Sprühzone (9) wurde innig vermischt und eine kontinuierliche atmosphärenbeladene Dampfstiömung wurde längs des Kanals in Kontakt mit der Fläche des Substrats -13-

AT 396 928 B gesogen, auf welchem der Überzug gerade ausgebildet wurde.

Auf 550 °C vorgewärmte Luft wurde bei einem Durchsatz von 3000 Nm^/h aus Austragseinrichtungen (35) unterhalb der Substratbahn ausgetragen. Dies führte ebenfalls zu ausgezeichneten Ergebnissen, was die Breite des Überzugs von gleichförmig hoher Qualität anging.

Figuren 3 und 4

In den Figuren 3 und 4 sind Teile mit gleichen Funktionen wie in den Figuren 1 und 2 wieder mit entsprechenden Bezugszeichen bezeichnet worden.

Nach Figur 3 und 4 ist die Dach· oder Deckenkonstruktion (5) über dem Kanal (13) horizontal, so daß der Kanal eine gleichförmige Höhe, die Höhe des Austrittsschlitzes (15), über seine gesamte Länge hat

Am abströmseitigen Ende des Kanals (13) fehlt die Abgasleitung (16); das abströmseitige Ende des Kanals ist im wesentlichen durch eine Begrenzungswandung (42) anstatt des Abgasauslaßkrümmers (18) geschlossen.

Die Vorkammer (25) ist von der Überzugskammer (6) durch eine Schiimwand (43), die von seinem Dach (21) nach unten hängt, getrennt; die Stirnwand (43) trägt ihrerseits einen vertikal beweglichen Schieber (44), der aus einer Vielzahl von Abschnitten quer über die Breiten der Überzugskammer (6) ausgebildet sein kann, wodurch ein unterschiedliches Öffnen des Eintrittsschlitzes (24) möglich wird. Wie Figur 4 erkennen läßt, sind die unteren Ecken des Schiebers (44) wie beispielsweise bei (45) erkennbar, fortgeschnitten; hierdurch kann ein Gasdurchsatz mit erhöhtem Volumen in die Seiten der Überzugskammem erfolgen; Schließer (46) sind vorgesehen, um die Öffnung an diesen unteren Ecken zu verstellen.

Gebläse (47) sind unterhalb der Voikammer (25) angeordnet und blasen vorgewärmte Luft nach oben an den Rändern der Bahn des Substrats (1) vorbei; ein weiteres Gebläse (48) ist vorgesehen, um vorgewärmte Luft in eine Vorkammer von der Anströmseite, zwischen seiner anströmseitigen Schirmwand (34) und dem Substrat (1) zu blasen.

Heizer, beispielsweise Brenner, sind in der Vorkammer vorgesehen und, wie in Figur 4 gezeigt, sind diese Heizer so angeordnet, daß sie mehr Wärme an den Seiten der Vorkammer als in ihrer Mitte liefern.

Beispiel 3

Die Vorrichtung nach den Figuren 3 und 4 wurde zur Bildung eines 400 nm Überzugs aus Fluor dotiertem Zinnoxid auf einem Band von 5 mm Floatglas benützt, das bei 8,5 m/min lief und in die Überzugskammer bei einer Temperatur von 600 °C eintritt.

Das Uberzugsvqrläufermaterial wurde als Lösung von Zinnchlorid, das Ammoniumbifluorid, um Dotierungsionen im Überzug vorzusehen, enthielt. Diese Lösung wurde von der Düse bei einem Durchsatz von 1201/h unter einem Druck von 23 bar versprüht, während die Düse bei einer Geschwindigkeit von 23 Zyklen pro Minute hin· und herbewegt wurde.

Auf 600 °C vorgewärmte Luft wurde in die Vorkammer (25) aus den Gebläsen (47) und (48) ausgetragen und dann in die Überzugskammer zur Bildung einer Deckenlage, die das Glas überdeckte, gesaugt Ein Absaugen oberhalb des Niveaus des Substrats erfolgte bei einem Durchsatz von 60 000 m^/h bei etwa 350 °C, wodurch eine allgemeine Abwärtsströmung des Materials in der Überzugskammer aufrechterhalten wurde.

Deckenstrahlungsheizer (10) wurden eingeschaltet und verdampften das versprühte Überzugsvorläufermaterial, während es gegen das Substrat sich bewegte. Wegen der durch die hin- und hergehende Bewegung der Sprühdüse und dem versprühten Überzugsvorläufermaterialstrom erzeugten Turbulenz wurde das verdampfte Matmal innig mit Luft in der Sprühzone (9) vermischt; diese dampfbeladene Atmosphäre wurde nach unten in den Auslaßschlitz und längs des Kanals (13) gesogen. Der Überzugsvorläuferdampf mischte sich mit der Atmosphärendecken- oder -dünnschicht in Kontakt mit dem Glas und ein Überzug der geforderten Dicke wurde abgeschieden. Bei diesem Beispiel werden auch die Maßnahmai der hiermit zusammenhängenden Anmeldung A 3041/86 (AT-PS...) angewandt

Auf 550 0C vorgewärmte Luft wurde bei einem Durchsatz von 3000 Nm^/h von den Austragseinrichtungen (35) unter der Substratbahn ausgetragen.

Die Vorkammer (25) umfaßte Brenner (49) zum Vorwärmen der darin befindlichen Atmosphäre. Diese Brenner erlauben es der Luft entsprechend irgendeinem gewünschten Temperaturprofil, beispielsweise in größerem Ausmaß an den Seiten der Vorkammer erwärmt zu werden.

Der nach dem Verfahren dieses Beispiels gebildete Überzug hatte extrem hohe Qualität und Gleichförmigkeit über im wesentlichen die gesamte Breite des Bandes.

Beispiele 4 bis 6

Nach einer Variante jedes der vorhergehenden Beispiele wird die Vorrichtung verwendet, um einen Überzug auf Glas zu bilden, das in Scheiben geschnitten und dann wieder erwärmt wurde, wobei das Verfahren ansonsten gleich war. Ähnliche Ergebnisse in der Überzugsqualität wurden erreicht. -14-

Claims

AT 396 928 B PATENTANSPRÜCHE 1. Pyrolytisches Überzugsverfahren, bei dem ein warmes Glassubstrat in Scheiben- oder Bandform unter einer Überzugskammer durchläuft, die nach unten gegen das Substrat sich öffnet und in der ein Überzug auf der Oberseite dieses Substrats aus dem Überzugsvorläufermaterial gebildet wird, wobei das Glassubstrat ein frisch geformtes Band heißen Glases ist und der Überzug, nachdem dieses Band eine Bandformungsanlage verläßt, vor seinem Eintritt in einen Kühlofen geformt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die gasförmige Umgebung in unmittelbarer Nachbarschaft der Oberseite des Substrats wenigstens in der Zone, in der diese Überzugsbildung beginnt, geregelt wird, indem vorgewärmtes Gas in Strömungsrichtung des Glassubstrats zugeführt und in diese Kammer in Kontakt mit dem Substrat eintritt und eine Decken- oder Dünnschicht bildet, die das Substrat wenigstens in dieser Zone überdeckt
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine allgemeine Gasströmung gleichlaufend mit dem Glassubstrat längs der Überzugskammer wenigstens zum Teil dadurch aufrechterhalten wird, daß atmosphärisches Material aus dieser Kammer an deren Abströmende angesaugt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Überzugskammer im wesentlichen an ihrem abströmseitigen Ende geschlossen ist, um einen Austausch des atmosphärischen Materials zwischen dem abströmseitigen Ende der Überzugskammer und einem weiteren abströmseitigen Bereich der Substratbahn zu verhindern.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens über einen Teil der Länge der Überzugskammer die Strömung atmosphärischen Materials an den Seitenrändem des Substrats vorbei und zwischen den Zonen vertikal oberhalb und vertikal unterhalb des Substrats, beispielsweise durch seitliche Saugeinrichtungen und/oder Ablenkbleche unterbunden wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Weise eine Überzugsvorläuferlösung nach unten und in Strömabwärtsrichtung versprüht wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Überzugsvorläuferlösung nach unten in die Überzugskammer und durch die Deckenschicht versprüht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Sprühzone der Überzugskammer »wärmt wird, um eine Verdampfung eines Teiles des Überzugsvorläufermaterials hervorzurufen, bevor dieses das Substrat erreicht, um die Atmosphäre in dieser Zone mit verdampfter Überzugsvorläuferlösung zu beladen, daß die Lösung mit ausreichender Energie versprüht wird, um einen zwangsweisen Aufschlag des restlichen versprühten Überzugsvorläufermaterials gegen das Substrat sicherzustellen, um ein Uberziehen der Substratfläche zu initiieren, und daß die mit Überzugsvorläufermaterial in der Dampfphase beladene Atmosphäre in Abströmrichtung aus der Sprühzone längs und in Kontakt mit der überzogenen Substratfläche für eine Kontaktzeit von wenigstens 10 Sekunden strömt, wonach das Restmaterial dieses mit Vorläufer beladenen Stromes vom Substrat fort gerichtet wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 zum Bilden eines Metalloxidüberzugs, dadurch gekennzeichnet, daß das Überzugsvorläufermaterial sowie oxidierendes Gas kontinuierlich in eine Mischzone, die außer Kontakt mit dem Substrat steht, gegeben werden, in welcher ein inniges Gas-Vorläuferdampf-Gemisch »zeugt wird und ein Strom dieses Gemisches kontinuierlich aus dies» Mischzone in und längs eines Kanals oder ein» Durchlaufbahn in Kontakt mit der Substratfläche geleitet wird.
9. Verfahren nach einem d» vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das die Deckenschicht bildende Gas in größ»em Ausmaß vorgewärmt wurde, als dies durch Wärmeübergang vom Substrat allein möglich wäre.
10. Verfahren nach einem d» vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das die seitlichen Randteile der Deckenschicht bildende Gas in größerem Ausmaß als in seiner Mitte vorgewärmt wird. -15- AT396928B
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens über den seitlichen Rändern des Substrats das Gas in der Deckenschicht auf eine Temperatur erwärmt wird, die größer als die der darunterliegenden Randteile des Substrates ist.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas zur Bildung der Deckenschicht aus einer benachbarten Vorkammer in das Anströmende der Überzugskammer eingespeist wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasvorwärmung wenigstens zum Teil in 10 dieser Vorkammer und in einem Bereich oberhalb des Substratniveaus vorgenommen wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorwärmung in der Vorkammer durch Brenner geschieht.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß vorgewärmtes Gas nach oben in die Seiten da* Vorkammer aus einem Bereich unterhalb des Niveaus des Substrats eingeblasen wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß vorgewärmtes Gas in die Vorkammer in Strömungsrichtung aus einem Ort oberhalb des Niveaus des Substrats geblasen wird. 20
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß vorgewärmtes Gas nach unten in die Vorkammer geblasen wird und daß das Gas daran gehindert wird, nach unten an den seitlichen Rändern des Substrats vorbei zu strömen.
18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Volumenströmungsdurchsatz des die Deckenschicht bildenden Gases differentiell quer über die Breite des Substrats geregelt wird.
19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß über einen 30 wesentlichen Teil der Höhe der Kammer atmosphärisches Material in einer allgemeinen Abwärtsströmung zum Teil dadurch gehalten wird, daß ein Gasstrom in die Kammer in Stromabwärtsrichtung geblasen wird.
20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Hilfsstrom vorgewärmten Gases in diese Überzugskammer eingeführt wird, um in Abströmrichtung in oder 35 benachbart der Deckenschicht und durch die Zone, in der die Überzugsbildung stattfindet, eingeführt wird.
21. Vorrichtung zur pyrolytischen Bildung eines Metallverbindungsüberzuges auf einer Oberfläche eines heißen Glassubstrats in Band- oder Scheibenform mit Fördereinrichtungen zum Fördern eines solchen Substrats längs einer Bahn in Abströmrichtung, einer Dach- oder Deckenkonstruktion, die eine Überzugskammer bildet, 40 die nach unten auf diese Bahn offen ist und mit Einrichtungen, um dieses Überzugsvorläufermaterial in diese Kammer einzubringen, wobei die Überzugsstation zwischen dem Austritt aus einer Bandformungsanlage und dem Eintritt in einen Kühlofen angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß anströmseitig zu dieser Überzugskammer (6) eine Vorkammer (25) vorgesehen ist, die mit der Überzugskammer (6) über einen Eintrittsschlitz (24) in Verbindung steht, der zum Teil durch die Bahn des Substrats (1) gebildet ist und über 45 welche Gas in die Überzugskammer (6) strömt, so daß bei Betrieb der Vorrichtung eine Deckenschicht gebildet wird, die die Oberseite des Substrats (1) längs eines ersten Teils der Länge dieser Kammer (6) bedeckt, und daß Einrichtungen (26) vorgesehen sind, um regelbar das die Deckenschicht bildende Gas vorzuwäimen.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß eine Abgasleitung (16) mit einem oder 50 mehreren Einlässen (17) am abströmseitigen Ende der Überzugskammer (6) angeordnet ist.
23. Vernichtung nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine Begrenzungswandung oberhalb der Substratbahn vorgesehen ist, die sich quer über die volle Breite der Überzugskammer (6) erstreckt und deren abströmseitiges Ende im wesentlichen verschließt. 55
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens über einen Teil der Länge der Kammer (6) Einrichtungen (19) vorgesehen sind, um die Strömung atmosphärischen Materials an den Seiten der Substratbahn endang bzw. vorbei und zwischen den Zonen vertikal oberhalb und verükal unterhalb dieser Bahn zu unterbinden. 60
25. Vorrichtung nach einem der Anbrüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung (7) für das flüssige Überzugsvorläufermaterial nach unten und in Abströmrichtung gerichtet ist -16- AT 396 928 B
26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung (7) für die Überzugsvorläuferlösung in einer Höhe oberhalb der Substratbahn von wenigstens 75 cm angeordnet ist; daß Heizeinrichtungen (11,12) vorgesehen sind, um Wärme an die Sprühzone zu liefern; daß die Dach- oder Deckenkonstruktion (5) einen Durchlaufbahn- oder Kanalteil der Überzugskammer (6) bildet, die von der Sprühzone (9) in Abströmrichtung führt und der Überzugskammer (6) eine Gesamtlänge von wenigstens 2 Metern verleiht; und daß in an sich bekannter Weise Absaugeinrichtungen vorgesehen sind, um das atmosphärische Material innerhalb des Kanals längs der Substratbahn an das abströmseitige Ende des Kanals und in die Abgasleitungsausbildung (16) zu fördern.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Überzugskammer (6) einen Kanal (13) aufweist, längs dessen Überzugsvorläuferdampf und oxidierendes Gas in Abströmrichtung in Kontakt mit der oberen Kontaktfläche während des Fördems des Substrats (1) geführt werden können und daß in der Sprühzone eine Mischzone vorgesehen ist, in welcher Überzugsvorläufermaterial und oxidierendes Gas zusammen außer Kontakt mit dem Substrat (1) eingebracht und gemischt werden können.
28. Vorrichtung nach Anspruch 21 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckenkonstruktion (5) einen merklichen Abfall in der Höhe oberhalb der Substratbahn in Abströmrichtung aufweist, wodurch die abströmseitige Strömung des atmosphärischen Materials aus der Austragszone des Überzugsvorläufermaterials in die Überzugskammer (6) gedrosselt wird.
29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasvorheizein-richtungen (26) regelbar sind, um die jeweiligen Bereiche der Decken- oder Dünnschicht quer über die Breite der Substratbahn in unterschiedlichem Ausmaß zu erwärmen.
30. Vorrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasvorwärmeimichtung (26) regelbar ist, um das Gas, welches die seitlichen Randteile dieser Deckenschicht bildet, in größerem Ausmaß als das Gas zu erwärmen, welches die mittleren Teile dieser Schicht bildet.
31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennwand (43) oberhalb des Eintrittsschlitzes (24) einen Schieber (44) zum Einstellen der Öffnung des Eintrittsschlitzes umfaßt.
32. Vorrichtung nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber (44) in unabhängig beweglichen Abschnitten aufgebaut ist, um die Eintrittsschlitzöffnungen (24) differentiell über die Breite der Substratbahn einzustellen.
33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 32, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen (33) vorgesehen sind, um die Atmosphäre innerhalb der Vorkammer (25) von oberhalb des Niveaus dar Substratbahn zu erwärmen.
34. Vorrichtung nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß als Vorkammerheizeinrichtung Brenner installiert sind.
35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (47) vorgesehen sind, um vorgewärmtes Gas nach oben in die Seiten der Vorkammer (25) von einem Bereich unterhalb des Niveaus der Substratbahn zu blasen.
36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen vorgesehen sind, um vorgewärmtes Gas in die Vorkammer (25) in Abströmrichtung aus einem Bereich oberhalb des Niveaus der Substratbahn zu blasen.
37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen vorgesehen sind, um vorgewärmtes Gas nach unten in die Vorkammer (25) zu blasen und um das Gas daran zu hindern, nach unten an den seitlichen Rändern der Substratbahn vorbei zu strömen.
38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorkammer (25) über ein Dach oder eine Decke (27) verfügt, die schräg nach unten gegen den Kopf des Eintrittsschlitzes (24) geht oder sich vetjüngt
39. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 38, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, um einen Gasstrom in die Kammer in Stromabwärtsrichtung zu blasen, um eine allgemeine Abwärtsströmung des atmosphärischen Materials über einen wesentlichen Teil der Höhe der Kammer aufrechtzuerhalten. -17- 10 AT396928B
40. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 39, dadurch gekennzeichnet« daß Mittel vorgesehen sind, um wenigstens einen Hilfsstrom vorgewärmten Gases in die Überzugskammer (6) auszutragen, der in Strömungsabwärtsrichtung in oder benachbart dieser Deckenschicht und durch die Zone (9), in der die Überzugsbildung stattfindet, strömt. Hiezu 4 Blatt Zeichnungen -18-