JPS60221311A - 非晶質複合粉末組成物 - Google Patents
非晶質複合粉末組成物Info
- Publication number
- JPS60221311A JPS60221311A JP59077790A JP7779084A JPS60221311A JP S60221311 A JPS60221311 A JP S60221311A JP 59077790 A JP59077790 A JP 59077790A JP 7779084 A JP7779084 A JP 7779084A JP S60221311 A JPS60221311 A JP S60221311A
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- Japan
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- silicon
- nitrogen
- carbon
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非晶質組成物に関する発明である。
更に詳しくは一般式が５ｉＣｘＮｙＨｚ （式中、Ｘ。
ｙ、ｚはそれぞれ次の値を示す、々→Ａｙ Ｏ＜ ｘく
４、ｏ＜ｙ＜６、［１＜ ｚ ＜ ４ンで示される非晶
質組成物に関する発明である。
４、ｏ＜ｙ＜６、［１＜ ｚ ＜ ４ンで示される非晶
質組成物に関する発明である。
近年、窒化珪素や炭化珪素などの非酸化物セラミックス
は酸化物系セラミックスに比べて耐熱衝撃性などの特性
が優れるため、その焼結体は種々の耐熱構造材としての
応用が期待されてしかし、高温特性に長するとは云うも
のの、電化珪素及び炭化珪素もそれぞれ若干の欠点を寺
っている。耐熱衝撃性に優れる窒化珪素は高温における
機械強度及び耐酸化性が悪く、又炭化珪素は耐酸化性に
秀れるが、耐熱衝撃性が低は焼結条件を制御する方法が
知られているが、十分とは云い難い。
は酸化物系セラミックスに比べて耐熱衝撃性などの特性
が優れるため、その焼結体は種々の耐熱構造材としての
応用が期待されてしかし、高温特性に長するとは云うも
のの、電化珪素及び炭化珪素もそれぞれ若干の欠点を寺
っている。耐熱衝撃性に優れる窒化珪素は高温における
機械強度及び耐酸化性が悪く、又炭化珪素は耐酸化性に
秀れるが、耐熱衝撃性が低は焼結条件を制御する方法が
知られているが、十分とは云い難い。
又、近年、窒化珪素及び炭化珪素それぞれ単品の欠点を
補うため、両者を混合したのち、焼結して得られる複合
セラミックスが提案されており、例えば窒化珪素と炭化
珪素を機械的に混合して焼結する方法、炭化珪素と珪素
の混合物を成形後窒化処理を行う方法及び窒化珪素と炭
素の混合物を成型後、珪素を浸透させ、窒化珪素と炭化
珪素の混合物とする方法が知られている。しかしながら
、いずれの試みも両成分を均−ＩｒＡＩｋ”ｒ−４−９
ＬβムＪｔＡ−コ−ＦｋＩ７−ＩＪＬＩＥＦＪＩ（ＪＪ
−にｌ）そのため、焼結体は不均質な窒化珪素と炭化珪
素の混合物となり、結果的に当初意図した複合体とはか
けはなれたものであり、満足するには至っていない。
補うため、両者を混合したのち、焼結して得られる複合
セラミックスが提案されており、例えば窒化珪素と炭化
珪素を機械的に混合して焼結する方法、炭化珪素と珪素
の混合物を成形後窒化処理を行う方法及び窒化珪素と炭
素の混合物を成型後、珪素を浸透させ、窒化珪素と炭化
珪素の混合物とする方法が知られている。しかしながら
、いずれの試みも両成分を均−ＩｒＡＩｋ”ｒ−４−９
ＬβムＪｔＡ−コ−ＦｋＩ７−ＩＪＬＩＥＦＪＩ（ＪＪ
−にｌ）そのため、焼結体は不均質な窒化珪素と炭化珪
素の混合物となり、結果的に当初意図した複合体とはか
けはなれたものであり、満足するには至っていない。
又、將開昭５８−９１０５８で提案された方法は、ハロ
ゲンを含む無機珪素化合物とアンモニア及び炭素質物質
を反応させる方法であって生成物中間体を１４５０〜１
６００’Ｃに加熱してもなお蒸散し得ないハロゲンを少
量含有する粉体しか得られず、高純度を要求されるセラ
ミックス原料には不適であり、抜本的な改善が望まれて
いた。
ゲンを含む無機珪素化合物とアンモニア及び炭素質物質
を反応させる方法であって生成物中間体を１４５０〜１
６００’Ｃに加熱してもなお蒸散し得ないハロゲンを少
量含有する粉体しか得られず、高純度を要求されるセラ
ミックス原料には不適であり、抜本的な改善が望まれて
いた。
本発明者らはかかる状況に対応し、鋭意研究を進めた結
果、珪素、炭素、窒素及び水素のみから成る非晶質組成
物の合成に成功し、本発明を完成するに至った。
果、珪素、炭素、窒素及び水素のみから成る非晶質組成
物の合成に成功し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は珪素、炭素、窒素及び水素から成る非
晶質組成物であって、Ｓ １ＣｘＮｙＨｚの組成（但し
、０＜Ｘ＜４、ｏ’＜ ｙ ＜ ３、Ｑ ＜ Ｚく４）
を示し、ハロゲン及び酸素を実質的に含まない複合微粒
子の非晶質組成物である。
晶質組成物であって、Ｓ １ＣｘＮｙＨｚの組成（但し
、０＜Ｘ＜４、ｏ’＜ ｙ ＜ ３、Ｑ ＜ Ｚく４）
を示し、ハロゲン及び酸素を実質的に含まない複合微粒
子の非晶質組成物である。
本発明に係る非晶質組成物の粉末Ｘ線回折結果では窒化
珪素、炭化珪素、金属珪素又はグラファイト炭素に由来
する回折線は認められない、また分析限界での微粒結晶
は存在しない。
珪素、炭化珪素、金属珪素又はグラファイト炭素に由来
する回折線は認められない、また分析限界での微粒結晶
は存在しない。
本発明で示す複合微粒子の非晶質組成物は合成される温
度条件下では熱的にほぼ安定であり、例えば１０００℃
においても長時間加熱する場合を除いて、組成変化は極
めて小さい。
度条件下では熱的にほぼ安定であり、例えば１０００℃
においても長時間加熱する場合を除いて、組成変化は極
めて小さい。
本非晶質組成物は好ましい条件で合成された場合、サブ
ミクロンの粒径を持ち、特に好ましし）場合には０．２
〜０．０５μの球形状であり、粒径分布はきわめてせま
いものが得られる。 ゛本発明の非晶質組成物は非晶質
な構造からなっており、珪素、炭素、窒素及び水素の結
合様式は明らかでないが、しかしながらすべての粒子間
においては組成のかたよりがないこと、又ＩＲ吸収スペ
クトルより、Ｎ−Ｈ，Ｃ−Ｈ。
ミクロンの粒径を持ち、特に好ましし）場合には０．２
〜０．０５μの球形状であり、粒径分布はきわめてせま
いものが得られる。 ゛本発明の非晶質組成物は非晶質
な構造からなっており、珪素、炭素、窒素及び水素の結
合様式は明らかでないが、しかしながらすべての粒子間
においては組成のかたよりがないこと、又ＩＲ吸収スペ
クトルより、Ｎ−Ｈ，Ｃ−Ｈ。
５ｉ−Ｈの部分構造が認められること、などの特徴をも
っている。
っている。
本発明の複合微粒子の非晶質組成物を特徴ずける組成は
一般式５ｉＣｘＮｙＨｚで示され、Ｘ ＋ ｙ＋２は次
の範囲である。
一般式５ｉＣｘＮｙＨｚで示され、Ｘ ＋ ｙ＋２は次
の範囲である。
０＜Ｘ＜４．０ ＜ ｙ ＜ ５．０＜ ｚ、 ＜ ４
゜この組成の範囲において、任意の組成を取ることが可
能であり、いずれも、セラミックスの原料として好適で
ある。
゜この組成の範囲において、任意の組成を取ることが可
能であり、いずれも、セラミックスの原料として好適で
ある。
これら複合微粒子の非晶質組成物を１２００℃以上の温
度に加熱すると過剰な水素及び炭素又は窒素を気散でき
る分子として放散して、最終的に炭化珪素、窒化珪素又
は炭化珪素−窒化珪素複合体の結晶が得られる。この際
、加熱条件及び組成によって、結晶の形状は球形、ウィ
スカー状、盤状等に変化し得る。又結晶化の程本発明の
複合微粒子の非晶質組成物の製法の一つは、窒素含有の
有機珪素化合物を特定の雰囲気ガス中で気相熱分解する
方法である。
度に加熱すると過剰な水素及び炭素又は窒素を気散でき
る分子として放散して、最終的に炭化珪素、窒化珪素又
は炭化珪素−窒化珪素複合体の結晶が得られる。この際
、加熱条件及び組成によって、結晶の形状は球形、ウィ
スカー状、盤状等に変化し得る。又結晶化の程本発明の
複合微粒子の非晶質組成物の製法の一つは、窒素含有の
有機珪素化合物を特定の雰囲気ガス中で気相熱分解する
方法である。
物はハロゲン及び酸素を含まないことが必要であって、
好適な化合物としては次の様な化合物があげられる。
好適な化合物としては次の様な化合物があげられる。
１）Ｒｎ（ＣＮ）ｍｓｉＡ （但し、Ｒ；水素、アルキ
ル基、アリル基であり、ｎ、ｍ、ａ≧１゜２ Ｊｌ ＋
２ ＝ ｎ ＋ ｍである。〕Ｉｔ ） ＲｎＲ’ｍＲ
１ｌｍＮｍ５ ｌ（但し、Ｒ；水素、アルキル基、アリ
ル基 Ｒ１、Ｒ１１； 水素、アル ′キル基であり、
ｎ、ｍ、Ａ≧１．２−ｇ＋２−ｎ＋ｍである。〕 の一般式で示される。１）に属する化合物の例はトリメ
チルシアノンラン、ジメチルジシアノシラン、ジメチル
シアノシラン、メチルシアノ。
ル基、アリル基であり、ｎ、ｍ、ａ≧１゜２ Ｊｌ ＋
２ ＝ ｎ ＋ ｍである。〕Ｉｔ ） ＲｎＲ’ｍＲ
１ｌｍＮｍ５ ｌ（但し、Ｒ；水素、アルキル基、アリ
ル基 Ｒ１、Ｒ１１； 水素、アル ′キル基であり、
ｎ、ｍ、Ａ≧１．２−ｇ＋２−ｎ＋ｍである。〕 の一般式で示される。１）に属する化合物の例はトリメ
チルシアノンラン、ジメチルジシアノシラン、ジメチル
シアノシラン、メチルシアノ。
シラン、メチルジシアノシラン、シアノシランなどであ
る。
る。
１１）に属する化合物の例はトリメチルメチルアミノシ
ラン、ジメチル−ビス（メチルアミノ）シラン、メチル
トリス（メチルアミノ）シラン、０トリメチルジメチル
アミノシラン、ジメチルビジメチルアミノ）シラン、 一般式り又Ｉ＋＞から誘導され、又は全く別に合成され
る一般式１１１）又は一般式面）で示す化合物も好適で
ある。
ラン、ジメチル−ビス（メチルアミノ）シラン、メチル
トリス（メチルアミノ）シラン、０トリメチルジメチル
アミノシラン、ジメチルビジメチルアミノ）シラン、 一般式り又Ｉ＋＞から誘導され、又は全く別に合成され
る一般式１１１）又は一般式面）で示す化合物も好適で
ある。
１ｉｉ） Ｒ＋ＳｉＲＲ−ＣＲＲ−）ｎＳｉＲＲＲＲ＋
ＳｉＲＲ−ＮＲ−） ＳｉＲＲＲ 〔但し、Ｒ、水素、アルキル基、またはアリル基であり
、１−ｎである〕 曲） （−５ｉＲＲ−ＣＲＲ−）ｎ （−３ｉＲＲ−ＮＲ−）ｎ 〔但し Ｒ１〜４：水素、アルキル基、またはアリル基
であり、２＝ｎ〈４である。〕１１１）に属する化合物
の例はへキサメチルジシルメチレン、ヘキサメチルジシ
ラザンである。
ＳｉＲＲ−ＮＲ−） ＳｉＲＲＲ 〔但し、Ｒ、水素、アルキル基、またはアリル基であり
、１−ｎである〕 曲） （−５ｉＲＲ−ＣＲＲ−）ｎ （−３ｉＲＲ−ＮＲ−）ｎ 〔但し Ｒ１〜４：水素、アルキル基、またはアリル基
であり、２＝ｎ〈４である。〕１１１）に属する化合物
の例はへキサメチルジシルメチレン、ヘキサメチルジシ
ラザンである。
曲）に属する化合物の例はシクロトリシルメチレン、ヘ
キサメチルシクロトリシラザンである。
キサメチルシクロトリシラザンである。
本発明において、非晶質組成物を製造するには上述の原
料を９００℃から１３００℃の温度範囲、好ましくは１
０００℃から１２００℃の範囲で気相熱分解させる。熱
分解する際の雰囲気ガスの種類は複合微粒子の組成との
関係で重要である。すなわち熱分解の原料として用いる
愕機珪素化合物中の３１％αＮの原子比が非晶質組成物
の組成と同じ場合にはＡｒ等の不活性ガスを熱分解時の
雰囲気ガスとして用いるのが好ましい。原料有機珪素化
合物の原子比がめる非晶質組成物の組成と大きく異なる
場合は、雰囲気ガスの種類を選択することにより、効果
的に非晶質組成物を製造することが出来る。
料を９００℃から１３００℃の温度範囲、好ましくは１
０００℃から１２００℃の範囲で気相熱分解させる。熱
分解する際の雰囲気ガスの種類は複合微粒子の組成との
関係で重要である。すなわち熱分解の原料として用いる
愕機珪素化合物中の３１％αＮの原子比が非晶質組成物
の組成と同じ場合にはＡｒ等の不活性ガスを熱分解時の
雰囲気ガスとして用いるのが好ましい。原料有機珪素化
合物の原子比がめる非晶質組成物の組成と大きく異なる
場合は、雰囲気ガスの種類を選択することにより、効果
的に非晶質組成物を製造することが出来る。
原料有機珪素化合物の炭素又は窒素／珪素原子比が高い
ときには水素ガスが特に好ましく、熱分解温度を限定し
てＮＨ３ガスを用いるこぶが出来る。この様なガスを使
用すると原料が容易１こ加水素分解を起し、気散させる
効果を有するので、ＣＨ４，ＮＨ３又はＨＣＮ等を副生
じつつ、原料有機珪素化合物を本発明非晶質組成物へ誘
導することが出来る。
ときには水素ガスが特に好ましく、熱分解温度を限定し
てＮＨ３ガスを用いるこぶが出来る。この様なガスを使
用すると原料が容易１こ加水素分解を起し、気散させる
効果を有するので、ＣＨ４，ＮＨ３又はＨＣＮ等を副生
じつつ、原料有機珪素化合物を本発明非晶質組成物へ誘
導することが出来る。
又、原料有機珪素化合物の持つ炭素又は窒素モル比（対
珪素）を向上させるには炭素の場合はＣＨ４、エタン、
プロパンを窒素の場合は窒素又はアンモニアを共存させ
ることも有効である。
珪素）を向上させるには炭素の場合はＣＨ４、エタン、
プロパンを窒素の場合は窒素又はアンモニアを共存させ
ることも有効である。
以上の熱分解原料の種類と雰囲気ガス品種類を組合せる
ことにより、広範囲な組成を持つ複合微粉末の非晶質組
成物を製造することが可能である。
ことにより、広範囲な組成を持つ複合微粉末の非晶質組
成物を製造することが可能である。
いで熱処理して結晶化させ、炭化珪素、窒化珪素又は炭
化珪素、窒化珪素の複合物を製造することが可能である
。
化珪素、窒化珪素の複合物を製造することが可能である
。
及び雰囲気ガスを選定し調整することにより、一定の組
成を持つ本発明の非晶質組成物とし、続いて焼成して特
定の組成を有する結晶体を得ることが可能である。
成を持つ本発明の非晶質組成物とし、続いて焼成して特
定の組成を有する結晶体を得ることが可能である。
本発明の非晶質組成物を製造するための熱分解温度は重
要な条件である。前述の窒素含有有機珪素化合物を熱分
解するためには６００ ”Ｃから１６００℃の温度範囲
が必要であり、好ましくは８００℃から１４００ ”Ｃ
１特に好ましくは９００℃から１２００”Ｃの範囲であ
る。熱分解しようとする温度が６００’Ｃ以下の場合に
は熱分解が完全には進行せずに有機珪素化合物のポリマ
ーが生成する。
要な条件である。前述の窒素含有有機珪素化合物を熱分
解するためには６００ ”Ｃから１６００℃の温度範囲
が必要であり、好ましくは８００℃から１４００ ”Ｃ
１特に好ましくは９００℃から１２００”Ｃの範囲であ
る。熱分解しようとする温度が６００’Ｃ以下の場合に
は熱分解が完全には進行せずに有機珪素化合物のポリマ
ーが生成する。
このようにして得られたポリマーは有機基を多く含むた
め、熱安定性が悪く、熱分解温度以上では激しく組成変
化が起り、又、形状も変動しやすく、場合によっては樹
脂状物を形成するため、本発明の目的を達成することは
出来ない。
め、熱安定性が悪く、熱分解温度以上では激しく組成変
化が起り、又、形状も変動しやすく、場合によっては樹
脂状物を形成するため、本発明の目的を達成することは
出来ない。
又、熱分解温度が１６００ ”Ｃ以上の場合には１、金
属珪素又は炭素等の析出も著しいため、実用的ではない
。
属珪素又は炭素等の析出も著しいため、実用的ではない
。
熱分解温度が６００ ”Ｃ，から１６００ ℃の範囲の
場合において、形状の均一な複合超微粉末の非晶質組成
物が得られる。熱分解温度が１２００℃以上の場合は一
部分の非晶質体が結晶什することがある。その際生成す
る結晶子は非晶質組成物に比べてはるかに小さく、その
ため非晶質組成物は微小結晶子を含む非晶質組成物とい
う不均質多重のモザイク状構造となる。ここで生成する
結晶子は炭化珪素であることが多いが、熱分解条件によ
っては炭素、金属珪素又は窒化珪素にもなり得る。
場合において、形状の均一な複合超微粉末の非晶質組成
物が得られる。熱分解温度が１２００℃以上の場合は一
部分の非晶質体が結晶什することがある。その際生成す
る結晶子は非晶質組成物に比べてはるかに小さく、その
ため非晶質組成物は微小結晶子を含む非晶質組成物とい
う不均質多重のモザイク状構造となる。ここで生成する
結晶子は炭化珪素であることが多いが、熱分解条件によ
っては炭素、金属珪素又は窒化珪素にもなり得る。
本発明の非晶質組成物は複合セラミックス原料として利
用される外、太陽電池などの機能性材料として用いられ
る。
用される外、太陽電池などの機能性材料として用いられ
る。
図面において、第１図は実施例１で得られた非晶質組成
物のＸ線回折図、第２図は実施例２で得られた非晶質組
成物のＸ線回折図をそれぞれ示す。
物のＸ線回折図、第２図は実施例２で得られた非晶質組
成物のＸ線回折図をそれぞれ示す。
第６図は実施例１で得られた非晶質組成物の赤外線吸収
スペクトル図、第４図は実施例２で得られた非晶質組成
物の赤外線吸収スペクトル・図をそれぞれ示す。
スペクトル図、第４図は実施例２で得られた非晶質組成
物の赤外線吸収スペクトル・図をそれぞれ示す。
第５図は実施例１で得られた非晶質組成物の電子顕微鏡
写真、第６図は実施例２で得られた非晶質組成物の電子
顕微鏡写真をそれぞれ示す。
写真、第６図は実施例２で得られた非晶質組成物の電子
顕微鏡写真をそれぞれ示す。
本発明を実施例で更に説明する。
実施例 １
内径２５ｍ１ｊｌ、長さ７００７１１１のアルミナ製炉
心く混合して（ＣＨｓ）ａＳｉＣＮ：Ｈ２：Ａｒ：ＮＨ
３＝ｓ、ｏ：４ｓ、０：４６．ｏ；６．６の原料ガスを
調製した。この原料ガスを導入管を通じて炉心管へ導入
し、１２００”Ｃに保持しである熱分解温度域を１．２
ｓｅｃの滞留時間で通過させた。
心く混合して（ＣＨｓ）ａＳｉＣＮ：Ｈ２：Ａｒ：ＮＨ
３＝ｓ、ｏ：４ｓ、０：４６．ｏ；６．６の原料ガスを
調製した。この原料ガスを導入管を通じて炉心管へ導入
し、１２００”Ｃに保持しである熱分解温度域を１．２
ｓｅｃの滞留時間で通過させた。
反応混合物は炉心管出口からの導管で固体捕集器へ導か
れ生成物が捕集された。生成した非晶質組成物の収率及
び元素分析値を第１表に示す。
れ生成物が捕集された。生成した非晶質組成物の収率及
び元素分析値を第１表に示す。
実施例 ２〜９
実施例１と同じ装置を用い、種々の原料及び雰囲気ガス
に対して熱分解を実施した。原料の種類、反応条件及び
生成物の収率、元素分析値を第１表に示す。
に対して熱分解を実施した。原料の種類、反応条件及び
生成物の収率、元素分析値を第１表に示す。
第１図および第２図は本発明に係る非晶質組成物のＸ線
回折図、第６図および第４図は非晶質組成物の赤外線吸
収スペクトル図、第５図および第６図は非晶質組成物の
電子顕微鏡写真をそれぞれ示す。 特許出願人 三菱瓦斯化学株式会社 代表者 長野和書 ＃１図 本２（２１ ２θ１０ 穿７３ しへ ７ノ４″ 第１頁の続き ΦすＩｎＪＣｌ、’ 識別記号 庁内暫■ゆ発明者 伊
崎 寛正 新潟 硫黄 ［株］発明者 中野里 愛子 新潟 硫黄 ０発 明 者 森 晃 新Ｎ 研究 、理番号 、市太夫浜字新割１８２番地 三菱瓦斯化学株式会社新
潟：所内 、市太し 所内 市太っ 所内 手続補正書（方式） 昭和５９年８月２３日 特許庁長官殿 ２、発明の名称 非晶質組成物 ３、補正をする者 □事件との関係 特許出願人 ； 住所 東京都千代田区丸の内二丁目５番２号昭和５９年
７月３１日（発送日） ５、補正の対象 明細書 ６、補正の内容 ［４、図面の簡単な説明］において、明細書第１６頁第
４行〜第６行の「第５図〜写真をそれぞれ図面に代わる
写真に依って非晶質組成物の粒子の構造を示したもので
あり、第５図は実施例１において得られた非晶質組成物
の粒子の構造を示す走査顕微鏡写真であり、第６図は実
施例２において得られた非晶質組成物の粒子の構造を示
す走査顕微鏡写真である。」
回折図、第６図および第４図は非晶質組成物の赤外線吸
収スペクトル図、第５図および第６図は非晶質組成物の
電子顕微鏡写真をそれぞれ示す。 特許出願人 三菱瓦斯化学株式会社 代表者 長野和書 ＃１図 本２（２１ ２θ１０ 穿７３ しへ ７ノ４″ 第１頁の続き ΦすＩｎＪＣｌ、’ 識別記号 庁内暫■ゆ発明者 伊
崎 寛正 新潟 硫黄 ［株］発明者 中野里 愛子 新潟 硫黄 ０発 明 者 森 晃 新Ｎ 研究 、理番号 、市太夫浜字新割１８２番地 三菱瓦斯化学株式会社新
潟：所内 、市太し 所内 市太っ 所内 手続補正書（方式） 昭和５９年８月２３日 特許庁長官殿 ２、発明の名称 非晶質組成物 ３、補正をする者 □事件との関係 特許出願人 ； 住所 東京都千代田区丸の内二丁目５番２号昭和５９年
７月３１日（発送日） ５、補正の対象 明細書 ６、補正の内容 ［４、図面の簡単な説明］において、明細書第１６頁第
４行〜第６行の「第５図〜写真をそれぞれ図面に代わる
写真に依って非晶質組成物の粒子の構造を示したもので
あり、第５図は実施例１において得られた非晶質組成物
の粒子の構造を示す走査顕微鏡写真であり、第６図は実
施例２において得られた非晶質組成物の粒子の構造を示
す走査顕微鏡写真である。」
Claims (1)
- 一般式が５ｉＣｘＮｙＨｚ （式中、ｘ、ｙ、ｚはそれ
ぞれ次の値を示す、井４ｔＴＯ＜ｘ＜４．０くｙ＜６．
０＜Ｚ＜４ ）で示される非晶質組成物
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077790A JPS60221311A (ja) | 1984-04-18 | 1984-04-18 | 非晶質複合粉末組成物 |
| US06/712,036 US4594330A (en) | 1984-03-22 | 1985-03-15 | Fine amorphous powder and process for preparing fine powdery mixture of silicon nitride and silicon carbide |
| DE19853510264 DE3510264A1 (de) | 1984-03-22 | 1985-03-21 | Amorphes feinteiliges pulver und verfahren zur herstellung einer feinteiligen pulvermischung aus siliciumnitrid und siliciumcarbid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077790A JPS60221311A (ja) | 1984-04-18 | 1984-04-18 | 非晶質複合粉末組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60221311A true JPS60221311A (ja) | 1985-11-06 |
| JPH05326B2 JPH05326B2 (ja) | 1993-01-05 |
Family
ID=13643775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59077790A Granted JPS60221311A (ja) | 1984-03-22 | 1984-04-18 | 非晶質複合粉末組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60221311A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148409A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | けい素、炭素、窒素からなる微粉末およびその製造方法 |
| JPH0356660A (ja) * | 1989-07-26 | 1991-03-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ＳｉＣとＳｉ↓３Ｎ↓４よりなる薄膜、その製造方法およびＸ線リソグラフィー用マスク |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4969717A (ja) * | 1972-09-05 | 1974-07-05 | ||
| JPS573710A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 | Mitsubishi Metal Corp | Amophous silicon and its production |
| JPS58161909A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シリコンイミドおよび／または窒化けい素の製造方法 |
| JPS58213607A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シリコンイミドおよび／または窒化けい素の製造方法 |
| JPS59174506A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-03 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 新規な窒化珪素粉末の製造法 |
-
1984
- 1984-04-18 JP JP59077790A patent/JPS60221311A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4969717A (ja) * | 1972-09-05 | 1974-07-05 | ||
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148409A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | けい素、炭素、窒素からなる微粉末およびその製造方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05326B2 (ja) | 1993-01-05 |
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