DE2608430A1

DE2608430A1 - Programmierbare sondenhalterung

Info

Publication number: DE2608430A1
Application number: DE19762608430
Authority: DE
Inventors: Robert Lee Beck; Peter Helmut Goebel
Original assignee: Motorola Inc
Current assignee: Motorola Solutions Inc
Priority date: 1975-03-03
Filing date: 1976-03-01
Publication date: 1977-01-27
Also published as: DE2659977C2; FR2303349A1; DE2659976C2; JPS51112145A; DE2608430C3; FR2303349B1; CA1038042A; DE2659977B1; DE2659976B1; BR7601302A; DE2608430B2; US4138643A; JPS5428259B2

Description

Programmier "bare Sondenhalt erung

Die Erfindung betrifft eine programmierbare Sondenhalterung für eine Sonde, wie sie verwendet wird, um Schaltungsplatten oder Leiterplatten an eine manuelle oder eine automatische Prüfeinrichtung anzuschließen, und die Erfindung bezieht sich insbesondere auf eine einzelne programmierbare Sonde, welche dazu verwendet werden kann, sowohl eine funktioneile als auch eine diagnostische Prüfung durchzuführen, und zwar entweder statisch oder dynamisch. Die Erfindung betrifft weiterhin ein System einer Prüfeinrichtung, welche eine Hehrzahl von Sonden in einer Halterung verwendet, so daß jede Sonde unabhängig programmierbar ist, und die Erfindung erstreckt sich auch auf das Verfahren des Anschließens der in der Prüfung befindlichen Einheit an die Erregungs- und Heßeinrichtung sowie auf die zugehörige Programmsteuerung.

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Es sind Prüfeinrichtungen einschließlich Sondenhalterungen bekannt, um funktioneile und diagnostische Prüfungen an gedruckten Leiterplatten oder Schaltungsplatten durchzuführen. Solche Einrichtungen können sowohl statische als auch dynamische Prüfungen durchführen.

Zur Durchführung solcher Prüfungen ist es erforderlich, eine oder mehrere Sonden in elektrischen Kontakt mit einer oder mehreren Klemmen einer Leiterplatte zu bringen.· Dann ist es beispielsweise möglich, die Schaltungen auf der Platte oder einer anderen Anordnung funktionell und diagnostisch zu prüfen, indem selektiv elektrische Signale an eine oder mehrere der Kontaktklemmen geführt werden, und zwar durch die Sonden, wonach die Signaleigenschaften an anderen Kontaktklemmen durch die Sonden abgenommen und ausgewertet werden.

Eine statische Prüfung ist eine solche Prüfung, bei welcher nur Gleichspannungssignale durch die Sonden an die Schaltung angelegt werden und die Gleichspannungseigenschaften verschiedener Schaltelemente gemessen werden. Bei einer dynamischen Prüfung werden Wechselspannungssignale selektiv als Eingangssignale angelegt, und es werden die Wechselspannungseigenschaften der verschiedenen Schaltungselemente, die sich in der Prüfung befinden, einer Messung unterzogen. Eine Funktionsprüfung besteht darin, daß die Sollwerte einer Schaltung überprüft werden. Eine Diagnose-Prüfung besteht gemäß der Bedeutung der Bezeichnung darin, in einer vorgegebenen Schaltung einen Fehler zu ermitteln.

Eine dynamische Funktionsprüfung besteht darin, daß über eine oder mehrere Sonden Wechselspannungssignale als Eingangssignale an ausgewählte Klemmen angelegt werden und die entsprechenden Wechselspannungsausgangssignale an anderen ausgewählten Klemmen durch die Sonden gemessen werden, ohne daß irgendwelche anderen

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externen Sonden verwendet werden, um zu bestimmen, ob die Ausgängssignale den gewünschten Spezifikationen entsprechen. Aus dem Stand der Technik ist bekannt, daß bei der Verwendung von Hochfrequenzsignalen bei solchen Prüfungen eine Sondenhalterung verwendet werden mußte, welche eine minimale Anzahl von Sonden hatte, die benachbart zu der Leiterplatte angeordnet wurden, um eine externe Belastung und Verstimmung der in der Prüfung befindlichen Schaltung zu vermeiden. Dieses Problem der Beeinflussung der in der Prüfung befindlichen Schaltung wurde durch die i'requenzcharakteristika der Sonden selbst hervorgerufen, welche zu parasitären Induktivitäten oder Kapazitäten in der geprüften Schaltung führten, so daß dadurch deren gewünschte elektrische Eigenschaften verändert wurden. Dies führte zu falschen Prüfungsergebnissen.

Eine dynamische Diagnoseprüfung besteht darin, eine fehlerhafte Schaltung in einem elektronischen üodul zu ermitteln, indem das WechselSpannungssignal sequentiell vom Eingang einer Schaltung bis zum Ausgang verfolgt wird und dann weiter zu dem Eingang der nächsten Schaltung in der Leitung und weiter zu deren Ausgang usw., bis die fehlerhafte Schaltung lokalisiert ist. Eine solche Prüfung setzt nicht nur voraus, daß die Sonden mit dem ersten Eingang und dem letzten Ausgang verbunden werden, wie bei einer Funktionsprüfung, sondern es ist weiterhin erforderlich, daß die Sonden mit verschiedenen Eingangs- und Ausgangsklemmen einzelner Zwischenschaltungselemente verbunden werden. Somit ist eine Vielzahl von Sonden erforderlich. Da bisher einzelne, unabhängig programmierbare Sonden nicht zur Verfugung standen, wie sie gemäß der Erfindung geschaffen wurden, und aufgrund der Notwendigkeit, die Anzahl der Sonden zu begrenzen, welche mit den Leiterplatten in Berührung standen, um eine Beeinflussung oder Verstimmung der in einer dynamischen

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Prüfung befindlichen Schaltung zu vermeiden, wie es oben ausgeführt wurde, war es bisher erforderlich, daß bei einem Prüfvorgang die Prüfeinrichtung von der einen Sondenhaiterung, welche zur !funktionsprüfung verwendet wurde, zu einer anderen oder zu mehreren anderen Sondenhalterungen gebracht wurde, die für die Diagnoseprüfung eingesetzt wurden. In alternativen Anordnungen war es auch bekannt, die Sonden, welche für jeden Typ einer Prüfung erforderlich waren, an beweglichen Halterungen anzubringen, die Halterungen vertikal übereinander zu stapeln, wobei die Sonden der unteren Ebenen durch Öffnungen in den oberen Halterungen hindurch gingen, wonach die Sonden in den einzelnen Ebenen nach den Erfordernissen einer bestimmten Prüfung hin oder her bewegt wurden. Dies führte dazu, daß die Durchführung von Prüfungen sehr umständlich, zeitaufwendig und teuer war, weil zahlreiche verschiedene oder komplexe Sondenhalterungen und Prüfeinrichtungen erforderlich waren.

Das Problem der Verstimmung oder Beeinflussung von gedruckten Leiterplatten tritt insbesondere bei analogen Logikmoduln und bei Hochgeschwindigkeits-Logikmoduln auf, die bei hohen Frequenzen im Megahertzbereich arbeiten, beispielsweise am Eingang einer Hi-AbStimmeinrichtung. Weiterhin tritt dieses Problem deutlich bei der Prüfung von analogen Moduln auf, welche niedrigere Frequenzen verwenden, beispielsweise im Eingang einer AM-AbStimmeinrichtung, welche die HF- und die Mischer-Stufen aufweist.

Ein typisches bekanntes System, wie es vor der Erfindung verwendet wurde, hat eine Sondenhalterung, die unter der Bezeichnung "Nagelbett" bekannt geworden ist. Eine solche Einrichtung hat eine Mehrzahl von festen Sonden, an denen jeweils eine elektrische Leitung angeschlossen ist, die mit der Prüfeinrichtung verbunden ist. Eine gedruckte Leiterplatte wird an einer Membran

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angebracht und oberhalb sowie fluchtend in bezug auf die Sondenhai terung angeordnet, jedoch auf Abstand davon, so daß eine Luftkammer zwischen der Halterung und der Platte entsteht. Wenn es erwünscht ist, die Sonden mit der Platte in Berührung zu bringen, wird die Kammer evakuiert, so daß die Platte in Berührung mit den "Nägeln" des "Nagelbettes" gebracht wird. Gemäß den obigen Ausführungen ist es auch bekannt, daß die Platte fest angebracht wird und das gesamte "Nagelbett" oder ausgewählte Gruppen von "Nägeln" mit der Leiterplatte in Berührung gebracht werden. Solche Systeme leiden jedoch unter den oben dargelegten Nachteilen.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Sondenhalterung der oben näher erläuterten Art zu schaffen, die als universelle Einheit dazu verwendbar ist, in selektiver Weise eine Schaltungsanordnung oder eine gedruckte Leiterplatte an eine manuelle oder eine automatische Testeinrichtung anzuschließen, welche dazu in der Lage ist, alle statischen und dynamischen Punktionsprüfungen und Diagnoseprüfungen an Bauelementen oder Baugruppen auf Platten oder anderen Schaltungsanordnungen durchzuführen, und welche Prüfungsergebnisse mit außerordentlich hoher Genauigkeit liefert. Weiterhin soll die erfindungsgemäße Anordnung über einen weiten Frequenzbereich verwendbar sein, und zwar vom Hörfrequenzbereich bis zu 200 Megahertz, und sie soll einen geringen und im wesentlichen konstanten Kontaktwiderstand für alle Größen von erwartbaren Betriebsströmen haben.

Zur Lösung dieser Aufgabe dienen insbesondere die in den Patentansprüchen niedergelegten Merkmale.

Gemäß dar Erfindung ist somit der wesentliche Vorteil erreichbar, daß ein System geschaffen wird, bei welchem eine Programmsteuerung für einzelne Sonden verwendet wird, um den Kontakt

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mit der in der Prüfung befindlichen Einheit oder Platte herzustellen und wieder zu lösen.

Es erweist sich weiterhin als vorteilhaft, daß die gemäß der Erfindung programmierbare Sonde derart ausgebildet ist, daß sie eine elektronische Schaltung aufnehmen kann, die eine Vielfalt von Funktionen ausübt, die beispielsweise als Pufferverstärker oder als Detektorschaltung bzw. Gleichrichterschaltung dient.

Nach dem wesentlichen Grundgedanken des Erfinders ist vorgesehen, daß eine programmierbare Sondenhaiterung geschaffen wird, um eine in der Prüfung befindliche Einheit und eine elektrische Anpaßeinrichtung anzuschließen, wobei die erfindungsgemäße Halterung eine Trägereinrichtung aufweist, die eine Vielzahl von Führungseinrichtungen hat, die weiterhin eine Hehrzahl von Sonden aufweist, von denen jede in Verbindung mit einer der Führungseinrichtungen in einer vorgegebenen Ebene bewegbar angeordnet ist, wobei jede Sonde unabhängig zwischen einer ersten und einer zweiten Stellung bewegbar ist, wobei weiterhin eine Einrichtung vorhanden ist, um in selektiver Weise jede Sonde aus der ersten in die zweite Stellung zu bewegen und jede Sonde aus der zweiten wieder in die erste Stellung zu bringen, und zwar in Reaktion auf das vorgegebene Programm, und wobei eine leitende Einrichtung auf jeder Sonde angebracht ist, die einen kontinuierlichen leitenden Pfad zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinrichtung schafft, wenn sich die Sonde in der zweiten Stellung befindet.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Explosionsdarstellung einer Gleichspannung ssonde, welche gemäß der Erfindung ausgebildet ist,

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Fig. 2 einen Vertikalteilschnitt durch die in der Fig. 1 dargestellte Sonde, wobei sich die Sonde in der zurückgezogenen Stellung "befindet,

Fig. 2A einen Vertikalteilschnitt, welcher die erfindungsgemäße Sonde darstellt, wie sie mit der in der Prüfung befindlichen gedruckten Leiterplatte in Berührung gebracht ist,

Fig. 3 eine Ansicht einer alternativen Ausführungsform der Sonde gemäß Fig. 1 von vorne,

Fig. 4- eine perspektivische Explosionsdarstellung einer erfindungsgemäßen Hochfrequenzsonde,

Fig. 5 einen Vertikalteilschnitt der in der Fig. 4- dargestellten Sonde, wobei die Sonde sich in der zurückgezogenen Stellung befindet,

Fig. 6 einen Vertikalteilschnitt, welcher die in der Fig. 5 dargestellte Sonde einschließlich einer damit verbundenen Erdsonde in der ausgefahrenen Stellung veranschaulicht ,

Fig. 7 einen Grundriß der in der Fig. 6 dargestellten Sonde,

Fig. 8 einen Vertikalteilschnitt einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Sonde einschließlich einer Elektronikschaltungsplatte, welche in der Sonde angeordnet ist,

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Fig. 9 ein. Blockdiagramm, welches die unabhängig betätigbaren Sonden gemäß der Erfindung als Teil eines vollständigen Systems veranschaulicht, bei welchem die Sonden dazu verwendet werden, die in der Prüfung befindliche Platte mit einem elektrischen Priifungsanpaßgerät zu verbinden, und

Fig. 10 ein Schaltschema, welches die Steuerschaltung zum Betreiben des Sondentreibersystems gemäß Fig. 9 darstellt.

Es sei darauf hingewiesen, daß in der Zeichnung an manchen Stellen dieselben Bezugszeichen verwendet werden, um auf dieselben Bauteile in verschiedenen Figuren hinzuweisen.

In den Fig. 1 und 2 ist eine erfindungsgemäße Gleichspannungssonde in einer Halterung 10 dargestellt, in welcher eine öffnung 12 angeordnet ist. Während in der Halterung 10 nur eine einzige Öffnung gezeichnet ist, sei darauf hingewiesen, daß die Halterung eine hehrzahl von öffnungen aufweist, wobei in jeder öffnung jeweils eine einzige Sonde angeordnet ist. Die Öffnung 12 dient, als eine zylindrische Öffnung und als eine Führungseinrichtung, in welcher die Sonde hin und her bewegt werden kann, wie es unten im einzelnen näher erläutert ist. Die Sonde wird mit Hilfe der Öffnung 12 derart gehalten bzw. geführt, daß sie in einer vorgegebenen Ebene beweglich ist, und zwar fluchtend mit einer Klemme auf der in der Prüfung befindlichen gedruckten Leiterplatte, wie es in der Fig. 2A dargestellt ist. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2 ist die Halterung 10 aus einem nicht-leitenden Material hergestellt. Gemäß weiteren Ausführungsformen kann die Halterung jedoch aus einem leitenden Material bestehen. Die Öffnung 12 hat an ihrem unteren Ende einen Abschnitt mit einem erweiterten Durchmesser 14, der ein Gewinde aufweist.

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Gemäß .Fig. 2A kann die in der Prüfung "befindliche Einheit eine typische gedruckte Schaltungsplatte oder Leiterplatte sein, wie sie an sich bekannt ist. Beispielsweise sind Platten in der Größe von 4,44 cm χ 6,35 om (1 3/4 " χ 2 1/2 ") "bis 10,16 cm χ 20,32 cm (4" χ 8") hinreichend bekannt und werden üblicherweise verwendet. Die erfindungsgemäße Anordnung, welche unabhängig betätigbare Sonden verwendet, kann jedoch in Verbindung mit Platten beliebiger Größe verwendet werden, indem einfach die Platte neben der Halterung 10 angeordnet wird, wo sie mit den Sonden in Berührung gebracht werden kann, wenn diese ausgefahren werden, wobei so viele öffnungen 12 und Sonden 20 vorgesehen sein können, wie es erforderlich ist, um die gewünschte Prüfungskapazität bereitzustellen, welche in der Sondenbefestigung und der entsprechenden Prüfeinrichtung vorgesehen werden soll. Demgemäß ist die Sondenbefestigung gemäß der Erfindung eine tatsächlich universelle Prüfungsbefestigung.

Gemäß i'ig. 1 weist die Sonde 20 eine Ko Ib en einrichtung 21 auf, die einen vergrößerten Durchmesser hat und in dem Zylinder 12 derart hin und her bewegbar ist, daß seine eine Seite verschlossen werden kann. Die Kolbeneinrichtung 21 weist einen langgestreckten Schaftabschnitt 22 aus leitendem Material auf, wobei an einem Ende eine als Ausnehmung ausgebildete öffnung 23 vorgesehen ist. Eine Spitze 24 wird von der Öffnung 23 aufgenommen und darin im ßeibsitz gehalten. Die Spitze kann in der Öffnung 23 durch eine beliebige bekannte Einrichtung gehalten sein, oder sie kann einen integralen Bestandteil des Schaftes 22 darstellen. Die Kolbeneinrichtung 21 weist weiterhin ein integrales, nach unten stehendes Kontaktelement 25 auf, welches aus leitendem Material besteht und sich unterhalb des Kolbenabschnittes 21 mit vergrößertem Durchmesser erstreckt und einen Bund oder Kragen aufweist, der eine Mehrzahl von nach

unten stehenden Fingern hat, die leicht nach außen vorgespannt sind, um den Innenraum des Endabschlußelementes 30 zu berühren, wie es unten im einzelnen näher erläutert wird.

Das andere Ende des Zylinders 12 unter dem vergrößerten Kolben 21 ist durch ein Abschlußanschlußstück 30 abgeschlossen, welches in den Abschnitt 14 mit vergrößerter Öffnung des Zylinders eingepaßt ist. Das Ab Schlußanschluß stück 30 kann in Verbindung mit dem Zylinder durch eine beliebige bekannte Einrichtung wie durch ein Gewinde 31 angebracht sein. Das Abschlußanschlußstück 30 hat eine zentrale Bohrung 32, welche durch das Stück hindurchgeführt ist und derart ausgebildet ist, daß sie einen Abschnitt 33 ^mi"b vermindertem Durchmesser hat, welcher Erhebungen oder Tüllen 34- aufweist, um einen Schlauch 35 aufzunehmen, der dazu dient, den Eintritt und den Austritt von unter Druck stehendem Fluid zu ermöglichen. Das Abschlußanschlußstück 30 ist aus leitendem liaterial hergestellt und nimmt nach Anbringung auf der Halterung 10 gleitbar Finger 25 auf, und zwar in der zentralen Bohrung 32, so daß ein vollständiger elektrischer Pfad zwischen der bewegbaren Kolbeneinrichtung 20 und dem Abschlußanschlußstück 30 gebildet wird.

Die Wände des Zylinders 12 unter dem vergrößerten Abschnitt des Kolbens 21, der Kolben 21 und das Ab Schlußanschluß stück 30 einschließlich seiner zentralen Bohrung 32 legen eine expandierbare Kammer fest, die eine Einrichtung aufweist, welche dazu dient, in selektiver Weise (jede Sonde aus einer ersten zurückgezogenen Stellung in eine zweite ausgefahrene Stellung zu bringen, und zwar in Reaktion auf einen ersten vorgegebenen Druck in der Kammer, und um weiterhin jede Sonde in der anderen Richtung aus der ausgefahrenen Stellung in die zurückgezogene Stellung zurückzuführen, und zwar in Reaktion auf einen zweiten vorgegebenen Druck in der Kammer, wobei diese Vorgänge insgesamt

durch ein vorgegebenes Programm gesteuert werden, wie es unten im einzelnen näher erläutert wird, so daß dieses Programm festlegt, welche der Sonden bewegt werden sollen, wobei auch die zeitliche Steuerung von diesem Programm erfolgt. Da gemäß den obigen Ausführungen jede Sonde ihre eigene Bewegungseinrichtung hat, ist somit jede Sonde unabhängig von anderen Sonden zwischen den oben beschriebenen Stellungen bewegbar. In dieser bevorzugten Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes arbeitet die Fluiddruck-Antriebseinrichtung mit Luft, es kann jedoch auch eine hydraulische Einrichtung verwendet werden.

Die Kammer weist eine Dichtungseinrichtung auf, die einen O-Ring 40 hat, der auf dem Abschnitt 26 mit vermindertem Durchmesser der Kolbeneinrichtung 21 angebracht ist. Das andere Ende der Kammer ist durch das Abschlußanschlußstück 30 abgedichtet, mit Ausnahme des Durchganges 36, welcher die Einrichtung aufweist, welche dazu dient, das Fluid unter Druck in die Kammer einzuleiten.

Der langgestreckte Schaft 22, die Spitze 24 und die nach unten stehenden Finger 25 weisen eine erste leitende Einrichtung auf, die auf der KoIbeneinrichtung 21 angebracht ist, und mit derselben mit der in der Prüfung befindlichen Einheit in Berührung zu bringen ist, wenn sich der Kolben in der zweiten oder ausgefahrenen Stellung befindet (siehe E¹Xg. 2A), während die Anordnung aus der Berührung mit der Einheit, die gerade in der Prüfung ist, gelöst werden kann, wenn sich der Kolben in der ersten oder zurückgezogenen Stellung befindet (siehe Fig. 2). Das AbSchlußanschlußstück 30 weist eine zweite leitende Einrichtung auf, die elektrisch mit der ersten leitenden Einrichtung verbunden ist, mit welcher sie einen kontinuierlichen leitenden Pfad durch den Kolben und den Zylinder bildet, so daß eine Leitung zum Durchgang von elektrischen Signalen entsteht.

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Das Abschlußanschlußstück 30 ist zum Anschluß an die elektrische Anpaßeinrichtung über eine Leitung 51 und eine Kontaktklemme 50 vorgesehen, die ein leitendes Element darstellt, welches im Reitsitz auf dem äußeren zylindrischen Abschnitt 37 des Abschlußanschlußstückes 30 angebracht ist, wodurch Signale zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinrichtung übertragen werden können, wenn sich der Kolben in der zweiten Stellung befindet. Jede Sonde 20 hat ihre zugehörige Leitung 51 ^mi"t dem elektrischen Anpaßgerät verbunden. An dem elektrischen Anpaßgerät wird eine Verbindung mit der elektronischen Erregungseinrichtung hergestellt, um der in der Prüfung befindlichen Einheit über die ausgewählte Sonde entsprechende Signale zuzuführen oder um einer elektronischen Meßeinrichtung Signale zuzuführen, so daß die Signale ausgewertet werden können, welche von der ausgewählten Sonde von der in der Früfung befindlichen Einheit empfangen werden.

Die Kolbeneinrichtung 21 ist weiterhin durch eine Buchse 60 geführt, die eine zentrale Bohrung 61 aufweist, in welcher das langgestreckte Schaftteil 22 des Kolbens gleiten kann. Die Buchse wird innerhalb des Zylinders 12 gehalten, und zwar durch den Verschluß 63, der an der Halterung 10 mit Hilfe von Schrauben 64- angeordnet ist (siehe Fig. 4-). Sowohl die Buchse 60 als auch die Abdeckung 63 können aus einem nicht-leitenden Material hergestellt sein.

Die Einrichtung, welche dazu dient, den Kolben aus der ausgefahrenen Stellung in die zurückgezogene Stellung vorzuspannen, wird durch eine Feder 65 gebildet, welche konzentrisch über dem Schaft 22 angeordnet ist, wobei ein Ende der Feder an der Buchse 60 und das andere Ende an der Oberseite des Kolbens 21 anliegt.

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Wenn der Kolben aus der ersten Stellung in die zweite ausgefahrene Stellung bewegt wird, erstrecken sich der Schaft 22 und die Spitze 24 über die Enden der Halterung 10 und der Abdeckung 63 hinaus, um die in der Prüfung befindliche Einheit zu berühren. In dieser Stellung wird die Bewegung des Kolbens durch die Buchse 60 begrenzt, gegen welche die Feder 65 gedruckt wird. Wenn der Kolben unter der Wirkung der Feder 25 in die erste Stellung zurückgezogen wird, ist er im wesentlichen in die Halterung 10 bis zu dem tunkt eingezogen, an welchem die Bewegung dadurch begrenzt wird, daß der Kolben 21 an dem Abschlußanschlußstück JO anliegt.

Eine Berührung zwischen der Spitze 24 und der zuvor entsprechend ausgerichteten Verbindung der in der Prüfung befindlichen Einheit erfo gt, wenn der Kolben sich in der ausgefahrenen Stellung befindet, wie es in der Fig. 2A dargestellt ist.

In der Fig. 3 ist eine alternative Konstruktion der Sonde dargestellt, bei welcher der nach unten stehende Abschnitt 25 aus einem kreuzförmigen Hetallelement ausgestanzt ist, welches getrennt von der Kolbeneinrichtung hergestellt ist, Jedoch daran befestigt ist, indem die Lasche 27 umgebogen wird, so daß das Element 25 mit der Kolbeneinrichtung 21 einen integralen Bestandteil bildet.

Gemäß der obigen Beschreibung ist somit die in den Fig. 1 bis 3 dargestellte Sonde eine programmierbare Sonde, welche insbesondere dazu gut geeignet ist, niederfrequente Signale wie Gleichspannungssignale zwischen der elektrischen Anpaßeinrichtung und der in der Prüfung befindlichen Einheit zu übertragen. Da die einzigen Sonden, welche nach oben in Berührung mit der Einheit bewegt werden, die gerade in der Prüfung ist, diejenigen Sonden sind, welche für die Prüfung erforderlich sind, die eine statische, eine dynamische, eine funktioneile oder eine

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diagnostische Prüfung sein kann, verwendet die erfindungsgemäße Sondenhalterung immer eine minimale Anzahl von Sonden, und mit der unten beschriebenen Abschirmung können die Streukapazitäten und -induktivitäten, welche in die in der Prüfung befindliche Einheit als Störungen eingekuppelt werden, und zwar infolge der Frequenzcharakteristik der Sonden selbst, auf einem Minimum gehalten werden. Somit können diejenigen Signale, welche zu der in der Prüfung befindlichen Einheit übertragen werden oder von dieser Einheit empfangen werden, ein Höchstmaß an Genauigkeit aufweisen und die vorgegebenen Eigenschaften oder die Betriebseigenschaften der in der Prüfung befindlichen Schaltung besonders naturgetreu wiedergeben.

In den Fig. 4 bis 7 ist eine bevorzugte Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes veranschaulicht, welche eine Hochfrequenzsonde darstellt. Bei dieser Ausführungsform, wie sie in den Fig. 4 und 5 dargestellt ist, weist die Kolbeneinrichtung einen ersten langgestreckten Schaftabschnitt 22 auf, der sich über den vergrößerten Durchmesser des Kolbens 21 hinaus erstreckt, und hat einen zweiten Schaftabschnitt 22a, der sich unterhalb des vergrößerten Kolbenabschnittes des Kolbens 21 erstreckt. Eine zentrale Bohrung 29 erstreckt sich durch den gesamten Kolben hindurch und auch über die langgestreckten Schaftabschnitte, und sie hat eine als Ausnehmung ausgebildete vergrößerte Öffnung 23 am oberen Ende. Der Zylinder 12 hat eine öffnung 16 mit vermindertem Durchmesser, welche gleitbar den zweiten Schaftabschnitt 22a aufnimmt, um die Bewegung des Kolbens zu führen.

Koaxial in der zentralen Bohrung 29 der Kolbeneinrichtung ist eine Anordnung 70 eines abgeschirmten Kabels angeordnet. Die Anordnung weist einen Mittelleiter 71 auf, sie hat weiterhin eine Schicht aus einem Isoliermaterial 72, welches den Mittelleiter 71 umgibt, und sie hat weiterhin ein leitendes

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Abschirmmaterial 73> welches das Isoliermaterial 72 umgibt, sowie eine isolierende Abdeckung 72a, welche das Abschirmmaterial 73 umgibt. Eine leitende Erdungsbuchse 74 umgibt das obere Ende des Abschirmmaterials 73» von welchem die isolierende Abdeckung 73a abgeschält wurde, um eine Verbindung mit der Innenwand der äußeren Hülle 76 herzustellen, die auch aus einem leitenden Material besteht. Im Inneren der äußeren Hülle 76 ist eine isolierende Buchse 76a an der Hülle angebracht, die eine zentrale Bohrung 76b aufweist, um das innere Spitzengehäuse 75 aufzunehmen, welches einen ringförmigen Flansch 75a hat, der an der Buchse 76a anliegt und von den leitenden Elementen 73) 74- und 76 elektrisch isoliert ist. Das obere Ende des Kittelleiters 71 ist durch die zentrale Bohrung des inneren Spitzengehäuses 75 hindurchgeführt und über dessen oberes Ende umgebogen. Die Spitze 24 ist an dem 'Spitzengehäuse 75 befestigt, und zwar in der Weise, daß ein Kontakt mit dem Mittelleiter 71 hergestellt ist. Es können auch andere bekannte Einrichtungen dazu verwendet werden, den Leiter 71 mit dem Gehäuse 24a zu verbinden, und die Spitze kann auch als integraler Bestandteil des Gehäuses ^^> ausgebildet sein. Sobald der Zusammenbau erfolgt ist, wird die Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels seitlich umgebogen oder gegrimmt, und zwar in dem Bereich, welcher zu der Erdungsbuchse 74 benachbart ist, und dann wird das Ende um die Spitze 24 herum mit Epoxymaterial 77 ausgefüllt. Die gesamte Anordnung 70 wird dann fest in der als Ausnehmung ausgebildeten Öffnung 23 des Kolbens 21 angebracht. Das zylindrische Element 76 und die gesamte Kabelanordnung kann weiterhin an dem Kolben 21 durch eine Lötverbindung 78 befestigt werden, wenn die Kolbeneinrichtung 21 und der Schaft 22 aus Metall bestehen. Ein Abschnitt der Spitze 24 bleibt frei, und zwar jenseits der Zylinderschale 76, um die in der Prüfung befindliche Einheit anzuschließen, wie es in den Fig. 5 und 6 veranschaulicht ist. Somit bildet gemäß dieser Ausführungsform die Anordnung 70 des abgeschirmten

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Kabels eine einzige Einheit, unabhängig von der verwendeten Kolbeneinrichtung 21 und dem Abschlußanschlußelement 30, wie sie in den Ausführungsformen gemäß Fig. 1 bis 3 vorgesehen sind, wobei hier nämlich eine erste leitende Einrichtung 24, 75 und eine zweite leitende Einrichtung 71 miteinander vereinigt sind, um somit einen kontinuierlichen Leitungßpfad zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinrichtung zu bilden, wenn die Sonde in der zweiten ausgefahrenen Stellung ist. Die Kabelanordnung 70 stellt eine dritte leitende Einrichtung 73> 7^-> 76 dar, und zwar für Erdungsstreusignale oder zum Anschluß an eine Erdungsklemme auf der in der Prüfung befindlichen Platte, wie es in der Fig. 6 dargestellt ist und unten im einzelnen näher erläutert wird. Es können andere bekannte abgeschirmte koaxiale Kabelanordnungen hergestellt werden, indem die obigen Prinzipien angewandt werden. Solche Anordnungen sind im Handel erhältlich. Eine solche Koaxialanschlußeinrichtung wird von der Firma Nalco Co., geliefert, und zwar unter der Bezeichnung Lepra-Con Connector Part No. 142-1000-0001.

Die Fluiddruckkammer in der in der Fig. 5 dargestellten Ausführungsform wird wiederum durch die Zylinderwände 12, die Unterseite des Kolbens 21, die Oberfläche des Schaftabschnittes 22a mit vermindertem Durchmesser, die obere Fläche 12a benachbart zu dem Abschnitt 16 des Zylinders mit vermindertem Durchmesser und weiterhin durch das AbSchlußanschlußstück 30 und dem Durchgang 38 gebildet, welcher den Durchgang 36 und die zentrale Bohrung 32 des Abschlußanschlußstückes 30 mit dem Zylinder 12 verbindet, um unter Druck stehendes Fluid einzuleiten und abzuleiten. Um zu gewährleisten, daß um den Abschnitt 22 mit vermindertem Durchmesser kein Fluidleck auftritt, ist dieser Abschnitt des Zylinders durch ein zweites Abschlußanschlußstück 80 abgeschlossen, welches konzentrisch zu dem

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Schaft 22a angeordnet ist, wodurch der zur Dichtung dienende Ü-Ring 81 dichtend gegen den Schaft 22a angedrückt wird. Das Anschlußstück 80 wird mirch die Stirnplatte 82 an Ort und Stelle gehalten, welche durch die Scheibe 84 und das Anschlußstück 30 an der Halterung 10 angebracht ist, Das andere Ende des Zylinders ist natürlich durch den G-Ring 40 abgedichtet, der auf dem Hals 26 des Kolbens 21 sitzt. Eine Vorspannung wird wiederum durch eine Feder 65 aufgebracht, wie es bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 bis 3 der Fall ist. Es kann jedoch axich eine andere Vor Spannungseinrichtung verwendet werden.

In dieser Ausführungsfortn kann der Kolben 21 aus einem nichtleitenden Material bestehen, da das Koaxialkabel 70 vollständig isoliert und abgeschirmt ist.

Die Kolbenbewegung wird in der oberen Stellung durch die Buchse 60 und die Feder 65 begrenzt, und in der unteren Stellung wird die Kolbenbewegung durch eine Schulter 82 begrenzt. Gemäß der obigen Beschreibung liefert die Ausführungsform gemäß Fig. 4 und 5 somit eine programmierbare Sonde zur Übertragung von Hochfrequenzsignalen im Hegahertzbereich. Die Abschirmung liefert eine ausgezeichnete Isolierung gegen äußere Stör- und Rauschsignale.

In der Fig. 6 ist die Sonde gemäß Fig. 5 in der ausgefahrenen Stellung dargestellt, und zwar in der Weise modifiziert, daß sie eine Erdungssonde 90 und eine Befestigungsklammer 91 aufweist, welche die Erdungssonde an der leitenden zylindrischen äußeren Hülle 76 befestigt, welche über die leitende Erdungsbuchse 74 mit dem Abschirmmaterial 75 des Koaxialkabels verbunden ist. Die Erdungssonde 90 läßt sich mit der Anordnung 70 des abgeschirmten Kabels hin und her bewegen, um eine Erdungssondenverbindung mit der in der Prüfung befindlichen gedruckten

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Leiterplatte herzustellen, und zwar unmittelbar "benachbart zu der Klemme, welche mit der Spitze 24- in Verbindung steht, so daß die .Anordnung für außerordentlich hohe Frequenzen geeignet ist. Somit läßt sich eine Impedanzanpassung erreichen, wenn hohe Frequenzen zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der Γrufeinrichtung übertragen werden. Der Wellenwiderstand wird bei etwa 50 Ohm vorgegeben. Eine Ausrichtung der Sonde 90 wird aufrechterhalten, wenn der Kolben 21 hin und her bewegt wird, indem die Halterung 10 in der Weise abgewandelt wird, daß sie eine Öffnung 92 und einen Führungsstab 93 aufweist, der an dem Anschluß 91 angebracht ist und in der Öffnung 92 gleitbar geführt ist.

Die Fig. 8 zeigt eine weitere bevorzugte Ausführungsform einer programmierbaren Sondenbefestigung, welche gemäß der Erfindung ausgebildet ist. Wiederum werden identische Bezugszahlen wiederholt, wenn sie sich auf dieselben oder auf ähnliche Teile beziehen, die oben bereits beschrieben wurden. In der Ausführungsform gemäß Fig. 8 ist ein äußeres hohles zylindrisches Gehäuse 100 im Eeibsitz an dem Kolben 21 angebracht, so daß es mit diesem bewegbar ist . In dem Zylinder 100 ist ein inneres zylindrisches Gehäuse 110 angeordnet, durch welches eine zentrale Bohrung 111 hindurchgeführt ist, in welcher die abgeschirmte Kabelanordnung ?Ό fest angebracht ist, und zwar durch einen Abschlußstopfen 118. Die abgeschirmte Kabelanordnung 70 weist eine elektronische Schaltungsplatte 112 auf einem Substrat auf, so daß ein Anschluß mit der Spitze 2A- an einem Klemmenende gebildet wird, wobei weiterhin Drähte 113 vorhanden sind, welche sich von dem anderen Klemmenende aus erstrecken und eine Verbindung mit der elektrischen Anpaßeinrichtung herstellen. Die Anordnung ?0 wird in dem Gehäuse durch eine bekannte beliebige Einrichtung gehalten, beispielsweise

dadurch, daß der Plansch 115 des Gehäuses 110 umgebogen wird. Eine Vorspannungseinrichtung 116 ist zwischen der Schulter des äußeren zylindrischen Gehäuses 100 und der Schulter 114
des inneren zylindrischen Gehäuses 110 angeordnet, um eine
Einrichtung zu "bilden, die dazu dient, das Aufschlagen des
Punktes 24- weicher zu gestalten, wenn er die damit fluchtende Klemme der in der Prüfung befindlichen Platte berührt, um die empfindliche elektronische Schaltung 112 durch den Aufschlagstoß nicht zu beschädigen. Die oben beschriebene Anordnung
liefert eine gute Flexibilität, um in der Sonde 20 eine große Vielfalt von elektronischen Schaltungen anzubringen, die dazu in der Lage sind, zahlreiche Funktionen auszuführen, und zwar in Verbindung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit und der Prüfeinrichtung, wobei eine entsprechende Anpasseinrichtung verwendet wird. Beispielsweise kann die Schaltung 112 Pufferschaltungen oder eine Detektoreinrichtung aufnehmen.

In der Pig. 9 ist ein programmierbares Sondenbefestigungssystem veranschaulicht, welches gemäß der Erfindung ausgebildet ist. Die Halterung 10 enthält die Vielzahl von Führungseinrichtungen 12 und eine Vielzahl von Sonden 120, wobei jeweils eine Sonde in Verbindung mit jeder Führungseinrichtung derart gehalten
ist, daß sie eine Bewegung in der vorgegebenen Ebene ausführen kann, und zwar von einer ersten zurückgezogenen Stellung in
die zweite ausgefahrene Stellung, in welcher sie mit der in
der Prüfung befindlichen Einheit 121 in Berührung steht. Jede Sonde hat einen Draht 122, welcher die leitende Einrichtung in der Sonde mit der elektrischen Anpaßeinrichtung verbindet. Jede Sonde hat einen Schlauch 35 > welcher die Abschlußanschlußeinrichtung mit einem Ende eines individuellen Durchgangs 12Ja
in einem Anschlußblock 123 verbindet. Ausgewählte Exemplare
der Sonden 120a, 120b, 120c und 12Od können ihre Schläuche 35

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an eine gemeinsame Luftverteilereinrichtung 124· angeschlossen haben. Die Verteilereinrichtung 124- ist mit einem individuellen Durchgang 12Ja im Anschlußblock 125 durch einen Schlauch J6 verbunden. Das andere Ende jedes individuellen Durchgangs122a in Verbindung mit dem Block 123 ist an einen Schlauch 35& des Sondentreibersystems 130 angeschlossen. Ein Sondentreibersystem oder ein System I30 dient dazu, die Sondenbewegungseinrichtung jeder Sonde 120 in der Sondenhalterung einzeln zu betätigen oder auch dazu, die einzelne Sondenbewegungεeinrichtung der Sonden 120a, 120b, 120c und 12Od in Reaktion auf Steuersignale kollektiv, jedoch unabhängig, zu bewegen, welche von einer Steuereinrichtung 140 empfangen werden.

Die Steuereinrichtung 140 liefert Steuerausgangssignale, welche einem vorgegebenen Erogramm entsprechen, wobei diese Signale der Sond entreib er einrichtung I30 über einen Anschlußkasten 14-1 und elektrische Treiberleitungen 14-2 zugeführt werden, wobei nur eine solche Leitung zur Vereinfachung dargestellt ist. Die Steuereinrichtung 140 kann ein Computer oder eine andere programmierbare Steuereinrichtung sein, wie sie grundsätzlich bekannt ist.

Die Sondentreibereinrichtung I30 ist in der bevorzugten Ausführungsform eine Fluidtreibereinrichtung, beispielsweise ein Lufttreibersystern, welches Energie- und Luftdruckeingänge aufweist und eine Kehrzahl von Ausgangsdurchgängen hat, wobei jeder Durchgang mit einem Schlauch 35& verbunden ist und wobei weiterhin eine Einrichtung vorhanden ist, welche dazu dient, den Fluiddruck an jedem Ausgangsdurchgang in Reaktion auf die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140 zu steuern.

Die spezielle Einrichtung zur Steuerung des l'luiddruckes an jedem Ausgangsdurchgang des Sondentreibersystems I30 ist in

der Pig. 10 dargestellt und weist ein durch eine Spule betätigtes Ventil 1J1 zwischen der Luftverteilereinrichtung 132 und dem Schlauch 35& auf, welcher zu jedem Sondenzylinder führt, und zwar durch einen Durchgang 123a in Verbindung mit dem Kasten 123. Eine Ausgangsklemme der Spule ist mit einer Gleichspannungsquelle 133 verbunden, und die andere Ausgangsklemme ist bei 134- über einen elektronischen Schalter I36 an Erde geführt, der in einer ersten Stellung die Spulenschaltung in Reaktion auf ein Signal an Erde legt, welches an einer Steuerklemme 135 empfangen wird, und weiterhin in der Weise betrieben werden kann, daß in einer zweiten Stellung die elektrische Schaltung mit der Spule verbunden ist, wenn kein Steuersignal an der Steuerklemme 135 anliegt. Die Steuerklemme 135 ist in jedem 5"all mit der Steuereinrichtung 14-0 durch eine Leitung 142 und den Anschlußkasten 14-1 verbunden und empfängt die Steuersignale von der Steuereinrichtung 140, welche programmiert, welche der Sonden zu einer vorgebbaren Zeit zu bewegen ist.

- Patentansprüche -

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Claims

Patentansprüche

Programmierbare Sondenhalterung zum Anschließen einer in einer Prüfung befindlichen Einheit und einer elektrischen Anpaßeinrichtung, wobei eine Befestigungseinrichtung vorhanden ist, wobei weiterhin eine Mehrzahl von Sonden vorhanden sind und wobei eine Einrichtung vorhanden ist, welche dazu dient, die Sonden zwischen einer ersten und einer zweiten Stellung zu bewegen, dadurch gekennz eichnet, daß eine leitende Einrichtung vorgesehen ist, welche auf Jeder Sonde angebracht ist, so daß ein kontinuierlicher Leitungspfad zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinrichtung gebildet wird, wenn eine Sonde in der zweiten Stellung ist, daß die Befestigungseinrichtung weiterhin eine Mehrzahl von Führungseinrichtungen aufweist, daß jede Sonde weiterhin einen Abschnitt hat, welcher von einer der Führungseinrichtungen gehalten ist, so daß eine Bewegung in einer vorgegebenen Ebene ermöglicht wird, daß jede Sonde unabhängig in bezug auf die anderen Sonden bewegbar ist, und zwar zwischen der ersten und der zweiten Stellung, und daß eine Einrichtung vorgesehen ist, welche dazu dient, jede Sonde aus der ersten in die zweite Stellung zu bewegen, und auch dazu, jede Sonde aus der zweiten in die erste Stellung zu bewegen, und zwar in Reaktion auf das vorgegebene Programm.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Führungseinrichtung einen Zylinder aufweist, daß weiterhin jeder Sondenabschnitt, der in Verbindung mit einer der Führungseinrichtungen gehalten ist, eine Kolbeneinrichtung aufweist, die hin und her bewegbar innerhalb des Zylinders angeordnet ist und ein Ende des Zylinders abschließt,

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daß weiterhin die Einrichtung, welche dazu dient, jede Sonde selektiv zu "bewegen, eine Einrichtung aufweist, welche das andere Ende des Zylinders abschließt, daß die Zylindereinrichtung, die KoIt) eneinrichtung und die Abschluß einrichtung eine expandierbare Kammer festlegen, daß weiterhin eine Einrichtung zur Abdichtung der Kammer vorhanden ist, daß weiterhin eine Einrichtung vorgesehen ist, welche dazu dient, ein Fluid unter Druck in die Kammer einzuleiten, daß die Kolbeneinrichtung in einer Richtung in eine erste Stellung bewegbar ist, und zwar in Reaktion auf einen ersten vorgegebenen Druck in der Kammer, während die Kolbeneinrichtung in der anderen Richtung in eine zweite Stellung bewegbar ist, und zwar in Reaktion auf einen zweiten vorgegebenen Druck in der Kammer, daß weiterhin eine Einrichtung vorhanden ist, welche dazu dient, die axiale Bewegung der Kolbeneinrichtung zu begrenzen, daß weiterhin die Anordnung derart getroffen ist, daß die leitende Einrichtung eine erste leitende Anordnung hat, welche auf der Kolbeneinrichtung angeordnet ist und mit derselben derart bewegbar ist, daß sie mit der in der Prüfung befindlichen Einheit in Berührung bringbar ist, wenn der Kolben in der zweiten Stellung ist, während die erste leitende Anordnung aus der Berührung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit gelöst wird, wenn der Kolben in der ersten Stellung ist, und daß die leitende Einrichtung weiterhin eine zweite leitende Anordnung hat, die elektrisch mit der ersten leitenden Anordnung verbunden ist und mit dieser einen kontinuierlichen Leitungspfad bildet, der eine Leitung für den Durchgang von elektrischen Signalen bildet, wobei die zweite leitende Anordnung derart ausgebildet ist, daß sie einen Anschluß zu der elektrischen Anpaßeinrichtung herstellt, wodurch Signale zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinheit übertragbar sind, wenn der Kolben in der zweiten Stellung ist.

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3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite leitende Anordnung eine Einrichtung aufweist, welche den kontinuierlichen leitenden Pfad über den Kolben und den Zylinder führt.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbeneinrichtung aus einem leitenden Material besteht, daß die Zylindereinrichtung aus einem nicht-leitenden Material besteht, daß die erste leitende Anordnung ein langgestreckter Schaftabschnitt des leitenden Materials ist, welcher einen integralen Bestandteil der Kolbeneinrichtung bildet, daß die KoIbeneinrichtung weiterhin ein integrales, nach unten stehendes Element aufweist, welches aus leitendem Material besteht und sich unterhalb des Kolbens erstreckt, daß weiterhin die Einrichtung, welche das andere Ende des Zylinders abschließt, eine Abschlußanschlußeinrichtung ist, die in Verbindung mit dem Zylinder angebracht ist und einen Teil desselben bildet, wobei eine zentrale Bohrung durch diese Einrichtung hindurchgeführt ist, daß der nach unten stehende integrale Abschnitt des Kolbens in der zentralen Bohrung der Abschlußanschlußeinrichtung angeordnet ist und damit in Gleitverbindung steht, und daß die Abschlußanschlußeinrichtung aus einem leitenden Material besteht und die zweite leitende Anordnung darstellt.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der nach unten stehende integrale Abschnitt eine Mehrzahl von nach unten stehenden Fingern darstellt, die nach außen vorgespannt sind, so daß sie mit der Abschlußanschlußeinrichtung in Berührung stehen.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4-, dadurch gekennzeichnet, daß der nach unten stehende Abschnitt ein gestanztes Metallelement ist, welches eine Mehrzahl von nach unten

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stehenden i'lanschabschnitten hat, die aus der Mittelachse des Abschnittes heraus vorgespannt sind und an der Unterseite der KoIbeneinrichtung angebracht sind.

7· Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das unter Druck stehende Fluid Luft ist und daß weiterhin ein Durchgang vorgesehen ist, welcher die zentrale Bohrung der Abschlußanschlußeinrichtung mit der Kammer verbindet, um die Luft einleiten und ausleiten zu können.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kontaktklammer, welche an der Abschlußanschlußeinrichtung angebracht ist, derart ausgebildet ist, daß sie eine Verbindung mit der elektrischen Anpaßeinrichtung herstellt.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine programmierbare Sonde vorgesehen ist, welche zur Übertragung von Gleichspannungssignalen dient.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3> dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbeneinrichtung einen ersten und einen zweiten integralen Schaftabschnitt aufweist, die sich in axialer Richtung von dort aus erstrecken und eine zentrale Durchgangsbohrung haben, daß weiterhin eine führungseinrichtung in dem Zylinder vorgesehen ist, welche die Schaftabschnitte gleitbar aufnimmt, um die Bewegung des Kolbens zu führen, und daß die erste und die zweite leitende Anordnung derart miteinander vereinigt sind, daß eine Anordnung gebildet ist, welche innerhalb der zentralen Bohrung der Kolbeneinrichtung angebracht ist.

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11. Vorrichtung nach, einem der Ansprüche 1 bis 3 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungseinrichtung eine Buchse aufweist, welche in der Zylindereinrichtung oberhalb der Kolbeneinrichtung angeordnet ist und eine zentrale Durchgangsbohrung hat, welche den ersten Schaftabschnitt der Kolbeneinrichtung gleitbar aufnimmt, wobei die Buchseneinrichtung weiterhin eine Öffnung mit kleinerem Durchmesser unterhalb der Kolbeneinrichtung aufweist, die gleitbar den zweiten Schaftabschnitt der KoIbeneinrichtung aufnimmt, daß die das andere Ende der Kammer abschließende Einrichtung eine erste Abschlußanschlußeinrichtung und eine zweite Abschlußanschlußeinrichtung aufweist, daß die erste Abschlußanschlußeinrichtung konzentrisch über dem zweiten Schaftabschnitt der Kolbeneinrichtung und der zweiten leitenden Anordnung angeordnet ist, daß die zweite Abschlußanschlußeinrichtung in Verbindung mit der Zylindereinrichtung angeordnet ist und eine zentrale Durchgangsbohrung hat, wobei ein Durchgang in der Zylindereinrichtung die zentrale Bohrung der zweiten AbSchlußanschlußeinrichtung mit der Kammer verbindet, um Fluid unter Druck einleiten und ausleiten zu können, wobei das Fluid Luft ist, daß die das andere Ende der Kammer abschließende Einrichtung weiterhin eine Anordnung hat, welche die Buchse innerhalb der Zylindereinrichtung befestigt, daß die das andere Ende der Kammer abschließende Einrichtung'weiterhin eine Anordnung aufweist, welche dazu dient, die Kammer abzudichten, wobei diese Anordnung eine erste Dichteinrichtung hat, die auf dem Kolben angebracht ist, und eine zweite Dichteinrichtung hat, die zwischen der zweiten Abschlußanschlußeinrichtung und dem Abschnitt der Zylindereinrichtung mit kleinerem Durchmesser angebracht ist, und daß die leitende Einrichtung sich über die Zylindereinrichtung hinaus erstreckt, wenn sich der Kolben in der zweiten Stellung befindet, um eine Berührung mit der in der Prüfung befindlichen

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Einheit herzustellen, und im wesentlichen in den Zylinder und die Halterung eingezogen ist, wenn sich der Kolben in der ersten Stellung befindet.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbeneinrichtung aus einem nichtleitenden Material besteht.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorspannungseinrichtung vorgesehen ist, welche dazu dient, die KoIbeneinrichtung aus der zweiten in die erste Stellung vorzuspannen.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 13 > dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannungseinrichtung eine Feder ist, welche konzentrisch über dem ersten Schaftabschnitt zwischen der Kolbeneinrichtung und der Buchse angeordnet ist, um die Kolbeneinrichtung aus der zweiten Stellung in die erste Stellung vorzuspannen.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine programmierbare Sonde zur Übertragung von Hochfrequenzsignalen vorgesehen ist.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine Erdungssonde vorgesehen ist, um eine Berührung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit herzustellen, daß weiterhin eine Einrichtung vorhanden ist, welche dazu dient, um die Erdungssonde mit der Erde zu verbinden, und daß der Wellenwiderstand zwischen der Erdungssonde und der ersten leitenden Anordnung einen vorgegebenen Wert hat.

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17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine leitende Einrichtung vorgesehen ist, welche eine elektronische Schaltungsplatte auf einem Substrat hat, welches innerhalb der Sonde angeordnet ist.

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, welche dazu dient, Steuerausgangssignale zu liefern, welche einem vorgegebenen Programm entsprechen, daß weiterhin eine Einrichtung vorgesehen ist, welche dszu dient, die sich bewegende Einrichtung in Reaktion auf die Steuersignale von der Steuereinheit anzutreiben, wodurch die Sonden unabhängig zwischen der ersten und der zweiten Stellung bewegbar sind, und zwar durch eine Bewegungseinrichtung, in Abhängigkeit von dem vorgegebenen Programm.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die sich bewegende Einrichtung einen Kolben und einen Zylinder aufweist, die betrieblich mit jeder Sonde verbunden sind, um die Sonde zwischen der ersten und der zweiten Stellung in Reaktion auf vorgegebene Drücke im Zylinder hin und her bewegen zu können, daß die Treibereinrichtung bzw. Antriebseinrichtung eine Pluidantriebseinrichtung bzw. -treibereinrichtung ist, die eine Mehrzahl von Ausgangsdurchgängen und eine Einrichtung aufweist, welche jeden der Ausgangsdurchgänge mit der beweglichen Einrichtung einer Sonde verbindet, und daß eine Einrichtung vorhanden ist, um den Fluiddruck an jedem Ausgangsdurchgang in Reaktion auf die Steuersignale von der Steuereinheit zu steuern.

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20. Vorrichtung nach, einem der Ansprüche 18 oder 19» dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung, welche den Fluiddruck an jedem Ausgangsdurchgang steuert, ein durch eine Spule betätigtes Ventil an jedem Ausgangsdurchgang aufweist, welches zwischen einer ersten Stellung, in welcher der Ausgangsdurchgang geöffnet ist, um Fluid unter Druck in den Zylinder der Sonde einzuleiten und einer zweiten Stellung, in welcher der Ausgangsdurchgang verschlossen ist und der Zylinder in die Atmosphäre entlüftet wird, bewegbar ist und daß eine Schaltungseinrichtung vorhanden ist, welche mit der Steuereinrichtung verbunden ist, um die Spule in Reaktion auf die Steuersignale zu betätigen.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungseinrichtung eine Energieversorgungseinrichtung, ein Bezugspotential und einen elektronischen Schalter aufweist, daß die Spule Eingangs- und Ausgangsklemmen hat, von denen eine mit der Energieversorgungseinrichtung verbunden ist, daß der elektronische Schalter zwischen der Erde und der anderen Klemme der Spule angeordnet ist und eine Steuerklemme hat, welche mit der Steuereinheit verbunden ist, so daß der elektronische Schalter den Zustand der Spule in Reaktion auf Steuersignale einstellt, welche an der Steuerklemme von der Steuereinheit empfangen werden.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß eine gemeinsame Verteilereinrichtung vorgesehen ist, daß die bewegliche Einrichtung einer Mehrzahl von ausgewählten Sonden mit einem Ende der Verteilereinrichtung verbindbar ist, daß ein Ausgangsdurchgang der Treibereinrichtung mit dem anderen Ende der Verteilereinrichtung verbunden ist, wodurch in Reaktion auf ein einzelnes Steuersignal alle ausgewählten Sonden gleichzeitig unabhängig in die zweite Stellung bewegbar sind.

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25· Verfahren zum programmierbaren Anschließen einer in einer Prüfung befindlichen Einheit an eine elektrische Anpaßeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß ein&. Mehrzahl von Sonden in Verbindung mit einer entsprechenden Halterung befestigt werden, daß die Sonden zwischen einer ersten und einer zweiten Stellung in Reaktion auf das vorgegebene Programm bewegt werden, wobei die Sonden in der zweiten Stellung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit in Berührung stehen, um die in der Prüfung befindliche Einheit elektrisch mit der elektrischen Anpaßeinrichtung zu verbinden, damit elektrische Signale zwischen diesen beiden Einrichtungen übertragen werden können, und daß dann die Sonden aus der Berührung mit der in der Prüfung befindlichen Einheiten gelöst werden, indem die Sonden in die erste Stellung zurückgezogen werden, weiterhin dadurch gekennzeichnet, daß jede Sonde derart gelagert wird, daß sie eine geführte Bewegung ausführen kann, und daß in selektiver Weise jede Sonde unabhängig zwischen der ersten und der zweiten Stellung angetrieben wird.

24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem selektiven Antreiben die Sonde an einem Kolben angebracht wird, der in einem Zylinder angeordnet ist, und daß der Kolben zwischen der ersten und der zweiten Stellung hin und her bewegt wird, und zwar in Reaktion auf einen jeweils vorgegebenen Fluiddruck im Zylinder.

25. Verfahren nach einem der Ansprüche 2J oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem selektiven Antreiben Steuerausgangssignale geliefert werden, welche den vorgegebenen Programmen entsprechen, und daß die ausgewählten Sonden in Reaktion auf die Steuerausgangssignale pneumatisch angetrieben werden.

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26. Verfahren nach, einem der Ansprüche 2J bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Verbindung in der Weise hergestellt wird, daß ein kontinuierlicher leitender Pfad zwischen der in der Prüfung befindlichen Einheit und der elektrischen Anpaßeinheit über den Kolben und den Zylinder hergestellt wird.

27· Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß der leitende Pfad von dem Kolben und dem Zylinder isoliert und abgeschirmt wird und daß Streusignale über die Abschirmung geführt werden.

28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig die in der Prüfung befindliche Einheit geerdet wird, indem ein abgeschirmter Abschnitt mit der in der Prüfung befindlichen Einheit in Berührung gebracht wird, und die geerdeten Signale über die Abschirmung geführt werden.

29. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Herstellen der Berührung ein Abschnitt der ausgewählten Sonde über den Zylinder hinaus ausgedehnt wird.

JO. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Bewegung des Kolbens aus der ersten in die zweite Stellung Fluid unter Druck in den Zylinder eingeleitet wird, daß bei der Ausführung der Bewegung, in welcher der Kolben von der zweiten in die erste Stellung gebracht wird, der Kolben unter der Wirkung einer Vorspannungseinrichtung vorgespannt wird, während gleichzeitig das Fluid im Zylinder in die Atmosphäre entweichen kann, um die Sonde aus der Berührung mit der in der Prüfung befindlichen Einheit zu lösen.

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51. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 50> dadurch gekennzeichnet, daß beim elektrischen Anschließen eine Leiterplatte bzw. Schaltungsplatte auf einem Substrat innerhalb der Sonde angeordnet wird und daß die elektrischen Signale über die Leiterplatte bzw. Schaltungsplatte geführt werden.

52. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 51» dadurch gekennzeichnet, daß eine Hehrzahl von ausgewählten Sonden gleichzeitig und unabhängig in Reaktion auf ein einzelnes Steuersignal angetrieben werden.

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