DE2659976C2 - Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung - Google Patents

Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung

Info

Publication number
DE2659976C2
DE2659976C2 DE2659976A DE2659976A DE2659976C2 DE 2659976 C2 DE2659976 C2 DE 2659976C2 DE 2659976 A DE2659976 A DE 2659976A DE 2659976 A DE2659976 A DE 2659976A DE 2659976 C2 DE2659976 C2 DE 2659976C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
probe
piston
hollow cylinder
conductor
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2659976A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2659976B1 (de
Inventor
Robert Lee Wheeling Beck
Peter Helmut Barrington Goebel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Motorola Solutions Inc
Original Assignee
Motorola Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Motorola Inc filed Critical Motorola Inc
Publication of DE2659976B1 publication Critical patent/DE2659976B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2659976C2 publication Critical patent/DE2659976C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G01R1/07328—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07392—Multiple probes manipulating each probe element or tip individually

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung über programmierbare Sonden, wobei jede einzelne Sonde unabhängig von den übrigen Sonden zwischen einer ersten und einer zweiten Stellung durch einen auf dem Schaft der Sonde angebrachten, in einem Zylinder mit Fluiddruck beaufschlagbaren Kolben hin- und herbewegbar ist, wobei der Schaft der Sonde im Bereich des dem Bauteil zugewandten Endes des Zylinders in einer Buchse geführt ist und wobei über die Sonde in der zweiten Stellung die elektrische Verbindung zwischen dem Bauteil und der Prüfeinrichtung hergestellt ist
Eine derartige Vorrichtung ist aus der US-Patentschrift 37 14 572 bekannt.
Bei einer dynamischen Prüfung werden Wechselspannungseigenschaften der verschiedenen Schaltungselemente, die sich in der Prüfung befinden, einer Messung unterzogen. Eine Funktionsprüfung besteht darin, daß die Sollwerte einer Schaltung überprüft werden. Eine
Diagnose besteht gemäß der Bedeutung der Bezeichnung in der vorliegenden Beschreibung darin, in einer vorgegebenen Schaltung einen Fehler zu ermitteln.
Eine dynamische Funktionsprüfung dient dem Zweck, über eine oder mehrere Sonden Wechselspannungssignale als Eingangssignale an ausgewählte Klemmen anzulegen und die entsprechenden Wechselspannungsausgangssignale an anderen ausgewählten Klemmen durch die Sonden zu messen, ohne daß dabei irgendwelche anderen externen Sonden verwendet werden. Auf diese Weise kann bestimmt werden, ob die Ausgangssignale den gewünschten Spezifikationen entsprechen.
Eine dynamische Diagnoseprüfung besteht darin, eine fehlerhafte Schaltung in einem elektronischen Modul zu ermitteln, in dem das Wechselspannungssigna! sequentiell vom Eingang einer Schaltung bis zum Ausgang verfolgt wird und dann weiter zu dem Eingang der nächsten Schaltung in der Leitung und weiter zu deren Ausgang, usw, bis die fehlerhafte Schaltung lokalisiert ist. Eine solche Prüfung setzt nicht nur voraus, daß die Sonden mit dem ersten Eingang und mit dein letzten Ausgang verbunden werden, wie bei einer Funktionsprüfung, sondern es ist weiterhin erforderlich., daß die Sonden mit verschiedenen Eingangs- und Ausgangsklemmen einzelner Zwischenschaltungselemente verbunden werden. Somit ist eine Vielzahl von Sonden erforderlich.
Das Problem der Verstimmung oder Beeinflussung von gedruckten Leiterplatten tritt insbesondere bei einem analogen Logikmodul sowie bei einem Hochgeschwindigkeits-Logikmodul auf, die bei hohen Frequenzen im MHz-Bereich arbeiten, beispielsweise am Eingang einer FM-Abstimmeinrichtung. Weiterhin tritt dieses Problem deutlich bei der Prüfung von analogen Bauelementen auf, welche niedrigere Frequenzen verwenden, beispielsweise im Eingang einer AM-Abstimmeinrichtung, welche die HF- und die Mischer-Stufen aufweist.
Weiterhin ist aus der deutschen Offenlegungsschrift 20 13 070 eine Vorrichtung zur Prüfung von unbestückten, gedruckten Schaltungsplatten bekannt; diese bekannte Anordnung ist in ihrer Funktion darauf beschränkt, den Durchgangswiderstand der Leiterbahnen und die Isolation zwischen den Leiterbahnen zu prüfen.
Weiterhin ist aus der deutschen Oifenlegungsschrift 19 03 088 eine Kontaktvorrichtung bekannt, welche dazu dient, eine Anzahl von in geringem Abstand voneinander angeordneten, vorzugsweise aus metallisierten Bohrungen bestehenden Kontakten an elektrische Prüfgeräte anzuschließen. Diese bekannte Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß die auf die Kontakte zu pressenden Enden von Kontaktnadeln kugelförmig ausgebildet sind und daß die Kontaktnadeln aus einem elastischen Werkstoff bestehen. Die Kontaktnadeln können in elektrisch isolierenden Lagerbuchsen gleiten. Diese bekannte Vorrichtung ist speziell dafür bestimmt, auf einer gedruckten Schalungsplatte in einem Rasterabstand angeordnete Kontakte abzutasten. Die Handhabung dieser bekannten Vorrichtung ist jedoch verhältnismäßig aufwendig, außerdem ist sie aufgrund einer sehr einfachen Gestaltung der Führungen für die Sonden nicht dazu geeignet, besonders hohe Ansprüche an die Genauigkeit der Signalübertragung zu erfüllen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in th/er dynamischen elektrischen
κι
Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung zu schaffen, welche auch bei verhältnismäßig hohen Frequenzen der übertragenen Signale eine besonders störungsfreie und genaue Arbeitsweise gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß der Kolben als Hohlzylinder ausgebildet ist und daß in der zentralen Bohrung innerhalb des Kolbens zwei gegeneinander elektrisch isolierte Leiterelemente angeordnet sind.
Vorteilhafte Weiterbildungen und bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Gemäß der Erfindung ist der wesentliche Vorteil erreichbar, daß infolge einer günstigen Frequenzcharakteristik der erfindungsgemäßen Sonden die Streukapazitäten und die Streuinduktivitäten, welche in das in der Prüfung befindliche Bauteil eingekoppelt werden, auf einem Minimum gehalten sind.
Somit können diejenigen Signale, welche zu dem in der Prüfung befindlichen Bauteil übertragen werden oder von diesem Bauteil empfangen werden, ein Höchstmaß an Genauigkeit aufweise- 4nd die vorgegebenen Eigenschaften oder die Betriebseigenschaften des in der Prüfung befindlichen Bauteils besonders naturgetreu wiedergeben.
Ausführungsbeispiele des Erfindungsgegenstandes werden nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt
F i g. 1 eine perspektivische Explosionsdarstellung einer Hochfrequenzsonde,
F i g. 2 einen Vertikalteilschnitt der in der F i g. 1 dargestellten Sonde, wobei die Sonde sich in der zurückgezogenen Stellung befindet,
Fig.3 einen Vertikalteilschnitt, welcher die in der F i g. 2 dargestellte Sonde einschließlich einer damit verbundenen Endsonde in der ausgefahrenen Stellung veranschaulicht,
F i g. 4 einen Grundriß der in der F i g. 3 dargestellten Sonde,
F i g. 5 einen Vertikalteilschnitt einer weiterer Ausführungsform der Sonde einschließlich einer Elektronikschaltungsplatte, welche in der Sonde dargestellt ist,
F Lg. 6 ein Blockdiagramm, welches die unabhängig betätigbaren Sonden als Teil eines vollständigen Systems veranschaulicht, bei welchem die Sonden dazu verwendet werden, die in der Prüfung befindliche Platte mit einem elektrischen Prüfungsanpaßgerät zu verbinden, und
F i g. 7 ein Schaltschema, welches die Steuerschaltung zum Betreiben des Sondentreibersystems gemäß F i g. 6 darstellt.
In den Fig. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes veranschaulicht, welche eine Hochfrequenzsonde darstellt Bei dieser Ausführungsform, wie sie in den F i g. 1 und 2 dargestellt ist, weist der Kolben 21 einen zweiten Ansatz 22 auf, der sich über den vergrößerten Durchmesser des Kolbens 21 hinaus erstreckt, und hat einen zweiten Schaftabschnitt 22a, der sich unterhalb des vergrößerten Kolbenabschnittes des Kolbens 21 erstreckt. Eine zentrale Bohrung la erstreckt sich durch den gesamten Kolben hindurch und auch über die langgestreckten Schaftabschnitte, und sie hat eine als Ausnehmung ausgebildete vergrößerte Öffnung 23 am oberen Ende. Der Zylinder 12 hat eine Öffnung 16 mit vermindertem Durchmesser, welche gleitbar den zweiten Schaftabschnitt 22a aufnimmt, um die Bewegung des Kolbens zu führen.
Koaxial in der zentralen Bohrung 29 des Kolbens ist
eine Anordnung 70 eines abgeschirmten Kabels angeordnet. Die Anordnung weist einen Mittelleiter 71 auf, sie hat weiterhin eine Schicht aus einem Isoliermaterial 72, welches den Mittelleiter 71 umgibt, und sie hat weiterhin ein leitendes Abschirmmaterial 73, welches das Isoliermaterial 72 umgibt, sowie eine isolierende Abdeckung 72a, welche das Abschirmmaterial 73 umgibt. Eine leitende Erdungsbuchse 74 umgibt das obere Ende des Abschirmmaterials 73, von welchem die isolierende Abdeckung 73a abgeschält wurde, um eine Verbindung mit der Innenwand der äußeren Hülle 76 herzustellen, die auch aus einem leitenden Material besteht. Im Inneren der äußeren Hülle 76 ist eine isolierende Buchse 76a an der Hülle angebracht, die eine zentrale Bohrung 76b aufweist, um das innere Spitzengehäuse 75 aufzunehmen, welches einen ringförmigen Flansch 75a hat, der an der Buchse 76a anliegt und von den leitenden Elementen 73, 74 und 76 elektrisch isoliert ist. Das obere Ende des Mittelleiters 71 ist durch die zentrale Bohrung des inneren Spitzengehäuses 75 hindurchgeführt und über dessen oberes Ende umgebogen. Die Spitze 24 ist an dem Spitzengehäuse 75 befestigt, und zwar in der Weise, daß ein Kontakt mit dem Mittelleiter 71 hergestellt ist. Es können auch andere bekannte Einrichtungen dazu verwendet werden, den Leiter 71 mit dem Gehäuse 24a zu verbinden, und die Spitze 24 kann auch als integraler Bestandteil des Gehäuses 75 ausgebildet sein. Sobald der Zusammenbau erfolgt ist, wird die Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels seitlich umgebogen oder gegrimmt, und zwar in dem Bereich, welcher zu der Erdungsbuchse 74 benachbart ist, und dann wird das Ende um die Spitze 24 herum mit Epoxymaterial 77 ausgefüllt. Die gesamte Anordnung 70 wird dann fest in der als Ausnehmung ausgebildeten öffnung 23 des Kolbens 21 angebracht. Das zylindrische Element 76 und die gesamte Kabelanordnung kann weiterhin an dem Kolben 21 durch eine Lötverbindung 78 befestigt werden, wenn die Kolbeneinrichtung 21 und der Schaft 22 aus Metall bestehen. Ein Abschnitt der Spitze 24 bleibt frei, und zwar jenseits der Zylinderschaie 76. um die in der Prüfung befindliche Einheit anzuschließen, wie ar ;>, Jon Π ι r» O l,n/4 1 „orm^U.il^kl Ic. Cnm!· U.IA„I dem Durchgang 38 gebildet, welcher den Durchgang 36 und die zentrale Führungsöffnung 32 des Zylinderbo dens 30 mit der Zylinderwand 12 verbindet, um unter Druck stehendes Fluid einzuleiten und abzuleiten. Um zu gewährleisten, daß um den zweiten Ansatz 22 mit vermindertem Durchmesser kein Fluidleck auftritt, ist dieser Abschnitt des Zylinders durch ein zweites Verschlußstück 80 abgeschlossen, welches konzentrisch zu dem Schaft 22a angeordnet ist, wodurch der zur Dichtung dienende O-Ring 81 dichtend gegen den Schaft 22a angedrückt wird. Das Verschlußstück 80 wird durch die Schulter 82 an Ort und Stelle gehalten, welche durch die Scheibe 84 und den Zylinderboden 30 an der Halterung 10 angebracht ist. Das andere Ende des Zylinders ist natürlich durch den O-Ring 40 abgedichtet, der auf dem Hals 26 des Kolbens 21 sitzt. Eine Vorspannung wird durch eine Feder 65 aufgebracht.
In dieser Ausführungsform kann der Kolben 21 aus einem nichtleitenden Material bestehen, da das Koaxialkabel 70 vollständig isoliert und abgeschirmt ist.
Die Kolbenbewegung wird in der oberen Stellung durch die Buchse 60 und die Feder 65 begrenzt, und in der unteren Stellung wird die Kolbenbewegung durch eine Schulter 82 begrenzt. Gemäß der obigen Beschreibung liefert die Ausführungsform gemäß F i g. I und 2 somit eine programmierbare Sonde zur Übertragung von Hochfrequenzsignalen im MHz-Bereich. Die Abschirmung liefert eine ausgezeichnete Isolierung gegen äußere Stör- und Rauschsignale.
In der Fig. 3 ist die Sonde gemäß Fig. 2 in der ausgefahrenen Stellung dargestellt, und zwar in der Weise modifiziert, daß die eine Erdungssonde 90 und eine Befestigungsklammer 91 aufweist, welche die Erdungssonde an der leitenden zylindrischen äußeren Hülle 76 befestigt, welche über die leitende Erdungsbuchse 74 mit dem Abschirmmaterial 73 des Koaxialkabels verbunden ist. Die Erdungssonde 90 läßt sich mil der Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels hin- und herbewegen, um eine Erdungssondenverbindung mil der in der Prüfung befindlichen gedruckten Leiterplatte herzustellen, und zwar unmittelbar benachbart zu der Klemme, welche mit der Spitze 24 in Verbindung steht
gemäß dieser Ausführungsform die Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels eine einzige Einheit, unabhängig von dem verwendeten Kolben 21 und dem Zylinderboden 30. wobei hier nämlich ein erstes Leitereiement 24, 75 und ein zweites Leiterelement 71 miteinander vereinigt sind, um somit einen kontinuierlichen Leitungspfad zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinrichtung zu bilden, wenn die Sonde in der zweiten ausgefahrenen Stellung ist. Die Kabelanordnung 70 stellt ein drittes Leiterelement 73,74,76 dar, und zwar für Erdungsstreusignale oder zum Anschluß an eine Erdungsklemme auf der in der Prüfung befindlichen Platte, wie es in der F i g. 3 dargestellt ist und unten im einzelnen näher erläutert wird. Es können andere bekannte abgeschirmte koaxiale Kabelanordnungen hergestellt werden, indem die obigen Prinzipien angewandt werden. Solche Anordnungen sind im Handel erhältlich.
Die Fluiddruckkammer in der in der Fig. 2 dargestellten Ausführungsform wird wiederum durch die Zylinderwände 12, die Unterseite des Kolbens 21, die Oberfläche des Schaftabschnittes 22a mit vermindertem Durchmesser, die obere Fläche 12a benachbart zu dem Abschnitt 16 des Zylinders mit vermindertem Durchmesser und weiterhin durch den Zylinderboden 30 und Frequenzen geeignet ist. Somit läßt sich eine Impedanzanpassung erreichen, wenn hohe Frequenzen zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und dei Prüfeinrichtung übertragen werden. Der Wellenwiderstand wird bei etwa 50 Ohm vorgegeben. Eine Ausrichtung der Sonde 90 wird aufrechterhalten, wenn der Kolben 21 hin- und herbewegt wird, indem die Halterung 10 in der Weise abgewandelt wird, daß sie eine öffnung 92 und einen Führungsstab 93 aufweist, der an dem Anschluß 91 angebracht ist und in der öffnung 92 gleitbar geführt ist
Die Fig.5 zeigt eine weitere bevorzugte Ausführungsform einer programmierbaren Sondenbefestigung Wiederum werden identische Bezugszahlen wiederholt wenn sie sich auf dieselben oder auf ähnliche Teile beziehen, die oben bereits beschrieben wurden. In der Ausführungsform gemäß F i g. 5 ist ein äußerer Hohlzylinder 100 im Reibsitz an dem Kolben 21 angebracht, se daß es mit diesem bewegbar ist. In dem äußeren Hohlzylinder 100 ist ein innerer Hohlzylinder 1 IC angeordnet, durch welchen eine zentrale Bohrung 111 hindurchgeführt ist, in welcher die abgeschirmte Kabelanordnung 70 fest angebracht ist, und zwar durch einen Abschlußstopfen 118. Die abgeschirmte Kabelanordnung 70 weist eine elektronische Schaltungsplatte
112 auf einem Substrat auf. so daß ein Anschluß mit der Spitze 24 an einem Klemmenende gebildet wird, wobei weiterhin Drähte 113 vorhanden sind, welche sich von dem anderen Klemmenende aus erstrecken und eine Verbindung mit der elektrischen Anpaßeinrichtung herstellen. Die Anordnung 70 wird in dem Gehäuse 110 durch eine bekannte beliebige Einrichtung gehalten, beispielsweise dadurch, daß der Flansch 115 des ■Gehäuses 110 umgebogen wird. Eine Feder 116 ist zwischen der Schulter 117 des äußeren zylindrischen Gehäuses 100 und der Schuller 114 des inneren zylindrischen Gehäuses 110 angeordnet, um eine Einrichtung zu bilden, die dazu dient, das Aufschlagen des Punktes 24 weicher zu gestalten, wenn er die damit fluchtende Klemme der in der Prüfung befindlichen Platte berührt, um die empfindliche elektronische Schaltung 112 durch den Aufschlagstoß nicht zu beschädigen. Die oben beschriebene Anordnung liefert eine gute Flexibilität, um in der Sonde 20 eine große Vieifaii von elektronischen Schaltungen anzubringen, die dazu in der Lage sind, zahlreiche Funktionen auszuführen, und zwar in Verbindung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit und der Prüfeinrichtung, wobei eine entsprechende Anpaßeinrichtung verwendet wird. Beispielsweise kann die Schaltung 112 Pufferschaltungen oder eine Detektoreinrichtung aufnehmen.
In der F i g. 6 ist ein programmierbares Sondenbefestigungssystem veranschaulicht. Die Halterung 10 enthält die Vielzahl von Zylinderwänden 12 und eine Vielzahl von Sonden 120, wobei jeweils eine Sonde in Verbindung mit jeder Zylinderwand derart gehalten ist, Jaß sie eine Bewegung in der vorgegebenen Ebene ausführen kann, und zwar von einer ersten zurückgezogenen Stellung in die zweite ausgefahrene Stellung, in welcher sie mit der in der Prüfung befindlichen Einheit 121 in Berührung steht. Jede Sonde hat einen Draht 122, welcher die leitende Einrichtung in der Sonde mit der elektrischen Anpaßeinrichtung verbindet. Jede Sonde hat einen Schlauch 35, welcher das Verschlußstück mit einem Ende eines individuellen Durchgangs 123a in *o einem Anschlußblock 1Z3 verbindet. Ausgewählte Exemplare der Sonden 120a, \20b, 120c und 120c/ können ihre Schläuche 35 an eine gemeinsame L.uftverteilereinrichtung 124 angeschlossen haben. Die Verteilereinrichtung 124 ist mit einem individuellen *5 Durchgang 123a im Anschlußblock 123 durch einen Schlauch 36 verbunden. Das andere Ende jedes individuellen Durchgangs 122a in Verbindung mil dem Block 123 ist an einen Schlauch 35a des Sondentreibersystems 130 angeschlossen. Ein Sondentreibersystem oder ein System 130 dient dazu, die Sondenbewegungseinrichtung jeder Sonde 120 in der Sondenhalterung einzeln zu betätigen oder auch dazu, die einzelne Sondenbewegungseinrichtung der Sonden 120a, 1206, 120c und 120c/in Reaktion auf Steuersignale kollektiv, jedoch unabhängig zu bewegen, welche von einer Steuereinrichtung 140 empfangen werden.
Die Steuereinrichtung 140 liefert Sleueraujgangssignale, welche einem vorgegebenen Programm entsprechen, wobei diese Signale der Sondentreibereinrichtung 130 über einen Anschlußkasten 141 und elektrische Treiberleitungen 142 zugeführt werden, wobei nur eine solche Leitung zur Vereinfachung dargestellt ist. Die Steuereinrichtung 140 kann ein Computer oder eine andere programmierbare Steuereinrichtung sein, wie sie grundsätzlich bekannt ist.
Die Sondentreibereinrichtung 130 ist in der bevorzugten Ausführungsform eine Fluidtreibereinrichtung, beispielsweise ein Lufttreibersystem, welches Energie- und Luitdruckeingänge aufweist und eine Mehrzahl von Ausgangsdurchgängen hat, wobei jeder Durchgang mit einem Schlauch 35a verbunden ist und wobei weiterhin eine Einrichtung vorhanden ist, welche dazu dient, den Fluiddruck an jedem Ausgangsdurchgang in Reaktion auf die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140 zu steuern.
Die spezielle Einrichtung zur Steuerung des Fluiddruckes an jedem Ausgangsdurchgang des Sondentreibersystems 130 ist in der F i g. 7 dargestellt und weist ein durch eine Spule betätigtes Ventil 131 zwischen der Luftverteilereinrichtung 132 und dem Schlauch 35a auf, welcher zu jedem Sondenzylinder führt, und zwar durch einen Durchgang 123a in Verbindung mit dem Kasten 123. Eine Ausgangsklemme der Spule ist mit einer Gleichspannungsquelle 133 verbunden, und die andere Ausgangsklemme ist bei 134 über einen elektronischen Schalter 136 an Erde geführt, der in einer ersten Stellung die Spulenschaltung in Reaktion auf ein Signal an Erde legt, welches an einer Steuerklemme 135 empfangen wird, und weiterhin in der Weise betrieben werden kann, daß in einer zweiten Stellung die elektrische Schaltung mit der Spule verbunden ist, wenn kein Steuersiena! an der Steuerklemmp IIS anlipgt nip Steuerklemme 135 ist in jedem Fall mit der Steuereinrichtung 140 durch eine Leitung 142 und den Anschlußkasten 141 verbunden und empfängt die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140, welche programmiert, welche der Sonden zu einer vorgebbaren Zeit zu bewegen ist.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (11)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer r> Prüfeinrichtung über programmierbare Sonden, wobei jede einzelne Sonde unabhängig von den übrigen Sonden zwischen einer ersten und einer zweiten Stellung durch einen auf dem Schaft der Sonde angebrachten, in einem Zylinder mit Fluid- ίο druck beaufschlagbaren Kolben hin- und herbewegbar ist wobei der Schaft der Sonde in einer Buchse geführt ist und wobei über die Sonde in der zweiten Stellung die elektrische Verbindung zwischen dem Bauteil und der Prüfeinrichtung hergestellt ist ^ dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben
(21) als Hohlzylinder ausgebildet ist und daß in der zentralen Bohrung (29) innerhalb des Kolbens (21) zwei gegeneinander elektrisch isolierte Leiterelemente (24,75,71 und 76,74,73) angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß der Kolben (21) einen zweiten Ansatz
(22) und einen sich axial daran anschließenden zweiten Schaftabschnitt (22a) aufweist und daß die zentrale Bohrung (29) durch den zweiten Ansatz (22) und den zweiten Schaftabschnitt (22a,) hindurchgeführt ist
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das eine Leiterelement eine auf dem äußeren Ende des zweiten Ansatzes (22) in angeordnete Spitze (24) aufweist welche mit dem in der Prüfung befindlichen Bauteil in Berührung bringbar ist, wenn der Kolben f>.l) sich in der ersten Stellung befindet daß ein Mittelleiter (71) mit der Spitze verbunden ist und daß dps andere Leilerele- r> ment eine Abschirmung (73,74, '/S) aufweist welche die Spitze (24) und den Mittelleiter (71) umgibt
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet daß die beiden Leiterelemente ein abgeschirmtes Kabel aufweisen, welches einen mit einer leitenden Spitze (24) in Verbindung stehenden Mittelleiter (71) und eine Isolierung (72, 76a, 77) hat, welche die Spitze (24) und den Mittelleiter (71) im wesentlichen umgibt
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet daß der Kolben (21), der zweite Ansatz (22), der zweite Schaftabschnitt (22a) und die Kolbenführung aus einem elektrisch nichtleitenden Material bestehen.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden v\ Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite Sonde (90) und eine Befestigungsklammer (91) für die zweite Sonde vorgesehen sind, daß die zweite Sonde mit der Abschirmung verbunden und gemeinsam mit dieser bewegbar ist und daß der v> Wellenwiderstand zwischen der ersten und der zweiten Sonde einen vorgebbaren Wert hat.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Führungseinrichtung für die zweite Sonde vorgesehen ist, welche eine Halterung «> mit einer Öffnung (92) hat, und daß ein Führungsstab (93) gleitbar in der Öffnung (92) geführt ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Zylinder an seiner mit Fluiddruck beaufschlagbaren Seite *Γ> ein zweites Verschlußstück (80) aufweist, welches konzentrisch zu dem zweiten Schaftabschnitt (22a) angeordnet ist und daß eine zweite Dichtung (81)
-to
zwischen dem «weiten Versehlußstöck (80) und der Halterung angeordnet ist
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch den Zylinderboden (30) ein zweiter Durchgang (38) hindurchgeführt ist, welcher mit Druckfluid beaufschlagbar ist und in den Hauptdurchgang mündet
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußstück (80) durch eine Schulter (82) gehalten ist, welche zugleich als Anschlag für den Kolben (21) in seiner zweiten Stellung dient
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet daß an dem Kolben (21) ein mit diesem bewegbarer äußerer Hohlzylinder (100) angebracht ist, daß die Leiterelemente eine elektronische Schaltung (112) aufweisen, weiche in dem Hohlzylinder (100) angeordnet ist und daß eine zur Dämpfung des beim Auftreffen der Leiterelemente auf das zu prüfende Bauteil für die elektronische Schaltung entstehenden Stoßes dienende Stoßdämpfereinrichtung vorgesehen ist
IZ Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet daß die Stoßdämpfereinrichtung folgende Teile aufweist:
den äußeren Hohlzylinder (100), welcher an seinem einen Ende eine Schulter (117) aufweist einen inneren Hohlzylinder (110), der eine zentrale Bohrung (111) hat, in welcher die Schaltung angeordnet ist, wobei der innere Hohlzylinder (110) innerhalb der Schulter (117) gleitbar geführt ist, einen Flansch (115), welcher die Bewegung des inneren Hohlzylinders (110) begrenzt eine Vorspannungseinrichtung (116), durch welche der innere Hohlzylinder (HO) in bezug auf den äußeren Hohlzylinder (100) vorgespannt ist wodurch bei einem Auftreffen der Leiterelemente auf das in der Prüfung befindliche Bauteil, wenn sich der Kolben in seiner zweiten Stellung befindet, eine kleine, nach innen gerichtete Bewegung des inneren Hohlzylinders (110) in bezug auf den äußeren Hohlzylinder (100) gegen die Wirkung der Vorspannungseinrichtung (1 16) hervorgerufen wird.
DE2659976A 1975-03-03 1976-03-01 Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung Expired DE2659976C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US55485975A 1975-03-03 1975-03-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2659976B1 DE2659976B1 (de) 1979-04-12
DE2659976C2 true DE2659976C2 (de) 1979-11-29

Family

ID=24214985

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2659976A Expired DE2659976C2 (de) 1975-03-03 1976-03-01 Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung
DE2659977A Expired DE2659977C2 (de) 1975-03-03 1976-03-01 Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer statischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung
DE2608430A Expired DE2608430C3 (de) 1975-03-03 1976-03-01 Halterung für programmierbare Sonden zum Anschluß an ein in einer elektrischen Prüfung befindliches Bauteil

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2659977A Expired DE2659977C2 (de) 1975-03-03 1976-03-01 Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer statischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung
DE2608430A Expired DE2608430C3 (de) 1975-03-03 1976-03-01 Halterung für programmierbare Sonden zum Anschluß an ein in einer elektrischen Prüfung befindliches Bauteil

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4138643A (de)
JP (1) JPS51112145A (de)
BR (1) BR7601302A (de)
CA (1) CA1038042A (de)
DE (3) DE2659976C2 (de)
FR (1) FR2303349A1 (de)

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2816721A1 (de) * 1978-04-18 1979-10-31 Werner Heilmann Vorrichtung zum pruefen einer elektronischen leiterplatte o.dgl.
DE2905175C2 (de) * 1979-02-10 1985-11-21 Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt Adaptiervorrichtung für das Verbinden von zu prüfenden Elektronikbaugruppen mit Prüfgeräten
FR2477324A1 (fr) * 1980-02-28 1981-09-04 Dassault Electronique Dispositif de contact electrique pour appareil de traitement de cartes electroniques
DE3010311A1 (de) * 1980-03-18 1981-09-24 Feinmetall Gmbh, 7033 Herrenberg Kontaktbaustein
DE3016483A1 (de) * 1980-04-29 1981-11-05 Heilmann, Werner, 7750 Konstanz Vorrichtung zum pruefen einer elektronischen leiterplatte o.dgl.
DE3136896A1 (de) * 1981-09-17 1983-04-14 Ingun Prüfmittelbau GmbH & Co KG Elektronik, 7750 Konstanz Vorrichtung zum pruefen einer elektronischen leiterplatte
DE3153596C2 (en) * 1981-09-17 1991-11-14 Ingun Pruefmittelbau Gmbh & Co Kg Elektronik, 7750 Konstanz, De Test head for electronic conductor boards
DE3406796A1 (de) * 1983-02-25 1984-08-30 Feinmetall Gmbh, 7033 Herrenberg Pneumatisches kontaktierglied
JPS59158400U (ja) * 1983-04-08 1984-10-24 沖電気工業株式会社 プレスバ−
DE3318394C2 (de) * 1983-05-20 1985-06-20 Feinmetall Gmbh, 7033 Herrenberg Pneumatisch betätigter Kontaktstift
US4588241A (en) * 1983-09-23 1986-05-13 Probe-Rite, Inc. Surface mating coaxial connector
US4574236A (en) * 1983-10-27 1986-03-04 At&T Technologies, Inc. High frequency test fixture
GB2161033B (en) * 1984-06-21 1988-05-25 Gen Electric Co Plc Programmable bed-of-nails test access jigs with electro-rheological fluid actuation
DE3602696C2 (de) * 1986-01-30 1996-07-11 Festo Kg Prüfeinrichtung für auf Trägern angeordnete elektronische Bauelemente
US4801876A (en) * 1986-04-18 1989-01-31 Sagami Tsushin Kogyo Kabushiki Kaisha Printed wiring board tester
US4739259A (en) * 1986-08-01 1988-04-19 Tektronix, Inc. Telescoping pin probe
JP2609639B2 (ja) * 1987-11-14 1997-05-14 日本ヒューレット・パッカード株式会社 テストヘッド
US5291129A (en) * 1988-10-24 1994-03-01 Nhk Spring Co., Ltd. Contact probe
JPH03185847A (ja) * 1989-12-15 1991-08-13 Toshiba Corp ユニバーサルプローブカード
US5196789A (en) * 1991-01-28 1993-03-23 Golden Joseph R Coaxial spring contact probe
US6034532A (en) * 1993-07-01 2000-03-07 Alphatest Corporation Resilient connector having a tubular spring
US5459396A (en) * 1994-08-12 1995-10-17 At&T Ipm Corp. Test fixture with integrated clamp for and sensor of printed circuit board type
JP3821171B2 (ja) * 1995-11-10 2006-09-13 オー・エイチ・ティー株式会社 検査装置及び検査方法
US5793218A (en) * 1995-12-15 1998-08-11 Lear Astronics Corporation Generic interface test adapter
US5818246A (en) * 1996-05-07 1998-10-06 Zhong; George Guozhen Automatic multi-probe PWB tester
US5945835A (en) * 1997-03-05 1999-08-31 Lucent Technologies Inc. Radio frequency test probe with integral mount for circuit board under test
US6053777A (en) * 1998-01-05 2000-04-25 Rika Electronics International, Inc. Coaxial contact assembly apparatus
US6037787A (en) * 1998-03-24 2000-03-14 Teradyne, Inc. High performance probe interface for automatic test equipment
US6275054B1 (en) 1998-11-25 2001-08-14 Rika Electronics International, Inc. Electrical contact system
JP2001166006A (ja) * 1999-12-09 2001-06-22 Nec Corp フィクスチャおよびその実装基板接続方法
US6798229B2 (en) * 2000-05-11 2004-09-28 Brian D. Butler Wide-bandwidth coaxial probe
DE20102558U1 (de) * 2001-02-14 2002-02-28 PTR Meßtechnik GmbH & Co. KG, 59368 Werne Vorrichtung zur Kontaktierung einer Prüfeinrichtung insbesondere mit einer elektrischen Leiterplatte
DE20103967U1 (de) * 2001-03-07 2002-07-11 PTR Meßtechnik GmbH & Co. KG, 59368 Werne Schalt-Federkontaktstift
US6700396B1 (en) 2001-05-16 2004-03-02 Ltx Corporation Integrated micromachine relay for automated test equipment applications
US6734681B2 (en) 2001-08-10 2004-05-11 James Sabey Apparatus and methods for testing circuit boards
JP2003307552A (ja) * 2002-04-17 2003-10-31 Tokyo Electron Ltd 信号検出用接触体及び信号校正装置
US6683466B2 (en) * 2002-05-17 2004-01-27 International Business Machines Corporation Piston for module test
US7053640B2 (en) * 2002-12-27 2006-05-30 Agilent Technologies, Inc. System and method for providing high RF signal isolation and low common ground inductance in an RF circuit testing environment
US7276921B2 (en) * 2003-06-30 2007-10-02 Intel Corporation Probe of under side of component through opening in a printed circuit board
KR100600482B1 (ko) * 2004-06-22 2006-07-13 삼성전자주식회사 반도체 패키지 측정용 프로브
US7683649B2 (en) * 2006-11-20 2010-03-23 Analog Devices, Inc. Testing system contactor
JP5381609B2 (ja) * 2009-10-20 2014-01-08 日本電産リード株式会社 検査用治具及び接触子
US10006939B2 (en) * 2014-10-30 2018-06-26 Tongfu Microelectronics Co., Ltd. Testing probe and semiconductor testing fixture, and fabrication methods thereof
CN108597698B (zh) * 2018-05-30 2023-10-27 中国电力科学研究院有限公司 一种放电路径可控的均压环
CN112097701B (zh) * 2020-08-05 2022-04-05 海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司 一种三坐标测量机安全位信号采集装置及方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US198391A (en) * 1877-12-18 Improvement in lubricating-pistons
US3714572A (en) * 1970-08-21 1973-01-30 Rca Corp Alignment and test fixture apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
DE2608430A1 (de) 1977-01-27
DE2659977C2 (de) 1979-11-29
DE2608430C3 (de) 1979-03-15
JPS5428259B2 (de) 1979-09-14
DE2608430B2 (de) 1978-07-13
JPS51112145A (en) 1976-10-04
FR2303349B1 (de) 1980-01-18
FR2303349A1 (fr) 1976-10-01
CA1038042A (en) 1978-09-05
US4138643A (en) 1979-02-06
DE2659977B1 (de) 1979-04-12
DE2659976B1 (de) 1979-04-12
BR7601302A (pt) 1976-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2659976C2 (de) Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung
DE69228369T2 (de) Berührungslose Testsonde
DE69329567T2 (de) Identifikation von offenen Anschlussfehlern durch kapazitive Kopplung
DE69032763T2 (de) Nutzung eines Magnetkerns für das Messen von Teilentladungen
DE69609386T2 (de) Antennenanordnung für einen Funksenderempfänger
DE3716240A1 (de) Pruefadapter, insbesondere fuer eine integrierte schaltung
DE3408704A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum pruefen von verbindungsnetzwerk-schaltungen
DE10393724T5 (de) Prüfkopf für kombinierte Signale
EP0285799A2 (de) Vorrichtung für die elektrische Funktionsprüfung von Verdrahtungsfeldern, insbesondere von Leiterplatten
WO2019141777A1 (de) Kapazitive prüfnadel zum messen von elektrisch leitenden schichten in leiterplattenbohrungen
DE69118094T2 (de) Gerät zum automatischen testen von kabelbäumen
DE10320132A1 (de) Verbinderkabel und Verfahren zum Sondieren von vakuumabdichtbaren elektronischen Knoten einer elektrischen Testvorrichtung
DE10039928B4 (de) Vorrichtung zum automatisierten Testen, Kalibrieren und Charakterisieren von Testadaptern
EP0250620B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum elektrischen Prüfen von Leiterplatten
DE69923107T2 (de) Zeitbereichsreflektometrie-Prüfanordnung für eine zweidimensionale Sonde
EP0810445B1 (de) Verfahren zur Bestimmung der Schirmwirkung einer abgeschirmten Verkabelungsstrecke
DE19525229A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen eines Kabelbaums
DE3801222C2 (de) Kontaktiereinrichtung für Prüfzwecke, insbesondere zur Prüfung von Halbleiterbausteinen
DE102009008156B4 (de) Elektrische Hochfrequenz-Prüfstiftvorrichtung und Verwendung einer solchen
DE69902512T2 (de) System und Verfahren zur Prüfhalterungscharakterisierung
DE1804087A1 (de) Prueftaster-Haltevorrichtung
EP1982198B1 (de) Prüfsystem für einen schaltungsträger
DE19515068A1 (de) Anordnung zur TE-Detektion in Hochspannungskabeln und in deren Verbindungselementen
DE1591853B1 (de) Messverfahren zur Feststellung von Teilentladungen innerhalb metallgekapselter Schaltanlagen
DE102020107556A1 (de) Oberflächenmontierbare vorrichtung zur kopplung eines prüf- und messinstruments an ein zu prüfendes bauteil

Legal Events

Date Code Title Description
OI Miscellaneous see part 1
OD Request for examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee