NL8401646A

NL8401646A - Bekleden van heet glas met metalen of metaalverbindingen, in het bijzonder oxiden.

Info

Publication number: NL8401646A
Application number: NL8401646A
Authority: NL
Original assignee: Glaverbel
Priority date: 1983-06-17
Filing date: 1984-05-23
Publication date: 1985-01-16
Also published as: IT1178953B; IT8467576A0; DE3422105A1; ES8505624A1; SE462968B; FR2547576A1; GB8316532D0; ATA194684A; BE899825A; ES533895A0; JPH0674156B2; DE3422105C2; GB2142621B; JPS6096547A; GB2142621A; LU85393A1; CA1209805A; SE8403235D0; AT390428B; US4655810A

Description

*> NL 32112-Kp/cs

Bekleden van heet glas met metalen of metaalverbindingen, in het bijzonder oxiden.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het vormen van een metaal- of metaalverbindingbékleding op een oppervlak van vers gevormde strook heet glas tijdens zijn voortgang door een bekledingsstation, waarbij een dergelijk 5 substraat bij dat station wordt besproeid met bekledingspre-cursormateriaal, waaruit het bekledingsmetaal of -metaalverbinding op het substraat wordt gevormd. De uitvinding omvat voorts een inrichting, die gebruikt kan worden voor het uitvoeren van een dergelijke werkwijze.

10 Tijdens de afgelopen tien jaar is er veel onderzoek verricht naar het bedenken van werkwijzen, waarmee bekledingen van hoge optische kwaliteit kunnen worden gevormd onder normale bedrijfsomstandigheden en bij commercieel aanvaardbare kosten. Het is al lang onderkend, dat het grootste pro-15 bieem is het beheersen van de omstandigheden bij het bekledingsstation, zodanig dat de bekleding voorafbepaalde optische eigenschappen heeft over het totale beklede oppervlak. Blijkbaar hangen de optische eigenschappen onder andere af van de dikte van de bekleding en van zijn samenstelling en 20 structuur, met het gevolg, dat deze factoren zo constant mogelijk dienen te worden gehouden over het oppervlak van de bekleding.

Uit beschikbare literatuur is gebleken, dat aanzienlijke aandacht is besteed aan de richting, waarin het bekle-25 dingsprecursormateriaal wordt versproeid, als een van de factoren, die de resultaten van de werkwijze kunnen beïnvloeden. Bij sommige eerder voorgestelde werkwijzen wordt het bekle-dingsprecursormateriaal zodanig versproeid, dat er een drup-pelstroom ontstaat met zijn assen loodrecht op de baan van 30 het substraat. Volgens andere werkwijzen worden de druppels gericht tegen het substraat als een stroom, waarvan de as naar beneden toe een hoek maakt met het substraat, hetzij in de richting van de voortbeweging van het substraat, hetzij in de tegengestelde richting. Deze diverse procedures zijn 35 bijvoorbeeld beschreven in het Britse octrooischrift 1.523.991.

Bij bepaalde sproeiprocedures, zoals eerder voorgesteld, wordt het precursormateriaal versproeid in de vorm van 8401646 ft if

N

- 2 - een groot aantal druppelstromen, verdeeld over de breedte van het te bekleden oppervlak. Bij andere procedures wordt het precursormateriaal versproeid volgens een stroom (hierna als "scannende stroom" vermeld), die herhaaldelijk over het sub-5 straat wordt verplaatst.

In het belang van het verschaffen van constante en voorspelbare bekledingsomstandigheden is het een vaste praktijk het versproeien van het precursormateriaal zodanig te regelen, dat de dynamische omstandigheden bij de botsings-10 zone van de precursordruppels op het substraat zoveel mogelijk in evenwicht zijn. Sinds vele jaren is het echter onderkend, dat nadelige bekledingsdefecten optreden zelfs wanneer de momenta van de druppels vlak voor het contact met het substraat zeer laag zijn. Dit is omdat de te verkrijgen bekle-15 dingskwaliteit gevoelig is voor invloed van omstandigheden in de gasatmosfeer boven het substraat. Dientengevolge zijn er diverse methoden voorgesteld^zodanig in te werken op de atmosfeer, dat stoffen, die de bekleding nadelig zouden beïnvloeden , verwijderd.worden.

20 Een voorbeeld van een werkwijze, die een atmosfeer- controlemaatregel omvat, is beschreven in het eerdergenoemde Britse octrooischrift 1.523.991. Bij die methode zijn zuigkrachten opgewekt in een afvoerkanaal, zodanig aangebracht, dat de gassen uit de druppelstroom en zijn botsingszone kun-25 nen wegvloeien. Het octrooischrift wijst erop, dat de maatregel daartoe leidt, dat de neiging tot ontleding van producten wordt vermeden of tot een minimum beperkt, alsmede ook het neerslaan op het substraat of de reeds gevormde bekleding in de gasatmosfeer, en dat de genoemde controlemaatregel het 30 gemakkelijker maakt bekledingen met homogene structuur te vormen en uniforme dekking van het substraat te verkrijgen, onder voorbehoud, dat als een procesomstandigheid de zuigkrachten zodanig worden geregeld, dat zij praktisch zonder invloed zijn op de baan van de precursordruppels naar het 35 substraat toe.

Andere werkwijzen, waarbij gebruik wordt gemaakt van atmosfeercontrolemaatregelen, zijn beschreven in de Britse octrooischriften 2.058.937 A en 2.069.992 A. De in het Britse 8401646 - 3 - * * octrooischrift 2.05S.937 A beschreven werkwijze wordt uitgevoerd onder gebruikmaking van een loodrecht gerichte of gebogen scanning spray en drijfgas over de scanbaan van de spray, niet in lijn met de druppelstroom of druppelstromen.

5 Het doel van deze gasvoortstuwing.is het schoonmaken van de atmosfeer in de scanbaan van de druppelstroom of -stromen door verwijdering van dampfasereactieproducten, die anders door de druppelstroom of -stromen naar het substraat zouden worden meegevoerd. Het octrooischrift geeft aan, dat de rei-10 nigende gasstroom continu kan worden aangevoerd mits zijn bron in tandem wordt aangebracht met de bron van de druppelstroom of -stromen. Indien aan de andere kant het reinigings-gas uit een stationaire bron wordt aangevoerd, dan wordt het gas intermitterend aangevoerd, uit fase met de beweging van 15 de spray, zodat de reinigingsgasstroom niet met de druppels in aanraking komt.

In de in het Britse octrooischrift 2.069.992 A beschreven methoden worden de precursordruppels versproeid in een richting onder een hoek naar beneden toe voorwaarts of · 20 benedenwaarts en achterwaarts ten opzichte van het substraat ("voorwaarts" betekent in de richting van de substraatbewe-ging), terwijl een gasstraal wordt gericht tegen de achterkant van de of elk naar beneden gerichte druppelstroom. Deze gasstraal heeft tot gevolg, dat het voorkomen van bekledings-25 defecten wordt verlaagd, hetgeen aanleiding geeft tot licht-diffusie, in het bijzonder aan het bekledingsoppervlak of aan de scheidingszone tussen de bekleding en het substraat. De veronderstelde reden voor dit effect is, dat het gas de stoffen onderschept, die anders naar het substraat zouden worden 30 meegevoerd vanuit de atmosfeer vlak aan het eind van de druppelstroom of -stromen. Het octrooischrift toont dat de precursordruppels kunnen worden aangevoerd in een groot aantal stromen uit stationaire bronnen, verdeeld over de baan van het substraat, in welk geval het gas uit een of meer sta-35 tionaire openingen, die zich uitstrekken over of verdeeld zijn over de substraatbaan, kan worden gesproeid. Alternatief kan gebruik worden gemaakt van een of meer scannende druppelstromen, terwijl het gas kan worden aangevoerd uit 8401646 ‘ · -.-4.

s ·' een opening of openingen, die transversaal over de baan van het substraat samen met de druppelstroom of -stromen wordt of worden verplaatst. Het octrooischrift vermeldt, dat de kracht van de gasstraal of gasstralen niet zodanig moet zijn, 5 dat de druppelstroom of -stromen ongelijkmatig worden.

Door een of meer van de bovenbeschreven atmosfeer-controlemaatregelen te nemen is het mogelijk bekledingen van zeer goede optische kwaliteit te verkrijgen onder massapro-ductieomstandigheden. De bekende methoden hebben echter be-10 perkingen met het oog op de bekledingvormingssnelheden (uitgedrukt in termen van bekledingsvolume per tijdseenheid), die behaald kunnen worden. Dit is omdat de bekende methoden worden beheerst door het beginsel van het zo constant mogelijk houden van de dynamische omstandigheden bij de sproei-15 zone. Teneinde te voldoen aan deze omstandigheid wordt het versproeien zodanig geregeld, dat een zeer zachte afzetting van de druppels op het substraat plaatsvindt, terwijl de omgevingsomstandigheden zodanig worden geregeld, dat de drup-pelbanen zo min mogelijk worden verstoord. De maximaal toe-20 laatbare bekledingsvormingssnelheid, die behaald kan worden, is afhankelijk van diverse factoren en kan verschillen van de ene methode tot de andere, maar het is in alle gevallen te laag voor het verkrijgen van bekledingsvormingssnelheden, die soms wenselijk zijn. Vanzelfsprekend bepaalt de bekle-25 dingsvormingssnelheid de dikte van de bekleding, die op een glasstrook kan worden gevormd bij een bepaalde transportsnel-heid door het bekledingsstation.

Het doel van de uitvinding is het verschaffen van een werkwijze, die geschikt is voor het verkrijgen van hogere 30 bekledingsvormingssnelheden en derhalve toegepast kan worden voor de vorming van dikkere bekledingen en/of voor het bekleden van glasstroken, die met hogere snelheid voortbewegen.

Dienovereenkomstig verschaft de uitvinding een werkwijze voor het vormen van een metaal- of metaalverbindingbe-35 kleding op een oppervlak van een versgevormde strook heet glas tijdens zijn voortgang in een gegeven richting ( hierna aangegeven als "voorwaarts") door een bekledingsstation, waarbij het oppervlak bij het bekledingsstation wordt be- 84 0 1 6 4 6 • ij.

- 5 - sproeid met een bekledingsprecursormateriaal, waaruit de metaal- of metaalverbindingbekleding wordt gevormd op het oppervlak, met het kenmerk, dat het bekledingsprecursormateriaal wordt versproeid in de vorm van tenminste een stroom 5 druppels, die naar beneden en voorwaarts op de glasstrook wordt gericht en herhaaldelijk dwars op de bewegingsbaan van de strook wordt verplaatst, zodanig dat het strookoppervlak wordt gescanned door de druppelstroom of -stromen; de snelheden van de druppels in de stroom of stromen zodanig zijn, 10 dat het praktisch uiteenspatten van het materiaal op het strookoppervlak plaatsvindt/ gas continu wordt aangevoerd in de atmosfeer achter de druppelstroom of -stromen, teneinde een voorwaarts gerichte gasstroom te handhaven, die de achterhelft van de of elke druppelstroom omgeëftv tenminste 15 bij de onderkant van de stroombaan, en de zijkanten van een dergelijke stroom wegveegt met zodanige snelheid, dat praktisch alle spatten uit de stroom worden meegevoerd? en dergelijk meegevoerd materiaal uit de omgeving van de strook wordt verwijderd..

20 De uitvinding omvat een opvallende afwijking van de gevestigde praktijk en wel in die zin, dat in plaats van een zodanige beheersing van de spray toe te passen, dat een zeer zachte botsing van de druppels op de botsingszone plaatsvindt, de druppels zodanig momentum wordt, meegegeven, dat 25 het materiaal praktisch uiteenspat op het te bekleden strookoppervlak. In combinatie met een dergelijke naar verhouding hoge energiespray wordt gebruik gemaakt van een reinigings-gasstroom of - stromen van voldoende sterkte teneinde de spatten weg te voeren vanuit de buurt van de spray in een 30 richting, waarvandaan ze uit de omgeving van de strook worden verwijderd. De doelmatigheid van deze gecombineerde maatregelen is afhankelijk van de keuze van een bepaalde oriëntatie van de versproeide druppelstroom of -stromen en van een bepaalde richting van de reinigingsgasstroom of -stromen met 35 betrekking tot de richting van de beweging van de strook. De druppelstroom of -stromen dienen naar beneden te zijn gericht en voorwaarts naar de strook (de voorwaartse richting is de richting van beweging van het substraat), terwijl de 8401646 - 6 - ? reinigingsgasstroom of -stromen eveneens in voorwaartse richting dient of dienen te bewegen.

De uitvinding maakt de vorming van optische bekledingen van goede kwaliteit mogelijk bij aanzienlijk hogere snel-5 heden dan bij de hierboven beschreven voorgaande processen.

De combinatie van de procesaspecten van de uitvinding maakt de hogere bekledingssnelheden verenigbaar met de vorming van bekledingen zonder of met slechts een zeer lage populatie van inwendige of oppervlaktedefecten, die aanleiding geven tot 10 lichtdiffusie.

Bekend is, dat bekledingen van hoge optische kwaliteit niet alleen praktisch vrij moeten zijn van dergelijke defecten doch ook een praktisch gelijkmatige dikte moeten hebben, en dat de standaard van diktegelijkmatigheid afhankelijk 15 is van temperatuuromstandigheden, die de vorming van de bekleding beïnvloeden. Bij het uitvoeren van de onderhavige uitvinding kunnen bekende temperatuurcontrolemaatregelen worden genomen voor het bevorderen van de vorming van een bekleding, waarvan de diktegelijkmatigheid van hoge standaard is.

20 Een bijzonder aanbevolen temperatuurcontrolemaat- regel is beschreven in de Britse octrooiaanvrage 2.078.710 A, waarbij een versgevormde strook glas, voorafgaande aan het bekleden, thermisch wordt geconditioneerd teneinde temperatuur-gradiënten over de te bekleden strookbreedte te elimineren of 25 te verlagen. De thermische conditioneringsstap kan bijvoorbeeld de verhitting van de randen van de glasstrook omvatten, teneinde te compenseren voor de snellere afkoeling van dergelijke randen, hetgeen normaal plaatsvindt bij het verlaten van de strook van de vlak glas vormende installatie.

30 Bij bepaalde zeer belangrijke uitvoeringsvormen van de uitvinding worden de spraydruppels samengesteld uit het pre-cursormateriaal in een waterige oplossing. Vergeleken met methoden, waarbij gebruik wordt gemaakt van een vluchtig organisch oplosmiddel, dat grotendeels uit de druppels tijdens hun 35 tocht naar het substraat verdampt, bereikt bij werkwijzen, waarbij gebruik wordt gemaakt van een waterige oplossing van het precursormateriaal, een groter deel van het versproeide oplosmiddel de strook, terwijl in de voorgaande bekende be- 8401646 \ • % - 7 - * kledingsmethoden de maximaal bereikbare bekledingsvormings-snelheden in het bijzonder bij dergelijke omstandigheden beperkt bleken te zijn. Dergelijke bekledingssnelheden kunnen grotendeels overtroffen worden door toepassing van de onder-5 havige uitvinding,

De uitvinding is van bijzondere waarde voor de vorming van bekledingen uit precursormateriaal met een lage opbrengst aan bekledingsmateriaal, dat wil zeggen een precursormateriaal met een lage conversiefactor. Een lage conver-10 siefactor heeft de neiging de bekledingsvormings snelheid te beperken. Voor het mogelijk maken om de snelheid, waarbij bekledingen kunnen worden gevormd uit dergelijke precursormate-rialen, aanzienlijk te verhogen, levert de uitvinding een zeer belangrijke bijdrage. De belangrijkste toepassing van de 15 uitvinding is de vorming van een bekleding van precursormateriaal, dat tenminste als aanwezig in de versproeide druppels anorganisch is. Dergelijke materialen hebben lage conversiefactoren vergeleken met organische materialen. Het is bijvoorbeeld voordelig als versproeid materiaal gebruik te maken van 20 een waterige oplossing van een tinverbinding, zoals gehydra-teerd stannochloride (SnC^.^O), voor het vormen van een tinoxidebekleding op het glas. In de praktijk blijkt slechts een gering gedeelte van de tinverbinding, die als precursor wordt gebruikt, te reageren onder vorming van de bekleding.

25 Een waterige oplossing van een tinverbinding wordt gebruikt als het versproeide materiaal in bepaalde uitvoeringsvormen volgens de uitvinding.

De potentiële voordelen van de werkwijze zijn natuurlijk het beste te realiseren bij hoge volumesnelheden van het 30 aangevoerde precursormateriaal. In de praktijk betekent dit echter, dat.het materiaal, dat de of elke druppelstroom vormt, onder een naar verhouding hoge druk wordt versproeid. Bij voorkeur wordt het precursormateriaal versproeid onder een gemeten druk van tenminste 10 bar.

35 De snelheden van de spraydruppels hangen in een ge geven proces niet alleen af van de druk, waaronder de druppels worden versproeid, doch ook van andere factoren, waaronder de vorm van het spuitpistool of andere sproeikop, alsmede de afmetingen van de sproeiopeningen. Echter in alle 40 voorkeurswerkwijzen volgens de uitvinding hebben de druppels 8401648 \ - 8 -

ft I

een gemiddelde snelheid, die tenminste de geluidssnelheid is.

Het gas, dat wordt aangevoerd van achter de of elke druppe1stroom, dient een zodanige stromingsenergie te hebben, dat de spatten van het materiaal uit de buurt van de druppel-5 stroom of -stromen voorwaarts worden afgevoerd. De vereiste minimale volumestroomsnelheid van dit gas naar de atmosfeer achter de druppelstroom of -stromen hangt onder andere af van de grootte of aggregaatgrootte van de gasaanvoeropening(en).

De totale volumestroomsnelheid van het gas is bij 10 voorkeur echter tenminste 130 Nm-Vuur.

Met voordeel is het totale (NTP) volume van het gas, dat wordt aangevoerd, achter de of elke druppelstroom tenminste 40% van het totale (NTP) volume dragergas, dat met de druppels wordt aangevoerd.

15 In voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wordt de bekleding op het substraat gevormd bij een volume-snelheid van tenminste 6 cm^/min. Bij een geschikte keuze van de volumestroomsnelheid van het bekledingsprecursormate-riaal kunnen dergelijke hoge snelheden van bekledingsmate-20 riaalvorming op de glasstrook gemakkelijk worden bereikt, terwijl tegelijkertijd zeer goede optische kwaliteiten worden verkregen.

De uitvinding is primair bestemd voor de vorming van bekledingen bij een dikte van tenminste 700 nm, terwijl de 25 hoeveelheid precursormateriaal, die per tijdseenheid wordt versproeid, bij voorkeur dienovereenkomstig wordt afgeregeld. Bij de voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wordt deze gebruikt voor de vorming van een bekleding van tenminste 700 nm in dikte en tenminste 2 m in breedte op een versgevorm-30 de strook heet glas, die zich voortbeweegt met een snelheid van tenminste 4,5 m per min door het bekledingsstation. Dit zijn zeer stringente condities en in het algemeen kan gesteld worden, dat de bekende methoden niet geschikt zijn om hieraan te voldoen, behalve wanneer zeer reactief precursormate-35 riaal wordt versproeid. De werkwijze volgens de uitvinding is geschikt voor het voldoen aan de bovengenoemde condities voor het vormen van bekledingen van goede kwaliteit, zelfs uit relatief laag reactieve precursormaterialen, zoals waterige oplossingen van anorganische stoffen.

8401646 «ι * * i - 9 -

De bekledingsvormingssnelheid, die in een gegeven proces wordt bereikt, wordt beïnvloed door de temperatuurom-standigheden, die op hun beurt de bekledingsvormingsreactie - beïnvloeden. Binnen bepaalde grenzen kan de bekledingsvor-5 raingsreactie en in sommige gevallen de bekledingskwaliteit worden verhoogd door verhoging van de temperatuur, die het glas heeft bij het bekledingsstation. Bij bepaalde processen volgens de uitvinding wordt de temperatuur van het glas verhoogd voorafgaande aan de bekleding door verhitting van het 10 glas bij een thermisch conditioneringsstation tussen het bekledingsstation en de installatie, waarin de glasstrook wordt gevormd. Bij het genoemde thermisch conditioneringsstation wordt de glasstrook verhit over zijn totale breedte, welke verhitting tevens differentieel plaatsvindt teneinde tempe-15 ratuursgradiënten over de strook te verlagen of te elimineren, zoals beschreven in de Britse octrooiaanvrage 2.078.710 A.

Er zijn bepaalde voordelen, die gepaard gaan met het verhitten van een oppervlak van de glasstrook aan zijn te be-20 kleden zijde, hetzij uitsluitend hetzij tot hogere temperatuur dan de rest van de glasdikte bij een thermisch conditioneringsstation, voorafgaande aan het bekledingsstation langs de strookbaan. Verhitting van een oppervlak is voldoende voor het beïnvloeden van de dikte of de dikte en de kwaliteit van 25 de bekleding. Bij voorkeur wordt bij het uitvoeren van de werkwijze volgens de uitvinding een oppervlak verhit tot een hogere temperatuur dan de rest van de glasdikte, voorafgaande aan het binnentreden in het bekledingsstation. Voor de verhitting van het oppervlak van het glas wordt die zijde van 30 de glasstrook blootgesteld aan een of meer straalverhitters met een zwarte lichaamtemperatuur beneden 1100°C. De stra-lingswarmte geëmitteerd door een radiator met een zwarte lichaam-temperatuur beneden 1100°C wordt sterk geabsorbeerd door het glas en als gevolg hiervan zal praktisch alle stra-35 lingsenergie worden geabsorbeerd door een dunne oppervlakte-laag.

De werkwijze kan opeenvolgende thermische conditio-neerbehandelingen omvatten voorafgaande aan de bekledingsbe- 8401646 - 10 -

V

* werking. Overeenkomstig de uitvinding, die is beschreven in de hiermee samenhangende Britse octrooiaanvrage No. 83 13 283, kan er een thermische conditioneerzone aanwezig zijn, waarin de temperatuurgradiënten over de strook worden verlaagd en 5 mogelijk geëlimineerd, alsmede een volgende thermische conditioneerzone, waarin warmte wordt aangevoerd geheel of praktisch geheel naar een oppervlaktelaag van het glas aan de te bekleden zijde door het blootstellen van die zijde aan een of meer straalverhitters, zoals boven beschreven. Door deze pro-10 cedure te volgen kan het temperatuurprofiel door de dikte van het glas na de bekledingsstap dichtbij de waarde zijn die er zou zijn in afwezigheid van de oppervlakteverhitting en de bekledingsstappen. Dit is voordelig, omdat wanneer het gewenst is de samenstelling of de dikte van de bekleding te 15 modificeren, of zelfs de bekleding van de glasstrook te beëindigen, dit kan worden gerealiseerd door beëindiging van de aanvoer van het bekledingsmateriaal en door het uitschakelen van de oppervlakteverhitter(s), terwijl in dergelijke omstandigheden een volgende koelinstallatie geen of slechts een ge-20 ringe aanpassing vereist. Opgemerkt wordt, dat de versproei-ing van het bekledingsprecursormateriaal een koelende werking heeft op de beklede zijde van de strook, die in afwezigheid van de oppervlakteverhitting door de dikte van het glas een temperatuurgradiënt zou veroorzaken, waarvan de steilheid zal 25 toenemen met de volumestroomsnelheid van het versproeide materiaal en dragergas. De toepassing van de oppervlakteverhit-tingsstap is derhalve van bijzonder voordeel wanneer gewerkt wordt bij hoge bekledingsvormingssnelheden.

De temperatuurcondities, die de bekledingsvormings-30 reactie beïnvloeden, omvatten ook de temperatuur van de ver-sproeide druppels. De mate, waarin het precursormateriaal wordt verhit (indien dit al het geval is) voorafgaande aan zijn versproeiing, kan derhalve worden gebruikt als een con-trolefactor voor het variëren van de dikte en in sommige ge-35 vallen mogelijk ook de kwaliteit van de gevormde bekleding binnen bepaalde grenzen.

Bij bepaalde methoden volgens de uitvinding heeft het gas, dat terechtkomt in de atmosfeer achter de druppel-stroom of -stromen, teneinde de voorwaarts gerichte gasstroom 84 0 i.6 4 6 - 11 - * * omvattende de achterste helft van de of elke druppelstroom, op een zodanige temperatuur, dat de gasstroom de temperatuur van de druppels van de stroom of stromen op hun weg naar het substraat beïnvloedt. De prestatie van de uitvinding omvat op 5 die manier de toepassing van de uitvinding zoals beschreven in de Britse octrooiaanvrage 2.068.934 A.

Het gas kan worden voorverhit in zodanige mate, dat de gasstroom verhit of verlaagt de koeling van de versproeide druppels met het gevolg, dat de gevormde bekleding dikker is 10 dan anders het geval zou zijn. Alternatief kan het gas met een zodanige temperatuur worden aangevoerd, dat de gasstroom een koelende werking op de druppels heeft. Algemeen gesproken, zal een dergelijke koelende werking niet nodig zijn bij het uitvoeren van de onderhavige werkwijze, maar er kunnen zich 15 omstandigheden voordoen, waarbij zulks gebruikt kan worden, bijvoorbeeld voor het verlagen van de bekledingsdikte, wanneer deze aanvankelijk groter blijkt te zijn dan gewenst, of voor het omschakelen van de ene bekledingsspecificatie op de andere.

20 Teneinde een uniforme bedekking van het substraat te verkrijgen, is het gewenst voor de botsingszone van de of elke druppelstroom op het substraat dat deze een geschikte lengte heeft gemeten langs de baan van de glasstrook. Hiertoe verdient het de voorkeur, wanneer de of elke druppelstroom 25 terechtkomt op de strook bij een tamelijk lage scherpe hoek. Hiertoe, alsmede met het oog op praktische aspecten van de constructie van de inrichting verdient het de voorkeur, dat de as van de of elke druppelstroom een hoek met de strook maakt van tussen 20° en 40°.

30 Bij voorkeur vormt tenminste een deel van het gas, dat wordt aangevoerd van achter de of elke druppelstroom, een straal, die gericht is op de strook zodanig, dat de as van de straal met de strook een hoek maakt, die niet kleiner is dan een waarde gelijk aan 10° minder dan de hoek tussen de 35 strook en de as van een dergelijke druppelstroom. Deze conditie bleek voordelig te zijn voor het verkrijgen van goede resultaten bij zeer compacte ruimtelijke opstelling van de glasaanvoer- en sproeimondstukken. Het is bijvoorbeeld geschikt, dat de as van de gasstraal dezelfde hoek met de 40 strook maakt als de as van de druppelstroom, of dat die hoek * 0 1 6 '· ' - 12 - * ·

V

steiler is (bijvoorbeeld steiler tot 20°) dan de as van de druppelstroom.

Bij voorkeur botst het aangevoerde gas achter de of elke druppelstroom op de strook bij een zone of zones vlak 5 bij de achterkant van of overlappend met de botsingszone van de druppelstroom op de strook. Er is dan geen onnodige dissi-patie van de kinetische energie van het aangevoerde gas alvorens het gas zijn vitale wegveegwerking rond de druppelstroom verricht.

10 Gas kan worden aangevoerd via een of meer spieet achtige openingen, onder vorming van een gordijn, dat zich uitstrekt over de volle breedte van de stroombaan of praktisch volle breedte, maar vanwege de vereiste gassnelheid dient het gas te worden aangevoerd bij een zeer grote gas-15 hoeveelheid. Teneinde de hoeveelheid geblazen gas te verminderen, is het voordelig dat het gas wordt aangevoerd uit (een) mondstuk(ken), dat zodanig is of die zodanig zijn aangebracht, dat de strookbaan herhaaldelijk wordt doorlopen synchroon met de druppelstroom of -stromen. Bijvoorbeeld kan het gas en bij 20 voorkeur wordt het gas aangevoerd praktisch symmetrisch beneden de of elke druppelstroom.

Volgens sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding wordt het gas, dat wordt aangevoerd achter de of elke druppelstroom, aangevoerd uit een enkelvoudig dwars mondstuk, 25 bijvoorbeeld een mondstuk met een spieetachtige opening en bij voorkeur een mondstuk voor het afgeven van een waaiervormige straal. Een effectiever gasaanvoerpatroon wordt echter verkregen, hetgeen de voorkeur verdient, indien het gas, dat wordt aangevoerd achter de of elke druppelstroom, 30 wordt aangevoerd via een aantal dwarse mondstukken, dat praktisch symmetrisch wordt verdeeld ten opzichte van een vlak, dat de as van een dergelijke druppelstroom bevat. Door het aanvoeren van het gas uit een aantal mondstukken is het gemakkelijker gasstromen te verkrijgen, die op zeer effectieve 35 wijze gericht zijn met betrekking tot de druppelstroom. Aldus kan een gegeven effect worden bereikt onder gebruikmaking van een kleiner volume gas dan wanneer gebruik zou worden gemaakt van een enkelvoudige grote straal. Bovendien kunnen de gasstromen ten opzichte van elkaar worden afgesteld. De proce-40 dure, die de meeste voorkeur verdient, te weten welke de 84 0 1 6 4 6 % - 13 - «, beste resultaten geeft, is de procedure, waarbij het gas uit een groep van drie mondstukken wordt aangevoerd, welke groep een centraal mondstuk omvat met zijn as in of praktisch in het vlak en een paar mondstukken, aangebracht aan weerszijden 5 van een dergelijk centraal mondstuk.

Bij toepassing van een dergelijke drievoudige gas-straal maakt de as van de centrale gasstraal, dat wil zeggen de straal, die uitgaat van het centrale mondstuk, bij voorkeur een hoek met de strook, die tussen 10° minder dan en 20° 10 groter dan de hoek tussen de strook en de as van de geasso- is.

cieerde druppelstroom Dit traject is geselecteerd uit empirische gegevens, die deze relatie tussen de hoeken van inclinatie tussen de centrale gasstraal en de druppelstroom aangeeft, teneinde het maximale voordeel van de uitvinding te be-15 halen. Dit doel kan verder worden bevorderd door de buitenstralen zodanig te richten, dat hun assen een hoek maken met de stroom, die gelijk is aan of kleiner is dan de inclinatie van de centrale stroom. Dit aspect is in sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding toegepast. Bij de meer voorkeur ver-20 dienende opstelling zijn de buitenstralen gericht op de glas-strook bij een kleinere hoek dan de centrale straal. De kleinere hoek geeft de buitenstralen een groter voorwaarts moment, hetgeen hun doelmatigheid bevordert.

Een andere factor, die de werking van de gasstralen 25 in een drievoudige straalsituatie beïnvloedt, is de ruimtelijke relatie tussen de zones, waarbij de banen van de gasstralen de strook doorsnijden. Gevonden is, dat het gunstig is voor de buitengasstralen dat deze op de glasstrook botsen bij zones, die zich voorwaarts uitstrekken achter de botsings-30 zone van de gasstraal, die afkomstig is van het centrale mondstuk.

Teneinde het schoonmaken van de atmosfeer en het substraat aan weerszijden van de druppelstroom te bevorderen, is het gunstig wanneer de gasstralen, afkomstig van de buiten-35 mondstukken, voorwaarts divergeren bij een hoek tussen 5° en 15° ten opzichte van een vlak, waarin zich de as van de geassocieerde druppelstroom en de as van de centrale gasstraal bevinden. Bij sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding is een dergelijke divergerende richting van de buitengasstralen 40 toegepast. Bij een voorkeursuitvoeringsvorm echter conver- 8401646 \ ’ - 14 - geren de buitengasstralen echter voorwaarts naar een dergelijk vlak toe. Een dergelijke convergerende opstelling vereist een grote ruimte voor het onderbrengen van de gasaanvoermondstukken, maar het leidt tot een meer efficiënte wer-5 king van de gasstromen bij het verwijderen van spatten van materiaal.

Wanneer de gasaanvoer achter de of elke druppel-stroom wordt aangevoerd via een aantal gasaanvoermondstukken, zoals bovengenoemd, kunnen dergelijke mondstukken zodanig 10 worden aangebracht, dat hun assen in een gemeenschappelijk vlak liggen.

Het verdient in het bijzonder de voorkeur, wanneer een aantal gasstralen is aangevoerd achter de of elke druppelstroom, welke gasstralen een continu gasgordijn vormen 15 voorafgaande aan hun botsing op de strook.

Bij voorkeur hebben de aangevoerde gasstralen achter de of .elke druppelstroom onderling overlappende botsingszones op de strook achter of overlappend met de botsingszone van de .stroom.

20 De uitvinding omvat ook een inrichting voor het vor men van een metaal- of metaalverbindingbekleding op een oppervlak van een verhit glassubstraat.

Dienovereenkomstig verschaft de uitvinding een inrichting voor het vormen van een metaal- of metaalverbinding-25 bekleding op een oppervlak van een verhitte glasstrook, terwijl deze zich verplaatst in een gegeven richting (hierna aangegeven als "voorwaarts") langs een bepaalde baan, welke inrichting is voorzien van middelen voor het transporteren van een strook langs de baan, en tenminste van een sprayaan-30 voermondstuk, dat is aangebracht bij een bekledingsstation op de baan voor het versproeien van het bekledingsprecursor-materiaal op de strook, met het kenmerk, dat de inrichting is voorzien van een sprayaanvoermondstuk, dat is aangebracht voor het aanvoeren van een stroom druppels naar beneden toe 35 en voorwaarts ten opzichte van de strook; de inrichting is voorts voorzien van aanvoermiddelen, bestaande uit een aantal gasaanvoermondstukken, aangebracht in samenhang met het sprayaanvoermondstuk voor het aanvoeren van gasstralen in de atmosfeer achter een dergelijke druppelstroom, waarbij de 40 gasaanvoermondstukken zodanig zijn gericht en ten opzichte 8401646 - 15 - van elkaar aangebracht, dat de daarvan afkomstige gasstralen te zanten een gasstroom kunnen vormen, die de achterhelft van de druppelstroom omvat, tenminste bij de bodem van de stroombaan en voorwaarts de randen van een dergelijke stroom weg-5 veegt, terwijl de inrichting voorts is voorzien van een mechanisme voor het ver plaat $eg van het sprayaanvoermondstuk, zodanig dat de druppelstroonuherhaaldelij k over de strookbaan verplaatst en voor het verplaatsen van de gasaanvoermondstukken synchroon met het sprayaanvoermondstuk.

10 De inrichting volgens de uitvinding omvat bij voor keur een of meer van de volgende keuzeaspecten: (i) de as van het of elk sprayaanvoermondstuk maakt een hoek met de strookbaan tussen 20° en 40°; (ii) tenminste een van de gasaanvoermondstukken is zo- 15 danig aangebracht, dat zijn as een hoek maakt met de strookbaan, die gelijk of groter is dan een waarde van 10° minder dan de hoek tussen de baan en de as van het geassocieerde sprayaanvoermondstuk; (iii) de gasaanvoermondstukken zijn praktisch symmetrische 20 verdeeld ten opzichte van een vlak, dat de as van het sprayaanvoermondstuk omvat; (iv) er is een groep van drie gasaanvoermondstukken, welke groep een centraal mondstuk omvat met zijn as in of praktisch in een vlak, waarin zich de as van het 25 sprayaanvoermondstuk bevindt en een paar buitenmond stukken, die zijn aangebracht aan weerszijden van een dergelijk centraal mondstuk; (v) er is een groep gasaanvoermondstukken, zoals weerge-gegeven onder (iv); de as van het centrale mondstuk 30 maakt een hoek met de strookbaan, die ligt tussen 10° minder dan en 20° groter dan de hoek van de strookbaan en de as van het sprayaanvoermondstuk; en bij voorkeur maken de assen van de buitengasaanvoer-mondstukken een hoek met de strookbaan, die gelijk is 35 aan of kleiner is dan de hoek tussen de strookbaan en de as van het centrale mondstuk; (vi) er is een groep gasaanvoermondstukken, zoals weergegeven in (iv) of (v), terwijl de assen van de buitenmondstukken voorwaarts divergeren tussen 5° en 15° 8401646 - 16 - van het vlak, waarin zich de as van het sprayaanvoer-mondstuk bevindt; (vii) er is een groep gasaanvoermondstukken, zoals beschreven onder (iv) of (v), waarbij de assen van de bui- 5 tenmondstukken convergeren naar het vlak toe, waarin zich de as van het sprayaanvoermondstuk bevindt; (viii) de gasaanvoermondstukken zijn zodanig aangebracht, dat de assen praktisch in een gemeenschappelijk vlak liggen; 10 (ix) er zijn middelen aanwezig voor het verhitten van gas alvorens dit wordt aangevoerd via de gasaanvoermondstukken .

Een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding wordt thans nader beschreven aan de hand van de bijgaande schema -15 tische tekening, waarin;

Fig. 1 en 2 stellen respectievelijk de aanvoer van bekledingsprecursormateriaal en gas voor, terwijl

Fig. 3 een vergroting voorstelt van een uitvoeringsvorm van het bekledingsapparaat volgens de uitvinding.

20 In fig. 1 en 2, wordt een stroom 1 druppels van be kledingsprecursormateriaal versproeid uit een mondstuk met een opening 2 gericht op de baan 3 van een strook heet glas. Het glas beweegt langs de baan 3 in de richting aangegeven door de pijl 4 in fig. 1. De druppelstroom 1 treft de baan 3 25 van de strook over een elliptische botsingszone 5, die herhaaldelijk op en neer over de breedte van de strookbaan beweegt. De druppelstroom 1 wordt versproeid met een zodanige snelheid, dat er spatten ontstaan. Teneinde de opgespatte druppels in de voorwaartse richting 4 te vangen, wordt er gas 30 aangevoerd van achter de druppelstroom. Zoals in fig. 2 aangegeven, zijn drie gasstromen met hun assen 6, 7, 8 afgebeeld, welke gasstromen worden aangevoerd resp. vanuit gasaanvoer-mondstukopeningen 9, 10, 11 onder vorming van een voorwaartse gasstroom, die botst op de strookbaan 3 bij de botsingszones 35 12, 13, 14, waarbij tenminste een deel ervan gericht is achter de druppelstroom-botsingszone 5, zodanig dat de achterhelft 15 van die zone is omgeven tenminste aan de onderkant van zijn baan door gas, dat wordt afgebogen door de glas-strook.

8401646 , . ' * - 17 -

Overeenkomstig een specifieke praktische uitvoeringsvorm is de spraymondstukopening 2 aangebracht 60 cm boven de strookbaan met zijn as 16 in voorwaartse richting 4 bij een hoek van 30° ten opzichte van de baan 3. De gasaanvoermond-5 stukopeningen 9, 10, 11 zijn aangebracht 7 cm voor en 23,5 cm beneden de spraymondstukopening 2. De assen 6, 7, 8 van de gasmondstukopeningen bevinden zich in een vlak, dat een hoek van 45° maakt met het horizontaal. De centrale gasmondstuk-opening 10 heeft een as 7, die zich in voorwaartse richting 7 10 bevindt en is zodanig aangebracht, dat hij een vlakke waaier-vormige straal geeft met een spreiding van 53° in het vlak van de gasmondstukassen. De horizontale afstand tussen elk van de zijmondstukopeningen 9 en 11 en een verticaal vlak met de as 7 van de centrale gasaanvoeropening 10 is 9 cm en elk 15 van de zijmondstukassen 6, 8 divergeren bij een hoek van 9° van de as 7 van de centrale opening in het vlak van deze assen. Elk van de twee zijmondstukken is zodanig aangebracht, dat een 20° ronde gasstraal wordt afgegeven. Dus de totale zone gasbotsing 12, 13, 14 op de strookbaan is tenminste twee 20 keer zo breed als de zone van botsing 5 van de druppelstroom 1.

In fig. 3 wordt een continue strook van een vlak glas 17 aangevoerd langs een baan 3 in voorwaartse richting 4 door middel van transportrollen 18 via een bekledingsstation 19 in een tunnel met een dak 20 en een bodemwand 21. Het tunnel·* 25 dak 20 heeft een dwarse spleet 22, waarbij aan weerszijden een baan 23 beweegt, die een slede 24 draagt, die een sproeikop 25 draagt voor het versproeien van druppels bekledings-precursormateriaal en gasaanvoermiddelen 26 voor het aanvoeren van gas, zoals beschreven aan de hand van fig. 1 en 2.

30 Afvalgassen worden weggezogen via schoorsteen 27.

Voorbeeld I

Er was behoefte aan het vervaardigen van een vers gevormde strook vlak glas met een gedoopte tinoxidebekleding, teneinde van de strook platen af te snijden met infrarood 35 afschermingswerking.

Hiertoe werd een bekledingsstation, zoals aangegeven in fig. 3, aangebracht tussen de uitgang van de flotatietank en de ingang van een koeloven, zodanig, dat de strook bekleed kon worden tengevolge van pyrolyse, terwijl de strook nog % 8401646 - 18 - heet was. De sproeimiddelen en de gasaanvoermiddelen in dit bekledingsstation waren zodanig aangebracht, dat een druppelstroom en drie gasstralen werden verkregen, zoals weergegeven in fig. 2, terwijl de relatieve posities en hoeken van de 5 spray- en gasaanvoermondstukken en de vormen en relatie van de gasstraalbotsingszones overeenkwamen met de praktische uitvoeringsvorm zoals beschreven aan de hand van fig. 2.

De strook was 2,5 m breed, 6mm dik en doorliep het bekledingsstation met een snelheid van ca. 8,5 m/min, terwijl 10 zijn gemiddelde temperatuur ca. 600°C bedroeg.

Er werd een oplossing van bekledingsprecursormate-riaal bereid uit SnC^^ï^O, NH^HF2 en water.

Teneinde een bekleding te vormen met een dikte van 750 nm, werd de bekledingsprecursoroplossing versproeid in 15 een hoeveelheid van 165 1/uur door middel van een versproei-mondstuk onder gebruikmaking van lucht als dragergas bij een hoeveelheid van 250 Nm3/uur onder een gemeten druk van 14 bar, · terwijl het mondstuk zich op en neer over de strookbaan bewoog bij een frequentie van 25 cycli per minuut. Deze sproei-20 snelheid was voldoende voor het teweegbrengen van spatten wanneer de druppelstroom botste tegen de glasstrook.

Teneinde deze druppels in de benedenwaartse richting te vangen in de richting van het afvoerkanaal, zodat, een deel van het oppervlak van de strook met hen niet in aanraking 25 komt tenminste voordat het eerst wordt weggeveegd door de druppelstroom als zodanig, werd lucht uit het centrale mond-stuk 10 bij een volumesnelheid van 90 Nm /uur en uit elk van de buitenmondstukken 9, 11 bij een volumesnelheid van 45 Nm3/ uur, aangevoerd onder een totale volumestroomsnelheid van 30 180 Nm /uur. De lucht was aangevoerd onder een gemeten druk van 4,4 bar. Dit aanvoeren van gas uit de drie mondstukken voorkwam dat verstrooide druppels, als resultaat van het uiteenspatten, in aanraking kwamen met de strook. De gevormde bekleding werd onderzocht en bleek van een goede optische 35 kwaliteit te zijn. In dit voorbeeld werd de lucht aangevoerd naar de gasaanvoermondstukken bij een temperatuur van 20-25°C.

De lucht kon echter worden voorverwarmd.

8401646 4 '·? -« - 19 -

Voorbeeld II

Een versgevormde hete strook glas van 2,5 m breed, en voortbewegend met een snelheid van 7 m per min werd bekleed bij een bekledingsstation, voorzien sproei- en gasaanvoermid-5 delen, zoals in voorbeeld I toegepast. In dit tweede voorbeeld, evenals in het eerste werd de sproeimondstukopening aangebracht 60 cm boven de strookbaan met zijn as onder 30° met de strookbaan, terwijl de gasaanvoermondstukopeningen 9, 10, 11 zich 7 cm voor en 23,5 cm onder de sproeimondstukopening 2 10 bevonden. Ofschoon de as 7 van de centrale gasstraal dezelfde hoek (30°) met de glasstrook maakte als de as.16 van de drup-pelstroom, bedroeg de horizontale afstand tussen elk van de buitengasaanvoeropeningen 9 en 11 en een verticaal vlak met daarin de as van de centrale gasaanvoeropening 10, 44 cm, ter-15 wijl elk van de buitengasaanvoermondstukken zodanig was gericht, dat zijn as een hoek van 10° met de glasstrook maakte en convergeerde naar het verticale vlak toe, waar zich de as van het centrale mondstuk bevond, welke met dat vlak een hoek van 15° maakte.

20 Een oplossing van bekledingsprecursormateriaal, zoals in voorbeeld I gebruikt, werd versproeid bij een snelheid van 165 1/uur onder gebruikmaking van lucht als drager-

O

gas, aangevoerd bij een snelheid van 270 Nm /uur onder een gemeten druk van 14,5 bar, terwijl het mondstuk zodanig was 25 aangebracht, dat het heen en weer bewoog over de strookbaan . bij een frequentie van 25 cycli per min. Als gevolg hiervan vond uiteenspatting van het versproeide materiaal van het strookoppervlak plaats.

Er werd lucht onder gemeten druk van 3 bar uit het 30 centrale mondstuk 10 aangevoerd bij een volumesnelheid van 3 61 Nm /uur en uit elk van de buitenmondstukken 9 en 11 bij een volumesnelheid van 45 m /uur.

De gevormde bekleding werd onderzocht en bleek van goede optische kwaliteit te zijn.

35 Voorbeeld III

Voorbeeld II werd herhaald, behalve dat de volgende modificaties werden doorgevoerd. De buitengasaanvoermondstuk-ken werden verplaatst naar een horizontale afstand van 63 cm 8401646 *k - 20 - van het verticale vlak, waarin zich bevond het centrale gas-aanvoermondstuk, terwijl de as van elk van deze buitenmondstukken convergeerde naar het centrale verticale vlak toe bij een hoek van 20° en maakte een hoek met de glasstrook van 5 20°? vervolgens werd lucht uit elk van de buitenmondstukken bij een volume van 35 Nm /uur aangevoerd onder een gemeten druk van 2 bar. Hiertoe werden de buitenmondstukken voorzien van lucht onafhankelijk van het centrale gasaanvoermondstuk. Evenals in voorbeeld II werd lucht aangevoerd uit het een-10 trale mondstuk bij 61 Nm /uur onder een gemeten druk van 3 bar. Hierbij werd een bekleding met goede optische kwaliteit verkregen.

15 ♦ 8401646

Claims

1. Werkwijze voor het vormen van een metaal-of metaalverbindingbekleding op een oppervlak van een vers gevormde strook heet glas tijdens zijn voortgang in een gegeven richting (hierna aangegeven als"voorwaarts") door een 5 bekledingsstation, waarbij het oppervlak bij het bekledings-station wordt besproeid met een bekledingsprecursormateriaal, waaruit de metaal- of metaalverbindingbekleding wordt gevormd op het oppervlak, met het kenmerk, dat het bekledingsprecursormateriaal wordt gesproeid in de vorm 10 van tenminste één stroom druppels, die naar beneden en voorwaarts op de glasstrook wordt gericht en herhaaldelijk dwars op de bewegingsbaan van de strook wordt verplaatst, zodanig, dat het strookoppervlak wordt gescand door de druppelstroom of -stromen? de snelheden van de druppels 15 in de stroom of stromen zodanig zijn, dat het practisch uiteenspatten van het materiaal op het strookoppervlak plaatsvindt? gas continu wordt aangevoerd in de atmosfeer achter de druppelstroom of -stromen, teneinde een voorwaarts gerichte gasstroom te handhaven, die de achterhelft 20 van de of elke druppelstroom omgeeft, tenminste bij de onderkant van de stroombaan, en de zijkanten van een dergelijke stroom wegveegt· met zodanige snelheid, dat practisch alle spatten uit de stroom worden meegevoerd; een dergelijk meegevoerd materiaal uit de omgeving van de strook 25 wordt verwijderd.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, m e t het kenmerk, dat de sproeidruppels zijn samengesteld uit bekledingsprecursormateriaal in waterige oplossing.

3. Werkwijze volgens conclusie .1 of 2, met het.kenmerk, dat het bekledingsprecursormateriaal, tenminste zoals in de druppels aanwezig, anorganisch is.

4. Werkwijze volgens conclusie 3, met 35 het kenmerk, dat de druppels een waterige oplossing van een tinverbinding zijn.

5. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het materiaal, dat de of elke druppelstroom vormt, wordt besproeid onder 8401646 -2 2- J· een gemeten druk van tenminste 10 bar.

6. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies/ met het kenmerk, dat de druppels van de of elke stroom een gemiddelde snelheid hebben van ten-5 minste de snelheid van het geluid.

7. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmierk, dat de totale volumestroomsnelheid van het gas in de atmosfeer achter 3 de druppelstroom of -stromen tenminste 130 Nm /uur is.

8. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het k e n m e :r k, dat het totale (NTP) volume van het gas, dat wordt aangevoerd achter de of elke druppelstroom tenminste gelijk is aan 40% van het totale (NTP) volume van het dragergas, dat met de druppels 15 wordt aangevoerd.

9. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de bekleding op het substraat wordt gevormd bij een volumesnelheid van tenminste 6 cm /min.

10. Werkwijze volgens conclusie 9, m e t het kenmerk, dat de hoeveelheid precursormateriaal, die per tijdseenheid wordt versproeid, zodanig is, dat de gevormde bekleding een dikte heeft van tenminste 700 nm.

11. Werkwijze volgens conclusie 10, me t 25 het kenmerk, dat de snelheid van de glasstrook door het bekledingsstation tenminste 4,5 meter per minuut t is, terwijl de breedte van de bekleding op de strook tenminste 2 meter is.

12. Werkwijze volgens een der voorgaande 30 conclusies, met het kenmerk, dat de temperatuur van het glas wordt verhoogd voorafgaande aan de bekleding door het glas te verhitten bij een thermisch conditioneer-station tussen het bekledingsstation en de installatie, waarin de glasstrook wordt gevormd.

13. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenme'rk, dat de oppervlak-telaag van de glasstrook aan de te bekleden zijde wordt verhit tot een temperatuur, die hoger is dan de rest van de glasdikte, voorafgaande aan het binnenkomen in het be-40 kledingsstation. 8401646 ♦ 1¾ 5. -23-

14. Werkwijze volgens conclusie 13, me t het kenmerk, dat de oppervlaktelaag wordt verhit door blootstelling van die zijde van de glasstrook aan één of meer straalverhitters met een zwarte lichaamstemperatuur 5 beneden 1100°C.

15. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de temperatuur ervan het gas, dat wordt aangevoerd in de atmosfeer achter de druppelstroom of -stromen zodanig is, dat het voorwaarts IQ stromende gas de temperatuur van de druppels van de stroom of -stromen beïnvloedt op weg naar het substraat.

16. Werkwijze volgens een der voorgaande - conclusies, met het kenmerk, dat de as van de of elke druppelstroom een hoek maakt met de glasstrook van 15 tussen 20° en 40°.

17. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat tenminste een gedeelte van het gas, dat wordt aangevoerd achter de of elke druppelstroom een straal vormt, die gericht is naar 20 de strook, zodat de as van de straal met de strook een hoek maakt, die niet kleiner is dan de waarde = 1Q° minder dan de hoek tussen de strook en de as van dergelijke druppelstroom.

18. Werkwijze volgens conclusie 17, me t 25 het kenmerk, dat het gas, dat wordt aangevoerd achter de of elke druppelstroom, botst op de strook bij een zone of zones, vlak bij de achterkant van of overlappend van de botsingszone van een dergelijke druppelstroom op de strook.

19. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het gas, dat achter de of elke druppelstroom wordt aangevoerd, afkomstig is van (een) gasaaaroefcmcaadötuk(ken), die zodanig is (zijn) aangebracht, dat zij de stroombaan traverseren synchroon met 35 een dergelijke druppelstroom.

20. Werkwijze volgens conclusie 19, m e t het kenmerk, dat het gas, dat wordt aangevoerd achter de of elke druppelstroom, afkomstig is van een aantal traverserende mondstukken, die practisch symmetrisch 40 ten opzichte van een vlak, waarin de as van een dergelijke 8401646 -24- druppelstroom ligt/ zijn verdeeld.

21. Werkwijze volgens conclusie 20/ m e t i het kenmerk/ dat het gas, dat achter de of elke druppelstroom wordt aangevoerd, afkomstig is van een groep 5 van drie mondstukken, waarvan één een centraal mondstuk met zijn as in of practisch in het vlak en een paar buitenmondstukken, die aan weerszijden van het centrale mondstuk zijn aangebracht.

22. Werkwijze volgens conclusie 21, me t 10 het kenmerk, dat de as van de gasstraal, afkomstig van het centrale mondstuk, met de strook een hoek maakt, die 10° minder is dan en 20° groter is dan de hoek tussen de strook en de as van de druppelstroom.

23. Werkwijze volgens conclusie 22, m e t 15 het kenmerk, dat de assen van de gasstralen, afkomstig van de buitenmondstukken, met de strook een hoek vormen, die gelijk of kleiner is dan de hoek tussen de strook en de as van de gasstraal, afkomstig van het centrale mondstuk.

24. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies 21-23, met het kenmerk, dat de gasstralen, afkomstig van de buitenmondstukken, botsen op de strook bij zones, die zich voorwaarts uitstrekken achter de botsingszone van de gasstraal, afkomstig van het centrale 25 mondstuk.

25. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies 21-24, met het kenmerk, dat de assen van de gasstralen, afkomstig van de buitenmondstukken, voorwaarts divergeren tussen 5 en 15° van het vlak, waarin zich 30 bevindt de as van de druppelstroom.

26. Werkwijze volgens conclusies 21-24, met het kenmerk, dat de assen van‘de gasstralen, afkomstig van de buitenmondstukken, voorwaarts convergeren naar het vlak toe, waar zich de as van de druppelstroom be- 35 vindt.

27. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies 20-26,. met het kenmerk, dat de diverse gasstralen, aangevoerd achter de of elke druppelstroom, bijeenkomen onder vorming van een continu gasgordijn, voor- 40 afgaande aan een botsing op de strook. 8401646 T -cfe «χ. -25-

28. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies 27-27, met het kenmerk, dat de diverse gasstralen, aangevoerd achter de of elke druppel hebben onderling overlappende botsingszones op de strook, achter of 5 overlappend de botsingszone van een dergelijke druppelstroom.

29. Inrichting voor het vormen van een metaal- of metaalverbindingbekleding op een oppervlak van een vers gevormde strook heet glas tijdens zijn voortgang in een gegeven richting (hierna aangegeven als "voorwaarts") door een 10 bekledingsstation, welke inrichting is voorzien van transportmiddelen voor een strook langs de baan en tenminste één spray aanvoermandstuk, die is aangebracht bij een bekladingsstation op de baan voor het versproeien van het bekledingsprecursor-materiaal op de strook, met het kenmerk, dat de 15 inrichting is voorzien van een spray aanvoermondstuk, dat is aangebracht voor het aanvoeren van een stroom druppels benedenwaarts en voorwaarts naar de strook; van gasaanvoer-middelen, waaronder een aantal gasaanvoermondstukken, die zijn aangebracht in associatie met het sproeiaanvoermondstuk 20 voor het aanvoeren van stralen gas in de atmosfeer achterdergelijke druppelstroom, waarbij de gasaanvoermondstukken zijn gericht en ten opzichte van elkaar zodanig zijn aangebracht, dat de daarvan afkomstige gasstralen te zamen een gasgordijn vormen, dat de achterhelft van de druppelstroom 25 omgeeft, tenminste bij de onderkant van de stroombaan en de zijkanten van een dergelijke stroom wegveegt; en van een mechanisme voor het verplaatsen van het sproeiaanvoermondstuk, zodanig, dat de druppelstroom herhaaldelijk over de stroombaan op en neer beweegt, en voor het verplaatsen van de 30 gasaanvoermondstukken synchroon met het sproeiaanvoermondstuk.

30. Inrichting volgens conclusie 29, met het kenmerk, dat de as vanhet sproeiaanvoermondstuk met de strookbaan een hoek maakt tussen 20° en 40°.

31. Inrichting volgens conclusie 29 of 30,met het kenmerk, dat tenminste één van de gasaanvoermondstukken zodanig is aangebracht, dat zijn as met de strookbaan een hoek maakt, die gelijk of groter is dan een waarde, die overeenkomt met 10° minder dan de hoek tussen 40 de baan en de as vanhet geassocieerde sproeiaanvoermondstuk. 8401646 - ' -26-

32. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies 29-31, met het kenmerk, dat de gas-aanvoermondstukken practisch symmetrisch ten opzichte van een vlak, waarin zich de as van het sproeiaanvoermondstuk bevindt, 5 zijn verdeeld.

33. Inrichting volgens conclusies 29-32, met het kenmerk, dat de inrichting is voorzien van een groep van drie gasaanvoermondstukken, waarvan één een centraal mondstuk is, met zijn as in of practisch in een vlak, 10 waarin zich bevindt de as van het sproeiaanvoermondstuk alsmede van een paar buitenmondstukken aan weerszijde van het centrale mondstuk.

34. Inrichting volgens conclusie 33, met het kenmerk, dat de as van het centrale mondstuk een 15 hoek maakt met de strookbaan, welke 10° kleiner dan en 20° groter dan de hoek tussen de strookbaan en de as van het sproeiaanvoermondstuk is.

35. Inrichting volgens conclusie 34, me t het kenmerk, dat de assen van de buitenmondstukken 20 met de strookbaan een hoek vormen, die gélijk of kleiner is dan de hoek tussen de strookbaan en de as van het centrale mondstuk.

36. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies 33-35, met het kenmerk, dat de assen 25 van de buitenmondstukken voorwaarts divergeren tussen 5° en 15° ten opzichte van het vlak, waarin de as van het sproeiaanvoermondstuk ligt.

37. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies 33-35, met het kenmerk, dat de assen 30 van de buitenmondstukken convergeren naar het vlak toe, waarin zich de as van het sproeiaanvoermondstuk bevindt.

38. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies 29-37, met het kenmerk, dat de assen van de gasaanvoermondstukken, geassocieerd met het sproei- 35 aanvoermondstuk practisch in ëên gemeenschappelijk vlak liggen.

39. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies 29-38, met het kenmerk, dat de inrichting is voorzien van middelen voor het verhitten van het g é 0 1 6 4 6 C ·1> ^ -27- gas voorafgaande aan zijn aanvoer door de gasaanvoerntond-stukken. 8401646