DE2151809B2

DE2151809B2 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer gleichmäßigen dünnen Schicht

Info

Publication number: DE2151809B2
Application number: DE2151809A
Authority: DE
Inventors: Jean Gieres Spitz; Jeanclaude Grenoble Viguie
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1970-10-23
Filing date: 1971-10-18
Publication date: 1974-03-28
Also published as: DE2151809A1; FR2110622A5; NL178173C; CA952770A; NL178173B; JPS5515545B1; IT942738B; CH546830A; DE2151809C3; US3840391A; NL7114556A; GB1362803A

Description

⁽ 3 4

ab. Beim erfindungsgemäßen Verfahren liegt dage- ben in einem Artikel von J, SpHz und G

gen eine vollständige Trennung der Funktionen zwi- U η y mit dem Titel (übersetzt) »Die Ultraschallver-

schen dem Trägergas und dem Ultraschallerzeuger sprühung in ihrer Anwendung auf die Atomabsorp-

vor, wobei das Trägergas nur zum Mitführen des be- tionsspektrometrie« in »Applied Optics«, Juli 1968.

reits gebildeten Aerosols dient. Man kann so die Ae- 5 S. 1345 bis 1349, Dieser Generator weist einen Ultra-

rosolzuführung durch Einwirkung auf den Trägergas- schallsender 12 auf, der im unteren Teil eines ring-

durchsntz und zwei Parameter durch Einwirkung auf förmigen Trogs 14 angeordnet ist, der eine den Ul-

zwei getrennte Merkmale des Ultraschallerzeugers, traschall übertragende Flüssigkeit enthält. Eine

welche praktisch voneinander unabhängig sind, be- Membran 16 schließt eine Vernebelungskammer 18

einflussen: die mittlere Tröpfchengröße hängt von io ab. Die Kammer 18 besteht aus einem zylindrischen

der Frequenz und die Abgabemenge aus der Lösung Rohr, das an seinem oberen Teil mit einem koni-

von der Ukraschaüeistung ab, sehen Anschlußstück versehen ist, in welches ein

Insgesamt wird also gleichzeitig die Qualität des Kopf 20 eingesetzt ist. Dieser Kopf trägt eine Aero-

Aerosols durch Verengung des Verteilungsspektrums solleitung 22, durch welche die Aerosole austreten,

der Tröpfchengröße und die Regelbarkeit des Sy- 15 Das beispielsweise aus Argon oder einem anderen

stems bei «einer Anwendung verbessert. Infolgedes- Inertgas oder, im Fall der Abscheidung von Oxiden,

sen ist die Einstellung optimaler Bedingungen für je- aus einem oxydierenden Gas bestehende Trägergas

den Fall wesentlich vereinfacht. Außerdem besitzt wird in die Kammer 18 durch ein senkrechtes Rohi

das erzeugte Aerosol Eigenschaften, die sich denen 24 eingeleitet, das in der Rohrachse der Kammer an-

eines homogenen Gases außerordentlich nähern, was 20 geordnet und durch einen Verschlußstopfen 26 des

einen Transport von der Erzeugungszone zur Ab- Kopfes 20 geführt ist. Die Kammer 18 ist mit einei

scheidungszone erleichtert. nicht gezeigten automatischen Zuführungsvorrich-

Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere, tung mit einer Zuleitung 25 für die Lösung des abzujedoch nicht ausschließlich verwendbar zur Herstel- scheidenden Material versehen,
lung dünner Oxidschichten, die als Fotomasken in 25 Der piezoelektrische Generator 12 weist vorteilder Mikro-Elektronik verwendbar sind, von Sulfiden hafterweise eine beispielsweise von 0 bis 100 W re- und Granaten sowie dünnen Schichten von Metallen gelbare Leistung auf. Eine Frequenz in der Größenoder Metallverbindungen, beispielsweise Aluminim Ordnung von MHz ist im allgemeinen geeignet und auf einer Metall- oder Kunststoffunterlage, Nickel, ermöglicht die Erzeugung von Teilchen mit einei Chrom, Kobalt, Platin, Palladium, Osmium, Iridium 30 mittleren Größe von einigen Mikron. Versuche, die auf einem geeigneten Träger, um Katalysatoren zu mit einem Generator des in F i g. 1 gezeigten Typs bilden, usw. und bei verschiedenen Frequenzen durchgeführt wur-

Die Erfindung wird erläutert durch die folgende den, zeigten, daß die erhaltenen Tröpfchen einen in

Beschreibung von nur als Beispiele angegebenen be- Abhängigkeit von der Frequenz abnehmenden mitt-

vorzugten Ausführungsformen. Die Beschreibung be- 35 leren Durchmesser aufweisen, wie in Fig.2 gezeigt,

zieht sich auf die Zeichnungen. Hierin zeigt Außerdem zeigten diese Versuche, daß die Vertei-

F1 g. 1 schematisch eine Anlage zur Erzeugung lung der Abmessungen stets viel enger bleibt als im

dünner Schichten auf einem ebenen Träger von gro- Fall einer pneumatischen Versprühung. Beispiels-

ßen Abmessungen, wobei der Aerosolerzeuger und weise besaßen bei einer Frequenz von 3 MHz 50 ⁰Zo

die Beschichtungskamr ■ ^r im Schnitt längs einer 40 des vernebelten Volumens einen Durchmesser zwi-

senkrechten Ebene gezeigt sind, sehen 2 und 3 μΐη und 27% einen von 1,5 bis 2 μΐη.

F i g. 2 eine Kurve, welche den mittleren Durch- Das in Form von Tröpfchen mit Abmessungen untei

messer von Tröpfchen in Abhängigkeit von der Fre- 1,5 iim vernebelte Volumen war praktisch zu ver-

quenz des Ultraschallerzeugers wiedergibt, nachlässigen.

F i g. 3 eine Kurve, welche den Koeffizienten der 45 Die Bedeutung dieser Homogenität ist erkennbar,

Durchlässigkeit einer dünnen Eisenoxidschicht Fe₂O₃ wenn man sich an den Beschichtungsmechanismus

von 2000 A Dicke, welche mit Hilfe der Vorrichtung erinnert. Wenn ein Tröpfchen einer ein Metallsah

der F i g. 1 erhalten wurde, in Abhängigkeit von der enthaltenden Lösung sich einer erhitzten Unterlage

Liciitwellenlänge wiedergibt, nähert, verdampft es und setzt das Metallsalz in ge-

F i g. 4 eine abgewandelte Ausführungsform der 50 schmolzener Form und darauf von Dampf frei. Das

Vorrichtung der F i g. 1, welche zum Beschichten von außerordentlich reaktionsfähigs Salz reagiert im all-

Unterlagen geringer Abmessungen bestimmt ist, wo- gemeinen auf der Oberfläche der Unterlage selbst, da

bei der Aerosolerzeuger nur im Prinzip gezeigt ist, die Energieübergänge in diesem Bereich am leichte-

Fi g. 5 eine weitere Abwandlung der Vorrichtung, sten erfolgen. Es bildet sich dadurch eine dünne

die für kontinuierlichen oder halbkontinuierlichen 55 Schicht. Wenn jedoch das Tröpfchen zu klein ist, fin-

Betrieb bestimmt ist, det die Verdampfung zu früh, d. h. zu weit von dei

F i g. 6 die Kurve der Temperaturveränderung Unterlage entfernt statt. Die Reaktion spielt sich in

längs des Ofens der F i g. 5 bei Einleiten von belade- homogener Phase ab. und der dabei gebildete feste

nem Gas (voll augezogene Kurve) und in Abwesen- Körper haftet schlecht auf der Unterlage. Umge-

heit von Gas (gestrichelte Kurve). 60 kehrt, wenn die Verdampfung zu spät erfolgt, schlägi

Die in F i g. 1 gezeigte Vorrichtung besteht aus das Tröpfchen auf der Unterlage auf, und die Aneinem Aerosolerzeuger Λ, einer Beschichtungskam- Sammlungen der Abscheidung im Bereich des Aufmer B und Zubehörteilen. Sie ist bestimmt zur Her- pralls beeinträchtigen die Qualität der Beschichtung, stellung dünner Schichten auf Glasplatten 10 von er- Wie ersichtlich ist es also wichtig, daß sich die Geheblichen Abmessungen, beispielsweise quadrati- 65 samtheit der Tröpfchen eines Aerosols in einem gleischen Platten νου 50 mm Seitenlänge. chen Abstand von der Unterlage gleich verhalten,

Der Aerosolgenerator Λ ist in seiner allgemeinen und daß dafür ihre Abmessungen innerhalb eines

Bauweise an sich bekannt und vollständig beschrie- kleinen Bereichs liegen.

In bestimmten Fällen ist es vorteilhaft, die Kon- Dagegen sind die nach dem erfindungsgemäßen Verzentration an Aerosolen im Trägergas zu regeln, fahren erhaltenen Eisenoxidschichten im sichtbaren ohne den Gasdurchsatz oberhalb der unter der Wir- Bereich durchlässig, so daß man sie genau an Ort kung des Ultraschallgenerators stehenden Lösung zu und Stelle bringen und den Fabrikationsausschuß verändern, da dieser gering bleiben muß, um den 5 verringern kann.

sich bildenden Nebel nicht zu »zerstören«. Um diese Bei Versuchen, die mit einem 1 MHz-Generator

beiden Bedingungen erfüllen zu können, braucht durchgeführt wurden, der auf eine 0,4 Mol/Liter entman nur die Aerosolieitung 22 mit einer mit einem haltende wäßrige FeCI₃-Lösung bei einem Argon-Regelventil 40 versehenen Argonzuleitung 38 auszu- durchsatz von 6 l/min und bei einem Druck sehr rüsten. Es sei bemerkt, daß das von der Vorrich- io nahe beim Atmosphärendruck einwirkte, konnten tung/Ί gelieferte sehr gleichmäßige Aerosol durch solche Schichten auf einer Unterlage erhalten wereinen sehr geringen Gasstrom unter einem nahe beim den, die bei einer Mindesttemperatur von 450° C ge-Atmosphärendruck liegenden Druck transportiert halten wurde. Die erhaltenen Kristallite sind sehr werden kann, so daß nur ein geringer Gasstrom auf fein, mit Abmessungen in der Größenordnung von die Unterlage gerichtet und diese entsprechend weni- 15 2000 A, und außerordentlich regelmäßig. Die so ereer gekühlt wird. haltenen Fotomasken erfüllen vollkommen die ge-

Die in F i g. 1 gezeigte Beschichtungskammer weist stellten Forderungen, d. h. eine gute Lichtdurchläseine Glocke 42 auf, die auf einem Sockel 44 ruht. sigkeit im sichtbaren Teil des Spektrums und eine ge-Dieser Sockel ist mit einer Platte 46 versehen, die die ringe Durchlässigkeit im Ultraviolett unterhalb Unterlage 10 trägt und von einem Heizwiderstand 48 20 4000 A, wie Fig. 3 zeigt. Da die Kristallite außerorgeheizt wird. Ein nicht gezeigter Motor ermöglicht dentlich fein sind, kann die Chemiegravur sehr genau die langsame und gleichmäßige Verschiebung der sein. Schließlich sind die Härte und Abriebfestigkeit Unterlage auf der Platte, um die Homogenität der sehr hoch. Es sei bemerkt, daß die Größe von durch Beschichtung zu erhöhen. In einer Glocke von pneumatische Versprühung erhaltenen Kristalliten in 200mm Durchmesser und 150mm Höhe konnten 15 der Größenordnung von Mikron bleibt; der erzielte Glasplatten von 50 mm Seitenlänge behandelt wer- Fortschritt ist also sehr erheblich. Statt desEisen(III)-den. Die Glocke trägt ein oberes Anschlußstück 50, chlorids in Wasser kann auch ein organisches das von einem Kopf 52 verschlossen wird, der eine Eisensalz in Lösung in einem flüchtigen Lösungsmit-Kammer 54 begrenzt, in der die Aerosolleitung 22 tel verwendet werden, welches ebenfalls organisch mündet. Durch die Kammer 54 führt ein Abgaberohr 30 sein kann, so daß es bei der Herstellung zerstört 56 in Richtung auf die Platte 10, das an seinem der wird, beispielsweise durch Verbrennung im oxydie-Platte entgegengesetzten Ende verschlossen und renden Trägergas.

durch eine Stange mit gleichem Außendurchmesser Fig.4 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform

verlängert ist. Das Abgaberohr bzw. die Verlange- der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die zur Herstelrungsstange sind gegenüber dem Anschlußstück 50 35 lung von Granaten in dünner Schicht auf Unterlagen und Kopf 52 abgedichtet und diesen gegenüber dreh- von kleineren Abmessungen als im vorigen Fall bebar. Der in der Kammer 54 befindliche Rohrteil stimmt ist, beispielsweise Quarzblättchen von 15 mm weist Bohrungen 59 auf, durch die das Aerosol aus Seitenlänge, die bei einer höheren Temperatur als im der Kammer in das Abgaberohr gelangt. An seinem vorigen Fall, nämlich bis zu 800° C, gehalten weranderen Ende, oberhalb der Platte 10, weist das Ab- 40 den.

eaberohr 56 eine Abgabedüse 58 auf, welche auf ver- Der Aerosolgenerator A' ist durch eine kurze Lei-

schiedene Bereiche der Unterlage gerichtet ist. Das tung mit der Beschichtungskammer B' verbunden. Aerosol gelangt also durch die Bohrungen 59 in das Diese besteht aus einem Rohr 42', das an seinem un-Abgaberohr 56, welches mittels der nach außen rei- teren Ende mit einer weiteren Argonzuleitung 38' chenden Verlängerungsstange so gedreht wird, daß 45 versehen ist und in dem eine Düse 58' angeordnet ist, die aus der Abgabedüse 58 austretenden Aerosol- welche das Aerosol auf die Unterlage 10' lenkt. Der ströme nacheinander verschiedene Teile der Platte obere Teil des Rohrs 42' ist in einer Hülse C 2 an-10 überstreichen und eine plötzliche und Gesamtab- geordnet, die selbst in einen rohrförmigen elektrikühlung derselben vermieden wird. Infolge der Dre- sehen Widerstandsofen 64 eingesetzt ist Das Wachshung des Abgaberohres erreicht man, daß die Tent- 50 turn der Schicht wird durch ein Registriergerät 70 peratur der Unterlage, die in einem bestimmten Fall verfolgt, das mit einer Fotowiderstandszelle 66 veranfangs in der Größenordnung von 490° C lag, was bunden ist, die in einem Anschlußstück 68. welches für die Herstellung von Fe₂O₉ Schichten als reprä- die Hülse verschließt, angeordnet und von einer sentativ anzusehen ist, um nicht mehr als einige zehn Lichtquelle 67 beleuchtet ist. Die Temperatur der Grad verändert wird. 55 Unterlage 10' wird durch ein nicht gezeigtes Thermo-

Infolge des durch die Gleichmäßigkeit des Aero- element gemessen, welches eine Regelvorrichtung sols ermöglichten geringen Trägergasdurchsatzes steuert, wodurch die Unterlage bei einer geeigneten kann man bei viel höheren Temperaturen arbeiten Temperatur gehalten werden kann, als in den bekannten Vorrichtungen, welche eine Bei dieser Ausführungsfortn verfolgt die Verdamp-

pneumatische Verneblung benutzen. 60 fung langsam im Maß der Fortbewegung des mit

Als Beispiel wird im folgenden die Herstellung Tröpfchen beladenen Trägergases in der Düse 58'. von dünnen Eisenoxidschichten beschrieben, die als Die in Fig.5 gezeigte Vorrichtung unterscheidet

Fotomasken verwendbar sind. Bisher bestand die sich von den vorangehenden dadurch, daß sie für Mehrzahl der bei der Herstellung von integrierten einen kontinuierlichen oder halbkontinuierlichen Beelektronischen Kreisen benutzten Fotomasken aus 65 trieb■ eingerichtet ist Der Aerosolgenerator A ist sehr Chrom. Die Chrommasken sind jedoch für sichtbares ähnlich dem der Fig. 1, jedoch taacht das senk-Licht undurchlässig, so daß die Plazierung der ver- rechte Rohr 24" m sine Waschflasche 72, die ebenschiedenen Masken relativ zueinander schwierig ist. falls mit der Ausgangslösung gefüllt ist Das Träger-

gas sättigt sich in dieser Flasche am Lösungsmittel und tritt durch Öffnungen 74 aus. Anschließend nimmt es den in der Kammer 18" gebildeten Nebel zu einer Aerosolableitung 22" mit.

Die im ganzen flach ausgebildete BeschichtungskammcT B" ist an ihren gegenüberliegenden Seiten mit zwei Schlitzen versehen. Durch diese Schlitze tritt ein endloses Band 76 ein und aus, das von zwei in F i g. 5 ganz schematisch gezeigten Rädern 78, 79 angetrieben wird. Im Band 76 sind Ausschnitte 77 ausgebildet, von denen einer im großen Maßstab links oben in der F i g. 5 gezeigt ist. Jeder dieser Ausschnitte ist zur Aufnahme einer Unterlage 10" bestimmt, auf der eine dünne Schicht abgeschieden werden soll.

In der Beschichtungskammer sind beiderseits des endlosen Bandes 76 über dessen Laufstrecke zwei Gruppen von Widerständen angeordnet, welche einen Ofen 64" bilden. Im Inneren dieses Ofens weist die Temperaturverteilung vorteilhafterweise zwei Seitenabschnitte mit rascher Temperaturveränderung und möglichst geringer Länge und einen Mittelteil mit im wesentlichen konstanter Temperatur auf. Praktisch kann man sich jedoch im allgemeinen mit einer Kurve der Temperaturveränderung begnügen, wie sie in F i g. 6 gezeigt ist, welche in der Mitte infolge der Gaseinleitung ein wenig ausgeprägtes Minimum aufweist.

Die Düse 58" kann eben und zur Verschiebungsrichtung des endlosen Bandes 76 senkrecht verlau- fen, jedoch ist es im allgemeinen vorteilhaft, ihr eine im ganzen zylindrische Form zu geben und sie mit einer Wechselbewegung senkrecht zur Verschiebungsrichtung des Bandes zu verschieben. In F i g. 5 ist die Düse vom Kolben 80 getragen, der in einem Zylinder 82 gleitet, der von einer Verlängerung der

Beschichtungskammer B" getragen wird. Der Kolben ist an einem nicht gezeigten Motor angelenkt, der

ihm die erforderliche Wechselbewegung erteilt.

Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren können

ao selbstverständlich auch andere als metallische Schichten abgeschieden werden.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Lösung des abzuscheidenden Materials durch pneu Patentensprüche: matische Zerstäubung vernebelt. Diese Maßnahm« weist zahlreiche Nachteile auf. Einerseits sind die er

1. Verfahren zur Herstellung einer gleichmäßi- haltenen Nebel oder Aerosole nicht homogen, weiset gen dünnen Schicht, welche ein Metall oder eine 5 also ein sehr weitreichendes Verteilungsspektrum dei Metallverbindung enthält, auf einer erhitzten Un- Tröpfchengrößen auf. Ferner führt, wie weiter unter terlage durch Abscheidung eines durch ein Trä- erläutert, ein zu hoher Gehalt des Nebels an Tröpfgergas zugeführten Aerosols einer Lösung, die chen mit zu geringer oder zu großer Abmessung gebei Berührung mit der erhitzten Unterlage das genüber der optimalen Größe zu mangelhafter abzuscheidende Material liefert, dadurch ge- ίο Schichten, da im ersten Fall die Schicht an der Unkennzeichnet, daß das Aerosol durch Ver- terlage nicht haftet, während sie im zweiten Fall eine nebeln der Lösung mittels Ultraschall erzeugt unregelmäßige Dicke aufweist. Andererseits verfüg wird, wobei die erzeugte Aerosolmenge durch die man in einem gegebenen Gerät nur über eine einzige Ultraschall-Leistung des Ultraschallerzeugers, die veränderbare Verfahrensgröße, um die Eigenschafter Größe der Tröpfchen des Aerosols durch die 15 des Nebels (Tröpfchengröße und Aerosolabgabe) zx Wahl der Ultraschallfrequenz und die Menge des verändern, nämlich den Trägergasdurchsatz, dei der Unterlage zugeführten Aerosols durch Ein- selbst mit dem Einlaßdruck dieses Gases Zusammenstellung des Trägergasdurchsatzes geregelt wer- hängt. Es ist nun oft erwünscht, nur eine einzige dei den. obenerwähnten Eigenschaften zu verändern und ein-

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 20 zuregeln, jedoch kann bei den angegebenen Verhältkennzeichnet, daß zwischen der Verneblungszone nissen eine Regulierung stets nur ein Kompromiß und der Abscheidungszone eine Zusatzmenge sein.

von Trägergas eingeführt wird. Andererseits ist bekannt, daß Ultraschall-Impulse

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch feinste Misch- und Mahlvorgänge bewirken und auch gekennzeichnet, daß die Lösung durch Ultra- 25 zur Aerosolerzeugung benutzt werden können. Auch schall mit einer Frequenz in der Größenordnung ist die Anwendung der Ultraschall-Versprühung aui von MHz vernebelt wird. die Atomabsorptionspektrometrie und ein dafür be-

4. Vorrichtung zur Herstellung einer dünnen nutzter Aerosolgenerator bekannt. Ultraschall kann Schicht eines Metalls oder einer Metallverbin- aber auch zum Koagulieren von Aerosolen dienen,
dung mit einem Aerosolgenerator, einer mit einer 30 Es wurde nun gefunden, daß die Anwendung von Heizvorrichtung für eine Unterlage ausgerüsteten Ultraschall zur Erzeugung des Aerosols bei einem Beschichtungskammer und einer Einrichtung, Verfahren der eingangs angegebenen Art besondere welche ein Trägergas vom Verosolgenerator bis Vorteile bringt. Durch die Erfindung soll daher ein zur Beschichtungskammer strömen läßt, dadurch Verfahren der eingangs angegebenen Art geschaffen gekennzeichnet, daß der Aerosolgenerator (A) 35 werden, welches die Herstellung einwandfreiei einen Ultraschallsender (12) aufweist, der auf gleichmäßiger und gut haftender Schichten gewähreine zur Lieferung des abzuscheidenden Mate- leistet und bei dem die Eigenschaften des Aerosols rials bestimmte Lösung einwirkt und sie verne- leicht regelbar sind.

belt. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren der ein-

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeich- 40 gangs angegebenen Art gelöst, das erfindungsgemäß net durch eine Einrichtung zur Veränderung des dadurch gekennzeichnet ist, daß das Aerosol durch Durchsatzes an Trägergas. Vernebeln der Lösung mittels Ultraschall erzeugt

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, ge- wird, wobei die erzeugte Aerosolmenge durch die Ulkennzeichnet durch eine Vorrichtung zur gleich- traschall-Leistung des Ultraschall-Erzeugers, die mäßigen Verschiebung der Unterlage im Verlauf 45 Größe der Tröpfchen des Aerosols durch die Wahl der Beschichtung. der Ultraschall-Frequenz und die Menge des der Un-

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 terlage zugeführten Aerosols durch Einstellung des bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschich- Trägergasdurchsatzes geregelt werden,
tungskammer eine Düse (58) und eine Einrich- Vorteilhafte Ausbildungen des Verfahrens ergeben tung zur Verschiebung der Düse längs eines ge- 50 sich aus den Unteransprüchen. ErfindungsgemäG schlossenen Weges, in dessen Verlauf die Düse wird ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des den mit Aerosolgasen beladenen Trägergasstrom Verfahrens geschaffen, die in darauf gerichteten Anauf verschiedene Bereiche der Unterlage richtet, Sprüchen gekennzeichnet ist.

aufweist. Der Ersatz der pneumatischen Verneblung durch

55 die Verneblung mittels Ultraschall bringt zahlreiche Vorteile, die eng mit der besonderen Verwendung des Nebels zusammenhängen: das Verteilungsspektrum der Teilchengrößen liegt sehr eng um das Maxi-

)ie Erfindung betrifft ein Verfahren und eine mum, woraus sich eine bessere Qualität der abge-•richtung zur Herstellung einer gleichmäßigen 60 schiedenen Schichten ergibt. Gleichzeitig findet man inen Schicht, welche ein Metall oder eine Metall- eine sehr erhöhte Ausbeute, da praktisch die Gejindung enthält, auf einer erhitzten Unterlage samtheit der gebildeten Tröpfchen vom Trägergas ch Abscheidung eines durch ein Trägergas züge- mitgeführt wird, während im Fall einer pneumatirten Aerosols einer Lösung, die bei Berührung sehen Versprühung in einem sehr hohen Prozentsatz der erhitzten Unterlage das abzuscheidende Ma- 65 von oft über 80 %> Tröpfchen gebildet werden, die zu al liefert. große Abmesssungen haben und daher vom Träger-

Iisher wurde zur Herstellung dünner Schichten gas nicht mitgeführt werden. Diese Tröpfchen scheih dem angegebenen Verfahren im allgemeinen die den sich an den Wänden der Vernebelungskammer