DE2500340A1

DE2500340A1 - Wandgefuege fuer vakuumgefaesse

Info

Publication number: DE2500340A1
Application number: DE19752500340
Authority: DE
Inventors: Tiziano Giorgi; Paolo Della Porta
Original assignee: SAES Getters SpA
Current assignee: SAES Getters SpA
Priority date: 1974-01-07
Filing date: 1975-01-07
Publication date: 1975-07-17
Also published as: GB1490311A; US3980446A; IT1009546B; FR2257052B3; JPS50119562A; NL7500164A; FR2257052A1

Description

DR. MÜLLER-BORE DIPL.-ING. QROENING niPL.-CHEM. DR. DEUFEL

DIPL.-CHEM. DR. SCHÖN DIPL.-PHYS. H E RTE L

PATENTANWÄLTE

G 17/33 Mü/th

S.A.E.S. Getters S. p. A. Mailand / Italien

Wandgefüge für Vakuumgefaße

Priorität:

Italien

Nr. 19142 A/74

7. Januar 1974

509829/0857

Dr. Müller-Born Dipl.-lng. Groenlng · Dr. Deufel · Dr. Sct-ön - Dipl.-Phys. Herte!

33 Braunschweig, Am Bürgerpark 8 8 München 22, Robert-Koch Straße

Telefon {0531} 7 38 87 Telefon (089) 29 36 45, Telex 5-22 050 mbpat. <abel: Muebopat München

Bank: Zerrtratkasse Bayer. Volksbanken München, Kto.-Nr. 9822 - Poetscheck: München 954 m -

Die Erfindung betrifft den Aufbau eines Wandgefügea für Vakuumgefäße, Vakuumröhren und dergleichen und bezieht sich insbesondere auf den Aufbau von Wandmaterialien für Hochvakuumgefäße, wie sie etwa für Elektronenröhren und Teilchenbeschleuniger benötigt werden.

In vielen Vorrichtungen wird vom Fluß molekularer, atomarer oder subatomarer Partikeln in einer steuerbaren Umgebung Gebrauch gemacht. Die Umgebung kann ein Vakuum oder ein Gas unter bestimmtem Druck sein, je nach der Punktion der speziellen Vorrichtung. Die Teilchen selbst können Elektronen oder elektrisch geladene Ionen oder Moleküle sein. Diesen Vorrichtungen ist im allgemeinen eine Einrichtung zur Beschleunigung der Partikel etwa eine Anordnung von Elektroden zugeordnet, deren Potentiale bekannt sind. Häufig werden auch magnetische Felder verwendet.

Wie immer die Natur der Partikel beschaffen ist, werden diese für gewöhnlich in Bewegung gesetzt bzw. beschleunigt und besitzen damit eine bestimmte kinetische Energie.

In einigen Fällen läßt man zur Erreichung bestimmter gewünschter Funktionen Primärpartikel auf ein Target auftreffen. Bei Elektronenröhren beispielsweise werden die von einer Kathode emittierten Elektronen durch ein elektrisches Potential beschleunigt und gewinnen so eine bestimmte kinetische Energie, werden dann eventuell auf einer Anode gesammelt, wobei die kinetische Energie der Elektronen wenigstens teilweise in andere Energieformen umgesetzt wird.

In anderen Fällen können die Partikel von ihrem gewünschten Weg abweichen und auf Flächen in der Vorrichtung auftreffen, die eigentlich nicht mit solchen Teilchen beaufschlagt werden sollten. Dies ist häufig bei Vorrichtungen der Fall, die als

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Teilchenspeiohervorrichtungen oder Beschleuniger bekannt sind, etwa "bei Zyklotrons, Betatrons usw.. Der gesteuerte Strahl der Partikel kann außerdem mit Molekülen oder Atomen der Restgasatmosphäre in der Vorrichtung kollidieren und bewirken, daß diese Moleküle oder Atome inunerwünschter Weise auf bestimmte Flächen im Inneren der Vorrichtung auftreffen·

Trifft ein !Teilchen auf eine Fläche auf, so können verschiedene Phänomene auftreten, je nach der kinetischen Energie und Beschaffenheit des Teilchens und der Fläche. Die kinetische Energie des Teilchens kann in Schwingungen des die getroffene Fläche bildenden Atomgitters umgesetzt werden, was zu einer Erwärmung führt. Die Energie des Teilchens kann dabei nur auf ein Atom oder wenige Atome des beaufschlagten Släehengitters übertragen werden, wobei diese Atome aus der Verankerung in der Fläche herausgelöst werden können. Die herausgelösten Atome können sioh auf anderen Flächen in der Vorrichtung niederschlagen. Dieses Phänomen ist als Sprüheffekt ijterSpratzen bekannt und für gewöhnlioh unerwünscht. Ein auftreffendes Teilchen kann auch zur Re-Emission geladener Teilchen von der Fläche aus führen. Dieser bekannte Effekt wird als Elektronensekundäremission bezeichnet. Auch diese Sekundäremission ist sehr oft unerwünscht. Dazu alternativ können die Teilchen auch einfaoh reflektiert werden. An einer so getroffenen Fläche, die erwünsoht oder unerwünscht durch Teilchen beaufschlagt wird, können sich unerwünschte Effekte auslösen.

In einer parallelen Patentanmeldung mit gleichem Anmeldetag und von der gleichen Anmelderin werden Materiälkörper, sogenannte Teilchenfallen, zum Auffangen von geladenen Partikeln beschrieben. Das Material dieser Teilchenfallen besteht im wesentlichen aus einem Material mit dreidimensionaler Netzwerkstruktur, indem eine Vielzahl von untereinander verbundener freier Zellen

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auageMldet iat, so daß ein großer Anteil der auf die Oberfläche dea Netzwerkmaterials auftreffenden geladenen Partikel erat im Inneren dieaea Netzwerkmateriala auf das Material aelbst auf tr if ft, daa da a Netzwerkgefüge "bildet. Die erst unterhalb der Oberfläche dea Netzwerkmaterials auf das Material selbst

auftreffenden geladenen Partikel bewirken beiapielaweise eine Sekundärelektronenemiaaion. Die dabei unterhalb der Materialoberfläche erzeugten Sekundärelektronen können jedoch nur zu einem geringen Teil über die Oberfläche in den evakuierten Raum austreten, da aie weitgehend durch Kollision mit dem umgebenden Netzwerk eingefangen bleiben.

In der Praxia müssen solche Teilchenfallen sehr vorsichtig bearbeitet werden, bevor sie in einer gewünschten Form an einer bestimmten Position angebracht werden können. Schwierigkeiten können sich auch bei der starren Befestigung der Teilchenfalle in dem Vakuumgefäß dadurch ergeben, daß unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten dea für die Wände dea Vakuumgefäßea verwendeten Materials und des Materiala für die Teilchenfalle vorliegen. Die Befeatigung mittels Schrauben oder ähnlicher Vorrichtungselemente kann zu Spannungen in den Gefäßwänden und in extremen Fällen zu Undichtigkeiten bzw. zum Bruch des Vakuumgefäßea oder auch zu Verformungen an der Teilchenfalle führen.

Eine weitere Schwierigkeit ergibt aich bei vielen Vakuumgefäßen bei der Herateilung und Aufrechterhaltung einea gewünschten hohen Vakuumgrades. Bei großen Vakuumgefäßen,etwa bei Teilchenbeschleunigern werden viele Vakuumpumpen benötigt, die um das Gefäß angeordnet werden. Gleichwohl kann sich im Abstandsraum zwischen zwei Pumpvorrichtungen im Inneren des Gefäßes ein relativ hoher Druckbereich von Gasen ausbilden, die von der Gefäßwandung abgegeben werden und zwar aufgrund des Abstandes, der diesen Bereich von der nächstliegenden Pumpe trennt, obgleich

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die Pumpe während des normalen ArbeitsgangBs der Vakuumvorrichtung, die das Gefäß mit einschließt, kontinuierlich arbeitet. Pur andere Valcuumgefäße kann es nicht erwüitscht sein, die Pumpen nach der anfänglichen Erzeugung des gewünschten Vakuums weiter zu betreiben. Es ist dann schwierig, sicherzustellen, daß dieses Vakuum während des Betriebes der Valraumvoriichirung, die das Vakuumgefäß umfaßt, aufrechterhalten bleibt.

Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrtmä^,, ein Wandgefüge

,mit

für Vakuumgefäße zu schaffen,/dem die aufgezeigten Schwierigkeiten der bisher bekannten Wandgefüge für solche Vakuumgefäße beseitigt werden können. Insbesondere sollen sich mit dem zu schaffenden Vandgefüge die Probleme des Spratzens und die Folgen von Sekundärelektronenemission beseitigen lassen. Das Wandgefüge soll außerdem zur Sorption von Gasen geeignet sein.

Die Lösung dieser technischen Aufgabe ergabt sich erfindungsgemäß durch die im Patentanspruch 1 angegebep.eh Maßnahmen, deren vorteilhafte Weiterbildungen in' Unteranöprüohen gekennzeichnet sind. '..■■■■

Ein erfindungsgemäßes Wandgefüge für Vakuuagefäße, Vakuumröhren und dergleichen weist eine durchgehende "Metall- oder Keramikschicht als vakuumdichte Umgrenzung auf ufiä dieee Metall- oder Keramikschicht ist zu einem integralen Körper durch ein dreidimensionales Netzwerkmaterial ergänzt, das eine Vielzahl von untereinander verbundener freier Zellen aufweist. Wahlweise kann wenigstens ein Teil der untereinander Verbundenen freien Zellen ein bestimmtes Getter-Material enthalten,

Materialien, die sich zu dreidimensionalen Setzwerken verarbeiten lassen, sowie Verfahren zu deren Herstellung sind beispielsweise in den GB-PSn 1 263 704 und 1 289 690 sewie in der US-PS 3 679 552 beschrieben. -

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Diese dreidimensionalen Netzwerke sind in der Vergangenheit zum Auffangen von in der Luft enthaltenen Partikeln etwa Staub oder Pollen verwendet worden. Wahrscheinlich wirken sie dabei auf die Strömungs- oder Fließcharakteristika der den Staub enthaltenden Luft ein und wirken als mechanisches Filter, da die Porengröße des Filters kleiner ist als die Größe der Staubpartikel. Wie immer die Staubpartikel eingefangen werden, sie treffen auf das Netzwerk mit so niedriger Energie pro Masseneinheit auf, daß Sekundäremissions- und/ oder Spratzeffekte nicht möglich sind. Es wurde nun gefunden, daß ein als dreidimensionales Netzwerk aufgebauter Körper mit einer Vielzahl untereinander verbundener freier Zellen, der durch molekulare, atomare oder subatomare Partikel mit ausreichender Energie, um Sekundäremission oder Spratzen auszulösen, beaufsohlagt wird, diese Sekundäremissions- und Spratzeffekte wesentlich reduziert ' im Vergleich zu herkömmlich verwendeten Flächen für diesen Zweck.

Ganz allgemein kann der als Teilchenfalle gemäß der Erfindung zu verwendende Körper aus einem Material bestehen, das sich in dreidimensionaler Struktur mit einer Vielzahl von untereinander verbundener freier Zellen herstellen läßt. Das Material aollte jedoch den Herstellungs- und Verwendungsbedingungen in der Vorrichtung widerstehen können, in der die betreffende Fläche vorgesehen ist.

Als Beispiele für Materialien, die sich als dreidimensionales Netzwerk verwenden lassen, sei auf Graphit, Kupfer, Nickel, Chrom, Eisen, Titan, Wolfram, Kobalt, Molybdän und/oder auf Legierungen aus diesen Materialien und/oder mit anderen Materialien hingewiesen.

Im .allgemeinen ist die Zellengröße des Materials so, daß eine Herstellung des für den Körper der Teilchenfalle zu verwendenden

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Materials auf möglichst einfache Weise möglich ist. Vorzugsweise ist die Zellengröße kleiner ala vier Zellen pro Zentimeter und vorzugsweise kleiner als zehn Zellen pro Zentimeter.

Bei geringerer Anzahl von Zellen pro Zentimeter ist der Körper der Teilchenfalle zu durchlässig und nicht in der Lage, Primärpartikel zu sammeln, es sei denn "bei übermäßiger Dicke des dreidimensionalen Netzwerkes, das den Teilchenfallen "bildenden Körper "bildet. Es gibt grundsätzlich keine Obergrenze für die Anzahl von Zellen pro Zentimeter, abgesehen von jenen, die durch die Technologie der Herstellung für das dreidimensionale Netzwerk vorgegeben sind.

Die gegenwärtige Grenze liegt bei etwa 80 Zellen pro Zentimeter, es ist jedoch kein Grund ersichtlich, der die Verwendung von netzwerkartig strukturierten Materialien hindern würde, die eine höhere Anzahl von Zellen pro Zentimeter aufweisen.

Passiert ein Primärteliehen die Fläche, die das Volumen für das dreidimensionale Netzwerk umgrenzt, so trifft es im allgemeinen nicht direkt auf das das Netzwerk bildende Material auf, sondern durchläuft einen Teil der freien Räume. Nach einem gewissen Abstand unter der Oberfläche trifft das Primärteilchen auf das das Netzwerk bildende Material auf und je nach Beschaffenheit des Primärteilchens, seiner Energie und der Beschaffenheit des Materials des Netzeerks bewirkt es unterschiedliche Erwärmungsgrade, Spratzen- und/oder Sekundärteilphenemission. Dieses Spratzen oder die Sekundärteilohenemissiön findet nun jedoch in einem Bereich statt, der mindestens zum Teil durch das dreidimensionale Netzwerk umschlossen ist. Es ist daher ziemlich wahrscheinlich, daß die Sekundärpartikel mit dem Material der Netzwerkstruktur kollidieren, anstatt über die Oberfläche zu entkommen. Auf diese Weise werden die herausgeschlagenen Atome

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oder emittierten Partikel wirksam eingefangen. Es sei bemerkt, daß ein "bestimmter Prozentsatz der Primärpartikel auch auf das das Netzwerk bildende Material in einem Bereich nahe der Oberfläche auftrifft, die das Volumen umgrenzt, das das Netzwerk enthält. Dieser Prozentsatz liegt im allgemeinen jedoch nicht höher als 10 bis 20 fo der ursprünglich (auf die Fläche gerichteten) Primärpartikel. Der tatsächliche Prozentsatz hängt von der Dicke der einzelnen Arme oder Stege des Netzwerkes relativ zur Zellengröße ab. Ein Maß für dieses Verhältnis ist gegeben durch das Verhältnis der scheinbaren Dichte des dreidimensionalen Netzwerkes zur Dichte bzw. Schüttdichte des das Netzwerk bildenden Materials. Das Verhältnis dieser scheinbaren Dichte zur Dichte des Materials sollte zwischen 1 : 2 und 1 : 100, vorzugsweise zwischen 1 : 5 und 1 : 50, liegen. Bei niedrigen Verhältnissen der scheinbaren Dichte des Netzwerkes zur Dichte des Materials liegt eine geringe Porosität vor. Ein solches Material ist nicht in der Lage, einen ausreichenden Anteil der Primärpartikel einzufangen, so daß Spratzen und Sekundärpartikelemission auftreten. Ist das Verhältnis der scheinbaren Dichte zur Dichte des Materials zu hoch, so weist das Netzwerk hohe

Porosität auf, so daß eine übermäßige Dicke des Netzwerkmaterials erforderlich ist, um die Primärpartikel in ausreichendem Maße einfangen zu können.

Das Netzwerkmaterial kann mit der Metall- oder Keramil^unterläge auf jede geeignete Weise verbunden sein. Beispielsweise können die Metallunterlage und das Netzwerkmaterial erwärmt und dann so gemeinsam verpreßt werden, daß eine Verschweißung an den Kontaktpunkten eintritt.

Dazu alternativ kommt auch eine kalte Priktionsschweißung oder eine Elektroschweißung in Präge, bei der ein elektrischer Strom duroh die Unterlage /Netzwerk-Anordnung geschickt wird,

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so daß ein Verschweißen an den. Kontaktpunkten eintritt.

Ein äußerer Abschnitt der Zellen kann mit.einem Metall-oder Keramikpulver gefüllt werde.n, so daß nach einem Sintervorgang eine kontinuierliche, ein integrales Ganzes mit dem Metzwerk bildende Schicht erzeugt wird. Diese Schicht kann nachfolgend gewünschtenfalls zusätzlich mit einer Metallschicht elektroplatiert werden, um jegliche Porosität zu "beseitigen·

Diesen Verfahrensabschnitten können die Unterlage und das Netzwerk bereits in ihrer gewünschten Badfatm unterworfen werden oder das hergestellte Wandgefüge kann als flaches Band vorliegen und nach dieser Behandlung geschnitten oder in die gewünschte Form des jeweiligen Wandgefügestückes gebracht werden.

Das Wandgefüge kann wahlweise auch als Halterung für ein Getter-Material verwendet werden, wie es beispielsweise in der DT-OS 2 361 532 beschrieben ist, um dadurch-einen gewünschten Vakuumpegel in dem evakuierten Gefäß sicher aufrechtzuerhalten. Obgleich es möglich ist, ein Gettet^-Äterial an irgendeiner geeigneten Stelle im Inneren des Vakuumgefäßes anzuordnen und zu haltern, kann es von besonderem Vorteil sein, dazu das erfindungsgemäße Wandgefüge .heranzuziehen. Auf diese Weise wird das Getter-Material selbst davor geschützt, durch bestimmte Partikel beaufschlagt zu werden, die eine Sekundäremission oder Spratzen auslösen könnten.

Diese Getter-Materialien umfassen g,ewö*hnlich Metalle oder Metall-Legierungen oder Zusammensetzungen entweder allein oder in Mischung oder in Mischung mit anderen Materialien.

Beim Betrieb sorbieren solche Getter-Materialien entstehende Gase und bilden dabei chemische Zusammensetzungen auf der Oberfläche des Getter-Materials. Verbleiben diese Zusammensetzungen auf der Oberfläche des Getter-Materials, ao erhöhen

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sie im allgemeinen den Grad der Sekundäremission im Vergleich zu dem noch nicht umgesetzten Getter-Material . Dieser Fachteil der Verv/endung von Gettern läßt sich beträchtlich vermindern, wenn das Getter-Material in die Netzstruktur des Wandgefüges eingebracht wird. Beispiele geeigneter Getter-Materialien sind ebenfalls in der bereits erwähnten DT-OS 2 361 532 beschrieben.

Besonders geeignete Getter-Materialien umfassen:

1. ein pulverisiertes nicht-verdampfendes Getter-Metall, das mindestens ein Metall aus der Gruppe Zr, Ta, Hf, Nb, Ti, Th und U einschließt, und

2. ein pulverförmiges Anti-Sintermaterial, wobei das Gewichtsverhältnis von 1 . zu 2. im Bereich von 20 : 1 zu 2 : 1 liegt.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung in beispielsweiser Ausführungsformen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die stark vergrößerte Querschnittsdarstellung eines Wandgefüges für Vakuumgefäße mit Merkmalen nach der Erfindung;

Pig. 2 die Querschnittsdarstellung einer anderen Wandstruktur für Vakuumgefäße gemäß der Erfindung; und

Fig. 3 die Schnittdarstellung eines weiteren Wandgefüges für Vakuumgefäße mit erfindungsgemäßen Merkmalen.

In Pig. 1 ist mit Bezugshinweis 10 ein Wandgefüge für ein Vakuumgefäß bezeichnet. Dieses Wandgefüge besteht aus einer

geschlossenen Metallschicht 11 und einem darauf aufgebrachten Material 12 mit dreidimensionaler Netzwerkstruktur. Die Stege oder Verbindungsstreben 13, 13', 13" des Netzwerkes 12 umgrenzen offene Flächen 14, 14' usw., zwischen untereinander

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verbundener Zellen 15, 15' usw#. im Inneren des dreidimensionalen Netzwerkes 12.

Die durchgehende Metallschicht-. 11 weist eine erste Fläche 16 auf, die allgemein die Außenfläche .darstellt^ d. h. diese Fläche befindet sich auf dem hinsichtlich des Vakuumgefäßes höheren Druckniveau. Eine zweite Fläche 17 liegt im allgemeinen auf der Innenseite und befindet sioh demnach auf der Seite des niederen Druckes des Vakuumgefäßes. Mit der zweiten Fläche 17 ist das dreidimensionale Netzwerk 12 an verschiedenen Punkten 18, 18·, 18" usw. verbunden, die die Durchstoßbzw. Schnittpunkte des dreidimensionalen"Netzwerkmaterials 12 mit der Ebene der Metallschicht 11 bilden. Das Netzwerk 12 weist von der Fläche 17 aus eine bestimmte Stärke auf, und auf die in Fig. 1 oberer Begrenzungsfläche 19 treffen die beschleunigten Partikel auf.

Fig. 2 zeigt ein Wandgefüge 20, das dem Ö-efüge 10 der Fig. 1 ähnlich ist. In diesem Fall jedoch dient das dreidimensionale Netzwerk 22 als Halterung für ein Getter-Material 21, das mit der zweiten Fläche 23 einer gesinterten Keramikschicht 24 in Verbindung steht. Die Fläche 2*5 gibt die Diokenausdehnung des Getter-Materials 21 an und liegt zwischen der Fläche 23 und der oberen Begrenzungsfläche 26 des dreidimensionalen Netzwerkes 22, über die die beschleunigten Partikel in das Netzwerk eintreten bzw. auf dieses auftreffen,

Fig. 3 zeigt den Längsschnitt eines Rohrelementes 30, das innenseitig mit einem dreidimensionalen Netzwerkmaterial 31 versehen ist, und dessen Außenfläche 32 vakuumdicht ist. Das Netzwerk 31 weist eine Innenfläche 33 auf. Zwischen der Innenfläche 33 und der Außenfläche 32 ist ein pulverförmiges Getter-Material 34 so eingebracht, daß die Oberfläche 35 dieses Getter-Materials 34 unterhalb der Innenfläche 33 des Getter-Materials 34 liegt. An den Enden des Rohrelementes 30 sind Dichtungen 35, 35' befestigt.

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Claims

JlX

Patentansprüche

Wandgefüge für Vakuumgefäße, Vakuumröhren und dergleichen, gekennzeichnet durch eine erste Schicht (11; 24; 32) aus Metall oder Keramik und durch eine auf die erste Schicht aufgebrachte zweite Schicht (12; 22; 33) aus einem Material mit dreidimensionaler Netzwerkstruktur, dae eine Vielzahl von untereinander verbundener freier Zellen (15) aufweist.
2. Wandgefüge nach Anspruch- 1, gekennzeichnet durch ein in wenigstens einen Teil der freien Zellen des Materials mit Netzwerkstruktur eingebrachtes nicht-verdampfendes Getter-Material (21 ; 34).
3. Wandgefüge nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zahl der freien Zellen in dem Netzwerkmaterial über vier pro Zentimeter liegt.
4. Wandgefüge nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zahl der freien Zellen in dem Netzwerkmaterial über zehn

pro Zentimeter liegt.
5. Wandgefüge nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Netzwerkmaterial aus einer Gruppe von Metallen ausgewählt ist, die Cu, Ni, Gr, Pe, Ti, Co, Mo und/oder Legierungen dieser Metalle und/oder mit anderen Metallen umfaßt.
6. Wandgefüge nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis der scheinbaren Dichte des Netzwerkmaterials zur Dichte des das Netzwerk bildenden Materials zwischen 1 : 2 und 1 : 100 liegt.

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7. Wandgefüge nach, einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die scheinbare Dichte des Netzwerkmaterials zur Dichte des das Netzwerk bildenden Materials zwischen 1 : 5 und 1 : 50 liegt.
8. Wandgefüge nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Gettermaterial ein pulverisiertesnicht-veräampfendes Getter-Metall umfaßt, das wenigstens eines der aus der Gruppe Zr, Ta, Hf, Fb, Ti, Th und XT auswählbaren Metalle enthält.
9· Wandgefüge nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Getter-Material ein pulverförmiges Anti-Sintermateriäl enthält.
10. Wandgefüge nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Gewichtsverhältnis des Getter-Metalls zu dem Anti-Sintermaterial im Bereich von 20 : 1 zu 2 ; 1 liegt.
11. Wandgefüge nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke des in das Material mit dreidimensionaler Netzwerkstruktur eingebrachten Getter-MaterlaIs kleiner ist als die Stärke der Materialschicht rniΐ'Netzwerkstruktur und die Begrenzungsf lache' zwischen der ersten Schicht und dem Material mit Netzwerkstruktur berührt.

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