DE2659977B1 - Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer statischen elektrischen Pruefung befindlichen Bauteil und einer Pruefeinrichtung - Google Patents
Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer statischen elektrischen Pruefung befindlichen Bauteil und einer PruefeinrichtungInfo
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Description
während einer statischen Prüfung, bei welcher die Sonden nur Gleichspannungssignale führen, im Hinblick
auf außerordentlich genaue Meßergebnisse eine besonders zuverlässige Signalübertragung gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß der Schaft jeder Sonde über einen auf der mit dem
Fluiddruck beaufschlagbaren Seite des Kolbens angeordneten ersten Ansatz mit einem gegenüber dem
Kolben geringeren Durchmesser in einer öffnung im Zylinderboden gleitbar geführt ist und daß der erste
Ansatz sowie der Zylinderboden jeweils aus elektrisch leitendem Material bestehen und gemeinsam einen Teil
des elektrischen Leitungspfades bilden.
Vorteilhafte Weiterbildungen und bevorzugte Ausführungsformen des Erfindungsgegenstandes ergeben
sich aus den Unteransprüchen.
Gemäß der Erfindung ist der Vorteil erreichbar, daß aufgrund der konstruktiven Gestaltung eine gute
Abschirmung gegen Streukapazitäten und Streuinduktivitäten erreicht wird, welche in die in der Prüfung
befindliche Einheit eingekoppelt werden können. Somit können diejenigen Signale, welche zu der in der Prüfung
befindlichen Einheit übertragen werden oder von dieser Einheit empfangen werden, ein Höchstmaß an Genauigkeit
aufweisen und die vorgegebenen Eigenschaften oder die Betriebseigenschaften der in der Prüfung
befindlichen Schaltung besonders naturgetreu wiedergeben.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt
F i g. 1 eine perspektivische Explosionsdarstellung einer Gleichspannungssonde,
F i g. 2 einen Vertikalteilschnitt durch die in der F i g. 1 dargestellte Sonde, wobei sich die Sonde in der
zurückgezogenen Stellung befindet,
Fig.2A einen Vertikalschnitt, welcher die Sonde
darstellt, wie sie mit der in der Prüfung befindlichen gedruckten Leiterplatte in Berührung gebracht ist,
F i g. 3 eine Ansicht einer alternativen Ausführungsform der Sonde gemäß F i g. 1 von vorne,
Fig.4 ein Blockdiagramm, welches die unabhängig
betätigbaren Sonden als Teil eines vollständigen Systems veranschaulicht, bei welchem die Sonden dazu
verwendet werden, die in der Prüfung befindliche Platte mit einem elektrischen Prüfungsanpaßgerät zu verbinden
und
F i g. 5 ein Schaltschema, welches die Steuerschaltung zum Betreiben des Sondentreibersystems gemäß F i g. 4
darstellt.
In den F i g. 1 und 2 ist eine Gleichspannungssonde in einer Halterung 10 dargestellt, in welcher eine öffnung
12 angeordnet ist. Während in der Halterung 10 nur eine einzige Öffnung gezeichnet ist, sei darauf hingewiesen,
daß die Halterung eine Mehrzahl von öffnungen aufweist, wobei in jeder öffnung jeweils eine einzige
Sonde angeordnet ist. Die Öffnung 12 dient als eine zylindrische Öffnung und als eine Führungseinrichtung,
in welcher die Sonde hin- und herbewegt werden kann, wie es unten im einzelnen näher erläutert ist. Die Sonde
wird mit Hilfe der Öffnung 12 derart gehalten bzw. geführt, daß sie in einer vorgegebenen Ebene beweglich
ist, und zwar fluchtend mit einer Klemme auf der in der Prüfung befindlichen gedruckten Leiterplatte, wie es in
der Fig.2A dargestellt ist. Bei der Ausführungsform gemäß F i g. 1 und 2 ist die Halterung 10 aus einem
nichtleitenden Material hergestellt. Gemäß weiteren Ausführungsformen kann die Halterung jedoch aus
einem leitenden Material bestehen. Die öffnung 12 hat an ihrem unteren Ende einen Abschnitt mit einem
erweiterten Durchmesser 14, der ein Gewinde aufweist.
Gemäß F i g. 2A kann die in der Prüfung befindliche
Einheit eine typische gedruckte Schaltungsplatte oder Leiterplatte sein, wie sie an sich bekannt ist.
Beispielsweise sind Platten in der Größe von 4,44 cm χ 6,35 cm bis 10,16 cm χ 20,32 cm hinreichend
bekannt und werden üblicherweise verwendet. Die Anordnung, welche unabhängig betätigbare Sonden
ίο verwendet, kann jedoch in Verbindung mit Platten
beliebiger Größe verwendet werden, indem einfach die Platte neben der Halterung 10 angeordnet wird, wo sie
mit den Sonden in Berührung gebracht werden kann, wenn diese ausgefahren werden, wobei so viele
Öffnungen 12 und Sonden 20 vorgesehen sein können, wie es erforderlich ist, um die gewünschte Prüfungskapzität
bereitzustellen, welche in der Sondenbefestigung und der entsprechenden Prüfeinrichtung vorgesehen
werden soll. Demgemäß ist die Sondenbefestigung gemäß der Erfindung eine tatsächlich universelle
Prüfungsbefestigung.
Gemäß F i g. 1 weist die Sonde 20 einen Kolben 21 auf, der einen vergrößerten Durchmesser hat und in
dem Zylinder 12 derart hin- und herbewegbar ist, daß seine eine Seite verschlossen werden kann. Der Kolben
21 weist einen langgestreckten zweiten Ansatz 22 aus leitendem Material auf, wobei an einem Ende eine als
Ausnehmung ausgebildete Öffnung 23 vorgesehen ist. Eine Spitze 24 wird von der Öffnung 23 aufgenommen
und darin im Reibsitz gehalten. Die Spitze kann in der Öffnung 23 durch eine beliebige bekannte Einrichtung
gehalten sein, oder sie kann einen integralen Bestandteil des zweiten Ansatzes 22 darstellen. Der Kolben 21 weist
weiterhin einen integralen, nach unten stehenden ersten Ansatz 25 auf, welcher aus leitendem Material besteht
und sich unterhalb des Kolbens 21 mit vergrößertem Durchmesser erstreckt und einen Bund oder Kragen
aufweist, der eine Mehrzahl von nach unten stehenden Fingern hat, die leicht nach außen vorgespannt sind, um
den Zylinderboden 30 zu berühren, wie es unten im einzelnen näher erläutert wird.
Das andere Ende der Zylinderwand 12 unter dem vergrößerten Kolben' 21 ist durch einen Zylinderboden
30 abgeschlossen, welcher in den Abschnitt 14 mit vergrößerter Öffnung des Zylinders eingepaßt ist. Der
Zylinderboden 30 kann in Verbindung mit dem Zylinder durch eine beliebige bekannte Einrichtung wie durch ein
Gewinde 31 angebracht sein. Der Zylinderboden 30 hat eine zentrale Führungsöffnung 32, welche durch das
Stück hindurchgeführt ist und derart ausgebildet ist, daß sie einen Abschnitt 33 mit vermindertem Durchmesser
hat, welcher Tüllen 34 aufweist, um einen Schlauch 35 aufzunehmen, der dazu dient, den Eintritt und den
Austritt von unter Druck stehendem Fluid zu ermöglichen. Der Zylinderboden 30 ist aus leitendem Material
hergestellt und nimmt nach Anbringung auf der Halterung 10 gleitbar Finger auf, und zwar in der
zentralen Führungsöffnung 32, so daß ein vollständiger elektrischer Pfad zwischen der bewegbaren Kolbenein-
bO richtung 20 und dem Zylinderboden 30 gebildet wird.
Die Zylinderwände 12 unter dem vergrößerten Abschnitt des Kolbens 2t, der Kolben 21 und der
Zylinderboden 30 einschließlich seiner zentralen Führungsöffnung 32 legen eine expandierbare Kammer fest,
die eine Einrichtung aufweist, welche dazu dient, in selektiver Weise jede Sonde aus einer ersten zurückgezogenen
Stellung in eine zweite ausgefahrene Stellung zu bringen, und zwar in Reaktion auf einen ersten
vorgegebenen Druck in der Kammer, und um weiterhin jede Sonde in der anderen Richtung aus der
ausgefahrenen Stellung.in die zurückgezogene Stellung zurückzuführen, und zwar in Reaktion auf einen zweiten
vorgegebenen Druck in der Kammer, wobei diese Vorgänge insgesamt durch ein vorgegebenes Programm
gesteuert werden, wie es unten im einzelnen näher erläutert wird, so daß dieses Programm festlegt,
welche der Sonden bewegt werden sollen, wobei auch die zeitliche Steuerung von diesem Programm erfolgt.
Da gemäß den obigen Ausführungen jede Sonde ihre eigene Bewegungseinrichtung hat, ist somit jede Sonde
unabhängig von anderen Sonden zwischen den oben beschriebenen Stellungen bewegbar. In dieser bevorzugten
Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes arbeitet die Fluiddruck-Antriebseinrichtung mit Luft, es
kann jedoch auch eine hydraulische Einrichtung verwendet werden.
Die Kammer weist eine Dichtungseinrichtung auf, die einen O-Ring 40 hat, der auf dem Abschnitt 26 mit
vermindertem Durchmesser der Kolbeneinrichtung 21 angebracht ist. Das andere Ende der Kammer ist durch
den Zylinderboden 30 abgedichtet, mit Ausnehme des Durchganges 36, welcher die Einrichtung aufweist.welche
dazu dient, das Fluid unter Druck in die Kammer einzuleiten.
Der langgestreckte zweite Ansatz 22, die Spitze 24 und die nach unten stehenden Finger 25 weisen eine
erste leitende Einrichtung auf, die auf der Kolbeneinrichtung 21 angebracht ist, und mit derselben mit der in
der Prüfung befindlichen Einheit in Berührung zu bringen ist, wenn sich der Kolben in der zweiten oder
ausgefahrenen Stellung befindet (siehe Fig.2A), während
die Anordnung aus der Berührung mit der Einheit, die gerade in der Prüfung ist,.gelöst werden kann, wenn
sich der Kolben in der ersten oder zurückgezogenen Stellung befindet (siehe Fig.2).Der Zylinderboden 30
weist eine zweite leitende:Einrichtung auf, die elektrisch mit der ersten leitenden Einrichtung verbunden ist, mit
welcher sie einen kontinuierlichen leitenden Pfad durch den Kolben und den Zylinder bildet, so daß eine Leitung
zum Durchgang von elektrischen Signalen entsteht.
Der Zylinderboden 30 ist zum Anschluß an die
elektrische Anpaßeinrichtung über eine Leitung"51 und eine Kontaktklemme 50 vorgesehen, die ein leitendes
Element darstellt, welches im Reibsitz auf dem äußeren zylindrischen Abschnitt 37 des Zylinderbodens 30
angebracht ist, wodurch Signale zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen
.Anpaßeinrrchtung .übertragen werden -können, wenn
sieh.der Kolben inüenzweiten'Stellung befindet/Jede
Sonde 220 rhat ihre ,zugehörige Leitung -51 mit dem
^elektrischen AnpäBgerät verbunden. An .dem elektrischen
Anpaßgetät wird >eine ",Verbindung mit Her
celektnorüsehen Erregungseinrichtung hergestellt, um
dier :in üäer /Prüfung Jbefindliehen iJintheit Jäher die
;ausgewahlte:5onae:.entsprech;endecSignäle .zuzuführen
udder '.um meiner .elektronischen ;Melleinrichtung !Signale
^zuzuführen, so jdäß-die Signale .ausgewertet ,werden
!Können,.welche vonjlenausgewähltenSonde-voniäen in ·60
:iJeriPriifungLb:efindlieheniEinheitempfaiigertwerden.
!Eier ■ Kolben 21 ist -.weiterhin öiurch eine
>'Buchsei60 .geführt, ,die .eine .zentrale -Bohrung üt aufweist, ;in
.welcher der iJanggestreokte /zweite ,Ansatz 222 dd.es
:KöIbens;;gIeiten-kann.-Die Jiuclise.wirrt;innerhalb „der '65
!•Zylinderwand :ί2 ^gehalten, uund ,-zwar .durch den
*VerscMöBcea^aer^aniMer'Hältenuijg;"iO TnitiHilfe-von
SchratbeniMiangeörtfnet: ist^siehe^ rg#).4SowonI;die
Buchse 60 als auch die Abdeckung 63 können aus einem nichtleitenden Material hergestellt sein.
Die Einrichtung, welche dazu dient, den Kolben aus der ausgefahrenen Stellung in die zurückgezogene
Stellung vorzuspannen, wird durch eine Feder 65 gebildet, welche konzentrisch über dem zweiten Ansatz
22 angeordnet ist, wobei ein Ende der Feder an der Buchse 60 und das andere Ende an der Oberseite des
Kolbens 2t anliegt.
Wenn der Kolben aus der ersten Stellung in die zweite ausgefahrene Stellung bewegt wird, erstrecken
sich der zweite Ansatz 22 und die Spitze 24 über die Enden der Halterung 10 und der Abdeckung 63 hinaus,
um die in der Prüfung befindliche Einheit zu berühren. In dieser Stellung wird die Bewegung des Kolbens durch
die Buchse 60 begrenzt, gegen welche die Feder 65 gedrückt wird. Wenn der Kolben unter der Wirkung der
Feder 65 in die erste Stellung zurückgezogen wird, ist er im wesentlichen in die Halterung 10 bis zu dem Punkt
eingezogen, an welchem die Bewegung dadurch begrenzt wird, daß der Kolben 21 an dem Zylinderboden
30 anliegt.
Eine Berührung zwischen der Spitze 24 und der zuvor entsprechend ausgerichteten Verbindung der in der
Prüfung befindlichen Einheit erfolgt, wenn der Kolben sich in der ausgefahrenen Stellung befindet, wie es in der
F i g. 2A dargestellt ist.
In der Fig.3 ist eine alternative Konstruktion der
Sonde dargestellt, bei welcher der nach unten stehende erste Ansatz 25 aus einem kreuzförmigen Metallelement
ausgestanzt ist, welches getrennt von dem Kolben hergestellt ist, jedoch daran befestigt ist, indem die
Lasche 27 umgebogen wird, so daß der erste Ansatz 25 mit dem Kolben 21 einen integralen Bestandteil bildet.
Gemäß der obigen Beschreibung ist somit die in den F i g. 1 bis 3 dargestellte Sonde eine programmierbare
Sonde, welche insbesondere dazu gut geeignet ist, Gleichspannungssignale zwischen der elektrischen
Anpaßeinrichtung und der in der Prüfung befindlichen Einheit zu übertragen. Da die einzigen Sonden, welche
nach oben in Berührung mit der Einheit bewegt werden, die gerade in der Prüfung ist, diejenigen Sonden sind,
welche für die Prüfung erforderlich sind, die eine statische, eine dynamische, eine funktioneile oder eine
diagnostische Prüfung sein kann, verwendet die Sondenhälterung immer eine minimale Anzahl von
Sonden, und mit der Abschirmung können die Streukapazitäten und -induktivitäten, welche in die in
der Prüfung befindliche; Einheit als Störungen eingekoppelt werden, und zwar infolge der Frequenzcharakteristik
der Sonden -selbst, auf einem Minimum gehalten werden.rSomit können diejenigen Signale, welche zu der
in Uer.'PnLifung befindlichen: Einheit übertragen werden
oder von dieser Einheit empfangen werden, ein Höchstmaßan'Genauigkeit aufweisen und die vorgege-
: beneiiEigenschäftemader die Betriebseigenschaften der
■in der -Prüfung befindlichen Schaltung besonders
• natargetreu.wiederge.ben.
• In der: F ig.'4; ist einprogrammierbares Sondenbefestigungssystem
^veranschaulicht Die Halterung 10 enthält die Vielzahl von /Zylinderwän'den :12 und eine
'■Vielzahl-von-Sonden tt20, wobei; jeweils eine Sonde' in
Verbindung:mit jederJZylinclerwaiidyerartgehalten ist,
üaß sie .eine !Bewegungen der vorgegebenen *Ebene
ausführen! &ann,.«nftzwar yon-.einer ersten zurückgezo-,genenSStellung':in.Öie
zweite ausgefahrene1 Stellung,;in weicher siermit der in, jderPrüfung'MfiadlichenEinheit
12ί inlßerührung steht] JedeSonde-ftat einen; hW
welcher die leitende Einrichtung in der Sonde mit der elektrischen Anpaßeinrichtung verbindet. Jede Sonde
hat einen Schlauch 35, welcher das Verschlußstück mit einem Ende eines individuellen Durchgangs 123a in
einem Anschlußblock 123 verbindet. Ausgewählte Exemplare der Sonden 120a, 120b, 120c und 12Od
können ihre Schläuche 35 an eine gemeinsame Luftverteilereinrichtung 124 angeschlossen haben. Die
Verteilereinrichtung 124 ist mit einem individuellen Durchgang 123a im Anschlußblock 123 durch einen
Schlauch 36 verbunden. Das andere Ende jedes individuellen Durchgangs 122a in Verbindung mit dem
Block 123 ist an einen Schlauch 35a des Sondentreibersystems 130 angeschlossen. Ein Sondentreibersystem
oder ein System 130 dient dazu, die Sondenbewegungseinrichtung jeder Sonde 120 in der Sondenhalterung
einzeln zu betätigen oder auch dazu, die einzelne Sondenbewegungseinrichtung der Sonden 120a, 1206,
120c und 120c/ in Reaktion auf Steuersignale kollektiv, jedoch unabhängig zu bewegen, weiche von einer
Steuereinrichtung 140 empfangen werden.
Die Steuereinrichtung 140 liefert Steuerausgangssignale, welche einem vorgegebenen Programm entsprechen,
wobei diese Signale der Sondentreibereinrichtung 130 über einen Anschlußkasten 141 und elektrische
Treiberleitungen 142 zugeführt werden, wobei nur eine solche Leitung zur Vereinfachung dargestellt ist. Die
Steuereinrichtung 140 kann ein Computer oder eine andere programmierbare Steuereinrichtung sein, wie sie
grundsätzlich bekannt ist.
Die Sondentreibereinrichtung 130 ist in der bevorzugten Ausführungsform eine Fluidtreibereinrichtung, beispielsweise
ein Lufttreibersystem, welches Energie- und Luftdruckeingänge aufweist und eine Mehrzahl von
Ausgangsdurchgängen hat, wobei jeder Durchgang mit einem Schlauch 35a verbunden ist und wobei weiterhin
eine Einrichtung vorhanden ist, weiche dazu dient, den Fluiddruck an jedem Ausgangsdurchgang in Reaktion
auf die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140 zu steuern.
Die spezielle Einrichtung zur Steuerung des Fluid-
druckes an jedem Ausgangsdurchgang des Sondentreibersystems 130 ist in der F i g. 5 dargestellt und weist ein
durch eine Spule betätigtes Ventil 131 zwischen der Luftverteilereinrichtung 132 und dem Schlauch 35a auf,
welcher zu jedem Sondenzylinder führt, und zwar durch einen Durchgang 123a in Verbindung mit dem Kasten
123. Eine Ausgangsklemme der Spule ist mit einer Gleichspannungsquelle 133 verbunden, und die andere
Ausgangsklemme ist bei 134 über einen elektronischen Schalter 136 an Erde geführt, der in einer ersten Stellung
die Spulenschaltung in Reaktion auf ein Signal an Erde legt, welches an einer Steuerklemme 135 empfangen
wird, und weiterhin in der Weise betrieben werden kann, daß in einer zweiten Stellung die elektrische
Schaltung mit der Spule verbunden ist, wenn kein Steuersignal an der Steuerklemme 135 anliegt. Die
Steuerklemme 135 ist in jedem Fall mit der Steuereinrichtung 140 durch eine Leitung 142 und den
Anschlußkasten 141 verbunden und empfängt die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140, welche
programmiert, welche der Sonden zu einer vorgebbaren Zeit zu bewegen ist.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
090 515/407
Claims (8)
1. Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer statischen
elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung über programmierbare Sonden,
wobei jede einzelne Sonde unabhängig von den übrigen Sonden zwischen einer ersten und einer
zweiten Stellung durch einen auf dem Schaft der Sonde angebrachten, in einem Zylinder mit Fluiddruck
beaufschlagbaren Kolben hin- und herbewegbar ist, wobei der Schaft der Sonde im Bereich des
dem Bauteil zugewandten Endes des Zylinders in einer Buchse geführt ist und wobei über die Sonde in
der zweiten Stellung die elektrische Verbindung zwischen dem Bauteil und der Prüfeinrichtung
hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Schaft jeder Sonde (20) über einen auf der
mit dem Fluiddruck beaufschlagbaren Seite des Kolbens (21) angeordneten ersten Ansatz (25) mit
einem gegenüber dem Kolben (21) geringeren Durchmesser in einer Öffnung im Zylinderboden
(30) gleitbar geführt ist und daß der erste Ansatz (25) sowie der Zylinderboden (30) jeweils aus elektrisch
leitendem Material bestehen und gemeinsam einen Teil des elektrischen Leitungspfades bilden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zylinderwand (12) aus einem
nichtleitenden Material besteht.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung im Zylinderboden
(30) eine zentrale Bohrung ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste
Ansatz (25) eine Anzahl von elastischen Fingern aufweist, welche sich im wesentlichen in axialer
Richtung erstrecken und radial nach außen vorgespannt sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Ansatz (25) als Blechstanzteil
ausgebildet ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste
Dichtung (40) auf dem Kolben (21) angeordnet ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische
Verbindung zwischen dem Bauteil und einer Prüfeinrichtung über einen zweiten langgestreckten
Ansatz (22) aus elektrisch leitendem Material so geführt ist, welcher an dem elektrisch leitenden
Kolben (21) auf der dem Bauteil zugewandten Seite angebracht ist, daß der Zylinderboden eine zentrale
Führungsöffnung (32) für den auf der mit dem Fluiddruck beaufschlagbaren Seite des Kolbens (21)
angeordneten ersten Ansatz (25) aufweist, welcher einen Teil des elektrischen Leitungspfades bildet,
und daß der Kolben (21) durch eine Feder (65), welche konzentrisch zu dem zweiten Ansatz (22)
zwischen dem Kolben (21) und der Buchse (60) angeordnet ist, in die erste Stellung vorgespannt ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Axialbewegung
des Kolbens (21) durch Anschläge begrenzt ist und daß der Zylinderboden (30) in der
ersten Stellung als Anschlag dient.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in
einer statischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung über programmierbare
Sonden, wobei jede einzelne Sonde unabhängig von den übrigen Sonden zwischen einer ersten und einer
zweiten Stellung durch einen auf dem Schaft der Sonde angebrachten, in einem Zylinder mit Fluiddruck
beaufschlagbaren Kolben hin- und herbewegbar ist, wobei der Schaft der Sonde im Bereich des dem Bauteil
zugewandten Endes des Zylinders in einer Buchse geführt ist und wobei über die Sonde in der zweiten
Stellung die elektrische Verbindung zwischen dem Bauteil und der Prüfeinrichtung hergestellt ist.
Eine statische Prüfung ist eine solche Prüfung, bei welcher Gleichspannungssignale durch die Sonden an
eine Schaltung angelegt werden und die Gleichspannungseigenschaften verschiedener Bauelemente gemessen
werden. Zu einer solchen Prüfung kann auch eine Funktionsprüfung gehören, bei welcher die Sollwerte
einer Schaltung überprüft werden. Weiterhin kann schließlich dabei in einer Diagnose in einer vorhandenen
Schaltung ein eventuell auftretender Fehler ermittelt werden.
Zur Durchführung einer solchen Prüfung ist es erforderlich, eine oder mehrere Sonden in elektrischen
Kontakt mit einer oder mehreren Klemmen einer Leiterplatte zu bringen. Dann ist es beispielsweise
möglich, die Schaltungen auf der Platte oder einer anderen Anordnung funktionell und diagnostisch zu
prüfen, indem selektiv elektrische Signale an eine oder mehrere der Kontaktklemmen geführt werden, und
zwar über die Sonden, wonach die Signaleigenschaften an anderen Kontaktklemmen durch die Sonden
abgenommen und ausgewertet werden.
Bei der aus der US-Patentschrift 37 14 572 bekannten Anordnung besteht die Gefahr, daß durch eine
mangelhafte Kontaktgabe keine ausreichend exakte und zuverlässige Signalübertragung zu erreichen ist.
Weiterhin ist aus der DE-OS 20 13 070 eine Vorrichtung zur Prüfung von unbestückten, gedruckten
Schaltungsplatten bekannt. Diese bekannte Anordnung ist in ihrer Funktion darauf beschränkt, den Durchgangswiderstand
der Leiterbahnen und die Isolation zwischen den Leiterbahnen zu prüfen.
Weiterhin ist es aus der DE-OS 19 03 088 bekannt, bei
einer Kontaktvorrichtung eine Anzahl von in geringem Abstand voneinander angeordneten, vorzugsweise aus
metallisierten Bohrungen bestehenden Kontakten an elektrische Prüfgeräte anzuschließen. Diese bekannte
Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß die auf die Kontakte zu pressenden Enden von Kontaktnadeln
kugelförmig ausgebildet sind und daß die Kontaktnadeln aus einem elastischen Werkstoff bestehen. Die
Kontaktnadeln können in elektrisch isolierenden Lagerbuchsen gleiten. Diese bekannte Vorrichtung ist speziell
dafür bestimmt, auf einer gedruckten Schaltungsplatte in einem Rasterabstand angeordnete Kontakte abzutasten.
Die Handhabung dieser bekannten Vorrichtung ist verhältnismäßig aufwendig, außerdem ist sie aufgrund
der einfachen Gestaltung der Führungen für die Sonden nicht dazu geeignet, besonders hohe Ansprüche an die
Genauigkeit der Signalübertragung zu erfüllen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung
zwischen einem in einer statischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung
der eingangs näher genannten Art zu schaffen, weiche
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2816721A1 (de) * | 1978-04-18 | 1979-10-31 | Werner Heilmann | Vorrichtung zum pruefen einer elektronischen leiterplatte o.dgl. |
DE2905175C2 (de) * | 1979-02-10 | 1985-11-21 | Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt | Adaptiervorrichtung für das Verbinden von zu prüfenden Elektronikbaugruppen mit Prüfgeräten |
FR2477324A1 (fr) * | 1980-02-28 | 1981-09-04 | Dassault Electronique | Dispositif de contact electrique pour appareil de traitement de cartes electroniques |
DE3010311A1 (de) * | 1980-03-18 | 1981-09-24 | Feinmetall Gmbh, 7033 Herrenberg | Kontaktbaustein |
DE3016483A1 (de) * | 1980-04-29 | 1981-11-05 | Heilmann, Werner, 7750 Konstanz | Vorrichtung zum pruefen einer elektronischen leiterplatte o.dgl. |
DE3153596C2 (en) * | 1981-09-17 | 1991-11-14 | Ingun Pruefmittelbau Gmbh & Co Kg Elektronik, 7750 Konstanz, De | Test head for electronic conductor boards |
DE3136896A1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-04-14 | Ingun Prüfmittelbau GmbH & Co KG Elektronik, 7750 Konstanz | Vorrichtung zum pruefen einer elektronischen leiterplatte |
DE3406796A1 (de) * | 1983-02-25 | 1984-08-30 | Feinmetall Gmbh, 7033 Herrenberg | Pneumatisches kontaktierglied |
JPS59158400U (ja) * | 1983-04-08 | 1984-10-24 | 沖電気工業株式会社 | プレスバ− |
DE3318394C2 (de) * | 1983-05-20 | 1985-06-20 | Feinmetall Gmbh, 7033 Herrenberg | Pneumatisch betätigter Kontaktstift |
US4588241A (en) * | 1983-09-23 | 1986-05-13 | Probe-Rite, Inc. | Surface mating coaxial connector |
US4574236A (en) * | 1983-10-27 | 1986-03-04 | At&T Technologies, Inc. | High frequency test fixture |
GB2161033B (en) * | 1984-06-21 | 1988-05-25 | Gen Electric Co Plc | Programmable bed-of-nails test access jigs with electro-rheological fluid actuation |
DE3602696C2 (de) * | 1986-01-30 | 1996-07-11 | Festo Kg | Prüfeinrichtung für auf Trägern angeordnete elektronische Bauelemente |
US4801876A (en) * | 1986-04-18 | 1989-01-31 | Sagami Tsushin Kogyo Kabushiki Kaisha | Printed wiring board tester |
US4739259A (en) * | 1986-08-01 | 1988-04-19 | Tektronix, Inc. | Telescoping pin probe |
JP2609639B2 (ja) * | 1987-11-14 | 1997-05-14 | 日本ヒューレット・パッカード株式会社 | テストヘッド |
US5291129A (en) * | 1988-10-24 | 1994-03-01 | Nhk Spring Co., Ltd. | Contact probe |
JPH03185847A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-13 | Toshiba Corp | ユニバーサルプローブカード |
US5196789A (en) * | 1991-01-28 | 1993-03-23 | Golden Joseph R | Coaxial spring contact probe |
US6034532A (en) * | 1993-07-01 | 2000-03-07 | Alphatest Corporation | Resilient connector having a tubular spring |
US5459396A (en) * | 1994-08-12 | 1995-10-17 | At&T Ipm Corp. | Test fixture with integrated clamp for and sensor of printed circuit board type |
JP3821171B2 (ja) * | 1995-11-10 | 2006-09-13 | オー・エイチ・ティー株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
US5793218A (en) * | 1995-12-15 | 1998-08-11 | Lear Astronics Corporation | Generic interface test adapter |
US5818246A (en) * | 1996-05-07 | 1998-10-06 | Zhong; George Guozhen | Automatic multi-probe PWB tester |
US5945835A (en) * | 1997-03-05 | 1999-08-31 | Lucent Technologies Inc. | Radio frequency test probe with integral mount for circuit board under test |
WO1999035715A1 (en) * | 1998-01-05 | 1999-07-15 | Rika Electronics International, Inc. | Coaxial contact assembly apparatus |
US6037787A (en) * | 1998-03-24 | 2000-03-14 | Teradyne, Inc. | High performance probe interface for automatic test equipment |
DE19983759B4 (de) | 1998-11-25 | 2004-06-03 | Rika Electronics International Inc., Attleboro | Elektrisches Kontaktsystem |
JP2001166006A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Nec Corp | フィクスチャおよびその実装基板接続方法 |
US6798229B2 (en) * | 2000-05-11 | 2004-09-28 | Brian D. Butler | Wide-bandwidth coaxial probe |
DE20102558U1 (de) * | 2001-02-14 | 2002-02-28 | PTR Meßtechnik GmbH & Co. KG, 59368 Werne | Vorrichtung zur Kontaktierung einer Prüfeinrichtung insbesondere mit einer elektrischen Leiterplatte |
DE20103967U1 (de) * | 2001-03-07 | 2002-07-11 | PTR Meßtechnik GmbH & Co. KG, 59368 Werne | Schalt-Federkontaktstift |
US6700396B1 (en) | 2001-05-16 | 2004-03-02 | Ltx Corporation | Integrated micromachine relay for automated test equipment applications |
US6734681B2 (en) | 2001-08-10 | 2004-05-11 | James Sabey | Apparatus and methods for testing circuit boards |
JP2003307552A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Tokyo Electron Ltd | 信号検出用接触体及び信号校正装置 |
US6683466B2 (en) * | 2002-05-17 | 2004-01-27 | International Business Machines Corporation | Piston for module test |
US7053640B2 (en) * | 2002-12-27 | 2006-05-30 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for providing high RF signal isolation and low common ground inductance in an RF circuit testing environment |
US7276921B2 (en) * | 2003-06-30 | 2007-10-02 | Intel Corporation | Probe of under side of component through opening in a printed circuit board |
KR100600482B1 (ko) * | 2004-06-22 | 2006-07-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 측정용 프로브 |
US7683649B2 (en) * | 2006-11-20 | 2010-03-23 | Analog Devices, Inc. | Testing system contactor |
JP5381609B2 (ja) * | 2009-10-20 | 2014-01-08 | 日本電産リード株式会社 | 検査用治具及び接触子 |
US10006939B2 (en) * | 2014-10-30 | 2018-06-26 | Tongfu Microelectronics Co., Ltd. | Testing probe and semiconductor testing fixture, and fabrication methods thereof |
CN108597698B (zh) * | 2018-05-30 | 2023-10-27 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种放电路径可控的均压环 |
CN112097701B (zh) * | 2020-08-05 | 2022-04-05 | 海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司 | 一种三坐标测量机安全位信号采集装置及方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US198391A (en) * | 1877-12-18 | Improvement in lubricating-pistons | ||
US3714572A (en) * | 1970-08-21 | 1973-01-30 | Rca Corp | Alignment and test fixture apparatus |
-
1976
- 1976-02-25 CA CA246,573A patent/CA1038042A/en not_active Expired
- 1976-03-01 DE DE2659977A patent/DE2659977C2/de not_active Expired
- 1976-03-01 DE DE2659976A patent/DE2659976C2/de not_active Expired
- 1976-03-01 DE DE2608430A patent/DE2608430C3/de not_active Expired
- 1976-03-02 JP JP51022566A patent/JPS51112145A/ja active Granted
- 1976-03-03 BR BR7601302A patent/BR7601302A/pt unknown
- 1976-03-04 FR FR7606143A patent/FR2303349A1/fr active Granted
-
1977
- 1977-01-10 US US05/758,212 patent/US4138643A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2659976C2 (de) | 1979-11-29 |
JPS51112145A (en) | 1976-10-04 |
DE2608430C3 (de) | 1979-03-15 |
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JPS5428259B2 (de) | 1979-09-14 |
FR2303349A1 (fr) | 1976-10-01 |
US4138643A (en) | 1979-02-06 |
DE2608430A1 (de) | 1977-01-27 |
FR2303349B1 (de) | 1980-01-18 |
BR7601302A (pt) | 1976-09-14 |
DE2659977C2 (de) | 1979-11-29 |
DE2608430B2 (de) | 1978-07-13 |
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