DE2807456A1

DE2807456A1 - Korrosionsbestaendiger duennschicht- magnetkopf und verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number: DE2807456A1
Application number: DE19782807456
Authority: DE
Inventors: Nephi Lawrence Head; Robert Douglas Hempstead; Thomas Nolan Kennedy; Fred Yet Lieu
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1977-03-31
Filing date: 1978-02-22
Publication date: 1978-10-05
Also published as: AT357789B; US4130847A; SE419587B; JPS53123114A; SE7803535L; JPS5817966B2; FR2386098B1; FR2386098A1; DE2807456C2; IT1110467B; ATA158478A; GB1553652A; IT7821516A0; CA1100628A

Description

2807458

Anmelden: International Business Machines.

Corporation, Armonk, N.Y. 10504

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Korrosionsbeständiger Dünnschicht-Magnetkopf und Verfahren zu dessen Herstellung

Die Erfindung betrifft einen korrosionsfesten Dünnschicht-Magnetkopf und ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Bei der Aufzeichnung und Wiedergabe auf einem magnetisierbaren Aufzeichnungsträger aufgezeichneter Information wird eine Magnetkopfanordnung benutzt, die aus einem Gleitkörper be-

steht, der das eigentliche Wandlerelement trägt. Dieses Wandlereleraent wird zum Lesen und Schreiben von magnetisch aufgezeichneter Information benutzt. Das Bestreben geht nun dahin, auf einem Aufzeichnungsträger immer höhere Aufzeichnungsdichten zu erzielen. Zur Erzielung höherer Aufzeichnungsdichten sind dünnere Polschuhe und wesentlich geringere .

Abstände der Gleitkörper im Fluge über dem Aufzeichnungsträger' und damit auch des Wandlers über dem Aufzeichnungsträger er- ι forderlich. Zur Erzielung höherer magnetischer Aufzeichnungs- i dichten werden Wandler mit Polschuhen aus niedergeschlagenem \ magnetischen Material benutzt, die ganz allgemein als Dünn- ' schichtwandler bezeichnet werden und auf einem Gleitkörper angebracht sind, der den Wandler in enger Nachbarschaft i zum magnetisierbaren Aufzeichnungsträger trägt. In der Umgebung eines solchen Speichermechanismus sind die Polschuhe der Korrosion ausgesetzt, die zum vollständigen Ausfall der Wandler führen kann. Man hat versucht, die gesamte Luftlageroberfläche und die Polschuhe des Magnetkopfes mit einer Passi-:

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'Vierungsmaterial zu überziehen. Das hat jedoch bei dem Passi- j ¹ Vierungsmaterial zu Abnutzungserscheinungen geführt. Die dar- j ¹ aufhin sich einstellende Ablösung des Passivierungsmaterials | ι hat zum wiederholten Ausfall des Speichersystems geführt, wennI

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mehr und mehr solcher Abfallstoffe erzeugt und auf dem magnetisierbaren Aufzeichnungsträger abgelagert werden. Dabei kann sich eine direkte Berührung zwischen dem Wandler und dem Aufzeichnungsträger ergeben, welche zu einer völligen Zerstörung des Speichersystems zusammen mit dem Verlust der auf dem magnetisierbaren Aufzeichnungsträger eingespeicherten Information führen kann.

Aufgabe der Erfindung ist es also, einen Gleitkörper und einen Dünnschicht-Magnetkopf zu schaffen, die beide gegen Korrosion und Abrieb wiederstandsfähig sind.

Beschreibung des Standes der Technik

In der US-Patentschrift 3 665 436 und in der Britischen Patentschrift 776 348 ist eine Passivierungsschicht über der Spitze eines Magnetkopfes beschrieben, die einen abriebfesten überzug darstellt. Die Passivierungsschicht bedeckt dabei die Polschuhe und den Luftspalt des Magnetkopfes nicht. Dieser Stand der Technik befaßt sich mit dem Abrieb des im allgemeinen weichmagnetischen Ferritmaterials der Polschuhe. Das keramische Material der Gleitkörper moderner Magnetköpfe besteht heutzutage aus einem wesentlich härteren abriebfesten Material, als das der Passivierungsschicht. Somit ist die Verwendung einer Passivierungsschicht für den Abrieb, wie sie der Stand der Technik lehrt, überflüssig. Das Niederschlagen einer magnetischen Schicht auf der Unterseite eines Gleitkörpers zeigb die US-Patentschrift 3 573 768. Das Material wird an der Vorderseite des Abschnittes des Gleitkörpers niedergeschlagen und dient dazu, die gewünschte Plughöhe und den Winkel des am hinteren Ende des Gleitkörpers angeordneten Wandlers einzustellen. Das auf ' der Luftlageroberfläche des Gleitkörpers niedergeschlagene I Material bedeckt die Polschuhe des Wandlers nicht.

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Durch die Erfindung soll dagegen eine Magnetkopfanordnung geschaffen werden, die eine Passivierungsschicht enthält, die auch die freiliegenden Teile, insbesondere die Polschuhe und den Luftspalt eines Dünnfilmwandlers und einen Teil des Gleitkörpers, an dem der Wandler befestigt ist, bedeckt, so daß der vordere Abschnitt des Gleitkörpers das Passivierungsmaterial gegen Abrieb schützt, während das Passivierungsmaterial einen Korrosionsschutz für den Wandler darstellt. In der US-Patentschrift 3 921 217 der Anmelderin ist das magneto-resistive Element des Wandlers zum Schutz gegen Abrieb gegen die Oberfläche des Magnetkopfes zurückgesetzt angeordnet. Das magnetisch permeable Abstandselement zwischen dem magneto-resistiven Element und dem Aufzeichnungsträger kann aus elektrisch leitendem oder nichtleitendem Material bestehen. Das Abstandselement wird in derselben Höhe niedergeschlagen, wie das magneto-resistive Element. Diese Patentschrift zeigt keinen Schutz für zum induktiven Schreiben verwendete Polschuhe gegen Korrosion. Die dort gezeigte Anordnung hat nicht die Aufgabe, das magneto-resistive Element durch das Abstandselement gegen Korrosion zu schützen, da das Abstandselement aus Permalloy bestehen kann. Es wurde ferner festgestellt, daß das Abstandselement nicht aus nichtmagnetischem Material bestehen kann, da das eigentliche Wandlerelement so dicht über dem Aufzeichnungsträger angeordnet werden muß, daß ein in der gleichen Schichtebene niedergeschlagenes oder nur über dem Wandlerelementen niedergeschlagenes Abstandselement einen so kleinen Rauminhalt hat, daß es bei Berührung mit dem Aufzeichnungsträger in kürzester Zeit herausgelöst würde. Auch daraus läßt sich in etwas anderer Weise die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe ableiten, eine Magnetkopfanordnung zu schaffen, bei der der Wandler gegen Korrosion geschützt ist, wobei dieser Korrosions* I schutz wiederum gegen Abnutzung geschützt ist.

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Claims

PATENTANSPRÜCHE

Korrosionsbeständige Magnetkopfanordnung mit einem einer Aufzeichnungsträger-Oberfläche gegenüberliegenden Lagerfläche und einer daran angebrachten Wandleranordnung für Aufzeichnung und Wiedergabe magnetisch aufzeichenbarer Information bei einer Relativbewegung zwischen Wandleranordnung und Aufzeichnungsträger, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) und ein Teil des Gleitkörpers (12) gegenüber der die Gleitfläche (26) des Gleitkörpers bildenden Oberfläche zurückgesetzt sind, daß dieser zurückgesetzte Teil der Oberfläche und der Wandleranordnung durch eine Passivierungsschicht (34) gegen Korrosion geschützt sind und daß diese Passivierungsschicht (34) durch die nicht zurückgesetzten Teile des Gleitkörpers (12) gegen übermäßige Berührung mit der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers geschützt ist„
2. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) aus einer Anzahl dünner magnetischer Schiebten und mindestens einer dazwischenliegenden elektrisch leitenden Schicht (43 ₉

45) besteht, die zur induktiven Erregung der magnetischen Schichten ansteuerbar ist„
3. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) aus einer Anzahl nacheinander auf die Hinterkante des Gleitkörpers (12) niedergeschlagener Schichten (42, 43 ^ 44_? 45_P 46p 48) besteht, derart, daß die Arbeitsspalte und die Polschuhe der Wandleranordnung dem relativ dazu be~ wegbaren Aufzeichnungsträger (36) gegenüber liegen„

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ORiOJNAL INSPECTED
4. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) ein magnetoresist ives Element zum Abfühlen magnetischer Flußübergänge auf dem Aufzeichnungsträger (36) enthält.
5. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Passivierungsschicht (34) aus Chrom besteht.
6. Magnetkopfanordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Gleitkörper (12) mehrere nach unten gerichtete, Luftlagerflächen bildende Rippen (14, 16, 18) auf v/eist und daß die Wandleranordnung (40) mit mindestens einer der Rippen (16) in Längsrichtung ausgerichtet ist.
7. Magnetkopfanordnung nach Ansruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der zurückgesetzte Abschnitt der Wandleranordnung (40) und des Gleitkörpers (12) durch Zerstäubungsätzen in einer Vakuumkammer gebildet ist und daß die Passivierungsschicht (34) in der gleichen Vakuumkammer durch Kathodenzerstäubung aufgebracht ist.
8. Verfahren zum Herstellen einer Magnetkopfanordnung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Verfahrens schritte:

Herstellen eines Gleitkörpers mit einer aus mehreren an einer Unterseite sich erstreckenden Rippen (14, 16, 18) gebildeten Luftlagerfläche,

Niederschlagen mindestens einer Wandleranordnung in Verlängerung der Längsrichtung einer Rippe auf der Hinterkante des Gleitkörpers, so daß die aktive Fläche des Wandlers dem Aufzeichnungsträger zugev.^Tandt ist,

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Abtragen eines Teils der Rippe (16) in der Nachbarschaft jeder Wandleranordnung (40) zusammen mit der aktiven Fläche der Wandleranordnung und Niederschlagen einer Schicht eines Passivierungsmaterials auf den abgetragenen Teilen des Gleitkörpers und der Wandleranordnung.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die nicht abzutragenden Teile des Gleitkörpers mit einer Maskenschicht überzogen werden und daß dann das abzutragende Material im Vakuum durch Zerstäubungsätzen entfernt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Passivierungsmaterial im gleichen Vakuum durch Kathodenzerstäubung niedergeschlagen wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß anschließend die Maske entfernt und die Magnetkopf·= anordnung poliert wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß als Passivierungsmaterial eine Chromschicht aufgebracht wird.

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