DE1804087A1

DE1804087A1 - Prueftaster-Haltevorrichtung

Info

Publication number: DE1804087A1
Application number: DE19681804087
Authority: DE
Inventors: Mozer Donald Thomas
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1967-10-19
Filing date: 1968-10-19
Publication date: 1969-06-26
Also published as: GB1243086A; FR1583324A; US3525937A

Description

T8Q4087

IBM Deutschland Internationale Büro-Maschinen Gesellschaft mbH

Böblingen, 17. Oktober 1968 Io-hn

Anmelder in:

International Business Machines Corporation, Armonk, N. Y. 10 504

Amtli ehe s Akten ze i ehe n:

Ne uanme ldung

Aktenzeichen der Anmelderin: Docket FI 9-67-064

Prüf taster-Haltevorrichtung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung für ein oder mehrere Prüftaster in Form länglicher Blattfedern zur Verbindung jeweils eines zu prüfenden Schaltelements, vorzugsweise Halbleiter-Schaltelemente, mit einem. Prüfkreis.

Bei der Fabrikation von Halbleiter-Schaltelementen werden diese verschiedenen elektrischen Prüfungen unterworfen, indem freiliegende Anschlüsse oder leitende Flächen derselben mit den spitzen Enden von Prüftastern berührt und dadurch über diese mit geeigneten Prüfkreisen verbunden werden.

Üblicherweise werden als Prüftaster Stifte aus gehärtetem Stahl oder, wie z.B. im USA-Patent 3 264 556 gezeigt, zugespitzte Blattfedern verwendet, die an den Enden von Haltearmen befestigt und über geeignete Leiter sowie daran angeschlossene abgeschirmte Leitungen mit den Prüfkreisen verbunden sind. Solche bekannten Prüftaster-Anordnungen arbeiten bei der GIe ich strom und Wechselstromprüfung langsam arbeitender Halbleiter-Schaltelemente zwar

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zufriedenstellend, genügen aber für die Prüfung z.B. von fortschrittlichen integrierten Schaltkreisen mit ihren sehr hohen Arbeitsgeschwindigkeiten nicht mehr den Anforderungen hinsichtlich Genauigkeit und Empfindlichkeit. Der Grund dafür sind die großen elektrischen, insbesondere induktiven Unstetigkeiten der bekannten Prüftaster, die allein durch die nicht abgeschirmten Teile der Taster und ihrer Halter bedingt sind.

Es wurde schon versucht, solche Unstetigkeiten zu verringern durch Verkürzung und Verkleinerung der Prüftaster bzw. auch ihrer Halter; jedoch sind die Ergebnisse unzulänglich, weil immer nicht abgeschirmte stromführende Teile übrigblieben, die beträchtlich zur Reflexion von Signalen

-9 mit Anstiegszeiten in der Größenordnung von Nanosekunden (10 s), z.B. von 1 bis 5 ns, beitragen.

Demgegenüber liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zu Grunde, eine Prüftaster-Haltevorrichtung für die Prüfung von hochleistungsfähigen Halbleiteranordnungen, wie sehr schnell arbeitenden integrierten Schaltkreisen, zu schaffen, bei der durch weitgehende Verhinderung von Impuls reflexionen dadurch bedingte störende Verformungen der den Halbleiteranordnungen zugeführten hochfrequenten Prüfimpulse mit sehr kurzen Anstiegszeiten von 1 bis 5 ns vermieden werden.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Prüftaster-Blattfedern parallel zur ebenen oder schwach kegeligen Oberfläche einer Grundplatte in geringem Abstand von derselben freitragend derart isoliert befestigt sind, daß die zu Spitzen verjüngten Enden der Blattfedern, nur einen kleinen Bereich zwischen sich freilassend, etwa in der Mitte der Grundplatte zusammenlaufen, wo mit ihnen die Anschlüsse der zu prüfenden Schaltelemente in Kontaktberührung gebracht werden, während die. äußeren Enden der Prüftaster mit einem Prüfkreis bzw. Erde verbunden sind.

Die Prüftaster werden von den Anschlüssen des Prüflings vorzugsweise

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auf der von der Grundplatte abgewandten Seite berührt und diese Kontaktberührung, ist durch eine Öffnung in der Grundplatte beobachtbar.

Die Grundplatte besteht aus einem leitenden Werkstoff, vorzugsweise Kupfer, oder aus einein, mit einer leitenden Oberflächenschicht versehenen Isolierstoff.

Nachstehend werden einige Ausführungsbeispiele der Prüftaster-Halte vorrichtung gemäß der Erfindung an Hand von Zeichnungen genauer beschrieben. Von letzteren ist

Fig. .1:. Schaltskizze einer Prüfeinrichtung mit perspektivischer

Prinzipskizze einer Haltevorrichtung mit einem einzigen Prüftaster;

Fig. 2: Grundriß einer anderen Haltevorrichtung mit mehreren (5)

Prüftastern in Kontaktberührung mit den 5 Anschlüssen eines zu prüfenden integrierten Schaltkreises;

Fig. 3: Seitenriß eines Schnittes durch Fig. 2 längs der Linien

3-3;

Fig. 4: . Seitenriß eines Teilschnittes durch Fig. 2 längs der Linie

4-4

Fig. 5: Seitenriß bzw. Querschnitt einer weiteren Haltevorrichtung

mit. 16 radial angeordneten Prüftastern;

Fig. 6: (Teil-) Grundriß zu Fig. 5;

Fig. 7: Numerierungsskizze der 16 Prüftaster nach Fig. 5, 6;

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Fig. 7A-J: Meßschakingen zur Ermittlung der elektrischen Eigenschaf

ten der Prüftaster-Haltevorrichtung nach Fig. 5, 6;

Fig. 8A-1 bis mit den Schaltungen nach Fig. 7A-J erhaltene Kathoden-

8J -2

strahl-Oszillogramme.

Fig. 1 zeigt eine Haltevorrichtung 1 mit einem einzigen Blattfeder-Prüftaster 2 aus Feinblech von etwa 0, 18 mm Dicke, der in Kontaktberührung mit dem halbkugelförmigen Anschluß 3 eines Halbleiter-Schaltkreises 4 steht. Etwa gleiche Ausdehnung wie der Prüftaster 2 hat eine Grundplatte 5 aus geeignetem leitendem Material, beispielsweise Blech aus Kupfer-Beryllium-Le gierung, welche Zusammensetzung auch der Blattfeder-Werkstoff des Prüftasters 2 haben kann. Der Prüftaster 2 ist in zweckmäßigem Abstand von der Grundplatte 5 im wesentlichen parallel zu ihr angeordnet. Zur Erläuterung ist noch ein geeignetes Meßgerät 6 dargestellt, das mit dem Anschluß 7 des Halbleiter-Schaltkreises 4 verbunden ist, vorzugsweise auch mittels eines dem gezeichneten ähnlichen Prüftasters. Selbstverständlich kann auch der Anschluß 8 des Schaltkreises 4 z.B. mit einer nicht dargestellten Spannungsquelle verbunden sein. Zur Prüfung des Halbleiter-Schaltkreises 4 sind die Grundplatte 5 und der Prüftaster 2 über abgeschirmte Leitungen 9 und 10 mit der Erdungsklemme G bzw. der Prüf spannung sklemme E eines Prüfkreises Il verbunden, der geeignete Impulse oder Hochfrequenzsignale mit Anstiegs zeiten im Nano se künde nbereich, z.B. in der Größenordnung von 1-4 ns, liefert.

Der Prüfkreis 11 hat vorzugsweise einen Ausgangswiderstand entsprechend dem Widerstand der Schaltung, mit dem der E ingang swider stand des Halbleiter-Schaltkreises 4 später zusammenarbeiten soll. Die Zuordnung der Grundplatte 5 zum Blattfeder-Prüftaster 2 gemäß vorliegender Erfindung vermindert durch zweckmäßige Anpassung des Widerstandes der Prüftaster -Halte vor richtung 1 an den Ausgangswiderstand des Prüfkreiseg 11 we-

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- 5, - ■ ■

sentlich die von der Haltevorrichtung verursachten Impulsreflexionen und somit die störenden Verformungen der an den Schaltkreis 4 weiter ge leiteten Prüfimpulse. Dies wird erreicht durch Bemessung der Größe und des Abstandes der benachbarten Flächen des Prüftasters 2 und der Grundplatte 5 entsprechend der Gleichung Zo = f L/C, worin Zo der Ausgangswiderstand des Prüfkreises 11 und L der induktive sowie C der kapazitive Widerstand der Haltevorrichtung 1 in Abhängigkeit von Abmessung und Abstand des Prüftasters 2 und der Grundplatte 5 sind. Wenn Länge und Form der Blattfedern-Prüftaster 2 bei der Messung einer Reihe von Halbleiterkreisen 4 mit genormten äußeren Abmessungen konstant bleiben, so ist auch der induktive Widerstand konstant, so daß zur Anpassung des Widerstandes der Prüftaster-Haltevorrichtung 1 an den Ausgangswiderstand Zo des Prüfkreises 11 nur noch ihr kapazitiver Widerstand eingestellt werden muß entsprechend der Standardgleichung für den kapazitiven Widerstand Rc eines Kondensators:

«„ L_ _ 1 · 47T .d _ , __d .

CJ-c " 2 Tr f € · A " ^K ί · A^} '

worin A die der Grundplatte 5 im Abstand d gegenüberstehende Fläche des Prüftasters 2 ist. Da auch die Fläche A konstant ist, ist der kapazitive Widerstand Rc bei einer bestimmten Arbeitsfrequenz f nur noch eine Funktion des in einfacher Weise veränderbaren Abstandes d des Prüftasters 2 von der Grundplatte 5. Durch geeignete Wahl nur dieses Abstandes d kann daher die passende Kapazität des Prüftasters 2 gegenüber der Grundplatte 5 eingestellt werden, die in Verbindung mit der der späteren Arbeitsfrequenz der Halbleiterkreise 4 angepaßten Frequenz f der Prüfimpulse aus dem Prüfkreis 11 den richtigen kapazitiven Widerstand und zusammen mit dem konstanten induktiven Widerstand den gewünschten Gesamtwider stand der Prüftaster-Haltevorrichtung 1 ergibt, welcher dem Ausgangs wider stand Zo des Prüfkreises 11 entspricht.

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Selbstverständlich ist die in Fig. 1 im Prinzip gezeigte erfindungsgemäße Prüftaster-Haltevorrichtung 1 nicht nur zur Prüfung der dargestellten einfachen Halbleiterkreise 4, sondern auch zur Messung anderer Schaltelemente und komplizierterer integrierter Schaltungen geeignet.

Als Beispiel einer solchen Anwendung ist in Fig, 2 bis 4 eine Ausführung der erfindungsgemäßen Prüftaster-Halte vor richtung für mehrere, und zwar 5 Prüftaster dargestellt. Eine Grundplattenanordnung 12 besteht aus einer Isolierplatte 24 mit einer Randaussparung 51, die auf ihrer ganzen Oberfläche mit einem geeigneten leitenden Material 23, z.B. Kupfer, auf übliche Weise beschichtet ist. In der Aussparung sind mittels je eines Abstandsisolators 13, einer isolierenden Deckplatte 15 und zweier Schrauben 14 mit Muttern die Blattfedern-Prüftaster 2, 2», 2", 2"« freitragend befestigt. Die Prüftaster bestehen aus geeignetem Federblech, z.B. aus Kupfer-Beryllium-Legierung oder ähnlichem, haben eine zur Grundplattenmitte hin verjüngte Form und üben mit ihrer Spitze auf die vorzugsweise halbkugelförmigen Anschlüsse 16 einer zu prüfenden integrierten Schaltung 17, auch kurz Chip genannt, praktisch gleiche Kontaktkräfte aus. Chip 17 wird durch eine geeignete Vorrichtung, z.B. einen Vakuumhalter 18, in der voreingestellten richtigen Lage mit den Prüftastern 2, 2>, 2", 2"¹ in Berührung gebracht. Wie bei der Anordnung nach Fig. 1 sind auch hier die richtigen Prüftaster 2^H und 2⁹ über entsprechende abgeschirmte Leitungen 19 und 20 mit den Klemmen El bzw. G eines Prüfkreises 21 verbunden, während gleichzeitig der Prüftaster 2·" über die abgeschirmte Leitung 52 mit der Klemme S des Prüfkreises 21 und dessen Klemme E2 über Leitung 22 mit der leitenden Grundplattenschicht 23 verbunden sind.

DieErduig eines Prüftasters, z.B. 2^f, kann nach Fig. 3 entweder durch seine bereits genannte Verbindung mit der Erdungsklemme G des Prüfkreises 21 über die Leitung 20 erfolgen oder durch direkte Verbindung mit der geerdeten Grundplattenschicht 23 mittels einer Kurzschlußbrücke 25

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oder mittels eines leitenden Abstands Stückes 13* anstelle eines Abstands isolators 13.

Um den Scheinwiderstand der Verbindung eines Anschlusses 16 des Chips 17 mit Erde über den Prüftaster 2* herabzusetzen, ist unterhalb dessen Blattfeder eine stufenförmige Erhöhung 26 der leitenden Grundpiattens ehielt 23 vorgesehen, wodurch die Kapazität zwischen letzterer und dem Prüftaster 2¹ vergrößert wird.

Zur Entkopplung und Stabilisierung der Verbindung eines Chip-Anschlusses 16 mit einer spannungsführenden Klemme, z.B. El, des Prüfkreises 21 Über den Prüftaster 2" ist ein kleiner Kondensator 30 zwischen den letzteren und die leitende Grundplattenschicht 23 geschaltet, und ist außerdem durch eine stufenförmige Erhöhung 26* der Schicht 23, ähnlich der Erhöhung 26 unterhalb des Prüftasters 2·, die Kapazität zwischen dem Prüftaeter 2" und der Schicht 23 bzw. 26 noch zusätzlich vergrößert. Eine Auslenkung der freitragenden Blattfeder des Tasters 2" durch den neben ihrer Befestigungsstelle (Isolator 13) angeordneten Kondensator 30 ist dadurch vermieden, daß er in einer Aussparung 31 innerhalb der leitenden Schicht 23 und ihrer Erhöhung 26 untergebracht ist, in die vorher ein lockeres Knäuel 32 feiner Späne oder Drähte aus leitendem Material, z.B. Kupfer, eingelegt wurde.

Die Fig. 5 und 6 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Prüftaster -Halte vorrichtung mit einer noch größeren Anzahl, nämlich 16, radial angeordneter Prüftaster 35. Eine Grundplatte 50 aus geeignetem leitendem Werkstoff, z. B. Kupfer, hat eine Oberfläche in der Form eines flachen, abgestumpften Kegels und an deren Umfang eine ringförmige flache Aussparung 33, in der in gleichmäßigen Abständen 16 Abstands isolatoren 34 befestigt sind. Die Kegelfläche hat eine Neigung vorzugsweise zwischen 0° und 15° gegen die Horizontale, bei der dargestellten Ausführung eine solche von 5 . Auf den Abstandsisolatoren 34 sind die Blatt-

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feder-Prüftaster 35 isoliert befestigt. Ihrie verjüngten Enden erstrecken sich freitragend parallel zur Grundplatte 5p radial bis zu; deren Mitten <=' wo ihre Spitzen mit den halbkugelförmigen Anschlüssen- 36 eineasizuiiiprü-ii¹ fenden integrierten Schaltung (Chip) 37 Kontaktberührung habeinüJiShipiS^i^ ist über einem Loch 39 in der Grundplatte 50 angeordnet, durch-dg.srhäitw;-! durch die genaue Ausrichtung der Chipanschlüsse zu den Tasterspitzen ;r beobachtet werden kann. . ,,.

Für die noch zu beschreibenden Messungen der elektrischen Eigenschaften der erfindungsgemäßen P rüftas te r-Halte vor richtung wurde eine derartige Ausführung benutzt, deren Grundplatte 50 aus Messing einen Durchmesser von 30 mm und eine gegen die Horizontale um 10 geneigte, flach koni-r sehe Oberfläche hat. Die Prüftaster 35 bestehen aus Feder blech von 0,18. mm Dicke und haben am äußeren Ende ihrer Befestigung 34 eine Breite von 2, 5 mm, die sich bis zur nadeiförmigen Spitze über eine Länge von 9 mm auf 0, 06 mm verjüngt; ihr Abstand von der Grundplatte 50 beträgt 0,4 mm. Die Abstandsisolatoren 34 bestehen aus thermoplastischem Material. . .

Die Grundplatte 50 ist auf einer beiderseits mit.einer metallischen Auflage 40 beschichteten Isolier stoff-Unterlage 41 montiert, um die äußeren Verbindungen der Prüftaster 35 mit einem entsprechenden Prüfkreis bzw. mit Erde zu erleichtern. Zu diesem Zweck haben die P rüftas te r nach außen vorstehende Fortsätze 45, gegen die entsprechend vorgespannte Kontaktfedern 46 drücken, die auf der Unterlage 41, 42 mittels Zwischenlagen 47 und Schrauben 48 isoliert befestigt sind und nicht gezeichnete Anschlüsse für Verbindungsleitungen zum. Prüfkreis oder nach Erde tragen.

Wenn der Prüfling 37 in Kontaktstellung gebracht wird, was durch eine öffnung 39 in der Grundplatte 50 und eine entsprechende öffnung in der Unterlage 41, 40 hindurch beobachtet werden kann, so biegen seine Anschlüsse 36 die Prüftastfedern 35 ein wenig durch, wodurch ihr Abstand

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XJ' ■■" '■■ ν- ■" .-■ ■■-■·■■ ■■ ... ... .

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von der Grundplatte etwas verringert und somit auch ihre Erdkapazität entsprechend vergrößert wird. Die dieser Auslenkung entsprechende Wi- " der stand sände rung beträgt etwa +_ 15 Ohm, jedoch hat die dadurch verursachte Unstetigkeit des Prüfimpulses nur eine Dauer von 15 - 25 Picosekünden (ps = 10" s). Für die betrachteten Prüfsignale mit Anstiegs zeiten in der Größenordnung von 1 ns (10 s) bedeutet dies, daß praktisch keine Unstetigkeit bemerkbar ist, was auch aus den nachstehenden Messungen an der soeben beschriebenen Prüftas te r-Halte vor richtung hervorgeht.

Zur Bewertung der Eignung der erfindungsgemäßen Prüftaster-Haltevorrichtung für die Prüfung von integrierten Halbleiter schaltungen, die mit Schältzeichen im NanoSekundenbereich arbeiten, wurde eine Reihe von Messungen durchgeführt. In diesem Arbeitsbereich ist es besonders wichtig, daß alle Abschnitte der Wechselstromkreise konstante Widerstände haben und richtig abgeschlossen bzw. aneinander angepaßt sind.

Die 16 Prüftaster 35 in der vorstehend beschriebenen Haltevorrichtung machen Kontakt mit 16 Chip-Anschlüssen 36 in einem Bereich von nur 0,5 xl, 5 mm. Verschiedene Prüfungen dienten zur Bestimmung der Stabilität der Haltevorrichtung und des P ruf taster-Wider Standes von 50 Ohm. Durch andere Messungen wurde die Tauglichkeit dieser Kontaktvorrichtung bezüglich des induktiven und kapazitiven Widerstandes, des Über Sprechens, des Widerstandes und der Wirkung eines Kondensators von 0, 01 nF nach dem Abschalten der Spannung.

Fig. 7 zeigt den allgemeinen Aufbau der für die Messungen benutzten Prüftaster-Halte vorrichtung und die Prüftaster-Numerierung. In Fig. 7A-J sind die verschiedenen Meßschaltungen mit den jeweils benutzten Prüftastern schematisch dargestellt; die nicht gezeichneten Prüftaster bleiben frei.Für die paarweise Reihenschaltungen der Prüftaster wurden kurze Kupferstreifen mit einer Induktivität von 0,8 Millihenry benutzt, wobei letztere nach der ersten Berührung mit den Prüftastern zwecke ausreichenden Kontakt-

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drucks noch um 0, 125 mm gesenkt wurden.

Induktivitätsmessungen wurden mit einer Meßbrücke bei einer Frequenz von 400 kHz ausgeführt. Dabei wurde ein Leitungsstück mit bekannter Induktivität an den Prüftaster 1 angeschlossen, der über den genannten Kurzschlußstreifen mit dem Prüftaster 2 verbunden war, dessen Anschluß seinerseits geerdet war.

Kapazitätsmessungen wurden mit einer Meßbrücke bei einer Frequenz von 1 MHz ausgeführt, und zwar von Prüftaster 1 allein gegenüber Erde und der Reihenschaltung von Prüftaster 1 und 2 gegenüber Erde. Die Kopplungskapazitäten zwischen benachbarten Prüftastern wurden direkt gemessen.

übersprech- und Scheinwiderstandsmessungen wurden mittels eines Reflektometers nach dem Impuls-Echo verfahren durchgeführt, und zwar mit Spannung s Sprüngen von 0 - 250 mV mit Anstiegs zeiten von 130 Picosekunden (ps) bzw. 500 ps, gemessen zwischen 10% und 90% der Amplitude.

Bei den Über Sprechmessungen wurde die Ausgangsamplitude in prozentualem Vergleich zur Eingangsamplitude mittels eines Kathodenstrahl©szillographen (KSTO) gemessen, und zwar sowohl an dem dem Meßimpuls-Eingangstaster 1 als auch an dem dem Meßimpuls-Ausgangstaster 2 benachbarten Prüftaster 3, 5 bzw. 4, 6 in insgesamt 4 verschiedenen Meßschaltungen 7A-D für das sogenannte Nah- bzw. Fern-Nebensprechen. Die mit diesen Schaltungen aufgenommenen Oszillogramme sind in Fig. 8A-1 bis 8D-2 dargestellt. Wie aus den Fig. 8A und 8B hervorgeht, bewirkt die induktive Kopplung im Übe rsprech-Stromkreis in beiden Fällen übersprechspannungen entgegengesetzter Polarität.

Die Scheinwiderstandsmessungen wurden ebenfalls mittels des Reflektometers mit denselben Spannungssprüngen des Meßsignals durchgeführt, und

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zwar in den beiden Meß schaltungen nach Fig. 7E und F mit Reihenschaltung der Prüftaster 1 und 2 und Widerstandsabschluß bzw. Kondensatorabschluß der benachbarten Prüftaster 3-6. Gemäß den entsprechenden Oszillogrammen, Fig. 8E und F zeigten die eigentlichen Prüftaster keinen merklichen Widerstand. Die Hauptunstetigkeit wurde durch die Kontaktstelle der beiden Prüftaster 1 und 2 mit dem sie verbindenden Kupferstreif chen verursacht.

Die Wirkung eines Entkopplungs- und Stabilisierungskondensators 30 von 0, 01 ixF zwischen einem Prüftaster 5 und Erde, wie er bereits in Fig.

ge
2-4 zeigt und beschrieben wurde, nach dem Abschalten des Meßimpulses wurde ebenfalls mit dem Reflektometer gemessen. In den Meß schaltun ge n Fig. 7G und H wurde die Wirkung dieses Kondensators allein gemessen, in Fig. 71 und J kombiniert mit einem zusätzlichen Kondensator von 0, 1 uF. Die jeweils mit Meßimpulsen mit einer Anstiegszeit von 130 ps und 500 ps er'haltenei Reflexions-Oiszillp gramme und die daraus sich ergebenden Wellenwiderstände zeigen die entsprechenden Fig. 8G-J.

Die Ergebnisse sind in der folgenden Aufstellung zusammengefaßt.

Induktivität von 1 Prüftaster = 6,05 nH

Kapazität von 1 Prüftaster gegen Erde = 3, 37 pF

Kapazität von 2 Prüftastern in Reihe gegen Erde = 6,2 pF

Kapazität zwischen 2^riuPäMlrnⁿ = 0, 115pF

Kapazität zwischen 2 benachbarten Reihenschaltungen = 0, 248pF

aus je zwei Prüftastern

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	Meß- schaltung	7A	Meßwert bei einer Me ßimpul s -An s tie g s ze i t 130ps 500ps	9,6%	■	von	4,	6%
Me s sting von	Fig.	7B 7C 7D		8, 4% 2,1% 3,0%	50-53 50-54	3, 0, 1,	4% 85% 0%
	Fig. Fig. Fig.	7E 7F		Ohm Ohm	1	Ohm Ohm
übersprechen	Fig. Fig.	7G	47, 5-63 47, 5-62	Ohm	2 2,5	Ohm
3 ehe inwide r s tand	Fig	7H 71	2	Ohm Ohm	1	Ohm Ohm
	Fig. Fig.	7J	4 4,5	Ohm		Ohm
Wellenwiderstand	Fig.		1,5

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Claims

- 13 r Böblingen, 18. Okt. 1968 Io -hn PATENTANSPRÜCHE

1. ^l Haltevorrichtung für ein oder mehrere Prüftaster in Form länglicher Blattfedern zur Verbindung eines zu prüfenden Schaltelements, vorzugsweise Halbleiter-Schaltelements, mit einem Prüfkreis, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüftaster-Blattfedern (2, 35) parallel zur ebenen oder schwach kegeligen Oberfläche einer Grundplatte (5; 24, 23; 50) in geringem Abstand von derselben freitragend de rar Insoliert befestigt sind, daß die zu Spitzen verjüngten Enden der Blattfedern (2, 35), nur einen kleinen Bereich zwischen sich freilassend, etwa in der Mitte der Grundplatte (5; 24, 23; 50) zusammenlaufen, wo mit ihnen die Anschlüsse (3, 16, 36) der zu prüfenden Schaltelemente (4, 17, 37) in Kontaktberührung gebracht werden, während die äußeren Enden der Prüftaster (2, 35) mit einem Prüfkreis (11, 21) bzw. Erde verbunden sind.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (5, 50) aus einem leitenden Werkstoff, vorzugsweise Kupfer, oder aus einem mit einer leitenden Oberflächenschicht (23) versehenen Isolierstoff besteht.

3. Anordnung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüftaster (2, 35) von den Anschlüssen (3, 16, 36) des Prüflings (4, 17, 37) vorzugsweise auf der von der Grundplatte (5; 24, 23; 50) abgewandten Seite berührt werden und diese Kontaktberührung durch eine öffnung (39) in der Grundplatte (50; 24, 23) beobachtbar ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der

Prüftaster (2") vorzugsweise dicht neben seiner Befestigungsstelle (13) durch einen Entkopplungs- und Stabilisierungskondensator (30)

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zur geerdeten Grundplatte (23, 24) überbrüekbar ist.

5. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität des Prüftasters (2¹, 2") gegen Erde durch eine stufenförmige Erhöhung (26, 26«) der Grundplatte (23, 24) unterhalb dieses Prüftasters vergrößert wird.

6. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erdung des Prüftasters (2¹) durch eine Kurzschlußbrücke (25) oder ein metallisches Befestigungsstück (13·) erfolgt.

7. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die isolierte Befestigung des Prüftasters (2", 2"¹, 35) mittels eines Abstand sis olators (13, 34) und einer Isolierstoff-Deckplatte (15) vorzugsweise durch Schrauben (14) erfolgt.

8. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die äußeren Anschlüsse an die Prüftaster (35) über Kontaktfedern (46) erfolgen, die an den äußeren Enden (45) der Prüftaster kraftschlüssig anliegen und auf einer die Grundplatte (50) tragenden Unterlage (41, 40) isoliert befestigt sind.

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