DE1207515B - Drehanode fuer Roentgenroehren mit einem Belag ausserhalb der ringfoermigen Brennfleckbahn sowie Verfahren zum Herstellen des Belages - Google Patents
Drehanode fuer Roentgenroehren mit einem Belag ausserhalb der ringfoermigen Brennfleckbahn sowie Verfahren zum Herstellen des BelagesInfo
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- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
- H01J35/105—Cooling of rotating anodes, e.g. heat emitting layers or structures
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. α.:
HOIj
Nummer:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
T 25081 VIII c/21g
16. November 1963
23. Dezember 1965
16. November 1963
23. Dezember 1965
Die Erfindung bezieht sich auf eine Drehanode für Röntgenröhren und befaßt sich mit einer Verbesserung,
mit welcher gleichzeitig die Abkühlung der Anode und die Stabilität des Betriebes dieser
Röhre erreicht werden können, und zwar mit Hilfe der Anode, welche eine Absorption der von den
innerhalb der Röhre befindlichen metallischen Teilen frei gewordenen Gasdämpfe bewirkt.
Es ist bekannt, daß die drehbar gelagerten Anoden von Röntgenröhren aus einer Wolframscheibe bestehen,
welche auf einer auf Kugellagern gelagerten Achse angeordnet ist und überdies im Inneren der
Röhre den Rotor eines Elektromotors trägt, welcher aus einem Kupferzylinder besteht. Die Anode ist in
der Nähe ihrer Peripherie ringförmig oder spurförmig· ausgestaltet, wobei diese Ausbildung während
der Drehbewegung von dem Bündel der Kathodenstrahlen getroffen wird, deren nahezu gesamte Energie
in Wärme umgesetzt wird.
Die Abfuhr dieser Wärme, welche von der Anode im wesentlichen durch Strahlung nach dem Stefan-Boltzmannschen
Gesetz
W= σ jT*dF
erfolgt, stellt eine der großen Schwierigkeiten bei der Konstruktion von Röhren mit drehbar gelagerten
Anoden dar. Die oben aufgeführte mathematische Formel zeigt, daß eine Erhöhung der Wärmeemission
durch Strahlung der Anode lediglich durch Vergrößerung der Fläche F oder durch Vergrößerung
des Wärmestrahlungskoeffizienten α erreicht werden kann. Eine Vergrößerung der Oberfläche z. B. durch
Sandstrahlen oder durch Angriff chemischer oder elektrochemischer Mittel führt zu keinen vernünftigen
Ergebnissen. Es gibt auch Oberflächenbehandlungsverfahren, welche darauf abzielen, die thermische
Strahlungsemission zu erhöhen, z. B. durch Aufbringen einer dünnen Schicht auf der Oberfläche
der Anode, wobei Werkstoffe verwendet werden, welche eine größere Strahlungsemissionsfähigkeit als
Wolfram besitzen, z. B. hitzebeständige Kohlenstoffverbindungen, gewisse Metalloxyde oder andere
Metalle, z. B. Rhenium. Es ist auch möglich, die Oberfläche mit Hilfe einer Oberflächenaufkohlung zu
schwärzen.
Es ist bereits bekannt, die thermische Emission der Wolframanoden mit Hilfe eines Filmes zu
erhöhen, welcher aus gesintertem Molybdän-, Zirkonium-, Thorium-, Vanadium-Tantal-Nickel-
und Eisenpulver besteht. Indes führt die Verwendung eines Filmes aus Tantal insofern zu keinem
Drehanode für Röntgenröhren mit einem Belag
außerhalb der ringförmigen Brennfleckbahn sowie Verfahren zum Herstellen des Belages
außerhalb der ringförmigen Brennfleckbahn sowie Verfahren zum Herstellen des Belages
Anmelder:
S. A. Tubix, Paris
Vertreter:
Dipl.-Ing. A. Polzer, Patentanwalt,
Hannover, Königstr. 23
Als Erfinder benannt:
Pierre Aristide Nineuil,
Le Vesinet, Seine-et-Oise (Frankreich)
Beanspruchte Priorität:
Frankreich vom 30. Januar 1963 (923 195)
positiven Ergebnis, als Tantal eine ungleich geringere thermische Emissionsstärke als Wolfram besitzt.
Die Verwendung von Filmen, welche aus gesintertem Zirkoniumpulver oder anderen Metallpulvern
besteht, die einen gegenüber Wolfram niedrigeren Schmelzpunkt besitzen, ermöglicht es, die thermische
Emissionsstärke der Anode zu erhöhen. Wegen der Absenkung des Schmelzpunktes der die Anode abdeckenden
Oberflächenschicht wird jedoch die Betriebstemperatur und damit die Möglichkeit eines
ununterbrochenen Betriebes der Röhre herabgesetzt. Es ist ferner bekannt, die Wolframanoden mit
einem Belag aus Tantalkarbid oder mit einer Mischung aus Tantalkarbid und Zirkoniumkarbid
oder Nickelkarbid zu beschichten. Diese Schichten werden jedoch durch das auf die Anode während
des Betriebes der Röhre auftreffende Elektronenbündel großer Energie zum Zerfall gebracht. Dabei
wird sublimierter Kohlenstoff frei und der Belag der Anode zerstört.
509 759/431
Andererseits ist es bekannt, daß sämtliche metallischen Teile, welche im Inneren der Röhre enthalten
sind, keineswegs von sämtlichen Gasen befreit werden können, die im Augenblick der Evakuierung der
Röhre eingeschlossen sind, da die Evakuierung nicht bei einer genügend hohen Temperatur durchgeführt
werden kann. Während des Betriebes der Röhre gibt das Freiwerden der Gase Veranlassung zu
der Entstehung nachfolgender Phänomene, welche zu einer Zerstörung der Röhre führen:
1. Ionenbogen oder Ionenentladungen entstehen zwischen der Kathode und der mit den Elektronen
beaufschlagten Bahn auf der Anode, welche eine Metallisierung des Glases in der benachbarten Zone
der beiden Elektroden hervorrufen, wobei die Existenz dieser Bogen durch aus dem Metall herausgerissene
Teile nachweisbar ist.
2. Die Ionenentladungen machen eine große Wärmemenge frei, welche die innere Wandung des
Glases härtet, auf welcher man die Bildung eines ao »Mosaiks« feststellen kann.
3. Der Ionenfluß auf die Kathode bewirkt eine Reemission von Elektronen, die beim Erreichen der
Anode ungebündelte Röntgenstrahlen entstehen lassen, welche die Qualität des Röntgenbildes beeinträchtigen.
Überdies bewirkt der zusätzliche Elektronenstrom einen Spannungsabfall an den Klemmen der Röhre,
so daß die erzeugten Röntgenstrahlen nicht der auf die Röhre aufgebrachten Spannung entsprechen.
Es ist bekannt, daß Zirkonium in Röntgenröhren die Rolle eines Getters spielen kann. Zu diesem
Zwecke hat man — unabhängig von der Beschichtung der Anode mit Zirkonium, was nach vorstehenden
Überlegungen unzweckmäßig ist — bereits im Inneren der Röhre Zirkoniumstücke an der Drehanode
angebracht, welche gegebenenfalls auf Trägern gelagert sind, die aus Tantal bestehen.
Die Erfindung hat eine mit einem Belag beschichtete Drehanode zum Ziel, welche die Nachteile der
herkömmlichen Anordnungen vermeidet und mit welcher es möglich ist, gleichzeitig die thermische
Emissionsintensität der Anode zu erhöhen, indem diese Drehanode die Rolle eines Getters spielt. Die
Erfindung betrifft eine Drehanode für Röntgenröhren, bestehend aus einer Scheibe aus Wolfram, welche
außerhalb der ringförmigen, von dem Kathodenstrahlbündel getroffenen Brennfleckbahn einen auf
der Grundlage von Tantal beruhenden und durch Sintern erhaltenen Belag aufweist. Erfindungsgemäß
besteht dieser Belag aus einer Legierung aus Tantal und Zirkonium und/oder Titan, wobei der Tantalanteil
überwiegt.
Nach einer vorzugsweisen Ausführungsform der Erfindung besteht die Legierung aus 75 bis 9O°/o
Tantal und 25 bis 10% Titan und/oder Zirkonium.
Mit der erfindungsgemäßen Anode werden nachstehende Vorteile erzielt:
a) Das Sintern eines derartigen Filmes gestaltet sich wegen der Anwesenheit von Zirkonium oder
Titan ungleich einfacher als in denjenigen Fällen, in welchen lediglich reines Tantal zur Anwendung gelangt,
da Titan und Zirkonium gleichzeitig mit Tantal und Wolfram Legierungen bilden.
b) Dank der hauptsächlichen Verwendung von Tantal ist der Gettereffekt, welcher durch die Verwendung
der Drehanode nach der Erfindung erreicht wird, zufriedenstellend, wobei diese Röntgenröhren
einen Innendruck aufweisen, welcher 15- bis 20mal kleiner als derjenige der herkömmlichen Röhren ist.
Dieser Gettereffekt bleibt über eine lange Zeitspanne hinweg bestehen.
Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Belages.
Dieses Verfahren kennzeichnet sich dadurch, daß die zu behandelnde Fläche der Wolframscheibe mit
einer Mischung aus Tantal und Titan und/oder Zirkonium in pulverförmigem Zustand, suspendiert in
einer organischen Flüssigkeit, z.B. in einer Amylazetat-Kollodium-Lösung
beschichtet wird, wobei keinerlei Spuren von Kohlenstoff nach der Erhitzung übrigbleiben. Die aus Wolfram bestehende, so beschichtete
Scheibe wird zunächst in warmer Luft getrocknet, welche auf eine Temperatur von 80 bis
100° C erwärmt wird. Anschließend daran wird die Scheibe unter Vakuum einer Wärmebehandlung unterworfen,
wobei Temperaturen in der Größenordnung von 1600 bis 1700° C erreicht werden. Vorzugsweise
erfolgt diese Wärmebehandlung durch Elektronenbeschießung, wobei die gewählte Temperatur etwas
kleiner ist als diejenige Temperatur, welche zu Beginn der Bildung der Titan-Tantal- oder Zirkonium-Tantal-Legierung
herrscht. Es bildet sich in diesem Augenblick eine Tantalsinterschicht, in welcher das
Titan und das Zirkonium die Rolle eines Bindemittels spielen, das ein Haften der einzelnen Partikeln
aneinander und an den Wolframteilchen sicherstellt. Die Mischungsverhältnisse der Bestandteile
der verwendeten pulverförmigen Mischung sind vorzugsweise 75 bis 90% Tantal und 25 bis 10%
Titan und/oder Zirkonium.
Damit der Film seine ganze Absorptionsfähigkeit hinsichtlich des zurückbleibenden Gases beim Einführen
der Anode in die Röntgenröhre behält, muß das Sintern in einem geschlossenen Raum durchgeführt
werden, in welchem ein Druck kleiner als 10~5 mm Quecksilber herrscht.
Die Korngrößenbestimmung der verwendeten Metalle wird so gewählt, daß nach dem Sintern eine
rauhe Oberfläche erhalten wird, um auf diese Weise die Wärmestrahlungsfähigkeit durch Vergrößerung
der Oberfläche zu erhöhen.
Claims (4)
1. Drehanode für Röntgenröhren, bestehend aus einer Scheibe aus Wolfram, welche außerhalb
der ringförmigen, von dem Kathodenstrahlbündel getroffenen Brennfleckbahn einen auf der Grundlage
von Tantal beruhenden und durch Sintern erhaltenen Belag aufweist, dadurch gekennzeichnet,
daß der Belag aus einer Legierung aus Tantal und Zirkonium und/oder Titan besteht,
wobei der Tantalanteil überwiegt.
2. Anode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung aus 75 bis 90%
Tantal und 25 bis 10% Titan und/oder Zirkonium besteht.
3. Verfahren zur Herstellung eines Belages nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Körnung der zu diesem Zweck verwendeten pulverförmigen Metalle so gewählt ist, daß nach
dem Sintern eine rauhe Oberfläche erhalten wird.
4. Verfahren zur Herstellung einer Anode mit einem Belag nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Mischung aus Tantal und Titan
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und/oder Zirkonium in Pulverform in Suspen- Sintertemperatur von annähernd 17000C ge-
sion in eine organische Flüssigkeit, z. B. in eine bracht wird.
Amylazetat-Kollodium-Lösung, eingebracht wird,
bei der nach dem Erwärmen keine Spur von In Betracht gezogene Druckschriften:
Kohlenstoff übrigbleibt, anschließend daran in 5 Deutsche Patentschriften Nr. 623 027, 896 234,
warmer Luft getrocknet und schließlich unter 934425;
Vakuum durch Elektronenbeschuß auf eine britische Patentschrift Nr. 741189.
509 759/431 12.65 © Bundesdruckerei Berlin
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