JPS62148342A - ガラスを熱分解的に被覆する方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はリボンまたはシートの形での熱ガラス基体を、
基体に向って下方に開いている被覆室の下方で下流方向
に送行させ、その中で被覆プリカーサ−材料から上記基
体の上面に被覆を形成する熱分解被覆方法に関する。本
発明はまた上記基体を下流方向で通路に沿って搬送する
ためのコンベヤー装置、上記通路上に下方に開いている
被覆室を規制する屋根構造物および上記室中に被覆プリ
カーサ−材料を放出するための装置を有するシートまた
はリボンの形での熱ガラス基体の上面に金属化合物被覆
を熱分解的に形成するための装置に関する。

かかる方法および装置は、棟々の目的のための被覆され
たガラスの製造に有用であり、被覆はガラス上にある特
別の望ましい性質を与えるために選択される。ガラスに
付与するとよい被覆の特に重要な例は、赤外線特に３μ
ｍ以上の波長を有する赤外線に関する被覆面の輻射能を
減するために設計され、太陽輻射線に関する被覆ガラス
の全エネルギーの透過性を減するために設計されたもの
がある。例えば熱保存を目的として二酸化錫の低光外勝
輻射能被覆を有するガラスを作ることか知られており、
また太陽熱増加またはまぶしさを減することを主目的と
して、二酸化チタンの如き金属酸化物、゛またはＦｅ２
０ｇ＋　Ｃｏｏ　＋　０ｒ２０３の如き金属酸化物の混
合物の太陽エネルギー透過性減少被覆を有するガラスを
作ることが知られている。

窓ガラスのため使用するガラスに付与される被覆は均一
な光学的品質を有すべきであり、それらは耐久性である
べ永ことは明久かでネス−また形成される被覆は見る目
的のため正しい厚さのものであるべきであり、例えば製
造スケジュール中の他の工程によって支配されることの
あるかなり早い速度で基体が移動するときでさえも、被
覆材料の形成速度が所望される被覆の厚さを形成するの
に充分なものであるべきことが工業上望ましいことは明
らかである。

被覆方法に関する種々の要因が基体上に被覆を形成する
方法に影響を与えることが見出されている、これらの中
には被覆が形成される材料の物理的相および材料の種類
、材料が基体と接触せしめられるときのエネルギー、お
よび被覆室および被覆される基体の温度を挙げることが
できる。

例えば被覆反応が生起する速度は温度依存性であること
が知られている。一般に温度が高くなればなる程被覆の
形成は早くなり、形成される被覆の結晶構造は微細にな
る。均一な微）′＋（Ｂ結晶構造が高被覆品質および耐
久性にとって有利である。

従って従来の方法は被覆を形成する前の熱基体の温度の
制御に求められて来た、そして各工程は被覆室内の環境
の温度を制御するためにとられて来た。

本発明は従来見落されて来た要因、即ち被覆形成が開始
する帯域での基体の直ぐ上の雰囲気の温度によって被覆
の品質が強く影響を受けることを見出したことに基づい
ている。

本発明によればシートマたはリボンの形で熱ガラス基体
を、基体に向って下方に開いた被覆室の下方で下流に向
って送行させ、被覆プリカーサ−材料から上記基体の上
面に被覆を形成させる熱分解被覆方法を提供し、かかる
被覆形成が開始する少なくとも帯域での基体の上面の直
ぐ近くでのガス状雰囲気を、下流方向で予熱したガスを
上記室中に供給し基体と接触させて室中に入れ、少なく
ともその帯域だけ基体を被うブランケット層を形成させ
ることによって制御することを特徴とする。

被覆形成が開始する帯域で基体と接触するガス状環境の
制御の可能性は従来見逃−されて来た要因である。被覆
室内全体の環境を制御することよりも、要求される精度
でかかるブランケット層中の条件を制御することが非常
に容易であること、およびこれによって被覆形成が開始
する帯域の上流から基体と接触するガスの全般的流れを
、その帯域で、生起する被覆反応を受は入れる基体面と
接する微細な雰囲気が存在するような方法で作ることが
できることを見出した。

これをするため、予熱したガスによって基体と接触させ
て被覆室中に通常連行される雲間気層を制御もしくは変
性し、被覆反応のため有利な条件をガラスを被う層に作
るようにすることが必要である。これは、被覆室の上流
端で相対的に冷いガスの強力な流れを基体上に指向させ
ることによって自然に連行されるガス層を乱すような従
来の方法との特別な相違である。更に上記ブランケット
層内で条件を制御することは比較的容易なため、例えば
連続生産工程中に付着せしめられる被覆の厚さにおける
小さい変動を補うため、これらの条件を調整することは
比較的容易である。

被覆室内のブランケット層上の被覆プリカーサ−材料の
一般的な下流への流れがある本発明の実施態様は、被覆
室の雰囲気内での反応成分の流れにかく作用する制御の
ため、高品質の形成に特に有利である。

好ましくは、被覆室に沿ったガスの一般的な下流への流
れは、その下流端でその室から雰囲埼オ料を吸気するこ
とによって少なくとも一部を保つ。下流への流れを下流
端排出ダクト中で発生させた吸気力によって保つ程度に
、被覆室の下流端でガス上に作用する力およびその室の
上流端でのガスの流れによって作用する力が、より拡散
するであろう。これは被覆室の下流端で微細かつ均一な
結晶構造の被覆下層の初期形成を促進することが判った
。ガラス／基体界面での被覆結晶構造が、基体が被覆室
に沿って送行するに従って残余の破損の厚さを形成する
のにな重要性を有する。

本発明による方法は、無秩序な流れによってブランケッ
ト層の分裂を避けるように、実質的に閉じられた破）室
内で行なうとき最大の利点を与える。事実かかる無秩序
な流れの波もありうる源は被覆室の下流端にある。従っ
て特に好ましい実施態様において、被覆室をその下流端
で実質的に閉じて、被覆室の下流端と更に基体通路の下
流帯域の間で雰囲気材料の交換を防ぐ。

かかる閉鎖は例えば被覆室の幅一杯を備切り、その下流
端で延びる排出ダクトによって行なうとよい。この特長
の適用は、更に下流帯域からの被覆室の下Ｄｉｒ、端で
の雰囲気の怖択または汚染を避ける利点も有する、そし
て基体のそれ以後の処理を妨害することおよび被覆室の
下流で彼彊上に追加の望ましからぬ材料の付人？するこ
とから被覆室雰囲気の流れを防止する。

本発明の特に有利な実施、７川様においては、ガラス基
体は熱ガラスの新しく形成されたリボンであり一部Ｊｆ
はそのリボンＭ　ｔｌ　＆ソ４３　ｈｊゴ４・・トを出
た後で、徐冷レアに入る前に形成する。

従って被覆室は何れにしてもガラスが生起させるべき熱
分解被覆反応に適切な温度にある位置に置くとよい、か
くするとかかる温度にガラスを予熱するのに含まれる費
用を避けるかもしくは実質的に減することができる。ま
た被覆は一方ではリボン形成プラントから、他方では徐
冷レアから物理的に区別される室内で生起させるべきこ
とが重要である。かかる区別がないと、そしてこれは徐
冷レアの長さ内で生起させることが被覆のためこの分野
で従来より普通に知られていたのであるが、このとき破
壊室内の雰囲気条件は、徐冷レアおよびリボン形成プラ
ントが流れるガス流によって乱され易くなり、かかる流
れはしばしば被覆中に欠陥として入って来るようになる
ダストおよび他の汚染物を連行する、またレア中の雰囲
気流のパターンが有利性の劣る徐冷条件をもたらす程乱
される危険のものになる。

仮す室での基体の上および下の圧力条件にょつて、基体
の両側を通り上方へ流れる基体の下方からの雰囲気の傾
向がある、これは基体上のプリカーサ−含有雰囲気を稀
釈する。これは被覆が基体の中央部上にあるよりも、基
体繰上で薄くなる被覆付着の形成をもたらすことができ
、これは被覆された基体の幅の一尾部分が許容し得ない
品質のものとなる結果をもたらす。あるいはプリカーサ
−含有雰囲気を基体の下方へ流す傾向を生ぜしめ、これ
も同様に基体の下面に望ましからぬ被覆を付着させる。

被覆室中および下での雰囲気流の流れのパターンによっ
て、この望ましからぬ被覆は程度の差はあれ規則的であ
るが、しかし高度に不都合な干渉効果を生ぜしめる程薄
いものであり、例えばそれは基体の中央に向って厚さを
減する程度の差はあれ規則的な被覆であり、あるいはそ
れは西洋すごろく板上のマークを思い出させるパターン
のかなり不規則なマークであることもある。これらの欠
点を減少させるため、本発明の特に好ましい実施態様に
おいては、室の長さの少なくとも一部にわたって、基体
の側縁を通る雰囲気材料の流れおよび基体の垂直方向の
上下の帯域間の流れを阻止することである。この方法を
実施することによって、有用被覆幅を増大させることが
でき、特に新しく形成されたガラスリボンを被覆すると
き有用であることが判った。

被ネｕプリカーサー材料を被覆室中に導入する方法には
被１π品質にとって厳密な規制はなく、列えはそれは蒸
気相で導入できることが判った。

しかしながら好ましくは、被覆プリカーサ−材料は下流
方向にそして下方に向って噴霧する。

これは蒸発された材料が下流方向に若干のモーメントを
既に有することから、ブランケット層に比較的少ない乱
れを与えながら、被覆プリカーサ−材料の放出を容易に
する。それはまた同じ高さから垂直に噴霧するときと比
較して噴霧された材料の軌道を長くする、従って基体と
接触するＭｉＪの被覆室中での噴霧された被覆ブリカー
ザー材、料に対する状態調整のための長い時間を町１′
十にする、 被覆プリカーサ−材料は被覆室中にそして上記ブランケ
ット層を通って下方に向けて噴霧するのが好ましい、何
故ならこれは特に急速に移動する基体上に、厚い被覆を
形成するのに要する大量の被覆プリカーサ−材料の処理
を大きく容易にするからである。従って本発明は例えば
５００ｎｍ以上の厚さのかなり大なる厚さの被覆の形成
に適用できる。

従来技術の液体相被覆法に組合さった一定の欠点がある
ことが知られている。かかる従来技術の方法においては
、それらが基体に対して衝突したとき、噴霧された小滴
のはねかえりにより形成される被覆の汚れを避けること
が非常に困難である。また普通の液体相被覆方法を使用
するとき、噴霧される通常かなり大量の被覆浴液と熱基
体の間の接触は、特に被覆が新しく形成された熱ガラス
リボン上に付着されるときかなりの困難を生せしめる、
何故ならそれは次の徐冷処理を妨害するからである。こ
の結果は、ガラスが悪く徐冷されることになり、ある場
合には徐冷後ガラスリボン中に残った応力がそれを切断
するのを困薙にし、それをシートニ切ルとき破壊を生せ
しめる程にさえなることがある。

これらの問題を減少させあるいは除くため、本発明の特
に有利な実施態保では、被覆グリカーサー材料が基体に
到達する前にその一部の蒸発を生ぜしめ、蒸発した被覆
プリカーサ−溶液を有する雰囲気をかかる帯域中に仕込
むように上記被覆室の噴霧帯域を加熱することである、
溶液は上記基体面の被覆を開始させるため基体に対して
残存噴霧被覆プリカーサ−材料の積極的な衝突を確実に
するのに充分なエネルギーをもって噴霧される。そして
蒸気相の形で被覆プリカーサ−材料を含有する雰囲気は
、少なくとも１０秒の接触時間被覆された基体面に沿っ
てかつ接触して上記噴霧帯域から下流方向への流れを生
ぜしめる、その後上記プリカーサ−含有流の残存材料は
基体から離れるように指向される。

この特長を採用するとき、一定速度のプリカーサ−材料
にとって、被覆形成が開始する帯域でガラスに対し衝突
する流れの強度を城ぜしめることができる。これは基体
と接しているＢＪ気のブランケットｒＨへの乱れを減す
るのに特に有用であり、非常に高品質の被覆の形成をも
たらすことができる。比較的少量の放出された材料が、
ガラスに対して積極的に衝突するためブランケット層を
侵入する、従ってブランケット層は大きく乱されずにそ
のままでいることができる。

かかる方法は低いそして均一で低い曇りを示す被覆の形
成に有用である。このことは、従来曇りの増大をもたら
すこれらの蒸気から、余分な付着が生ずる危険を減する
ため、できる限り早く（従来知られている方法では２〜
５秒の接触時間が普通である）基体から被覆プリカーサ
−および反応生成物蒸気を除去することが必要であると
考えられていたことから、特に驚くべきことである。

かかる方法の使用が良い被覆品質基準に有利に作用する
理由は完全には明らかでない。一つの可能な説明は、基
体が被覆室の通路部分を通って送行するに従って、被覆
の厚さの実質的な割合がプリカーサ−材料から形成され
ることにある。蒸気相被覆方法は被覆中の微細かつ均一
な結晶構造に有利に作用することが知られている。しか
しながら、これは、何故従来の蒸気相被覆方法の使用に
よって得ることのできるものよりはるかに規則的な厚さ
を有する被覆の形成を、本発明のかかる実施態様の実施
が生せしめるのか説明していない。別の可能な説明は、
蒸気相の形でのプリカーサ−材料から被覆の厚さの小さ
い部分のみが形成されるが、基体が被覆プリカーサ−蒸
気に曝露される少なくとも１０秒という上記接触時間中
に、被覆の新しく形成された主体の状態調整をすること
であり、従って被覆の結晶構造を被覆品質にとって有利
に作用する方法で変性することができ、特に新しく形成
された被覆をブリカーザー蒸気に曝露することか被覆中
の小孔を充満させることができ、かくしてより硬く、よ
り緻密で耐候性の被覆を生ぜしめることである。

例えば本発明は１９８５年１２月２０日付にて英国に出
願された（願書番号　　　　　号、代理人参照番号０Ｊ
２６ＦＬ工ＮＴＥＩＴＯＮＥ　　４４０　）に記載され
た発明と有利に組合せることができる。上記特許出願に
は、被覆プリカーサ−溶液の少なくとも一つを基体に向
って下方に噴７４するような被覆室中の通路に溜ってシ
ートｔたはりボンの形の熱ガラス基体を下流方向に搬送
する間、その上面に金属化合物被覆を熱分解的に形成す
る方法が記載されており、それは蒸気化された被覆プリ
カーサ−材料をかかる帯域中の雰囲気に仕込むため、被
覆プリカーサ−材料が基体に到達する前にその一部の蒸
発を生ぜしめるために上記被覆室の噴７（紗帯域を加熱
し；上記基体面の被覆を開始させるため基体に対し残存
噴霧被覆プリカーサ−材料が衝突するのを６１　Ｔにす
るに充分なエネルギーで溶液をｒａｔ　：’ｔ、　シ：
２気相の形で被覆プリカーサ−材料を含有する謬囲気を
、少なくとも１０秒の接融時間被αされた基体面と凄触
してそれに旧って上記噴霧帯域から下流方向に流させ、
その後上記プリカーサ−含有流の残存材料を基体から殖
す方に指向させることを特徴としている。

本発明の他の特に好ましい実施態様においては、金属酸
化物被覆を形成させるため、被覆プリカーサー材料およ
び酸化性ガスを混合帯域中に運・玩的に供鮒し、その中
で上記プリカーサ−材料とは化性ガスは基体と接融せず
に共にもたらされ、それらは混合力を受けてプリカーサ
−蒸気と酸化性ガスの緊密混合物を含有する雰囲気を作
り、かかる混合物の流れが上記混合帯域から上記基体面
が曝路される通路中にそれに沿って連続的に流される。

これもまた仕込まれた被覆プリカーサー材料によるブラ
ンケット１層の乱れを減する。基体上のガスのブランケ
ット層が、ガラス上に被覆を形成することからかかる蒸
気含有雰囲気を防ぐシールドとして作用しないことは事
実においてかなり驚くべきことである。しかしこの方法
で非常に高品質の被覆が形成できる、これは５Ｕｉプリ
カーサ−蒸気がブランケット層中に実質的にその一般的
流を乱すことなく混合できるためと考えられる。

特にかかる混合は、基体上の通路に沿って供給し、被覆
中またはその上に欠陥を形成される余分な付着として落
下する被覆反応生成物の早すぎる形成を含まぬことは鷺
くべきことである。

また混合帯域内での被覆プリカーサ−と酸化性雰囲気の
緊密混合物を形成することおよびその混合物を基体と接
触状態で通路に沿って流させることは、その厚さにおい
て予期できない変動を実質的に含有しない被覆を達成す
るのに充分であること、そして被覆プリカーサ−材料を
被覆量中に導入する正確な方法にはかかる１１さ規則性
を達成するのに厳密な規制はないことも驚くべきことで
ある。予期したこととは反対に、かかる混合が材料が蒸
気相の形で通路に沿って下流に流れるに従って、基体上
に被覆を形成するため利用しうる充分に未反応の被覆プ
リカーサー材料を残すことも注目すべきである。これは
この分野の従来技術の教示とは全く相反する。

かかる本発明の特に好ましい実施態様は、高品質および
均一品質の被覆の形成を容易にし、従来Ｔ能であったよ
りも規則的な厚さにかかる′４ｉ、頃を形成できること
を見出した。

本発明のかかる実施態様はまた例えば厚さ４００ｎｍ以
上の比較的厚い被覆の形成に特に有利性を提供する。本
発明者等は、蒸気含有雰囲気の迅速除去は実質的に欠陥
のない＋ｉ覆にとって要件でなく、従って所望の厚さま
で被覆を形）反させるためより良い時間をＪ「すことか
できることを見出した。

例えば本発明は代理人）点番号ＰＨｌ　８ＣＲＯＷＮＳ
ＴＯＮＥ５１０の下に１９８５年１２月２０日付で出願
した英国特許出願第　　　　　号に記載された本発明と
組合せると有利である、上記自涜“ｌには、シートマた
はリボンの形の熱ガラス基体を下方に開いた：ｐ′Ｉ＆
彷協の下に嵐？＋Ｉ６　ｈＱに”Ｊ（’ｆ’ｒ：つア下
流方向へ搬送中その上面に金属酸化物を熱分解的に形成
する方法が記載されており、この方法では、上記被覆は
上記基体面が曝露される上記被覆室の通路に涜って下流
方向で供給される被覆プリカーサ−蒸気および酸化性ガ
スから形成される、そして、被覆プリカーサ−材料およ
び酸化性ガスを、それらが基体と接触せずに共にもたら
させる混合帯域中に連続的に供給し、それらに混合力を
受けさせてプリカーサ−蒸気と酸化性ガスの緊密混合物
を含む雰囲気を作るようにし、かかる混合物の流れを上
記混合帯域から連続的に上記勘蓼面と接触させて上記通
路に沿ってその中に流させることを特徴としている。

好ましくは上記ブランケットＨＡを形成するガスは、基
体単独からの熱伝達によってなしうるより大きな程度に
予備加熱する。ブランケット内のガスの温度は、初期被
覆形成のため最も良い可能な条件を作るため高くあるべ
きであることが高品質および均一被覆品質のために特に
Ｍ利であることが判った。これはまた迅速被（テ柾形成
速度を促進する。

多くの研究がなされた問題の一つは、被覆される基体の
幅の横断方向の被覆の厚さにおける変動の問題である。

この問題の特別な場合として、新しく形成された熱い板
ガラスのリボンを被覆するとき、リボンの縁が中央リボ
ンストリップよりも厚さが薄く被覆されたことを見出し
た。従ってかかる縁部分は目的の品質基準に合致せず廃
物として処理される。この現象の一つの可能な原因であ
るとして、被覆室の両側での被覆プリカーサ−材料の稀
釈を既に示した。最近の研究では、これはまた被覆され
る基体の幅を横切る温度の不規則性に原因があるとの結
論が出された。例えば被覆室内での材料は、その室の側
壁に近ければ近い程より冷却される傾向があることが知
られている。

本発明の特に好ましい実施態様において、上記ブランケ
ット層の側縁部分を形成するガスは、それの中央部にお
けるよりも大きな程度に予備加熱した。前述した如く、
本来被覆室の側壁およびその室に導く通路を通る熱損失
がある、そしてこの特長の採用はその熱損失を補うこと
を可能にする熱バリヤーを設ける。本発明のこの好まし
い特長の適用によって達成できる利点の特別の例として
、新しく形成された熱ガラスリボンを被覆するとき、そ
の幅を横切って実質的に均一な温度プロフィルをもって
ガラスが被覆室に入ったときでさえも、被覆形成が開始
する帯域でリボンと接触する雰囲気の特別な制御がない
と、各側縁でのリボン幅の６分の１という大量が許容し
得ない品質のものとなることがあり、従って全リボン幅
の３分の１がカレントとしてしか有用でなくなることが
見出された。この特長を採用することにより、有用に被
覆された幅を増大させうろこと、そして最良の操作条件
の下では、有用な製品品質はリボン縁での被覆の品質に
よってさほど大きく限定されず、これらの縁でのガラス
自体の品質によって限定されることを見出した。種々の
要因によってガラスリボンの缶縁で数百が不規則で許容
し得ない光学的品質のものであり、如何なる場合にも捨
てるかカレットとして使用しなければならぬことは心に
浮ぶであろう。

好ましくは上記ブランケット層を形成するためのガスは
防接予備室から被覆室の上流端に入れる。これは基体を
被うガスの上記ブランケット層を作ることを確実にする
非常に簡単な方法であり、これは次いで少なくとも被覆
形成が開始する帯域までそれを接触する状態で搬送され
る基体によって連行できる。上記予備室の上流端は好ま
しくは実質的に閉じて上流からの例えばリボン形成プラ
ントからのその予備室中へのガスの流入を阻止するよう
にし、ガスが上記ブランケット層を維持するため供給で
きるバッファー帯域を作るようにする。

有利にはガス予備加熱は、上記予備室の少なくとも一部
でそして基体のレベルの上から行なう。これはその予備
室から被覆室に入るガスの温度の直接側倒１を可能にす
る。

子イふ堂内のガスは任音の′ｂ１乱公む古炊アそｒで加
熱するとよい、しかし好ましくは上記予備室内でのガス
予備加熱はバーナーによって行なう、何故ならこれが最
も効率的であることが判り、ヒーター制御の調整に迅速
に応答して、加熱の容易かつ正確な制御を可能にするか
らである。

好ましくは予備加熱ガスは、基体のレベルの下から上記
予備室の側申に上方に向けて吹き出させる。これは基体
のレベルでの側熱損の補償を促進し、一方基体上予備室
を置いた雰囲気条件に有利な効果を有する、何故ならそ
れは予備室の側壁を通って入る冷い空気を防ぐ傾向があ
るからである。

これとは別に、またはこれに加えて、本発明の特に好ま
しい実施態様においては、予備加熱したガスは基体のレ
ベルの上から下流方向で予備室中に吹き込む。これは被
覆室中へのそしてそれを通るガスの下流方向への流れを
促進することが判った、そしてそれは予備室をその上流
端で閉じない本発明の例において特に有利である。

これとは別にあるいはこれに加えて、予備加熱したガス
は上記予備室中に下方に向けて吹き込み、かかるガスが
基体の両縁を通って流れ下ることから制限することが有
利である。

被覆室の側壁を通る熱損失を特に補うため、ガスブラン
ケットの温度に制御を作用させることの望ましさは前述
した。

別のあるいは追加のかかる補償を行なう方法として、本
発明の好ましい例では、上記ブランケットを形成するガ
スの体積流速を基体の幅を横切って差をもって制御する
ことである。

有利には室の高さの実質的な部分にわたり、雰囲気材料
は、下流方向で室中にガス流を注入して一部一般的な下
流への流れの形で保つ。この特長の採用は、被覆室内で
の雰囲気材料の一般的下流方向への流れを促進するのに
特に有利である、一方室内の雰囲気圧力を、例えはその
下流端での吸気によって、その壁中の間隙を通って室中
に吸入される外部雰囲気材料傾向はないか殆どないよう
なレベルテ保ツ。

好ましくは予備加熱したガスの少なくとも一つの補助流
を被覆中に導入して上記ブランケット層中にまたはそれ
と隣接して、そして上記被覆形成が開始する帯域中に下
流方向に流す。かかる補助ガス流はブランケット層の下
流方向流モーメントを増大し、そして／または室内での
無秩序流に対しそれを保護する利点を有する。

またかかる流れの使用は全体としてのブランケット層の
流速および／または温度の比較的微細な制御を可能にす
る。

本発明による方法の特に重要な使用は、被覆プリカーサ
−材料として塩化第一錫を用い酸化錫被覆の形成におい
てである。酸化錫被覆が付与されるガラスシートの光面
の長波長赤外輻射線についての輻射率を減する酸化錫被
覆は、窓ガラス構造物からの熱伝達を減するため広く使
用される。これはこの方法が使用しうる目的の一例にす
ぎないことは勿論である。別の例として、二酸化チタン
の被覆、コバルト、鉄およびクロム酸化物の混合物の如
き酸化物の混合物の、１１を形成するためにこの方法を
使用できる。

本発明はまた熱ガラス上に金属化合物被覆を熱分解的に
形成するための装置を含む、従ってシートまたはリボン
の形での熱ガラス基体の上面に金、（４化合物被覆を熱
分解的に形成するための装置を提供し、この装置は、下
流方向へ通路に沿って上記基体を搬送するためのコンベ
ヤー装置、上記通路上に下方に向って開いている被覆室
を規制する屋根構造・勿、および被覆プリカーサ−材料
を上記室中に放出するための装置を有し、上記被覆室の
上流に、予備室を設け、この予備室は、基体通路によっ
て一部規？′１ＪＩＪされた入口スロットを介して被覆
室と連通させ、それを介して、上記呈の長さの最初の部
分に沿って基体の上面を彼うブランケット層（装置を使
用するとき）を形成するようガスを破り室に流すことが
できるようにし、そして上記ブランケット層を形成する
ガスを制御可能に予備加熱する装置を設けたことを特徴
とする。

かかる装置は連続方法例えば上述した方法で規則的な厚
さの高品質の被覆を形成するのに使用し易い。この装置
は任意の好都合な場所に置くことができる。かかる装置
は、これがなければ変性することが困難である被覆形成
が開始する帯域での条件を制御することができる特別の
利点がある。

有利には上記被覆室の下流端に一つ以上の入口を有する
排出ダクトを置く。そこに置いた排出ダクトは、被覆室
中の材料の一般的な下流方向への流れを保つため被覆室
の下流端でガス上に作用する吸気力を発生させるために
非常に有利であり、一方腐蝕性プリカーサー材料または
反応生成物が蓄積する室内の死帯域がないこと、そして
その室の下流端での雰囲気上に作用する力がかなり拡散
することを羅実にする。これは被覆室の上流端で存在す
る雰囲気流への乱れを減少させる傾向があることが判っ
た。

本発明の最も好ましい実施態様において、基体通路の少
なくとも主部分を横切って延びる曲つた排出スコップを
、上記被覆室の下流端に設ける、このスコップは少なく
とも一つの排出ダクト入口を一部規制する。かかる曲っ
たスコップの使用は簡単な構成のものであり、それは位
置することが容易である。曲ったスコップの使用は排出
ダクト入口中になめらかに吸気されるよう材料を案内す
るのに特に価値があり、通路中の雰囲気流を中断できる
そこでの背圧の変動を避けることを助ける。被穂ステー
ションの下流端の最大閉塞を達成するように例えばピボ
ット装着によって、基体通路上の高さを調整でき、被覆
室の幅一杯横切って延びるかかるスコップを使用するこ
とが特に望ましい。

本発明の特に好ましい実施態様において、上記被覆室の
下流端を実質的に閉じ、その幅一杯を横切って延び、基
体通路上にバリヤー壁を設ける。かかるバリヤー壁は例
えば上記排出スコップによって設けるとよい。これは、
被覆室の端のすぐ下流での条件の変化は被覆室内での条
件に直接的効果を有しないこと、そして逆も確実にする
非常に簡単な方法である。

本発明の特に好ましい実施態様においては、上記被覆ス
テーションをリボン形成プラントからの出口と徐冷レア
への入口の間に置く。これをするとき、生起すべき熱分
解被覆反応に要求される温度またはそれに近い温度でガ
ラスが被覆ステーションに到達できることが見出される
。

従ってこの特長の適用は室温から被覆されるべきガラス
の温度を上昇させるのに要するような別の加熱装置の必
要を除く。

有利には、室の長さの少なくとも一部にわたって、基体
通路の両側を通り、その通路の上下垂直に通る雰囲気材
料の流れを阻止するための装置を設ける。雰囲気材料の
かかる望ましからぬ流れは基体の上面および／または下
面に、特にその側縁での被覆材料の不規則付着を生ぜし
める。

下流方向でそして下方に液体被覆プリカーサ−材料を噴
霧するため被覆プリカーサ−材料放出装置を配置するこ
とが特に好ましい。これはかなり厚い被覆の形成のため
に必要とする被覆プリカーサ−材料の比較的大量の放出
のための非常に簡単な装置であり、それは高品質被覆の
形成に有利であるように下流方向で被覆室に沿って雰囲
気材料の全般的流れを中断することなく放出することを
可能にする。

かかる例において、かかる噴霧装置は、基体通路の上少
なくとも７５ｃＩｎの高さから上記被覆室の噴霧帯域中
に上記被覆プリカーサ−溶液を噴゛１４するために置く
。上記噴霧帯域に熱を供給するための加熱装置を設け、
上記屋根構造物は、上記噴霧帯域から下流方向に導き、
全長少なくとも２ｍを被り室に与える上記被覆室の通路
部分を規制し、そして雰囲気材料を基体通路から導き出
すための排出ダクトに入り、上記通路の下流端へ基体通
路に清ってかかる材料を流すことを押し進めるかかる通
路内の雰囲気材料上に吸気力を発生するための装置を設
ける。

これらの特長を有する装置は特に有用である。

かかる装置は、ガラスと接触させる前に全ての被覆プリ
カーサ−材料を蒸発させなければならない通常の蒸気被
覆装置よりも運転するために経済的であり、被覆が形成
される帯域から大量の噴霧された被覆プリカーサ−溶液
を連行し去り、はねかえることと組合された問題が、分
配された熱が噴霧された被覆プリカーサ−の実質的な割
合を蒸発させるに充分であることを確実にすることによ
って容易に避けることができるため、特に既知の噴霧装
置よりも構成することが簡単である。

かかる装置を使用するとき、ガラス中に高い熱応力を誘
起させることなく、高被覆形成速度でさえも、信頼性と
再現性のある高光学品質および均一構造の被覆を形成す
ることが非常に容易であることが見出された。特に低い
そして均一に低い曇りファクターを有する被覆を形成す
ることが非常に容易であることが判った。

勿論かかる再現性ある高被覆品質を達成するため、装置
を好適な方法で使用すべきであるか、上述した如き装置
の特長の組合せは、被覆室内の条件の制御を容易にする
のに特に有利である。

これらの良好な結果を達成するため、装置を使用すると
き、破面プリカーサー溶液の実質的な割合が、それがプ
ランケラ）　ｈｌに浸入し基体と接触する別に蒸発せし
められるように条件を制御することが最良であること、
従ってブランケット４が噴霧された材料で大きく乱され
ず、噴霧帯域内での雰囲気が被覆プリカーサ−蒸気で仕
込まれるようになり、これが次いで基体と接極状態にあ
る通路に膚って吸気されることが最良であることを見出
した。

従来は基体近くからプリカーサ−溶液を放出することが
必要であると考えられていた、そして３０ｃｒｎｔたは
それ以下の扁さでの噴霧が通常であり、これは被覆上に
欠陥を形成し、基体上に付着する反応生成物を形成し、
被覆屋内の雰囲気と反応するプリカーサ−材料の時間を
許さないようにするためであった。またこれも基体上の
余分な付着を防ぐため、できる照り早く、基体から過剰
の被覆プリカーサ−材料および反応生成物を吸気し去る
ことが必袂であると考えられて来た、そして６０〜１０
０Ｃｒｎの被ｉＭ室の長さが従来技術に見出される長さ
の代表的なものであった。

かかる装置１１の使用が高楼ぞη品質基準に有利である
理由は完全には明らかでないが、かかる装置の使用によ
って、従来可能であったよりも均一で低い曇りファクタ
ーを有する被覆を形成できる事実は残る。形成される被
覆は高光学密度、および規則的で予期しうる厚さを有す
ることができる。更にかかる装置を使用することによっ
て、ガラス基体上に更に急速にこれらの被覆を形成でき
、従って従来可能であったよりも急速に移動する基体上
にあるいはより大なる厚さに被覆を形成できる。

事実これは熱分解被覆装置の分野における従来技術の教
示からは完全に脱出したことを表わし、前述した代理人
参照番号ＯＪ　２６　ＦＬＸＮＴｓＴＯＮＥ４４０の下
１９８５年１２月２０日付出頓の英国特許出願第　　　
　　号に記載された発明の主題を形成する、なお上記特
許出願明細書にはシートまたはリボンの形での熱ガラス
基体の上面に金属化合物被覆を熱分解的に形成する装置
が記載されており、この装置は通路に沿って下流方向に
上記基体を搬送するためのコンベヤー装置、上記通路上
に下方に向って開いた被覆室を規制する屋根構造物およ
び基体に向って下方に上記室中に被覆プリカーサ−溶液
を噴霧するための装置を有する被覆ステーションを有し
、噴霧装置は基体通路１少なくとも７５ｃｒｎの高さか
ら上記被覆室の噴霧帯域中に被覆プリカーサ−溶液を噴
霧するために置き、上記噴霧帯域に熱を供給するための
加熱装置を設け、上記屋根構造物は上記噴霧室から下流
に導き、被覆室に少なくとも２ｍの全長を与える上記被
覆室の通路部分を規制し、かかる通路内で雰囲気材料上
に吸気力を発生させるための装置を設けて、かかる材料
を基体通路に沿って上記通路の下流端へ流し、かかる材
料を基体通路から導き去るための排出ダクトに入るよう
にしたことを特徴としている。

本発明の好ましい実施態様においては、上記被覆室は、
基体の上記搬送中、上記基体上面と接触状態で被覆プリ
カーサ−蒸気と酸化性ガスを下流へ導くことができる通
路を有し、その中に被覆プリカーサ−材料および酸化性
ガスを基体接触させずに共にもたらすことができ、プリ
カーサ−蒸気と酸化性ガスの緊密混合物を含有する雰囲
気を形成するため混合できる混合帯域を規制する装置を
設け、上記混合帯域を上記通路と連通させてかかる緊密
混合物の流れを上記混合帯域から上記通路に沼って流さ
せることができるようにする。

かかる装置は、高被覆形成速度でかつ連続法で、実質的
に予期し得ない厚さ変動なしに高品質被覆の形成を特に
適している。

−またこれは放出された被覆プリカーサ−材料によるブ
ランケット層の乱流を減することを可能にし、この装置
を用いて非常に高品質の被１を形成できる、これは多分
被覆プリカーサ−蒸気がその全役的な流れを実質的に乱
すことなくブランケット層中に混合できるためである。

かかる例として、本発明による装置は、代理人参照番号
ＰＨ１８０ＲＯＷＮＳＴＯＮＫ　　５１０の下１９８５
年１２月２０日に出願した英国特許出願第　　　　　号
に記載された装置の一つ以上の特長も組入れると有利で
あり、この明細書にはシートまたはリボンの形の熱ガラ
ス基体の上面に金属酸化物被覆を熱分解的に形成するの
に使用する装置が記載されており、この装置は通路に沿
って下流方向に上記基体を搬送するためのコンベヤー装
置、および基体の上記搬送中基体上面と接触状態で被覆
プリカーサ−蒸気および酸化性ガスを下流に導くことが
できる通路を有し、上記通路上に下方に向って開いた被
覆室を規制する屋根構造物を有し、被覆プリカーサ−材
料詔よび酸化性ガスが基体と接触せずに共にもたらすこ
とができ、そしてプリカーサ−蒸気と酸化性ガスの緊密
混合物を含有する雰囲気を形成するため混合できる混合
帯域を規制する装置を設け、上記混合帯域を上記通路と
連通状態にしてかかる緊密混合物の流れを上記混合帯域
から上記通路に漬って流させることを特数としている。

上記屋根構造物は下流方向で基体通路上の高さの著しい
低下を示し、これによって被覆中への被覆プリカーサ−
材料の放出帯域からの蒸気の下流方向への流れを絞るこ
とが特に好ましい。

この特長の採用は、比較的高い上流放出帯域を、その帯
域内の雰囲気中に放出された被覆プリカーサ−材料の良
好な混合を得るための広い室を与えることを可能にし、
被覆材料蒸気の受器として作用でき、これは次いでブラ
ンケット４と混合するため基体に向って流下させること
を強制し、蒸気相からの被覆材料の形成を有利にする濃
厚でかつ均一な流れの形で被覆室の下流端に向って流さ
せる。

好ましくは、上記予備加熱装置は、基体通路の幅を横切
るブランケット層の異なる部分を形成するガスを異なる
程贋に加熱することを制御できる。これはブランケット
層を作るため進行するガスの温度の微妙な制御を可能に
する。

有利には、上記予備加熱装置は、上記ブランケット層の
側縁部分を形成するガスを上記層の中央部を形成するガ
スよりも大きな程度に加熱することを調節できる。これ
は被覆室の側壁近くで生ずる被覆室内の雰囲気の増大し
た冷却を補うことができるため特に有利であり、所望の
厚さに被覆される基体のより広いストリップを得ること
を促進するようにできる。

本発明の好ましい実施態様においては、入口スロット上
の仕切壁は入口スロットの開口を調節するためのゲート
を有する。これは被覆室中を流れるガスのブランケット
層中の条件を制御する、例えば被覆プリカーサ−材料の
放出帯域下の優勢な条件を好適にするためかかるガス流
の速度を変える別の手段を与える。

好゛ましくばかがるゲートは基体通路の幅を区別して（
黄切って開く入口スロットをｒ調整するため、１虫立知
励〈ことので缶スぼ→ア潜箭ナスかくしてかかる制御は
基体通路の幅を横切る種々の位置で、例えば形成される
被覆中の厚さの変動の検出を行なうことができる。

本発明の物に好ましい実施態様においては、基体通路の
レベルの上から上記予備屋内の雰囲気を加熱するための
装置を設ける。これは予備室内の基体の上面と接してい
る雰囲気のブランケット層の温度に直接影響を与えるた
めの非常に簡単な装置である。

有利にはかかる予備室加熱装置はバーナーを有する、こ
れは非常に効率的な加熱効果、簡単な調整可能性および
調整に対する迅速応答を可能にするからである。

上記予備室中に予備加熱したガスを吹き込むため装置を
設けるのが好ましい。これは予備室内の基体への熱損失
なしにあるいはあっても少なく予備室内にガスを吹き込
むことを可能にする、そしてこれは小さい予備室からブ
ランケット層を形成するための適切なガス供給ができる
ことを意味する。

基体通路のレベルの下から、上記予備室の両側中に上方
に向って予熱したガスを吹き込む装置を設けるのが４１
′利である。これは予備室の側壁を通るトＡ損失を＋＋
ｔｉ慣するための非′１Ｋに便利で効率的な装置である
。

好−よしくは基体通路のレベルの上から下流方向で上記
予備室中に予熱ガスを吹き込むための装置を設ける。こ
れは予備室中に予熱ガスを吹き込む別の便利な方法であ
り、それは被覆中におよびそれを通ってガスの全般的な
下流方向への流れを促進させる追加の利点を有する。

本発明の好゛ましい実施態様においては、かかるガスが
基体通路の側縁を通って流れン各ちることを防止するた
め、および上記予備室中に下方に向って予熱ガスを吹き
込むための装置を設ける。これは基体トラックの直ぐ上
の雰囲気を制（財）するため予備量中に予熱ガスを吹き
込む別の好都合な方法である。

不発明の好ましい実施態様において、上記予備室は上記
入口スロットの頂部に向って下方に傾斜した屋根を有す
る。これは通路上の基体と接触したブランケット層を形
成するため、入口スロット中におよびそれを通ってガス
の滑らかな流れを促進する。

有利には室の高さの実質的な部分上で雰囲気材料の全般
的な下流方向への流れを保つため、下流方向で室中にガ
ス流を注入するための装置を設ける。かかる装置は被覆
室内の雰囲気圧力を維持するのを助ける、従って空気の
無、秩序な流れが室の壁を通ってその室中に引き込まれ
、その中の雰囲気流の所望のパターンを乱すことの発生
を減じ、かかる全般的な下流方向への流れが基体上へ下
る雰囲気のブランケット層を保つことも助ける。

好ましくは、上記ブランケット層中またはそれに隣接し
ておよび被覆形成が開始する帯域を通って、下流方向に
流すため、被覆室中に予熱したガスの少なくとも一つの
補助流を放出するための装置を設ける。補助ガス流はこ
れによってブランケット層を強力にするため、および／
または室内に存在することがある無秩序流に対してそれ
を保謄するために発生させることができる。またかかる
流れの使用は、全体としてブランケット層の流速および
／または温度の比較的倣妙な制御を可能にする。

本発明を本発明による種々の好ましい装置の具体シＩ］
の図面を参照し、そしてかかる装置を使用して実施した
本発明による方法の実施例によって更に詳細に説明する
。

第１図〜第３図は本発明による被覆装置の側断面［２］
であり、第４図は第３図の■−ＩＶ線でとった断面図で
ある。

第１図 第１図において、シードマたはリボンの形の７ｔＤ熱さ
れたガラス基体１の上面に金属化合物板金を熱分解的に
形成するための装置は、これも温点１ｉ号１で示した通
路に溢って下部方向３に基体を搬送するためのローラー
２の如きコンベヤー装置前を一■する。通路１は、基本
１に向って下方に矢印８の方向で被覆室６中に被覆プリ
カーサー溶液の流れを噴霧するため７で略示したｉｔ　
＝ｔｘノズルおよび基体通路１上に下方に向いて開いた
被覆室６を規制する屋根描造物５を有する被覆ステーシ
ョン４の下に導びかれている。

噴ａノズル７は被覆室６の噴霧帯域９中に被覆プリカー
サ−溶液の流れを＠霧するために設置しである。図示の
例において、ＩＪ　＋１ｔノズル７は被覆プリカーサ−
材料をビ１ｊえは基体通路１の１少なくとも７５ｃｒｎ
、好ましくは少なくとも１．２ｍの高さから噴霧するた
めに置いてあり、それ自体は良く知られた佳類のもので
ある。ノズルは被覆プリカーサ−后孜を基体１に同って
Ｆ方方向８でそして下流方向３で噴霧するために配置し
てあり、それは基体通路の幅を横切るトラック（図示せ
ず）に沼って＠後に動か丁ことができる。

図示の例において、卯熱装賃を上記１貢霧帯域に熱を供
給するために設ける。かかる加熱ｇ、直は噴霧帯域９の
屋根中に設けた下方に指向さぞた輻射ヒーター１０を有
する。グクト１１は破覆プリカーサー材料の噴霧流８と
交差する方向で噴霧帯域９中に予熱ガス流を放出するた
めに設ける。ダクト１１は基体１と噴霧ノズル７の間の
高さの上半分に置いたその放出オリフィス１２を有する
、そして被覆プリカーサ−噴霧放出軸の上流からそのガ
ス流を放出するために配置する。放出オリフィス１２は
基体通路１よりも小さい幅を有し、噴霧ノズル７と縦に
並んだ形（タンデム）でｒｇＸ”ＦＢ帯域を横切って前
後に動く。オリフィス１２から放出されたガスは噴霧帯
域９内のガスの循環を保つため、小滴流７の横断通路を
横切り、実質的に水平に始めは指向させる。

放出されるガスは、例えば３００〜６００℃の平均温度
に予熱された好適には空気である。

ヒーター１０は噴霧された小滴流の一部の蒸発を、それ
らの基体１に向って送行する間に生せしめる、そしてか
く形成された蒸気はオリフィス１２から放出された予熱
された空気の流れ中に連行される。

屋根構造物５は、噴籾帝域９から下流方向に導き、被覆
室６に全長少なくとも２ｍ、好ましくは少なくとも５ｍ
の長さを与える被他室６０通路部分１３を規制する。図
示の例において、屋根構造物５は、通路から噴還螢域を
分離し、噴劾帝域の下流端で出口スロット１５を規制す
るため実質的に垂直に降下している基体通路上の覆壁１
４を含む、そして通路１３は出口スロット１５の最大値
から下流方向へ降傾斜している尚さをＭする。出口スロ
ット１５の島さは：貢霧ノズル７と基体１の闇の高さの
半分より小である。

通路１３の下流端で、雰囲気材料は、通路の暢一杯を横
切り基体１０通路の上に延び実質的にその下流端近くで
曲った排出スコップ１８によって一部規制された入口１
７を有する排出ダクト１６中に吸気され、雰囲気材料が
通路１３の下流端で被覆室６中に出入するのを防止する
。

かかるスコップ１８は、それが基体工と最小の間隙のた
め調整できるようにピボット状に圧意に装着するとよい
。また通路１３の下流端で、被覆室に沿って流れる雰囲
気材料の横方内拡がりを押し進めるため、被覆室の各側
に置いた側排出ダクト１９中に雰囲気材料を吸気させる
。

事実として、かかる側排出ダクト１９は、基体通路１の
下を被覆ノリカーサ−蒸気が流れるのを防ぐため、ｌ！
Ｚｔ霧帯域の殆ど下に端丑で、噴霧帯域中に通路の実質
的に全長に浦って延びている。

被層ステーション４はリボン形成プラント（図示せず）
例えば７０−トタンクからの出口と徐冷レア２０への入
口との間に置く。

リボン形成プラントから被＋ｆｉ呈（３への通路は屋根
２１をＭし、被故空の上流端はｔＩＭ壁２２で決められ
ており、そこからゲート２３がたれ丁り、基体１のため
入口スロット２４を介して被覆ヱ中に通す１田隙を形成
している。

ゲート２３の上流には予備冨２５があり、この中には力
日熱哀直２６が設けである。かかる加−であることがで
き、あるいはそれは図示する如くフィン付ラジェーター
を有していてもよい。

屋根部材２７は通路屋根２１および被覆室の下流端壁２
２から垂れ下ってついちする、そして入口スロット２４
に向って降下傾斜して被覆室に続き、予備室２５の屋根
を形成している。

操作するに当っては、半天然ガス流を予備室２５から被
覆室６の上流端中に引き入れる、少なくとも被覆形成が
開始する帯域で基体１の上面の直ぐ近くにおけるガス環
境は、基体１と接触して室６に入るため室６中に下流方
向に向けて供給された予熱ガスによって制御し、少なく
とも被覆プリカーサ−材料と接する帯域だけでも基体を
被うブランケット層を形成させる。

端壁２２およびゲート２３の効果は、上流方向から被覆
室６中に流れそしてリボンを被うブランケット層を形成
する雰囲気材料の流れの高さを制御し、かくして被覆形
成が開始する帯域内の雰囲気条件がより容易に制御でき
る。

宙槁＠１１ 第１図に示した装置の特別の実施例において、被覆室６
は約３ｍまでの幅を有するガラスリボンを供給するため
、幅か３ｍより少し犬である。

被後室の噴霧帯域９上の屋根構造物５は、リボン通路１
のレベルの上に丁度１ｍで被っており、小滴放出ノズル
７の噴霧オリフィスはその屋根の高さに近接している。

そのノズル７は水平に対して４５°の角度で方向８に小
滴の円錐流を放出するように配直しである。噴ｙｆ：４
帯域９の下流端での覆壁１４は２．２ｍの距＾ｆで上流
端壁２２を被覆室から分離している。通路３３は出口ス
ロット１５での４０ｃｒｎからその下流端での２５ｍま
で減少する高さを有する。その通路の長さは４．５ｍで
ある。

この装置は被覆プリカーサ−材料としての塩化第一錫の
溶液から出発して酸化錫被覆を形成するために特に設計
しである。

かかる装置を用いて、８．５ｍ／分の速度で送行する厚
さ６順の７０−トガラスのリボン上に厚さ７５０ｎｍの
酸化錫の被覆を形成した。ガラスは６００℃の温度で被
覆室中に入り、使用した被覆プリカーサ−は、被汐中に
ドープイオンを与えるための弗化水素アンモニウムを含
有する塩化第一錫の水溶液であった。この溶液は２２０
１　／　ｈの速度でノズルから噴霧した、この間ノズル
はリボン通路を横切って往復させた。

噴霧帯域の屋根中の輻射ヒーターのスイッチを入れ、空
気を４００　’Ｃの温度で、６００ＯＮｄ１分の速度で
オリフィス１２を通して放出させた。結果として被覆プ
リカーサ−材料の噴霧された流れの一部が蒸発し、残り
の部分のみがガラスに対する積極的な衝突のために続い
て噴霧された。かく形成された被覆プリカーサ−蒸気は
オリフィス１２から放出された予熱空気の流れ中に連行
され、出口スロット１５中を通路１３に沿って排出ダク
トへと流れた。かくしてこの例では代理人参照査号０Ｊ
２６　　ＦＬ工ＮＴＳＴＯＮＫ４４０の下１９８５年１
２月２０日に出、＠された英国特許願下　　　　　号に
記載された発明の使用もする。

吸気力を排出ダクト１６．１９に発生させて平均温度約
３５０℃で被覆室から雰囲気材料の約１０００００　ｍ
’／ｈｒを除去した、かくして基体を被い、ヒーター２
６によって予熱されたガスのブランケット層中に引き込
んだ。かかる予ｐｉ５加熱はフィン付きラジェーターを
赤熱するまでカロ熱して行なった。

更に側アスピンーター１９はリボンのレベルの下から雰
囲気材料を引き込れる傾向を有していた、かくしてリボ
ン血路の上下垂直の帯域間の雰囲気材料の交換を防止し
た。

これは、被覆形成が開始する帯域中の基体の直ぐ上のイ
メ囲気の例外的に倣妙な制御を与えた。

これは要求されたノアさの規則的な１・反イｉを与える
のに待に有利であることが判った、そして被覆が快求さ
れたｊ４さに形成されたリボンの幅を増大したことか判
った。

樒果において形成された波源はガラス／被ｆ夏界面で畝
ハ１日な一箔晶Ｘ１″・７造を有しており、これか高ｔ
’；４Ｑ’ｆσ”）ｉ’Ｔｌｆ）＝ｍ；’：’Ｉ；４Ｎ
ｙ島Ｓ−イ’ｎ＋！＊ｌ−１ｒｆって自ｉｎ？ｒ光学的
品質を有していた、そして欠陥をもたらす被覆反応生成
物の含有は避けられた。

第２図 ｆＪ２図において、第１図に示したものと同じ機能を果
たす部分にはそれに対応する参照番号を付した。

被覆室６の上流端での噴霧帯域９には、ヒーター１０お
よびガス放出ダクト１１はない。被覆室の幅一杯にわた
って延びる放出スロット２８を有する放出ダクト２７か
、小滴流の形で連行されるようになる蒸気相中に追加の
被覆プリカーサ−材料を放出するために設けである。

覆壁１４の下の出口スロット１５の下流で、屋根構造物
５は、これも高さを減少しながら被覆室６の通路部１３
を連続的に規制している。

通路１３の屋根５は多孔質構成のものであり、ダクト３
０を経て予熱空気で充満できる充気室２９が上に乗って
いる。そしてかかる加熱された空気が通路１３の屋根を
通って導入され、その屋根の腐蝕および屋根上での被榎
プリ力−サ−蒸気の凝縮に対してのバリヤ一層を形成す
るようにしである。

通路１３の長さに沿って、基体１の縁上で、彼峻室の側
壁から内側に突出して被覆の各側にバッフル３１が設け
である。これらのノ（ツフルは通路によって占められた
基体通路の幅−坏土に延びている、事実かかるＩくツフ
ルは、それらが被覆プリカーサ−材料の噴霧流８をさえ
ぎる帯域でのみ中断される予備室２５の上流端へと全て
の方向で延びている。

被覆室６の上流端壁２２の下において、第１図に示した
垂直ゲート２３の代りに、可変人口スロット３１にした
ピボットゲート３２が設けてあり、かくして予備室３３
から被覆室中に雰囲気材料を引き入れることができる速
度を更に容易に制御できるようにしである。更にガス放
出ダクト３３を、少なくとも波峰材料の流れがガラスに
対して衝突する帯域まで基体１の直ぐ上で雰囲気材料の
層を形成するため予備室中に下方に向って予熱ガスを放
出するために設けである。予備室の上流端は実質的にバ
リヤー壁３４で閉じられている。

被覆室６によって占められた通路長の少なくとも一部に
市って、基体通路１の缶縁の下で下流方向３に流れる連
続流を形成するように基体ｌの環境中にガスを放出する
ための装置３５を設ける。

リボン下のガス放出装置３５は、被覆ステーション４の
実質的に幅一杯横切って延び、二つ装置いた四つの充気
室３６を有する。各充気室３６の上にはデフレクタ−リ
ップ３８によって拡げられたスロット３７を形成してあ
り、スロット３７を介して注入されたガスが被覆ステー
ション４に沿って下流方向３に指向せしめられる。スロ
ット３７は被覆ステーション４を横切り各充気室３６の
長さ一杯に延びている。所望ならば、かかるスロットは
複数の間隔を置いたオリフィスで代替できる。第２図に
示す如く、デフレクタ−プレート３９は充気室３６の上
に置き、注入されたガスを基体１に対して直接的に放出
されないようにする。充気室３６は被覆ステーション４
の両側から、例えば熱交換器から予熱されたガスを供給
してもよい。放出されるガスとして空気を使用でき、こ
れは炉煙道ガスと熱交換することにより容易に加熱する
ことができる。かかるガスは、基体が被覆室６に入ると
き、基体の温度の５０℃内に予備加熱するのが好ましい
。

基体１の下に放出されるガスは場合によっては排出ダク
ト４０を介して基体１の環境から除去することができ、
これは例えば上記通路排出人口１７と整合させて置いた
基体通路下で横断方向に延びる入口を設けるとよい。

仮値室の上流端近くに、そして基体のレベルの丁度上で
、基体に隣接する室中に予熱したガスを放出するため補
助ガス放出導管４１を設け、下ｖＩＣ方向に流し、基体
が最初に薮ｍｌプリカーサー材料と接Ｍするところの基
体と接舷状態にある雰囲気の状態調整を更にするため、
ゲート３２を通って被’６１　’Ｅｌ中に供給するブラ
ンケット層を強化させる。

実施例　２ 実施例１の場合と同じ速度で移動する同じ厚さのガラス
リボン上に実施例１と同じ厚さの酸化錫被覆を形成する
ために第２図の装置を使用した。使用した被覆プリカー
サ−材料はジメチルホルムアミドに溶解した塩化第二錫
であり、これは水平に対して３０°で傾斜し、リボン上
７５ｃＷＩＫ　Ｍいた噴きノズル７から放出した。塩化
第二錫蒸気をスロット２８から放出した。吹霧帯域９中
で形成された蒸気は、所望の厚さの被覆を与える速度で
、排出ダクト１６のみを介して前方吸気によって通路１
３に清って吸気した。

ガラスは６００℃の温咬で被覆室６に入り、６００℃に
予熱した空気を３０００　Ｎｙｙ／／ｌｘｒの速度でダ
クト３３から予備室２５中に放出してガラスを被うブラ
ンケット店として被覆室中に流した。

噴霧帯域９内の雰囲気材料は緊密に混合されるようにな
り、蒸気含Ｍ雰囲気の連続流は、基体面と接！致状態で
通路１３に清って引かれて、基体上に披：ｌが形成され
た。

５５０℃に予熱された空気を基体下放出装置３５から３
０００　Ｎｍ’／　ｈｒの速度て放出した。

これはばた形成された均一な高品質被ネ、′ｉの幅によ
ってすぐれた結果を与えた。

第３図および第４図 第３図および第４図において１．！Ｓ１図および第２図
に示した部分に同じ機能をする部分には相当する参照番
号を付した。

第３図および第４図の例において、通路１３上の屋根構
造物５は水平である、従って通路はその全長にわたって
、均一な高さ、出口スロット１５の高さを有する。

通路１３の下流端に排出ダクト６はなく、通路の下流端
は排出スコップ１８の代りにバリヤー壁４２により実質
的に閉じられている。

予備室２５は屋根２１から垂れ下ったスクリーン壁４３
により被覆室６から分離されており、スクリーン壁４３
は垂直に可動のゲート４４を支持している、ゲート４４
は破壊室６の幅を１黄切った多数の区域に作るとよく、
入口スロット２４の異なる開口を有している。第４図に
示す如くゲート４４の下方コーナーは被覆室の両側中へ
のガスの増大した容積流速を可能にするため４５で切り
取られており、シャッター４６がこれらの下方コーナー
での開口を副整するために設けである。

ブロワ−４７が基体１の通路の縁を上方に向って通る予
熱空気を吹き出すため−に予備室２５の下に配置してあ
り、更にブロワ−４８がその上流スクリーン壁３４と基
体１０間で上流から予備室中に予熱空気を吹き込むため
に配置しである。

ヒーター４９例えばバーナーが予備室内に設けてあり、
第４図に示す如く、これらのバーナーは予備室中央にお
けるよりもその両側で多くの熱を分配するために配置し
である。

実施例　３ 第３図および第４図の装置を、６００　’Ｃ：の温度で
：ｆＪ１覆室に８．５　ｍ　７分の速度で送行されて入
る５膿のフロートガラスのリボン上に弗素ドープ酸化錫
の４００ｎｍの被覆を形成するために使用した。

使用した！４．Ｍプリカーサーは被覆中にドープイオン
を与えるための弗化水素アンモニウムを含有する塩化錫
の溶液であった。この溶液を、ノズルを２５回／分の速
度で往復させて、圧力２３　ｂａｒの下１２０ｎ／ｈの
速度でノズルからｒＩＸ霧した。

６００℃に予熱した空気をブロワ−４７および４８から
予１ｉｉｆｊ室２５中に放出した、そして被覆中に引き
入れガラスを被うブランケット層を形成した。基体のレ
ベル上での吸気は約３５０°Ｃで６００００ｍ’／ｈの
速度であり、被覆室内の材料の全般的な下流への流れを
維持した。

ｒｉＧ射屋根ヒーター１０にスイッチを入れ、噴霧され
た破イ２プブリカーサー材７）→か一店体に向って送行
する間にそれを蒸発させた。噴’（’ｙ５ノズルの往復
運動および被ｔはプリカーサ−材料の噴霧された流れに
よって生じた乱れのため、蒸発せしめられた材料は噴霧
帯域中で空気と緊密に混合され、この蒸気含有雰囲気は
出口スロット１５中にそして通路１３に沿って引き下さ
れる。被覆プリカーサ−蒸気はガラスと接触している雰
囲気のブランケット層と混合し、要求された厚さの被覆
を付着する。本実施例もまた代理人参照番号ＰＨ１８ｃ
ｎｏｗＮｓＴｏＮｚ　　５１０の下１９８５年１２月２
０日付にて出願された英国特許出願下　　　　　号に記
載された発明の使用をする。

５５０℃に予熱された空気を基体通路下放出装置３５か
ら３０００　Ｎｎ？／　ｈｒの速度で放出した。

予備室２５にはその中の雰囲気を予熱ｒるためバーナー
４９を含有させた。これらのバーナーは任意の所望温度
プロフィルに従って、例えば予備室の両側で大なる程度
に空気を加熱することができる。

本実施例の方法で形成された被覆は、リボンの実質的に
幅全体にわたって、均一で非常にすぐれた品質のもので
あった。

実施例　４〜６ 上記各実施例の改変例に自いて、シートに切り、次いで
再加熱したガラス上に被覆を形成するために各装置を使
用した方法は同じであった被覆品質により同じ結果が達
成された。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明による被覆装置の側１析面図で
あり、第４図は第３図のｆｌ／−ＩＶ線でとった断面図
である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、シートまたはリボンの形で熱ガラス基体を、基体に
   向って下方に開いた被覆室の下で下流方向に送行させ、
   被覆プリカーサー材料から上記基体の上面に被覆を形成
   させる熱分解被覆方法において、かかる被覆形成が開始
   する少なくとも帯域中で基体の上面の直ぐ近くにあるガ
   ス状雰囲気を、上記室中に下流方向で予備加熱したガス
   を供給して、基体と接触状態で室に入り、少なくともそ
   の帯域に限って基体を被うブランケット層を形成するこ
   とによって制御することを特徴とする熱分解被覆方法。 ２、被覆室に沿ったガスの全般的下流への流れを少なく
   とも一部において、その下流端でその室から雰囲気材料
   を吸気して維持する特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、被覆室をその下流端で実質的に閉じて、被覆室の下
   流端と基体通路のそれ以上の下流区域の間での雰囲気材
   料の交換を防止する特許請求の範囲第１項または第２項
   記載の方法。 ４、ガラス基体が新しく形成された熱ガラスのリボンで
   あり、被覆をそのリボンがリボン形成プラントを出た後
   でその徐冷レアに入る前に形成する特許請求の範囲第３
   項記載の方法。 ５、被覆室の長さの少なくとも一部上で、基体の側縁お
   よび基体の上下垂直の帯域の間を通過する雰囲気材料の
   流れを防止する特許請求の範囲第１項〜第４項の何れか
   一つに記載の方法。 ６、被覆プリカーサー溶液を下方に向けかつ下流方向に
   噴霧する特許請求の範囲第１項〜第５項の何れか一つに
   記載の方法。 ７、被覆プリカーサー溶液を上記被覆室中に上記ブラン
   ケット層を通して下方に噴霧する特許請求の範囲第１項
   〜第６項の何れか一つに記載の方法。 ８、上記被覆室の噴霧帯域を加熱して被覆プリカーサー
   材料の一部の蒸発をそれが基体に達する前に生ぜしめて
   蒸発した被覆プリカーサー溶液を有するかかる帯域の雰
   囲気に仕込み；基体に対し残存噴霧被覆プリカーサー材
   料の積極的な衝突を確実にし、上記基体面の被覆を開始
   させるのに充分なエネルギーで溶液を噴霧し；蒸気相で
   被覆プリカーサー材料を含有する雰囲気を少なくとも１
   ０秒の接触時間を被覆された基体に沿ってかつそれと接
   触した状態で上記噴霧帯域から下流方向に流させ、その
   後上記プリカーサー含有流の残存材料を基体から離す方
   に指向させる特許請求の範囲第７項記載の方法。 ９、金属酸化物を形成するため、被覆プリカーサー材料
   および酸化性ガスを連続的に混合帯域中に供給し、混合
   帯域中で上記プリカーサー材料および酸化性ガスを共に
   基体と接触せずにもたらし、そこでプリカーサー蒸気お
   よび酸化性ガスの緊密混合物からなる雰囲気を作るよう
   にそれらに混合力を受けさせ、かかる混合物の流れを上
   記混合帯域から上記基体が曝露される通路中にそれに沿
   って連続的に流させる特許請求の範囲第１項〜第６項の
   何れか一つに記載の方法。 １０、上記ブランケット層を形成するガスが、基体単独
   からの熱伝達によって得られるよりも大なる程度に予備
   加熱されている特許請求の範囲第１項〜第９項の何れか
   一つに記載の方法。 １１、上記ブランケット層のガス形成側縁部分がその中
   央でよりも大なる程度に予備加熱されている特許請求の
   範囲第１項〜第１０項の何れか一つに記載の方法。 １２、基体の少なくとも側縁上で、上記ブランケット層
   中のガスが基体の下側縁の温度より大なる温度に加熱さ
   れる特許請求の範囲第１項〜第１１項の何れか一つに記
   載の方法。 １３、上記ブランケット層を形成するためのガスが隣接
   予備室から被覆室の下流端に入る特許請求の範囲第１項
   〜第１２項の何れか一つに記載の方法。 １４、ガス予備加熱を上記予備室中の少なくとも一部で
   そして基体のレベルの上から行なう特許請求の範囲第１
   ３項記載の方法。 １５、上記予備室中でのガス予備加熱をバーナーで行な
   う特許請求の範囲第１４項記載の方法。 １６、予備加熱されたガスを基体のレベルの下から上記
   予備室の側面中に下方に吹き入れる特許請求の範囲第１
   ３項〜第１５項の何れか一つに記載の方法。 １７、予備加熱ガスを基体のレベルの上から下流方向で
   上記予備室中に吹き入れる特許請求の範囲第１３項〜第
   １６項の何れか一つに記載の方法。 １８、予備加熱ガスを上記予備室中に下方に吹き入れ、
   かかるガスを基体の側縁を通って吹き下すことから抑制
   する特許請求の範囲第１３項〜第１７項の何れか一つに
   記載の方法。 １９、上記ブランケット層を形成するガスの体積流速を
   基体の幅を横切って差をつけて制御する特許請求の範囲
   第１項〜第１８項の何れか一つに記載の方法。 ２０、室の高さの実質的な部分上で、下流方向で室中に
   ガスの流れを注入することにより一部を下流への流れの
   形で雰囲気材料を保つ特許請求の範囲第１項〜第１９項
   の何れか一つに記載の方法。 ２１、予備加熱ガスの少なくとも一つの補助流を被覆室
   中に導入し、上記被覆形成が開始する帯域を通り、上記
   ブランケット層中またはそれに隣接して下流方向に流す
   特許請求の範囲第１項〜第２０項の何れか一つに記載の
   方法。 ２２、シートまたはリボンの形での熱ガラス基体の上面
   に金属化合物被覆を熱分解的に形成する装置であって、
   下流方向に通路に沿って上記基体を搬送するためのコン
   ベヤー装置、上記通路上に下方に開いている被覆室を規
   制する屋根構造物および上記室中に被覆プリカーサー材
   料を放出するための装置を有し、上記被覆室の上流に、
   基体の通路によって一部規制されている入口スロットを
   介して被覆室と連通している予備室を設け、それを介し
   てガスを（装置を使用しているとき）上記室の長さの最
   初の部分に沿って基体の上面を被うブランケット層を形
   成するように被覆室中に流れを生ぜしめうるようにし、
   上記ブランケット層を形成するガスを制御可能に予備加
   熱するための装置を設けたことを特徴とする金属化合物
   被覆を熱分解的に形成する装置。 ２３、上記被覆室の下流端に一つ以上の入口を有する排
   出ダクトを置いた特許請求の範囲第２２項記載の装置。 ２４、上記被覆室の下流端の幅一杯を横切って延びそれ
   を実質的に閉じるバリヤー壁を基体通路上に設けた特許
   請求の範囲第２２項または第２３項記載の装置。 ２５、上記被覆ステーションをリボン形成プラントから
   の出口と徐冷レアへの入口の間に置いた特許請求の範囲
   第２２項〜第２４項の何れか一つに記載の装置。 ２６、室の長さの少なくとも一部にわたって、基体通路
   の垂直に上下の帯域の間およびその通路の側面を通る雰
   囲気材料の流れを阻止するための装置を設けた特許請求
   の範囲第２２項〜第２５項の何れか一つに記載の装置。 ２７、被覆プリカーサー溶液を下方にそして下流方向に
   噴霧するための装置を配置した特許請求の範囲第２２項
   〜第２６項の何れか一つに記載の装置。 ２８、かかる噴霧装置を、基体通路の上少なくとも７５
   ｃｍの高さから上記被覆装置の噴霧帯域中に上記被覆プ
   リカーサー溶液を噴霧するために置き；加熱装置を上記
   噴霧帯域へ熱を供給するために設け；上記屋根構造物が
   、少なくとも２ｍの全長を被覆室に与え、上記噴霧帯域
   から下流に導く上記被覆室の通路部分を規制し；上記通
   路の下流端へ基体通路に沿ってかかる材料を流すことを
   押し進め、基体通路からかかる材料を導き出すため、か
   かる通路内の雰囲気材料上に吸気力を発生させるための
   装置を設けた特許請求の範囲第２７項記載の装置。 ２９、上記被覆室が、被覆プリカーサー蒸気および酸化
   性ガスを基体の上記搬送中上記基体上面と接触状態で下
   流に導くことができる通路を有し、その中に、被覆プリ
   カーサー材料および酸化性ガスを基体と接触せずに共に
   もたらすことができ、プリカーサー蒸気と酸化性ガスの
   緊密混合物からなる雰囲気を形成するため混合できる混
   合帯域を規制する装置を設け、上記混合帯域を上記通路
   と連通させてかかる緊密混合物の流れを上記混合帯域か
   ら上記通路に沿って流させる特許請求の範囲第２２項〜
   第２７項の何れか一つに記載の装置。 ３０、上記屋根構造物が下流方向で基体通路上の高さに
   おいて大きな降下を示し、これによって被覆プリカーサ
   ー材料の放出帯域から被覆室中への雰囲気材料の下流へ
   の流れを絞る特許請求の範囲第２２項〜第２９項の何れ
   か一つに記載の装置。 ３１、上記ガス予備加熱装置が、基体通路の幅を横切る
   上記ブランケット層の異なる部分を形成するガスを異な
   る程度に加熱するため制御可能である特許請求の範囲第
   ２２項〜第３０項の何れか一つに記載の装置。 ３２、上記ガス予備加熱装置が、上記層の中央部分を形
   成するガスよりも大きな程度に上記ブランケット層の側
   縁部分を形成するガスを加熱するよう制御可能である特
   許請求の範囲第３１項記載の装置。 ３３、入口スロット上の隔壁が入口スロットの開口を調
   整するためのゲートを有する特許請求の範囲第２２項〜
   第３２項の何れか一つに記載の装置。 ３４、かかるゲートが、基体通路の幅を横切り入口スロ
   ット開口を別々に、調整するため独立に可動性区域で構
   成する特許請求の範囲第３３項記載の装置。 ３５、基体通路のレベルの上から上記予備室内の雰囲気
   を加熱するための装置を設けた特許請求の範囲第２２項
   〜第３４項の何れか一つに記載の装置。 ３６、かかる予備室加熱装備がバーナーを有する特許請
   求の範囲第３５項記載の装置。 ３７、基体通路のレベルの下から上記予備室の両側中に
   上方に向って予熱ガスを吹き入れる装置を設けた特許請
   求の範囲第２２項〜第３６項の何れか一つに記載の装置
   。 ３８、基体通路のレベルの上から下流方向に上記予備室
   中に予熱ガスを吹き入れる装置を設けた特許請求の範囲
   第２２項〜第３７項の何れか一つに記載の装置。 ３９、上記予備室中に下方に予熱ガスを吹き込み、かか
   るガスを基体通路の両縁を通り吹き下すことから防止す
   るための装置を設けた特許請求の範囲第２２項〜第３８
   項の何れか一つに記載の装置。 ４０、上記予備室が上記入口スロットの頂部に向って下
   方に傾斜している屋根を有する特許請求の範囲第２２項
   〜第２９項の何れか一つに記載の装置。 ４１、室の高さの実質的な部分にわたり、雰囲気材料の
   全般的下流方向への流れを維持するため下流方向で室中
   にガス流を注入するための装置を設けた特許請求の範囲
   第２２項〜４０項の何れか一つに記載の装置。 ４２、被覆形成が開始する帯域を通り、上記ブランケッ
   ト層中またはそれに隣接して下流方向に流すため被覆室
   中に予熱ガスの少なくとも一つの補助流を放出する装置
   を設けた特許請求の範囲第２２項〜第４１項の何れか一
   つに記載の装置。