DE3103233A1

DE3103233A1 - Verfahren und vorrichtung zur glasbeschichtung

Info

Publication number: DE3103233A1
Application number: DE19813103233
Authority: DE
Inventors: Robert 6218 Thiméon Terneu
Original assignee: BFG Glassgroup GIE
Current assignee: BFG Glassgroup GIE
Priority date: 1980-01-31
Filing date: 1981-01-30
Publication date: 1981-11-26
Also published as: DE3103233C2; NL8100458A; JPH0158133B2; DK43581A; ES499520A0; JPS56120543A; US4349370A; DK157668C; IT1143301B; IT8167082A0; SE8100691L; CA1175301A; ES8205738A1; ES499521A0; ES8205506A1; DK157668B; FR2476064A1; SE449744B; BE887232A; FR2476064B1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bildung eines Metall- oder Metallverbindungsüberzuges auf einer Fläche eines erhitzten Glassubstrates während dessen Förderung längs eines Tunnels durch in Kontaktbringen des Substrates an einer Beschichtungsstation im Tunnel mit wenigstens einem Tröpfchenstrom, der eine Substanz oder Substanzen enthält/ aus der oder denen die Metall- oder Metallverbindungsbeschichtungen auf der Oberfläche gebildet wird, wobei gleichzeitig Saugkräfte in einem Abzugssystem ausgeübt werden, um Umgebungsgase von dieser Beschichtungsstation abzuziehen.

Ein derartiges Verfahren kann verwendet werden, um Glasscheiben zu beschichten und um ein kontinuierlich neu hergestelltes Flachglasband zu beschichten. Im letzten Fall kann die Beschichtung des Glases im üblichen Entspannungsofen durchgeführt werden. Das Verfahren kann verwendet werden, um Beschichtungen, beispielsweise Metalloxidbeschichtungen, herzustellen, welche die sichtbare Farbe des Glases verändern und/oder welche gewisse andere erforderliche Eigenschaften bezüglich der einfallenden Strahlen, beispielsweise Infrarotreflexionsvermögen, aufweisen.

Die Saugkräfte, die in bekannten Verfahren stromab, d. h. "vor der BeschichtungsstNation",a'us'geüb't "werden, unterstützen' die Bildung von Beschichtungen mit homogener Struktur und mit gleichförmiger Belegung des Substrates.

Wenn ein derartiges Verfahren verwendet wird, werden die besten Ergebnisse erzielt, wenn eine stationäre Abzugsanlage verwendet wird, deren Einlaß oder Einlasse sich quer über die Bewegungsbahn des Glassubstrates erstreckt oder erstrecken.

130048/0661

Saugkräfte können über die volle Quererstreckung der Beschichtung, wenn diese gebildet wird, aufrechterhalten werden.

Auch unter diesen Umständen können jedoch manchmal Fehler innerhalb der Beschichtung und/oder an der Glas- oder Beschichtungsoberfläche auftreten und derart sein, daß es naheliegend ist, diese Fehler den Produkten zuzuschreiben, die sich in der Umgebung der Beschichtung während deren Herstellung bilden oder die der Verschlechterung der Beschichtung während der Herstellung zuzuschreiben sind, durch einen Kontakt mit einem Beschichtungsvorläufer zusammensetzen, entsteht, die nicht reagiert hat oder die nicht vollständig an der Beschichtungsstation reagiert hat.

Durch diese Fehler muß das Produkt nicht wertlos werden, jedoch kann die Qualität des Produktes nicht den Spitzenanforderungen genügen, und dies ist umso mehr der Fall, umso mehr der Qualitätsstandard ansteigt, der vom Verbraucher gefordert wird.

Wenn sich die Fehler an der Oberfläche der Beschichtung befinden, kann die Qualität des Produktes in einigen, jedoch nicht in allen Fällen,durch eine Beschichtungsoberflächennachbehandlung verbessert werden. Derartige zusätzliche

^^^ "3Us 'Pr Öduk-£es V '"^

Es wurden Versuche unternommen, die Beschichtungsqualität durch eine sorgfältige Steuerung der Saugkräfte zu verbessern, um sicherzustellen, daß diese Saugkräfte für ihren gedachten Zweck wirksam sind, jedoch nicht die Stabilität des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme stören.

.130048/0661

Es wurde versucht, Verbesserungen dadurch zu erreichen, daß die Anzahl und die Anordnung der Abzugskanäle verändert wurde. Eine weitere Maßnahme/ die vorgeschlagen wurde, besteht darin, zwei oder mehr Abzugskanäle zu verwenden, die aufeinanderfolgend im Abstand voneinander stromab von der Beschichtungsstation derart angeordnet sind, daß Gas, welches stromab an einem derartigen Kanal vorbeiströmt, in den nächsten Abzugskanal eintreten kann.

Ein weiterer Vorschlag besteht darin/ aufeinanderfolgende Abzugskanäle in unterschiedlichen Höhen oberhalb der Bewegungsbahn des Glassubstrates vorzusehen. Obwohl derartige Maßnahmen nützlich sind, wurde gefunden, daß sie keine ausreichende Lösung für das Problem der vorstehend erwähnten Beschichtungsfehler sind.

Durch die Erfindung wird ein Verfahren geschaffen, bei welchem auf die Umgebung derart eingewirkt wird, daß die Verschlechterung der Beschichtung durch Nebenreaktionen oder durch Abscheidung von Substanzen in der Atmosphäre im Tunnel vermindert wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß das Abzugssystem wenigstens einen Abzugskanal aufweist, dessen Eintrittsöffnung im Tunnel vor oder, hinter der. Be-.. Schichtungsstation angeordnet ist, wobei dieser Abzugskanal eine Schutzwand bildet oder mit einer Schutzwand verbunden ist, wobei diese Schutzwand derairt angeordnet ist, daß verhindert wird, daß Gas über den Kanal hinweg zum Tröpfchenstrom oder den Tröpfchenströmen hin und in Kontakt mit diesem oder diesen gelangen.

130048/0661

Während der Forschungsarbeiten, die zur Erfindung führten, wurde gefunden, daß auch dann, wenn das Abzugssystem derart gestaltet und angeordnet wurde, durch eine ungestörte Strömung von Umgebungsgasen aus der Beschichtungsstation fort aufrechterhalten wurde, eine Neigung besteht, daß die Beschichtung durch unerwünschte Reaktionen oder Abscheidungen in der Umgebung des Beschichtungssprühstrahles beschädigt oder verschlechtert wird. Die Forschungen zeigten ferner, daß diese Fehler dadurch vermieden oder vermindert werden können, daß Gasströme abgefangen werden, die zur Beschichtungsstation von einer weiter vorn längs des Tunnels liegenden Stelle zurückströmen. Diese Gasrückströme können Gasmengen enthalten, die zum Eingang eines Abzugskanals hingeströmt, jedoch an dessen Eingang vorbeigeströmt sind, in dem sie beispielsweise zwischen dem Abzugskanaleintritt und dem beschichteten Glassubstrat hindurchströmen, wobei diese Ströme dann anschließend über diesen Abzugskanal hin zurück zur Beschichtungsstation fließen. Derartige Rückströme können in einigen Anlagen alternativ oder zusätzliche Gasmengen enthalten, welche in die Beschichtungsanlage anstelle hinter der Abzugsanlage eintreten. Die unerwünschten Abscheidungen können der Zusammenwirkung zwischen derartigen Rückströmen mit Abzugsgasen zugeschrieben werden, die zu dem Abzugssystem von der Beschichtungsstation strömen und/oder Staubtei.lchen,. die von.diesen. Rückströmen . . mitgeführt' werden. Es sei jedoch'bemerkt, daß * die Erfindung nicht von irgendeiner derartigen Theorie zur Erklärung der vorteilhaften Wirkung der Schutzwand abhängt.

Wie an sich bekannt, kann das Abzugssystem oder die Abzugsanlage einen oder mehrere Abzugskanäle aufweisen, der oder von denen jeder eine Eintrittsöffnung in Form einer einzelnen schlitzartigen Düsehat,in Form einer Reihe von Einlaßdüsen oder Einlaßöffnungen.

130048/0661 -

Eine derartige Einlaßöffnung erstreckt sich über die Breite des Tunnels, oder die Einlaßöffnungen sind über die Breite des Tunnels hinweg verteilt.

Vorteilhafterweise erstreckt sich wenigstens eine der Schutzwände quer über einen oberen Abschnitt des Tunnels zwischen dem Abzugssystem und der Tunneldecke. Diese Schutzwand kann beispielsweise von einer Platte aus feuerfestem Material, wie beispielsweise Asbest oder Metall, gebildet sein. Die Schutzwand kann alternativ als Teil des Abzugskanals selbst ausgebildet sein. Beispielsweise kann ein Teil eines derartigen Kanals, der zur Gaseintrittsöffnung oder zu den Gaseintrittsöffnungen hinführt, sich nach unten in den Tunnel hinein durch eine öffnung in der Tunneldecke derart erstrecken, daß der nach unten sich erstreckende Abschnitt die Schutzwand bildet.

Vorzugsweise ist wenigstens eine Schutzwand vorhanden, die im wesentlichen senkrecht angeordnet ist. Diese Anordnung hat den Vorteil einer großen Einfachheit und eines ökonomischen Materialbedarfes.

Obwohl die Erfindung unter Verwendung eines einzelnen Abzugskanais durchgeführt werden kann, ist es bevorzugt, zwei .oder mehr..dieser Abzugskanäle zu .verwenden, die im Abstand, voneinander längs' des Tunnels angeordnet sind.

In der folgenden Beschreibung soll der Abzugskanal, der näher oder am nächsten der Beschichtungsstation liegt, als erster Abzugskanal bezeichnet werden.

Bei einigen Ausführungsformen der Erfindung sind mehrere Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet und die Schutzwand wird vom letzten Kanal gebildet

130048/0661 - 12 -

oder ist mit dem letzten Kanal verbunden oder diesem zugeordnet, d. h. dem Abzugskanal, der weiter oder am weitesten von der beschichtungsstation entfernt ist.

Vorzugsweise bildet jeder von wenigstens zwei Abzugskanälen, die im Abstand voneinander im Tunnel angeordnet sind, die Schutzwand, oder jeder von wenigstens zwei Abzugskanälen, die im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind, ist mit dieser Schutzwand verbunden.

Vorzugsweise erstreckt sich die Schutzwand von einer Stelle oberhalb und in der Umgebung der Quelle oder Quellen des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme nach vorn und unten geneigt zum Abzugskanal hin oder zum ersten Abzugskanal, wenn mehr als einer vorgesehen ist. Eine derart ge- " neigte Schutzwand erfüllt die zusätzliche Funktion, daß eine ungestörte Strömung von Umgebungsgasen in diesen Abzugskanal unter der Wirkung der Saugkräfte in diesen erfolgen kann.

Die Erfindung umfaßt Verfahren, bei denen Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind, und bei denen über dem Raum zwischen diesen Kanälen sich eine Brücke erstreckt, die verhindert, daß zurückströmende Gase -zwischen diesen Kanälen.nach unten strömen* Beschichtungsrj. ,,. fehler können nicht nur durch die Abscheidung von unerwünschten Reaktionsprodukten in einem Bereich zwischen der Beschichtungsstation und dem Abzugssystem erzeugt werden sondern ebenfalls durch eine Abscheidung derartiger Reaktionsprodukte an Stellen zwischen aufeinanderfolgenden Abzugskanälen. Derartige Abscheidungen können weitgehend vermieden werden, wenn eine Brücke, wie oben erläutert, vorgesehen ist. Die Brücke verhindert, daß rückströmende Gase nach

130048/0661

unten zwischen die Abzugskanäle gezogen werden und verhindern turbulente Zustände, welche in dem Bereich auftreten, der dicht beim Eintritt in einen Abzugskanal liegt, wo die Gase leichter abgezogen werden können.

Bei einigen erfindungsgemäßen Verfahren ist wenigstens eine Zwischenkanalbrücke, wie vorstehend beschrieben, vorgesehen und Saugkräfte werden in einem Abzugsrohr erzeugt, welches in diese Brücke eingebaut oder neben dieser Brücke angeordnet ist, so daß Gase aus dem oberen Teil des Raumes unterhalb der Brücke abgezogen werden und Verwirbelungen oder Wirbelströme zwischen diesen Abzugskanälen verhindert oder vermindert werden.

Vorzugsweise beträgt der» senkrechte Abstand zwischen dem Eingang des Abzugskanals oder eines jeden Abzugskanals und der Substratsoberfläche, die beschichtet wird, zwischen und 20 cm.

Um ein wirkungsvollstes Abziehen der Gase zu erreichen, ist es bevorzugt, mehrere Abzugskanäle vorzusehen, die im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind, wobei die senkrechten Abstände der Eingangsöffnungen diese Abzugskanäle von der Substratsoberfläche, die beschichtet werden soll ,vom ersten Kanal bis zum letzten Kanal abnehmen.

Der Tröpfchenstrom oder die Tröpfchenströme werden vorzugsweise wiederholt hin und her quer zum Tunnel bewegt, um die Breite der zu beschichtenden Substratsfläche zu beschichten. Alternativ kann das Material in einem Strom oder in Strömen abgesprüht, dessen oder deren Prallzone oder kombinierten Prallzonen auf dem Substrat die gesamte zu beschichtende Breite bedecken, wobei es in diesem Fall nicht erforderlich ist, die Sprüheinrichtung in Querrichtung zu bewegen.

130048/0661

- 14 -

Der Tröpfchenstrom oder die Tröpfchenströme ist oder sind nach unten und vorn oder nach unten und hinten zum Substrat hin geneigt, und der Abzugskanal oder die Abzugskanäle ist oder sind derart angeordnet, daß Gase von der Beschichtungsstation in der gleichen (Vorwärts- oder Rückwärts-)' Richtung über die Substratbewegungsbahn hinweg abgezogen werden.

Verfahren, bei denen der Tröpfchenstrom oder die Tröpfchenströme nach unten und vorn geneigt ist oder sind, und bei denen die Abzugsgase von der Beschichtungsstation nach vorn abgezogen werden, werden in den britischen Patentschriften 1 516 032 und 1 523 991 beschrieben. Vorzugsweise beträgt der eingeschlossene Winkel zwischen der Achse oder den Achsen des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme und der Substratsoberfläche, die beschichtet werden soll, etwa 20° bis 60°, und bevorzugt ist der Bereich von 25° bis 35 . Dieses Merkmal trägt zur Ausbildung von Beschichtungen mit guter optischer Qualität bei. Um beste Ergebnisse zu erzielen, sollten alle Teile des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme auf das Substrat unter einer erheblichen Neigung gegenüber der Vertikalen auftreffen. Bei den am meisten bevorzugten Ausfuhrungsformen der Erfindung ist der Tröpfchenstrom oder jeder Tröpfchenstrom ein paralleler Strom oder ein Strom, der von seiner Quelle aus unter einem WJnke^L von., nicht, mehr, als .,30°, beispielsweise unter einem Wlrikel von"'eiwä^2*0°','⁴'drivergre'rtT" ~"*^:"^v:----'^:' ·"·'·'-■-·'™.ν-ν.~^!·\·-?-»-^ί<:^^■-■ ■&

Obwohl es bevorzugt ist, daß der Tröpfchenstrom oder die Tröpfchenströme nach unten zum Substrat hin geneigt ist oder sind, umfaßt die Erfindung Verfahren", bei denen die Achse oder die Achsen des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme senkrecht ist oder senkrecht verlaufen.

130048/0661

Untersuchungen zeigen, daß gleichförmige Beschichtungen leichter erhalten werden, wenn bestimmte Bedingungen bezüglich des Abstandes zwischen der Substratoberfläche, die beschichtet werden soll, und der Quelle oder den Quellen des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme beachtet werden.

Vorzugsweise liegt ein derartiger Abstand, gemessen senkrecht zur Substratsoberfläche, im Bereich von 15 bis 35 cm. Es wurde gefunden, daß dies der am besten geeignete Bereich ist, und zwar insbesondere wenn die bevorzugte Neigung und der bevorzugte Divergenzbereich des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme,auf die im Vorstehenden hingewiesen wurde, beachtet werden.

Die Erfindung kann verwendet werden, um getrennte Glasscheiben oder ein kontinuierliches Glasband zu beschichten.

Die Erfindung umfaßt Verfahren, wie im Vorstehenden definiert, die zur Beschichtung eines kontinuierlichen Glasbandes verwendet werden, welches sich von einer Flachglasherstellungsanlage, beispielsweise einem Schwimmtank oder einer Ziehmaschine, fortbewegt. Bei einigen derartigen Anwendungsfällen der Erfindung prallt der Tröpfchenstrom oder prallen die

Tröpfchen ströme auf die. obere Fläche des Bandes an e.iner

•"^Λ 5tfelle^vä\if Γατί ttd-r-ai&'tfeftp^^^ *

von 650° C bis 100° C liegt.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann verwendet werden, um verschiedene Oxidbeschichtungen durch Verwendung einer flüssigen Zusammensetzung, die ein Metallsalz enthält, herzustellen. Sehr vorteilhafte erfindungsgemäße Verfahren umfassen Verfahren, bei denen die Tröpfchen Tröpfchen einer Metall-

130048/0661

Salzlösung sind, wobei ein besonders gutes Beispiel Metallchlorid ist, wobei aus dieser Metallsalzlösung eine Metalloxidbeschichtung auf dem Substrat gebildet wird. Bei einigen derartigen Verfahren ist die Lösung eine Zinnchloridlösung,beispielsweise ein wässriges oder nicht wässriges Medium, welches Zinnchlorid und ein Dotiermittel enthält, beispielsweise eine Substanz, welche Antimonionen, Arsenionen oder Fluorionen zur Verfügung stellt. Das Metallsalz kann zusammen mit einem Reduziermittel verwendet werden, beispielsweise Phenylhydrazin, Formaldehyd oder Alkohol und zusammen mit einem nicht kohlenstoffhaltigen Reduziermittel,· wie beispielsweise Hydroxylamin und Wasserstoff. Andere Zinnsalze können anstatt oder zusätzlich zu Zinnchlorid verwendet werden, wie beispielsweise Zinnoxalat oder Zinnbromid. Beispiele anderer Metalloxidbeschichtungen, die in ähnlicher Weise hergestellt werden können, umfassen Oxide von Cadmium, Magnesium und Wolfram. Zur Herstellung derartiger Beschichtungen kann die Beschichtungszusammensetzung in der Weise hergestellt werden, daß eine wässrige oder organische Lösung einer Zusammensetzung des Metalles und eines Reduktionsmittels gebildet wird. Nitratlösungen können verwendet werden, beispielsweise Eisennitrat oder Indiumnitrat. Als weitere Beispiele sei bemerkt, daß die Erfindung verwendet werden kann,,., um Beschichtungen. .durch .-Pyrolyse von ,organo-,,._;..... metallischen Verbindungen herzustellen, wie beispielsweise Metallcarbonyle und Metallacetylacetate, die in Tröpfchenform der zu beschichtenden Substratsoberfläche zugeführt werden. Ebenfalls können verschiedene Metallacetate und Metallalcylate verwendet werden, wie beispielsweise Zinndibutyldiacetat und Titanisopropylat. Es liegt im Rahmen der Erfindung, eine Zusammensetzung zu verwenden, die Salze verschiedener Metalle enthält, um eine Metallbeschichtung

130048/0661 - 17 -

zu erzeugen, die ein Gemisch verschiedener Metallverbindungen enthält.

Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Bildung einer Metall- oder Metallverbindungsschicht auf einer Fläche eines erhitzten Glassubstrates. Diese Vorrichtung weist einen Tunnel auf, Einrichtungen zum Fördern eines Substrates in einer gegebenen, im folgenden"vorwärts" genannten Richtung durch den Tunnel. Weiterhin sind Sprüh- oder Spritzeinrichtungen vorgesehen, um wenigstens einen Tröpfchenstrom auf das Substrat an einer Beschichtungsstation im Tunnel abzugeben. Ein Gasabzugssystem ist vorgesehen, um kontinuierlich Umgebungsgase aus der Beschichtungsstation abzuziehen. Diese Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß das Abzugssystem wenigstens einen Abzugskanal aufweist, dessen Eintritt im Tunnel vor oder hinter der Beschichtungsstation angeordnet ist, wobei dieser Abzugskanal eine Schutzwand bildet oder mit einer Schutzwand verbunden ist, wobei diese Schutzwand derart angeordnet ist, daß sie verhindern kann, daß Gase über diesen Kanal hinweg zu dem Tröpfchenstrom oder den Tröpfchenströmen hin und in Kontakt mit diesem oder diesen strömen.

Ausführungsbeispiele verschiedener erfindungsgemäßer Vorrichtungen, sollen uijter Be.zugnahme. _auf die Figuren, der..zeich- ._,_v„.,.. _s. ^ilngDe'sciir'ieDen'^iexä.eni' ~<·:··^!:"·-^v-^·-'■ ·" ■·'■*■· ·.·■·■·■"·^:- ..·..·-·· -.-.,-■■/,- ·.--.

Die Fig. 1 bis 4 zeigen Schnittansichten von Teilen von vier verschiedenen Flachglasherstellungsanlagen, bei denen derartige Beschiehtungseinrichtungen vorgesehen sind.

Jede der Figuren zeigt einen Teil eines Tunnels, beispielsweise eines Entspannungs- oder Glaskühlofens, durch ein neu gebildetes Glasband von einer nicht dargestellten Flach-

130048/0661

- 18 -

glasherstellungsanlage gefördert wird. In diesem Glaskühlofen sind Einrichtungen vorgesehen, mit denen Material auf das Glasband gesprüht wird, und es ist ferner eine Abzugsanlage vorgesehen, mit der Gase nach vorn oder in Förderrichtung des Glasbandes längs des Kühlofens von der Beschichtungsstation abgezogen werden. Die verschiedenen Anlagen sind hinsichtlich bestimmter Teile identisch und entsprechende Teile sind durch die gleichen Bezugsziffern in den verschiedenen Figuren gekennzeichnet. Diese gemeinsamen Teile sollen zuerst unter Bezugnahme auf Fig. 1 beschrieben werden.

Der Entspannungs- oder Glaskühlofen 1 weist eine feuerfeste Decken- und Bodenwand 2, 3 auf. Das Glasband 4 bewegt sich durch den Entspannungs- oder Glaskühlofen in Richtung des Pfeiles 5, wobei er von Rollen 6 getragen wird. Zwei Spritzpistolen 7 und 8 sind innerhalb des Entspannungsoder Kühlofens oberhalb der Bewegungsbahn des Glasbandes angeordnet. Jede dieser Pistolen ist an einer Querführung montiert und mit einem Antriebsmechanismus verbunden,der die Spritzvorrichtung quer durch den Entspannungsofen hin und her bewegt. Die Montage und der Antriebsmechanismus der Pistole sind an sich bekannt und müssen nicht im einzelnen beschrieben werden. Die Spritzpistolen sind derart angeordnet, daß sie Lösungen eines beschichtungsvorläufermaterials

strat hin geneigt sind, abgeben. Die Spritzpistole 7 gibt eine Lösung einer Beschichtungsvorläuferverbindung, beispielsweise Titanacetylacetonat, ab, und diese Verbindung wird in eine Metalloxidunterschicht umgewandelt, die sich in Kontakt mit dem heißen Glasband befindet. Die Spritzpistole 8 gibt eine Lösung einer Überzugsvorläuferverbindung ab, beispielsweise eine Lösung eines Zinnchlorides, und diese wird in Kontakt mit dem heißen Glassubstrat in eine

130048/0661

- 19 -

Metalloxidüberzugsbeschichtung umgewandelt. Unmittelbar hinter der Querbewegungsbahn der Spritzpistole 7 befindet sich eine Wand 11, die sich quer durch den Entspannungsofen oberhalb der Bewegungsbahn des Glasbandes erstreckt. Die Temperaturbedingungen des Glases können vorher zur Aufnahme der Metalloxidbeschichtungen eingestellt werden.

Eine Abzugsanlage ist im Entspannungsofen vor der Beschichtungsstation angeordnet. Diese Abzugsanlage weist einen ersten Abzugskanal 12 und einen zweiten Abzugskanal 13 auf. Diese Kanäle erstrecken sich quer durch den Entspannungs- oder Glaskühlofen und weisen schlitzartige Eintrittsdüsenöffnungen auf, die zur Beschichtungsstation hinweisen und die sich über die Breite der bandbewegungsbahn hinweg erstrecken. Diese Kanäle sind mit nicht dargestellten. Einrichtungen verbunden, welche Saugkräfte in den Kanälen aufrechterhalten, um Umgebungsgase aus der Beschichtungsstation nach vorn und in die Kanäle hinein strömen zu lassen. Derartige Abzugsströme sind durch die Pfeile 14, 15 dargestellt. Der Abzugsstrom 15 besteht aus Gasen, die unter dem Abzugskanal 12 vorbeiströmen.

Bei Glasbändern mittels einer Vorrichtung, wie sie im Vorstehenden beschrieben wurden, treten manchmal Fehler auf, die durch Nebenreaktionen oder Abscheidung von Reaktions-"p'foduicte'n irine'fhalb ''äfer'"Umg^ebuti^

entstehen. Das Auftreten derartiger Fehler kann manchmal durch eine entsprechende Einstellung der Saugkräfte im Abzugssystem herabgesetzt werden. Trotz dieser Steuermaßnahme treten gewisse derartige Fehler noch von Zeit zu Zeit auf. Die Maßnahmen, die gemäß der Erfindung in den vier verschiedenen Anlagen, die in den Figuren dargestellt sind, ergriffen werden, um weitere Verbesserungen in der Qualität der Beschichtung zu erzielen, sollen nunmehr beschrieben werden.

130048/0661

— /.Kj —

Bei der in Fig. 1 dargestellten Anlage ist eine Schutzwand 16 vorgesehen, die aus einer Metallplatte oder einer Platte aus einem anderen Material besteht, und diese Schutzwand 16 erstreckt sich von einer Stelle oberhalb und in der Nachbarschaft der Spritzpistole 8 nach vorn und unten geneigt zum Abzugskanal 12. Diese Schutzwand hat zwei Wirkungen. Als erstes wurde gefunden, daß die Beschichtung auf dem Glas weniger durch Abscheidung einer Substanz oder durch Abscheidung von Substanzen aus der Umgebung oberhalb des Glasbandes an der beschichtungsstation oder durch einen Kontakt mit reaktiven Substanzen, die in Kontakt mit der Beschichtung vor der Beschichtungszone gezogen werden, verschlechtert wird. Innerhalb des Entspannungsofens sind normale Gasrückströmungen vorhanden, wobei dieses Gas im oberen Bereich des Entspannungsofens zu dessen Eingang hin strömt. Die Verbesserung der Beschichtungsqualität ruht wahrscheinlich hauptsächlich auf der Tatsache, daß die Schutzwand die Gasrückströme daran hindert, über den Abzugskanal 12 hinweg und in Kontakt mit den Tröpfchenströmen 9 und 10 zu strömen und/oder auf der Tatsache, daß die Schutzwand unvermeidlich verhindert, daß diese Rückströmgase mit den Abzugsgasströmen, wie beispielsweise den Strömen 14, in Berührung gelangen, die aus der Beschichtungsstation zur Abzugsanlage hin strömen.

diese eine gleichförmige Strömung der Umgebungsgase in die Abzugsleitung 12 unterstützt, wie es durch die Pfeile 14 angedeutet wird.

Eine weitere Verbesserung der Beschichtungsqualität bezüglich einer Reihe von unerwünschten Abscheidungen kann dadurch erzielt werden, daß eine weitere Schutzwand 17 zwischen dem zweiten Abzugskanal und der Deckenwand des Entspannungs-

130048/0861 _ ₂₁ „

ofens eingebaut wird, wie es gestrichelt dargestellt ist. Diese Verbesserung ist von Bedeutung, da bei Nichtvorhandensein dieser Schutzwand es möglich ist, daß Material, welches von den rückströmenden Gasen, die über den Abzugskanal 13 hinwegströmen, mitgenommen wird oder Material, welches als Ergebnis einer Zwischenwirkung derartiger rückströmenden Gase mit den Abzugsströmen 15 entsteht, auf dem Glasband in einem Bereich zwischen den beiden Abzugskanälen 12 und 13 abgeschieden werden kann.

Die Anwesenheit von Staub im Gasrückstrom kann durch das Auftreten von StaubanSammlungen auf den Oberflächen der Schutzwände festgestellt werden, die diesen Gasrückströmen ausgesetzt sind. Diese Staubsansammlung erfolgt sehr langsam. Für diese Schutzwand ist es von Vorteil, wenn sie wie die Schutzwand 17 senkrecht angeordnet wird, um die Gefahr auszuschalten, daß wesentliche Staubmengen, die sich über eine Zeitdauer angesammelt haben, auf das Glasband fallen.

Es liegt im Rahmen der Erfindung, auf die Schutzwand 16 zu verzichten und lediglich die Schutzwand 17 zu verwenden, um die Beschichtungsqualität zu verbessern. Da die Schutzwand 17 in der Lage ist, zu verhindern, daß Gasrückströme Über den Abzugskanal 13 aus einem Bereich weiter stromab im -P?®^²^..⁵^^™^*--^?^.¹?^⁶.^-^^.?.?· .Sch.utzwand.j daß derartige

Schutzwand 16 nicht vorhanden ist, ist es möglich, daß nach vorn gerichtete Gasströme, die am Kanal 12 vorbeigehen und nicht in den Kanal 13 eintreten, über den Kanal 12 zurückströmen und in Kontakt mit dem Tröpfchenstrom gelangen. Die Schutzwand 17 vermindert jedoch jede derartige Neigung, und die Verwendung der Schutzwand 17 allein ist wirksam, um die Beschichtungsqualität zu verbessern.

130048/06 61

Bei der Ausführungsform der Erfindung, die in Fig. 2 dargestellt ist, wird eine Schutzwand 17 in Verbindung mit dem zweiten Abzugskanal 13 verwendet, und eine Brücke 18 zwischen den beiden Abzugskanälen. Die zusätzliche Verwendung dieser brücke ist vorteilhaft,weil sie verhindert, daß nach vorn gerichtete Gasströme, die am Kanal 12 vorbeiströmen, nach oben aus dem Einflußbereich der Saugkräfte im Kanal 13 herausströmen und dann zur Beschichtungsstation zurückgezogen werden. Jegliche Neigung einer Entstehung von Turbulenzen im Bereich zwischen den beiden Abzugskanälen wird vermindert, und die nach vorn gerichteten Gasströme werden leichter über den Abzugskanal 13 abgezogen.

Bei der in Fig. 3 dargestellten Vorrichtung wird zwischen den beiden Abzugskanälen eine kuppelartige Brücke 19 verwendet., und in der Mitte der Brücke ist ein Abzugsrohr 20 vorgesehen, welches ebenfalls einen Teil des Abzugssystems bildet. Saugkräfte werden in diesem Rohr sowie in den Abzugskanälen 12 und 13 aufrechterhalten. Diese Saugkräfte dienen dazu, Turbulenzen oder Streuströmungen in der Atmosphäre zwischen den Kanälen auszuschalten oder ZU vermindern. Bei dieser speziellen Anlage werden die Brücke und das zugeordnete Abzugsrohr zusammen mit Schutzwänden -.».>. p.^. .-.1-6· und -.1.7, verwendet, -die dem- ersten -und zweiten Kanal zu-.:.,..— geordnet sind. Es wurde gebunden, daß diese kombinierten Maßnahmen vorteilhaft sind, um Beschichtungen sehr hoher Qualitäten zu erzeugen. Es liegt jedoch im Rahmen der Erfindung, die in Fig. 3 dargestellte Anlage dadurch abzuändern, daß eine der Schutzwände 16 und 17 fortgelassen wird.

Bei den in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Anlagen sind zwei aufeinanderfolgende Abzugskanäle in der Nähe der Glasbandbewegungsbahn vorgesehen. Ein vorteilhaftes Merkmal

130048/0661

der Beschichtungsvorrichtung, die in diesen Anlagen verwendet wird, besteht in der Anordnung dieser Abzugskanäle derart, daß der Eintritt in den zweiten Kanal dichter an der Glasbandbewegungsbahn liegt als der Eintritt in den ersten Kanal. Diese Anordnung berücksichtigt die Verminderung der Volumenströmungsrate des Gases im nach vorn gerichteten Strom durch das Abziehen eines Teiles dieses Stromes durch den ersten Kanal. Im allgemeinen können diese Kanäle in einem Abstand zwischen 1 cm und 20 cm oberhalb der Glasbandbewegungsbahn angeordnet sein, und zwar in Abhängigkeit von der Gesamtgestaltung und Gesamtleistung der Anlage. Gute Ergebnisse werden beispielsweise erhalten, wenn der erste und zweite Kanal mit ihren Eintrittsöffnungen 10 cm und 5 cm oberhalb der Glasbandbewegungsbahn angeordnet sind.

In der in Fig. 4 dargestellten Anlage sind drei aufeinander-, folgende Abzugskanäle längs des Entspannungsofens angeordnet, nämlich die Abzugskanäle 12 und 13, wie bei den Anlagen, die in den Fig. 1 bis 3 dargestellt sind, und ein dritter Abzugskanal 21. Die Anordnung des dritten Abzugskänals ist insbesondere in Anlagen nützlich, in denen große Gasvolumina im Entspannungsofen nach vorn strömen und/oder in denen zusätzliche Abzugseinrichtungen wegen der verhält-.... -nismäßig..großen -Spritzgeschwindigkeit oder, des. verhältnismäßig großen Spritzvolumens oder wegen der Natur des gespritzten Materials erforderlich sind. Bei einer speziellen Anlage, mit der gute Ergebnisse erzielt werden, sind die Kanäle 12, 13 und 21 in Abständen von 10 cm, 5 cm und 2,5 cm oberhalb der Glasbandbewegungsbahn angeordnet. Eine Schutzwand 16 wird in Verbindung mit dem ersten Abzugskanal verwendet, und eine senkrechte Schutzwand 22 wird in Verbindung mit dem dritten Abzugskanal verwendet. Eine Brücke 23 ist zwischen dem zweiten und dritten Abzugskanal vor-

130048/0661

gesehen,und eine Brücke 18 ist zwischen dem ersten und zweiten Abzugskanal vorgesehen. Die Brücke 23 hat die gleiche Funktion in Bezug auf die Gase, die am Abzugskanal 13 vorbeigehen wie die Brücke 18 in Bezug auf die Abzugsgase, die am Abzugskanal 12 vorbeigehen. Mit der Beschichtungseinrichtung, die in Fig. 4 dargestellt ist, können Beschichtungen außerordentlich hoher Qualität hergestellt werden.

Bei dem im Vorstehenden unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung beschriebenen Verfahren werden die Beschichtungssprühstrahlen auf das Substrat nach vorn und unten gerichtet. Die erfindungsgemäßen Verfahren können in der dargestellten Weise auch mit der Abänderung durchgeführt werden, daß die Bewegungsbahn des Glasbandes durch den Entspannungsofen entgegengesetzt zu der des Pfeiles 5 ist. In diesen Fällen werden die Beschichtungssprühstrahlen nach unten und hinten geneigt. Derartige alternative Verfahren können Beschichtungen hoher Qualität erzeugen, jedoch werden im allgemeinen die besten Ergebnisse erzielt, wenn man Sprühstrahlen verwendet, die nach unten und vorn geneigt sind, wobei gute Ergebnisse bezüglich der Beschichtungsgleichförmigkeit erzielt werden, und zwar insbesondere dann, wenn relativ dicke Beschichtungen hergestellt werden.

Öie'äar'ges'teilte^

Beschichtungen auf einem kontinuierlichen Glasband gebildet werden. Die dargestellten beschichtungsvorrichtungen können ebenfalls verwendet werden, um getrennte Glasscheiben während ihrer Förderung durch einen Tunnel, wie beispielsweise den Entspannungsofen 1, zu beschichten. Wenn getrennte Scheiben beschichtet werden, ist es manchmal vorteilhaft, Bodenabschirmwände vorzusehen, die sich quer über den unteren Teil

130048/0681"

des Tunnels unterhalb der Förderbahn der Scheibe erstrecken, um zu verhindern, daß Gaskonvektionsrückströme, die entlang des unteren Teiles des Tunnels strömen/ zwischen aufeinanderfolgenden Scheiben nach oben aufsteigen und die Umgebung der Beschichtungsstation oder der Beschichtungsstationen stören.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben.

Beispiel 1

Ein Flachglasband mit einer Breite von etwa 2,5 m wurde beschichtet, als dieses sich von einem Schwimmtank mit einer Geschwindigkeit von 4,5 m pro Minute fortbewegte, wobei eine beschichtungsvorrichtung verwendet wurde, wie sie in Fig. 3 dargestellt ist, wobei jedoch die Spritzpistole 7 nicht verwendet wurde.

Die Spritzpistole 8, die den üblichen Aufbau hatte, wurde mit einer Rate von 50 1 pro Stunde mit einer Lösung gespeist, die durch Lösung von Kobaltacetylacetonat Co (C₅H₇O₂)2H₂O in Dimethylformamid in einer Menge von 150° Acetylacetonat pro 1 Lösungsmittel erhalten wurde. Die

_rt ^^^ßpxL^zpXstqX^^.ar^n^ßine^^^lie^yo^ 25 jcm.gbe.rh^lb .des _<;. _.

ί.. ..Λ.*..--·..- Q^g_s'ij)'älndes*TmtfnÖ '■ "' ■

30° zur Ebene des Glasbandes ausgerichtet. Die Spritzpistole wurde zehnmal pro Minute hin und her bewegt. Die abgesprühte Lösung prallte auf das Glasband an einer Stelle längs dessen Bewegungsbahn auf, an der das Glas eine Temperatur von etwa 580° C hatte.

130048/0661

Die Abzugskanäle 12 und 13 waren in einer Höhe von 20 cm bzw. 5 cm oberhalb des Glasbandes angeordnet, und das > Absaugsystem war so eingestellt, daß ein Unterdruck in der Größenordnung von 50 mm Wassersäule in jedem der Kanäle aufrechterhalten wurde. Geringere Saugkräfte wurden in dem Abzugsrohr 20 aufrechterhalten, um Gase aus dem Bereich oberhalb des Eintrittes in den Abzugskanal 13 abzusaugen.

Die Ausstoßrate der Beschichtungslösung war derart eingestellt, daß eine Kobaltoxidbeschichtung (Co₃O₄) mit einer Dicke von etwa 920 S auf dem Glas ausgebildet wurde. Es wurde gefunden, daß die Beschichtung nicht nur eine homogene Struktur und eine gute optische Qualität hatte, sondern auch relativ frei von örtlichen inneren Einschlüssen und Fehlern an der Beschichtungsoberflache war, wie sie gelegentlich auftreten, wenn man das gleiche Verfahren ohne die Schutzwände 16 und 17 durchführt, wobei diese Fehler als Schleier zu erkennen waren, wenn das beschichtete Glas unter durchscheinendem Licht betrachtet wurde.

Beispiel 2

Es wurde die unter Bezugnahme auf Fig. 1 beschriebene Be-Schichtungsvorrichtung verwendet, um ein Glasband zu be-„schicJiten^.jtf.eJLph^

Herstellung 'dieses"Bände's mittels eines tiibb'ey-ÖWeris-Zienverfahrens. Die Bewegungsgeschwindigkeit des Glasbandes betrug etwa 1 m pro Minute. Die Beschichtungsvorrichtung war an einer derartigen Stelle eingebaut, daß die Temperatur des Glases in der Aufprallzone des Tröpfchenstromes etwas 600 C betrug.

- 27 -

004 8/06B1

Die Spritzpistole 7 wurde nicht verwendet. Die Spritzpistole 8 wies den üblichen Aufbau auf und wurde mit

2
einem Druck von 4 kg/cm betrieben. Die Spritzpistole wurde quer zur Bandbewegungsbahn neunmal pro Minute in einer Höhe von 30 cm oberhalb des Glasbandes hin und her bewegt. Die Spritzpistole war so ausgerichtet, daß die Achse des Sprühstrahles unter einem Winkel von 30° zur Glasbandebene verlief.

Die Spritzpistole wurde mit einer wässrigen Lösung von hydratisiertem Zinnchlorid (SnCl₂2H₂O) und NH₄HF₃ (Dotiermittel) gespeist, wobei diese Lösung 375 g Zinnchlorid und 55 g NH₄HF₃ pro 1 Wasser enthielt.

Die Abzugskanäle 12 und 13 waren in einer Höhe von 20 cm bzw. 10 cm oberhalb des Glasbandes angeordnet und das Abzugssystem war derart eingestellt, daß ein Unterdruck von etwa 100 mm Wassersäule in jedem Abzugskanal aufrechterhalten wurde.

Die Beschichtungslösung wurde der Spritzpistole mit einer Rate von 20 1 pro Stunde und in einer Menge von 10 Nm /pro Stunde Trägergas zugeführt. Eine Zinnoxidbeschichtung, die mit Fluorionen dotiert war und eine Dicke von 7500 A auf- _:wie,s_vfwurde^auf ,.dem^^.Glas_;band.,ausgebildet...^ ..,.., __Λ.^_; ....,..,.,,..,. „.

Es wurde gefunden, daß die Schutz- oder Trennwand 16 zur Verminderung des Auftretens von Beschichtungsfehlern nützlich war, die eine innere Schleierbildung hervorrufen. Wenn bei Vergleichsversuchen die Schutzwand 17 verwendet wurde, wurden diese Verbesserungen verstärkt, und es ergab sich, daß die Wand 17 die Gefahr von örtlichen Fehlern, die an der Glasoberfläche auftreten könnten, vermindert.

- 28 -

130 04 8/0 681

Bei einem weiteren Vergleichsversuch wurde die Schutzwand 17 ohne Schutzwand 16 allein verwendet. Eine überprüfung der Beschichtung/ die auf dem Glas ausgebildet wurde, und ein Vergleich mit anderen Ergebnissen zeigte, daß das Vorhandensein der Wand 17 das Auftreten von Fehlern an der Oberfläche der Beschichtung vermindert und in einem gewissen Ausmaß dazu beiträgt/Fehler innerhalb der Beschichtung auszuschalten.

Beispiel 3

Ein Band aus gezogenem Glas wurde in der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung beschichtet. Beide Spritzpistolen 7 und 8 wurden verwendet. Die Spritzpistole 7 wurde mit einer Lösung von Titan-Di-Isopropoxidiacetylacetonat in Isopropylalkohol gespeist, wobei das Acetylacetonat durch eine Reaktion von Titan-Tetraisopropylat und Acetylaceton in einem Molverhältnis von 1 : 2 hergestellt wurde. Das Acetylacetonat wurde mit einer derartigen Rate zugeführt, daß eine Unterlagenschicht aus TiO₂ mit einer Dicke von 300 & auf dem Glasband ausgebildet wurde.

Die Spritzpistole 8 wurde mit einer wässrigen Lösung von Zinnchlorid und einem Dotiermittel, wie im Beispiel 2, ge-,speist,., um..eine. Zinnoxidschicht ,..,die.jait-Fluprionen. .dotiert, , ist und"eine'Dicke* von' 7Ϊ5ΟΟ A* hat'/ auf der Oberseite der''"'·' Titanoxidunterlage herzustellen.

Die Abzugskanäle 12 und 13 waren in einer Höhe von 10 bzw. 5 cm oberhalb des Glasbandes angeordnet, und das Abzugssystem war derart eingestellt, daß ein Unterdruck in der Größenordnung von 100 mm Wassersäule in jedem der Kanäle aufrechterhalten wurde.

130 04 8/0661

Eine überprüfung des beschichteten Glases und ein Vergleich mit einem Produkt, das mittels eines Verfahrens erhalten wurde, bei dem die Schutzwand 17 oder die Brücke 18 nicht verwendet wurde, welches jedoch ansonsten identisch war, zeigt, daß die Verwendung der Schutzwand und der Brücke vorteilhafte Wirkung hatte, daß das Auftreten von örtlichen Fehlern innerhalb der Beschichtung und an der Beschichtungsoberfläche vermindert wurde. Das Vorhandensein der Beschichtungsunterlagen, die durch den Betrieb der Spritzpistole 7 hergestellt wurde, schaltete eine Verschleierung an der Glas-Beschichtungsgrenzflache aus.

Bei einer abgeänderten Ausführungsform dieses Beispiels, bei der die Schutzwand 17 und die Brücke 18 verwendet wurde, war der zweite Abzugskanal 13 in einer Höhe von 10 cm oberhalb des Glasbandes angeordnet. Das Ergebnis war nicht so gut, obwohl es noch besser war als bei Verfahren, die ohne Schutzwand und Brücke durchgeführt wurden.

Beispiel 4

Ein gezogenes Glasband wurde beschichtet, wobei die in Fig. dargestellte Vorrichtung verwendet wurde, welche drei Abzugskanäle 12, 13 und 21 aufweist, die 10 cm bzw. 5 cm und ■bzw» 2,5 era über—dem Glasband angeordnet. waren... ...

Die Spritzpistole 7 wurde mit einer Lösung von Zinndibutyldiacetat in Dimethylformamid in einer Konzentration von 5 Volumenprozent gespeist. Diese Pistole wurde mit einem

2
Druck von 3 kg/cm betrieben und mit dieser Lösung mit einer derartigen Rate gespeist, daß auf dem Glasband eine Beschichtungsunterlage aus SnO- mit einer Dicke in der Größenordnung von 60 Ä hergestellt wurde.

130048/0661

- 30 -

Die Spritzpistole 8 wurde mit einer wässrigen Lösung von Zinnchlorid und Dotiermittel, wie im Beispiel 2, gespeist, um eine dotierte Zinnoxidbeschichtung mit einer Dicke 7500 Ä auf der Oberseite der Unterlage herzustellen.

Das Produkt dieses Verfahrens wurde geprüft, und es wurde gefunden, daß es eine ausgezeichnete Qualität hat. Es waren tatsächlich keine Fehler innerhalb der Beschichtung oder in der Grenzfläche zwischen Glas und Beschichtung vorhanden. Die Oberfläche der Beschichtung war frei von unerwünschten Abscheidungen, die durch eine anschließende Oberflächenbehandlung hätten entfernt werden müssen.

130048/0661

Claims

ί · I>KUFIfI> · rsCIIOjJji- ?·.^κ"^Ιί7Γ^{Ε L:}

30, Jan. 198V

DF). WOLFGANG MULLER-BORE (PATENTANWALTVON 1927-1873) DR. PAUL DEUFEL, DIPL.-CHEM. DR. ALFRED SCHÖN, DIPL.-CHEM. WERNER HERTEL, DIPL.-PHYS.

ZUGELASSENE VERTRETER BEIM EUROPÄISCHEN PATENTAMT REPRESENTATIVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE MANDATAIRES AGREES Pr£s L¹OFFICE EUROPEEN DES BHEVETS

Hl/Gei.-B 1446

BFG GLASSGROUP, 7, rue de Teheran, Paris / Frankreich

Verfahren und Vorrichtung zur Glasbeschichtung

Patentansprüche / 1i Verfahren zur Bildung eines Metall- oder Metallverbindungs-

Überzuges auf einer Oberfläche eines erhitzten Glassubstrates während dessen Förderung durch einen Tunnel, in dem das Substrat an einer Beschichtungsstation mit wenigstens einem Tröpfchenstrom in Kontakt gebracht wird, welcher eine Substanz oder Substanzen enthält, aus der oder aus denen die Metall- oder Metallverbindungsbeschichtung auf der Oberfläche gebildet wird, wobei gleichzeitig Saugkräfte in einem Abzugssystem ausgebildet werden, um Umgebungsgase von dieser Beschichtungsstation abzuziehen, dadurch gekennzeichnet, daß das Abzugssystem wenigstens einen Abzugs-

130048/0661 - 2 -

β MÜNCHEN 86, SIEBERTSTR. 4 ■ POB 860720 · KABEL: MUEBOPAT · TEL. (089) 47 4005 · TELECOPIER XEROX 400 · TELEX 5-24

kanal aufweist, dessen Eintrittsöffnung im Tunnel vor oder hinter der Beschichtungsstation angeordnet ist und der eine Schutzwand bildet oder dem eine Schutzwand zugeordnet ist, wobei diese Schutzwand derart angeordnet ist, daß verhindert wird, daß Gase über diesen Kanal hinwegströmen, und zwar zu dem Tröpfchenstrom oder den Tröpfchenströmen hin und in Kontakt mit diesem oder diesen gelangen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich wenigstens eine Schutzwand quer über den oberen Teil des Tunnels zwischen dem Abzugskanal und der Tunneldecke erstreckt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der Schutzwände sich im wesentlichen senkrecht erstreckt.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind und daß die Schutzwand wenigstens durch denjenigen Abzugskanal gebildet wird oder mit wenigstens demjenigen Abzugskanal verbunden ist, weiter oder am weitesten von der Beschichtungsstation angeordnet ist.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder von wenigstens zwei Abzugskanälen, die im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind, diese Trennwand bilden oder mit einer Trennwand verbunden sind.

13004 8/0 681
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trennwand vorgesehen ist, die von einer Stelle oberhalb und in der Umgebung der Quelle oder Quellen des Tröpfchenstromes oder der Tröpfchenströme nach vorn und unten geneigt zum ersten Abzugskanal sich erstreckt oder zum ersten von aufeinanderfolgenden Abzugskanälen, falls mehr als einer vorgesehen sind.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels vorgesehen sind und daß sich über den Raum zwischen derartigen Kanälen eine Brücke erstreckt, welche verhindert, daß rüströmende Gase zwischen diesen Abzugskanälen herabsinken.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß Saugkräfte in einem Abzugsrohr erzeugt werden, welche in mindestens einer Zwischenkanalbrücke eingebaut oder eben wenigstens einer Zwischenkanalbrücke angeordnet ist, um Gase aus dem oberen Teil des Raumes unterhalb der Brücke abzuziehen.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind und daß der senkrechte Abstand dieser Eintrittsöffnungen von der Substratsfläche vom ersten Kanal bis zum letzten Kanal abnimmt.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Tröpfchenstrom oder die Tröpfchenströme nach unten und vorn oder nach unten und hinten auf das Substrat gerichtet ist oder sind und daß der Abzugskanal oder die Abzugskanäle derart angeordnet ist oder

130048/0861

sind, daß Gase von der Beschichtungsstation in der gleichen (Vorwärts- oder Rückwärts-) Richtung abgezogen werden.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Tröpfchen Tröpfchen einer Metallsalzlösung, beispielsweise einer Metallchloridlösung, sind, aus der eine Metalloxidschicht auf der Substratsfläche ausgebildet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung eine Zinnchlorid-Lösung ist.
13. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 12 mit einem Tunnel und mit Einrichtungen, mit denen ein Substrat durch den Tunnel in einer Richtung gefördert wird, wobei Spritzeinrichtungen vorgesehen sind, mit denen wenigstens ein Tröpfchenstrom auf das Substrat an einer Beschichtungsstation im Tunnel abgegeben wird und wobei eine Gasabzugseinrichtung vorgesehen ist, um kontinuierlich Umgebungsgase von der Beschichtungsstation abzuziehen, dadurch gekennzeichnet, daß die Abzugseinrichtungen wenigstens einen Abzugskanal aufweisen, dessen Eintrittsöffnungen vor oder hinter der Beschichtungsstation angeordnet ist und daß dieser Abzugskanal eine Schutzwand bildet oder mit einer Schutzwand verbunden ist, wobei diese Schutzwand derart angeordnet ist, daß verhindert werden kann, daß Gase über diesen Kanal hinweg zum Tröpfchenstrom oder zu den Tröpfchenströmen hin und in Kontakt damit strömen.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß sich wenigstens eine Schutzwand quer durch den oberen Teil des Tunnels zwischen dem Abzugskanal und der Tunneldecke erstreckt.

130048/0661 _ _
15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Schutzwand vorgesehen ist, die im wesentlichen senkrecht angeordnet ist.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind und daß die Schutzwand von wenigstens dem Kanal gebildet wird oder mit wenigstens dem Kanal verbunden ist, der weiter oder am weitesten von der Beschichtungsstation entfernt ist.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß jeder von wenigstens zwei Abzugskanälen, die im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind, eine Schutzwand bilden oder mit einer Schutzwand verbunden sind.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß sich, ausgehend von einer Stelle oberhalb und in der Umgebung der Quelle oder Quellen des Tropfchenstromes oder der Tröpfchenströme, nach vorn und nach unten geneigt zum Abzugskanal hin oder zum ersten von aufeinanderfolgenden Abzugskanälen hin, falls mehr als einer vorgesehen ist, erstreckt.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind und daß über dem Raum zwischen diesen Abzugskanälen sich eine Brücke erstreckt, die verhindert, daß rückströmende Gase zwischen diesen Kanälen nach unten sinken.

130048/0661 - ⁶ -
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abzugsrohr in wenigstens eine der Zwischenkanalbrücken eingebaut oder eben wenigstens einer der Zwischenkanalbrücken angeordnet ist und daß Einrichtungen vorgesehen sind, um Saugkräfte zu erzeugen, damit aus dem Bereich unterhalb der besagten Brücke Gase in dieses Abzugsrohr eingesaugt werden.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Abzugskanäle im Abstand voneinander längs des Tunnels angeordnet sind und daß die senkrechten Abstände zwischen den Eintrittsöffnungen dieser Abzugskanäle und der das Substrat tragenden Ebene des Förderers vom ersten Kanal zum letzten abnehmen.

130048/0661