NL7700808A - Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze. - Google Patents

Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze.

Info

Publication number
NL7700808A
NL7700808A NL7700808A NL7700808A NL7700808A NL 7700808 A NL7700808 A NL 7700808A NL 7700808 A NL7700808 A NL 7700808A NL 7700808 A NL7700808 A NL 7700808A NL 7700808 A NL7700808 A NL 7700808A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
iron oxide
masks
manufacture
photo
photo masks
Prior art date
Application number
NL7700808A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL7700808A priority Critical patent/NL7700808A/nl
Priority to CA295,241A priority patent/CA1110507A/en
Priority to DE2802814A priority patent/DE2802814C2/de
Priority to JP53006631A priority patent/JPS596056B2/ja
Priority to FR7801889A priority patent/FR2378872A1/fr
Priority to GB2802/78A priority patent/GB1592017A/en
Priority to US05/872,171 priority patent/US4199621A/en
Publication of NL7700808A publication Critical patent/NL7700808A/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/80—Etching

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Compounds Of Iron (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
NL7700808A 1977-01-27 1977-01-27 Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze. NL7700808A (nl)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7700808A NL7700808A (nl) 1977-01-27 1977-01-27 Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze.
CA295,241A CA1110507A (en) 1977-01-27 1978-01-18 Method of producing iron oxide photo masks and iron oxide masks obtained in accordance with this method
DE2802814A DE2802814C2 (de) 1977-01-27 1978-01-23 Verfahren zur Herstellung von Eisenoxidphotomasken
JP53006631A JPS596056B2 (ja) 1977-01-27 1978-01-24 酸化鉄光学マスクの製造方法
FR7801889A FR2378872A1 (fr) 1977-01-27 1978-01-24 Procede pour la realisation de photomasques d'oxyde de fer et masques ainsi realises
GB2802/78A GB1592017A (en) 1977-01-27 1978-01-24 Method of producing iron oxide photomasks
US05/872,171 US4199621A (en) 1977-01-27 1978-01-25 Method of producing iron oxide photo masks

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7700808A NL7700808A (nl) 1977-01-27 1977-01-27 Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7700808A true NL7700808A (nl) 1978-07-31

Family

ID=19827853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7700808A NL7700808A (nl) 1977-01-27 1977-01-27 Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4199621A (nl)
JP (1) JPS596056B2 (nl)
CA (1) CA1110507A (nl)
DE (1) DE2802814C2 (nl)
FR (1) FR2378872A1 (nl)
GB (1) GB1592017A (nl)
NL (1) NL7700808A (nl)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1268753A (en) * 1968-05-20 1972-03-29 United Glass Ltd Containers resistant to ultra-violet light
GB1307216A (en) * 1969-04-23 1973-02-14 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
US3824100A (en) * 1970-06-29 1974-07-16 Corning Glass Works Transparent iron oxide microcircuit mask
FR2110622A5 (nl) * 1970-10-23 1972-06-02 Commissariat Energie Atomique
IT996924B (it) * 1972-12-21 1975-12-10 Glaverbel Procedimento per formare uno strato di ossido metallico

Also Published As

Publication number Publication date
FR2378872A1 (fr) 1978-08-25
GB1592017A (en) 1981-07-01
JPS5394185A (en) 1978-08-17
FR2378872B1 (nl) 1983-11-18
DE2802814C2 (de) 1984-10-25
CA1110507A (en) 1981-10-13
US4199621A (en) 1980-04-22
DE2802814A1 (de) 1978-08-03
JPS596056B2 (ja) 1984-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL189085C (nl) Werkwijze voor de bereiding van octafluorpropaan.
NL187911C (nl) Werkwijze voor de bereiding van tetrahydrofuran.
NL7809338A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van absorberende struc- turen.
NL7605003A (nl) Werkwijze voor de bereiding van polybutyleente- reftalaat.
NL7600785A (nl) Werkwijze voor de bereiding van fluorelastomeren.
NL7608674A (nl) Werkwijze voor de bereiding van canthaxanthine.
NL7805661A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van gietijzer.
NL7807243A (nl) Werkwijze voor de reductie van fosfienoxiden.
NL175819C (nl) Werkwijze voor de bereiding van moranoline.
NL7610629A (nl) Werkwijze voor de bereiding van hittebesten- dige pigmenten op basis van ijzeroxyden.
NL7609939A (nl) Werkwijze voor de bereiding van n-acylhydroxyaryl- glycinen.
NL7606985A (nl) Werkwijze voor de bereiding van vanadium-arme alkalimetaalfosfaatoplossingen.
NL7611354A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van compound- -foelies.
NL184952C (nl) Werkwijze voor de bereiding van cyclohexanonoxim.
NL7607505A (nl) Werkwijze voor de bereiding van sulfamylbenzyl- aminen.
NL187065C (nl) Werkwijze voor de bereiding van styryldifenylamine.
NL7806681A (nl) Werkwijze voor de bereiding van gesensibiliseerde latexdeeltjes.
NL7807250A (nl) Werkwijze voor de bereiding van magnetische poeders.
NL7606651A (nl) Werkwijze voor de bereiding van tertiaire fosfienoxyden.
NL7602269A (nl) Werkwijze voor de bereiding van entpolymeren.
NL7800026A (nl) Werkwijze voor de bereiding van gesubstitueerde amino-benzenen.
NL186160C (nl) Werkwijze voor de bereiding van theaspiran.
NL7609877A (nl) Werkwijze voor de bereiding van radio-actief gemerkt orgoteine.
BE825234A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van fotomaskers
NL7700808A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van ijzer- oxidefotomaskers en ijzeroxidemaskers verkre- gen volgens deze werkwijze.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed