DE2243527A1 - Formkoerper aus homogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Formkoerper aus homogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer herstellung

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Description

Formkörper aus homogenen Mischungen von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid und Verfahren zu ihrer Herateilung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Formköpern aus homogenen Mischungen von Siliciumcarbid mit Siliciumnitrid eventuell im Gemisch mit Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff. Unter Formkörpern im Sinne der Erfindung .-werden aus diesen Mischungen hergestellte Fasern, Fäden, Blättchen,'Pulver, Folien, Überzüge, Schaumkörper usw. sowie die daraus gewonnenen Folgeprodukte wie Matten, Gewebe, Steine, Rohre, Tiegel, Platten, Mantel, Schleifscheiben usw. verstanden. Derartige Formkörper stellen auf Grund ihrer chemischen Zusammensetzung ein bis zu hohen Temperaturen oxydationsbeständiges Material dar. Ihre guten physikalischen Eigenschaften, wie geringe Dichte und ausgezeichnete mechanische Festigkeit, machen sie in Form von Fasern, Fäden und Blättchen für die Verstärkung von Kunststoffen, Gläsern, keramischen Materialien und Metallen sehr geeignet. Entsprechende Überzüge eignen sich zur Auskleidung von gegen Korrosion bei hohen Temperaturen zu schützenden Apparateteilen, während Schaumkörper aus Siliciumcarbid sehr vorteilhaft als temperatur- und korrosionsbeständiges Isolier- und Filtermaterial oder Katalysatorträger verwendet werden können. Rohre, Tiegel, Steine oder dergleichen aus diesen Mischungen eignen sioh wegen ihrer
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guten chemischen Beständigkeit als Hochtemperaturwerkstoffe.
Siliciumcarbid-Endlosfäden lassen sich nach einem bekannten Verfahren dadurch herstellen, daß ein nach herkömmlichen Verfahren hergestellter Kohlenstoff-Faden bei 800 - 120O0C einer Siliciumtetrachlorid-Gasatmosphäre ausgesetzt wird (US-Patentschrift 3 433 725)· Nach einem weiteren bekannten Verfahren werden Siliciumcarbid-Endlosfasern dadurch erhalten, daß ein dünner Wolfram-Faden mit SiIiciumcerbid beschichtet wird, welches sich auf der bei 1200 bis 13000C gehaltenen Wolfram-Oberfläche durch Pyrolyse von Methyldichlorsilan bildet (F. Galasso et al, Appl. Phys. Lett. 9 (1966) 37). Der Nachteil dieser Verfahren besteht darin, daß relativ dicke Siliciumcarbid-Fasern resultieren, die schlecht zu handhaben sind, und deren hoher Herstellungspreis eine breite Anwendung verhindert.
Formkörper wie beispielsweise Rohre, Tiegel, Steine lassen sich nach bekannten Verfahren dadurch herstellen, daß man pulverförmiges Siliciumcarbid unter Zusatz von Siliciumpulver in entsprechenden Formen meist unter Anwendung von hohen Drücken und Temperaturen in Gegenwart von Stickstoff zusammen sintert. Hierbei wirkt das gebildete Siliciumnitrid als Sinterhilfe.
Es ist weiterhin bekannt, durch Pyrolyse einer Mischung aus Siliciumtetrachlorid, Toluol und Wasserstoff Siliciumcarbidüberzüge auf geeigneten Formkörpern herzustellen (K. Moers, Z. anorg. allg. Chem. 198 (1931) 243).
Schaumkörper aus Siliciumcarbid lassen sich nach dem Verfahren der US-Patentschrift 3 100 688 herstellen, indem
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man ein Gemisch von feinverteiltem Silicium- und Kohlenstoff-Staub mit verdünnter Flußsäure zur Reaktion bringt und den sich dabei bildenden Schaumkörper nach Trocknung auf eine Tem]
gas erhitzt°
auf eine Temperatur zwischen HOO und 22000C unter Inert-
Die vorliegende Erfindung .betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus homogenen Mischungen von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid eventuell im Gemisch mit Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff, dadurch-gekennzeich= net, daß man Silazanverbindungen durch>Reaktion eines Halogensilane oder eines Halogensliangemisches mit -Ammoniak bei Temperaturen bis 2000C herstellt,1 diese in Form einer Schmelze oder einer Lösung, gegebenenfalls unter Zusatz von Hilfsstoffen, .zu entsprechenden Formkörpern verarbeitet und diese in inerter Atmosphäre auf Temperaturen zwischen .800 und 20000C erhitzt* Dabei verbleibt ein Formkörperj der aus einer homogenen Mischung von Siliciumcarbid mit Siliciunm-i-= trid und eventuell Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff 'be= stehto Die Formkörper, die nach dem vorliegenden Verfahren erhalten -werden, zeichnen sich durch folgende Zusammensetzung auss - . ■""■-■ Si§ von 30 bis. 70 Gew° f*>, - , · ■ Gs-." 5 ■ M 60 M -Ol . . .- ■, ·-.-.·
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Während bsi ä@n "bisher bekannten Verfahren sur Hsratellung von Porrakörpern im lall® von lasern ein Substra1;=faaen atss KohLenstoff öder Wolfram äiarcb &±n aufwendig·®a Bedampfungs- YQTtBhTBU in eln&n volistäniig ©der. t'eilweia© aus. Si-lioluta= carbid beetelieMeia "faien usgeiiaaäelt werden- WaBiQ9 läßt-; sich durch da β er£ia.duagsg@ffläß@ ?trfalir@n äurefe ¥®r spinnen der SiIazanT®ri3infiuTag@n-land.ns)chfolg@nd©e S©ap®rn auf .■
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einfache Weise ein für Versüärkungszwecke sehr gut geeigneter Faden herstellen. Auch bei der Herstellung anderer Formkörper wie Folien, Überzügen und Schaumkörper entstehen keine Schwierigkeiten, da die Silazanverbindungen im geschmolzenen oder gelösten Zustand hervorragend in Formen unterschiedlichster Gestalt gebracht werden können. Es ist weiterhin von Vorteil, Werkstücke, wie Schleifscheiben, Tiegel, Rohre und Steine nicht mittels herkömmlichen Reaktionssinterverfahren bei sehr hohen Temperaturen herzustellen, sondern Mischungen von Hilfsstoffen, beispielsweise Siliciumcarbid unterschiedlicher Korngröße, mit Silazanverbindungen bei niedriger Temperatur in die gewünschte Form zu verpressen und diese anschließend zu glühen.
Silazanverbindungen sind in großer Zahl bekannt und werden fast ausschließlich durch die Reaktion eines Halogensilane mit einer eine oder mehrere NHp-bzw. NH-Gruppen tragenden Verbindung unter Abspaltung von Halogenwasserstoff hergestellt. Hierbei werden zumeist Silazanverbindungen gebildet, die bei Zimmertemperatur Flüssigkeiten oder schmelzbare Verbindungen darstellen (vgl. z.B. E.A.V. Ebsworth, Volatile Silicon Compounds, Pergamon Press, Oxford, 1963; C. Eaborn, Organ,osilicon Compounds, Butterworths, London 1960; S. 339; U. Wannagat, Advances in Inorg. Chem. and Radiochem. VI, 225 (1964); B.J. Aylett, Silicon-Nitrogen Compounds).
Es besteht aber auch die Möglichkeit, Silazanverbindungen zu erhalten, die bei der Reaktion aus dem Halogensilan und der eine oder mehrere NHp- bew. NH-Gruppen tragenden Verbindung bereits bei einer Temperatur von 20 - 2000C ein vernetztes, höhermolekulares, harzartiges Produkt darstellen. Es handelt sich hierbei um ölige und harzartige
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Silazanverbindungen, deren herstellung durch die Reaktion verschiedener Halogensilane mit Ammoniak bei Zimmertemperatur seit längerer Zeit bekannt ist und innerhalb der US-Patentschrift 2 579 416 und 2 579 417 beschrieben ist. Diese Silazanverbindungen sind Ausgangsstoffe für das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus homogenen Mischungen von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid .
Das für die Bildung geeigneter, harzartiger Silazanverbindungen zu verwendende Halogensilan kann die allgemeine Formel R SiX- haben, wobei R = Wasserstoff, Alkyl, Alkenyl und/oder Aryl, X=F, Cl, Br, J und η = 0, 1, 2, sein kann. Vorzugsweise ist R ein gleicher oder verschiedener Q-i-Cg Rest, insbesondere eine Methyl-, Äthyl-, Propyl-, Vinyl- oder Pheny!gruppe, oder Wasserstoff. Silazanverbindungen, ausgehend von Halogensilanen mit η = 0, 1, 2, 3 und Ammoniak, weisen sehr unterschiedliche Eigenschaften auf. Während Silazanverbindungen, die durch die Reaktion von Halogensilanen mit η = 0 und Ammoniak gebildet werden, zumeist unlösliche, hochvernetzte Produkte darstellen, die beim Erhitzen unter weiterer Kondensation ausschließlich Siliciumnitrid ergeben, bilden sich andererseits bei der Reaktion von Halogensilanen mit η = 3 und Ammoniak zumeist unvernetzte, leichtlösliche Flüssigkeiten oder Festkörper mit definierten Siede- bzw. Schmelzpunkten. Die Reaktion von Halogensilanen mit η = 2 und Ammoniak führt zumeist zu öligen, ring- oder kettenförmig aufgebauten Silazanverbindungen, die sich je nach Art des organischen Restes bereits bei Temperaturen zwischen 20 und 20O0C in höhervernetzte, harzartige Verbindungen umgewandein. Erst die Reaktion von Halogensilanen mit η = 1 und Ammoniak ergibt Silazanverbindungen, die bereits bei Zimmertemperatur vernetzt sind, so daß sie zwar zumeist noch lösliche, aber bereits wenig- oder unschmelzbare
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Produkte darstellen.
Neben der Umsetzung reiner Halogensilane mit Ammoniak besteht natürlich die Möglichkeit, Mischungen verschiedener Halogensilane der Ammonolysereaktion zu unterwerfen: z.B. folgende Mischungen, wobei in Klammern die jeweiligen vorzugsweise verwendeten molaren Verhältnisse angegeben sind: SiX^R3SiX (20-70 Mol-tf / 80-30 MoI-Ji),
SiX4/R2SiX2 ( 0-50 Mo 1-9* /100-50 Mo 1-90,
SiX4/R SiX3 ( 0-30 MoI-Ji /100-70 Mo 1-90, RSiX3/R2SiX2 ( 0-100 Mo 1-96/100- 0 Mo 1-90» RSiX3/R3SiX (50-100 Mol-%/ 50- 0 Mo 1-90 . Es lassen sich aber auch Mischungen von mehr als zwei verschiedenen Halogensilanen der Ammonolysereaktion unterwerfen. Vorzugsweise verwendet werden im Sinne der vorliegenden Erfindung Halogensilane des Typus R2SiX2 und RSiX3, sowie deren Mischungen.
Die Verwendung der Verbindungen dea Typus SiX. und R3SiX in Mischungen, die darüberhinaua auch Verbindungen des Typus RpSiXp und/oder RSiX, enthalten, erfolgt besonders zum Einstellen bestimmter Vernetzungsgrade der resultierenden Silazanverbindungen. In ihrer derartigen Punktion als starke bzw. schwache "Vemetzer" werden sie vorzugsweise in Mengen von 1 bis 80 M0I-96, besonders bevorzugt von 20 Mol-ji, bezogen auf die Gesamt-Halogensilantnischung verwendet. Es lassen sich auf diese Weise den verschiedenen Einsatz-, möglichkeiten entsprechende, mehr oder weniger stark vernetzte Silazanverbindungen erhalten. Auch das Eigenschaftsbild sowie die chemische Zusammensetzung der durch Erhitzen der Silazan-Fortnkörper unter Inertgas erhaltenen Formkörper läßt sich durch Variation der Halogensilane bzw. deren Mischungen in gewünschter Weise verändern.. So wird bei der Reaktion von Methyltrichlorailan mit Ammoniak und Erhitzen der erhaltenen Silazanverbindung unter Intergas
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eine homogene Mischung von ca <> 40 - 60 Gewo fo Siliciumcarbid und 40 - 60 G^v0 fo Siliciumnitrid gebildet, während beim Ersatz von Metliyltrichlorsilan durch Phenyltrichlorsilan eine homogene Mischung von ca. 30 - 40 Gew.-^ Siliciumcarbid,, 30 - 40 Gew. fo Siliciumnitrid und 30 - 40 Gew. Kohlenstoff entsteht. Die gebildeten Formkörper sind röntgenamorph oder haben eine Kristallitgröße von . vorzugsweise-^· 2000 5. Bevorzugt verwendet werden derartige Di- und Trihalogenorganosilane, die ein Silicium-Kohlenstoff-Atomverhältnis von 1 : 1 bis 1 ; 12 haben3 wie beispielsweise Methyltrichlorsilanj, Dimethyldichlorsilan9 Methyldichlorsilan, Ithyltrichlorsilan, Diäthyldichlorsilan» Yinyltrichlorsilan, Phenyltrichlorsilan, Diphenyldichlorsilan, Phenyldichlorsilan und Diphenylchlorsilan. Die Umsetzung von Halogensilan bzw. Mischungen verschiedener Halogensilane mit Ammoniak wird vorzugsweise ' in Lösung durchgeführt. Als Lösungsmittel eignen sich besonders niedersiedende Chlorkohlenwasserstoffe wie Mefejrlen<chlorid, Chloroform oder Tetrachlorkohlenstoff, wobei die Reaktion vorzugsweise bei einer Temperatur von - 20 C bis zum Siedepunkt des Lösungsmittels durchgeführt wird ο Der bei der Reaktion neben der gewünschten Silasanverbindung anfallende Halogenwasserstoff wird als Ämmonium-Halogenid gefällt und kann z.B» durch Filtration abgetrennt werden« Die klaren Silazanlösungen werden bis zu der für die Herstellung des PormkÖrpers notwendigen Konzentration vorteilhaft bei schonenden Bedingungen im Yakuum eingeengt, um eine vorzeitige Kondensation der Silazanverbindung unter Abspaltung von Ammoniak zu vermeiden.
Die SiIazanverbindungen sind in herkömmlichen Lösungsmitteln wie Chlorkohlenwasserstoffen, Aromaten und höheren Alkanen sehr gut löslich, lassen sich jedoch in verdünnter oder konzentrierter form nur schwerlich zu Fasern verarbeiten, da die ^SiIazanverbindungen auf Grund ihrer zum Teil dreidimensionalen Vernetzung keine fsdenbildenden Eigenschaften aufweisen. Die Spinneigenschaft der SiIazan-Le A 14 583 - 7 -
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lösung - als Lösungsmittel werden vorzugsweise Chlorkohlenwasserstoffe verwendet - läßt sich erfindungsgemäß dadurch erzeugen, daß der Lösung linearpolymere, hochmolekulare Hilfsstoffe mit Polymerisationsgraden von über 2.000 in einer Konzentration von 0,01 bis 2 Gewichtsprozent zugesetzt werden. Als linearpolymere Substanzen können Viny!polymerisate, Vinylcopolymerisate, Diolefinpolymerisate, Polyäther, Polythioäther, Polyester, Polyamide und Polypeptide verwendet werden. Als besonders geeignet haben sich Polyäthylenoxid", Polyisobutylen, Polymethylmethacrylat, Polyisopren und Polystyrol erwiesen. Die Silazanverbindung kann in der Spinnlösung eine Konzentration von 10 bis 90 Gewichtsprozent, vorzugsweise von 20 bis 40 Gewichtsprozent, aufweisen. Im einzelnen richtet sich die Konzentration einmal nach dem Vernetzungsgrad der Silazanverbindung, zum anderen nach der Art der in der Silazanverbindung enthaltenen organischen Gruppen. Pur die Herstellung von Formkörpern, wie Folien, Schaumkörper, Tiegel, Steine und dergleichen, ist die Verwendung der linearpolymeren, hochmolekularen Hilfsstoffe nicht notwendig, sie können aber ohne Schaden der Mischung zugesetzt werden.
Nachfolgend wird das vorliegende Verfahren am Beispiel der Faserherstellung genauer beschrieben.
Für das Verspinnen der Silazanlösungen kann ein konventioneller Trockenspinnprozeß angewendet werden. Hierbei wird die Spinnlösung aus einer Spinndüse die vorzugsweise Querschnitte von 50 bis 500 pm besitzt, in einen geheizten Spinnschacht gedrückt und die entstehenden Endlosfaaern werden unter Verzug aufgespult. Beim Durchlaufen der gebildeten Faser durch den Spinnschacht wird das Lösungsmittel ausgetrieben und durch Kondensation unter Abspaltung von Ammoniak entsteht eine im wesentlichen unschmelzbare Silazanfaser. Die SiIazanlöeungen können ferner nach einem Düaenblasverfehren oder einem Zentrifugalspinn-Le A 14 583 - 8 -
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verfahren zu Stapelfasern · >rspönnen v/erden. Es können
, auf diese Weise glänzende, hellgrau gefärbte Pasern mit einem Querschnitt von ca. 10 - 20 mm ersponnen -werden.
Da sich die faserbildende Silazanverbindung bereits beim Spinnvorgang unter Abspaltung von Ammoniak vernetzt, resultieren zumeist unschmelzbare Fasern, die unmittelbar der Pyrolyse unter Inertgas unterworfen v/erden können. Gegebenenfalls können die Fasern aber auch vor der Pyrolyse einer Wärmebehandlung im Bereich zwischen 20 und 400 unter luft oder Inertgas unterzogen werden. Die derart erhaltenen Silazanfasern sind bis zu einer Temperatur von 400 - 5000C gegen Oxydation unempfindlich, unschmelzbar, beständig gegen eine Vielzahl organischer und anorganischer Lösungsmittel und können vorteilhaft für temperaturbeständige Filtergewebe oder schwerentflammbare Textilgegenstände verwendet werden. Bei der sich anschließenden Temperaturbehandlung werden alle noch flüchtigen Bestandteile abgespalten. Dazu werden die Fasern eventuell unter Zugspannung in einem Röhrenofen auf eine Temperatur von 800 bis 20000C erhitzt. Die Aufheizrate kann in weiten Grenzen variiert werden, z.B. beträgt sie 1°C/min bis 100°C/min. Der Gewichtsschwund beträgt ca. 10 - 30 %.. Bis zu einer Temperatur von 14000C unter einem Inertgas wie Stickstoff, Ammoniak, Argon oder Wasserstoff erhitzt, bestehen die schwarzen, glänzenden Fasern aus homogenen Mischungen von röntgenamorphem Siliciumcarbid und Siliciumnitrid und eventuell Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff. Bei höherer Temperatur bildet sich Pj-SiC und ß-Si—ff. . Die der Temperaturbehandlung unterzogenen Fasern sind bis zu einer Temperatur von 120O0C völlig oxydationsbeständig und haben eine gute mechanische Festigkeit. Die Zerreißfestigkeit der bis 12000C unter Inertgas getemperten Fasern, gemessen mit einer handelsüblichen Zerreißmaschine (Tecam Tensile Testing Machine, der Fa. Techne), "beträgt zwischen 90 und 130 kp/mm , der Elastizitätsmodul 8.000
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bis 10.000 kp/mm2. Der EIa; bizitatamodul kann noch gesteigert v/erden, wenn man die Fasern für kurze Zeit unter Argon auf Temperaturen bis 200O0C bringt. Auf Grund ihrer guten mechanischen Eigenschaften und der Oxydationsbeständigkeit auch bei hohen Temperaturen lassen sich die Pasern sehr gut für die Verstärkung von Kunststoffen, besonders aber von Gläsern, Keramik und Metallen verwenden. Weiterhin sind die Pasern in hervorragendem Maße für die Hochtemperaturisolation und als Filtermaterial für heiße, korrosive Gase und Schmelzen geeignet.
Folien und Blättchen aus porenfreien und in dieser Form flexiblen homogenen Mischungen von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid und eventuell Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff können durch Auswalzen oder Ausfließenlassen einer konzentrierten SiIazanlösung auf einer trennmittelhaltigen, glatten Unterlage und nachfolgendem Tempern der Silazanfolie unter Inertgas hergestellt werden. Schaumkörper werden erhalten, wenn man eine konzentrierte SiIazanlösung gegebenenfalls unter Zusatz eines herkömmlichen Treibmittels, wie beispielsweise Ammoniumcarbonat oder Azobis-isobuttersäurenitril durch Erhitzen in einer entsprechenden Form aufschäumt und anschließend unter Inertgas auf 800 bis 20000C erhitzt. Oft genügt auch das vorhandene Lösungsmittel als Treibgas. Derart erhaltene Schaumkörper besitzen ein außerordentlich geringes Raumgewicht und eignen sich gut als Isolations- und Filtermedien bei sehr hohen Temperaturen. Zur Herstellung von Überzügen aus homogenen Mischungen von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid und eventuell Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff kann die mit einem Überzug zu schützende Fläche mit einer Silazanlösung angestrichen oder getränkt werden. Nach der Temperaturbehandlung ergeben sich festhaftende gasdichte Schutzschichten einer gewünschten Stärke, die gegen Korrosion bei hohen Temperaturen unempfindlich sind.
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Das erfindungsgemäße Verfaß en umfaßt ferner die Herstellung von Formkörpern aus Siliciumcarbid und/oder Siliciumnitrid, wobei diese Substanzen nach einem beliebigen Verfahren hergestellt sein können. Wegen der geringen Sinterfähigkeit von Siliciumcarbid ist die Herstellung dichter Formkörper aus diesen Materialien schwierig. Silazanverbindungen können im Gemisch mit Siliciumcarbid und/oder Siliciumnitrid unterschiedlicher Korngröße zu Körpern beliebiger Form wie Platten, Röhren, Steinen, Tiegeln, Stäben usw. verarbeitet werden. Die Silazanverbindungen können hierbei in reiner Form oder in Form einer Lösung eingesetzt werden. So können beispielsweise Mischungen aus Siliciumcarbid und/ oder Siliciumnitrid oder Mischungen aus anderen Temperatur- und/oder korrosionsfesten Stoffen wie z.B. anorganische Oxide, Silicate, Nitride, Boride, Garbide, Metalle, Kohlenstoff usw. mit der Silazanverbindung bei einer Temperatur zu Formkörpern verpreßt· werden, wo unter Ammoniak-Abspaltung Vernetzung und damit Härtung eintritt. Die Mengenverhältnisse an Siliciumcarbid und/oder Siliciumnitrid und/oder anderen anorganischen temperaturbeständigen Stoffen einerseits, Silazanverbindung andererseits, können in weiten Grenzen variiert werden. Es ist möglich, den anorganischen temperaturbeständigen Stoff in Anteilen von z.B. 5 "bis 95 Gewichtsprozent, bezogen auf die gesamte Mischung, zuzusetzen« Bevorzugt beträgt der Anteil zwischen 20 und 60 Gewichtsprozent.
Um einen homogenen, blasenfreien Formkörper zu erhalten, empfiehlt es sich, Vakuum an die Preßform anzulegen. Derart hergestellte Formkörper werden anschließend unter Inertgas auf eine Temperatur zwischen 800 und 20000C erhitzt. Es resultieren harte, formstabile, oxydationsbeständige, bis zu hohen Temperaturen anwendbare Werkstücke mit geringer Porosität, wie beispielsweise Rohre, Schleifscheiben, Tiegel, Steine und dergleichen«
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Silazanverbindungen können auch vorteilhaft für die Einbettung von faeerförtnigen Gebilden verwendet werden. So ist z.B. die Herstellung von Verbundwerkstoffen möglich, wobei als Matrix die vernetzte Silazanverbindung und als Faser beispielsweise eine herkömmliche Glasfaser, eine Kohlenstoff-Paser oder eine keramische Paser dienen kann. Derart hergestellte Verbundwerkstoffe können ohne Verlust ihrer mechanischen Eigenschaften unter Luft bis auf eine Temperatur von etwa 400 - 60O0C erhitzt werden. Werden die Verbundwerkstoffe einer geeigneten Pyrolyse unter Inertgas im Bereich zwischen 800 und 200O0C unterworfen, so resultieren oxydationsbeständige, bis zu extremen Temperaturen belastbare Formkörper von hoher, mechanischer Festigkeit.
Ferner ist die Silazanverbindung ausgezeichnet geeignet, poröse Gegenstände aus feuerfesten Materialien, wie z.B. Wannen, Tiegel, Rohre oder dergleichen abzudichten. Dazu wird der Gegenstand mit der Silazanlösung getränkt, was vorteilhaft im Vakuum erfolgt, und anschließend auf 800 - HOO0C unter Inertgas gebrannt. Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand von Beispielen näher erläutert.
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Beispiel
In die Lösung aus 50 g Methyltriehlorsilan und 1 1 Methylenchlorid wird bei 400C unter Rühren 20 g Ammoniak eingeleitet. Die Reaktionsmischung wird anschließend durch Filtration von entstandenem Ammoniumchlorid befreit. Man engt die Silazanlösung auf 93 g ein und gibt 29 g einer Lösung aus 2 g Polyäthylenoxid (Polymerisationsgrad: 100 000) 8 g Tetrachlorkohlenstoff und 90 g Methylenchlorid zu. Unter langsamen?Rühren wird 1 Stunde homogenisiert. Die Spinnlösung enthält 13,1 $ Silazan und 0,47 $ Polyäthylenoxid. Bei einem Spinndruck von 0,01 atu, einer Spinnschachtteraperatur von 300C (Schachtkopf) und 1700C (Schachtmitte) wird die Spinnlösung durch Düsen mit einem Querschnitt von 400 um mit einer Abzugsgeschwindigkeit von 210 m/min versponnen. Die Pasern werden unter Stickstoff innerhalb von 3 Stunden auf 12000C erhitzt. Der Gewichtsschwund beträgt 8,8 $. Es resultieren schwarze, glänzende, völlig oxydationsbeständige, röntgenaraorphe lasern, die eine Zugfestigkeit von 60 - 115 kp/mm und einen Elastizitätsmodul von 9000 bis 10000 kp/mm aufweisen. Die Pasern bestehen aus ca. 50 G-ew. $ Siliciumcarbid und 50 Gew. i<> Siliciumnitrid.
Beispiel 2;
Eine Lösung aus 52 g Phenyltrichlorsilan und 1500 g Methylenchlorid wird unter Rühren mit 30 g Ammoniak bei 400C umgesetzt. Nach Piltration der Reaktionsmischung wird die Silazanlösung auf 137 g im Vakuum eingeengt und mit 100 g einer 2 #igen Lösung aus Polystyrol (Molekulargewicht i,3'iO7) in Methylenchlorid unter Rühren homogenisiert. Die Spinnlösung enthält 12,2 $"Silazan und 0,84 # Polystyrol. Bei einem Spinndruck von 0,1 atü, einer Spinn-
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schachttemperatür von 250C (Schachtkopf) und 1700C (Schachtmitte) wird die Spinnlösung durch Düsen mit einem Querschnitt von 400 um mit einer Abzugsgeschwindigkeit von 170 m/min versponnen. Die Fasern mit einem Querschnitt von 15 uni werden unter Stickstoff innerhalb von 3 Stunden auf 12000C erhitzt. Der Gewichtsschwund beträgt 1.5,8 $>. Die schwarzen, röntgenaraorphen Fasern bestehen aus ca. 35 $> Siliciumcarbid, 35 i> Siliciumnitrid und ca. 30 # Kohlenstoff.
Beispiel 3'·
Zur Herstellung einer Folie aus einer homogenen Mischung von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid wird eine Lösung von 13,1 Gew. % Silazan und 0,47 Gew. $> Polyäthylenoxid in Methylenchlorid, hergestellt analog Beispiel 1, mittels eines Filmziehgerätes auf einer glatten Teflon-Unterlage ausgestrichen und 1/2 Stunde bei 11O0C erwärmt. Die Silazan-Folie wird abgezogen und innerhalb von 3 Stunden unter Stickstoff auf 12000C erhitzt. Es entsteht eine schwarze, glänzende, oxydationsbeständige Folie mit einer Stärke von 19 pm, die flexibel und gasundurchlässig ist.
Beispiel 4 s
Ein Schaumkörper wurde dadurch hergestellt, daß man eine Lösung von 26 Gew. # Silazan in Methylenchlorid, hergestellt durch Reaktion von Methyltrichlorsilan mit Ammoniak analog Beispiel 1 und 0,8 Gew. % Polyäthylenoxid in einem Porzellantiegel schnell auf 250 C erwärmt. Das verdampfende lösungsmittel schäumt dabei das Silazanharz auf das ca. 10-fache seines ursprünglichen Volumens auf. Anschließend wird der Silazan-Schaumkörper unter Sickstoff innerhalb von 3 Stunden auf 120O0C erhitzt. Der erhaltene
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Schaumkörper ist oxyäationsunempfindlich und stellt einen bei Temperaturen bis 14000C brauchbaren Isolationsstoff dar.
Beispiel 5:
Die Mischung aus 49,8 g Methyltrichlorsilan und 43 g Dimethyldichlorsilan in 2 1 Methylenchlorid wird unter Rühren bei Zimmertemperatur mit 30 g Ammoniak umgesetzt. Nach dem Abtrennen des Ammoniumchlorids werden 60 g handelsübliches Siliciumcarbidpulver mit einer Korngröße von 0,1 cm dazugegeben und das Gemisch wird unter Vakuum von Methylenchlorid befreit. Anschließend erwärmt man das ölige Gemisch 2 Stunden auf eine Temperatur von 1300G, wobei unter Ammoniak-Abspaltung eine Kondensation zu einem zähen Harz erfolgt. Das plastische Geraisch wird in eine heizbare porm gebracht und 2 Stunden, bei 3000C und 2,5 atü gepreßt. Der entstandene Formkörper wird innerhalb von 5 Stunden unter Stickstoff auf 8000C erhitzt. Es resultiert ein harter, formstabiler, oxydationsbeständiger Formkörper mit guter mechanischer Festigkeit«
Beispiel 6;
2 g einer Aluminiumoxid-Faser, hergestellt nach dem Verfahren der Deutschen Offenlegungsschrift 2 054 573, werden in paralleler Ausrichtung auf einer Länge von 6 cm in ein Glasrohr mit einem Innendurchmesser von 5,4 mm eingebracht. Durch Vakuuminfiltration wird die Faser mit einer Silazanverbindung getränkt, wie sie bei der Reaktion von Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan mit Ammoniak analog Beispiel 5 gebildet wird. Im Verlauf von 2 Stunden wird das einseitig geschlossene Rohr mit der benetzten Faser unter Vakuum auf 3000C erhitzt und 2 Stunden dabei belassen. Nach dem Entfernen des Glasrohrs erhält man einen
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bis ζυ einer Temperatur von 51O0C einsetzbaren, mechanisch festen Verbundkörper. Dieser Verbundkörper wird innerhalb von 5 Stunden unter Stickstoff auf eine Temperatur von 12000C erhitzt. Es resultiert ein harter, fester bei 1200 C völlig oxydationabeständiger Verbundkörper, dessen Matrix aus einer Mischung von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid bestehtt
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Claims (12)

Patentansprüche;
1) Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus homogenen Mischungen von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid eventuell im Gemisch mit Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff, dadurch gekennzeichnet, daß man SilazanverMndungen durch Reaktion eines Halogensilane oder eines Halogensilangemisches mit Ammoniak bei Temperaturen bis 200°C herstellt, diese in Form einer Schmelze oder einer Lösung, gegebenenfalls unter Zusatz von Hilfsstoffen, zu Formkörpern verarbeitet und diese in inerter Atmosphäre auf Temperaturen zwischen 800 und 2000°C erhitzt.
2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man Halogensilane der allgemeinen Formel R SiX. , wobei
XX τ*""iX
R- = Wasserstoff, Alkyl, Alkenyl und/oder Aryl, X = Fluor, Chlor, Brom, Jod und η = o, 1, 2, 3 sein kann, mit Ammoniak umsetzt.
3) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Silazane durch Umsetzung von Chlorsilanen, insbesondere Methyltrichlorsilan, Dimethyldichlorsilan, Methyldichlorsilan, Äthyltrichlorsilan, Diäthyldichlorsilan, Vinyltrichlorsilan, Phenyltrichlorsilan, Diphenyldichlorsilan, Phenyldichlorsilan und/oder Diphenylchlorsilan oder Gemische dieser Halogensilane mit Ammoniak bei Temperaturen von 20 bis 2000C erhalten werden.
4) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch · gekennzeichnet, daß zur Herateilung von Fasern ein Sohmelzspinnprozeß oder ein Trockenspinnprozeß angewandt wird.
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5) Verfahren nach Anspiuch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Hilfsstoffe gelöste linearpolymere organische Substanzen mit Polytnerisationsgraden über 2000 in einer Konzentration von 0,01 bis 2 Gewichtsprozent verwendet werden.
6) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als linearpolymere hochmolekulare Substanzen Polyäthylenoxid, Polystyrol, Polyisobutylen, Polymethylmethacrylat und Polyisopren verwendet werden.
7) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß temperaturbeständige Substanzen, insbesondere Carbide, Nitride, Boride, Oxide, Metalle und/oder Kohlenstoff in Anteilen von 5 bis 95 $ bezogen auf die gesamte Silazanlösung zugesetzt werden.
8) Formkörper, hergestellt nach einem der Ansprüche 1 bis 7.
9) Formkörper gemäß Anspruch 8 aus einer homogenen Mischung von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid gegebenenfalls mit untergeordneten Mengen von Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff gekennzeichnet durch folgende Zusammensetzung:
Si : von 30 - 70 Gew. ^
C : von 5 - 60 " "
N : von 5 - 35 " "
0 : von 0-12 " "
10) Pasern mit einem Durchmesser von 1-50 um, hergestellt nach einem der Ansprüche 1 bis 7.
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11) Pasern gemäß Anspruch 10 aus einer homogenen Mischung von Siliciumcarbid und Siliciumnitrid gegebenenfalls mit untergeordneten Mengen von Siliciumdioxid und/oder Kohlenstoff gekennzeichnet durch die Zusammensetzung gemäß Anspruch 8.
12) Verwendung der Fasern gemäß Anspruch 11 zu Yerstärkungs- und Isolierzwecken. ' ■ .... .\ ;. .. .."...."
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0075826A3 (en) * 1981-09-21 1984-04-11 Dow Corning Corporation Preparation of polysilazane polymers and the polymers therefrom
AT385502B (de) * 1982-02-05 1988-04-11 United Technologies Corp Siliciumcarbidfaserverstaerkter keramikverbundstoff
US4833107A (en) * 1986-06-13 1989-05-23 Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha Method for producing nitride-base ceramics
DE2760031C2 (de) * 1976-02-28 1990-05-17 The Research Institute For Iron, Steel And Other Metals Of The Tohoku University, Sendai, Jp
EP0400862A1 (de) * 1989-05-26 1990-12-05 Ethyl Corporation Mischungen zur Herstellung von Keramik und keramische Produkte
DE102010007780A1 (de) 2010-02-12 2011-08-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 Spritzgießverfahren für Kondensationsharze und Vorrichtung für das Verfahren

Families Citing this family (109)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4302508A (en) * 1972-02-28 1981-11-24 Emerson Electric Co. Silicon carbide elements
US4036653A (en) * 1975-05-28 1977-07-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Amorphous silicon nitride composition containing carbon, and vapor phase process
US4097294A (en) * 1976-08-23 1978-06-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Preparation of ceramics
US4177230A (en) * 1978-06-02 1979-12-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Process for producing reaction sintered silicon nitride of increased density
US4788309A (en) 1985-04-26 1988-11-29 Sri International Method of forming compounds having Si-N groups and resulting products
JPS6031799B2 (ja) * 1979-11-30 1985-07-24 黒崎窯業株式会社 SiC−Si↓3N↓4系複合耐熱セラミツクス材料及びその製造方法
US4341826A (en) * 1980-02-13 1982-07-27 United Technologies Corporation Internal combustion engine and composite parts formed from silicon carbide fiber-reinforced ceramic or glass matrices
US4324843A (en) * 1980-02-13 1982-04-13 United Technologies Corporation Continuous length silicon carbide fiber reinforced ceramic composites
US4314852A (en) * 1980-05-07 1982-02-09 United Technologies Corporation Silicon carbide fiber reinforced glass composites
US4415342A (en) * 1980-09-24 1983-11-15 Minnesota Mining And Manufacturing Company Air pollution control process
US4340619A (en) * 1981-01-15 1982-07-20 Dow Corning Corporation Process for the preparation of poly(disilyl)silazane polymers and the polymers therefrom
US4404153A (en) * 1981-01-15 1983-09-13 Dow Corning Corporation Process for the preparation of poly(disilyl)silazane polymers and the polymers therefrom
US4312970A (en) * 1981-02-20 1982-01-26 Dow Corning Corporation Silazane polymers from {R'3 Si}2 NH and organochlorosilanes
JPS57200210A (en) * 1981-06-01 1982-12-08 Nippon Carbon Co Ltd Fibrous silicon nitride and its production
GB2100711A (en) * 1981-06-01 1983-01-06 Nippon Carbon Co Ltd Process for the production of silicon nitride type molded bodies
JPS5832071A (ja) * 1981-08-13 1983-02-24 日本カ−ボン株式会社 窒化ケイ素系成形体の製造方法
US4399231A (en) * 1982-02-05 1983-08-16 United Technologies Corporation Discontinuous silicon carbide fiber reinforced glass composites
US4783516A (en) * 1983-03-31 1988-11-08 Union Carbide Corporation Polysilane precursors containing olefinic groups for silicon carbide
US4540803A (en) * 1983-11-28 1985-09-10 Dow Corning Corporation Hydrosilazane polymers from [R3 Si]2 NH and HSiCl3
US4543344A (en) * 1983-11-28 1985-09-24 Dow Corning Corporation Silicon nitride-containing ceramic material prepared by pyrolysis of hydrosilazane polymers from (R3 Si)2 NH and HSiCl3
JPS60200813A (ja) * 1984-03-22 1985-10-11 Mitsubishi Gas Chem Co Inc 窒化珪素と炭化珪素との複合微粉末の製造方法
US4594330A (en) * 1984-03-22 1986-06-10 Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Fine amorphous powder and process for preparing fine powdery mixture of silicon nitride and silicon carbide
JPS60221311A (ja) * 1984-04-18 1985-11-06 Mitsubishi Gas Chem Co Inc 非晶質複合粉末組成物
JPS60235707A (ja) * 1984-05-08 1985-11-22 Mitsubishi Gas Chem Co Inc 複合微粉末の製造方法
JPS60200814A (ja) * 1984-03-22 1985-10-11 Mitsubishi Gas Chem Co Inc 窒化珪素と炭化珪素との複合微粉末の製造方法
US4595775A (en) * 1984-04-06 1986-06-17 Petrarch Systems, Inc. N-methylhydridosilazanes, polymers thereof, methods of making same and silicon nitrides produced therefrom
JPH0629123B2 (ja) * 1984-09-18 1994-04-20 東芝シリコーン株式会社 ケイ素セラミックスの製造方法
FR2577933B1 (fr) * 1985-02-27 1987-02-20 Rhone Poulenc Rech Procede de preparation d'organopolysilazanes et d'organopoly(disilyl)silazanes de tenue thermique amelioree et son utilisation notamment comme precurseur de ceramique
FR2579602B1 (fr) * 1985-03-29 1987-06-05 Rhone Poulenc Rech Composition polysilazane pouvant reticuler en presence d'un metal ou d'un compose metallique catalysant la reaction d'hydrosilylation
DE3690141T1 (de) * 1985-04-26 1987-04-02
US5055431A (en) * 1985-04-26 1991-10-08 Sri International Polysilazanes and related compositions, processes and uses
US5008422A (en) * 1985-04-26 1991-04-16 Sri International Polysilazanes and related compositions, processes and uses
JPS61287930A (ja) * 1985-06-17 1986-12-18 Chisso Corp ポリシラザンの製造方法
US4650837A (en) * 1985-09-30 1987-03-17 Massachusetts Institute Of Technology Method for converting Si-H containing polycarbosilanes to new and useful preceramic polymers and ceramic materials
US4645807A (en) * 1985-07-18 1987-02-24 Massachusetts Institute Of Technology Method for forming new preceramic polymers for SiC and Si3 N4 /SiC systems
US4639501A (en) * 1985-09-04 1987-01-27 Massachusetts Institute Of Technology Method for forming new preceramic polymers containing silicon
US4719273A (en) * 1985-09-04 1988-01-12 Massachusetts Institute Of Technology Method for forming new preceramic polymers containing silicon
JPS62125015A (ja) * 1985-11-19 1987-06-06 Toa Nenryo Kogyo Kk 高純度窒化珪素繊維およびその製法
FR2590580B1 (fr) * 1985-11-28 1988-05-13 Rhone Poulenc Spec Chim Procede de traitement catalytique d'un polysilazane comportant en moyenne au moins deux groupes hydrocarbone a insaturation aliphatique par molecule
US5120686A (en) * 1985-12-20 1992-06-09 The Dexter Corporation Method of preparing a polysilazane
US4983552A (en) * 1986-11-26 1991-01-08 The Dexter Corporation Method for making organosilazanes
US4778907A (en) * 1985-12-20 1988-10-18 The Dexter Corporation Method for making organosilazanes
JPS62202863A (ja) * 1986-02-28 1987-09-07 東芝シリコ−ン株式会社 ケイ素セラミツクスの製造方法
US4705837A (en) * 1986-04-08 1987-11-10 Massachusetts Institute Of Technology Method for converting Si-H containing polysiloxanes to new and useful preceramic polymers and ceramic materials
JPS62290730A (ja) * 1986-06-10 1987-12-17 Shin Etsu Chem Co Ltd 有機シラザン重合体の製造方法
US5151390A (en) * 1986-06-13 1992-09-29 Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha Silicon nitride-based fibers and composite material reinforced with fibers
US4720532A (en) * 1986-08-22 1988-01-19 Massachusetts Institute Of Technology Organopolysilazane precursors to silicon nitride-rich mixed SiC/Si3 N4
US4730026A (en) * 1986-09-30 1988-03-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Cross-linked organosilazane polymers
US4869854A (en) * 1986-10-31 1989-09-26 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom
US4742143A (en) * 1986-11-04 1988-05-03 Dow Corning Corporation Preceramic polymers derived from cyclic silazanes, and halosilanes and a method for their preparation
JP2608061B2 (ja) * 1987-03-20 1997-05-07 日本原子力研究所 高純度高強度窒化ケイ素連続無機繊維及びその製造方法
US4835238A (en) * 1987-06-08 1989-05-30 Dow Corning Corporation Polysilacyclobutasilazanes
US4916200A (en) * 1987-06-08 1990-04-10 Dow Corning Corporation Silane modified polysilacyclobutasilazanes
CA1302619C (en) * 1987-06-08 1992-06-02 Gary Thomas Burns Silane modified polysilacyclobutasilazanes
FR2616436B1 (fr) * 1987-06-10 1989-12-29 Europ Propulsion Copolymeres a liaisons si-n et si-si, polycarbosilazanes obtenus par pyrolyse desdits copolymeres et utilisation desdits polycarbosilazanes pour la preparation de carbonitrure de silicium
JPH01183522A (ja) * 1987-08-19 1989-07-21 Sekiyu Sangyo Katsuseika Center セラミックス繊維の製造法
US5080844A (en) * 1987-08-31 1992-01-14 Gte Laboratories Incorporated SI3N4 process using polysilane or polysilazane as a binder
US4863755A (en) * 1987-10-16 1989-09-05 The Regents Of The University Of California Plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films of silicon nitride from cyclic organosilicon nitrogen precursors
US5084423A (en) * 1987-11-07 1992-01-28 Hoechst Aktiengesellschaft Polysilazanes, process for the preparation thereof, silicon, nitride-containing ceramic materials which can be prepared therefrom, and the preparation thereof
US4921657A (en) * 1987-11-13 1990-05-01 Dow Corning Corporation Method for densification of amorphous ceramic material
US5135809A (en) * 1987-11-13 1992-08-04 Dow Corning Corporation Method for densification of amorphous ceramic material
DE68926260T2 (de) * 1988-02-29 1996-08-22 Toa Nenryo Kogyo Kk Formkörper aus Keramik auf Siliciumnitrid-Basis und Verfahren zu ihrer Herstellung
US5032551A (en) * 1988-03-05 1991-07-16 Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha Silicon nitride based ceramic fibers, process of preparing same and composite material containing same
DE3824614A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Hoechst Ag Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid enthaltendem keramischem material aus polymeren hydridochlorsilazanen
US5162136A (en) * 1988-08-01 1992-11-10 Blum Yigal D Process for increasing strength of glass by forming ceramic coating on glass surface
US5059482A (en) * 1988-09-13 1991-10-22 Kuraray Company, Ltd. Composite fiber and process for producing the same
DE3833382A1 (de) * 1988-10-01 1990-04-05 Bayer Ag Verfahren zur herstellung feinteiliger carbide und nitride aus keramischen vorlaeuferverbindungen
GB8823472D0 (en) * 1988-10-06 1989-04-19 Ici Plc Silicon carbide fibre and production thereof
US4929742A (en) * 1988-11-28 1990-05-29 Dow Corning Corporation Silane modified polysilacyclobutasilazanes
US5189132A (en) * 1988-12-03 1993-02-23 Hoechst Aktiengesellschaft Polymeric hydridochlorosilazanes, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture
DE3840773A1 (de) * 1988-12-03 1990-06-07 Hoechst Ag Sinterfaehiges keramikpulver, verfahren zu seiner herstellung, daraus hergestellte siliziumnitridkeramik, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung
FR2639937B1 (fr) * 1988-12-07 1991-03-22 Atochem Compositions de precurseurs de ceramiques a base de polysilazanes et ceramiques obtenues par pyrolyse desdites compositions
WO1990006905A1 (en) * 1988-12-22 1990-06-28 The Boeing Company Whisker-reinforced ceramic and superconductor fibers from preceramic sol-gel, liquid mix, and polymer precursors
DE3909978A1 (de) * 1989-03-25 1990-09-27 Hoechst Ag Sinterfaehiges keramikpulver, verfahren zu seiner herstellung, daraus hergestellte siliziumnitridkeramik, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung
US5070116A (en) * 1989-06-02 1991-12-03 Massachusetts Institute Of Technology Preceramic organosilicon-metal carbonyl polymers
US5223461A (en) * 1989-06-05 1993-06-29 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Ceramic silicon-boron-carhon fibers from organic silicon-boron-polymers
US5190709A (en) * 1989-06-29 1993-03-02 Hercules Incorporated Reaction injection molding of ceramics using a ceramic precursor as a binder
US5240658A (en) * 1991-03-26 1993-08-31 Lukacs Iii Alexander Reaction injection molding of silicon nitride ceramics having crystallized grain boundary phases
FR2652081A1 (fr) * 1989-09-21 1991-03-22 Rhone Poulenc Chimie Procede de preparation d'un composite si3n4-sic.
US5171736A (en) * 1989-10-16 1992-12-15 Massachusetts Institute Of Technology Preceramic organosilicon-boron polymers
US5159750A (en) * 1989-12-20 1992-11-03 National Semiconductor Corporation Method of connecting an IC component with another electrical component
DE4001246A1 (de) * 1990-01-18 1991-07-25 Bayer Ag Polymere polysilazane, verfahren zu ihrer herstellung sowie deren verwendung
FR2660665A1 (fr) * 1990-04-05 1991-10-11 Rhone Poulenc Chimie Materiaux ceramiques obtenus a partir d'un melange de polysilazanes et de charges de carbone.
US5292830A (en) * 1991-06-20 1994-03-08 Tonen Corporation Thermosetting copolymers, silicon carbide-based fiber and processes for producing same
US5204380A (en) * 1991-08-29 1993-04-20 Massachusetts Institute Of Technology Preparation of silicon carbide ceramics from the modification of an Si-H containing polysilane
DE4303106C2 (de) * 1993-02-04 1997-01-16 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellung von feinteiligen chloridfreien Siliciumcarbonitridpulvern
JP3596910B2 (ja) * 1993-06-14 2004-12-02 新原 ▲晧▼一 セラミックス多孔体及びその製造方法
ZA956408B (en) * 1994-08-17 1996-03-11 De Beers Ind Diamond Abrasive body
US5747623A (en) * 1994-10-14 1998-05-05 Tonen Corporation Method and composition for forming ceramics and article coated with the ceramics
KR100793620B1 (ko) * 2000-08-31 2008-01-11 에이제토 엘렉토로닉 마티리알즈 가부시키가이샤 감광성 폴리실라잔 조성물 및 패턴화 층간 절연막의 형성방법
JP3479648B2 (ja) * 2001-12-27 2003-12-15 クラリアント インターナショナル リミテッド ポリシラザン処理溶剤およびこの溶剤を用いるポリシラザンの処理方法
DE10232993A1 (de) * 2002-07-19 2004-02-05 Wacker Polymer Systems Gmbh & Co. Kg Silicon-haltige Polymerisate von ehtylenisch ungesättigten Monomeren
US7722832B2 (en) 2003-03-25 2010-05-25 Crystaphase International, Inc. Separation method and assembly for process streams in component separation units
JP5160189B2 (ja) * 2007-10-26 2013-03-13 AzエレクトロニックマテリアルズIp株式会社 緻密なシリカ質膜を得ることができるポリシラザン化合物含有組成物
DE102009055429A1 (de) 2009-12-30 2011-07-07 Sgl Carbon Se, 65203 Verfahren zur Herstellung von Keramikfasern mit einer Zusammensetzung im Bereich SiC und SiC-Fasern
US9663374B2 (en) * 2011-04-21 2017-05-30 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Situ grown SiC coatings on carbon materials
JP6060460B2 (ja) 2012-11-22 2017-01-18 アーゼット・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ シリカ質膜の形成方法及び同方法で形成されたシリカ質膜
US11499230B2 (en) 2014-08-18 2022-11-15 Dynetics, Inc. Method and apparatus for fabricating fibers and microstructures from disparate molar mass precursors
US10167555B2 (en) 2014-08-18 2019-01-01 Dynetics, Inc. Method and apparatus for fabricating fibers and microstructures from disparate molar mass precursors
US20160237595A1 (en) * 2014-08-18 2016-08-18 Dynetics, Inc. High-Strength Refractory Fibrous Materials
US10508056B1 (en) * 2015-05-19 2019-12-17 General Electric Company Method to form silicon carbide fibers by single stage pyrolysis of polysilazane precursors
US10744426B2 (en) 2015-12-31 2020-08-18 Crystaphase Products, Inc. Structured elements and methods of use
US10054140B2 (en) 2016-02-12 2018-08-21 Crystaphase Products, Inc. Use of treating elements to facilitate flow in vessels
JP2017200861A (ja) 2016-05-02 2017-11-09 アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ 緻密なシリカ質膜形成用組成物
CN109553777B (zh) * 2018-11-09 2020-07-14 中国科学院化学研究所 一种耐高温的有机硅材料的室温固化剂、制备方法和应用
EP4076719A1 (de) 2019-12-20 2022-10-26 Crystaphase Products Inc. Rücksättigung von gas in einen flüssigkeitszufuhrstrom
US11752477B2 (en) 2020-09-09 2023-09-12 Crystaphase Products, Inc. Process vessel entry zones
CN113533600B (zh) * 2021-08-09 2022-02-22 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 一种三氯硅烷的检测前处理方法及检测方法
CN114316278B (zh) * 2021-12-22 2022-11-29 哈尔滨工业大学 一种ZrB2-SiC复相陶瓷先驱体的制备方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2618565A (en) * 1948-02-26 1952-11-18 Carborundum Co Manufacture of silicon nitride-bonded articles
NL121804C (de) * 1959-02-27
US3269802A (en) * 1962-12-10 1966-08-30 Horizons Inc Preparation of carbide structures
DE1646700B1 (de) * 1965-04-22 1970-12-17 Montedison Spa Verfahren zur Herstellung von Formkoerpern aus Siliziumnitrid oder dessen Gemischen mit Siliziumcarbid

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2760031C2 (de) * 1976-02-28 1990-05-17 The Research Institute For Iron, Steel And Other Metals Of The Tohoku University, Sendai, Jp
EP0075826A3 (en) * 1981-09-21 1984-04-11 Dow Corning Corporation Preparation of polysilazane polymers and the polymers therefrom
AT385502B (de) * 1982-02-05 1988-04-11 United Technologies Corp Siliciumcarbidfaserverstaerkter keramikverbundstoff
US4833107A (en) * 1986-06-13 1989-05-23 Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha Method for producing nitride-base ceramics
EP0400862A1 (de) * 1989-05-26 1990-12-05 Ethyl Corporation Mischungen zur Herstellung von Keramik und keramische Produkte
DE102010007780A1 (de) 2010-02-12 2011-08-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 Spritzgießverfahren für Kondensationsharze und Vorrichtung für das Verfahren

Also Published As

Publication number Publication date
JPS4969717A (de) 1974-07-05
FR2197829A1 (de) 1974-03-29
US3892583A (en) 1975-07-01
NL7312136A (de) 1974-03-07
BE804382A (fr) 1974-03-04
CA1029517A (en) 1978-04-18
GB1392685A (en) 1975-04-30

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