DE2340102B2 - Nicht verdampfendes Gettermaterial - Google Patents
Nicht verdampfendes GettermaterialInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein nicht verdampfendes Gettermaterial, welches eine poröse, pulverige Form
aufweist und wenigstens eine der Metalle enthält, welche zu der Gruppe Zr. Ta, Hf, Nb, Ti, Th und U
gehören, wobei eine zur Verhütung der Sinterung dienende Aluminiumlegierung vorhanden ist.
Solche Gettermaterialien können beispielsweise für elektrische Entladungsröhren, Vakuumbehälter und mit
Edelgas gefüllte Behälter eingesetzt werden, um auch nach Abschaltung einer Vakuumpumpe ein hohes
Vakuum aufrecht zu erhalten.
Nach Bedarf können solche nicht verdampfenden Gettermaterialien auch während des Betriebs des zu
entgasenden Gefäßes, beispielsweise einer Röhre oder eines Behälters, erhitzt werden.
Bisher wurden Gettervorrichtungen in Form offener Mctallschalen oder topfförniiger Behälter ausgebildet,
denen eine isolierte Heizspule nach Art einer indirekt beheizten Kathode zugeordnet war, wobei dieser
Metallbehälter entweder aus dem Gettermaterial selbst bestand oder wenigstens an seiner Oberfläche mit einer
Beschichtung aus diesem Material /ersehen war.
Es gibt Zirkonium verwendende Gettervorrichtungen, bei denen das Zirkonium in entsprechend dicken,
durch Pressen und Sintern von Zirkoniumpulver hergestellten Schichten vorhanden ist; solche Gettervorrichtungen
haben eine hohe Gasabsorptionsgeschwindigkeit und ein hohes Gasabsorptionsvermögen
bei Temperaturen über 600"C, während jedoch bei mittleren oder niedrigen Temperaturen des Gasabsorptionsvermögen
in Folge der verringerten Gasdiffusion in das Innere des festen Zirkoniums relativ gering ist, so
daß die Getterwirkung nur noch auf der geringen Oberflächenabsorption beruht. Es wird jedoch eine
Erhöhung des Gasabsorptionsvermögens des Gelters bei Raumtemperatur angestrebt, damit beispielsweise
während der Lagerung von Elektronenröhren oder anderen, vakuumdicht abgeschlossenen Behältern das
45 gewünschte Vakuum oder die gewünschte Edelgasatmosphäre
aufrecht erhalten werden kann.
Ein höheres Gasabsorptionsvermögen bei Raumtemperatur läßt sich mit einem porösen, ungepreöten
Zirkoniumkörper erreichen; um eine größere Porosität bei gesinterten Zirkoniumpulverkörpern für Getterzwecke
zu erzielen, ist dem Zirkoniumpulver Molybdänoder Wolframpulver zugemischt worden. Dies hat
jedoch unter anderem den Nachteil, daß Zirkonium und Molybdän bei 1500aC eine Legierung bilden; dadurch
werden die Sinter- und Entgasungstemperaturen sowie die Betriebstemperaturen bei Behältern, die mit solchen
Gettern ausgerüstet sind, nach oben hin stark begrenzt.
Deshalb ist es beispielsweise aus der US-PS 23 68 060 bekannt, einem Gettermaterial ein nicht metallisches
»Antisiniermittel«, beispielsweise Kieselerde, zuzusetzen.
Außerdem wird in der US-PS 35 84 253 erwähnt, daß Graphitpulver als Antisintermittel eingesetzt
werden kann, um eine große, aktive Oberfläche des Gas absorbierenden Materials aufrecht zu halten. Diese
»Antisintermittel« können jedoch das Sintern nicht verhindern, wie es mit der vorliegenden Erfindung
angestrebt wird, sondern wirken nur einer übermäßigen Sinterung entgegen.
Zwar gelangen durch das Graphit weniger giftige Gase als bei den früher vorgeschlagenen Metallzusätzen
aus Molybdän- oder Wolframpulver in die Elektronenröhre oder das Vakuumgefäß; trotzdem
bringt jedooh auch Graphit noch unerwünschte Gase in das Vakuumgefäß ein. Auch andere Antisintermittel, wie
etwa feuerfeste Metalloxide oder andere Oxide, wie etwa Kieselerde, bringen beträchtliche Mengen schädlicher
Gase in die Elektronenröhren ein.
Außerdem bewirken die zusätzlichen Antisintermittel nur eine Art mechanische Abstandshalterung der
Getterpartikel voneinander, so daß die Sinterung verringert wird. Dabei beanspruchen sie jedoch so viel
Raum, daß sich das Volumen des Gettermaterials künstlich vergrößert.
Es ist weiterhin aus der US-PS 32 03 901 bekannt.
Tantal, Wolfram oder Molybdän als Mittel gegen das Sintern einer Zr-Al-Legierung einzusetzen, wenn die
Zr-Al-Legierung über längere Zeit bei hohen Temperaturen behandelt werden muß, wie es im industriellen
Einsatz vorkommt. Diese Bedingungen sind etwa 10 Minuten lang 1000"C.
Weiterhin ist aus der DT-AS 10 06 536 bekannt, das gasbindende Material mit einem weiteren, gegebenenfalls
gasbindenden, hochschmelzenden Metall, beispielsweise Wolfram, zu mischen. Dadurch wird die
Zusammensinterung geringer, und das entgaste Produkt läßt sich leicht pulverisieren.
Schließlich ist aus der US-PS 28 55 368 noch ein nicht
verdampfendes Zirkoniumpulver enthaltendes Gettermaterial bekannt, dem verschiedene, pulvcrförmige
Materialien zugesetzt werden können, die mit dem Zirkoniumpulver chemisch oder physikalisch reagieren,
um die Temperatur zu verringern, bei der die Aktivierung des Zirkoniums stattfindet. Auf diese Weise
läßt sich die Gefahr einer übermäßigen Sinterung verringern. Zu den dort vorgeschlagenen Zusätzen
gehören Aluminium, Silicium, Beryllium, Wolfram, Cer und Lanthan. Die dabei ablaufenden Reaktionen lassen
sich jedoch nicht so gut lenken, daß sich Enderzeugnisse mit stets gleichbleibenden Eigenschaften ergeben.
Außerdem wird auch tue Zugabe von feuerfestem
Metallpulver, wie etwa Wolfram, angeregt, um die Sinterung des Zirkoniums zu verringern. Schließlich
wird noch TiAIj als Antisintermiüel erwähnt. Hierbei
müssen dem eigentlichen nicht verdampfenden Gettermaterial also mehrere, zusätzliche Substanzen zugeführt
werden, um wenigstens im gewissen Maße eine Sinterung zu vermeiden. Dadurch erhöhen sich jedoch
wiederum die Kosten für die Herstellung der Gesamtmasse.
Der Erfindung lieg! deshalb die Aufgabe zugrunde, ein nicht verdampfendes Gettermaterial zu schaffen, bei
dem sich eine Sinterung des Gettermaterials vermeiden läßt und das hierzu verwendete Mittel gleichzeitig eine
Getterfunktion übernimmt.
Diese Aufgabe wird crfindungsgemäß bei einem nicht verdampfenden Gettermaterial der eingangs genannten
Art dadurch gelöst, daß das zur Verhütung der Sinterung dienende Material eine Zr-Al-Legierung ist,
die als körniges Material vorhanden ist und zwischen 5 und 30 Gew.% Aluminium enthält.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile beruhen insbesondere darauf, daß eine Legierung, die üblicherweise
zum Sintern verwendet wird, in Verbindung mit bestimmten Gettermaterialien als Mittel zur Verhütung
der Sinterung eingesetzt werden kann. Dabei hat das erfindungsgemäße Gettermaterial im Vergleich mit den
bekannten Materialien bei Raumtemperatur wenigstens gleiche Gettereigenschaften und bei höheren Temperaturen
bessere Gettereigenschaften, wobei eine übermaßige Sinterung des porösen, pulvrigen Gettermaterials
weitgehend verhindert wird.
Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im Folgenden
näher beschrieben. Es zeigt
F i g. 1 eine Draufsicht auf eine Gcttervürrichtung,
Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie 11 — 11 von Fig. 1,
Fig. 3 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform der Gettervorrichtung,
Fig. 4 einen Schiiilt längs der Linie IV—IV von
Fig. 3,
F i g. 5 und 6 weitere Gettervorriehlungen,
Fig. 7 eine weitere Ausfühmngsform einer Gettervorrichtung,
F i g. 8 und 9 in log-log-Diagrammcn die Absorptionseigenschaften von Gettermaterialien nach der Erfindung
im Vergleich mit den entsprechenden Eigenschaften herkömmlicher Gettermaterialien,
Fig. 10 einen Schnitt durch ein Gettermaterial bei etwa I lOfacher Vergrößerung und
F i g. 11 im vergrößerten Maßstab einen Schnitt durch
das in Fig. 10 gezeigte Gettermaterial, wobei der Durchmesser der Fig. 11 eine natürliche Größe von
etwa 40 μηι hat.
In den F i g. I und 2 ist eine Gettervorrichtung 10 dargestellt, deren Halter die Form eines Rings 11 hat,
der einen Raum 12 begrenzt, in dem sich ein nicht verdampfendes Gettermaierial 13 befindet.
Die F i g. 3 und 4 zeigen eine Gettervorrichtung 30.
die mit einer gleichen Gettervorrichtung .30' verbunden ist, welche wiederum mit einer gleichen Gettervorrichtung
30" verbunden ist. Die Gettervorrichtung 30, 30', 30" usw. bilden einen fortlaufenden Streifen von
Getlervorrichtungen. Bei tier Getlervorrichuing 30 hat
der Halter die Gestalt einer Unterlage 31. in deren ebene Ober- und Unterseite das Gettermaterial 32 als
Partikel teilweise eingebettet ist. Zur Benutzung wird beispielsweise die Gettervorriehiiing 30' von den
(Jetlervorrichtungen 30 und 50" dadurch getrennt, daß
man die Unterlage 31 in der Nähe der schmalen Verbindungen 33,34,35 und 36 durchtrennt.
Fig. 5 zeigt eine Gettervorrichtung 50 in Gestalt einer Pastille, in der der Halter als Stab 51 angeordnet
ist, wobei das Gettermaterial 52 um diesen Stab herum gepreßt ist und von diesem getragen wird.
Fig. 6 zeigt eine Gettervorrichtung 60 in Gestalt einer Pastille, bei der der Halter 61 ein isolierter Draht
mit hohem ohmsehen Widerstand und als Heizwendel
lü 62 geformt ist. um die das Gettermaterial 64 herum
angeordnet ist.
F i g. 7 zeigt eine Geltervorrichtung 70, deren Halter eine Heizdrahlwendel ist, welche eine elektrisch
isolierende Beschichtung 72 aufweist. Das Gettermaterial 73 ist mit einem der oben bereits beschriebenen
Verfahren oder irgendein anderes bekanntes Verfahren aufgebracht.
Fig. 10 zeigt ein Gettermaterial 80, das aus Partikeln
8!, 8Γ aus einem gesinterten, partikelförmigen, nichtverdampfenden Gettermetall sowie aus Partikeln
82, 82' aus einer Zirkon-Aluminium-Legierung besteht.
Man ersieht aus Fig. 10, daß die Partikel 82, 82' der
Zr-Al-Legierung größer sind als die Partikel 81, 81' des Gettermetalls. Man sieht ferner, daß die Partikel 82, 82'
der Zr-Al-Legierung ganz über die Gettermetall-Partikel
81, 81' verteilt sind. Außerdem werden die Zr-Al-Legierungs-Partikel 82, 82' im allgemeinen außer
Berührung miteinander gehalten.
In Fig. 11 ist eine vergrößerte Ansicht eines Teiles
so der Partikel 81, 81' der Fig. 10 dargestellt. Aus F i g. 11
ersieht man, daß die den Partikeln 81, 81' entsprechenden Partikel 83, 83' in Berührung miteinander und
miteinander versiniert sind. Die Partikel 83, 83' haben nach der Sinterung eine Oberfläche, die im wesentlichen
Γι gleich ihrer Oberfläche vor der Sinterung ist. Die
Oberflächenmessungen wurden mit dem B.E.T-Verfahren durchgeführt (siehe Band LX des »The |ournal of
the American Chemical Society«, Februar 1938, S. 309 bis 319). Andererseils wird die Sinterung lange genug
■4H durchgeführt, um dem Material eine Druckfestigkeit
von wenigstens 50 und vorzugsweise wenigstens 300 kg/cm- zu verleihen.
Die Versuche dieses Beispieles wurden durchgeführt, um das Verhalten einer herkömmlichen Gettervorrichtung
zu zeigen. Zirkonpartikel wurden mit Graphitpartikeln im Gewichlsverhältnis 4:1 gemischt und dann in die
Form einer ziemlich flüssigen Alkoholsuspensionspaste
■so gebracht. Eine Portion dieser Paste, die 100 mg des
Pulvergemisches enthielt, wurde in einen Ringhalter eingebracht, um eine Gettervorrichtung 10 gemäß den
F i g. I und 2 zu schaffen.
Die Gettervorrichtung 10 wurde dann in ein Vakuum
■">") von etwa 10' bis 10b Torr gebracht. Die Temperatur
wurde innerhalb von 25 Minuten von Raumtemperatur auf 900 bis 1100"C erhöht. Diese Temperatur von 900
bis 1 l00"C wurde weitere fünf Minuten lang aufrechterhalten. Die so behandelte Gettervorriehiiing ließ man
«> auf Raumtemperatur abkühlen und entnahm sie dem
Vakuumofen.
Der Getterring 11 wurde .in einem Thermoelementträger
befestigt und dann in einem Vakuumsystem bekann:.'!' Art montiert, bei dem ein Unterdruck von
i.i weniger als 10 B Torr erreichbar ist, um die (iettereigenschalten
der Vorrichtung zu messen. Das ganze System wurde dann entgast, indem über Nacht auf 350"C
geheizt wurde. Der Druck im System lag dann in der
Größenordnung von Iu8 Torr und die Gettcrvorrichtung
wurde aktiviert durch Erhitzung des Ringes 11 mittels Hochfrequenz für zehn Minuten auf 9000C. Als
das System wieder auf einem Druck in der Größenordnung von 108 Torr und der Getterring 11 auf ■>
Raumtemperatur abgekühlt war, ließ man Kohlcnmonoxycl
in das System mit einer Eiiilaßmcnge pro
Zeiteinheit C, im Werte von 40 cmVSek (für CO) derart
einfließen, daß der CO-Gasdruck über der Gettervorrichtung, Pg, auf einem konstanten Wert von 3 χ 10 h to
Torr gehalten wurde. In verschiedenen Zeitintervalle!!
(l) wurde der CO-Gasdruck (I'm) am Gascinlaß, wie er
erforderlich war, um Pg auf einem konstanten Wert zu halten, gemessen.
Aus den Werten C, Pm, Pg und /kann man eine Kurve der CO-Gasabsorptionsgcschwindigkeit als Funktion
der gesamten vom Gcttcrmaterial absorbierten Gasmenge zeichnen. Diese Kurve ist in F i g. 8 als Kurve 1
dargestellt.
B e i s ρ i e I 2
Das Verfahren von Beispiel I wurde in allen Einzelheiten wiederholt, nur daß während der CO-Absorption
der Getterring durch Hochfrequenzerhitzung auf 400"C gehalten wurde. 2r>
Die Ergebnisse sind in F i g. 8 als Kurve 2 dargestellt.
Die Versuche dieses Beispieles wurden durchgeführt, jo
um das Verhalten der Gcttervorrichuingcn zu demonstrieren.
Das Beispiel 1 wurde in allen Einzelheiten wiederholt, nur daß das Graphit durch ein gleiches Volumen an
Zr-Al-I.egierung mit 16Gew.-% Aluminium, Rest
Zirkon, ersetzt wurde. Bei diesem Beispiel war das Gcwichlsverhiiltiiis von Zr zur Zr-Al-I.egierung 3:2.
Die Ergebnisse sind in F i g. 8 als Kurve 3 dargestellt.
Die Versuche dieses Beispieles wurden durchgeführt, um das Verhalten der Gettervorrichtung zu zeigen.
Das Verfahren nach Beispiel 3 wurde in allen Einzelheiten wiederholt, nur daß während der CO-Absorplion
der Getterring durch Hochfrequenzerhitzung auf 400"C gehalten wurde.
Die Ergebnisse sind in F i g. 8 dargestellt.
Durch Vergleich der Kurven 2 und 4 sowie der Kurven 1 und 3 in Fig. 8 sieht man, daß bei 400"C die
Gettermaterialien gemäß der Erfindung im Vergleich zu herkömmlichen Gettern eine höhere Gasabsorptionsgeschwindigkeit
bei einer gegebenen Menge an bereits absorbiertem Gas haben und daß bei Raumtemperatur
die Gettereigenschaftcn wenigstens gleich sind.
Die in F i g. 8 dargestellten Ergebnisse wurden durch weitere Versuche untermauert, deren mittlere Ergebnisse
in Fig. 9 dargestellt sind, wo die Kurve l'der Kurve 1
von F i g. 8 usw. entspricht.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Nicht verdampfendes Gettermateriul, welches eine poröse, pulverige Form aufweist und wenigstens
eines der Metalle enthält, welche zu der Gruppe Zr, Ta, Hf, Nb, Ti, Th und U gehören, und
wobei eine zur Verhütung der Sinterung dienende Aluminiumlegierung vorhanden ist, dadurch
gekennzeichnet, daß das zur Verhütung der Sinterung dienende Material eine Zr-Al-Legierung iu
ist, die als körniges Material vorhanden ist und zwischen 5 und 30 Gew.% Aluminium enthält.
2. Nicht verdampfendes Gettermaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zr-Al-Legierung
aus l6Gew.-% Al und 84Gew.-% Zr ü
besieht.
3. Nicht verdampfendes Gettennaterial nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Gewichtsverhältnis des Metalls zu der Zr-Al-Legierung 19 : 1 bis 2 : 3 beträgt.
4. Nicht verdampfendes Gettermaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß als Metall Zirkonium mit einer Partikelgröße von 80 Maschen/cm verwendet wird und daß die
Korngröße der Zr-Al-Legierung 24 Maschen/cm beträgt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT28053/72A IT963874B (it) | 1972-08-10 | 1972-08-10 | Dispositivo getter perfezionato contenente materiale non evapora bile |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2340102A1 DE2340102A1 (de) | 1974-02-21 |
DE2340102B2 true DE2340102B2 (de) | 1978-03-09 |
DE2340102C3 DE2340102C3 (de) | 1985-01-31 |
Family
ID=11222826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2340102A Expired DE2340102C3 (de) | 1972-08-10 | 1973-08-08 | Nicht verdampfendes Gettermaterial |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3926832A (de) |
JP (1) | JPS531141B2 (de) |
CA (1) | CA988911A (de) |
DE (1) | DE2340102C3 (de) |
ES (1) | ES417664A1 (de) |
FR (1) | FR2327817A1 (de) |
GB (1) | GB1432030A (de) |
IT (1) | IT963874B (de) |
NL (1) | NL154613B (de) |
SU (1) | SU640685A3 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0122051A1 (de) * | 1983-03-10 | 1984-10-17 | GTE Products Corporation | Dosierverfahren für eine ungesättigte Natriumhochdrucklampe |
DE102007050289A1 (de) * | 2007-10-18 | 2009-04-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | Carbonstrahler mit Getter |
Families Citing this family (56)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4146497A (en) * | 1972-12-14 | 1979-03-27 | S.A.E.S. Getters S.P.A. | Supported getter |
US4210471A (en) * | 1976-02-10 | 1980-07-01 | Tdk Electronics, Co., Ltd. | Permanent magnet material and process for producing the same |
JPS52146478U (de) * | 1976-04-30 | 1977-11-07 | ||
DE2635262C2 (de) * | 1976-08-05 | 1983-04-28 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Sonnenkollektor mit einer evakuierten Abdeckung |
US4213803A (en) * | 1976-08-31 | 1980-07-22 | Tdk Electronics Company Limited | R2 Co17 Rare type-earth-cobalt, permanent magnet material and process for producing the same |
US4131511A (en) * | 1977-02-04 | 1978-12-26 | Combustion Engineering, Inc. | Nuclear fuel element |
IT1198325B (it) * | 1980-06-04 | 1988-12-21 | Getters Spa | Struttura e composizione getteranti,particolarmente adatti per basse temperature |
NL8201750A (nl) * | 1982-04-28 | 1983-11-16 | Philips Nv | Inrichting voorzien van een geevacueerd vat met een getter en een getterhulpmiddel. |
IT1201945B (it) * | 1982-05-20 | 1989-02-02 | Getters Spa | Tubazione per il trasporto di fluidi isolata a vuoto e metodo per la sua produzione |
US4428856A (en) | 1982-09-30 | 1984-01-31 | Boyarina Maya F | Non-evaporable getter |
DE3316454A1 (de) * | 1983-05-05 | 1984-11-22 | kabelmetal electro GmbH, 3000 Hannover | Aus zwei oder mehreren konzentrischen rohren bestehendes rohrsystem |
DE3332608A1 (de) * | 1983-09-09 | 1985-03-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Getter-pumpe fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen |
DE3332660A1 (de) * | 1983-09-09 | 1985-03-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen |
DE3500430A1 (de) * | 1984-02-02 | 1985-08-08 | General Electric Co., Schenectady, N.Y. | Getter fuer glueh- und entladungslampen hoher intensitaet |
IT1173865B (it) * | 1984-03-16 | 1987-06-24 | Getters Spa | Metodo perfezionato per fabbricare dispositivi getter non evaporabili porosi e dispositivi getter cosi' prodotti |
IT1173866B (it) * | 1984-03-16 | 1987-06-24 | Getters Spa | Metodo perfezionato per fabbricare dispositivi getter non evarobili porosi e dispositivi getter cosi' prodotti |
GB8412842D0 (en) * | 1984-05-19 | 1984-06-27 | Emi Plc Thorn | Tungsten halogen incandescent lamps |
US4874339A (en) * | 1985-08-09 | 1989-10-17 | Saes Getters S.P.A. | Pumping tubulation getter |
US4691141A (en) * | 1985-10-11 | 1987-09-01 | Gte Laboratories Incorporated | Dosing composition for high pressure sodium lamps |
GB8616148D0 (en) * | 1986-07-02 | 1986-08-06 | Emi Plc Thorn | Discharge lamps |
IT1223450B (it) * | 1987-11-24 | 1990-09-19 | Saeg Getters Spa | Finestra oblo' per forni domestici con superficie esterna a bassa temperatura |
HU207398B (en) * | 1989-05-17 | 1993-03-29 | Tungsram Reszvenytarsasag | Getter composition for light sources |
US5238469A (en) * | 1992-04-02 | 1993-08-24 | Saes Pure Gas, Inc. | Method and apparatus for removing residual hydrogen from a purified gas |
US5382303A (en) * | 1992-04-13 | 1995-01-17 | Sps Technologies, Inc. | Permanent magnets and methods for their fabrication |
IT1255438B (it) * | 1992-07-17 | 1995-10-31 | Getters Spa | Pompa getter non evaporabile |
US5508586A (en) * | 1993-06-17 | 1996-04-16 | Saes Getters S.P.A. | Integrated getter device suitable for flat displays |
US5401298A (en) * | 1993-09-17 | 1995-03-28 | Leybold Inficon, Inc. | Sorption pump |
US5456740A (en) * | 1994-06-22 | 1995-10-10 | Millipore Corporation | High-efficiency metal membrane getter element and process for making |
US5972183A (en) * | 1994-10-31 | 1999-10-26 | Saes Getter S.P.A | Getter pump module and system |
US5685963A (en) * | 1994-10-31 | 1997-11-11 | Saes Pure Gas, Inc. | In situ getter pump system and method |
US5911560A (en) * | 1994-10-31 | 1999-06-15 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system |
US6109880A (en) * | 1994-10-31 | 2000-08-29 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system including focus shields |
US6142742A (en) * | 1994-10-31 | 2000-11-07 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system |
US5610438A (en) * | 1995-03-08 | 1997-03-11 | Texas Instruments Incorporated | Micro-mechanical device with non-evaporable getter |
US5865658A (en) * | 1995-09-28 | 1999-02-02 | Micron Display Technology, Inc. | Method for efficient positioning of a getter |
CA2244122C (en) * | 1996-02-09 | 2003-10-07 | Saes Getters S.P.A. | Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same |
IT1283484B1 (it) * | 1996-07-23 | 1998-04-21 | Getters Spa | Metodo per la produzione di strati sottili supportati di materiale getter non-evaporabile e dispositivi getter cosi' prodotti |
US5931713A (en) * | 1997-03-19 | 1999-08-03 | Micron Technology, Inc. | Display device with grille having getter material |
JP3100131B1 (ja) * | 1998-09-07 | 2000-10-16 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
US6322912B1 (en) | 1998-09-16 | 2001-11-27 | Cabot Corporation | Electrolytic capacitor anode of valve metal oxide |
US6416730B1 (en) * | 1998-09-16 | 2002-07-09 | Cabot Corporation | Methods to partially reduce a niobium metal oxide oxygen reduced niobium oxides |
US6462934B2 (en) | 1998-09-16 | 2002-10-08 | Cabot Corporation | Methods to partially reduce a niobium metal oxide and oxygen reduced niobium oxides |
US6391275B1 (en) | 1998-09-16 | 2002-05-21 | Cabot Corporation | Methods to partially reduce a niobium metal oxide and oxygen reduced niobium oxides |
US7465692B1 (en) | 2000-03-16 | 2008-12-16 | Pall Corporation | Reactive media, methods of use and assemblies for purifying |
US6576099B2 (en) | 2000-03-23 | 2003-06-10 | Cabot Corporation | Oxygen reduced niobium oxides |
IT1318937B1 (it) * | 2000-09-27 | 2003-09-19 | Getters Spa | Metodo per la produzione di dispositivi getter porosi con ridottaperdita di particelle e dispositivi cosi' prodotti |
KR20030046520A (ko) | 2000-11-06 | 2003-06-12 | 캐보트 코포레이션 | 개질된 산소 환원된 밸브 금속 산화물 |
JP2003022744A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Sony Corp | 非蒸発型ゲッター、表示装置およびこれらの製造方法 |
US7655214B2 (en) * | 2003-02-26 | 2010-02-02 | Cabot Corporation | Phase formation of oxygen reduced valve metal oxides and granulation methods |
US7445679B2 (en) * | 2003-05-16 | 2008-11-04 | Cabot Corporation | Controlled oxygen addition for metal material |
US7515397B2 (en) * | 2003-05-19 | 2009-04-07 | Cabot Corporation | Methods of making a niobium metal oxide and oxygen reduced niobium oxides |
US7274840B2 (en) * | 2003-07-23 | 2007-09-25 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Clean and test for fluid within a reflection optical switch system |
DE102009024055A1 (de) | 2009-06-05 | 2010-12-09 | Netzsch-Gerätebau GmbH | Thermoanalysevorrichtung und Thermoanalyseverfahren |
ITMI20111870A1 (it) | 2011-10-14 | 2013-04-15 | Getters Spa | Composizioni di getter non evaporabili che possono essere riattivate a bassa temperatura dopo l'esposizione a gas reattivi ad una temperatura maggiore |
US8971476B2 (en) | 2012-11-07 | 2015-03-03 | Westinghouse Electric Company Llc | Deposition of integrated protective material into zirconium cladding for nuclear reactors by high-velocity thermal application |
ITMI20122092A1 (it) | 2012-12-10 | 2014-06-11 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili riattivabili dopo l'esposizione a gas reattivi |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2368060A (en) * | 1942-01-01 | 1945-01-23 | Bell Telephone Labor Inc | Coating of electron discharge device parts |
BE532147A (de) * | 1953-09-30 | |||
NL93264C (de) * | 1953-09-30 | |||
US2967351A (en) * | 1956-12-14 | 1961-01-10 | Kaiser Aluminium Chem Corp | Method of making an aluminum base alloy article |
US2966736A (en) * | 1958-03-27 | 1961-01-03 | Aluminum Co Of America | Aluminum base alloy powder product |
US3203901A (en) * | 1962-02-15 | 1965-08-31 | Porta Paolo Della | Method of manufacturing zirconiumaluminum alloy getters |
DE1764092C3 (de) * | 1968-04-01 | 1974-01-03 | Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen | Gettervorrichtung zum Einbau in elektrische Entladungsgefäße |
US3657589A (en) * | 1969-10-20 | 1972-04-18 | Getters Spa | Mercury generation |
US3652317A (en) * | 1970-05-01 | 1972-03-28 | Getters Spa | Method of producing substrate having a particulate metallic coating |
US3672789A (en) * | 1970-09-21 | 1972-06-27 | Gen Electric | Hydrocarbon responsive getter ion pump |
-
1972
- 1972-08-10 IT IT28053/72A patent/IT963874B/it active
-
1973
- 1973-07-30 US US383677A patent/US3926832A/en not_active Expired - Lifetime
- 1973-08-08 DE DE2340102A patent/DE2340102C3/de not_active Expired
- 1973-08-08 ES ES417664A patent/ES417664A1/es not_active Expired
- 1973-08-08 JP JP8857673A patent/JPS531141B2/ja not_active Expired
- 1973-08-09 FR FR7329199A patent/FR2327817A1/fr active Granted
- 1973-08-09 CA CA178,387A patent/CA988911A/en not_active Expired
- 1973-08-09 SU SU731946353A patent/SU640685A3/ru active
- 1973-08-10 NL NL737311090A patent/NL154613B/xx not_active IP Right Cessation
- 1973-08-10 GB GB3799473A patent/GB1432030A/en not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0122051A1 (de) * | 1983-03-10 | 1984-10-17 | GTE Products Corporation | Dosierverfahren für eine ungesättigte Natriumhochdrucklampe |
DE102007050289A1 (de) * | 2007-10-18 | 2009-04-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | Carbonstrahler mit Getter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT963874B (it) | 1974-01-21 |
CA988911A (en) | 1976-05-11 |
US3926832B1 (de) | 1984-12-18 |
ES417664A1 (es) | 1976-06-01 |
JPS531141B2 (de) | 1978-01-14 |
DE2340102A1 (de) | 1974-02-21 |
JPS5036068A (de) | 1975-04-04 |
DE2340102C3 (de) | 1985-01-31 |
US3926832A (en) | 1975-12-16 |
FR2327817A1 (fr) | 1977-05-13 |
GB1432030A (en) | 1976-04-14 |
NL7311090A (de) | 1974-02-12 |
FR2327817B1 (de) | 1978-05-05 |
NL154613B (nl) | 1977-09-15 |
SU640685A3 (ru) | 1978-12-30 |
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