DE2716183C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
Überzugs gleichmäßiger Dicke aus einem Metall oder einer
Metallverbindung auf einem Glasband, indem dieses Glasband,
während es sich auf erhöhter Temperatur befindet, in einer
längs des Glases befindlichen Zone mit einem fluiden Medium
kontaktiert wird, das aus einer oder mehreren Substanzen
besteht oder solche enthält, welche eine chemische Reaktion
oder Zersetzung erfahren und hierbei dieses Metall oder
diese Metallverbindung auf der Oberfläche des kontinuierlich
sich in Längsrichtung bewegenden Bandes ausformen, wobei
dieses Medium in Form wenigstens eines Stroms aus Düsen
ausgetragen wird, die, gemessen in einer Ebene, normal zur
Glasbandoberfläche und parallel zur Verschiebungsrichtung
des Glasbandes, geneigt sind.
Ein solches Verfahren ist bekannt aus der US-PS 36 60 061.
In der US-PS 36 60 061 sind auf dem Bereich eines Glasbandes
drei und geneigt zur Glasoberfläche angeordnete Düsen vor
gesehen, von denen die eine leicht gegen die Bewegungsrich
tung des Bandes, die andere leicht zur Bewegungsrichtung
und die dritte in etwa senkrecht, jedoch quer über die Band
richtung geneigt ist. Dies geschieht im wesentlichen, um eine
bessere Überdeckung der Beschichtung zu erleichtern.
Die durch herkömmliche Verfahren hergestellten Beschichtungen
haben den hohen Qualitätsanforderungen der heutigen Industrie
bei verschiedenen Tests nicht genügt, die sich auf ihre Wir
kung auf einfallende elektromagnetische Strahlung beziehen.
Es verbleibt immer schwierig, eine ununterbrochene Über
deckung der Substratoberfläche durch eine Beschichtung mit
im wesentlichen gleichmäßiger Dicke sicherzustellen;
selbst wenn diese Bedingungen jedoch erfüllt werden, zeigt
sich oft, daß das Strahlungs-, Reflexions- oder Absorptions
vermögen der Beschichtung sich von einem Bereich zum nächsten
ändert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Beschichtung
einer Fläche zu schaffen, bei der die bisherigen Qualitäts
standards sich leichter erreichen lassen.
Erreicht wird dies erfindungsgemäß überraschend einfach
dadurch, daß der oder wenigstens ein Strom so zur Oberfläche geneigt
ist, daß jeder Teil des oder der Ströme mit der Glasober
fläche in einer senkrecht zur Oberfläche und parallel zur
Längsabmessung des Bandes verlaufenden Ebene einen spitzen
Einfallswinkel von nicht mehr als 45° bildet.
Eine Untersuchung der durch Verfahren nach der Erfindung
hergestellten Beschichtungen unter dem Mikroskop hat
gezeigt, daß sie sich durch eine das Glas kontaktierende
Schicht mit homogenem Aufbau auszeichnet, dessen wesentliches
Merkmal die regelmäßige Anordnung der Kristalle ist.
Es wird angenommen, daß das Erreichen der geforderten
Qualitätsstandards hierauf zurückzuführen ist.
In einigen Fällen kann auf mindestens eine solche gut
strukturierte Schicht wenigstens eine weitere obere Schicht
aufgebracht werden, die weniger regelmäßige Struktur hat
und bestimmte Dickenänderungen zeigt. Ob dieser Effekt vor
liegt oder nicht, hängt teilweise von der Gesamtdicke der
Ablagerung sowie von anderen Faktoren, die gesteuert werden
können, ab: wenn eine solche obere Schicht mit unzureichender
struktureller Qualität vorhanden ist, kann sie durch eine
Nachbehandlung, wie noch erläutert werden soll, entfernt
werden.
Besonders gute Ergebnisse erreicht man bei Beschichtungen aus
Metalloxiden.
Der erfindungsgemäß vorgeschriebene oder mittlere Einfalls
winkel des oder wenigstens eines Fluidstroms hat nicht mehr
als 45°. Wird ein solcher maximaler Winkel eingehalten, so
ist die strukturelle Qualität wenigstens einer Bodenschicht
der aufgebrachten Beschichtungen im allgemeinen höher, wenn
die übrigen Bedingungen gleich sind.
Dadurch, daß die Ströme parallel sind, ergibt sich für alle
Teile ein im wesentlichen gleicher Einfallswinkel auf dem
Band.
Zweckmäßig sollte der Divergenzwinkel dieses Stromes in
einer senkrecht zu der zu beschichtenden Glasfläche und im
wesentlichen parallel zu der Längsabmessung des Bandes ver
laufenden Ebene gemessen, nicht mehr als 30° betragen.
Wenn zwei oder mehr Ströme des fluiden Mediums gegen die
Glasfläche abgegeben werden, so kann es sich dabei um Ströme
mit verschiedenen Massen bzw. Zusammensetzungen handeln, die
jeweils eine Metallverbindung und ein Oxydiermittel enthal
ten, das mit der Verbindung bzw. Masse unter Pyrolyse rea
giert, um auf dem Glas eine Beschichtung aus einem Metall
oxid auszubilden; gute Ergebnisse können erhalten werden, wenn
einer oder mehrere, jedoch nicht alle dieser Ströme auf das
Glas in einem Winkel oder mittleren Winkel von nicht mehr als
45° treffen, wie oben erwähnt wurde. Es wird jedoch ange
strebt, daß alle Ströme die oben angegebene Bedingung für den
maximalen Winkel erfüllen.
Es ist nicht wesentlich, daß alle gewünschten fluiden
Medien als Strom oder Ströme gegen die zu beschichtende
Bandfläche abgegeben werden. Bei einigen Ausgestaltungen
des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung wird ein
Teil des fluiden Mediums, mit dem die Bandfläche in der
Zone in Berührung gebracht wird, veranlaßt, durch die
Wirkung des Fluidstroms bzw. der Fluidströme zu der Zone
zu fließen. So kann beispielsweise eine Beschichtung durch
die Reaktion von Substanzen ausgebildet werden, von denen
eine in einem geneigten Fluidstrom gegen die Bandfläche abge
geben wird, während die andere der Substanzen einen Fluidstrom
bildet oder in einem Fluidstrom getragen wird, dessen Strömung
in die Zone geleitet wird, wo der Strom auf die Fläche auf
trifft.
In einem speziellen Beispiel wird eine Beschichtung aus einem
Metalloxid ausgebildet, indem eine verdampfte Metallverbindung
als Strom gegen die Glasfläche gerichtet bzw. abgegeben wird;
das Moment bzw. der Impuls und die Neigung dieses Stroms sind
so ausgelegt, daß eine Luftströmung zu dieser Zone erzeugt
wird, wodurch eine Beschichtung aus dem Metalloxid in der Zone
ausgebildet wird. Diese induzierte Strömung kann horizontal
oder in einer Neigung zu der Glasfläche verlaufen. Statt einen
geneigten Strom zu verwenden, um eine Strömung aus Luft oder
einem anderen fluiden Medium zu der Beschichtungszone zu in
duzieren, kann eine solche Strömung auch auf anderem Wege
herbeigeführt werden, indem beispielsweise eine Strömung die
ses fluiden Mediums in die Zone längs einer Bahn zwangs
weise parallel zu der zu beschichtenden Bandfläche verläuft.
Zweckmäßigerweise werden die Bewegungsgeschwindigkeit des
Glasbandes und die Volumengeschwindigkeit der Zuführung der
Substanz(en) zu der Beschichtungszone so ausgelegt, daß
die Wachstumsgeschwindigkeit der Beschichtungsdicke wenigstens
100 nm der Schichtdicke pro Sekunde beträgt.
Sehr gute Ergebnisse sind bei Verfahren erhalten worden, bei
denen die Wachstumsgeschwindigkeit der Dicke 120 nm und
sogar 150 nm betrug.
Es wird nicht verkannt, daß bereits mit einem geneigten
Strahl eine Beschichtung für Glasscheiben (US-PS 27 24 658),
allerdings für Überzüge mit ungleichmäßiger Dicke, bekannt
ist.
Nicht-gleichförmige Metalloxidfilme, bei denen die Dicke
des Überzugs von einem Minimum zu einem Maximum variierte,
sind durch die US-PS 30 04 874 bekannt. Die Abscheidung
leitender Schichten auf losen Glasscheiben beschreibt
die DE-AS 10 82 017.
Unter dem Gesichtspunkt der Qualität der Beschichtung werden
die besten Ergebnisse erreicht, wenn die Dicke der auf der
Glasfläche ausgebildeten Beschichtung im Bereich von 10 bis
1000 nm oder mehr liegt.
Ein weiteres, bei Bedarf einzusetzendes, jedoch zweckmäßiges
Merkmal ist die Ausübung einer Kraft durch eine äußere Vorrich
tung auf den oder die Fluidströme, um den Gasstrom von der
Beschichtungszone und der Quelle dieses Stroms bzw. dieser
Ströme wegzuhalten. Dieses Merkmal begünstigt die Ausbildung
von qualitativ sehr hochwertigen Beschichtungen, beispielswei
se Beschichtungen mit einer Dicke und optischen Eigenschaften,
die über eine große Fläche sehr gleichmäßig sind. Nach einer
bevorzugten Ausführungsform werden Saugkräfte ausgeübt, um
Gas von der Beschichtungszone und der Quelle für den bzw. die
Fluidströme wegzuziehen. Die Aufrechterhaltung dieser Gasströ
mung trägt dazu bei, die Ausbildung dickerer Schichten mit gu
ter Struktur zu ermöglichen, ohne daß die Beschichtung einer
Nachbehandlung unterworfen werden muß, um die obere Schicht
der Beschichtung zu entfernen.
Bei bestimmten Ausführungsformen der Erfindung wird (werden)
die Substanz(en), die chemisch reagiert oder sich zersetzt,
der Fläche in der Gasphase zugeführt.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei
dem Strom bzw. den Strömen, die gegen die Glasbandfläche ge
richtet werden, um Gasströme, die so abgegeben werden, daß
dieser Strom bzw. diese Ströme die Bandfläche gleichzeitig an
allen Stellen über die gesamte oder im wesentlichen die gesam
te Bandbreite berührt (berühren). Wird das Verfahren so durch
geführt, so können Beschichtungen sehr rasch aufgebaut werden,
beispielsweise mit einer Geschwindigkeit von wenigstens 70 nm
Schichtdicke pro Sekunde. Solche Ausführungsformen dürften
dann besonders wesentlich sein, wenn Glasbänder bei kontinuier
licher Herstellung mit hohen Geschwindigkeiten beschichtet
werden sollen, beispielsweise bei Geschwindigkeiten von mehr
als 2 Meter pro Minute oder sogar mehr als 10 Meter pro Minute,
wie sie oft mit dem Float-Verfahren erreicht werden.
Das Verfahren ist sehr geeignet, um Beschichtungen aus Metall
oxiden aus mindestens einer Substanz auszubilden, die in der Gas
phase zugeführt wird. Es können jedoch auch Beschichtungen aus ande
ren Metallverbindungen aus der Gasphase hergestellt werden; so
kann beispielsweise eine Beschichtung aus Metallboriden,
-sulfiden, -nitriden, -carbiden oder -arseniden durch Reaktion ei
ner entsprechenden metallorganischen Verbindung mit einer halo
genisierten Borverbindung, H2S, NH3, CH4 oder einer Arsen ent
haltenden Verbindung in Abwesenheit von Sauerstoff hergestellt
werden. Metallbeschichtungen können auch aus der Gasphase
aufgebracht werden. Beispielsweise kann eine Beschichtung aus
Nickel ausgebildet werden, indem Nickel-Karbonyl in einer re
duzierenden Atmosphäre oder wenigstens ohne Sauerstoff unter
der Wirkung von Wärme zersetzt wird, die durch das erwärmte
Band zugeführt wird.
Bei einigen Ausführungsformen, bei denen eine Beschichtung aus
einem Metalloxid aus der Gasphase hergestellt wird, werden
einer solchen Bandfläche an der Reaktionszone kontinuierlich
ein Strom aus Sauerstoff oder einem Sauerstoff enthaltenden
Gas und ein getrennter Strom einer verdampften Metallverbindung
zugeführt, mit der Sauerstoff reagiert, um auf der zu beschich
tenden Bandfläche eine Beschichtung aus einem Metalloxid auszu
bilden. Nach einer speziellen und wesentlichen Ausführungsform
wird ein Strom aus einer verdampften Zinnverbindung sowie min
destens ein Strom eines Sauerstoff enthaltenden Gases verwendet,
um eine Beschichtung aus Zinnoxid herzustellen. Selbstverständlich
können jedoch auch Beschichtungen aus verschiedenen anderen
Metalloxiden auf diese Weise hergestellt werden, beispielsweise
eine Beschichtung aus Titandioxid, indem Titantetrachlorid
mit Sauerstoff zur Reaktion gebracht wird. Die verdampfte Me
tallverbindung wird üblicherweise durch ein inertes Gas verdünnt,
beispielsweise Stickstoff, während der Dampfstrom zusätzliche
Bestandteile enthalten kann, um die Eigenschaften der Beschich
tung zu beeinflussen bzw. zu modifizieren. Beispielsweise kann
der Dampfstrom Antimonchlorid enthalten, um zusammen mit dem we
sentlichen Oxidbestandteil der Beschichtung Antimontrioxid zu
bilden.
Statt die Substanz(en), die chemisch reagieren oder zersetzt wird
(werden), in Gasform zuzuführen, kann die gewünschte Beschichtung
aus Metall oder einer Metallverbindung auch aus einer Verbindung
in der flüssigen Phase ausgebildet werden. Die Erfindung umfaßt
also auch Verfahren, bei denen das fluide, gegen die Fläche des
Glasbandes gerichtete Medium wenigstens einen Tröpfchenstrom
aus einer Metallverbindung aufweist, die durch Pyrolyse auf die
ser Fläche die Beschichtung aus dem Metall oder der Metallver
bindung bildet.
Die Erfindung umfaßt beispielsweise Verfahren, bei denen das
gegen die Glasbandfläche gerichtete fluide Medium wenigstens
einen Tröpfchenstrom aus einer flüssigen Masse bzw. Flüssig
keit aufweist, die ein Metallsalz enthält, das durch Pyrolyse
eine Beschichtung aus einem Metalloxid bildet. Bei bestimmten,
sehr vorteilhaften Verfahren wird wenigstens ein Tröpfchen
strom eingesetzt, der Tröpfchen aus einem wäßrigen oder nicht
wäßrigen, eine Zinnverbindung, wie beispielsweise SnCl4, ent
haltenden Medium aufweist, um eine Beschichtung aus Zinnoxid
herzustellen. Das erwähnte Medium kann ein Dotiermittel ent
halten, wie beispielsweise eine Substanz, die Antimon-, Arsen-
oder Fluor-Ionen liefert. Das Metallsalz kann mit einem Re
duziermittel eingesetzt werden, wie beispielsweise Phenylhydra
zin, Formaldehyd, Alkohole und keinen Kohlenstoff enthaltende
Reduktionsmittel, wie beispielsweise Hydroxylamin und Wasserstoff.
Statt oder zusätzlich zu Zinn (IV)-Chlorid können auch andere
Zinnsalze eingesetzt werden, wie beispielsweise Zinnoxalat oder
Zinnbromid. Zu Beispielen für Beschichtungen aus anderen Metall
oxiden, die auf ähnliche Weise ausgebildet werden können, ge
hören Oxide von Kadmium, Magnesium und Wolfram sowie Gold. Zur Her
stellung dieser Beschichtungen kann die Beschichtungsmasse in
ähnlicher Weise präpariert werden, indem eine wässerige oder
organische Lösung einer Verbindung des Metalls und eines
Reduktionsmittels hergestellt wird. Als weiteres Beispiel kann die
Beschichtung auch eingesetzt werden, um durch Pyrolyse von me
tallorganischen Verbindungen Beschichtungen auszubilden, bei
spielsweise ein Metallazetylazetonat, das der zu beschichten
den Substratfläche in Tröpfchenform zugeführt wird. Weiterhin
kann gemäß der vorliegenden Erfindung auch eine Salze verschie
dener Metalle enthaltende Masse zugeführt und aufgebracht wer
den, so daß eine Metallbeschichtung entsteht, die ein Gemisch
von Oxiden verschiedener Metalle enthält.
Bei einigen Ausführungsformen der Verbindung wird wenigstens
ein Tröpfchenstrom eingesetzt, der quer zu der Bandbahn hin-
und herverschoben wird. Durch die Durchführung des erfindungs
gemäßen Verfahrens auf diesem Wege kann ein Glasband im we
sentlichen über seine gesamte Breite beschichtet werden, ob
wohl nur ein einziger Tröpfchenausgabekopf mit kleinen Abmes
sungen eingesetzt wird, so daß sich die Zuführgeschwindigkeit
der Metallverbindung leicht steuern läßt.
Bei alternativen Ausführungsformen, die ebenfalls mit der
Zuführung von Tröpfchen arbeiten, wird mindestens ein Tröpf
chenstrom verwendet, dessen Auftreffzone oder kombinierte
Auftreffzonen auf das Glasband sich im wesentlichen über die
gesamte Breite des Bandes erstrecken. In diesem Fall kann
das gesamte Band beschichtet werden, ohne daß die Quelle (n)
für den Tröpfchenstrom (bzw. die Tröpfchenströme) verscho
ben wird. Darüber hinaus kann die Flächenbeschichtungsgeschwin
digkeit relativ hoch sein, so daß dieses Verfahren leicht zur
Beschichtung eines relativ schnell bewegten Glasbandes einge
setzt werden kann, wenn es von der Anlage zur Fertigung bzw.
Formung des Bandes transportiert wird.
Aus Experimenten hat sich ergeben, daß gute Ergebnisse be
günstigt werden, wenn bestimmte Bedingungen in bezug auf den
Abstand zwischen der zu beschichtenden Glasfläche und der
Stelle beachtet werden, von der aus der oder jeder Tröpfchen
strom zu der Fläche gerichtet bzw. abgegeben wird. Nach einer
bevorzugten Ausführungsform befinden sich diese Stellen für
den oder jeden Strom in einem Abstand von der Fläche, der,
senkrecht zu dieser Fläche gemessen, von 15 bis 35 cm reicht.
Dieser Abstandsbereich ist sehr zweckmäßig, und zwar insbeson
dere dann, wenn die bevorzugten Bereiche für die Neigung und
Divergenz der Tröpfchenströme bzw. des Tröpfchenstroms beach
tet werden, wie sie oben erwähnt wurden.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die schematischen Zeichnungen
näher erläutert. Diese Zeichnungen weisen Fig. 1 bis 4 auf, die
Seitenansichten von wesentlichen Teilen vier verschiedener
Beschichtungsvorrichtungen nach der vorliegenden Erfindung dar
stellen.
Jede der dargestellten Ausführungsformen der Beschichtungsvor
richtungen ist so installiert, daß sie zur Beschichtung eines
kontinuierlichen, longitudinal beweglichen Glasbandes einge
setzt wird, wenn es aus einer Fabrikationsanlage kommt.
In Fig. 1 ist das Glasband 1 im Verlauf seines Transportes auf
Walzen 3 in die durch den Pfeil 2 angedeutete Richtung durch ein
Abteil bzw. einen abgetrennten Raum 4 in einer Fertigungsstrecke
nit hitzebeständigen Dach- und Sohlenwänden 5 und 6 gezeigt. An
den Enden des abgetrennten Raums sind verschiebbare, hitzebestän
dige Abschirmungen 7, 8 vorgesehen. Eine Sprüheinrichtung, bei
spielsweise eine Sprühpistole, ist über der Bahn des Glasbandes
angebracht, um einen Tröpfchenstrom 10 zu und in einer Neigung
zu der oberen Fläche des Bandes zu richten. Die Sprüheinrichtung
kann beispielsweise dazu verwendet werden, eine oder mehrere
Substanzen enthaltende Flüssigkeiten zu versprühen; diese Sub
stanzen zersetzen sich oder reagieren an der oberen Fläche des
Bandes, so daß darauf eine Beschichtung entsteht. Die mittlere
Achse des Tröpfchenstroms verläuft in einer Ebene, die parallel
zu der Bewegungsrichtung des Bandes und zu den Bandflächen in
einem Winkel von nicht mehr als 45° geneigt ist. Ein Mechanis
mus (nicht dargestellt) dient dazu, die Sprüheinrichtung längs
einer horizontalen Bahn quer zur Bewegungsrichtung des Glasbandes
hin- und herzuverschieben.
Der abgetrennte Raum 4 bildet einen Teil einer Kühlstrecke,
die einem Float-Tank zugeordnet ist, um ein Band aus Floatglas
herzustellen. Die gleiche Beschichtungsvorrichtung kann auf
die gleiche Weise in einer Kühlstrecke installiert und einge
setzt werden, die sich in der Nähe der Ziehkammer einer
Libbey-Owens-Ziehmaschine für Glasscheiben befindet, d. h.,
sich an diese Kammer anschließt.
Statt die Beschichtungsvorrichtung in einem Teil einer Strecke
anzuordnen, in der die Kühlung des Bandes aus Floatglas durch
geführt wird, könnte die Beschichtungsvorrichtung zur Beschich
tung des Glasbandes auch an einer Stelle zwischen dem Float-
Tank und der Stelle vorgesehen werden, wo die Kühlung beginnt.
Bei der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung wird ein Glasband
11 in einem Abteil bzw. einem abgetrennten Raum beschichtet,
der dem Raum 4 von Fig. 1 entspricht. Der abgetrennte Raum bil
det einen Teil einer Strecke mit Dach- und Sohlenwänden 13, 14
sowie Endabschirmungen 15, 16. Zwei Zuführkanäle 17, 18 erstrec
ken sich im wesentlichen über die gesamte Breite der Bandbahn
und dienen dazu, Ströme von gasförmigen Substanzen von Glasbe
hältern 19, 20 in einem Winkel dazu gegen die obere Fläche
des Glasbandes zu richten, wenn das Band in Richtung des Pfeils
21 auf Walzen 27 transportiert wird. Beispielsweise können ver
schiedene, verdampfte Substanzen, die in Strömen von Trägergas
mitgerissen werden, längs der Zuführkanäle 17 und 18 so ausge
geben werden, daß die Substanzen in der Nähe der oberen Fläche
des Bandes reagieren und darauf eine Beschichtung ausbilden.
Der Kanal 17 ist zu den Flächen des Glasbandes in einem Winkel
von 45° oder weniger geneigt; der Kanal 18 ist zu dem Kanal
17 in einem Winkel von 20° bis 35° geneigt. Eine Auslaßleitung
23 bildet einen Auslaßdurchgang, der sich im wesentlichen über
die gesamte Breite der Bandbahn erstreckt und in der entgegen
gesetzten Neigung zu dem Glasband angeordnet ist, wobei das
Eintrittsende des Gasauslasses im allgemeinen zu der Zone zeigt,
wo die Beschichtung auf dem Band aus den Substanzen ausgebil
det wird, die über die Zuführkanäle 17 und 18 abgegeben werden.
Die Auslaßleitung 23 ist mit einer Einrichtung (nicht dargestellt)
verbunden, die einen unter Atmosphärendruck liegenden Druck in
der Leitung aufrechterhält, so daß die Gase aus der Beschichtungs
zone in die Leitung abgezogen werden.
Die in Fig. 3 dargestellte Beschichtungsvorrichtung ist in
einem abgetrennten Raum 24 einer Fertigungsstrecke mit Dach-
und Sohlenwänden 25, 26 sowie Endabschirmungen 27, 28 installiert.
Ein Glasband 29 wird durch die Beschichtungsstation auf Walzen
31 in Richtung des Pfeils 30 transportiert. Die Beschichtungsvor
richtung weist einen Zuführkanal 32 auf, der dem Zuführkanal
17 oder 18 nach Fig. 2 ähnelt und zu dem Glasband in einem Win
kel von 45° oder weniger geneigt ist. Dieser Zuführkanal kann
beispielsweise dazu verwendet werden, zu der oberen Fläche
des Bandes Dämpfe von einer oder mehreren metallischen Ver
bindungen zu leiten, die in einem Trägergasstrom mitgerissen
werden; dabei handelt es sich um solche Dämpfe, die an der frei
liegenden Fläche des heißen Glasbandes reagieren oder sich zer
setzen und dadurch auf dem Glasband eine Schicht aus einem Me
talloxid ausbilden. Eine Haube 33 ist vorgesehen, die in einem
kurzen Abstand über dem Glasband angeordnet ist und sich eine
bestimmte Strecke in Strömungsrichtung aus der Nähe des Aus
laßendes des Zuführkanals 32 erstreckt. Die Haube weist eine
obere Wand auf, die etwas in Strömungsrichtung von der Ebene
des Glasbandes divergiert, wie man in Fig. 3 erkennen kann;
außerdem enthält die Haube zwei einander gegenüberliegende
Seitenwände. Zusammen mit der oberen Oberfläche des Glasbandes
bildet die Haube also einen Strömungsdurchgang, durch den die
Gase aus dem Zuführkanal 32 abfließen können. Der vertikale
Abstand zwischen der oberen Fläche des Glasbandes und dem
oberen Ende der Haube 33 an seinem in Strömungsrichtung ge
sehen hinteren Ende beträgt nicht mehr als 40 mm. Das Aus
laßende des Zuführkanals 32 ist in einem geringen Abstand
über der oberen Fläche des Glasbandes angeordnet, so daß ein
Spalt 34 frei bleibt, durch den ein Luftstrom in der Beschich
tungszone induziert werden kann, um mit mindestens einer Sub
stanz zu reagieren, die von dem Zuführkanal ausgestoßen wird.
Die in Fig. 4 gezeigte Beschichtungsvorrichtung ist so instal
liert, daß sie ein Glasband 35 während seines Transportes auf
den Walzen 36 durch einen abgetrennten Raum 37 in Richtung des
Pfeils 38 beschichten kann. Der abgetrennte Raum 37 bildet
einen Teil einer Fertigungsstrecke mit Dach- und Sohlenwänden
39, 40 sowie Endabschirmungen 41, 42. Die Beschichtungsvorrich
tung enthält eine Sprüheinrichtung 43, beispielsweise eine
Sprühpistole, die in ähnlicher Weise wie die Sprüheinrichtung
9 nach Fig. 1 angeordnet ist, um einen Tröpfchenstrom abzuge
ben, während sie quer zu der Bahn des transportierten Glasban
des hin- und herverschoben wird. In Strömungsrichtung gesehen
hinter der Beschichtungszone befindet sich eine Auslaßleitung
44, die sich ebenfalls im wesentlichen über die gesamte Breite
der Glasbandbahn erstreckt. Diese Leitung weist eine schlitz
förmige Düse 45 auf, die im allgemeinen der Beschichtungszone
zugewandt und mit einer Einrichtung (nicht dargestellt) verbun
den ist, um in der Leitung einen unter Atmosphärendruck liegen
den Druck aufrechtzuerhalten, so daß die Gase kontinuierlich
über ihre Düse in die Leitung gesaugt und aus der Vorrichtung
ausgestoßen werden. Die Saugkräfte sind über die gesamte Breite
des Glasbandes im wesentlichen gleichmäßig. Ein Dach bzw. eine
Schutzhaube 46 erstreckt sich gegen die Strömungsrichtung von
der oberen Wand der Düse 45 bis zu einer Stelle, die über die
Zone reicht, in welcher der von der Sprüheinrichtung 43 ausge
gegebene Strom auf das Glasband auftrifft.
Jede der unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 4 beschriebenen
Beschichtungsvorrichtungen könnte wie die unter Bezugnahme auf
Fig. 1 beschriebene Beschichtungsvorrichtung in einer Ferti
gungsstrecke installiert werden, die einem Float-Tank oder einer
Glasscheibenziehmaschine zugeordnet ist.
Es sind folgende Modifikationen der in den Fig. 1 und 4 ge
zeigten Vorrichtungen möglich: die einzelne Sprüheinrichtung
könnte durch mehrere Sprüheinrichtungen ersetzt werden, die
Seite an Seite nebeneinander über der Vorrichtung so ange
bracht sind, daß die von ihnen abgegebenen Ströme sich gemein
sam über die gesamte Breite des zu beschichtenden Bandes er
strecken. Bei einer solchen Vorrichtung können die Sprühein
richtungen selbstverständlich während der Beschichtung sta
tionär bleiben. Als Alternative zu mehreren einzelnen Sprüh
einrichtungen kann ein Ausgabekopf vorgesehen sein, der sich
über die Bandbahn erstreckt und mehrere Sprühöffnungen auf
weist, die über seine Länge auf ihm verteilt sind.
Im folgenden sollen anhand von Beispielen verschiedene Ver
fahren nach der vorliegenden Erfindung erläutert werden, bei
denen Vorrichtungen eingesetzt werden, wie sie oben unter Be
zugnahme auf die Zeichnungen beschrieben wurden.
Eine Vorrichtung, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist, wurde zur
Beschichtung eines Glasbandes im Laufe seiner Herstellung in
einer Libbey-Owens-Ziehmaschine verwendet. Die Beschichtungs
vorrichtung wurde so angeordnet, daß das Glasband an einer Stel
le besprüht wurde, an der die Glastemperatur in der Größenord
nung von 600°C lag. Die Sprühkanone 9 hatte den üblichen Aufbau,
wurde quer zu der Bandbahn hin- und herbewegt und mit einem
Druck betrieben, der in der Größenordnung von einigen bar
lag. Die Sprühkanone wurde so gerichtet,
daß der Winkel zwischen dem Glasband und der Achse des Sprühne
bels 30° betrug, während der Kegelwinkel der Sprühkanone bzw.
der Sprühöffnungswinkel 20° betrug.
Der Sprühkanone wurde eine wäßrige oder organische Lösung
von Zinnchlorid zugeführt, beispielsweise eine Lösung, die
auf folgende Weise erhalten wurde: in Wasser wurden 400 g
pro Liter Zinnchloridhydrat (SnCl2 · 2 H2O) aufgelöst und NH4HF2
in einer Menge von 65 g pro Liter zugesetzt. Bei Berührung mit
dem heißen Glasband wurde auf dem Glas eine Beschichtung aus
mit Fluor-Ionen dotiertem Zinnoxid ausgebildet. Die Abgabe
der Sprühkanone wurde auf einen solchen Wert eingestellt,
daß die Beschichtung eine Dicke von 840 nm hatte.
Unter reflektiertem Licht betrachtet hatte die Beschichtung
einen neutralen Farbton. Die Beschichtung hatte eine hohe
Durchlässigkeit für sichtbares Licht und ein sehr hohes Re
flexionsvermögen für Strahlung im fernen Infrarotbereich des
Wellenlängenbandes. Die Beschichtung hatte eine gute elektri
sche Leitfähigkeit.
Eine mikroskopische Untersuchung der Beschichtung zeigte,
daß sie eine homogene Struktur mit einer regelmäßigen Anord
nung von Kristallen in Kontakt mit dem Glas hatte.
Bei einem weiteren Verfahren nach der vorliegenden Erfindung
wurde ebenfalls nach dem oben beschriebenen Ablauf gearbeitet;
der Sprühkanone wurde jedoch eine wäßrige Lösung von TiCl4
zugeführt, so daß auf dem Glasband eine Beschichtung aus TiO2 mit
einer Dicke von 80 nm entstand.
Eine Beschichtungsvorrichtung, wie sie in Fig. 2 dargestellt
ist, wurde zur Beschichtung eines Bandes Floatglas im Verlaufe
seines Transportes aus dem Float-Tank verwendet.
Ein Gemisch aus dampfförmigen SnCl4 und einem kleinen Anteil
von SbCl5, die in einem Sauerstoffstrom mitgerissen wurden,
wurde durch den Zuführkanal 7 gegen das Glasband gerichtet.
Durch den Zuführkanal 18 wurde kontinuierlich ein Gasstrom ab
gegeben. Die Beschichtungsvorrichtung wurde so angeordnet, daß
diese Gasströme auf das Glasband an einer Stelle auftrafen, an
der die Temperatur des Glases 585°C betrug. Bei diesem Verfah
ren wurde das Ablaßsystem mit der Ablaßleitung 23 nicht ver
wendet.
An der freiliegenden Fläche des Bandes lief eine Reaktion ab,
die zu der Ablagerung einer Schicht aus SnO2 führte, die einen
kleinen Anteil Antimonoxid enthielt; die Schicht hatte eine
Dicke von 400 nm.
Im reflektierten Licht betrachtet hatte die so hergestellte
Beschichtung einen grünlichen Farbton. Die Beschichtung hatte
eine hohe Lichtdurchlässigkeit und ein hohes Reflexionsver
mögen für einfallende Strahlung im fernen Infrarotbereich des
Wellenlängenbandes. Darüber hinaus hatte die Beschichtung eine
gute elektrische Leitfähigkeit.
Auch in diesem Falle zeigte die Überprüfung der Beschichtung,
daß sie im Kontakt mit dem Glas eine homogene Struktur hatte,
die sich durch eine regelmäßige Anordnung der Kristalle aus
zeichnete.
Bei einer Modifikation des oben beschriebenen Verfahrens wurde
der gleiche Ablauf verwendet; außerdem wurde jedoch das Ablaß
system beschrieben, um über die Auslaßleitung 23 kontinuierliche
Saugkräfte auszuüben. Diese Kräfte dienten dazu, die Dämpfe aus
überschüssigen reaktionsfähigen Substanzen und flüchtigen Reak
tionsprodukten aus der Zone zwischen den Zuführkanälen und der
Auslaßleitung abzusaugen. Die sich ergebende Beschichtung hat
te über ihre gesamte Dichte eine homogene Struktur; auch die
optischen Eigenschaften der Beschichtung erfüllten über eine
gegebene Fläche sehr hohe Anforderungen. Die Durchlässigkeit
der Beschichtung für diffuses Licht war sehr gering.
Die in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung wurde zur Beschichtung
eines Glasbandes in einer Beschichtungszone eingesetzt, durch
die das Band geführt wurde; dort betrug die Temperatur des Gla
ses 200°C.
Der Zuführkanal 17 wurde verwendet, um einen Strom aus trocke
nem Stickstoff, in dem Dämpfe von Bleitetraäthyl Pb (C2H5)4
mitgerissen werden, zu der Beschichtungszone zu leiten. Der
Zuführkanal 18 diente dazu, einen Strom aus trockenen Stick
stoff, in dem Wasserstoffsulfid mitgerissen wird, zu der
Beschichtungszone zu leiten. Dabei wurden Maßnahmen getroffen,
um Sauerstoff aus der Umgebung auszuschließen, in der die
Beschichtung durchgeführt wurde und durch die das beschichte
te Band sich beim Verlassen dieser Zone bewegte.
Die Abgabe der Gase durch die Zuführkanäle wurde so eingeregelt,
daß eine Bleisulfidbeschichtung mit einer Dicke von 50 nm auf
dem Glasband ausgebildet wurde. Im reflektierten Licht betrach
tet war diese Beschichtung grau. Die Beschichtung hatte eine
homogene Struktur.
Das oben beschriebene Verfahren kann beispielsweise zur Aus
bildung von Beschichtungen aus metallischen Nitriden, Karbiden,
Arseniden oder Boriden eingesetzt werden.
Als weiteres Beispiel ist es möglich, eine Beschichtung aus
Nickel herzustellen, indem nur einer der Zuführkanäle verwendet
wird; dabei wird die Vorrichtung durch diesen Kanal mit Nickel
karbonyl-Dämpfen beschickt, die sich bei Kontakt mit dem heißen
Glas zersetzen, so daß in Situ eine Nickelbeschichtung ausge
bildet wird.
Die in Fig. 3 dargestellte Beschichtungsvorrichtung wurde zur
Beschichtung eines Bandes aus Floatglas während seines Transpor
tes aus dem Float-Tank verwendet. Bei diesem Verfahren wurde
der Zuführkanal 32 in einem Winkel von 30° zu dem Glasband ge
neigt und so angeordnet, daß er ein Gasgemisch in Berührung
mit dem Glasband an einer Stelle führt, an der die Temperatur
des Glases 585° betrug. Durch den Zuführkanal wurde ein Stick
stoffstrom ausgegeben, der SnCl4-Dämpfe und einen kleinen An
teil von SbCl5-Dampf mitriß. Die Ausgabe des Dampfstroms
aus dem Zuführkanal und längs des Glasbandes in seiner Bewe
gungsrichtung hatte die Wirkung, eine Luftströmung in der Be
schichtungszone durch den Spalt 34 zwischen dem Zuführkanal
und dem Glasband zu induzieren. Diese Luft mischte sich mit
den abgegebenen Dämpfen, so daß an der Beschichtungszone eine
Reaktion ablief, die zur Ausbildung einer Beschichtung aus
Zinnoxid auf dem Glas führte; diese Zinnoxidschicht enthielt
einen kleinen Anteil Antimonoxid als Dotiermittel und hatte
eine Dicke von 250 nm.
Die so gebildete Beschichtung hatte im reflektierten Licht be
trachtet einen grünen Farbton. Die Beschichtung hatte eine ho
he Durchlässigkeit für sichtbares Licht und gutes Reflexions
vermögen für Strahlung im fernen Infrarotbereich des Wellen
längenbandes. Darüber hinaus hatte die Beschichtung eine gute
elektrische Leitfähigkeit. Die Beschichtung zeichnete sich
durch eine regelmäßige Anordnung von Kristallen aus, die in
Kontakt mit dem Glas eine homogene Struktur bildeten.
Die in Fig. 4 gezeigte Vorrichtung wurde zur Beschichtung eines
Glasbandes im Laufe seiner Herstellung in einer Libbey-Owens-
Ziehmaschine verwendet. Die Beschichtungsvorrichtung wurde so
angeordnet, daß die Beschichtung auf dem Glas an einer Stelle
längs seiner Bahn ausgebildet wurde, wo die Temperatur des Gla
ses in der Größenordnung von 600°C lag.
Es wurde eine einzige Sprühkanone 43 verwendet, die während des
Beschichtungsverfahrens quer zu der Bandbahn hin- und herbewegt
wurde. Die Kanone wurde so ausgerichtet, daß die Achse des Aus
laßkegels von der Kanone in einem Winkel von 25° zu der Glas
scheibe geneigt war. Der Sprühkegelwinkel bzw. der Sprühöffnungs
winkel betrug 20°.
Der Sprühkanone wurde eine Lösung zugeführt, die auf folgende
Weise erhalten wurde: in Dimethylformamid wurden 150 g pro Liter
Kobaltazetylazetonat und 150 g pro Liter Eisenazetylazetonat
aufgelöst.
Das Auslaßsystem mit der Auslaßleitung 13 wurde so betrieben,
daß in der Auslaßdüse 45 ein Unterdruck aufrechterhalten wurde,
der einige Dutzend Millimeter Wassersäule nicht überstieg. Die
Ausgabe aus der Sprühkanone wurde so eingeregelt, daß auf dem
Glasband eine Beschichtung von 55 nm ausgebildet wurde, die
aus Co3O4 und Fe2O3 bestand. Im reflektierten Licht betrach
tet hatte die so hergestellte Beschichtung einen Bronzefarbton.
Die Beschichtung hatte eine homogene Struktur und gute optische
Eigenschaften, die von einer Stelle auf der Beschichtung zu
einer anderen im wesentlichen gleichmäßig waren.
Bei einer Modifikation des oben beschriebenen Verfahrens wurde
der gleiche Ablauf beibehalten, um eine gefärbte Beschichtung
auf einem Glasband im Laufe seiner Herstellung durch das Float
verfahren auszubilden. Es ergaben sich ähnliche Resultate.
Claims (21)
1. Verfahren zur Herstellung eines Überzugs gleichmäßiger
Dicke aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf
einem Glasband, indem dieses Glasband, während es sich
auf erhöhter Temperatur befindet, in einer längs des
Glases befindlichen Zone mit einem fluiden Medium kontak
tiert wird, das aus einer oder mehreren Substanzen besteht
oder solche enthält, welche eine chemische Reaktion oder
Zersetzung erfahren und hierbei dieses Metall oder diese
Metallverbindung auf der Oberfläche des kontinuierlich
sich in Längsrichtung bewegenden Bandes ausformen, wobei
dieses Medium in Form wenigstens eines Stroms aus
Düsen ausgetragen wird, die, gemessen in einer Ebene
normal zur Glasbandoberfläche und parallel zur Ver
schiebungsrichtung des Glasbandes, geneigt sind,
dadurch gekennzeichnet, daß der oder wenigstens ein Strom so zur
Oberfläche geneigt ist, daß jeder Teil des oder der
Ströme mit der Glasoberfläche in einer senkrecht zur Ober
fläche und parallel zur Längsabmessung des Bandes (29; 35)
verlaufenden Ebene einen spitzen Einfallswinkel von nicht
mehr als 45° bildet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der jeweilige Strom ein paralleler Strom ist,
von dem alle Teile im wesentlichen den gleichen Einfalls
winkel auf das Band haben.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Divergenzwinkel des
jeweiligen Stroms, in einer senkrecht zu der zu beschich
tenden Glasoberfläche und im wesentlichen parallel zu
der Längsabmessung des Bandes verlaufenden Ebene gemessen
nicht mehr als 30° beträgt.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des fluiden Mediums,
mit dem die Bandoberfläche an der Zone kontaktiert wird,
veranlaßt wird, durch die Wirkung des jeweiligen Stroms
zu der Zone zu strömen.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der jeweilige Strom eine verdampfte Metallverbindung
enthält und daß der Austrag dieses Stroms die Strömung
eines Luftstroms der Zone und dadurch eine Beschichtung
aus der Metallverbindung auf der Zone veranlaßt.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß als Fläche die obere Fläche
eines kontinuierlichen Bandes aus gerade hergestelltem
Floatglas verwendet wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß in einer Zone in Strömungsrichtung gesehen
hinter dem Floattank der Fluidstrom veranlaßt wird,
auf die Oberfläche des Bandes aufzutreffen, wobei in
dieser Zone die Temperatur des Glases im Bereich von
100 bis 650°C gehalten wird.
8. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsgeschwindigkeit
des Glasbandes und die Volumengeschwindigkeit der
Zuführung der Substanz(en) zur Beschichtungszone
so ausgewählt werden, daß die Wachstumsgeschwindigkeit
der Beschichtungsdicke wenigstens 100 nm Beschichtungs
dicke pro Sekunde beträgt.
9. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren so durchgeführt
wird, daß auf dem Band eine Beschichtung mit einer Dicke
von 10 nm bis 1000 nm hergestellt wird.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Fluidstrom eine
Kraft durch äußere Mittel ausgeübt wird, um eine Gas
strömung weg von der Beschichtungszone und weg von der
Quelle für diesen Strom aufrechtzuerhalten.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß Saugkräfte ausgeübt werden, um Gas von der Be
schichtungszone und von der Fluidstromquelle
abzuziehen.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Substanz bzw. die
Substanzen, die eine chemische Reaktion oder Zersetzung
erfährt bzw. erfahren, der Fläche in der Gasphase zu
geführt wird bzw. werden.
13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Strom, der gegen die
Fläche des Glasbandes gerichtet wird, gasförmig ist
und so abgegeben wird, daß der Strom die Bandfläche
gleichmäßig an allen Stellen über die im wesentlichen
gesamte Breite des Bandes berührt.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Strom aus Sauerstoff
oder einem Sauerstoff enthaltenden Gas und ein ge
sonderter Strom einer verdampften Metallverbindung,
die mit Sauerstoff reagiert, der Bandfläche in der
Beschichtungszone kontinuierlich unter Bildung einer
Metalloxidbeschichtung zugeführt werden.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß der Bandfläche in dieser Zone ein Strom einer ver
dampften Zinnverbindung und mindestens ein Strom eines
Sauerstoff enthaltenden Gases unter Bildung einer Zinn
oxidbeschichtung zugeführt werden.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß das fluide, gegen die Fläche
des Glasbandes gerichtete Medium wenigstens einen
Tröpfchenstrom einer Metallverbindung aufweist, die
zu einer Beschichtung aus Metall- oder der Metall
verbindung auf der Fläche pyrolysiert.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
daß das gegen die Fläche des Glasbandes gerichtete
fluide Medium wenigstens einen Tröpfchenstrom aus einer
Flüssigkeit aufweist, die ein Metallsalz enthält, das
zu einer Beschichtung aus Metalloxid pyrolysiert.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,
daß wenigstens ein Tröpfchenstrom mit Tröpfchen eines
wäßrigen oder nicht-wäßrigen, eine Zinnverbindung
enthaltenden Mediums verwendet wird.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Tröpfchen
strom verwendet wird, der quer zu der Bandbahn hin-
und herbewegt wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Tröpfchen
ströme verwendet werden, dessen Auftreffzone oder deren
kombinierte Auftreffzone auf das Glasband im wesent
lichen über die gesamte Bandbreite erstreckt werden.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 20,
dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen der
Fläche und der Stelle, von welcher der oder jeder
Tröpfchenstrom abgegeben wird, senkrecht zu der Band
fläche gemessen, zwischen 15 und 35 cm gehalten wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB15063/76A GB1516032A (en) | 1976-04-13 | 1976-04-13 | Coating of glass |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2716183A1 DE2716183A1 (de) | 1977-10-27 |
DE2716183C2 true DE2716183C2 (de) | 1987-11-19 |
Family
ID=10052380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772716183 Granted DE2716183A1 (de) | 1976-04-13 | 1977-04-12 | Verfahren und vorrichtung zur ausbildung einer beschichtung aus einem metall oder einer metallverbindung auf einer flaeche |
Country Status (18)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4188199A (de) |
JP (1) | JPS52124426A (de) |
AU (1) | AU512473B2 (de) |
BE (1) | BE853198A (de) |
BR (1) | BR7702327A (de) |
CA (1) | CA1090209A (de) |
DE (1) | DE2716183A1 (de) |
DK (1) | DK155513C (de) |
ES (2) | ES457594A1 (de) |
FI (1) | FI61857C (de) |
FR (1) | FR2348165A1 (de) |
GB (1) | GB1516032A (de) |
IL (1) | IL51828A (de) |
IT (1) | IT1082730B (de) |
MX (1) | MX4559E (de) |
NL (1) | NL7703994A (de) |
SE (1) | SE7703971L (de) |
ZA (1) | ZA772110B (de) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1523991A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-06 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
US4382980A (en) * | 1979-03-07 | 1983-05-10 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Magnesium compositions and process for forming MGO film |
JPS5637251A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Manufacture of covered glass |
IT1134153B (it) * | 1979-11-21 | 1986-07-31 | Siv Soc Italiana Vetro | Ugello per depositare in continuo su un substrato uno strato di una materia solida |
US4261722A (en) * | 1979-12-27 | 1981-04-14 | American Glass Research, Inc. | Method for applying an inorganic coating to a glass surface |
IT1143302B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
IT1143301B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
IT1143299B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
IT1143298B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
IT1143300B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
US4419570A (en) * | 1980-03-03 | 1983-12-06 | Societa Italiana Vetro - Siv - S.P.A. | Heating glass pane |
IT1144219B (it) * | 1980-06-20 | 1986-10-29 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per formare un rivestimento di metallo o di un composto metallico |
US4364995A (en) * | 1981-02-04 | 1982-12-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metal/metal oxide coatings |
CH640571A5 (fr) * | 1981-03-06 | 1984-01-13 | Battelle Memorial Institute | Procede et dispositif pour deposer sur un substrat une couche de matiere minerale. |
US4374156A (en) * | 1981-11-30 | 1983-02-15 | Ford Motor Company | Method for obtaining a coating of a preferred composition on a surface of a glass substrate |
JPS58501993A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-11-24 | フオ−ド モ−タ− カンパニ− | 加熱されたガラス基材の表面上に金属酸化物膜をつける方法 |
US4397671A (en) * | 1981-11-30 | 1983-08-09 | Ford Motor Company | Method of placing a metal oxide film on a surface of a heated glass substrate |
CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
GB2119360B (en) * | 1982-04-30 | 1986-03-26 | Glaverbel | Coating vitreous substrates |
US4601914A (en) * | 1982-06-07 | 1986-07-22 | Airtech, Inc. | Method for fabricating a semiconductor gas sensor |
WO1984000537A1 (en) * | 1982-07-29 | 1984-02-16 | Ford Motor Canada | Process for developing a coating film on a heated glass sheet |
US4393098A (en) * | 1982-07-29 | 1983-07-12 | Ford Motor Company | Process for developing a coating film on a heated glass sheet |
US4626688A (en) | 1982-11-26 | 1986-12-02 | Barnes Gary T | Split energy level radiation detection |
GB2142621B (en) * | 1983-06-17 | 1987-03-18 | Glaverbel | Coating hot glass with metals or metal compounds especially oxides |
JPS6169961A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 霧化薄膜作製装置用ノズル |
GB8531424D0 (en) * | 1985-12-20 | 1986-02-05 | Glaverbel | Coating glass |
GB8624825D0 (en) * | 1986-10-16 | 1986-11-19 | Glaverbel | Vehicle windows |
US4963746A (en) * | 1986-11-25 | 1990-10-16 | Picker International, Inc. | Split energy level radiation detection |
US4853257A (en) * | 1987-09-30 | 1989-08-01 | Ppg Industries, Inc. | Chemical vapor deposition of tin oxide on float glass in the tin bath |
GB8824102D0 (en) * | 1988-10-14 | 1988-11-23 | Pilkington Plc | Apparatus for coating glass |
JP2762609B2 (ja) * | 1989-09-18 | 1998-06-04 | 日本板硝子株式会社 | 近赤外線遮断ガラス |
FR2698093B1 (fr) * | 1992-11-17 | 1995-01-27 | Saint Gobain Vitrage Int | Vitrage à propriétés de transmission variant avec l'incidence. |
FR2724923B1 (fr) * | 1994-09-27 | 1996-12-20 | Saint Gobain Vitrage | Technique de depot de revetements par pyrolyse de composition de gaz precurseur(s) |
FR2736632B1 (fr) * | 1995-07-12 | 1997-10-24 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive |
GB9515198D0 (en) * | 1995-07-25 | 1995-09-20 | Pilkington Plc | A method of coating glass |
US5762674A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-09 | Glasstech, Inc. | Apparatus for coating glass sheet ribbon |
US5698262A (en) | 1996-05-06 | 1997-12-16 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for forming tin oxide coating on glass |
FR2795745B1 (fr) * | 1999-06-30 | 2001-08-03 | Saint Gobain Vitrage | Procede de depot d'une couche a base de tungstene et/ou de molybdene sur un substrat verrier, ceramique ou vitroceramique, et substrat ainsi revetu |
JP4682456B2 (ja) * | 2001-06-18 | 2011-05-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US7540706B2 (en) * | 2005-06-03 | 2009-06-02 | Cleveland State University | Wind harnessing system |
DE112006002201T5 (de) * | 2005-08-18 | 2008-07-03 | Innovative Thin Films, Ltd., Toledo | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten durch Spray-Pyrolyse |
US20080026147A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Gulbrandsen Chemicals, Inc. | Method and formulation for depositing a metal-containing coating on a substrate |
US20080152804A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-06-26 | Gulbrandsen Chemicals, Inc. | Method for depositing a metal-containing coating on a substrate |
US8557328B2 (en) * | 2009-10-02 | 2013-10-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Non-orthogonal coater geometry for improved coatings on a substrate |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2724658A (en) * | 1950-02-16 | 1955-11-22 | Pittsburgh Plate Glass Co | Resistor coating method |
BE560882A (de) * | 1957-09-17 | |||
US3004875A (en) * | 1957-11-22 | 1961-10-17 | Pittsburgh Plate Glass Co | Coating glass sheets |
US3080643A (en) * | 1958-02-05 | 1963-03-12 | Gen Motors Corp | Vapor blasting nickel plated steel |
DE1082017B (de) * | 1958-03-05 | 1960-05-19 | Pittsburgh Plate Glass Co | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen hydrolysierbarer Metallverbindungen auf waermebestaendige Koerper, z. B. Glasscheiben |
US2967112A (en) * | 1958-03-11 | 1961-01-03 | Pilkington Brothers Ltd | Method and apparatus for applying metal-depositing solutions |
US3021227A (en) * | 1960-06-08 | 1962-02-13 | Pittsburgh Plate Glass Co | Method and apparatus for coating glass |
US3486918A (en) * | 1966-11-02 | 1969-12-30 | Libbey Owens Ford Co | Strippable protective glass coating |
FR1596613A (de) * | 1967-11-20 | 1970-06-22 | ||
GB1282866A (en) * | 1968-08-16 | 1972-07-26 | Pilkington Brothers Ltd | Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics |
US3632406A (en) * | 1970-01-20 | 1972-01-04 | Norton Co | Low-temperature vapor deposits of thick film coatings |
DE2121319A1 (de) * | 1971-04-30 | 1973-01-18 | Rocholl Martin Ggottfried Dipl | Verfahren zum beschichten von glasscheiben mit einem optisch transparenten flaechenheizleiter |
US3876450A (en) * | 1973-08-13 | 1975-04-08 | W J Tanner Inc | Method and composition for transparent abrasion-resistant coating |
GB1507465A (en) * | 1974-06-14 | 1978-04-12 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
FR2288068A1 (fr) * | 1974-10-15 | 1976-05-14 | Boussois Sa | Procede et dispositif pour deposer par pulverisation d'un liquide une couche mince a la surface d'un materiau en feuille, notamment pour le traitement a chaud d'une feuille de verre |
US4022601A (en) * | 1975-06-02 | 1977-05-10 | Ppg Industries, Inc. | Method and apparatus for coating a glass substrate |
US4018631A (en) * | 1975-06-12 | 1977-04-19 | General Electric Company | Coated cemented carbide product |
GB1523991A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-06 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
-
1976
- 1976-04-13 GB GB15063/76A patent/GB1516032A/en not_active Expired
-
1977
- 1977-03-28 US US05/781,957 patent/US4188199A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-04-04 FR FR7710510A patent/FR2348165A1/fr active Granted
- 1977-04-04 BE BE1008062A patent/BE853198A/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-04-05 DK DK151577A patent/DK155513C/da not_active IP Right Cessation
- 1977-04-05 FI FI771065A patent/FI61857C/fi not_active IP Right Cessation
- 1977-04-05 SE SE7703971A patent/SE7703971L/ unknown
- 1977-04-06 ES ES457594A patent/ES457594A1/es not_active Expired
- 1977-04-06 MX MX775610U patent/MX4559E/es unknown
- 1977-04-06 ZA ZA00772110A patent/ZA772110B/xx unknown
- 1977-04-06 IT IT67764/77A patent/IT1082730B/it active
- 1977-04-06 CA CA275,714A patent/CA1090209A/en not_active Expired
- 1977-04-06 ES ES457593A patent/ES457593A1/es not_active Expired
- 1977-04-06 IL IL51828A patent/IL51828A/xx unknown
- 1977-04-07 AU AU24122/77A patent/AU512473B2/en not_active Expired
- 1977-04-11 JP JP4190977A patent/JPS52124426A/ja active Pending
- 1977-04-12 NL NL7703994A patent/NL7703994A/xx active Search and Examination
- 1977-04-12 DE DE19772716183 patent/DE2716183A1/de active Granted
- 1977-04-13 BR BR7702327A patent/BR7702327A/pt unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DK155513B (da) | 1989-04-17 |
FR2348165A1 (fr) | 1977-11-10 |
SE7703971L (sv) | 1977-10-14 |
IT1082730B (it) | 1985-05-21 |
CA1090209A (en) | 1980-11-25 |
JPS52124426A (en) | 1977-10-19 |
DK155513C (da) | 1989-10-09 |
FR2348165B1 (de) | 1980-01-18 |
US4188199A (en) | 1980-02-12 |
FI61857C (fi) | 1982-10-11 |
BR7702327A (pt) | 1978-01-17 |
AU2412277A (en) | 1978-10-12 |
AU512473B2 (en) | 1980-10-16 |
ES457593A1 (es) | 1978-03-16 |
FI61857B (fi) | 1982-06-30 |
ES457594A1 (es) | 1978-03-16 |
DE2716183A1 (de) | 1977-10-27 |
IL51828A (en) | 1980-12-31 |
FI771065A (de) | 1977-10-14 |
ZA772110B (en) | 1978-12-27 |
IL51828A0 (en) | 1977-06-30 |
MX4559E (es) | 1982-06-14 |
GB1516032A (en) | 1978-06-28 |
BE853198A (fr) | 1977-10-04 |
NL7703994A (nl) | 1977-10-17 |
DK151577A (da) | 1977-10-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |