DE2716183A1 - Verfahren und vorrichtung zur ausbildung einer beschichtung aus einem metall oder einer metallverbindung auf einer flaeche - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur ausbildung einer beschichtung aus einem metall oder einer metallverbindung auf einer flaecheInfo
- Publication number
- DE2716183A1 DE2716183A1 DE19772716183 DE2716183A DE2716183A1 DE 2716183 A1 DE2716183 A1 DE 2716183A1 DE 19772716183 DE19772716183 DE 19772716183 DE 2716183 A DE2716183 A DE 2716183A DE 2716183 A1 DE2716183 A1 DE 2716183A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coating
- stream
- zone
- glass
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45582—Expansion of gas before it reaches the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/06—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
- C03C17/09—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/06—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
- C03C17/10—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals by deposition from the liquid phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/25—Oxides by deposition from the liquid phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/407—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45595—Atmospheric CVD gas inlets with no enclosed reaction chamber
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/211—SnO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/229—Non-specific enumeration
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/11—Deposition methods from solutions or suspensions
- C03C2218/112—Deposition methods from solutions or suspensions by spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
Description
MÜLLER-BORG · DEUFEL · SCHÖN · HJ?R«L
PATENTANWÄLTE J'J
/0
DR. WOLFGANG MÜLLER-BOR^ (PATENTANWALT VON 1927- 1975)
DR. PAUL DEUFEL. DIPL-CHEM. DR. ALFRED SCHÖN. DIPL.-CHEM.
WERNER HERTEL. DIPL.-PHYS.
München, den 1 2. APR. 1977
Hl/ma - B 1309
BFG GLASSGROUP
Rue Caumartin, 13
Paris / Frankreich
Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung einer Beschichtung aus
einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche
709843/0888
β MÜNCHEN 88-SIBBERTSTR. 4-POSTFACH 86 07Ü0 -KAUEL: MtJEBOPAT-TEt. (089) 47 4003 -TELEX 3-34283
Λ»
DR. WOLFGANG MÜLLER-BOR^ (PATENTANWALTVON 1927-1975)
DR. PAUL DEUFEL. DIPL.-CHEM. OR. ALFRED SCHON. DIPL.-CHEM.
WERNER HERTEL. DIPL.-PHVS.
München, den Hl/ma - B 1309
Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung einer Beschichtung aus
einem Metall oder einer Metal!verbindung auf einer Fläche
Die Erfindung betrifft ein Verfah""n _ur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metal!verbindung auf
einer Fläche eines kontinuierlich longitudinal beweglichen Glasbandes, indem diese, auf erhöhter Temperatur befindliche
Fläche mit einem fluiden Medium in Kontakt gebracht wird, das aus mindestens einer Substanz besteht oder wenigstens eine
Substanz enthält, die chemische Reaktionen oder Zersetzungen zur Ausbildung des Metalls oder MetaΠ verbindung auf der Fläche
durchmacht.
Außerdem bezieht die Erfindung sich auf eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens.
-2-
709843/0888
B MITWCHEK 8· · SIEBERTSTR. 4 · POSTFACH 890730 · KABEL·: MTJEBOPAT · TEL·. (089) 474003 · TEISX B-MMS
Verfahren der oben beschriebenen Gattung werden verwendet, um Beschichtungen auszubilden, welche die scheinbare bzw.
visuelle Farbe des Glases modifizieren und/oder einige andere gewünschte Eigenschaften in bezug auf die einfallen
de Strahlung haben, beispielsweise die Eigenschaft , Infrarotstrahlung zu reflektieren.
Bei einigen herkömmlichen Verfahren wird bzw. werden die
Substanz (en) , die zur Ausbildung der gewünschten Beschichtung auf dasGIasband aufgebracht werden soll (en),
in der flüssigen Phase zugeführt, beispielsweise durch Sprühen bzw. Spritzen. In anderen Fällen werden solche Substanzen
in der Gasphase zugeführt.
Es hat sich jedoch herausgestellt, daß diese herkömmlichen
Verfahren nicht geeignet sind, zuverlässig qualitativ hochwertige Beschichtungen auszubilden, wie sie manchmal von
der Industrie verlangt werden. Durch die herkömmlichen Verfahren
hergestellten Beschichtungen haben diese hohen Qualitätsanforderungen in bezug auf ihre Leistung unter verschiedenen
Tests nicht erfüllt, die sich auf ihre Wirkung auf einfallende elektromagnetische Strahlung beziehen. Es ist immer
schwierig, eine ununterbrochene Bedeckung der Substratoberfläche durch eine Beschichtung mit im wesentlichen gleichmäßiger
Dicke sicherzustellen; selbst wenn diese Bedingungen jedoch erfüllt werden, so stellt sich oft heraus, daß das
Strahlungs-Reflexions- oder Absorptionsvermögen der Beschichtung
sich von einem Bereich zu einem anderen Bereich verändert.
Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Beschichtung einer Fläche zu schaffen, bei
dem sich die Qualitätsnormen, die mit den herkömmlichen Verfahren
erreicht werden können, leichter erreichen lassen oder verbessert werden.
-3-
709843/0888
16183
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer
Metall verbindung auf einer Fläche eines kontinuierlich
longitudinal beweglichen Glasbandes geschaffen, indem diese, auf erhöhter Temperatur befindliche Fläche in einer
Zone längs der Bahn des Bandes mit einem fluiden Medium in Berührung gebracht wird, das aus mindestens einer Substanz besteht oder mindestens eine Substanz enthält,
die eine chemische Reaktion oder Zersetzung durchmacht, um auf der Fläche das Metall oder die Metall verbindung
auszubilden, wobei sich dieses Verfahren dadurch auszeichnet, daß wenigstens ein Teil des fluiden Mediums gegen die
Fläche als Strom oder Ströme abgegeben wird, der oder wenigstens einer von denen eine Geschwindigkeitskomponente
in der Bewegungsrichtung des Bandes hat und zu der Fläche so geneigt ist, daß der spitze oder mittlere spitze Einfallswinkel dieses Stroms auf die Fläche, in einer senkrecht zu der Fläche und parallel zu der Richtung der Bandverschiebung verlaufenden Ebene gemessen, nicht mehr als
60° beträgt.
Eine Untersuchung der durch Verfahren nach der vorliegenden Erfindung hergestellten Beschichtungen unter dem Mikroskop hat gezeigt, daß sie sich durch eine das Glas berührende Schicht mit homogenem Aufbau auszeichnen, dessen wesentliches Merkmal die regelmäßige Anordnung der Kristalle ist; es
wird angenommen, daß die Qualitätsnormen, die mit diesem Verfahren erreicht werden können, hierauf zurückzuführen sind.
In einigen Fällen kann auf mindestens einer solchen gut strukturierten Schicht, wie sie oben beschrieben wurde,mindestens eine weitere, obere Schicht gelegt werden, die eine
weniger regelmäßige Struktur hat und bestimmte Dickenänderungen zeigt. Ob dieser Effekt vorliegt oder nicht,
709843/0888
hängt teilweise von der Gesamtdicke der Ablagerung sowie von anderen Faktoren ab, die gesteuert werden können, wie im folgen
den beschrieben werden soll. Wenn eine solche obere Schicht mit unzureichender struktureller Qualität vorhanden ist, so
kann sie durch eine Nachbehandlung entfernt werden, wie noch erläutert werden soll.
Die Erfindung ist insbesondere geeignet, um Beschichtungen aus Metalloxiden in guter Qualität auszubilden.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform beträgt der oben erwähnte oder mittlere Einfallswinkel des oder wenigstens
eines Fluidstroms nicht mehr als 45°. Wenn ein solcher maximaler Winkel eingehalten wird, so ist die strukturelle
Qualität wenigstens einer Bodenschicht der aufgebrachten Beschichtungen im allgemeinen höher, wenn die anderen Bedingungen gleich sind.
Die Erfindung umfaßt auch Verfahren, bei denen der oder wenigstens ein Fluidstrom ein paralleler Strom ist, bei dem
alle Teile im wesentlichen den gleichen Einfallswinkel auf das Band haben.
Wenn ein Fluidstrom verwendet wird, der von seiner Quelle divergiert, so trifft selbstverständlich ein Teil des den
Strom bildenden fluiden Mediums auf die Glasfläche in einem spitzen Winkel auf, der größer als der mittlere spitze Einfallswinkel dieses Stroms ist. Unter Berücksichtigung des
mittleren Einfallswinkels des oder wenigstens eines Stroms und seines Divergenzwinkels von seiner Quelle ist es für die
erhaltenen Ergebnisse wesentlich, daß alle Teile des Stroms eine Geschwindigkeitskomponente in Bewegungsrichtung des
Bandes haben, und auf die Glasfläche in einem relativ großen
-5-
709843/0888
Winkel zur Vertikalen auftreffen. Nach einer bevorzugten Ausführungsform sollte der Divergenzwinkel des Stroms, gemessen in einer zu der zu beschichtenden Glasfläche senkrechten und zu der longitudinalen Abmessung des Bandes parallelen Ebene^nicht mehr als 30° betragen.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform ist der Fluidstrom
oder wenigstens einer der Fluidströme, wenn mehr als einer vorhanden ist, zu der zu beschichtenden Fläche so geneigt,
daß jeder Teil dieses Stroms mit der Glasfläche in einer zu der Fläche senkrechten und zu der longitudinalen Abmessung des Bandes parallelen Ebene einen spitzen Einfallswinkel von nicht mehr als 60° bildet. Nach besonders zweckmäßigen Ausführungsformen der Erfindung beträgt dieser Einfallswinkel für jeden Teil des Stroms nicht mehr als 45°.
Wenn zwei oder mehr Ströme des fluiden Mediums gegen die
Glasfläche abgegeben werden, so kann es sich dabei um Ströme mit verschiedenen Massen bzw. Zusammensetzungen handeln, die
jeweils eine Metall verbindung und ein Oxydiermittel enthalten, das mit der Verbindung bzw. Masse unter Pyrolyse reagiert, um auf dem Glas eine Beschichtung aus einem Metalloxid auszubilden; gute Ergebnir^e 'cnnen erhalten werden, wenn
einer oder mehrere jedoch nicht alle dieser Ströme auf das Glas in einem Winkel oder mittleren Winkel von nicht mehr als
60° treffen, wie oben erwähnt wurde. Es wird jedoch angestrebt, daß alle Ströme die oben angegebene Bedingung für den
maximalen Winkel erfüllen.
Es ist nicht wesentlich, daß alle gewünschten fluiden Medien als Strom oder Ströme gegen die zu beschichtende
Bandfläche abgegeben werden. Bei einigen Ausgestaltungen
des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung wird ein Teil des fluiden Mediums, mit dem die Bandfläche in der
Zone in Berührung gebracht wird, veranlasst, durch die
-6-709843/0888
^7 16
Wirkung des Fluidstroms bzw. der Fluidströme zu der Zone
zu fließen. So kann beispielsweise eine Beschichtung durch die Reaktion von Substanzen ausgebildet werden, von denen
eine in einem geneigten Fluidstrom gegen die Bandfläche abgegeben wird, während die andere der Substanzen einen Fluidstrom
bildet oder in einem Fluidstrom getragen wird, dessen Strömung in die Zone geleitet wird, wo der Strom auf die Fläche auftrifft.
In einem speziellen Beispiel wird eine Beschichtung aus einem Metalloxid ausgebildet, indem eine verdampfte Metall verbindung
als Strom gegen die Glasfläche gerichtet bzw. abgegeben wird; das Moment bzw. der Impuls und die Neigung dieses Stroms sind
so ausgelegt, daß eine Luftströmung zu dieser Zone erzeugt wird, wodurch eine Beschichtung aus dem Metalloxid in der Zone
ausgebildet wird. Diese induzierte Strömung kann horizontal oder in einer Neigung zu der Glasfläche verlaufen. Statt einen
geneigten Strom zu verwenden, um eine Strömung aus Luft oder einem anderen fluiden Medium zu der Beschichtungszone zu induzieren, kann eine solche Strömung auch auf anderem Wege
herbeigeführt werden, indem beispielsweise eine Strömung dieses fluiden Mediums in die Zone längs einer Bahn getrieben
wird, die parallel zu der zu beschichtenden Bandfläche verläuft.
Das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung kann zweckmäßigerweise in vielen, bereits existierenden Anlagen zur Herstellung von Flachglas durchgeführt werden, wobei die Anlage
nur wenig oder gar nicht modifiziert werden muß. Die Leichtigkeit, mit der sich dies erreichen läßt, läßt sich teilweise
auf den einfachen Aufbau zurückführen, mit dem die Fluidausgabeeinrichtung aufgenommen werden kann, wenn sie so angeordnet wird, daß sie mindestens einen Fluidstrom in einer Neigung zu der Fläche des Glasbandes richtet.
Eine besondere Bedeutung haben die Verfahren nach der vorliegenden Erfindung, bei denen die Fläche, auf der die Beschichtung
-7-709843/0888
ausgebildet wird, die obere Fläche eines kontinuierlichen Bandes aus Float-Glas ist, das gerade hergestellt wird. Auf diesem Anwendungsgebiet werden Verfahren bevorzugt, bei denen der
oder jeder Fluidstrom auf die obere Fläche des Bandes in einer Zone auftrifft, die sich in Strömungsrichtung gesehen hinter
dem Float-Tank befindet und eine Zone ist, in der die Temperatur des Glases im Bereich von 100° bis 650° C liegt.
Zur Ausbildung einer Beschichtung, die über ihre gesamte Dicke eine regelmäßige Struktur besitzt, wie es oben erwähnt wurde,
ist es zweckmäßig, für die Dicke der Beschichtung eine relativ hohe Wachstumsgeschwindigkeit zu erreichen. Die Wachstumsgeschwindigkeit der Schichtdicke wird durch die Geschwindigkeit des Bandes und die Volumengeschwindigkeit der Zuführung
der Beschichtungssubstanz (en) zu der Beschichtungszone beeinflusst, wenn die übrigen Beschichtungsbedingungen gleich
bleiben. Die Wachstumsgeschwindigkeiten, die in einem bestimmten Verfahren im Einklang mit der Homogenität der Beschi'chtungsstruktur realisiert werden können, hängen von der Art
der verwendeten Beschichtungssubstanz (en) und ihrem physikalischen Zustand ab, wenn sie der Beschichtunszone zugeführt
wird.
Zweckmäßigerweise werden die Bewegungsgeschwindigkeit des
Glasbandes und die Volumengeschwindigkeit der Zuführung der
Substanz (en) zu der Beschichtungszone so ausgelegt, daß die Wachstumsgeschwindigkeit der Beschichtungsdicke wenigstens
1000 μ der Schichtdicke pro Sekunde beträgt.
Sehr gute Ergebnisse sind bei Verfahren erhalten worden, bei
denen die Wachstumsgeschwindigkeit der Dicke 1200 8 /see. und
sogar 1500 8 /see. betrug.
Bei bestimmten Ausführungsformen der Erfindung wird nach der Beschichtung eines bestimmten Bereiches des Bandes die Be-
709843/0888
/V1618.'
schichtung auf diesem Bereich einer Oberflächenbehandlung unterworfen,
wodurch mindestens eine obere Schicht der Beschichtung entfernt wird. Eine solche Oberflächenbehandlung ist nicht
erforderlich, wenn die ursprünglich hergestellte Beschichtung
über ihre gesamte Dicke die Anforderungen an die Qualität ihrer Struktur erfüllt. Eine solche Behandlung kann jedoch in allen
Fällen ohne nachteilige Wirkung durchgeführt werden und hat im allgemeinen einige Vorteile in bezug auf die Qualität der Beschichtung.
Beispielsweise wird eine Abträgung mittels einer Suspension aus Aluminiumoxid in destilliertem Wasser
erreicht. Dieses Medium kann einige Minuten lang in einer Drehbewegung über die Beschichtung ge-rieben bzw. gewischt bzw. geschleift
werden, und zwar mittels eines Tuchs oder einer Bürste; anschließend kann die Beschichtung durch Abspülen von dem AIuminiumoxidpulver
befreit werden.
Unter dem Gesichtspunkt der Qualität der Beschichtung werden die besten Ergebnisse erreicht, wenn die Dicke der auf der
Glasfläche ausgebildeten Beschichtung im Bereich von 100 bis 10.000 8 oder mehr liegt.
Ein weiteres, bei Bedarf einzusetzendes, jedoch zweckmäßiges Merkmal ist die Ausübung einer Kraft durch eine äußere Vorrichtung
auf den oder die Fluidströme, um den Gasstrom von der
Beschichtungszone und der Quelle dieses Stroms bzw. dieser Ströme wegzuhalten. Dieses Merkmal begünstigt die Ausbildung
von qualitativ sehr hochwertigen Beschichtungen, beispielsweise Beschichtungen mit einer Dicke und optischen Eigenschaften,
die über eine große Fläche sehr gleichmäßig sind. Nach einer bevorzugten Ausführungsform werden Saugkräfte ausgeübt, um
Gas von der Beschichtungszone und der Quelle für den bzw. die Fluidströme wegzuziehen. Die Aufrechterhaltung dieser Gasströmung
trägt dazu bei, die Ausbildung dickerer Schichten mit guter Struktur zu ermöglichen, ohne daß die Beschichtung einer
Nachbehandlung unterworfen werden muß, um die obere Schicht
-9-709843/0888
der Beschichtung zu entfernen.
Bei bestimmten AusfUhrungsformen der Erfindung wird (werden)
die Substanz (en), die chemisch reagiert oder sich zersetzt, der Fläche in der Gasphase zugeführt.
Nach einer bevorzugten AusfUhrungsform handelt es sich bei
dem Strom bzw. den Strömen, die gegen die Glasbandfläche gerichtet werden, um Gasströme, die so abgegeben werden, daß
dieser Strom bzw. diese Ströme die Bandfläche gleichzeitig an '
allen Stellen über die gesamte oder im wesentlichen die gesamte Bandbreite berührt (berühren). Wird das Verfahren so durchgeführt, so können Beschichtungen sehr rasch aufgebaut werden,
beispielsweise mit einer Geschwindigkeit von wenigstens 700 Ä
Schichtdicke pro Sekunde. Solche Ausführungsformen dürften dann besonders wesentlich sein, wenn Glasbänder bei kontinuierlicher Herstellung mit hohen Geschwindigkeiten beschichtet
werden sollen, beispielsweise bei Geschwindigkeiten von mehr als 2 Meter pro Minute und sogar mehr als 10 Meter pro Minute,
wie sie oft mit dem Float-Verfahren erreicht werden.
Das Verfahren ist sehr geeignet, um Beschichtungen aus Metalloxiden aus mindestens einer Substanz auszubildende in-der. Gasphase zugeführt wird. Es können jeaocn Beschichtungen aus anderen Metallverbindungen aus der Gasphase hergestellt werden; so
kann beispielsweise eine Beschichtung aus Metallboriden,
-sulfiden, -nitriden, -carbiden oder -arseniden durch Reaktion einer entsprechenden metallorganischen Verbindung mit einer halogenierten Borverbindung, H2S, NH3, CH4 oder einer Arsen enthaltenden Verbindung in Abwesenheit von Sauerstoff hergestellt
werden. Metall beschichtungen können auch aus der Gasphase aufgebracht werden. Beispielsweise kann eine Beschichtung aus
Nickel ausgebildet werden, indem Nickel-Karbonyl in einer reduzierenden Atmosphäre oder wenigstens ohne Sauerstoff unter
der Wirkung von Wärme zersetzt wird, die durch das erwärmte
-10-
709843/0888
-«- ^ 7 1618-
to
Band zugeführt wird.
Bei einigen Ausführungsformen, bei denen eine Beschichtung aus einem Metalloxid aus der Gasphase hergestellt wird, werden
einer solchen Bandfläche an der Reaktionszone kontinuierlich ein Strom aus Sauerstoff oder einem Sauerstoff enthaltenden
Gas und ein getrennter Strom einer verdampften Metallverbindung zugeführt, mit der Sauerstoff reagiei't, um auf der zu beschichtenden
Bandfläche eine Beschichtung aus einem Metalloxid auszubilden. Nach einer speziellen und wesentlichen Ausführungsform
wird ein Strom aus einer verdampften Zinnverbindung sowie mindestens
ein Strom eines Sauerstoff enthaltenden Gases verwendet, um eine Beschichtung aus Zinnoxid herzustellen. Selbstverständlich
können jedoch auch Beschichtungen aus verschiedenen anderen Metalloxiden auf diese Weise hergestellt werden, beispielsweise
eine Beschichtung aus Titandioxid, indem Titantetrachlorid mit Sauerstoff zur Reaktion gebracht wird. Die verdampfte Metallverbindung
wird üblicherweise durch ein inertes Gas verdünnt, beispielsweise Stickstoff, während der Dampftstrom zusätzliche
Bestandteile enthalten kann, um die Eigenschaften der Beschichtung zu beeinflussen bzw. zu modifizieren. Beispielsweise kann
der Dampf strom Antimonchlorid enthalten, um zusammen mit dem wesentlichen
Oxidbestandteil der Beschichtung Antimontrioxid zu bilden.
Statt die Substanz(en), die chemisch reagieren oder zersetzt wird
(werden), in Gasform zuzuführen, kann die gewünschte Beschichtung aus Metall oder einer Metall verbindung auch aus einer Verbindung
in der flüssigen Phase ausgebildet werden. Die Erfindung umfaßt also auch Verfahren, bei denen das fluide, gegen die Fläche des
Glasbandes gerichtete Medium wenigstens einen Tröpfchenstrom aus einer Metallverbindung aufweist, die durch Pyrolyse auf dieser
Fläche die Beschichtung aus dem Metall oder der Metallverbindung bildet.
- 11 -
709843/0888
^ 271618.:
Die Erfindung umfaßt beispielsweise Verfahren, bei denen das gegen die Glasbandfläche gerichtete fluide Medium wenigstens
einen Tröpfchenstrom aus einer flüssigen Masse bzw. Flüssigkeit aufweist, die ein Metallsalz enthält, das durch Pyrolyse
eine Beschichtung aus einem Metalloxid bildet. Bei bestimmten, sehr vorteilhaften Verfahren wird wenigstens ein Tröpfchenstrom eingesetzt, der Tröpfchen aus einem wässrigen oder nicht
wässrigen, ein Zinnverbindung, wie beispielsweise SnCL·, enthaltenden Medium aufweist, um eine Beschichtung aus Zinnoxid ,
herzustellen. Das erwähnte Medium kann ein Dotiermittel enthalten, wie beispielsweise eine Substanz, die Antimon-, Arsenoder Fluor-Ionen liefert. Das Metallsalz kann mit einem Reduziermittel eingesetzt werden, wie beispielsweise Phenylhydrazin, Formaldehyd, Alkohole und keinen Kohlenstoff enthaltende
Reduziermittel, wie beispielsweise Hydroxylamin und Wasserstoff. Statt oder zusätzlich zu Zinn (IV)-Chlorid können auch andere
Zinnsalze eingesetzt werden, wie beispielsweise Zinnoxalat oder Zinnbromid. Zu Beispielen für Beschichtungen aus andererv Metalloxiden, die auf ähnliche Weise ausgebildet werden können, gehören Oxide von Kadmium, Magnesium und WoIfram sowie Gold. Zur Herstellung dieser Beschichtungen kann die Beschichtungsmasse in
ähnlicher Weise präpariert werden, indem eine wässerige oder organische Lösung einer Verbindung des Metalls und eines Reduziermittels hergestellt wird. Als weiteres Beispiel kann die
Beschichtung auch eingesetzt werden, um durch Pyrolyse von metel!organischen Verbindungen Beschichtungen auszubilden, beispielsweise ein Metallazetylazetonat, das der zu beschichtenden Substratfläche in Tröpfchenform zugeführt wird. Weiterhin
kann gemäß der vorliegenden Erfindung auch eine Salze verschiedener Metalle enthaltende Masse zugeführt und aufgebracht werden, so daß eine Metal!beschichtung entsteht, die ein Gemisch
von Oxiden verschiedener Metalle enthält.
Bei einigen Ausführungsformen der Verbindung wird wenigstens ein Tröpfchenstrom eingesetzt, der quer zu der Bandbahn hin-
-12-709843/0888
und herverschoben wird. Durch die Durchführung des erfindungs gemäßen Verfahrens auf diesem Wege kann ein Glasband im wesentlichen
über seine gesamte Breite beschichtet werden, obwohl nur ein einziger Tröpfchenausgabekopf mit kleinen Abmessungen
eingesetzt wird, so daß sich die Zuführgeschwindigkeit der Metal!verbindung leicht steuern läßt.
Bei alternativen Ausführungsformen, die ebenfalls mit der Zuführung von Tröpfchen arbeiten, wird mindestens ein Tröpfchenstrom
verwendet, dessen Auftreffzone oder kombinierte
Auftreffzonen auf das Glasband sich im wesentlichen über die gesamte Breite des Bandes erstrecken. In diesem Fall kann
das gesamte Band beschichtet werden, ohne daß die Quelle (n) für den Tröpfchenstrom (bzw. die Tröpfchenströme) verschoben
wird. Darüberhinaus kann die Flächenbeschichtungsgeschwindigkeit
relativ hoch sein, so daß dieses Verfahren leicht zur Beschichtung eines relativ schnell bewegten Glasbandes eingesetzt
werden kann, wenn es von der Anlage zur Fertigung bzw. Formung des Bandes transportiert wird.
Aus Experimenten hat sich ergeben, daß gute Ergebnisse begünstigt werden, wenn bestimmte Bedingungen in bezug auf den
Abstand zwischen der zu beschichtenden Glasfläche und der Stelle beachtet werden, von der aus der oder jeder Tröpfchenstrom
zu der Fläche gerichtet bzw. abgegeben wird. Nach einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich diese Stellen für
den oder jeden Strom in einem Abstand von der Fläche, der, senkrecht zu dieser Fläche gemessen, von 15 bis 35 cm reicht.
Dieser Abstandsbereich ist sehr zweckmäßig, und zwar insbesondere dann, wenn die bevorzugten Bereiche für die Neigung und
Divergenz der Tröpfchenströme bzw. des Tröpfchenstroms beachtet werden, wie sie oben erwähnt wurden.
-13-
709843/0888
Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung, die für die
Herstellung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Meta11 verbindung auf einer Fläche eines Glasbandes durch das
Verfahren nach der vorliegenden Erfindung geeignet ist, wie es hier definiert wurde. Die Vorrichtung nach der vorliegenden
Erfindung weist eine Einrichtung zur Halterung eines kontinuierlich longitudinal beweglichen, erwärmten Glasbandes sowie eine
Einrichtung auf, die ein fluides Medium gegen eine Fläche dieses Bandes abgibt bzw. richtet, und zeichnet sich dadurch aus,
daß die Abgabeeinrichtung so konstruiert und angeordnet ist, daß sie wenigstens einen Strom eines fluiden Mediums gegen die
Fläche 1n eine Richtung abgibt, die zu der Fläche so geneigt 1st, daß der Strom eine Geschwindigkeitskomponente in Bewegungsrichtung des Bandes hat, wobei der spitze oder mittlere spitze
Einfallswinkel des Stroms auf die Fläche, in einer senkrecht zu der Fläche und parallel zu der longitudinalen Richtung des
Bandes gemessenen Ebene,nicht mehr als 60° beträgt.
Die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung, wie sie oben definiert wurde, kann eins oder mehrere Merkmale aufweisen,
so daß eins oder mehrere der oben erwähnten, bei Bedarf einzusetzenden Verfahrensmerkmale verwendet werden können. Beispielsweise umfasst die Erfindung auch eine Vorrichtung, wie
sie oben definiert wurde, bei der eine Gasauslaßeinrichtung
vorgesehen ist, um Saugkräfte zu erzeugen, die während des Betriebes der Vorrichtung eine Gasströmung von dem Bereich weg,
in dem der Strom (bzw. die Ströme) des fluiden Mediums in Kontakt mit dem Glasband kommt (bzw. kommen), und von der Quelle
dieses Stroms (bzw. dieser Ströme) weg aufrechterhalten; zusätzlich oder als Alternative hierzu kann eine Einrichtung
vorgesehen sein, welche die Abgabeeinrichtung quer zu der Bandbahn hin- und herverschiebt.
Nach besonders zweckmäßigen Ausführungsformen der Vorrichtung nach der Erfindung wird sie in Strömungsrichtung gesehen hinter einem Float-Tank installiert, um die obere Fläche eines
-14-709843/0888
V 1618-
Bandes aus Float-Glas zu beschichten, wenn es von dem Tank weg
transportiert wird.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die beiliegenden, schematischen Zeichnungen näher erläutert. Diese Zeichnungen weisen Fig. 1 bis 4 auf, die
Seitenansichten von wesentlichen Teilen vier verschiedener Beschichtungsvorrichtungen nach der vorliegenden Erfindung darstellen.
Jede der dargestellten Ausführungsformen der Beschichtungsvorrichtungen ist so installiert, daß sie zur Beschichtung eines
kontinuierlichen, longitudinal beweglichen Glasbandes eingesetzt wird, wenn es aus einer Fabrikationsanlage kommt.
In Fig. 1 ist das Glasband 1 im Verlauf seines Transportes auf Walzen 3 in die durch den Pfeil 2 angedeutete Richtung durch ein
Abteil bzw. einen abgetrennten Raum 4 in einer Fertigungsstrecke mit hitzebeständigen Dach- und Sohlenwänden 5 und 6 gezeigt. An
den Enden des abgetrennten Raums sind verschiebbare, hitzebeständige Abschirmungen 7, 8 vorgesehen. Eine Sprüheinrichtung, beispielsweise ein Sprühpistole, ist über der Bahn des Glasbandes
angebracht, um einen Tröpfchenstrom 10 zu und in einer Neigung zu der oberen Fläche des Bandes zu richten. Die Sprüheinrichtung
kann beispielsweise dazu verwendet werden, eine oder mehrere
Substanzen enthaltende Flüssigkeiten zu versprühen; diese Substanzen zersetzen sich oder reagieren an der oberen Fläche des
Bandes, so daß darauf eine Beschichtung entsteht. Die mittlere Achse des Tröpfchenstroms verläuft in einer Ebene, die parallel
zu der Bewegungsrichtung des Bandes und zu den Bandflächen in einem Winkel von nicht mehr als 60° geneigt ist. Ein Mechanismus (nicht dargestellt) dient dazu, die Sprüheinrichtung längs
einer horizontalen ffiftWzur Bewegungsrichtung des Glasbandes
hin-und herzuverschieben.
-15-
709843/0888
tr
Der abgetrennte Raum 4 bildet einen Teil einer Kühlstrecke, die einem Float-Tank zugeordnet ist, um ein Band aus Floatglas
herzustellen. Die gleiche Beschichtungsvorrichtung kann auf die gleiche Weise in einer Kühlstrecke installiert und eingesetzt werden, die sich in der Nähe der Ziehkammer einer
Libbey-Owens-Ziehmaschine für Glasscheiben befindet, d.h., sich an diese Kammer anschließt.
Statt die Beschichtungsvorrichtung in einem Teil einer Strecke anzuordnen, in der die Kühlung des Bandes aus Floatglas durchgeführt wird, könnte die Beschichtungsvorrichtung zur Beschichtung des Glasbandes auch an einer Stelle zwischen dem Float-Tank und der Stelle vorgesehen werden, wo die Kühlung beginnt.
Bei der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung wird ein Glasband
11 in einem Abteil bzw. einem abgetrennten Raum beschichtet, der dem Raum 4 von Fig. 1 entspricht. Der abgetrennte Raum bildet einen Teil einer Strecke mit Dach- und SoHenwänden 13, 14
sowie Endabschirmungen 15, 16. Zwei Zuführkanäle 17, 18 erstrekken sich im wesentlichen über die gesamte Breite der Bandbahn
und dienen dazu, Ströme von gasförmigen Substanzen von Gasbehältern 19, 20 in einem Winkel dazu gegen die obere Fläche
des Glasbandes zu richten, wenn das Band in Richtung des Pfeils 21 auf Walzen 22 transportiert wird. Beispielsweise können verschiedene, verdampfte Substanzen, die in Strömen von Trägergas
mitgerissen werden, längs der Zuführkanäle 17 und 18 so ausgegeben werden, daß die Substanzen in der Nähe der oberen Fläche
des Bandes reagieren und darauf eine Beschichtung ausbilden. Der Kanal 17 ist zu den Flächen des Glasbandes in einem Winkel
von 45° oder weniger geneigt; der Kanal 18 ist zu dem Kanal 17 in einem Winkel von 20° bis 35° geneigt. Eine Auslaßleitung
23 bildet einen Auslaßdurchgang, der sich im wesentlichen über
die gesamte Breite der Bandbahn erstreckt und in der entgegengesetzten Neigung zu dem Glasband angeordnet ist, wobei das
Eintrittsende des Gasauslasses im allgemeinen zu der Zone zeigt,
-16-709843/0888
^ i 11 ti) a.
»ς
wo die Beschichtung auf dem Band aus den Substanzen ausgebildet wird, die über die Zuführkanäle 17 und 18 abgegeben werden.
Die Auslaßleitung 23 ist mit einer Einrichtung (nicht dargestellt) verbunden, die einen unter Atmosphärendruck liegenden Druck in
der Leitung aufrechterhält, so daß die Gase aus der Beschichtungszone in die Leitung abgezogen werden.
Die in Fig. 3 dargestellte Beschichtungsvorrichtung ist in einem abgetrennten Raum 24 einer Fertigungsstrecke mit DachundSohlenwänden
25, 26 sowie Endabschirmungen 27, 28 installiert. Ein Glasband 29 wird durch die Beschichtungsstation auf Walzen
31 in Richtung des Pfeils 30 transportiert. Die Beschichtungsvorrichtung
weist einen Zuführkanal 32 auf, der dem Zuführkanal 17 oder 18 nach Fig. 2 ähnelt und zu dem Glasband in einem Winkel
von 60° oder weniger geneigt ist. Dieser Zuführkanal kann beispielsweise dazu verwendet werden, zu der oberen Fläche
des Bandes Dämpfe von einer oder mehreren metallischen Verbindungen zu leiten, die in einem Trägergasstrom mitgerissen
werden; dabei handelt es sich um solche Dämpfe, die an der freiliegenden Fläche des heißen Glasbandes reagieren oder sich zersetzen
und dadurch auf dem Glasband eine Schicht aus einem Metalloxid ausbilden. Eine Haube 33 ist vorgesehen, die in einem
kurzen Abstand über dem Glasband angeordnet ist und sich eine bestimmte Strecke in Strömungsrichtung aus der Nähe des Auslaßendes
des Zuführkanals 32 erstreckt. Die Haube weist eine obere Wand auf, die etwas in Strömungsrichtung von der Ebene
des Glasbandes divergiert, wie man in Fig. 3 erkennen kann; außerdem enthält die Haube zwei einander gegenüberliegende
Seitenwände. Zusammen mit der oberen Oberfläche des Glasbandes bildet die Haube also einen Strömungsdurchgang, durch den die
Gase aus dem Zuführkanal 32 abfließen können. Der vertikale Abstand zwischen der oberen Fläche des Glasbandes und dem
oberen Ende der Haube 33 an seinem in Strömungsrichtung gesehen hinteren Ende beträgt nicht mehr als 40 mm. Das Auslaßende
des Zuführkanals 32 ist in einem geringen Abstand
-17-
709843/0888 INSPECTED
<!71618j
über der oberen Fläche des Glasbandes angeordnet, so daß ein Spalt 34 frei bleibt, durch den ein Luftstrom in der Beschichtungszone induziert werden kann, um mit mindestens einer Substanz zufeagieren, die von dem Zuführkanal ausgestoßen wird.
Die in Fig. 4 gezeigte Beschichtungsvorrichtung ist so installiert, daß sie ein Glasband 35 während seines Transportes auf
den Walzen 36 durch einen abgetrennten Raum 37 in Richtung des Pfeils 38 beschichten kann. Der abgetrennte Raum 37 bildet
einen Teil einer Fertigungsstrecke mit Dach- und SoHenwänden
39, 40 sowie Endabschirmungen 41,42. Die Beschichtungsvorrichtung enthält eine Sprüheinrichtung 43, beispielsweise eine
Sprühpistole, die in ähnlicher Weise wie die Sprüheinrichtung 9 nach Fig. 1 angeordnet ist, um einen Tröpfchenstrom abzugeben, während sie quer zu der Bahn des transportierten Glasbandes hin- und herverschoben wird. In Strömungsrichtung gesehen
hinter der Beschichtungszone befindet sich eine Auslaßleitung 44, die sich ebenfalls im wesentlichen über die gesamte Breite
der Glasbandbahn erstreckt. Diese Leitung weist eine schlitzförmige Düse 45 auf, die im allgemeinen der Beschichtungszone
zugewandt und mit einer Einrichtung (nicht dargestellt) verbunden ist, um in der Leitung einen unter Atmosphärendruck liegenden Druck aufrechtzuerhalten, so daß die Gase kontinuierlich
über ihre Düse in die Leitung gesaugt und aus der Vorrichtung ausgestoßen werden. Die Saugkräfte sind über die gesamte Breite
des Glasbandes im wesentlichen gleichmäßig. Ein Dach bzw. eine Schutzhaube 46 erstreckt sich gegen die Strömungsrichtung von
der oberen Wand der Düse 45 bis zu einer Stelle, die über die Zone reicht, in welcher der von der Sprüheinrichtung 43 ausgegebene Strom auf das Glasband auftrifft.
Jede der unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 4 beschriebenen Beschichtungsvorrichtungen könnte wie die unter Bezugnahme auf
Fig. 1 beschriebene Beschichtungsvorrichtung in einer Fertigungsstrecke installiert werden, die einem Float-Tank oder einer
-18-709843/0888
Glasscheibenziehmaschine zugeordnet ist.
Es sind folgende Modifikationen der in den Fig. 1 und 4 gezeig'ten
Vorrichtungen möglich: die einzelne Sprüheinrichtung könnte durch mehrere Sprüheinrichtungen ersetzt werden, die
Seite an Seite nebeneinander über der Vorrichtung so angebracht sind, daß die von ihnen abgegebenen Ströme sich gemeinsam
über die gesamte Breite des zu beschichtenden Bandes erstrecken. Bei einer solchen Vorrichtung können die Sprüheinrichtungen
selbstverständlich während der Beschichtung stationär
bleiben. Als Alternative zu mehreren einzelnen Sprüheinrichtungen kann ein Ausgabekopf vorgesehen sein, der sich
über die Bandbahn erstreckt und mehrere Sprühöffnungen aufweist, die über seine Länge auf ihm verteilt sind.
Im folgenden sollen anhand von Beispielen verschiedene Verfahren nach der vorliegenden Erfindung erläutert werden, bei
denen Vorrichtungen eingesetzt werden, wie sie oben unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben wurden.
Eine Vorrichtung, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist, wurde zur Beschichtung eines Glasbandes im Laufe seiner Herstellung in
einer Libbey-Owens-Ziehmaschine verwendet. Die Beschichtungsvorrichtung wurde so angeordnet, daß das Glasband an einer Stelle
besprüht wurde, an der die Glastemperatur in der Größenordnung von 6000C lag. Die Sprühkanone 9 hatte den üblichen Aufbau,
wurde quer zu der Bandbahn hin- und herbewegt und mit einem Druck betrieben, der in der Größenordnung von einigen Kilogramm
pro Quadratzentimeter lag. Die Sprühkanone wurde so gerichtet, daß der Winkel zwischen dem Glasband und der Achse des Sprühnebels
30° betrug, während der Kegelwinkel der Sprühkanone bzw.
der Sprühöffnungswinkel 20° betrug.
-19-
709843/0888
V 1618-
Der Sprühkanone wurde eine wässrige oder organische Lösung von Zinnchlorid zugeführt, beispielsweise eine Lösung, die
auf folgende Weise erhalten wurde: in Wasser wurden 400 g pro Liter Zinnchloridhydrat (SnCl2.2H20) aufgelöst und NH4HF2
in einer Menge von 65 g pro Liter zugesetzt. Bei Berührung mit dem heißen Glasband wurde auf dem Glas eine Beschichtung aus
mit Fluor-Ionen dotiertem Zinnoxid ausgebildet. Die Abgabe der SprUhkanone wurde auf einen solchen Wert eingestellt,
daß die Beschichtung eine Dicke von 8400 8 hatte.
Unter reflektiertem Licht betrachtet hatte die Beschichtung einen neutralen Farbton. Die Beschichtung hatte eine hohe
Durchlässigkeit für sichtbares Licht und ein sehr hohes Reflexionsvermögen für Strahlung im fernen Infrarotbereich des
Wellenlängenbandes. Die Beschichtung hatte eine gute elektrische Leitfähigkeit.
Eine mikroskopische Untersuchung der Beschichtung zeigte, daß sie eine homogene Struktur mit einer regelmäßigen Anordnung von Kristallen in Kontakt mit dem Glas hatte.
Bei einem weiteren Verfahren nach der vorliegenden Erfindung
wurde ebenfalls nach dem oben beschriebenen Ablauf gearbeitet; der SprUhkanone wurde jedoch eine wässrige Lösung von TiCl.
zugerührt, so daß auf dem Glasband eine Beschichtung aus TiCL mit einer Dicke von 800 Ä entstand.
Eine Beschichtungsvorrichtung, wie sie in Fig. 2 dargestellt ist, wurde zur Beschichtung eines Bandes Floatglas im Verlaufe
seines Transportes aus dem Float-Tank verwendet.
-20-709843/0888
von SbCIr, die in einem Sauerstoffstrom mitgerissen wurden,
wurde durch den Zuführkanal 7 gegen das Glasband gerichtet. Durch den Zuführkanal 18 wurde kontinuierlich ein Gasstrom abgegeben.
Die Beschichtungsvorrichtung wurde so angeordnet, daß diese Gasströme auf das Glasband an einer Stelle auftrafen, an
der die Temperatur des Glases 585°C betrug. Bei diesem Verfahren wurde das Ablaßsystem mit der Ablaßleitung 23 nicht verwendet.
An der freiliegenden Fläche des Bandes lief eine Reaktion ab, die zu der Ablagerung einer Schicht aus SnOp führte, die einen
kleinen Anteil Antimonoxid enthielt; die Schicht hatte eine Dicke von 4000 8.
Im reflektierten Licht betrachtet hatte die so hergestellte Beschichtung einen grünlichen Farbton. Die Beschichtung hatte
eine hohe Lichtdurchlässigkeit und ein hohes Reflexionsvermögen für einfallende Strahlung im fernen Infrarotbereich des
Wellenlängenbandes. Darüberhinaus hatte die Beschichtung eine gute elektrische Leitfähigkeit.
Auch in diesem Falle zeigte die überprüfung der Beschichtung ,
daß sie im Kontakt mit dem Glas eine homogene Struktur hatte, die sich durch eine regelmäßige Anordnung der Kristalle auszeichnete.
Bei einer Modifikation des oben beschriebenen Verfahrens wurde der gleiche Ablauf verwendet; außerdem wurde jedoch das Ablaßsystem
betrieben, um über die Auslaßleitung 23 kontinuierliche
Saugkräfte auszuüben. Diese Kräfte dienten dazu, die Dämpfe aus überschüssigen reaktionsfähigen Substanzen und flüchtigen Reaktionsprodukten
aus der Zone zwischen den Zuführkanälen und der Auslaßleitung abzusaugen. Die sich ergebende Beschichtung hatte
über ihre gesamte Dichte eine homogene Struktur; auch die optischen Eigenschaften der Beschichtung erfüllten über eine
-21-
709843/0888 ORIGINAL INSPECTED
271618J
gegebene Fläche sehr hohe Anforderungen. Die Durchlässigkeit der Beschichtung für diffuses Licht war sehr gering.
Die in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung wurde zur Beschichtung eines Glasbandes in einer Beschichtungszone eingesetzt, durch
die das Band geführt wurde; dort betrug die Temperatur des Glases 2000C.
Der Zuführkanal 17 wurde verwendet, um einen Strom aus trockenem Stickstoff, in dem Dämpfe von Bleitetraäthyl Pb (CoHrK
mitgerissen werden, zu der Beschichtungszone zu leiten. Der Zuführkanal 18 diente dazu, einen Strom aus trockenen Stickstoff, in dem Wasserstoffsulfid mitgerissen wird, zu der
Beschichtungszone zu leiten. Dabei wurden Maßnahmen getroffen, um Sauerstoff aus der Umgebung auszuschließen, in der die
Beschichtung durchgeführt wurde und durch die das beschichtete Band sich beim Verlassen dieser Zone bewegte.
Die Abgabe der Gase durch die Zuführkanäle wurde so eingeregelt,
daß eine Bieisuifidbeschichtung mit einer Dicke von 500 A auf dem Glasband ausgebildet wurde. Im reflektierten Licht betrachtet war diese Beschichtung grau. Die Beschichtung hatte eine
homogene Struktur.
Das oben beschriebene Verfahren kann beispielsweise zur Ausbildung von Beschichtungen aus metallischen Nitriden,Karbiden,
Arseniden oder Boriden eingesetzt werden.
Als weiteres Beispiel ist es möglich, eine Beschichtung aus Nickel herzustellen, indem nur einer der Zuführkanäle verwendet
wird; dabei wird die Vorrichtung durch diesen Kanal mit Nickelkarbonyl-Dämpfen beschickt, die sich bei Kontakt mit dem heißen
-22-709843/0888
^71618-
Glas zersetzen, so daß in Situ eine Nickelbeschichtung ausgebildet wird.
Die in Fig. 3 dargestellte Beschichtungsvorrichtung wurde zur Beschichtung eines Bandes aus Floatglas während seines Transportes aus dem Float-Tank verwendet. Bei diesem Verfahren wurde
der Zuführkanal 32 in einem Winkel von 30° zu dem Glasband geneigt und so angeordnet, daß er ein Gasgemisch in Berührung
mit dem Glasband an einer Stelle führt, an der die Temperatur des Glases 585° betrug. Durch den Zuführkanal wurde ein Stickstoffstrom ausgegeben, der SnCl.-Dämpfe und einen kleinen Anteil von SbCl^-Dampf mitriß. Die Ausgabe des Dampfstroms
aus dem Zuführkanal und längs des Glasbandes in seiner Bewegungsrichtung hatte die Wirkung, eine Luftströmung in der Beschichtungszone durch den Spalt 34 zwischen dem Zuführkanal
und dem Glasband zu induzieren. Diese Luft mischte sich mit den abgegebenen Dämpfen, so daß an der Beschichtungszone eine
Reaktion ablief, die zur Ausbildung einer Beschichtung aus Zinnoxid auf dem Glas führte; diese Zinnoxidschicht enthielt
einen kleinen Anteil Antimonoxid als Dotiermittel und hatte eine Dicke von 2500 8 . ,
Die so gebildete Beschichtung hatte im reflektierten Licht betrachtet einen grünen Farbton. Die Beschichtung hatte eine hohe Durchlässigkeit für sichtbares Licht und gutes Reflexionsvermögen für Strahlung im fernen Infrarotbereich des WeIlenlä'ngenbandes. Darüberhinaus hatte die Beschichtung eine gute
elektrische Leitfähigkeit. Die Beschichtung zeichnete sich durch eine regelmäßige Anordnung von Kristallen aus, die in
Kontakt mit dem Glas eine homogene Struktur bildeten.
-23-
709843/0888
^V 1618
Beispiel 5
Die in Fig. 4 gezeigte Vorrichtung wurde zur Beschichtung eines
Glasbandes im Laufe seiner Herstellung in einer Libbey-Owens-
Ziehmaschine verwendet. Die Beschichtungsvorrichtung wurde so
angeordnet, daß die Beschichtung auf dem Glas an einer Stelle längs seiner Bahn ausgebildet wurde, wo die Temperatur des Glases in der Größenordnung von 6000C lag.
Es wurde eine einzige Sprühkanone 43 verwendet, die während des
Beschichtungsverfahrens quer zu der Bandbahn hin- und herbewegt wurde. Die Kanone wurde so ausgerichtet, daß die Achse des Auslaßkegels von der Kanone in einem Winkel von 25° zu der Glasscheibe geneigt war. Der Sprühkegelwinkel bzw. der Sprlihöffnungswinkel betrug 20°.
Der Sprühkanone wurde eine Lösung zugeführt, die auf folgende Weise erhalten wurde: in Dimethylformamid wurden 150 g pro Liter
Kobaltazetylazetonat und 150 g pro Liter Eisenazetylazetonat
aufgelöst.
Das Auslaßsystem mit der Auslaßleitung 13 wurde so betrieben, daß in der Auslaßdüse 45 ein Unterdruck aufrechterhalten wurde,
der einige Dutzend Millimeter Wassersäule nicht überstieg. Die Ausgabe aus der Sprühkanone wurde so eingeregelt, daß auf dem
Glasband eine Beschichtung von 550 8 ausgebildet wurde, die aus Co3O4 und Fe2O3 bestand. Im reflektierten Licht betrachtet hatte die so hergestellte Beschichtung einen Bronzefarbton.
Die Beschichtung hatte eine homogene Struktur und gute optische Eigenschaften, die von einer Stelle auf der Beschichtung zu
einer anderen im wesentlichen gleichmäßig waren.
Bei einer Modifikation des oben beschriebenen Verfahrens wurde der gleiche Ablauf beibehalten, um eine gefärbte Beschichtung
auf einem Glasband im Laufe seiner Herstellung durch das Float -verfahren auszubilden.Es ergaben sich ähnliche Resultate.
- Patentansprüche -709843/0888
Claims (30)
- MÜLLER-BORIS · DEUFEL · SCHÖDI · KERTELFATE NIANWALT EDR. WOLFGANG MÜLLEH-BORt (PATENTANWAUTVON 1927 - t97S) DR. PAUL DEUFEL. DIPL.-CHEM. DR. ALFRED SCHÖN, DIPU-CHEM. WERNER HERTEL. DIPL.-PHYS.München ,den * 2. APR. Hl/Ma - B 1309Patentansprüche(K/Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche eines kontinuierlich longitudinal beweglichen Glasbandes, indem diese, auf erhöhter Temperatur befindliche Fläche in einer Zone längs der Bandbahn mit einem fluiden Medium in Kontakt gebracht wird, das aus mindestens einer Substanz besteht oder mindestens eine Substanz enthält, die eine chemische Reaktion oder Zersetzung durchmacht, um auf der Fläche ein Metall oder eine Metallverbindung zu bilden, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil des fluiden Mediums gegen die Fläche als mindestens ein Strom gerichtet wird, der eine Geschwindigkeitskomponente in Be-709843/0888 -2-β ilCjfCHEN ββ · SIEBEBTSTR. 1 · POSTFACH 960720 · KABEL: MtTIDOPAT · TEL. (089) 47 40 03 · TELEX 8-31283ORIGINAL INSPECTEDV 1618:·wegungsrichtung des Bandes (1;11; 29; 35) hat und so zu der Fläche geneigt ist, daß der spitze oder mittlere spitze Einfallswinkel dieses Stroms (10) auf die Fläche, gemessen in einer zu der Fläche senkrechten und zu der Verschiebungsrichtung des Bandes (1 ;11>Zä;3Dparallelen Ebene nicht mehr als 60° beträgt.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der oder wenigstens ein Strom (10) einen oder mittleren Einfallswinkel auf der Fläche von nicht mehr als 45° hat.
- 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der oder wenigstens ein Strom ein paralleler Strom ist, von dem alle Teile im wesentlichen den gleichen Einfallswinkel auf das Band (1;11;29;35) haben.
- 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der oder wenigstens ein Strom (10) von seiner Quelle (9;19,20;32;43) divergiert, und daß der Divergenzwinkel dieses Stroms (10), in einer senkrecht zu der zu beschichtenden Glasfläche und im wesentliche parallel zu der longitudinalen Abmessung des Bandes verlaufenden Ebene gemessen, nicht mehr als 30° beträgt.
- 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der oder wenigstens ein Strom zu der709843/0888Fläche so geneigt ist, daß jeder Teil des Stroms mit der Glasfläche, in einer senkrecht zu der Fläche und parallel zu der longitudinalen Abmessung des Bandes (1;11;29;35) verlaufenden Ebene, einen spitzen Einfallswinkel von nicht mehr als 60° bildet.
- 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der oder wenigstens ein Strom zu der Fläche so geneigt ist, daß jeder Teil des Stroms mit der Glasfläche, in einer senkrecht zu der Fläche und parallel zu der longitudinalen Abmessung des Bandes (1;11;29;35) verlaufenden Ebene, einen spitzen Einfallswinkel von nicht mehr als 45° bildet.
- 7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil des fluiden Mediums, mit dem die Bandfläche an der Zone in Berührung kommt, veranlasst wird, durch die Wirkung dieses Stroms bzw. dieser Ströme (10) zu der Zone zu fließen.
- 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Strom bzw. die Ströme eine verdampfte Metall verbindung aufweist bzw. aufweisen, und daß die Abgabe dieses Stroms bzw. dieser Ströme die Strömung eines Luftstroms zu der Zone veranlasst, wodurch eine Beschichtung aus dem Metalloxid auf der Zone erzeugt wird.-4-709843/0888
- 9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche die obere Fläche eines kontinuierlichen Bandes aus Floatglas ist, das gerade hergestellt wird.
- 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zone, in welcher der oder jeder Fluidstrom auf die obere Fläche des Bandes (1;11;29;35) auftrifft, sich in Strömungsrichtung gesehen hinter dem Float-Tank befindet und eine Zone ist, in der die Temperatur des Glases im Bereich von 1000C bis 6500C liegt.
- 11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsgeschwindigkeit des Glasbandes (1 j 11;29;35) und die Volumengeschwindigkeit der Zuführung der Substanz (en) zu der Beschichtungszone so ausgelegt sind, daß die Wachstumsgeschwindigkeit der Beschichtungsdicke wenigstens 1000 8 Beschichtungsdicke pro Sekunde beträgt.
- 12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Beschichtung eines bestimmten Bereiches des Bandes (1;11;29;35) die Beschichtung auf diesem Bereich einer Oberflächenbehandlung unterworfen wird, wodurch mindestens eine obere Schicht der Beschichtung entfernt wird.709843/0888^716183
- 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenbehandlung mit einer Suspension von Alumiumoxid in destilliertem Wasser, beispielsweise durch Bürsten, durchgeführt wird.
- 14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren so durchgeführt wird, daß auf dem Band (1;11;29;35) eine Beschichtung mit einer Dicke von 100 8 bis 10.000 8 hergestellt wird.
- 15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf den Fluidstrom oder die Fluidströme eine Kraft durch eine äußere Vorrichtung ausgeübt wird, um eine Gasströmung von der Beschichtungszone und von der Quelle für diesen Strom bzw. diese Ströme weg aufrechtzuerhalten.
- 16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß Saugkräfte ausgeübt werden, um Gas von der Beschichtungszone und der Quelle (9;19,20;32;43) für den Fluidstrom bzw. die Fluidströme wegzuziehen.
- 17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Substanz bzw. die Substanzen, die eine chemische Reaktion oder Zersetzung durchmacht bzw, durchmachen, der Fläche in der Gasphase zugeführt wird bzw. werden.-6-709843/0888
- 18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Strom bzw. die Ströme, der bzw. die gegen die Fläche des Glasbandes gerichtet wird bzw. gerichtet werden, gasförmig ist bzw. sind und so abgegeben wird bzw. werden, daß der Strom bzw. die Ströme die Bandfläche gleichmäßig an allen Stellen über die gesamte oder im wesentlichen die gesamte Breite des Bandes berührt bzw. berühren.
- 19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Strom aus Sauerstoff oder einem Sauerstoff enthaltenden Gas und ein getrennter Strom aus einer verdampften Metallverbindung, die mit Sauerstoff reagiert, der Bandfläche in der Beschichtungszone kontinuierlich zugeführt werden, um auf der zu beschichtenden Bandflache eine Beschichtung aus einem Metalloxid auszubilden.
- 20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Bandfläche in der Zone ein Strom aus einer verdampften Zinnverbindung und mindestens ein Strom aus einem Sauerstoff enthaltenden Gas zugeführt werden, um eine Beschichtung aus Zinnoxid herzustellen.
- 21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß das fluide, gegen die Fläche des Glasbandes gerichtete Medium wenigstens einen Tröpfchenstrom mit einer Metall verbindung aufweist, die durch Pyrolyse die Beschichtung aus dem Metall oder der Metall verbindung auf der Fläche bildet.709843/0888 -7-7 1618
- 22.Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das gegen die Fläche des Glasbandes (i;11;29;35)gerichtete fluide Medium wenigstens einen Tröpfchenstrom aus einer Flüssigkeit aufweist, die ein Metallsalz enthält, das durch Pyrolyse eine Beschichtung aus einem Metalloxid bildet.
- 23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß we- · nigstens ein Tröpfchenstrom mit Tröpfchen eines wässrigen oder nicht-wässrigen, eine Zinnverbindung enthaltenden Mediums verwendet wird.
- 24. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Tröpfchenstrom verwendet wird, der quer zu der Bandbahn hin- und herverschoben wird.
- 25. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Tröpfchenströme verwendet werden, dessen Auftreffzone oder dt en kombinierte Auftreffzone auf das Glasband sich im wesentlichen über die gesamte Bandbreite erstreckt bzw. erstrecken.
- 26.Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen der Fläche und der Stelle, von welcher der oder jeder Tröpfchenstrom ausgegeben wird, senkrecht zu der Bandfläche gemessen, zwischen 15 und 35 cm liegt.-8-709843/0888
- 27. Vorrichtung zur Herstellung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche eines Glasbandes mit einer Einrichtung zur Halterung eines kontinuierlich longitudinal bewegten, erwärmten Glasbandes, und mit einer Einrichtung zur Abgabe eines fluiden Mediums gegen eine Fläche dieses Bandes, dadurch gekennzeichnet, daß die Abgabeeinrichtung so konstruiert und angeordnet ist, daß wenigstens ein Strom eines fluiden Mediums gegen die Fläche in eine Richtung geleitet wird, die zu der Fläche so geneigt ist, daß der Strom eine Geschindigkeitskomponente in Bewegungsrichtung des Bandes hat, wobei der spitze oder mittlere spitze Einfallswinkel dieses Stroms (10) auf die Fläche, gemessen in einer senkrecht zu der Fläche und parallel zu der longitudinalen Richtung des Bandes verlaufenden Ebene, nicht mehr als 60° beträgt.
- 28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß eine Gasauslaßeinrichtung (23;44,45,46) vorgesehen ist, um Saugkräfte zu erzeugen, die während des Betriebs der Vorrichtung eine Gasströmung von dem Bereich, in dem der Strom bzw. die Ströme aus dem fluiden Medium in Kontakt mit dem Glasband (1; 11; 29; 31 ) kommt bzw. kommen, und von der Quelle (9;19,20;32; 43) für diesen Strom bzw. diese Ströme weg aufrechterhalten.
- 29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 27 oder 28, gekennzeichnet durch eine Einrichtung, welche die Abgabeeinrichtung quer zu der Bandbahn hin- und herverschiebt.-9-709843/0888-9- ^716183
- 30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 27 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß sie in Strömungsrichtung gesehen hinter einem Float-Tank installiert ist, um die obere Fläche eines Bandes aus Float-Glas zu beschichten, wenn es von dem Tank wegtransportiert wird.709843/0888
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB15063/76A GB1516032A (en) | 1976-04-13 | 1976-04-13 | Coating of glass |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2716183A1 true DE2716183A1 (de) | 1977-10-27 |
DE2716183C2 DE2716183C2 (de) | 1987-11-19 |
Family
ID=10052380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772716183 Granted DE2716183A1 (de) | 1976-04-13 | 1977-04-12 | Verfahren und vorrichtung zur ausbildung einer beschichtung aus einem metall oder einer metallverbindung auf einer flaeche |
Country Status (18)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4188199A (de) |
JP (1) | JPS52124426A (de) |
AU (1) | AU512473B2 (de) |
BE (1) | BE853198A (de) |
BR (1) | BR7702327A (de) |
CA (1) | CA1090209A (de) |
DE (1) | DE2716183A1 (de) |
DK (1) | DK155513C (de) |
ES (2) | ES457593A1 (de) |
FI (1) | FI61857C (de) |
FR (1) | FR2348165A1 (de) |
GB (1) | GB1516032A (de) |
IL (1) | IL51828A (de) |
IT (1) | IT1082730B (de) |
MX (1) | MX4559E (de) |
NL (1) | NL7703994A (de) |
SE (1) | SE7703971L (de) |
ZA (1) | ZA772110B (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3103227A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-11-26 | Bfg Glassgroup, Paris | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung |
DE3103233A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-11-26 | Bfg Glassgroup, Paris | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung |
DE3103195A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-12-10 | Bfg Glassgroup, Paris | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung |
DE3315332A1 (de) * | 1982-04-30 | 1983-11-03 | Glaverbel, 1170 Bruxelles | Verfahren und vorrichtung zum beschichten von glasscheiben oder -bahnen |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1523991A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-06 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
US4382980A (en) * | 1979-03-07 | 1983-05-10 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Magnesium compositions and process for forming MGO film |
JPS5637251A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Manufacture of covered glass |
IT1134153B (it) * | 1979-11-21 | 1986-07-31 | Siv Soc Italiana Vetro | Ugello per depositare in continuo su un substrato uno strato di una materia solida |
US4261722A (en) * | 1979-12-27 | 1981-04-14 | American Glass Research, Inc. | Method for applying an inorganic coating to a glass surface |
IT1143300B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
IT1143299B (it) * | 1980-01-31 | 1986-10-22 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro |
US4419570A (en) * | 1980-03-03 | 1983-12-06 | Societa Italiana Vetro - Siv - S.P.A. | Heating glass pane |
IT1144219B (it) * | 1980-06-20 | 1986-10-29 | Bfg Glassgroup | Procedimento e dispositivo per formare un rivestimento di metallo o di un composto metallico |
US4364995A (en) * | 1981-02-04 | 1982-12-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metal/metal oxide coatings |
CH640571A5 (fr) * | 1981-03-06 | 1984-01-13 | Battelle Memorial Institute | Procede et dispositif pour deposer sur un substrat une couche de matiere minerale. |
US4374156A (en) * | 1981-11-30 | 1983-02-15 | Ford Motor Company | Method for obtaining a coating of a preferred composition on a surface of a glass substrate |
US4397671A (en) * | 1981-11-30 | 1983-08-09 | Ford Motor Company | Method of placing a metal oxide film on a surface of a heated glass substrate |
BR8207968A (pt) * | 1981-11-30 | 1983-10-04 | Ford Motor Co | Processo de aplicacao de uma pelicula de oxido de metal sobre a superficie de um substrato vitreo aquecido |
CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
US4601914A (en) * | 1982-06-07 | 1986-07-22 | Airtech, Inc. | Method for fabricating a semiconductor gas sensor |
US4393098A (en) * | 1982-07-29 | 1983-07-12 | Ford Motor Company | Process for developing a coating film on a heated glass sheet |
EP0116536A4 (de) * | 1982-07-29 | 1984-11-23 | Ford Motor Co | Verfahren zum entwickeln eines beschichtungsfilms auf aufgeheiztem glasband. |
US4626688A (en) | 1982-11-26 | 1986-12-02 | Barnes Gary T | Split energy level radiation detection |
GB2142621B (en) * | 1983-06-17 | 1987-03-18 | Glaverbel | Coating hot glass with metals or metal compounds especially oxides |
JPS6169961A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 霧化薄膜作製装置用ノズル |
GB8531424D0 (en) * | 1985-12-20 | 1986-02-05 | Glaverbel | Coating glass |
GB8624825D0 (en) * | 1986-10-16 | 1986-11-19 | Glaverbel | Vehicle windows |
US4963746A (en) * | 1986-11-25 | 1990-10-16 | Picker International, Inc. | Split energy level radiation detection |
US4853257A (en) * | 1987-09-30 | 1989-08-01 | Ppg Industries, Inc. | Chemical vapor deposition of tin oxide on float glass in the tin bath |
GB8824102D0 (en) * | 1988-10-14 | 1988-11-23 | Pilkington Plc | Apparatus for coating glass |
JP2762609B2 (ja) * | 1989-09-18 | 1998-06-04 | 日本板硝子株式会社 | 近赤外線遮断ガラス |
FR2698093B1 (fr) * | 1992-11-17 | 1995-01-27 | Saint Gobain Vitrage Int | Vitrage à propriétés de transmission variant avec l'incidence. |
FR2724923B1 (fr) * | 1994-09-27 | 1996-12-20 | Saint Gobain Vitrage | Technique de depot de revetements par pyrolyse de composition de gaz precurseur(s) |
FR2736632B1 (fr) * | 1995-07-12 | 1997-10-24 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive |
GB9515198D0 (en) * | 1995-07-25 | 1995-09-20 | Pilkington Plc | A method of coating glass |
US5762674A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-09 | Glasstech, Inc. | Apparatus for coating glass sheet ribbon |
US5698262A (en) | 1996-05-06 | 1997-12-16 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for forming tin oxide coating on glass |
FR2795745B1 (fr) | 1999-06-30 | 2001-08-03 | Saint Gobain Vitrage | Procede de depot d'une couche a base de tungstene et/ou de molybdene sur un substrat verrier, ceramique ou vitroceramique, et substrat ainsi revetu |
JP4682456B2 (ja) * | 2001-06-18 | 2011-05-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US7540706B2 (en) * | 2005-06-03 | 2009-06-02 | Cleveland State University | Wind harnessing system |
WO2007022405A1 (en) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Innovative Thin Films, Ltd. | Process and apparatus for coating substrates by spray pyrolysis |
US20080026147A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Gulbrandsen Chemicals, Inc. | Method and formulation for depositing a metal-containing coating on a substrate |
US20080152804A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-06-26 | Gulbrandsen Chemicals, Inc. | Method for depositing a metal-containing coating on a substrate |
US8557328B2 (en) * | 2009-10-02 | 2013-10-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Non-orthogonal coater geometry for improved coatings on a substrate |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2724658A (en) * | 1950-02-16 | 1955-11-22 | Pittsburgh Plate Glass Co | Resistor coating method |
DE1082017B (de) * | 1958-03-05 | 1960-05-19 | Pittsburgh Plate Glass Co | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen hydrolysierbarer Metallverbindungen auf waermebestaendige Koerper, z. B. Glasscheiben |
US2967112A (en) * | 1958-03-11 | 1961-01-03 | Pilkington Brothers Ltd | Method and apparatus for applying metal-depositing solutions |
US3004875A (en) * | 1957-11-22 | 1961-10-17 | Pittsburgh Plate Glass Co | Coating glass sheets |
US3660061A (en) * | 1967-11-20 | 1972-05-02 | Ppg Industries Inc | Coated glass sheet and method for making the same |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE560882A (de) * | 1957-09-17 | |||
US3080643A (en) * | 1958-02-05 | 1963-03-12 | Gen Motors Corp | Vapor blasting nickel plated steel |
US3021227A (en) * | 1960-06-08 | 1962-02-13 | Pittsburgh Plate Glass Co | Method and apparatus for coating glass |
US3486918A (en) * | 1966-11-02 | 1969-12-30 | Libbey Owens Ford Co | Strippable protective glass coating |
GB1282866A (en) * | 1968-08-16 | 1972-07-26 | Pilkington Brothers Ltd | Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics |
US3632406A (en) * | 1970-01-20 | 1972-01-04 | Norton Co | Low-temperature vapor deposits of thick film coatings |
DE2121319A1 (de) * | 1971-04-30 | 1973-01-18 | Rocholl Martin Ggottfried Dipl | Verfahren zum beschichten von glasscheiben mit einem optisch transparenten flaechenheizleiter |
US3876450A (en) * | 1973-08-13 | 1975-04-08 | W J Tanner Inc | Method and composition for transparent abrasion-resistant coating |
GB1507465A (en) * | 1974-06-14 | 1978-04-12 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
FR2288068A1 (fr) * | 1974-10-15 | 1976-05-14 | Boussois Sa | Procede et dispositif pour deposer par pulverisation d'un liquide une couche mince a la surface d'un materiau en feuille, notamment pour le traitement a chaud d'une feuille de verre |
US4022601A (en) * | 1975-06-02 | 1977-05-10 | Ppg Industries, Inc. | Method and apparatus for coating a glass substrate |
US4018631A (en) * | 1975-06-12 | 1977-04-19 | General Electric Company | Coated cemented carbide product |
GB1523991A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-06 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
-
1976
- 1976-04-13 GB GB15063/76A patent/GB1516032A/en not_active Expired
-
1977
- 1977-03-28 US US05/781,957 patent/US4188199A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-04-04 BE BE1008062A patent/BE853198A/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-04-04 FR FR7710510A patent/FR2348165A1/fr active Granted
- 1977-04-05 DK DK151577A patent/DK155513C/da not_active IP Right Cessation
- 1977-04-05 SE SE7703971A patent/SE7703971L/ unknown
- 1977-04-05 FI FI771065A patent/FI61857C/fi not_active IP Right Cessation
- 1977-04-06 CA CA275,714A patent/CA1090209A/en not_active Expired
- 1977-04-06 ES ES457593A patent/ES457593A1/es not_active Expired
- 1977-04-06 MX MX775610U patent/MX4559E/es unknown
- 1977-04-06 ES ES457594A patent/ES457594A1/es not_active Expired
- 1977-04-06 IL IL51828A patent/IL51828A/xx unknown
- 1977-04-06 IT IT67764/77A patent/IT1082730B/it active
- 1977-04-06 ZA ZA00772110A patent/ZA772110B/xx unknown
- 1977-04-07 AU AU24122/77A patent/AU512473B2/en not_active Expired
- 1977-04-11 JP JP4190977A patent/JPS52124426A/ja active Pending
- 1977-04-12 DE DE19772716183 patent/DE2716183A1/de active Granted
- 1977-04-12 NL NL7703994A patent/NL7703994A/xx active Search and Examination
- 1977-04-13 BR BR7702327A patent/BR7702327A/pt unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2724658A (en) * | 1950-02-16 | 1955-11-22 | Pittsburgh Plate Glass Co | Resistor coating method |
US3004875A (en) * | 1957-11-22 | 1961-10-17 | Pittsburgh Plate Glass Co | Coating glass sheets |
DE1082017B (de) * | 1958-03-05 | 1960-05-19 | Pittsburgh Plate Glass Co | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen hydrolysierbarer Metallverbindungen auf waermebestaendige Koerper, z. B. Glasscheiben |
US2967112A (en) * | 1958-03-11 | 1961-01-03 | Pilkington Brothers Ltd | Method and apparatus for applying metal-depositing solutions |
US3660061A (en) * | 1967-11-20 | 1972-05-02 | Ppg Industries Inc | Coated glass sheet and method for making the same |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3103227A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-11-26 | Bfg Glassgroup, Paris | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung |
DE3103233A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-11-26 | Bfg Glassgroup, Paris | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung |
DE3103195A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-12-10 | Bfg Glassgroup, Paris | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung |
DE3315332A1 (de) * | 1982-04-30 | 1983-11-03 | Glaverbel, 1170 Bruxelles | Verfahren und vorrichtung zum beschichten von glasscheiben oder -bahnen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DK155513C (da) | 1989-10-09 |
FR2348165A1 (fr) | 1977-11-10 |
FI61857C (fi) | 1982-10-11 |
BR7702327A (pt) | 1978-01-17 |
IL51828A0 (en) | 1977-06-30 |
BE853198A (fr) | 1977-10-04 |
DE2716183C2 (de) | 1987-11-19 |
IL51828A (en) | 1980-12-31 |
US4188199A (en) | 1980-02-12 |
CA1090209A (en) | 1980-11-25 |
SE7703971L (sv) | 1977-10-14 |
NL7703994A (nl) | 1977-10-17 |
MX4559E (es) | 1982-06-14 |
IT1082730B (it) | 1985-05-21 |
FI61857B (fi) | 1982-06-30 |
AU2412277A (en) | 1978-10-12 |
DK151577A (da) | 1977-10-14 |
ES457593A1 (es) | 1978-03-16 |
GB1516032A (en) | 1978-06-28 |
JPS52124426A (en) | 1977-10-19 |
ZA772110B (en) | 1978-12-27 |
FR2348165B1 (de) | 1980-01-18 |
AU512473B2 (en) | 1980-10-16 |
ES457594A1 (es) | 1978-03-16 |
FI771065A (de) | 1977-10-14 |
DK155513B (da) | 1989-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2716183A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ausbildung einer beschichtung aus einem metall oder einer metallverbindung auf einer flaeche | |
DE2716182C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung | |
DE2716181C2 (de) | ||
DE3103227C2 (de) | ||
DE2360949C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden eines Metalloxydfilms auf einem Glasband | |
DE3005797C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Ablagern einer Schicht eines aus der chemischen Kombination von mindestens zwei gasförmigen oder in einem Gas verdünnten Reaktionsmitteln erhaltenen Feststoffoxids auf der Oberfläche einer auf hohe Temperatur gebrachten Glasplatte | |
DE2712003C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines nur einseitig beschichteten Eisenmetall-Bandes und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
DD301877A9 (de) | Verfahren zur Beschichtung von Glas | |
DE2929092C2 (de) | ||
DD204907A5 (de) | Einrichtung zur kontinuierlichen ablagerung einer trockensubstanzschicht auf der oberflaeche eines auf hohe temperatur gebrachten substrats | |
DE2151809A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung duenner Schichten | |
DE2941843A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer zinnoxidschicht auf einem heissen glassubstrat | |
DE3103234C2 (de) | ||
DE112011105618T5 (de) | Oxidfilm-Niederschlagsverfahren und Oxidfilm-Niederschlagsvorrichtung | |
DE3123693A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer metallbeschichtung oder einer beschichtung aus metallverbindungen | |
DE1652329A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Aufbringung einer Fluessigkeit auf einer Oberflaeche | |
AT396927B (de) | Vorrichtung und verfahren zum ausbilden eines überzuges auf einem glassubstrat | |
DE3422105A1 (de) | Beschichten von heissem glas mit metallen oder metallverbindungen, insbesondere oxiden | |
DE3103195C2 (de) | ||
DE3315332A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum beschichten von glasscheiben oder -bahnen | |
DE2313282A1 (de) | Vorrichtung zur herstellung von mit metalloxiden beschichteten glasbaendern | |
DE2911702A1 (de) | Vorrichtung fuer die galvanische beschichtung | |
DE3638427C2 (de) | Durch ein pyrolytisches Beschichtungsverfahren erzeugte Zinnoxidüberzugsschicht auf einem Flachglas | |
DE3103233A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung | |
DE3040503C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |