DE2659976B1 - Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Pruefung befindlichen Bauteil und einer Pruefeinrichtung - Google Patents
Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Pruefung befindlichen Bauteil und einer PruefeinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in
einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung über programmierbare
Sonden, wobei jede einzelne Sonde unabhängig von den übrigen Sonden zwischen einer ersten und einer
zweiten Stellung durch einen auf dem Schaft der Sonde angebrachten, in einem Zylinder mit Fluiddruck
beaufschlagbaren Kolben hin- und herbewegbar ist, wobei der Schaft der Sonde im Bereich des dem Bauteil
zugewandten Endes des Zylinders in einer Buchse geführt ist und wobei über die Sonde in der zweiten
Stellung die elektrische Verbindung zwischen dem Bauteil und der Prüfeinrichtung hergestellt ist.
Eine derartige Vorrichtung ist aus der US-Patentschrift 37 14 572 bekannt
Bei einer dynamischen Prüfung werden Wechselspannungseigenschaften
der verschiedenen Schaltungselemente, die sich in der Prüfung befinden, einer Messung
unterzogen. Eine Funktionsprüfung besteht darin, daß die Sollwerte einer Schaltung überprüft werden. Eine
Diagnose besteht gemäß der Bedeutung der Bezeichnung
in der vorliegenden Beschreibung darin, in einer vorgegebenen Schaltung einen Fehler zu ermitteln.
Eine dynamische Funktionsprüfung dient dem Zweck, über eine oder mehrere Sonden Wechselspannungssignale
als Eingangssignale an ausgewählte Klemmen anzulegen und die entsprechenden Wechselspannungsausgangssignale
an anderen ausgewählten Klemmen durch die Sonden zu messen, ohne daß dabei irgendwelche anderen externen Sonden verwendet
werden. Auf diese Weise kann bestimmt werden, ob die Ausgangssignale den gewünschten Spezifikationen
entsprechen.
Eine dynamische Diagnoseprüfung besteht darin, eine fehlerhafte Schaltung in einem elektronischen Modul zu
ermitteln, in dem das Wechselspannungssignal sequentiell vom Eingang einer Schaltung bis zum Ausgang
verfolgt wird und dann weiter zu dem Eingang der nächsten Schaltung in der Leitung und weiter zu deren
Ausgang, usw., bis die fehlerhafte Schaltung lokalisiert ist. Eine solche Prüfung setzt nicht nur voraus, daß die
Sonden mit dem ersten Eingang und mit dem letzten Ausgang verbunden werden, wie bei einer Funktionsprüfung,
sondern es ist weiterhin erforderlich, daß die Sonden mit verschiedenen Eingangs- und Ausgangs- >-,
klemmen einzelner Zwischenschaltungselemente verbunden werden. Somit ist eine Vielzahl von Sonden
erforderlich.
Das Problem der Verstimmung oder Beeinflussung von gedruckten Leiterplatten tritt insbesondere bei
einem analogen Logikmodul sowie bei einem Hochgeschwindigkeits-Logikmodul auf, die bei hohen Frequenzen
im MHz-Bereich arbeiten, beispielsweise am Eingang einer FM-Abstimmeinrichtung. Weiterhin tritt
dieses Problem deutlich bei der Prüfung von analogen .1-5
Bauelementen auf, weiche niedrigere Frequenzen verwenden, beispielsweise im Eingang einer AM-Abstimmeinrichtung,
welche die HF- und die Mischer-Stufen aufweist.
Weiterhin ist aus der deutschen Offenlegungsschrift 20 13 070 eine Vorrichtung zur Prüfung von unbestückten,
gedruckten Schaltungsplatten bekannt; diese bekannte Anordnung ist in ihrer Funktion darauf
beschränkt, den Durchgangswiderstand der Leiterbahnen und die Isolation zwischen den Leiterbahnen zu
prüfen.
Weiterhin ist aus der deutschen Offenlegungsschrift 19 03 088 eine Kontaktvorrichtung bekannt, welche
dazu dient, eine Anzahl von in geringem Abstand voneinander angeordneten, vorzugsweise aus metallisierten
Bohrungen bestehenden Kontakten an elektrische Prüfgeräte anzuschließen. Diese bekannte Vorrichtung
zeichnet sich dadurch aus, daß die auf die Kontakte zu pressenden Enden von Kontaktnadeln kugelförmig
ausgebildet sind und daß die Kontaktnadeln aus einem elastischen Werkstoff bestehen. Die Kontaktnadeln
können in elektrisch isolierenden Lagerbuchsen gleiten. Diese bekannte Vorrichtung ist speziell dafür bestimmt,
auf einer gedruckten Schaltungsplatte in einem Rasterabstand angeordnete Kontakte abzutasten. Die bo
Handhabung dieser bekannten Vorrichtung ist jedoch verhältnismäßig aufwendig, außerdem ist sie aufgrund
einer sehr einfachen Gestaltung der Führungen für die Sonden nicht dazu geeignet, besonders hohe Ansprüche
an die Genauigkeit der Signalübertragung zu erfüllen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung
zwischen einem in einer dynamischen elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer Prüfeinrichtung
zu schaffen, weiche auch bei verhältnismäßig hohen Frequenzen der übertragenen Signale eine besonders
störungsfreie und genaue Arbeitsweise gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß der Kolben als Hohlzylinder ausgebildet ist und daß
in der zentralen Bohrung innerhalb des Kolbens zwei gegeneinander elektrisch isolierte Leiterelemente angeordnet
sind.
Vorteilhafte Weiterbildungen und bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Gemäß der Erfindung ist der wesentliche Vorteil erreichbar, daß infolge einer günstigen Frequenzcharakteristik
der erfindungsgemäßen Sonden die Streukapazitäten und die Streuinduktivitäten, welche in das in
der Prüfung befindliche Bauteil eingekoppelt werden, auf einem Minimum gehalten sind.
Somit können diejenigen Signale, welche zu dem in der Prüfung befindlichen Bauteil übertragen werden
oder von diesem Bauteil empfangen werden, ein Höchstmaß an Genauigkeit aufweisen und die vorgegebenen
Eigenschaften oder die Betriebseigenschaften des in der Prüfung befindlichen Bauteils besonders naturgetreu
wiedergeben.
Ausführungsbeispiele des Erfindungsgegenstandes werden nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben;
in dieser zeigt
F i g. 1 eine perspektivische Explosionsdarstellung einer Hochfrequenzsonde,
F i g. 2 einen Vertikalteilschnitt der in der F i g. 1 dargestellten Sonde, wobei die Sonde sich in der
zurückgezogenen Stellung befindet,
Fig.3 einen Vertikalteilschnitt, welcher die in der Fig.2 dargestellte Sonde einschließlich einer damit
verbundenen Endsonde in der ausgefahrenen Stellung veranschaulicht,
F i g. 4 einen Grundriß der in der F i g. 3 dargestellten Sonde,
F i g. 5 einen Vertikalteilschnitt einer weiteren Ausführungsform der Sonde einschließlich einer Elektronikschaltungsplatte, welche in der Sonde dargestellt ist,
Fig.6 ein Blockdiagramm, welches die unabhängig betätigbaren Sonden als Teil eines vollständigen
Systems veranschaulicht, bei welchem die Sonden dazu verwendet werden, die in der Prüfung befindliche Platte
mit einem elektrischen Prüfungsanpaßgerät zu verbinden, und
F i g. 7 ein Schaltschema, welches die Steuerschaltung zum Betreiben des Sondentreibersystems gemäß F i g. 6
darstellt.
In den F i g. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes veranschaulicht,
welche eine Hochfrequenzsonde darstellt. Bei dieser Ausführungsform, wie sie in den F i g. 1 und 2 dargestellt
ist, weist der Kolben 21 einen zweiten Ansatz 22 auf, der sich über den vergrößerten Durchmesser des Kolbens
21 hinaus erstreckt, und hat einen zweiten Schaftabschnitt 22a, der sich unterhalb des vergrößerten
Kolbenabschnittes des Kolbens 21 erstreckt. Eine zentrale Bohrung 29 erstreckt sich durch den gesamten
Kolben hindurch und auch über die langgestreckten Schaftabschnitte, und sie hat eine als Ausnehmung
ausgebildete vergrößerte öffnung 23 am oberen Ende. Der Zylinder 12 hat eine öffnung 16 mit vermindertem
Durchmesser, welche gleitbar den zweiten Schaftabschnitt 22a aufnimmt, um die Bewegung des Kolbens zu
führen.
Koaxial in der zentralen Bohrung 29 des Kolbens ist
eine Anordnung 70 eines abgeschirmten Kabels angeordnet. Die Anordnung weist einen Mittelleiter 71
auf, sie hat weiterhin eine Schicht aus einem Isoliermaterial 72, welches den Mittelleiter 71 umgibt,
und sie hat weiterhin ein leitendes Abschirmmaterial 73, welches das Isoliermaterial 72 umgibt, sowie eine
isolierende Abdeckung 72a, welche das Abschirmmaterial 73 umgibt Eine leitende Erdungsbuchse 74 umgibt
das obere Ende des Abschirmmaterials 73, von welchem die isolierende Abdeckung 73a abgeschält wurde, um
eine Verbindung mit der Innenwand der äußeren Hülle 76 herzustellen, die auch aus einem leitenden Material
besteht. Im Inneren der äußeren Hülle 76 ist eine isolierende Buchse 76a an der Hülle angebracht, die eine
zentrale Bohrung 766 aufweist, um das innere Spitzengehäuse 75 aufzunehmen, welches einen ringförmigen
Flansch 75a hat, der an der Buchse 76a anliegt und von den leitenden Elementen 73, 74 und 76
elektrisch isoliert ist. Das obere Ende des Mittelleiters 71 ist durch die zentrale Bohrung des inneren
Spitzengehäuses 75 hindurchgeführt und über dessen oberes Ende umgebogen. Die Spitze 24 ist an dem
Spitzengehäuse 75 befestigt, und zwar in der Weise, daß ein Kontakt mit dem Mittelleiter 71 hergestellt ist. Es
können auch andere bekannte Einrichtungen dazu verwendet werden, den Leiter 71 mit dem Gehäuse 24a
zu verbinden, und die Spitze 24 kann auch als integraler Bestandteil des Gehäuses 75 ausgebildet sein. Sobald
der Zusammenbau erfolgt ist, wird die Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels seitlich umgebogen oder
gegrimmt, und zwar in dem Bereich, welcher zu der Erdungsbuchse 74 benachbart ist, und dann wird das
Ende um die Spitze 24 herum mit Epoxymaterial 77 ausgefüllt. Die gesamte Anordnung 70 wird dann fest in
der als Ausnehmung ausgebildeten öffnung 23 des Kolbens 21 angebracht. Das zylindrische Element 76
und die gesamte Kabelanordnung kann weiterhin an dem Kolben 21 durch eine Lötverbindung 78 befestigt
werden, wenn die Kolbeneinrichtung 21 und der Schaft 22 aus Metall bestehen. Ein Abschnitt der Spitze 24
bleibt frei, und zwar jenseits der Zylinderschale 76, um die in der Prüfung befindliche Einheit anzuschließen, wie
es in den F i g. 2 und 3 veranschaulicht ist. Somit bildet gemäß dieser Ausführungsform die Anordnung 70 des
abgeschirmten Kabels eine einzige Einheit, unabhängig von dem verwendeten Kolben 21 und dem Zylinderboden
30, wobei hier nämlich ein erstes Leiterelement 24, 75 und ein zweites Leiterelement 71 miteinander
vereinigt sind, um somit einen kontinuierlichen Leitungspfad zwischen der in der Prüfung befindlichen
Einheit und der elektrischen Anpaßeinrichtung zu bilden, wenn die Sonde in der zweiten ausgefahrenen
Stellung ist. Die Kabelanordnung 70 stellt ein drittes Leiterelement 73,74,76 dar, und zwar für Erdungsstreusignale
oder zum Anschluß an eine Erdungsklemme auf der in der Prüfung befindlichen Platte, wie es in der
Fig.3 dargestellt ist und unten im einzelnen näher erläutert wird. Es können andere bekannte abgeschirmte
koaxiale Kabelanordnungen hergestellt werden, indem die obigen Prinzipien angewandt werden. Solche
Anordnungen sind im Handel erhältlich.
Die Fluiddruckkammer in der in der Fig.2 dargestellten Ausführungsform wird wiederum durch
die Zylinderwände 12, die Unterseite des Kolbens 21, die Oberfläche des Schaftabschnittes 22a mit vermindertem
Durchmesser, die obere Fläche 12a benachbart zu dem Abschnitt 16 des Zylinders mit vermindertem Durchmesser
und weiterhin durch den Zylinderboden 30 und dem Durchgang 38 gebildet, welcher den Durchgang 36
und die zentrale Führungsöffnung 32 des Zylinderbodens 30 mit der Zylinderwand 12 verbindet, um unter
Druck stehendes Fluid einzuleiten und abzuleiten. Um zu gewährleisten, daß um den zweiten Ansatz 22 mit
vermindertem Durchmesser kein Fluidleck auftritt, ist dieser Abschnitt des Zylinders durch ein zweites
Verschlußstück 80 abgeschlossen, welches konzentrisch zu dem Schaft 22a angeordnet ist, wodurch der zur
ίο Dichtung dienende O-Ring 81 dichtend gegen den
Schaft 22a angedrückt wird. Das Verschlußstück 80 wird durch die Schulter 82 an Ort und Stelle gehalten, welche
durch die Scheibe 84 und den Zylinderboden 30 an der Halterung 10 angebracht ist. Das andere Ende des
Zylinders ist natürlich durch den O-Ring 40 abgedichtet, der auf dem Hals 26 des Kolbens 21 sitzt. Eine
Vorspannung wird durch eine Feder 65 aufgebracht.
In dieser Ausführungsform kann der Kolben 21 aus einem nichtleitenden Material bestehen, da das Koaxialkabel
70 vollständig isoliert und abgeschirmt ist.
Die Kolbenbewegung wird in der oberen Stellung durch die Buchse 60 und die Feder 65 begrenzt, und in
der unteren Stellung wird die Kolbenbewegung durch eine Schulter 82 begrenzt Gemäß der obigen
Beschreibung liefert die Ausführungsform gemäß F i g. 1 und 2 somit eine programmierbare Sonde zur
Übertragung von Hochfrequenzsignalen im MHz-Bereich. Die Abschirmung liefert eine ausgezeichnete
Isolierung gegen äußere Stör- und Rauschsignale.
In der Fig.3 ist die Sonde gemäß Fig.2 in der
ausgefahrenen Stellung dargestellt, und zwar in der Weise modifiziert, daß die eine Erdungssonde 90 und
eine Befestigungsklammer 91 aufweist, welche die Erdungssonde an der leitenden zylindrischen äußeren
Hülle 76 befestigt, welche über die leitende Erdungsbuchse 74 mit dem Abschirmmaterial 73 des Koaxialkabels
verbunden ist. Die Erdungssonde 90 läßt sich mit der Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels hin- und
herbewegen, um eine Erdungssondenverbindung mit der in der Prüfung befindlichen gedruckten Leiterplatte
herzustellen, und zwar unmittelbar benachbart zu der Klemme, welche mit der Spitze 24 in Verbindung steht,
so daß die Anordnung für außerordentlich hohe Frequenzen geeignet ist. Somit läßt sich eine Impedanzanpassung
erreichen, wenn hohe Frequenzen zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der
Prüfeinrichtung übertragen werden. Der Wellenwiderstand wird bei etwa 50 Ohm vorgegeben. Eine
Ausrichtung der Sonde 90 wird aufrechterhalten, wenn der Kolben 21 hin- und herbewegt wird, indem die
Halterung 10 in der Weise abgewandelt wird, daß sie eine öffnung 92 und einen Führungsstab 93 aufweist, der
an dem Anschluß 91 angebracht ist und in der öffnung 92 gleitbar geführt ist.
Die Fig.5 zeigt eine weitere bevorzugte Ausführungsform
einer programmierbaren Sondenbefestigung. Wiederum werden identische Bezugszahlen wiederholt,
wenn sie sich auf dieselben oder auf ähnliche Teile beziehen, die oben bereits beschrieben wurden. In der
Ausführungsform gemäß F i g. 5 ist ein äußerer Hohlzylinder 100 im Reibsitz an dem Kolben 21 angebracht, so
daß es mit diesem bewegbar ist. In dem äußeren Hohlzylinder 100 ist ein innerer Hohlzylinder 110
angeordnet, durch welchen eine zentrale Bohrung 111 hindurchgeführt ist, in welcher die abgeschirmte
Kabelanordnung 70 fest angebracht ist, und zwar durch einen Abschlußstopfen 118. Die abgeschirmte Kabelanordnung
70 weist eine elektronische Schaltungsplatte
112 auf einem Substrat auf, so daß ein Anschluß mit der
Spitze 24 an einem Klemmenende gebildet wird, wobei weiterhin Drähte 113 vorhanden sind, welche sich von
dem anderen Klemmenende aus erstrecken und eine Verbindung mit der elektrischen Anpaßeinrichtung
herstellen. Die Anordnung 70 wird in dem Gehäuse 110 durch eine bekannte beliebige Einrichtung gehalten,
beispielsweise dadurch, daß der Flansch 115 des Gehäuses 110 umgebogen wird. Eine Feder 116 ist
zwischen der Schulter 117 des äußeren zylindrischen Gehäuses 100 und der Schulter 114 des inneren
zylindrischen Gehäuses 110 angeordnet, um eine Einrichtung zu bilden, die dazu dient, das Aufschlagen
des Punktes 24 weicher zu gestalten, wenn er die damit fluchtende Klemme der in der Prüfung befindlichen
Platte berührt, um die empfindliche elektronische Schaltung 112 durch den Aufschlagstoß nicht zu
beschädigen. Die oben beschriebene Anordnung liefert eine gute Flexibilität, um in der Sonde 20 eine große
Vielfalt von elektronischen Schaltungen anzubringen, die dazu in der Lage sind, zahlreiche Funktionen
auszuführen, und zwar in Verbindung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit und der Prüfeinrichtung,
wobei eine entsprechende Anpaßeinrichtung verwendet wird. Beispielsweise kann die Schaltung 112 Pufferschaltungen
oder eine Detektoreinrichtung aufnehmen.
In der F i g. 6 ist ein programmierbares Sondenbefestigungssystem veranschaulicht. Die Halterung 10
enthält die Vielzahl von Zylinderwänden 12 und eine Vielzahl von Sonden 120, wobei jeweils eine Sonde in
Verbindung mit jeder Zylinderwand derart gehalten ist, daß sie eine Bewegung in der vorgegebenen Ebene
ausführen kann, und zwar von einer ersten zurückgezogenen Stellung in die zweite ausgefahrene Stellung, in
welcher sie mit der in der Prüfung befindlichen Einheit 121 in Berührung steht Jede Sonde hat einen Draht 122,
welcher die leitende Einrichtung in der Sonde mit der elektrischen Anpaßeinrichtung verbindet. Jede Sonde
hat einen Schlauch 35, welcher das Verschlußstück mit einem Ende eines individuellen Durchgangs 123a in
einem Anschlußblock 123 verbindet. Ausgewählte Exemplare der Sonden 120a, 1206, 120c und 120c/
können ihre Schläuche 35 an eine gemeinsame Luftverteilereinrichtung 124 angeschlossen haben. Die
Verteilereinrichtung 124 ist mit einem individuellen Durchgang 123a im Anschlußblock 123 durch einen
Schlauch 36 verbunden. Das andere Ende jedes individuellen Durchgangs 122a in Verbindung mit dem
Block 123 ist an einen Schlauch 35a des Sondentreibersystems 130 angeschlossen. Ein Sondentreibersystem
oder ein System 130 dient dazu, die Sondenbewegungseinrichtung jeder Sonde 120 in der Sondenhalterung
einzeln zu betätigen oder auch dazu, die einzelne Sondenbewegungseinrichtung der Sonden 120a, 1206,
120c und 120c/ in Reaktion auf Steuersignale kollektiv, jedoch unabhängig zu bewegen, welche von einer
Steuereinrichtung 140 empfangen werden.
Die Steuereinrichtung 140 liefert Steuerausgangssignale, welche einem vorgegebenen Programm entsprechen,
wobei diese Signale der Sondentreibereinrichtung 130 über einen Anschlußkasten 141 und elektrische
Treiberleitungen 142 zugeführt werden, wobei nur eine solche Leitung zur Vereinfachung dargestellt ist. Die
Steuereinrichtung 140 kann ein Computer oder eine andere programmierbare Steuereinrichtung sein, wie sie
grundsätzlich bekannt ist.
Die Sondentreibereinrichtung 130 ist in der bevorzugten Ausführungsform eine Fluidtreibereinrichtung, beispielsweise
ein Lufttreibersystem, welches Energie- und Luftdruckeingänge aufweist und eine Mehrzahl von
Ausgangsdurchgängen hat, wobei jeder Durchgang mit einem Schlauch 35a verbunden ist und wobei weiterhin
eine Einrichtung vorhanden ist, weiche dazu dient, den Fluiddruck an jedem Ausgangsdurchgang in Reaktion
auf die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140 zu steuern.
Die spezielle Einrichtung zur Steuerung des Fluiddruckes
an jedem Ausgangsdurchgang des Sondentreibersystems 130 ist in der F i g. 7 dargestellt und weist ein
durch eine Spule betätigtes Ventil 131 zwischen der Luftverteilereinrichtung 132 und dem Schlauch 35a auf,
welcher zu jedem Sondenzylinder führt, und zwar durch einen Durchgang 123a in Verbindung mit dem Kasten
123. Eine Ausgangsklemme der Spule ist mit einer Gleichspannungsquelle 133 verbunden, und die andere
Ausgangsklemme ist bei 134 über einen elektronischen Schalter 136 an Erde geführt, der in einer ersten Stellung
die Spulenschaltung in Reaktion auf ein Signal an Erde legt, welches an einer Steuerklemme 135 empfangen
wird, und weiterhin in der Weise betrieben werden kann, daß in einer zweiten Stellung die elektrische
Schaltung mit der Spule verbunden ist, wenn kein Steuersignal an der Steuerklemme 135 anliegt. Die
Steuerklemme 135 ist in jedem Fall mit der Steuereinrichtung 140 durch eine Leitung 142 und den
Anschlußkasten 141 verbunden und empfängt die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140, welche
programmiert, weiche der Sonden zu einer vorgebbaren Zeit zu bewegen ist.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 909 515/406
Claims (12)
1. Vorrichtung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem in einer dynamischen
elektrischen Prüfung befindlichen Bauteil und einer r>
Prüfeinrichtung über programmierbare Sonden, wobei jede einzelne Sonde unabhängig von den
übrigen Sonden zwischen einer ersten und einer zweiten Stellung durch einen auf dem Schaft der
Sonde angebrachten, in einem Zylinder mit Fluid- ι ο druck beaufschlagbaren Kolben hin- und herbewegbar
ist, wobei der Schaft der Sonde in einer Buchse geführt ist und wobei über die Sonde in der zweiten
Stellung die elektrische Verbindung zwischen dem Bauteil und der Prüfeinrichtung hergestellt ist,
dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben
(21) als Hohlzylinder ausgebildet ist und daß in der zentralen Bohrung (29) innerhalb des Kolbens (21)
zwei gegeneinander elektrisch isolierte Leiterelemente (24,75,71 und 76,74,73) angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben (21) einen zweiten Ansatz
(22) und einen sich axial daran anschließenden zweiten Schaftabschnitt (22a,) aufweist und daß die
zentrale Bohrung (29) durch den zweiten Ansatz (22) und den zweiten Schaftabschnitt (22a,) hindurchgeführt
ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das eine Leiterelement eine auf
dem äußeren Ende des zweiten Ansatzes (22) angeordnete Spitze (24) aufweist, welche mit dem in
der Prüfung befindlichen Bauteil in Berührung bringbar ist, wenn der Kolben (21) sich in der ersten
Stellung befindet, daß ein Mittelleiter (71) mit der Spitze verbunden ist und daß das andere Leiterelement
eine Abschirmung (73,74,76) aufweist, welche die Spitze (24) und den Mittelleiter (71) umgibt.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Leiterelemente
ein abgeschirmtes Kabel aufweisen, welches einen mit einer leitenden Spitze (24) in Verbindung
stehenden Mittelleiter (71) und eine Isolierung (72, 76a, 77) hat, welche die Spitze (24) und den
Mittelleiter (71) im wesentlichen umgibt.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben (21), der
zweite Ansatz (22), der zweite Schaftabschnitt {22a) und die Kolbenführung aus einem elektrisch
nichtleitenden Material bestehen.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine
zweite Sonde (90) und eine Befestigungsklammer (91) für die zweite Sonde vorgesehen sind, daß die
zweite Sonde mit der Abschirmung verbunden und gemeinsam mit dieser bewegbar ist und daß der
Wellenwiderstand zwischen der ersten und der zweiten Sonde einen vorgebbaren Wert hat.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Führungseinrichtung für die
zweite Sonde vorgesehen ist, welche eine Halterung mit einer Öffnung (92) hat, und daß ein Führungsstab
(93) gleitbar in der Öffnung (92) geführt ist
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Zylinder
an seiner mit Fluiddruck beaufschlagbaren Seite ein zweites Verschlußstück (80) aufweist, welches
konzentrisch zu dem zweiten Schaftabschnitt (22a) angeordnet ist und daß eine zweite Dichtung (81)
zwischen dem zweiten Verschlußstück (80) und der Halterung angeordnet ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch den
Zylinderboden (30) ein zweiter Durchgang (38) hindurchgeführt ist, welcher mit Druckfluid beaufschlagbar
ist und in den Hauptdurchgang mündet.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußstück
(80) durch eine Schulter (82) gehalten ist, welche zugleich als Anschlag für den Kolben (21) in
seiner zweiten Stellung dient.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Kolben (21) ein mit diesem bewegbarer äußerer Hohlzylinder
(100) angebracht ist, daß die Leiterelemente eine elektronische Schaltung (112) aufweisen, welche in
dem Hohlzylinder (100) angeordnet ist, und daß eine zur Dämpfung des beim Auftreffen der Leiterelemente
auf das zu prüfende Bauteil für die elektronische Schaltung entstehenden Stoßes dienende
Stoßdämpfereinrichtung vorgesehen ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Stoßdämpfereinrichtung
folgende Teile aufweist:
den äußeren Hohlzylinder (100), welcher an seinem einen Ende eine Schulter (117) aufweist, einen
inneren Hohlzylinder (110), der eine zentrale Bohrung (111) hat, in welcher die Schaltung
angeordnet ist, wobei der innere Hohlzylinder (110) innerhalb der Schulter (117) gleitbar geführt ist,
einen Flansch (115), welcher die Bewegung des inneren Hohlzylinders (110) begrenzt, eine Vorspannungseinrichtung
(116), durch welche der innere Hohlzylinder (HO) in bezug auf den äußeren Hohlzylinder (100) vorgespannt ist, wodurch bei
einem Auftreffen der Leiterelemente auf das in der Prüfung befindliche Bauteil, wenn sich der Kolben in
seiner zweiten Stellung befindet, eine kleine, nach innen gerichtete Bewegung des inneren Hohlzylinders
(110) in bezug auf den äußeren Hohlzylinder (100) gegen die Wirkung der Vorspannungseinrichtung
(116) hervorgerufen wird.
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