DE112007002891B4 - Verfahren und Vorrichtung zum Korrigieren eines Hochfrequenzcharakteristik-Fehlers elektronischer Komponenten - Google Patents

Abstract

Verfahren zur Korrektur eines Hochfrequenzcharakteristik-Fehlers beim Messen einer elektronischen Komponente (2) anhand eines Messsystems bezogen auf ein Referenzmesssystem, wobei das Messsystem ein ersten Tor (56, 1m), ein zweites Tor (66, 2m) und Verbindungsleitungen (22a, 22b, 26, 28) zur Verbindung der Anschlüsse der elektronischen Komponente (2) mit den Toren umfasst, wobei das Verfahren folgende Schritte ausweist:
einen ersten Schritt des Erstellens von zumindest drei ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben, die unterschiedliche Referenz-Hochfrequenzcharakteristika (Z_d1, Z_d2, Z_d3, Y_d1, Y_d2, Y_d3) aufweisen, die anhand des Referenzmesssystems identifiziert werden;
einen zweiten Schritt des Messens, anhand des Messsystems, der zumindest drei ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben oder zumindest dreier zweiter Korrekturdatenerfassungs-Proben, die Hochfrequenzcharakteristika aufweisen, die äquivalent denen der ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben sind, um tatsächliche Hochfrequenzcharakteristika (Z_m1, Z_m2, Zm₃, Y_m1, Ym₂, Ym₃) zu erhalten;
einen dritten Schritt des Bestimmens einer Gleichung, die einen anhand des Messsystems gemessenen Wert unter Verwendung eines Fehlerkorrekturkoeffizienten (Z_f, Y_f) für die Übertragungsleitungen (22, 26, 28) des Messsystems einem anhand des Referenzmesssystems gemessenen Wert zuordnet, wobei der Fehlerkorrekturkoeffizient (Z_f, Y_f) auf den Referenz-Hochfrequenzcharakteristika (Z_d1, Z_d2, Z_d3, Y_d1, Y_d2, Y_d3) und den tatsächlichen Hochfrequenzcharakteristika (Z_m1, Z_m2, Z_m3, Y_m1, Y_m2, Y_m3) basiert;
einen vierten Schritt des Messens der elektronischen Komponente (2) anhand des Messsystems; und
einen fünften Schritt des Berechnens, unter Verwendung der bei dem dritten Schritt ermittelten Gleichung und auf der Basis des bei dem vierten Schritt erhaltenen Messergebnisses, eines geschätzten Hochfrequenzcharakteristikwerts der elektronischen Komponente (2), der erhalten werden kann, wenn die elektronische Komponente (2) anhand des Referenzmesssystems gemessen wird.

Description

• Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren zum Korrigieren von Hochfrequenzcharakteristikfehlern elektronischer Komponenten und insbesondere auf ein Verfahren zum Korrigieren eines Fehlers eines Messsystems bei der Messung einer Hochfrequenzcharakteristik einer Zwei-Anschluss-Impedanzkomponente.
• Herkömmlicherweise werden elektrische Charakteristika elektronischer Komponenten unter Verwendung eines automatischen Charakteristikselektors bei einer Massenfertigung der elektronischen Komponenten gemessen. Da ein Messsystem des automatischen Charakteristikselektors eine andere Schaltungscharakteristik als ein Referenzmesssystem aufweist, ist es möglich, eine Ausbeute zu verbessern, indem ein Wert, der anhand des automatischen Charakteristikselektors gemessen wird, korrigiert wird, um einen Wert, der anhand des Referenzmesssystems gemessen wird, zu schätzen. Techniken wie z. B. SOLT-Kalibrierung, TRL-Kalibrierung und RRRR/TRRR-Kalibrierung sind als ein derartiges Korrekturverfahren bekannt.
• Zuerst wird eine TRL/SOLT-Kalibrierung beschrieben.
• Die TRL-Kalibrierung ist die effektivste herkömmliche Technik, die dazu verwendet werden kann, einen wahren Wert einer Streukoeffizientenmatrix eines einer Messung unterzogenen oberflächenmontierten Bauelements zu messen. Außerdem ist die SOLT-Kalibrierung als weit verbreitete herkömmliche Technik bekannt. Diese werden kurz beschrieben.
• Um einen wahren Wert des Messsubjekts zu erhalten, muss ein Fehlerfaktor eines Messsystems identifiziert werden, und ein Einfluss des Fehlerfaktors muss aus einem Messergebnis eliminiert werden. 1 zeigt ein Fehlermodell, das bei einem repräsentativen Fehlereliminierungsverfahren verwendet wird (Kalibrierungsverfahren).
• Im Einzelnen, wie in 1(a) gezeigt ist, ist eine ein Subjekt darstellende elektronische Komponente 2 mit einer auf einer Oberseite einer Befestigungsvorrichtung 10 gebildeten Übertragungsleitung verbunden. Verbinder 51 und 61, die an einem Ende von Koaxialkabeln 50 und 60 vorgesehen sind, sind mit Verbindern 11a und 11b verbunden, die an jeweiligen Enden der Übertragungsleitung der Befestigungsvorrichtung 10 vorgesehen sind. Die anderen Enden der Koaxialkabel 50 und 60 sind mit Messtoren eines Netzwerkanalysators, nicht gezeigt, verbunden. Pfeile 51s und 61s zeigen Kalibrierungsebenen.
• 1(b) zeigt ein Fehlermodell der TRL-Korrektur. Eine Schaltung 52 auf einer Messtorseite, die durch Streukoeffizienten e₀₀ , e₀₁ , e₁₀ und e₁₁ , dargestellt ist, und eine Schaltung 62 auf der anderen Messtorseite, die durch Streukoeffizienten f₀₀ , f₀₁ , f₁₀ und f₁₁ dargestellt ist, sind zwischen eine Schaltung 12 der Befestigungsvorrichtung, die durch Streukoeffizienten S_11A , S_12A , S_21A und S_22A dargestellt ist, und Paare von Anschlüssen a₁ -b₁ und a₂ -b₂ geschaltet.
• 1(c) zeigt ein Fehlermodell der SOLT-Korrektur. Eine Schaltung 54 auf einer Messtorseite, die durch Streukoeffizienten E_DF , E_RF , 1, E_SF dargestellt ist, und eine Schaltung 64 auf der anderen Messtorseite, die durch Streukoeffizienten E_LF und E_TF dargestellt ist, sind mit jeweiligen Seiten einer Schaltung 14 der Befestigungsvorrichtung verbunden, die durch Streukoeffizienten S_11A , S_12A , S_21A und S_22A dargestellt ist.
• Um einen Fehlerfaktor bei der SOLT-Kalibrierung zu identifizieren, muss eine Messung für zumindest drei Arten von Bauelementen durchgeführt werden, die bekannte Streukoeffizienten haben und an einer Subjektmessebene angebracht sind. Wie in 2 gezeigt ist, werden traditionell häufig geöffnete (offene), kurzgeschlossene (Kurzschluss-) und abgeschlossene (Last = 50 Ω) Standards 80, 81 und 82 verwendet. Da es extrem schwierig ist, vorzuziehende „geöffnete“ und „abgeschlossene“ Standards zu verwirklichen, außer in einer Koaxialumgebung, kann eine Kalibrierung nicht an Enden der Befestigungsvorrichtung 10 durchgeführt werden (Kalibrierungsebenen durch die Pfeile 51s und 61s gezeigt). Da derartige Standards anhand eines Verfahrens wie z. B. gleitende Last in der Koaxialumgebung verwirklicht werden können, ist dieses Verfahren weit verbreitet und wird als SOLT-Kalibrierung bezeichnet.
• Die TRL-Kalibrierung verwendet statt der schwer zu verwirklichenden Bauelement-Form-Standards Tor-Direkt-Verbunden-Zustands- (Durchgangs-), Totalreflexions- (Reflexions-, allgemein kurzgeschlossene) und mehrere Arten von Übertragungsleitungen (Leitungen), die unterschiedliche Längen aufweisen, als Standards. Da die Herstellung der Übertragungsleitungen der Standards, die bekannte Streukoeffizienten aufweisen, relativ einfach ist und Charakteristika der Totalreflexion relativ einfach vorausgesagt werden können, falls die Totalreflexion durch einen Kurzschluss verwirklicht wird, ist die TRL-Kalibrierung als das genaueste Kalibrierungsverfahren bekannt, das besonders in einer Wellenleiterumgebung verwendet wird.
• 3 zeigt ein Fehlerfaktorbestimmungsverfahren der TRL-Kalibrierung. In der Zeichnung sind die Übertragungsleitungen schraffiert gezeigt. Wie durch Pfeile 2s und 2t angegeben ist, sind Kalibrierungsebenen Teile, die mit Bauelementen verbunden sind. Um einen Fehlerfaktor zu identifizierten, werden als Standards eine Platine 86 des Tor-Direkt-Verbunden-Zustands- (Durchgangs-), eine Platine 83 der Totalreflexions- (Reflexions-, allgemein kurzgeschlossenen) und Platinen 84 und 85 der mehreren Arten von Übertragungsleitungen (Leitungen), die unterschiedliche Längen aufweisen, verwendet. Bei diesem Beispiel gibt „Durchgang“ einen sogenannten „Nulldurchgang“ an. Zur Zeit der Messung eines Subjekts wird die Messung durchgeführt, nachdem ein Subjekt 2 mit einer Messplatine 87 in Reihe geschaltet wurde, die um die Größe des Subjekts vergrößert wird.
• Die Kurzdarstellung der TRL- und SOLT-Kalibrierung lautet wie oben beschrieben. Diese Techniken weisen die folgenden beiden Probleme auf.
1. (1) Es wird ein Kalibrierungsfehler bewirkt, wenn nicht alle Fehlerfaktoren, die an Verbindungsteilen von koaxial-planaren Übertragungsleitungen verursacht werden, bei Übertragungsleitungen (mehreren Arten von Leitungen und Reflexion) und „Durchgang“, die als Standards dienen, gleich sind. Sogar wenn bei jedem der Standards dieselbe Art von Verbindern verwendet wird, wird ein Einfluss einer Verbindercharakteristikvarianz merklich groß, wenn sich der Fehlerfaktor jedes Verbinders unterscheidet, und somit ist es im Wesentlichen unmöglich, eine Kalibrierung durchzuführen, wenn sich die Frequenz an das Millimeterwellenband annähert.
2. (2) Um das oben beschriebene Problem zu lösen, werden verfügbare Befestigungsvorrichtungen verbessert, um den Einfluss der Verbindermessvarianz zu vermeiden, indem ein üblicher Koaxialverbinder anhand eines Kontakts mit einer Standardübertragungsleitung verbunden wird. Jedoch ist es strukturell schwierig, zu garantieren, dass eine ausreichende Presslast auf das Kontaktteil ausgeübt wird, da ein Koaxialstift beschädigt werden kann und eine Kalibrierung aufgrund des instabilen Kontakts oft instabil wird. Da die Übertragungsleitungen und der Koaxialstift mit ansteigender Messfrequenz allgemein dünner werden, nimmt überdies aufgrund der Reproduzierbarkeit einer Positionierung dieser Elemente eine Messvarianz zu.
• Um diese Probleme zu lösen, wurden so genannte RRRR/TRRR-Kalibrierungsverfahren vorgeschlagen.
• Als Nächstes wird eine Kurzdarstellung der RRRR/TRRR-Kalibrierungsverfahren beschrieben.
• Diese Verfahren sind dahin gehend charakterisiert, einen Messsystemfehler bis zu Enden einer Übertragungsleitung zu identifizieren, indem ein Signalleiter und ein Masseleiter in mehreren vorbestimmten Positionen einer einzelnen Übertragungsleitung kurzgeschlossen werden, und dahin gehend charakterisiert, in der Lage zu sein, eine hochfrequente elektrische Charakteristik eines oberflächenmontierten Bauelements äußerst genau zu messen. Diese Verfahren weisen vorteilhafterweise nicht die Probleme bezüglich der Übertragungsleitungscharakteristikvarianz und der Varianz des Verbindungszustands der Übertragungsleitungen und der Koaxialverbinder auf, die mit den TRL/SOLT-Kalibrierungsverfahren verbunden sind.
• Wie in 4 und 5 gezeigt ist, sind Fehlermodelle ähnlich denen der SOLT/TRL-Kalibrierung. Im Einzelnen zeigt 4 ein Fehlermodell der TRRR-Kalibrierung, das dasselbe ist wie das Fehlermodell der in 1(c) gezeigten SOLT-Kalibrierung. 5 zeigt ein Fehlermodell der RRRR-Kalibrierung, das dasselbe ist wie das Fehlermodell der in 1(b) gezeigten TRL-Kalibrierung.
• Eine Charakteristik der RRRR/TRRR-Kalibrierungsverfahren ist ein Verfahren zum Messen eines bei der Kalibrierung verwendeten „Standardmesswerts“. Die SOLT und die TRL verwenden Messwerte eines Standardbauelements und einer Standardübertragungsleitung jeweils als den „Standardmesswert“. Wie in 6 gezeigt ist, verwenden die RRRR/TRRR-Kalibrierungsverfahren Werte, die gemessen werden, indem eine kurzgeschlossene Referenzposition auf einer Messplatine 10a als „Standardmesswert“ verändert wird. Da kein Einfluss von Verbindern verursacht wird, sind die RRRR/TRRR-Kalibrierungsverfahren bei der Desktop-Messung genauer und effektiver als die SOLT-Kalibrierung und die TRL-Kalibrierung.
• Da jedoch die TRRR/RRRR-Kalibrierung eine Änderung von Reflexionskoeffizienten, die aus verschiedenen Verbindungspositionen einer kurzgeschlossenen Referenz (Kurzschlusschip 2s) resultieren, dazu verwendet, Übertragungsleitungen 10s und 10t als Kalibrierungsreferenz festzulegen, muss die Verbindungsposition der kurzgeschlossenen Referenz beträchtlich verändert werden, wenn eine Wellenlänge eines zu messenden Signals lang ist (Frequenz ist niedrig), und somit müssen T₁ und T₂ , die in der Zeichnung gezeigt sind, verlängert werden. Demgemäß muss eine Länge der Messplatine 10a (Größe in einer durch einen Pfeil L angegebenen Richtung) vergrößert werden. Da außerdem ein automatischer Charakteristikselektor, der bei einem Massenherstellungsprozess verwendet wird, bezüglich der Struktur und Größe eine Beschränkung aufweist, ist es schwierig, einen Korrektur-Masseanschluss in der Befestigungsvorrichtung 10a vorzusehen und den Kurzchip 2s so zu konfigurieren, dass die Position desselben genau bestimmt werden kann. Ein solcher Ansatz wird z.B. in der WO 2005 / 101 033 A1 , der WO 2005 / 101 034 A1 oder in der Application Note 1287-9: In-Fixture Measurements Using Vector Network Analyzers, ((C) 1999 Hewlett-Packard Company) beschrieben.
• Wie beispielsweise in einem wichtigen Konfigurationsdiagramm der 9 gezeigt ist, sind bei einem automatischen Charakteristikselektor, der bei einem Elektronikkomponenten-Massenherstellungsprozess verwendet wird, Elektroden 2a und 2b einer ein Subjekt darstellenden elektronischen Komponente 2 auf Messstifte 32a und 32b, die von einem Messanschlussabschnitt 30 hervorstehen, gepresst, um mit den Messstiften 32a und 32b in Reihe geschaltet zu sein, und die Messstifte 32a und 32b sind durch Koaxialkabel 34 bzw. 36 mit einer nicht gezeigten Messvorrichtung verbunden. Wenn lediglich ein schmaler Raum, der eine Verbindung der elektronischen Komponente 2 ermöglicht, um den Messanschlussabschnitt 30 herum erfasst werden kann, muss eine Korrektur eines Messsystemfehlers mit einer Einschränkung durchgeführt werden, dass nur in Massenproduktion hergestellte Bauelemente oder Proben, die im Wesentlichen dieselbe Größe/Form aufweisen wie die in Massenproduktion hergestellten Bauelemente, im Wesentlichen mit dem Messanschlussabschnitt 30 verbunden sein können. In einem solchen Fall ergeben sich die folgenden Probleme.
1. (1) Es ist unmöglich, Übertragungsleitungen unterschiedlicher Längen mit dem Messanschlussabschnitt des automatischen Charakteristikselektors zu verbinden, und die TRL-Kalibrierung kann nicht verwendet werden.
2. (2) Die SOLT-Kalibrierung kann in der Praxis nicht an Enden des Messanschlussabschnitts durchgeführt werden und weist eine Einschränkung auf, dass die SOLT-Kalibrierung lediglich auf Koaxial- und Wellenleitersysteme angewendet werden kann. Allgemein wird die SOLT-Kalibrierung an einem Bereich bis zu einem Koaxialverbinderabschnitt durchgeführt, und die folgenden Übertragungsleitungen sind dahin gehend entworfen, keinen Fehler zu verursachen, wodurch eine ausreichende Messgenauigkeit erhalten wird. Da jedoch die Einschränkung bezüglich der Form und Größe auf die Übertragungsleitungen angewendet wird, die auf die Koaxialverbinder in dem Messanschlussabschnitt des automatischen Charakteristikselektors folgen, wird eine ausreichende Genauigkeit nicht oft lediglich durch eine Kalibrierung eines Bereichs bis zu dem Koaxialverbinderabschnitt erhalten.
3. (3) Sogar falls eine Messung eines Standardbauelements an den Enden des Messanschlussabschnitts versucht wird, indem die SOLT-Kalibrierung verbessert wird, ergeben sich die folgenden Probleme.
   1. i) Die SOLT-Kalibrierung erfordert eine Messung eines Ein-Tor-Bauelements an jedem Tor. Im Einzelnen ist dann, wenn eine Zwei-Anschluss-Elektronikkomponente zwischen einen Schlitz 10k einer einzelnen Signalleitung 10x in Reihe geschaltet ist, wie durch eine Draufsicht einer Messplatine 10b in 7 gezeigt ist, und gemessen wird, an einem Anschlussabschnitt kein Masseanschluss vorgesehen, da der Masseanschluss für die Messung nicht notwendig ist. Da jedoch das Ein-Tor-Bauelement bei der SOLT-Kalibrierung nicht ohne den Masseleiter gemessen werden kann, muss der Masseanschluss lediglich für eine Kalibrierung bereitgestellt werden, um die SOLT-Kalibrierung zu verwenden.
   2. ii) An jedem von zwei Toren ist bei der SOLT-Kalibrierung eine Messung von drei Arten von Ein-Tor-Bauelementen, die bekannte Werte aufweisen, erforderlich. Da jedoch zwei Anschlüsse des Bauelements zwischen einen Signalleiter 10p und einen Masseleiter 10g geschaltet sind, wie durch eine Draufsicht einer Messplatine 10c in 8 gezeigt ist, ist es unmöglich, ein Ein-Tor-Bauelement unabhängig zu messen.
4. (4) Wenn eine in Reihe geschaltete Zwei-Anschluss-Elektronikkomponente gemessen wird, ist an einem Anschlussabschnitt kein Masseanschluss vorgesehen, da der Masseanschluss für eine Messung nicht notwendig ist. Da jedoch bei der RRRR-Kalibrierung eine Messung in einem kurzgeschlossenen Zustand durchgeführt werden muss, muss ein Masseanschluss lediglich für eine Kalibrierung bereitgestellt werden, um die RRRR-Kalibrierung zu verwenden.
5. (5) Obwohl bei der RRRR-Kalibrierung eine Messung durchgeführt wird, indem mehrere Positionen einer Platine kurzgeschlossen werden, muss eine Verbindungsposition der kurzgeschlossenen Referenz beträchtlich verändert werden, wenn eine Frequenz niedrig ist. Demgemäß muss die Länge der Messplatine vergrößert werden.
• Die US 2004 / 0 059 529 A1 beschreibt ein Verfahren, bei dem eine Impedanz einer Probe zum Erhalten korrigierter Daten mit einer Standard-Messeinrichtung und einer tatsächlichen Messvorrichtung gemessen wird, um einen Zusammenhang der Ergebnisse von Messungen durch Standardmessgeräte und Messungen durch ein tatsächlich verwendetes Messgerät zu erzeugen. Die Impedanz eines elektronischen Bauteils wird dann durch das tatsächlich verwendete Messgerät gemessen und unter Verwendung Zusammenhangs umgewandelt, so dass die korrigiert Impedanz des elektronischen Bauteils der Impedanz entspricht, die von dem Standardmessgerät erhalten werden würde.
• Silvonen, Kimmo J.: Calibration of Test Fixtures Using at Least Two Standards, In: IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, April 1991, Vol. 39, Nr. 4, S.624-630 beschreibt Fehlerkorrekturverfahren unter Verwendung dreier unterschiedlicher, bekannter Kalibrierstandards.
• Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Ansatz zu schaffen, der es ermöglicht, dass an einer Zwei-Anschluss-Impedanzkomponente Kalibrierungsarbeit unter Verwendung desselben Korrekturziel-Messsystems wie des bei einer tatsächlichen Messung verwendeten durchgeführt wird.
• Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1, und eine Vorrichtung gemäß Anspruch 6 gelöst.
• Weitere Ausgestaltungen sind in den Unteransprüche definiert.
• Die Werte der bei dem ersten Schritt erstellten ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben (Korrekturdatenerfassungs-Sample) können zuvor identifiziert werden, indem die Proben (Samples) anhand des Referenzmesssystems tatsächlich gemessen werden, oder sie können unter Verwendung anderer Verfahren zuvor identifiziert werden. Beispielsweise wird eventuell lediglich eine von vielen Proben, die man dahin gehend ansehen kann, dass sie äquivalente Charakteristika aufweisen, anhand des Referenzmesssystems tatsächlich gemessen, und die Messwerte können zur Identifizierung der anderen Proben verwendet werden.
• Gemäß dem oben beschriebenen Verfahren ist es möglich, den ersten und den zweiten Schritt unter Verwendung von Korrekturdatenerfassungs-Proben auszuführen, die die Form/Größe aufweisen, die im Wesentlichen dieselben sind wie die einer elektronischen Komponente. Herkömmlicherweise kann ein Messsystem eines automatischen Charakteristikselektors lediglich einen Bereich bis zu einem Ende eines Koaxialverbinders kalibrieren. Jedoch ermöglicht das oben beschriebene Verfahren, dass an einem Bereich bis zu einem Ende eines Anschlussabschnitts, mit dem die elektronische Komponente verbunden ist, eine Korrektur durchgeführt wird.
• Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Anspruch 2 kann ein Messergebnis bei dem Referenzmesssystem geschätzt werden, indem ein Fehler einer Übertragungsleitung bezüglich des Messergebnisses des in Reihe geschalteten tatsächlichen Messsystems korrigiert wird.
• Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Anspruch 3 kann das Messergebnis bei dem Referenzmesssystem geschätzt werden, indem ein Fehler einer Übertragungsleitung bezüglich des Messergebnisses des im Nebenschluss verschalteten tatsächlichen Messsystems korrigiert wird.
• Wenn die Admittanz Y_m11 , Y_m12 , Y_m13 , Y_m21 , Y_m22 und Y_m23 der zumindest drei erste Korrekturdatenerfassungs-Proben oder zweiten Korrekturdatenerfassungs-Proben bei dem tatsächlichen Messsystem bei dem zweiten Schritt gemessen werden, können die Tore des Messsystems elektrisch verbunden sein.
• Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Anspruch 4 wird das Zwei-Tor-Fehlermodell bezüglich der Differenzimpedanzkomponente umgewandelt. Eine Gleichung bezüglich eines Ein-Tor-Fehlermodells wird bei der Hochfrequenzcharakteristikfehlerkorrektur verwendet. Da die Gleichung bezüglich des Ein-Tor-Fehlermodells ausgehend von Daten der zumindest drei Korrekturdatenerfassungs-Proben eindeutig ermittelt werden kann, die verschiedene Hochfrequenzcharakteristika aufweisen, die bei dem tatsächlichen Messsystem und dem Referenzmesssystem erhalten wurden, ohne das Vorzeichen zu berücksichtigen, werden Vorteile wie z. B. eine Verbesserung der Korrekturgenauigkeit, eine Unterdrückung eines Einflusses eines Rauschens auf die Korrekturgenauigkeit sowie eine Vereinfachung eines Berechnungsalgorithmus erhalten.
• Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Anspruch 5 wird das Zwei-Tor-Fehlermodell bezüglich der Gleichtakt-Admittanzkomponente umgewandelt. Eine Gleichung bezüglich eines Ein-Tor-Fehlermodells wird bei der Hochfrequenzcharakteristikfehlerkorrektur verwendet. Da die Gleichung bezüglich des Ein-Tor-Fehlermodells ausgehend von Daten der zumindest drei Korrekturdatenerfassungs-Proben eindeutig ermittelt werden kann, die verschiedene Hochfrequenzcharakteristika aufweisen, die bei dem tatsächlichen Messsystem und dem Referenzmesssystem erhalten wurden, ohne das Vorzeichen zu berücksichtigen, werden Vorteile wie z. B. eine Verbesserung der Korrekturgenauigkeit, eine Unterdrückung eines Einflusses eines Rauschens auf die Korrekturgenauigkeit sowie eine Vereinfachung eines Berechnungsalgorithmus erhalten.
• Gemäß der vorliegenden Erfindung kann unter Verwendung desselben Korrekturzielmesssystems wie des zum Zeitpunkt der tatsächlichen Messung verwendeten eine Kalibrierungsarbeit an einer Zwei-Anschluss-Impedanzkomponente durchgeführt werden. Da ein automatischer Charakteristikselektor, der kein effektives Kalibrierungsverfahren aufweist, nach einer Durchführung einer genauen Kalibrierung eine Auswahl durchführen kann, kann folglich eine genaue Messauswahl und Charakteristik-Benutzergarantie von in Massenproduktion hergestellten Bauelementen, die bisher nicht verwirklicht wurden, verwirklicht werden.
• Außerdem erfordern herkömmliche Fehlerkorrekturtechniken eine Arbeit, die ursprünglich nicht in einer Messung enthalten ist, beispielsweise eine Eliminierung eines Anschlusses von einem Verbinder und ein Anschließen eines Standardbauelements, zur Fehlerkorrektur. Zu diesem Zweck muss ein Masseanschluss vorgesehen werden, oder es muss eine Struktur zum Drücken einer kurzgeschlossenen Referenz vorgesehen werden. Im Gegensatz dazu muss bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung eine Messung zum Zweck einer Korrektur lediglich bei demselben Prozess wie dem einer allgemeinen Messung durchgeführt werden. Außerdem sind der Masseanschluss und Kurzschlussmechanismus zum Zweck einer Korrektur nicht notwendig, und ein Anschlussabschnitt muss lediglich eine Funktion bezüglich eines Verwirklichens der allgemeinen Messung aufweisen.
• Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert, in denen
• 1(a), (b) und (c) ein erläuterndes Diagramm eines Messsystems, ein Schaltungsdiagramm eines Fehlermodells einer TRL-Kalibrierung bzw. ein Schaltungsdiagramm eines Fehlermodells einer SOLT-Kalibrierung (Stand der Technik) zeigen,
• 2 ein erläuterndes Diagramm eines Fehlerfaktorbestimmungsverfahrens einer SOLT-Kalibrierung (Stand der Technik) zeigt,
• 3 ein erläuterndes Diagramm eines Fehlerfaktorbestimmungsverfahrens einer TRL-Kalibrierung (Stand der Technik) zeigt,
• 4 ein Schaltungsdiagramm eines Fehlermodells einer TRRR-Kalibrierung (Stand der Technik) zeigt,
• 5 ein Schaltungsdiagramm eines Fehlermodells einer RRRR-Kalibrierung (Stand der Technik) zeigt,
• 6 ein erläuterndes Diagramm einer Messposition bei einer TRRR-Kalibrierung und einer RRRR-Kalibrierung (Stand der Technik) zeigt,
• 7 eine Draufsicht auf eine in Reihe geschaltete Messplatine (Stand der Technik) zeigt,
• 8 eine Draufsicht auf eine im Nebenschluss verschaltete Messplatine (Stand der Technik) zeigt,
• 9 ein wichtiges Schnittkonfigurationsdiagramm, das eine Konfiguration eines Messanschlussabschnitts zeigt (Stand der Technik) zeigt,
• 10(a) und (b) ein Konfigurationsdiagramm eines Messsystems bzw. einen Aufriss einer Messplatine (Ausführungsbeispiel 1) zeigen,.
• 11 mehrere Graphen zeigt, die Chipinduktormessergebnisse zeigen (Ausführungsbeispiel 1),
• 12(a) und (b) ein Konfigurationsdiagramm eines Messsystems bzw. einen Aufriss einer Messplatine (Ausführungsbeispiel 2) zeigen,
• 13 mehrere Graphen zeigt, die Chipwiderstandsmessergebnisse zeigen (Ausführungsbeispiel 2),
• 14 ein Schaltungsdiagramm von in Reihe geschalteten Fehlermodellen (Ausführungsbeispiel 1) zeigt,
• 15 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 1) zeigt,
• 16 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 1) zeigt,
• 17 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 1) zeigt,
• 18 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 1) zeigt,
• 19 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 1) zeigt,
• 20 ein Schaltungsdiagramm von im Nebenschluss verschalteten Fehlermodellen (Ausführungsbeispiel 2) zeigt,
• 21 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 2) zeigt,
• 22 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 2) zeigt,
• 23 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 2) zeigt,
• 24 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 2) zeigt,
• 25 ein Schaltungsdiagramm einer von einer Tor-1-Seite betrachteten Ersatzschaltung (Ausführungsbeispiel 2) zeigt,
• 26 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das ein Z-Parametermodell einer Zwei-Tor-Schaltung zeigt (Ausführungsbeispiele 3 und 4),
• 27 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine T-Typ-Ersatzschaltung einer in 25 gezeigten Schaltung zeigt (Ausführungsbeispiele 3 und 4);
• 28 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung einer in 26 gezeigten Schaltung zum Zeitpunkt einer Eingabe eines Differenzsignals zeigt (Ausführungsbeispiele 3 und 4);
• 29 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine T-Typ-Ersatzschaltung von Z-Parametern eines Zwei-Tor-Fehlermodells zeigt (Ausführungsbeispiel 3),
• 30 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung einer in 28 gezeigten Schaltung zum Zeitpunkt einer Eingabe eines Differenzsignals zeigt (Ausführungsbeispiel 3),
• 31 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung einer in 29 gezeigten Schaltung zeigt (Ausführungsbeispiel 3),
• 32 ein Diagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung vom π-Typ zeigt (Ausführungsbeispiel 4),
• 33 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung einer in 31 gezeigten Schaltung zum Zeitpunkt einer Eingabe eines Gleichtaktsignals zeigt (Ausführungsbeispiel 4),
• 34 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine π-Typ-Ersatzschaltung von Y-Parametern eines Zwei-Tor-Fehlermodells zeigt (Ausführungsbeispiel 4),
• 35 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung einer in 33 gezeigten Schaltung zum Zeitpunkt einer Eingabe eines Gleichtaktsignals zeigt (Ausführungsbeispiel 4),
• 36 ein Schaltungsdiagramm zeigt, das eine Ersatzschaltung einer in 34 gezeigten Schaltung zeigt (Ausführungsbeispiel 4), und
• 37 ein Konfigurationsdiagramm einer Zwei-Tor-Sonde (Ausführungsbeispiel 3) zeigt.
• In der nachfolgenden Beschreibung werden folgende Bezugszeichen verwendet:

2

elektronische Komponente

20, 21

Messplatine

22a, 22b

Übertragungsleitung

26

Signalleiter

28

Masseleiter

• Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf 9 bis 37 beschrieben.
• Als erstes wird unter Bezugnahme auf 14 bis 25 ein Verfahren zum Korrigieren eines Hochfrequenzcharakteristikfehlers einer elektronischen Komponente gemäß einem Erster-Typ-Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben.
• <1. Ausführungsbeispiel> Unter Bezugnahme auf 14 bis 19 wird ein auf einen Fall einer Reihenschaltung angewendetes Messfehlerkorrekturprinzip beschrieben.
• Obwohl eine elektrische Charakteristik einer elektronischen Komponente bei Frequenzen, die höher sind als die einer Mikrowelle, allgemein als Streukoeffizientenmatrix dargestellt wird, gibt es keinen besonderen Grund dafür, die elektrische Charakteristik durch die Streukoeffizientenmatrix darzustellen, und je nach einem Zweck kann ein austauschbar, leicht zu verwendender Parameter verwendet werden. Hierin wird eine Impedanzverbindungsschaltung vom T-Typ als Fehlerparameter einer Reihenmessung eines Zwei-Anschluss-Impedanzelements angenommen. 14 zeigt ein Fehlermodell derselben. In der Zeichnung entspricht ein von einer gepunkteten Linie umgebenes Teil einem Fehlermodell jedes Tores. Die Fehlermodelle sind zwischen die Anschlüsse 1_m und 2_m, bei denen ein Subjekt anhand eines Referenzmesssystems gemessen wird, und die Anschlüsse 1_d und 2_d , bei denen das Subjekt anhand eines Korrekturzielmesssystems gemessen wird, geschaltet. Eine Variable Z stellt die Impedanz dar. Außerdem ist ein als DUT (Testobjekt) dargestelltes Teil das Subjekt. Da dieses Modell die Reihenmessung eines Zwei-Anschluss-Impedanzelements darstellt, wird das Subjekt als Zwei-Anschluss-Impedanzelement modelliert, und es wird in Erwägung gezogen, dass eine Nebenschlusskapazität ignoriert werden kann.
• Da ein Tor 2 aus der Sicht eines Tors 1 einfach eine Anschlussimpedanz ist, wird eine in 15 gezeigte Ersatzschaltung erhalten. Hier ist Z₂ eine Äquivalenzimpedanz des Tores 2.
• Eine sorgfältige Betrachtung der 15 offenbart, dass Z₁₃ , Z_d und Z₂ einfach in Reihe geschaltet sind. Dementsprechend kann, falls Z₁₃ und Z₂ kollektiv als Z_e1 gezeigt sind, die Ersatzschaltung gemäß der Darstellung in 16 modifiziert werden.
• Da drei Werte Z₁₁ , Z₁₂ und Z_e1 eines in 16 gezeigten Fehlermodells unbekannt sind, können diese unbekannten Werte ermittelt werden, falls drei Sätze von Messwerten Z_m, die aus einer Messung von Korrekturdatenerfassungs-Proben Z_d resultieren, erfasst werden. Genauer gesagt, wenn drei Impedanzwerte der Korrekturdatenerfassungs-Proben und Messwerte derselben als Z_d1 , Z_d2 und Z_d3 bzw. Z_m11 , Z_m12 und Z_m13 bezeichnet werden, wird eine Beziehung, die durch die folgende Gleichung [Gleichung 5a] dargestellt ist, erfüllt. $$\begin{array}{c}{Z}_{m11}=\frac{\left(Z_{e1}+Z_{d1}\right)Z_{12}}{Z_{12}+Z_{e1}+Z_{d1}}+Z_{11}\\ Z_{m12}=\frac{\left(Z_{e1}+Z_{d2}\right)Z_{12}}{Z_{12}+Z_{e1}+Z_{d2}}+Z_{11}\\ Z_{m11}=\frac{\left(Z_{e1}+Z_{d3}\right)Z_{12}}{Z_{12}+Z_{e1}+Z_{d3}}+Z_{11}\end{array}$$

  
• Fehlerfaktoren können unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 5b], die ausgehend von der Gleichung [Gleichung 5a] ermittelt wird, berechnet werden. Welche von verschiedenen positiven und negativen Lösungen der Gleichung ausgewählt werden soll bzw. sollen, wird später beschrieben. $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m13}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m12}+\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m11}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{11}=[\pm \sqrt{Z_{d2}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d2}}\sqrt{Z_{m12}-Z_{m11}}\sqrt{Z_{m13}-Z_{m11}}\sqrt{Z_{m13}-Z_{m12}}\\ -\left\{\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m12}{Z}_{m13}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m11}{Z}_{m13}+\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m11}{Z}_{m12}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{12}=\pm \sqrt{\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)\left(Z_{d3}^2+\left(-Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{d3}+Z_{d1}{Z}_{d2}\right)\left(Z_{m12}-Z_{m11}\right)\left(Z_{m13}^2+\left(-Z_{m12}-Z_{m11}\right)Z_{m13}+Z_{m11}{Z}_{m12}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

  
• Zei kann unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 5c] ermittelt werden, wenn Z₁₁ und Z₁₂ der Gleichung [Gleichung 5b] in der Gleichung [Gleichung 5a] eingesetzt werden. Jedoch wird Z_e1 nicht bei einer Fehlerkorrekturberechnung verwendet, nämlich in einer Gleichung [Gleichung 7], die später beschrieben werden soll. $$Z_{e1}=\frac{Z_{m11}{Z}_{12}-Z_{11}{Z}_{12}}{Z_{11}+Z_{12}-Z_{m11}}-Z_{d1}$$

  
• Außerdem kann die Gleichung [Gleichung 5c] unter Verwendung von Z_m12 und Z_d2 oder Z_m13 und Z_d3 anstelle von Z_m11 und Z_d1 ermittelt werden.
• Da das Tor 1 aus der Sicht des Tors 2 einfach eine Anschlussimpedanz ist, wird eine in 17 gezeigte Ersatzschaltung erhalten. Hier ist Z₁ eine äquivalente Impedanz des Tores 1.
• Eine sorgfältige Betrachtung der 17 offenbart, dass Z₂₃ , Z_d und Z₁ einfach in Reihe geschaltet sind. Dementsprechend kann, falls Z₂₃ und Z₁ kollektiv als Z_e2 gezeigt sind, die Ersatzschaltung gemäß der Darstellung in 18 modifiziert werden.
• Da drei Werte Z₂₁ , Z₂₂ und Z_e2 eines in 18 gezeigten Fehlermodells unbekannt sind, werden diese unbekannten Werte ermittelt, falls drei Sätze von Messwerten Z_m, die aus einer Messung von Korrekturdatenerfassungs-Proben Z_d resultieren, erfasst werden.
• Im Einzelnen, wenn Impedanzwerte von drei Korrekturdatenerfassungs-Proben (i = 1, 2 und 3) und Messwerte derselben als Z_di bzw. Z_m2i bezeichnet werden, ist die folgende Gleichung [Gleichung 6a] erfüllt. $$\begin{array}{c}{Z}_{m21}=\frac{\left(Z_{e2}+Z_{d1}\right)Z_{22}}{Z_{22}+Z_{e2}+Z_{d1}}+Z_{21}\\ Z_{m22}=\frac{\left(Z_{e2}+Z_{d2}\right)Z_{22}}{Z_{22}+Z_{e2}+Z_{d2}}+Z_{21}\\ Z_{m23}=\frac{\left(Z_{e3}+Z_{d3}\right)Z_{22}}{Z_{22}+Z_{e3}+Z_{d3}}+Z_{21}\end{array}$$

  
• Die folgende Gleichung [Gleichung 6b] wird ermittelt, indem Fehlerfaktoren Z₂₁ und Z₂₂ ausgehend von der Gleichung [Gleichung 6a] bezüglich der drei Korrekturdatenerfassungs-Proben (i = 1, 2 und 3) ermittelt werden. Welche von verschiedenen positiven und negativen Lösungen der Gleichung ausgewählt werden soll bzw. sollen, wird später beschrieben. $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m23}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m22}+\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m21}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{21}=[\pm \sqrt{Z_{d2}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d2}}\sqrt{Z_{m22}-Z_{m21}}\sqrt{Z_{m23}-Z_{m21}}\sqrt{Z_{m23}-Z_{m22}}\\ -\left\{\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m22}{Z}_{m23}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m21}{Z}_{m23}+\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m21}{Z}_{m22}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{22}=\pm \sqrt{\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)\left(Z_{d3}^2+\left(-Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{d3}+Z_{d1}{Z}_{d2}\right)\left(Z_{m22}-Z_{m21}\right)\left(Z_{m23}^2+\left(-Z_{m22}-Z_{m21}\right)Z_{m23}+Z_{m21}{Z}_{m22}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

  
• Z_e2 kann unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 6c] ermittelt werden, falls Z₂₁ und Z₂₂ der Gleichung [Gleichung 6b] in der Gleichung [Gleichung 6a] eingesetzt werden. Jedoch wird Z_e2 nicht bei einer Fehlerkorrekturberechnung verwendet, nämlich in einer Gleichung [Gleichung 7], die später beschrieben werden soll. $$Z_{e2}=\frac{Z_{m21}{Z}_{12}-Z_{11}{Z}_{12}}{Z_{11}+Z_{12}-Z_{m21}}-Z_{d1}$$

  
• Außerdem kann die Gleichung [Gleichung 6c] unter Verwendung von Z_m22 und Z_d2 oder Z_m23 und Z_d3 anstelle von Z_m21 und Z_d1 ermittelt werden.
• Auf die oben beschriebene Weise wird das Fehlermodell, ausschließlich Z₁₃ und Z₂₃ , ermittelt.
• Unterdessen können die Werte Z₁₃ und Z₂₃ nicht ermittelt werden, indem die Korrekturdatenerfassungs-Proben einfach in Reihe geschaltet werden.
• Da jedoch Z₁₃ und Z₂₃ in Reihe geschaltet sind, müssen die Werte derselben nicht separat und unabhängig ermittelt werden. Demgemäß kann das Fehlermodell so revidiert werden, wie es in 19 gezeigt ist. In der Zeichnung ist Z_f ein Fehlerfaktor, der als Reihenschaltung von Z₁₃ und Z₂₃ (d. h. eine Summe der Werte) angesehen werden kann.
• Bei dem in 19 gezeigten Fehlermodell sind die Impedanz Z₁₁ und Z_f zwischen einen Anschluss 1_m und einen Anschluss 1_d in Reihe geschaltet, ist die Impedanz Z₁₂ zwischen Masse und einen Verbindungspunkt der Impedanz Z₁₁ und Z_f geschaltet, ist die Impedanz Z₂₁ zwischen einen Anschluss 2_d und einen Anschluss 2_m geschaltet, und ist die Impedanz Z₂₂ zwischen den Anschluss 2_d und Masse geschaltet.
• Da die Impedanz aus der Sicht z. B. des Tores 1 einen Zustand angibt, in dem die Tor-2-Seite des in 19 gezeigten Fehlermodells ein reflexionsfreier Abschluss ist (d. h. allgemein ein Zustand, bei dem 50 Ω angeschlossen sind), kann Z_f aus einem Satz von Werten Z_a der Korrekturdatenerfassungs-Proben und Messwerte Z_m, die erhalten werden, wenn die Proben verbunden sind, ermittelt werden.
• Es gibt drei Kombinationen des Werts Z_ai der Korrekturdatenerfassungs-Probe und des Messwerts Z_mi , die erhalten werden, wenn die Probe bezüglich der drei Korrekturdatenerfassungs-Proben (i = 1, 2 und 3) verbunden wird. Z_fi kann unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 7] ermittelt werden. Unterdessen stellt Z₀ der Gleichung eine charakteristische Impedanz dar. $$\begin{array}{c}\begin{array}{l}{\text{Z}}_{\text{f1}}=-[\{\left({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right){\text{Z}}_{\text{d1}}+\left(\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)+{\text{Z}}_{12}\right){\text{Z}}_{22}+{\text{Z}}_{12}({\text{Z}}_{21}\\ +{\text{Z}}_0)\}{\text{Z}}_{\text{m11}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{d1}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\right\}{\text{Z}}_{22}-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{m11}}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)({\text{Z}}_{21}+\\ {\text{Z}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Z}}_{\text{f2}}=-[\{\left({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right){\text{Z}}_{\text{d2}}+\left(\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)+{\text{Z}}_{12}\right){\text{Z}}_{22}+{\text{Z}}_{12}({\text{Z}}_{21}\\ +{\text{ Z}}_0)\}{\text{Z}}_{\text{m12}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{d2}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\right\}{\text{Z}}_{22}-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{m12}}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)({\text{Z}}_{21}+\\ {\text{Z}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Z}}_{\text{f3}}=-[\{\left({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right){\text{Z}}_{\text{d3}}+\left(\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)+{\text{Z}}_{12}\right){\text{Z}}_{22}+{\text{Z}}_{12}({\text{Z}}_{21}\\ +{\text{ Z}}_0)\}{\text{Z}}_{\text{m13}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{d3}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\right\}{\text{Z}}_{22}-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{m13}}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)({\text{Z}}_{21}+\\ {\text{Z}}_0)],\end{array}\end{array}$$

  
• Da ein Wert für Z_f ermittelt wird, sollten Werte von Z_f1 , Z_f2 und Z_f3 , die unter Verwendung der Gleichung [Gleichung 7] ermittelt werden, dieselben sein. Da jedoch zwei Lösungen entgegengesetzter Vorzeichen in Bezug auf Z₁₁ , Z₁₂ , Z₂₁ und Z₂₂ existieren, wie durch die Gleichungen [Gleichung 5b] und [Gleichung 6b] gezeigt ist, stimmen Z_f1 , Z_f2 und Z_f3 je nach den Kombinationen eventuell nicht überein.
• Demgemäß werden Z_f1 , Z_f2 und Z_f3 der oben beschriebenen Gleichung [Gleichung 7] für jedes von 2⁴ = 16 Kombinationsmustern, die in der folgenden Tabelle 1 gezeigt sind, berechnet, und eine Kombination von Z₁₁ , Z₁₂ , Z₂₁ und Z₂₂ , die die übereinstimmenden Z_f1 , Z_f2 und Z_f3 ergeben, wird ausgewählt. Da es eine Mehrzahl von Kombinationen gibt, die die übereinstimmenden Z_f1 , Z_f2 und Z_f3 ergeben, kann eine beliebige der Kombinationen verwendet werden. [Tabelle 1]

  	Vorzeichen von Z11	Vorzeichen von Z21	Vorzeichen von Z12	Vorzeichen von Z22
  Muster 1	+	+	+	+
  Muster 2	+	+	+	-
  Muster 3	+	+	-	+
  Muster 4	+	+	-	-
  Muster 5	+	-	+	+
  Muster 6	+	-	+	-
  Muster 7	+	-	-	+
  Muster 8	+	-	-	-
  Muster 9	-	+	+	+
  Muster 10	-	+	+	-
  Muster 11	-	+	-	+
  Muster 12	-	+	-	-
  Muster 13	-	-	+	+
  Muster 14	-	-	+	-
  Muster 15	-	-	-	+
  Muster 16	-	-	-	-

• Da Z₁₃ und Z₂₃ in Reihe geschaltet sind, um einen Fehlerfaktor Z_f zu bilden, kann dasselbe Ergebnis wie die auf 14 beruhende Korrektur erhalten werden, falls eine Korrektur auf der Basis des in 19 gezeigten Fehlermodells durchgeführt wird, solange die Korrekturdatenerfassungs-Probe eine Reihenschaltung des Zwei-Anschluss-Impedanzelements verwirklicht.
• <2. Ausführungsbeispiel> Unter Bezugnahme auf 20 bis 25 wird ein Zwei-Tor-Messfehlerkorrekturprinzip beschrieben, das auf einen Fall einer Nebenschlussmessung angewendet wird.
• Zum Zeitpunkt einer Nebenschlussmessung eines Zwei-Anschluss-Impedanzelements wird eine π-Typ-Impedanzverbindungsschaltung (diese ist auch nicht allgemein als Schaltungsparameter) als Fehlerparameter verwendet. 20 zeigt Fehlermodelle derselben. In der Zeichnung gibt ein von einer gepunkteten Linie umgebenes Teil ein Fehlermodell jedes Tors an. Die Fehlermodelle sind zwischen die Anschlüsse 1_m und 2_m , bei denen ein Subjekt anhand eines Referenzmesssystems gemessen wird, und die Anschlüsse 1_d und 2_d , bei denen das Subjekt anhand eines Korrekturzielmesssystems gemessen wird, geschaltet. Eine Variable stellt die Admittanz dar. Obwohl sich das Schaltungsmodell von einem Fall einer Reihenmessung unterscheidet, sind diese Modelle austauschbar. Außerdem ist ein Teil, das als DUT dargestellt ist, das Subjekt. Da das Modell eine Nebenschlussmessung eines Zwei-Anschluss-Impedanzelements zeigt, kann das Subjekt als Zwei-Anschluss-Impedanzelement modelliert werden.
• Wie in dem Fall der Reihenmessung ist eine Ermittlung von Parameterwerten des in der Zeichnung gezeigten Fehlermodells ausgehend von Messergebnissen von Korrekturdatenerfassungs-Proben ein Zweck der Korrektur. Auch in diesem Fall sind Korrekturdatenerfassungs-Proben einfach in einem in der Zeichnung gezeigten Zustand verbunden, um ein Problem zu vermeiden, z. B. eine Verkomplizierung einer Befestigungsvorrichtung.
• Obwohl sich Ersatzschaltungen scheinbar unterscheiden, können Parameter des Fehlermodells bei einer ähnlichen Vorgehensweise wie in dem Fall einer Reihenschaltung ermittelt werden.
• Zunächst, da ein Tor 2 aus der Sicht eines Tors 1 einfach eine Anschlussadmittanz ist, wird eine in 21 gezeigte Ersatzschaltung erhalten. Hier ist Y₂ eine äquivalente Admittanz des Tores 2.
• Da Y₁₃ , Y_d , Y₂ , in 21 gezeigt, parallel geschaltet sind, kann die Ersatzschaltung gemäß der Darstellung in 22 modifiziert werden, falls Y₁₃ und Y₂ kollektiv als Y_e1 dargestellt werden.
• Wie in dem Fall einer Reihenmessung liegen bei dem in 22 gezeigten Fehlermodell drei unbekannte Werte vor, diese unbekannten Werte können anhand einer Messung dreier Korrekturdatenerfassungs-Proben ermittelt werden. Wenn gemäß dem Fall einer Reihenmessung Variablennamen bestimmt werden, ist die folgende Gleichung [Gleichung 8a] erfüllt. $$\begin{array}{c}{Y}_{m11}=\frac{\left(Y_{e1}+Y_{d1}\right)Y_{12}}{Y_{12}{Y}_{e1}+Y_{d1}}+Y_{11}\\ Y_{m12}=\frac{\left(Y_{e1}+Y_{d2}\right)Y_{12}}{Y_{12}{Y}_{e1}+Y_{d2}}+Y_{11}\\ Y_{m13}=\frac{\left(Y_{e1}+Y_{d3}\right)Y_{12}}{Y_{12}{Y}_{e1}+Y_{d3}}+Y_{11}\end{array}$$

  
• Fehlerfaktoren können anhand der folgenden Gleichung [Gleichung 8b], die aus der Gleichung [Gleichung 8a] ermittelt wird, berechnet werden. $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m13}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m12}+\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m11}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{11}=\pm [\pm \sqrt{Y_{d2}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d2}}\sqrt{Y_{m12}-Y_{m11}}\sqrt{Y_{m13}-Y_{m11}}\sqrt{Y_{m13}-Y_{m12}}\\ -\left\{\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m12}{Y}_{m13}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m11}{Y}_{m13}+\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m11}{Y}_{m12}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{12}=\pm \sqrt{\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)\left(Y_{d3}^2+\left(-Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{d3}+Y_{d1}{Y}_{d2}\right)\left(Y_{m12}-Y_{m11}\right)\left(Y_{m13}^2+\left(-Y_{m12}-Y_{m11}\right)Y_{m13}+Y_{m11}{Y}_{m12}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

  
• Obwohl Y_e1 unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 8c] ermittelt werden kann, indem Y₁₁ und Y₁₂ , die durch die Gleichung [Gleichung 8b] ermittelt werden, in der Gleichung [Gleichung 8a] eingesetzt werden, wird Y_e1 nicht bei einer Fehlerkorrekturberechnung, nämlich einer später zu beschreibenden Gleichung [Gleichung 10] verwendet. $$Y_{e1}=\frac{Y_{m11}{Y}_{12}-Y_{11}{Y}_{12}}{Y_{11}+Y_{12}-Y_{m11}}-Y_{d1}$$

  
• Die Gleichung [Gleichung 8c] kann unter Verwendung von Y_m12 und Y_d2 oder Y_m13 und Y_d3 anstelle von Y_m11 und Y_d1 ermittelt werden.
• In der Tat ist diese Gleichung [Gleichung 8b] im Wesentlichen dieselbe wie die bei der Reihenmessung verwendete Gleichung. Welche von verschiedenen positiven und negativen Lösungen der Gleichung ausgewählt werden soll bzw. sollen, wird später beschrieben.
• Als Nächstes wird eine Ermittlung unbekannter Werte aus der Sicht des Tores 2 beschrieben.
• Da das Tor 1 aus der Sicht des Tores 2 einfach eine Anschlussadmittanz ist, wird eine in 23 gezeigte Ersatzschaltung erhalten. Hier ist Y₁ eine äquivalente Admittanz des Tores 1.
• Da Y₂₃ , Y_d und Y₁ , in 23 gezeigt, parallel geschaltet sind, kann die Ersatzschaltung gemäß der Darstellung in 24 modifiziert werden, wenn Y₂₃ und Y₁ kollektiv als Y_e2 dargestellt werden.
• Wenn gemäß dem Fall des Tores 1 Variablennamen ermittelt werden, kann eine Gleichung von Fehlerfaktoren auf ähnliche Weise ermittelt werden, und die folgende Gleichung [Gleichung 9a] wird erfüllt. $$\begin{array}{c}{Y}_{m21}=\frac{\left(Y_{e1}+Y_{d1}\right)Y_{22}}{Y_{22}+Y_{e2}+Y_{d1}}+Y_{21}\\ Y_{m22}=\frac{\left(Y_{e1}+Y_{d2}\right)Y_{22}}{Y_{22}+Y_{e1}+Y_{d2}}+Y_{21}\\ Y_{m23}=\frac{\left(Y_{e1}+Y_{d3}\right)Y_{22}}{Y_{22}+Y_{e1}+Y_{d3}}+Y_{21}\end{array}$$

  
• Die Fehlerfaktoren können unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 9b], die ausgehend von der Gleichung [Gleichung 9a] ermittelt wird, berechnet werden. $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m23}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m22}+\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m21}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{21}=[\pm \sqrt{Y_{d2}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d2}}\sqrt{Y_{m22}-Y_{m21}}\sqrt{Y_{m23}-Y_{m21}}\sqrt{Y_{m23}-Y_{m22}}\\ -\left\{\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m22}{Y}_{m23}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m21}{Y}_{m23}+\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m21}{Y}_{m22}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{22}=\pm \sqrt{\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)\left(Y_{d3}^2+\left(-Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{d3}+Y_{d1}{Y}_{d2}\right)\left(Y_{m22}-Y_{m21}\right)\left(Y_{m23}^2+\left(-Y_{m22}-Y_{m21}\right)Y_{m23}+Y_{m21}{Y}_{m22}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

  
• Obwohl Y_e2 unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 9c] ermittelt werden kann, indem Y₂₁ und Y₂₂ , die durch die Gleichung [Gleichung 9b] ermittelt werden, in der Gleichung [Gleichung 9a] eingesetzt werden, wird Y_e2 nicht bei einer Fehlerkorrekturberechnung, nämlich der später zu beschreibenden Gleichung [Gleichung 10], verwendet. $$Y_{e1}=\frac{Y_{m21}{Y}_{12}-Y_{11}{Y}_{12}}{Y_{11}+Y_{12}-Y_{m21}}-Y_{d1}$$

  
• Die Gleichung [Gleichung 9c] kann unter Verwendung von Y_m22 und Y_d2 oder Y_m23 und Y_d3 anstelle von Y_m21 und Y_d1 ermittelt werden.
• Es ist unmöglich, die Fehlerfaktoren Y₁₃ und Y₂₃ , die bei der oben beschriebenen Vorgehensweise nicht ermittelt wurden, zu ermitteln, indem Korrekturdatenerfassungs-Proben einfach im Nebenschluss verschaltet werden. Da jedoch Y₁₃ und Y₂₃ parallel geschaltet sind und Werte derselben nicht separat und unabhängig ermittelt werden müssen, wird das Fehlermodell gemäß der Darstellung in 25 revidiert. In der Zeichnung ist Y_f ein Fehlerfaktor, der als Parallelschaltung von Y₁₃ und Y₂₃ (d. h. eine Summe der Werte) angesehen werden kann.
• Bei dem in 25 gezeigten Fehlermodell ist die Admittanz Y₁₂ zwischen einen Anschluss 1_m und einen Anschluss 1_d geschaltet, die Admittanz Y₁₁ ist zwischen Masse und einen Verbindungspunkt des Anschlusses 1_m und der Admittanz Y₁₂ geschaltet, die Admittanz Y_f ist zwischen Masse und einen Verbindungspunkt der Admittanz Y₁₂ und des Anschlusses 1_d geschaltet, die Admittanz Y₂₂ ist zwischen einen Anschluss 2_d und einen Anschluss 2_m geschaltet, und die Admittanz Y₂₁ ist zwischen Masse und einen Verbindungspunkt der Admittanz Y₂₂ und des Anschlusses 2_m geschaltet.
• Da die Impedanz aus der Sicht z. B. des Tores 1 einen Zustand angibt, in dem die Tor-2-Seite des in 23 gezeigten Fehlermodells ein reflexionsfreier Abschluss ist (d. h. allgemein ein Zustand, bei dem 50 Ω angeschlossen sind), kann Y_f aus einem Satz von Werten Y_d der Korrekturdatenerfassungs-Proben und Messwerten Y_m, die gemessen werden, wenn die Proben verbunden sind, ermittelt werden. Dieser Aspekt ist derselbe wie der Fall einer Reihenmessung. Y_fi kann unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 10] ermittelt werden. In der Gleichung stellt Y₀ eine charakteristische Admittanz dar. $$\begin{array}{c}\begin{array}{l}{\text{Y}}_{\text{f1}}=-[\{\left({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right){\text{Y}}_{\text{d1}}+\left(\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)+{\text{Y}}_{12}\right){\text{Y}}_{22}+{\text{Y}}_{12}({\text{Y}}_{21}\\ +{\text{Y}}_0)\}{\text{Y}}_{\text{m11}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{d1}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\right\}{\text{Y}}_{22}-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{m11}}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)({\text{Y}}_{21}+\\ {\text{Y}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Y}}_{\text{f2}}=-[\{\left({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right){\text{Y}}_{\text{d2}}+\left(\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)+{\text{Y}}_{12}\right){\text{Y}}_{22}+{\text{Y}}_{12}({\text{Y}}_{21}\\ +{\text{Y}}_0)\}{\text{Y}}_{\text{m12}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{d2}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\right\}{\text{Y}}_{22}-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{m12}}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)({\text{Y}}_{21}+\\ {\text{Y}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Y}}_{\text{f3}}=-[\{\left({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right){\text{Y}}_{\text{d3}}+\left(\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)+{\text{Y}}_{12}\right){\text{Y}}_{22}+{\text{Y}}_{12}({\text{Y}}_{21}\\ +{\text{Y}}_0)\}{\text{Y}}_{\text{m13}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{d3}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\right\}{\text{Y}}_{22}-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{m13}}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)({\text{Y}}_{21}+\\ {\text{Y}}_0)]\end{array}\end{array}$$

  
• Da ein Wert für Y_f ermittelt wird, sollten Werte von Y_f1 , Y_f2 und Y_f3 , die unter Verwendung der Gleichung [Gleichung 10] ermittelt werden, dieselben sein. Da jedoch zwei verschiedene Lösungen entgegengesetzter Vorzeichen in Bezug auf Y₁₁ , Y₁₂ , Y₂₁ und Y₂₂ existieren, wie durch die Gleichungen [Gleichung 8b] und [Gleichung 9b] gezeigt ist, stimmen Y_f1 , Y_f2 und Y_f3 je nach den Kombinationen eventuell nicht überein.
• Demgemäß wird Y_f1 , Y_f2 und Y_f3 der oben beschriebenen Gleichung [Gleichung 10] bezüglich jedes von 2⁴ = 16 Kombinationsmustern, die in der folgenden Tabelle 2 gezeigt sind, ermittelt, und eine Kombination von Y₁₁ , Y₁₂ , Y₂₁ und Y₂₂ , die die übereinstimmenden Y_f1 , Y_f2 und Y_f3 ergeben, wird ausgewählt. Da es eine Mehrzahl von Kombinationen gibt, die die übereinstimmenden Y_f1 , Y_f2 und Y_f3 ergeben, kann eine beliebige der Kombinationen verwendet werden. [Tabelle 2]

  	Vorzeichen von Y11	Vorzeichen von Y21	Vorzeichen von Y12	Vorzeichen von Y22
  Muster 1	+	+	+	+
  Muster 2	+	+	+	-
  Muster 3	+	+	-	+
  Muster 4	+	+	-	-
  Muster 5	+	-	+	+
  Muster 6	+	-	+	-
  Muster 7	+	-	-	+
  Muster 8	+	-	-	-
  Muster 9	-	+	+	+
  Muster 10	-	+	+	-
  Muster 11	-	+	-	+
  Muster 12	-	+	-	-
  Muster 13	-	-	+	+
  Muster 14	-	-	+	-
  Muster 15	-	-	-	+
  Muster 16	-	-	-	-

• Da Y₁₃ und Y₂₃ parallel geschaltet sind, um den Fehlerfaktor Y_f zu bilden, kann dasselbe Ergebnis wie die auf 20 beruhende Korrektur erhalten werden, falls eine Korrektur auf der Basis des in 25 gezeigten Fehlermodells durchgeführt wird, solange die Korrekturdatenerfassungs-Probe eine Nebenschlussschaltung des Zwei-Anschluss-Impedanzelements verwirklicht.
• Als Nächstes werden Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf 10 bis 13 beschrieben.
• <Ausführungsbeispiel 1> Unter Bezugnahme auf 10 und 11 wird ein Fall einer Reihenschaltung beschrieben. Die Reihenschaltung ist ein Verfahren zum Schalten eines Messsubjekts zwischen zwei Tore einer Messvorrichtung.
• Bei einem Korrekturzielmesssystem, wie es durch ein ganzes Konfigurationsdiagramm in 10(a) und einen Aufriss einer Messplatine 20 in (b) gezeigt ist, ist eine ein Subjekt darstellende elektronische Komponente 2 dahin gehend angeordnet, sich über einen Schlitz 22x zu erstrecken, der zwischen Übertragungsleitungen 22a und 22b befindlich ist, die auf einer Oberseite der Messplatine 20 gebildet ist, und ist mit den Übertragungsleitungen 22a und 22b in Reihe geschaltet. SMA-Verbinder 56 und 66 sind an jeweilige Enden der Übertragungsleitungen 22a und 22b und einer Übertragungsleitung 24, die auf der Oberseite und einer Unterseite der Messplatine 20 gebildet ist, gelötet und sind durch einen Netzwerkanalysator 70 mit Koaxialkabeln 58 bzw. 68 verbunden. Als Netzwerkanalysator 70 wird ein von Agilent Technologies, Inc. erhältlicher Netzwerkanalysator 8753D verwendet. Die Messplatine 20 ist dahin gehend entworfen, eine charakteristische Impedanz von 50 Ω aufzuweisen. Die Länge L und die Breite W der Messplatine 20 betragen 50 mm bzw. 30 mm.
• Bei einem Referenzmesssystem wird eine Messung durchgeführt, indem eine von Agilent Technologies, Inc. erhältliche Befestigungsvorrichtung 16192A an einem von Agilent Technologies, Inc. erhältlichen Impedanzanalysator 4291 befestigt wird.
• Die das Subjekt darstellende elektronische Komponente 2 ist ein 56nH-Chipinduktor von 1,0 mm x 0,5 mm.
• In der Folge wird eine Mess- und Korrekturarbeit beschrieben.
1. (1) Es werden drei Korrekturdatenerfassungs-Proben erstellt. Als die drei Korrekturdatenerfassungs-Proben wurden Widerstände von 2,2 Ω, 51 Ω und 510 Ω verwendet.
2. (2) Die Impedanz Z_d1 , Z_d2 und Z_d3 der Korrekturdatenerfassungs-Proben werden anhand eines Referenzmesssystems gemessen. Die Anzahl von Messpunkten und ein Kippfrequenzbereich müssen bei der Referenzmessvorrichtung und dem tatsächlich verwendeten Netzwerkanalysator vereinheitlicht werden.
3. (3) Bei der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung (8753D) wird eine Übertragungsleitung zu einem Ende eines Koaxialkabels kalibriert. Diese Kalibrierung kann allgemein SOLT-Kalibrierung durchgeführt werden.
4. (4) Die Impedanz der Korrekturdatenerfassungs-Proben wird anhand der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung (8753D) gemessen. Zu diesem Zeitpunkt werden Z_m11 , Z_m12 , Z_m13 , Z_m21 , Z_m22 und Z_m23 unter Verwendung derselben Anzahl von Messpunkten und desselben Kippfrequenzbereichs wie bei der Referenzmessvorrichtung erfasst.
5. (5) Ein Korrekturkoeffizient wird mit einem PersonalComputer auf der Basis des oben beschriebenen <1. Ausführungsbeispiels> aus den Daten berechnet, die anhand der Referenzmessvorrichtung (4291) und der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung (8753D) gemessen werden. Diese Vorgehensweise entspricht einer Messsystemkorrekturprozedur.
6. (6) Die Messvorrichtung (8753D), die tatsächlich zur Messung verwendet wird, führt eine Messung an dem Chipinduktor durch.
7. (7) Ein korrigierter Messwert wird mit einem PersonalComputer unter Verwendung der Messdaten und der Korrekturdaten berechnet.
• Infolge der auf die oben beschriebene Art und Weise durchgeführten Mess- und Korrekturverarbeitung stimmte das anhand der Referenzmessvorrichtung gemessene Ergebnis mit dem anhand des Netzwerkanalysators gemessenen Wert überein.
• 11 zeigt Graphen von Ergebnissen, die anhand eines Durchführens der Mess- und Korrekturverarbeitung an einem Chipinduktor einer Größe von 1.005 (52 nH) erhalten werden. 11(a) zeigt einen Graphen eines Referenzwerts, eines Messwerts vor der Korrektur und eines Messwerts nach der Korrektur. Der „Referenzwert“ gibt einen anhand der Referenzmessvorrichtung gemessenen Wert an. Der „Messwert vor der Korrektur“ gibt ein Messergebnis der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung an und ist ein unkorrigierter Messwert. Der „Messwert nach Korrektur“ gibt einen Wert an, der durch Korrigieren des Messwerts der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung erhalten wird (geschätzter Wert des Messwerts, der erhalten wird, wenn der Wert anhand der Referenzmessvorrichtung gemessen wird). 11(b-1), 11(b-2) und 11(c) zeigen einen Graphen des Messwerts „vor Korrektur“, einen Graphen des Messwerts „nach Korrektur“ bzw. einen Graphen des „Referenzwerts“.
• Wie in 11(a) gezeigt ist, ist der „Wert vor Korrektur“ bezüglich des „Referenzwerts“ beträchtlich verschoben, obwohl sich der „Referenzwert“ und der „Wert nach Korrektur“ so ähneln, dass sie in der Zeichnung nicht voneinander unterschieden werden können. Genauer gesagt, obwohl ohne die Korrektur ein Messwert erhalten wird, der bezüglich des Messwerts der Referenzmessvorrichtung beträchtlich verschoben ist, kann durch Durchführen der Korrektur ein Messwert erhalten werden, der extrem nahe bei dem Messwert der Referenzmessvorrichtung liegt.
• <Ausführungsbeispiel 2> Unter Bezugnahme auf 12 und 13 wird ein Fall einer Nebenschlussschaltung beschrieben. Die Nebenschlussschaltung ist ein Verfahren zum Schalten eines Messsubjekts zwischen ein Tor einer Messvorrichtung und Masse.
• Bei einem Korrekturzielmesssystem, wie es durch ein ganzes Konfigurationsdiagramm in 12(a) und einen Aufriss der Messplatine in (b) gezeigt ist, ist eine ein Subjekt darstellende elektronische Komponente 2 zwischen einen Signalleiter 26 und einen Masseleiter 28, der auf einer Oberseite einer Messplatine 21 gebildet ist, geschaltet. SMA-Verbinder 56 und 66 sind an jeweilige Enden des Signalleiters 26 und des Masseleiters 28 der Messplatine 21 gelötet und sind durch Koaxialkabel 58 bzw. 68 mit einem Netzwerkanalysator 70 verbunden. Als Netzwerkanalysator 70 wird ein von Agilent Technologies, Inc. erhältlicher Netzwerkanalysator 8753D verwendet. Die Messplatine 21 ist dahin gehend entworfen, eine charakteristische Impedanz von 50 Ω aufzuweisen. Die Länge L und die Breite W der Messplatine 21 betragen 50 mm bzw. 30 mm.
• Bei einem Referenzmesssystem wird eine Messung durchgeführt, indem eine von Agilent Technologies, Inc. erhältliche Befestigungsvorrichtung 16192A an einem von Agilent Technologies, Inc. erhältlichen Impedanzanalysator 4291 befestigt wird.
• Die das Subjekt darstellende elektronische Komponente 2 ist ein 50Q-Chipwiderstand von 1,0 mm x 0,5 mm.
• In der Folge wird eine Mess- und Korrekturarbeit beschrieben.
1. (1) Es werden drei Korrekturdatenerfassungs-Proben erstellt. Es wurden Widerstände von 2,2 Ω, 51 Ω und 510 Ω verwendet.
2. (2) Die Admittanz Y_d1 , Y_d2 und Y_d3 der Korrekturdatenerfassungs-Proben werden anhand eines Referenzmesssystems gemessen. Die Anzahl von Messpunkten und ein Kippfrequenzbereich müssen bei der Referenzmessvorrichtung und dem tatsächlich verwendeten Netzwerkanalysator vereinheitlicht werden.
3. (3) Bei der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung (8753D) wird eine Übertragungsleitung zu einem Ende eines Koaxialkabels kalibriert. Diese Kalibrierung kann allgemein SOLT-Kalibrierung durchgeführt werden.
4. (4) Die Admittanz der Korrekturdatenerfassungs-Proben wird anhand der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung (8753D) gemessen. Zu diesem Zeitpunkt werden Y_m11 , Y_m12 , Y_m13 , Y_m21 , Y_m22 und Y_m23 unter Verwendung derselben Anzahl von Messpunkten und desselben Kippfrequenzbereichs wie bei der Referenzmessvorrichtung erfasst.
5. (5) Ein Korrekturkoeffizient wird mit einem PersonalComputer auf der Basis des oben beschriebenen <2. Ausführungsbeispiel> aus den Daten berechnet, die anhand der Referenzmessvorrichtung (4291) und der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung (8753D) gemessen werden. Diese Vorgehensweise entspricht einer Korrekturprozedur.
6. (6) Die Messvorrichtung (8753D), die tatsächlich zur Messung verwendet wird, führt eine Messung an dem Chipwiderstand durch.
7. (7) Ein korrigierter Messwert wird mit einem PersonalComputer unter Verwendung der Messdaten und der Korrekturdaten berechnet.
• Infolge der auf die oben beschriebene Art und Weise durchgeführten Mess- und Korrekturverarbeitung stimmte das anhand der Referenzmessvorrichtung gemessene Ergebnis mit dem anhand des Netzwerkanalysators gemessenen Wert überein.
• 13 zeigt Graphen von Ergebnissen, die anhand eines Durchführens der Mess- und Korrekturverarbeitung an einem Chipwiderstand einer Größe von 1.005 (50 Ω) erhalten werden. 13(a) zeigt einen Graphen eines Referenzwerts, eines Messwerts vor der Korrektur und eines Messwerts nach der Korrektur. Der „Referenzwert“ gibt einen anhand der Referenzmessvorrichtung gemessenen Wert an. Der „Messwert vor der Korrektur“ gibt ein Messergebnis der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung an und ist ein unkorrigierter Messwert. Der „Messwert nach Korrektur“ gibt einen Wert an, der durch Korrigieren des Messwerts der tatsächlich zur Messung verwendeten Messvorrichtung erhalten wird (geschätzter Wert des Messwerts, der erhalten wird, wenn der Wert anhand der Referenzmessvorrichtung gemessen wird). 13(b-1), 13(b-2) und 113(c) zeigen einen Graphen des Messwerts „vor Korrektur“, einen Graphen des Messwerts „nach Korrektur“ bzw. einen Graphen des „Referenzwerts“.
• Wie in 13(a) gezeigt ist, ist der „Wert vor Korrektur“ bezüglich des „Referenzwerts“ beträchtlich verschoben, obwohl sich der „Referenzwert“ und der „Wert nach Korrektur“ so ähneln, dass sie in der Zeichnung nicht voneinander unterschieden werden können. Genauer gesagt, obwohl ohne die Korrektur ein Messwert erhalten wird, der bezüglich des Messwerts der Referenzmessvorrichtung beträchtlich verschoben ist, kann durch Durchführen der Korrektur ein Messwert erhalten werden, der extrem nahe bei dem Messwert der Referenzmessvorrichtung liegt.
• Bei den oben beschriebenen 1. und 2. Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung wird bei einem Zwei-Tor-Messsystem zum Messen eines Zwei-Anschluss-Impedanzelements, das mit einer Befestigungsvorrichtung oder einer Sonde in Reihe geschaltet oder im Nebenschluss verschaltet ist, eine elektrische Charakteristik jedes Tors als Ersatzschaltung vom T-Typ (14) und vom π-Typ ( 20) dargestellt, und die Schaltung ist dahin gehend vereinfacht, fünf Fehler zu umfassen, obwohl eine reziproke Schaltung allgemein dahin gehend modelliert ist, sechs Fehler zu umfassen. Auf diese Weise ist es möglich, wenn ein Fehler einer Befestigungsvorrichtung oder einer Sonde ermittelt wird, die fünf Fehlerwerte unter Verwendung von drei Zwei-Anschluss-Impedanzelementen (hiernach als Standard-Proben bezeichnet) zu bestimmen, die bekannte Werte aufweisen, die anhand eines Impedanzanalysators identifiziert werden, ohne, im Fall einer Reihenschaltung, die Standard-Proben zu erden, und ohne, im Fall einer Nebenschlussschaltung, eine Signalleitung zu durchschneiden.
• Wenn das oben beschriebene Fehlermodell verwendet wird, weisen vier der Fehler der Befestigungsvorrichtung oder der Probe, die aus den Messwerten der drei Standard-Proben ermittelt wurden, zwei Lösungen entgegengesetzter Vorzeichen auf. Demgemäß wird eine korrekte Vorzeichenkombination der vier Fehler ermittelt, indem bestätigt wird, dass die drei aus den drei Standard-Proben ermittelten Werte mit dem zumindest einen Fehler für jede Vorzeichenkombination übereinstimmen.
• Da jedoch die Werte aufgrund einer Messvarianz der drei Standard-Proben und eines Spurrauschens einer Messvorrichtung nicht vollständig übereinstimmen, wird eine korrekte Vorzeichenkombination für alle Frequenzen ermittelt, indem eine Vorzeichenkombination ermittelt wird, die ähnlichere Werte ergibt. Wenn dementsprechend aufgrund der Messvarianz und des Einflusses des Rauschens eine falsche Vorzeichenkombination gewählt wird, kann eine Frequenz vorliegen, für die eine Korrekturgenauigkeit nicht garantiert werden kann.
• Als Nächstes wird unter Bezugnahme auf 26 bis 37 ein Verfahren zum Korrigieren eines hochfrequenten charakteristischen Fehlers einer elektronischen Komponente gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben.
• Bei dem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird eine Auswahl einer Vorzeichenkombination, die bei dem 1. oder 2. Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung durchgeführt wird, weggelassen, indem ein Ein-Tor-Fehlermodell verwendet wird, das zu einem Zwei-Tor-Fehlermodell äquivalent ist. Demgemäß verbessern sich die Fehlerkorrekturparameterermittlungsgenauigkeit und die Messfehlerkorrekturgenauigkeit. Es folgt eine ausführliche Beschreibung.
• <Ausgleichsumwandlung-Ein-Tor-Fehlermodell> Als erstes wird ein bei dem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendetes Ausgleichsumwandlung-Ein-Tor-Fehlermodell beschrieben. Das Ausgleichsumwandlung-Ein-Tor-Fehlermodell wird erhalten, indem eine Ausgleichsumwandlung eines Zwei-Tor-Fehlermodells auf eine nachstehend beschriebene Weise durchgeführt wird.
• 26 zeigt ein Schaltungsdiagramm eines Modells, das eine Zwei-Tor-Schaltung darstellt, die Z-Parameter verwendet. Wenn eine in 26 gezeigte Beziehung als Matrix dargestellt wird, wird die folgende Gleichung [Gleichung 11] erhalten. $$\left(\begin{array}{c}{V}_1\\ V_2\end{array}\right)=\left(\begin{array}{cc}{Z}_{11}& Z_{12}\\ Z_{21}& Z_{22}\end{array}\right)\cdot \left(\begin{array}{c}{I}_1\\ I_2\end{array}\right)$$

  
• Eine Ausgleichsumwandlung wird durchgeführt, indem ein Eingangswert als V_c = (V₁ + V₂) /2, I = (I₁ + I₂)/2 und ein Ausgangswert als V_d = (V₁ - V₂) /2, I_d = (I₁ - I₂)/2 eingesetzt wird, wodurch die Z-Parameter gemäß der Darstellung durch die folgende Gleichung [Gleichung 12] umgewandelt werden. $$\begin{array}{c}\left(\begin{array}{c}{V}_c\\ V_d\end{array}\right)=\left(\begin{array}{cc}{Z}_{cc}& Z_{cd}\\ Z_{dc}& Z_{dd}\end{array}\right)\cdot \left(\begin{array}{c}{I}_c\\ I_d\end{array}\right)\\ =\left(\begin{array}{cc}\frac{1}{4}\left(Z_{11}+Z_{12}+Z_{21}+Z_{22}\right)& \frac{1}{4}\left(Z_{11}+Z_{12}+Z_{21}-Z_{22}\right)\\ \frac{1}{2}\left(Z_{11}+Z_{12}-Z_{21}-Z_{22}\right)& Z_{11}-Z_{12}-Z_{21}+Z_{22}\end{array}\right)\cdot \left(\begin{array}{c}{I}_c\\ I_d\end{array}\right)\end{array}$$

  
• Durch Durchführen einer Ausgleichsumwandlung bezüglich Admittanzparametern (hiernach als Y-Parameter bezeichnet) werden die Y-Parameter als die folgende Gleichung [Gleichung 13] dargestellt. $$\begin{array}{c}\left(\begin{array}{c}{I}_c\\ I_d\end{array}\right)=\left(\begin{array}{cc}{Y}_{cc}& Y_{cd}\\ Y_{dc}& Y_{dd}\end{array}\right)\cdot \left(\begin{array}{c}{V}_c\\ V_d\end{array}\right)\\ =\left(\begin{array}{cc}{Y}_{11}+Y_{12}+Y_{21}+Y_{22}& \frac{1}{2}\left(Y_{11}-Y_{12}+Y_{21}-Y_{22}\right)\\ \frac{1}{2}\left(Y_{11}+Y_{12}-Y_{21}-Y_{22}\right)& \frac{1}{4}\left(Y_{11}-Y_{12}-Y_{21}+Y_{22}\right)\end{array}\right)\cdot \left(\begin{array}{c}{V}_c\\ V_d\end{array}\right)\end{array}$$

  
• Da bei einer passiven Schaltung allgemein ein Reziprozitätstheorem erfüllt ist, werden die Z-Parameter und die Y-Parameter als Z₁₂ = Z₁₂ und Y₁₂ = Y₂₁ dargestellt. Demgemäß können der Z-Parameter und der Y-Parameter als Ersatzschaltung vom T-Typ und π-Typ dargestellt werden.
• Wenn der in 26 und der Gleichung [Gleichung 11] gezeigte Z-Parameter in eine Ersatzschaltung vom T-Typ umgewandelt wird, wird ein in 27 gezeigtes Schaltungsdiagramm erhalten. Wenn die in 27 gezeigte Schaltung zu einer Ersatzschaltung modifiziert wird, die zur Zeit einer Eingabe eines Differenzsignals verwendet wird, wird ein in 28 gezeigtes Schaltungsdiagramm erhalten. Eine Reihenimpedanzkomponente (Z₁₁ - Z₁₂) + (Z₂₂ - Z₁₂) der Tore 1 und 2 der Ersatzschaltungen vom T-Typ entspricht Z_dd der Gleichung [Gleichung 12].
• Durch Ausnutzung dieser Tatsache wird, wenn ein Zwei-Anschluss-Impedanzelement in Reihe geschaltet ist, ein Korrekturmodell auf die folgende Weise konfiguriert.
• 29 ist ein Schaltungsdiagramm, das ein Zwei-Tor-Fehlermodell zeigt, das eingesetzt wird, wenn unter Verwendung einer Befestigungsvorrichtung als Ersatzschaltung vom T-Typ ein in Reihe geschaltetes Zwei-Anschluss-Impedanzelement gemessen wird. Ein von einer gepunkteten Linie umgebenes Teil ist das Zwei-Tor-Fehlermodell. Das Zwei-Tor-Fehlermodell ist zwischen zwei Tore (Tor 1 und Tor 2) geschaltet, bei denen eine Impedanz Z_d einer elektronischen Komponente anhand eines Referenzmesssystems gemessen wird und eine Impedanz der elektronischen Komponente anhand eines tatsächlichen Messsystems gemessen wird.
• Wie bei dem in 28 gezeigten Fall wird dann, wenn die in 29 gezeigte Schaltung zu einer Ersatzschaltung modifiziert wird, die zum Zeitpunkt einer Eingabe eines Differenzsignals verwendet wird, ein in 30 gezeigtes Schaltungsdiagramm erhalten.
• Wenn die Reihenimpedanz zwischen den Toren 1 und 2 der in 30 gezeigten Schaltung ermittelt wird, wird die folgende Gleichung [Gleichung 14] erhalten. $$Z{t}_{dd}=Z{e}_{11}-Z{e}_{12}+Z{e}_{44}-Z{e}_{34}+\frac{\left(Z{e}_{22}-Z{e}_{12}+Z{e}_{33}-Z{e}_{34}+Z_d\right)\times \left(Z{e}_{12}+Z{e}_{34}\right)}{Z{e}_{22}-Z{e}_{12}+Z{e}_{33}-Z{e}_{34}+Z_d+Z{e}_{12}+Z{e}_{34}}$$

  
• Diese Gleichung [Gleichung 14] ist äquivalent zu einer Differenzimpedanzkomponente Zt_dd der Z-Parameter, die durch Messen des in Reihe geschalteten Zwei-Anschluss-Impedanzelements unter Verwendung einer Befestigungsvorrichtung erhalten werden. Im Einzelnen ordnet die Gleichung [Gleichung 14] eine Impedanz, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente anhand zweier Tore des tatsächlichen Messsystems gemessen wird, einer Impedanz Z_d zu, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente anhand des Referenzmesssystems durch ein Zwei-Tor-Fehlermodell gemessen wird. Außerdem gibt die Gleichung [Gleichung 14] an, dass die in 30 gezeigte Schaltung äquivalent zu einer in 31 gezeigten Schaltung ist.
• In 31 ist die Schaltung dadurch, dass Impedanzkomponenten der Schaltung in drei integriert werden, äquivalent zu dem Ein-Tor-Fehlermodell, das Fehler der Befestigungsvorrichtung als eine Ersatzschaltung vom T-Typ darstellt. Dies gibt an, dass eine Impedanz von DUT im Fall einer Reihenschaltung dadurch ermittelt werden kann, dass eine Messung/Korrektur gemäß der nachstehend beschriebenen Schritte (1) bis (4) durchgeführt wird.
1. (1) Z-Parameter werden unter Verwendung einer Befestigungsvorrichtung in Bezug auf drei Korrektur-Proben (Chipwiderstände oder dergleichen), die bekannte Charakteristika (Impedanz) aufweisen, oder auf drei Korrektur-Proben, die man dahin gehend ansehen kann, dass sie Hochfrequenzcharakteristika aufweisen, die zu denen der drei Korrektur-Proben äquivalent sind, gemessen. Bei der Messung wird ein Netzwerk- oder Impedanzanalysator verwendet.
2. (2) Eine Ausgleichsumwandlung der Z-Parameter wird durchgeführt, um die Differenzimpedanzkomponente Z_dd derselben zu extrahieren.
3. (3) Drei Fehlerkomponenten der Befestigungsvorrichtung, die als die in 30 gezeigte Schaltung, die eine Ersatzschaltung der Differenzimpedanzkomponente ist, integriert sind, werden auf der Basis von Z_dd , das erhalten wird, wenn die drei Korrektur-Proben gemessen werden, und der „bekannten Charakteristika (Impedanz) der drei Korrektur-Proben“ berechnet.
4. (4) Die Impedanz Z_d des DUT wird berechnet, „indem die drei bei Schritt (3) berechneten Fehlerkomponenten“ aus Z_dd , das erhalten wird, wenn das DUT gemessen wird, „eliminiert werden“.
• Obwohl jeder Wert nicht unabhängig ermittelt wird, wenn die Fehler-Z-Parameter der in 29 gezeigten Befestigungsvorrichtung gemäß der Darstellung in 31 integriert sind, verursacht dies keinerlei Probleme bei der Ausführung der Korrektur.
• Wenn ein Zwei-Anschluss-Impedanzelement im Nebenschluss verschaltet ist, wird das folgende Korrekturmodell erhalten.
• Bezüglich eines im Nebenschluss verschalteten Zwei-Anschluss-Impedanzelements werden Y-Parameter in eine Ersatzschaltung vom π-Typ umgewandelt, und es wird eine Gleichtakt-Admittanzkomponente verwendet, wodurch das Fehlermodell als Ein-Tor-Korrekturmodell gehandhabt werden kann, wie im Fall einer Reihenschaltung.
• 32 zeigt ein Schaltungsdiagramm einer Ersatzschaltung vom π-Typ, die Y-Parameter verwendet. Wenn die in 32 gezeigte Schaltung zu einer Ersatzschaltung modifiziert wird, die zum Zeitpunkt einer Eingabe eines Gleichtaktsignals verwendet wird, entspricht eine Paralleladmittanzkomponente der Tore 1 und 2 der Ersatzschaltung vom π-Typ Y_cc der Gleichung [Gleichung 13].
• Wie im Fall einer Reihenschaltung wird ein Zwei-Tor-Fehlermodell, das verwendet wird, wenn ein im Nebenschluss verschaltetes Zwei-Anschluss-Impedanzelement unter Verwendung einer Befestigungsvorrichtung gemessen wird, unter Verwendung einer Ersatzschaltung vom π-Typ dargestellt. Ein von einer gepunkteten Linie umgebenes Teil ist das Zwei-Tor-Fehlermodell. Das Zwei-Tor-Fehlermodell ist zwischen zwei Tore (Tor 1 und Tor 2) geschaltet, bei denen die Admittanz Y_d anhand eines Referenzmesssystems gemessen wird und eine Admittanz anhand eines tatsächlichen Messsystems gemessen wird. Wie zuvor beschrieben wurde, wird, wenn die in 34 gezeigte Schaltung zu einer Ersatzschaltung modifiziert wird, die zur Zeit der Eingabe eines Gleichtaktsignals verwendet wird, ein in 35 gezeigtes Schaltungsdiagramm erhalten.
• Wenn eine Parallelimpedanz zwischen Toren 1 und 2 der in 35 gezeigten Schaltung ermittelt wird, wird die folgende Gleichung [Gleichung 15] ermittelt. $$Y{t}_{dd}=Y{e}_{11}-Y{e}_{12}+Y{e}_{44}-Y{e}_{34}+\frac{\left(Y{e}_{22}-Y{e}_{12}+Y{e}_{33}-Y{e}_{34}+Y_d\right)\times \left(Y{e}_{12}+Y{e}_{34}\right)}{Y{e}_{22}-Y{e}_{12}+Y{e}_{33}-Y{e}_{34}+Y_d+Y{e}_{12}+Y{e}_{34}}$$

  
• Die Gleichung [Gleichung 15] ist äquivalent zu einer Gleichtakt-Admittanzkomponente Yt_dd der Y-Parameter, die erhalten werden, indem das im Nebenschluss verschaltete Zwei-Anschluss-Impedanzelement unter Verwendung der Befestigungsvorrichtung gemessen wird. Im Einzelnen ordnet die Gleichung [Gleichung 15] die Admittanz, die erhalten wird, wenn eine elektronische Komponente anhand zweier Tore eines tatsächlichen Messsystems gemessen wird, der Admittanz Z_d zu, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente anhand eines Referenzmesssystems durch ein Zwei-Tor-Fehlermodell gemessen wird. Außerdem gibt die Gleichung [Gleichung 15] an, dass die in 34 gezeigte Schaltung äquivalent zu der in 35 gezeigten Schaltung ist.
• In 35 ist die Schaltung dadurch, dass Admittanzkomponenten der Schaltung in drei integriert werden, äquivalent zu dem Ein-Tor-Fehlermodell, das Fehler der Befestigungsvorrichtung als eine Ersatzschaltung vom π-Typ darstellt. Dies gibt an, dass eine Admittanz des DUT dadurch ermittelt werden kann, wie im Fall einer in Reihe geschalteten Ersatzschaltung von T-Typ, dass die Ein-Tor-Korrektur an der Gleichtakt-Admittanzkomponente durchgeführt wird, nachdem die Ausgleichsumwandlung der unter Verwendung der Befestigungsvorrichtung gemessenen Y-Parameter durchgeführt wird.
• <Ausführungsbeispiel 3> Es wird eine Messfehlerkorrekturprozedur beschrieben, die verwendet wird, wenn ein Zwei-Anschluss-Impedanzelement bei einem tatsächlichen Messsystem in Reihe geschaltet ist.
• Werte dreier Arten von Zwei-Anschluss-Zwei-Tor-Vorrichtungen (es können geeignete Chipwiderstände oder Bauelemente verwendet werden) werden zuvor anhand eines Impedanzanalysators oder eines Netzwerkanalysators unter Verwendung des TRL-Kalibrierungsverfahrens oder des RRRR-Kalibrierungsverfahrens identifiziert (hiernach als standardmäßige Zwei-Tor-Bauelemente bezeichnet). Diese Prozedur muss durchgeführt werden. Diese Messung wird in dem Referenzmesssystem durchgeführt.
• Die standardmäßigen Zwei-Tor-Probe oder Probe, die man dahin gehend ansehen kann, dass sie Hochfrequenzcharakteristika aufweisen, die zu den standardmäßigen Zwei-Tor-Proben äquivalent sind, werden anschließend mit zwei Toren eines tatsächlichen Messsystems verbunden. Es werden S-Parameter gemessen.
• Das S-Parameter-Messergebnis wird anschließend unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 16] in einen differentiellen Z-Parameter umgewandelt. Diese Gleichung [Gleichung 16] kann ermittelt werden, indem die Z-Parameter der rechten Seite der oben beschriebenen Gleichung [Gleichung 14] in die S-Parameter umgewandelt werden. $$Z_{dd}=\frac{2\times Z_0\times \left(S_{M21}+S_{M12}+S_{M11}\times S_{M22}-S_{M21}\times S_{M12}-1\right)}{S_{M11}+S_{M22}+S_{M21}\times S_{M12}-S_{M11}\times S_{M22}-1}$$

  
• Hier bedeutet: S_M : S-Parameter-Messergebnis des tatsächlichen Zwei-Tor-Messsystems

Z_dd:

umgewandelter differentieller Z-Parameter

Z₀:

charakteristische Impedanz des Messsystems

• Eine Beziehung zwischen den bekannten Werten der standardmäßigen Zwei-Tor-Proben und dem umgewandelten differentiellen Z-Parameter wird anschließend unter Verwendung eines Ein-Tor-Fehlermodells dargestellt. Das Ein-Tor-Fehlermodell kann dargestellt werden, indem die Beziehung anstatt der 31 in Reflexionskoeffizienten umgewandelt und modelliert wird.
• Fehlerparameter des Ein-Tor-Fehlermodells werden ausgehend von der Beziehung zwischen den bekannten Impedanzwerten der drei standardmäßigen Zwei-Tor-Proben und dem umgewandelten differentiellen Z-Parameter berechnet. Wenn das in 31 gezeigte Ein-Tor-Fehlermodell verwendet wird, werden drei unbekannte Werte, die in 31 als die Fehlerparameter gezeigt sind, nämlich Ze₁₁ - Ze₁₂ + Ze₄₄ - Ze₃₄, Ze₂₂ - Ze₁₂ + Ze₃₃ - Ze₃₄ und Ze₁₂ + Ze₃₄, ermittelt.
• Ein Wert, der durch Messen eines anderen Zwei-Anschluss-Zwei-Tor-Bauelements anhand des tatsächlichen Messsystems erhalten wird, wird unter Verwendung des Ein-Tor-Fehlermodells korrigiert, das die berechneten Fehlerparameterwerte dazu verwendet, einen wahren Wert des anderen Zwei-Anschluss-Zwei-Tor-Bauelements zu erhalten (d. h. einen geschätzten Wert des Messwerts, der erhalten werden kann, wenn das Bauelement anhand des Referenzmesssystems gemessen wird).
• Wie oben beschrieben wurde, indem die Beziehung der bekannten Werte der standardmäßigen Zwei-Tor-Proben durch das Ein-Tor-Fehlermodell ersetzt wird, indem die Ausgleichsumwandlung auf das tatsächliche Zwei-Tor-Messsystem angewendet wird, wodurch Fehlerparameter eindeutig ermittelt werden.
• Gemäß diesem Verfahren wird, da ein Problem, dass Fehlerparameter nicht eindeutig ermittelt werden, wie bei einem AAA-Korrekturverfahren (Ausführungsbeispiel 1), nicht auftritt, ein Einfluss einer Messvariable und eines Spurrauschens der Messvorrichtung auf den Prozess der Fehlerparameterermittlung unterdrückt.
• Demgemäß verbessern sich die Fehlerparameterermittlungsgenauigkeit und die Korrekturgenauigkeit im Vergleich zu dem AAA-Korrekturverfahren (Ausführungsbeispiel 1).
• <Ausführungsbeispiel 4> Es wird eine Messfehlerkorrekturprozedur beschrieben, die verwendet wird, wenn ein Zwei-Anschluss-Impedanzelement bei einem tatsächlichen Messsystem im Nebenschluss verschaltet ist.
• Werte dreier Arten von Zwei-Anschluss-Zwei-Tor-Vorrichtungen (es können geeignete Chipwiderstände oder Bauelemente verwendet werden) werden zuvor anhand eines Impedanzanalysators oder eines Netzwerkanalysators unter Verwendung des TRL-Kalibrierungsverfahrens oder des RRRR-Kalibrierungsverfahrens identifiziert (hiernach als standardmäßige Zwei-Tor-Bauelemente bezeichnet). Diese Prozedur muss durchgeführt werden. Diese Messung wird in dem Referenzmesssystem durchgeführt.
• Die standardmäßigen Zwei-Tor-Proben werden anschließend mit dem tatsächlichen Zwei-Tor-Messsystem verbunden, um S-Parameter zu messen.
• Das S-Parameter-Messergebnis wird anschließend unter Verwendung der folgenden Gleichung [Gleichung 17] in einen Gleichtakt-Y-Parameter umgewandelt. Diese Gleichung [Gleichung 17] wird ermittelt, indem die Y-Parameter der rechten Seite der oben beschriebenen Gleichung [Gleichung 15] in die S-Parameter umgewandelt werden. $$Y_{cc}=\frac{2\times \left(-S_{M21}-S_{M12}+S_{M21}\times S_{M12}-S_{M11}\times S_{M22}-1\right)}{Z_0\times \left(S_{M11}+S_{M22}+S_{M11}\times S_{M22}-S_{M12}\times S_{M21}-1\right)}$$

  
• Hier bedeutet: S_M : S-Parameter-Messergebnis des tatsächlichen Zwei-Tor-Messsystems

Y_dd:

umgewandelter Gleichtakt-Y-Parameter

Z₀:

charakteristische Impedanz des Messsystems

• Eine Beziehung zwischen den bekannten Werten der standardmäßigen Zwei-Tor-Proben und dem umgewandelten Gleichtakt-Y-Parameter wird anschließend unter Verwendung eines Ein-Tor-Fehlermodells dargestellt. Das Ein-Tor-Fehlermodell kann dargestellt werden, indem die Beziehung anstatt der 36 in Reflexionskoeffizienten umgewandelt und modelliert wird.
• Fehlerparameter des Ein-Tor-Fehlermodells werden ausgehend von der Beziehung zwischen den bekannten Admittanzwerten der drei standardmäßigen Zwei-Tor-Proben und dem umgewandelten Gleichtakt-Z-Parameter berechnet. Wenn das in 36 gezeigte Ein-Tor-Fehlermodell verwendet wird, werden drei unbekannte Werte, die in 31 als die Fehlerparameter gezeigt sind, nämlich Ye₁₂ + Ye₃₄, Ye₁₁ - Ye₁₂ + Ye₄₄ - YE₃₄, Ye₂₂ - Ye₁₂ + Ye₃₃ - Ye₄₄, ermittelt.
• Ein Wert, der durch Messen eines anderen Zwei-Anschluss-Zwei-Tor-Bauelements anhand des tatsächlichen Messsystems erhalten wird, wird unter Verwendung des Ein-Tor-Fehlermodells korrigiert, das die berechneten Fehlerparameterwerte dazu verwendet, einen wahren Wert des anderen Zwei-Anschluss-Zwei-Tor-Bauelements zu erhalten (d. h. einen geschätzten Wert des Messwerts, der erhalten werden kann, wenn das Bauelement anhand des Referenzmesssystems gemessen wird).
• Wie oben beschrieben wurde, indem die Beziehung der bekannten Werte der standardmäßigen Zwei-Tor-Proben durch das Ein-Tor-Fehlermodell ersetzt wird, indem die Ausgleichsumwandlung auf das tatsächliche Zwei-Tor-Messsystem angewendet wird, wodurch Fehlerparameter eindeutig ermittelt werden.
• Gemäß diesem Verfahren wird, da ein Problem, dass Fehlerparameter nicht eindeutig ermittelt werden, wie bei einem AAA-Korrekturverfahren (Ausführungsbeispiel 1), nicht auftritt, ein Einfluss einer Messvariable und eines Spurrauschens der Messvorrichtung auf den Prozess der Fehlerparameterermittlung unterdrückt.
• Demgemäß verbessern sich die Fehlerparameterermittlungsgenauigkeit und die Korrekturgenauigkeit im Vergleich zu dem AAA-Korrekturverfahren (Ausführungsbeispiel 1).
• <Spezifisches Beispiel> Ein Konfigurationsdiagramm der 37 zeigt eine Konfiguration einer bei einer Messung verwendeten Zwei-Tor-Sonde. Andere experimentelle Bedingungen lauten wie unten gezeigt. Als Schaltverfahren wird eine Reihenschaltung verwendet.
• [DUT] Zwei Arten von Chipwiderständen der Größe 1608 für eine Prüfung der Korrekturgenauigkeit (100 Ω und 392 Ω)
  [Messvorrichtung] E8364B (Agilent Technologies, Inc.)
  [Messfrequenz] 50 MHz - 1,8 GHz
  [Messpunkte] 801
  [Zwischenfrequenz] 300 Hz
  [Korrektur-Proben] Drei Arten von Widerständen der Größe 1608 (1,2 Ω, 47 Ω und 560 Ω), deren Werte anhand eines Impedanzanalysators 4291A (Agilent Technologies, Inc.) identifiziert werden
• Tabelle 3 zeigt ein Ergebnis des Korrigierens der Chipwiderstände (100 Ω und 392 Ω) unter Verwendung des bei dem Ausführungsbeispiel 3 beschriebenen Verfahrens, das das in 31 gezeigte Ein-Tor-Fehlermodell und die AAA-Korrektur verwendet (Ausführungsbeispiel 1). [Tabelle 3]

  		Korrekturfehler 100 Ω				Korrekturfehler 392 Ω
  		Widerstand		Reaktanz		Widerstand		Reaktanz
  		Durchschnitt	3σ	Durchschnitt	3σ	Durchschnitt	3σ	Durchschnitt	3σ
  AAA-Korrekturverfahren dieses Verfahren	Tor 1	0,082	0,448	0,274	0,598	1,774	3,281	0,136*	3,245
  	Tor 2	0,156	0,463	-0,221	0,496	0,596	3,166	0,612	3,187
  		0,048*	0,414*	0,058*	0,427*	0,589*	3,05*	0,187	3,03*

• Tabelle 3. Vergleich von Korrekturfehlern
• Tabelle 3 zeigt einen Durchschnitt und 3σ der Korrekturfehler. „*“ ist an den kleinsten Korrekturfehler angefügt. Alle Korrekturfehler dieses Verfahrens zeigen die kleinsten Werte, ausschließlich des Durchschnitts der Reaktanz von 392 Ω. Außerdem unterscheiden sich Durchschnittswerte der Korrekturfehler, die aus einem Messwert S₁₁ des Tors 1 und einem Messwert S₂₂ des Tors 2 bei dem AAA-Korrekturverfahren ermittelt werden, voneinander. Demgemäß gibt die Tabelle 3 an, dass das Verfahren gemäß dem Ausführungsbeispiel 3 den Fehler genauer korrigieren kann als das AAA-Korrekturverfahren (Ausführungsbeispiel 1).
• <Schlussfolgerung> Die Verwendung der oben beschriebenen Fehlerkorrekturverfahren ermöglicht, dass beim Verwenden desselben Korrekturzielmesssystems wie des zur Zeit der tatsächlichen Messung verwendeten eine Kalibrierungsarbeit durchgeführt wird. Demgemäß kann ein automatischer Charakteristikselektor, der im Wesentlichen in Massenproduktion hergestellte Bauelemente oder Proben ermöglicht, die im Wesentlichen dieselbe Größe/Form aufweisen wie die in Massenproduktion hergestellten Bauelemente, die mit einem Messanschlussabschnitt verbunden werden sollen, einen Fehler eines Messsystems korrigieren.
• Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt und kann durchgeführt werden, indem verschiedene Modifikationen vorgenommen werden.
• Beispielsweise wird die vorliegende Erfindung nicht beschränkt auf ein Messsystem angewendet, das eine Messplatine verwendet, sondern kann auf ein Messsystem, das Messstifte verwendet, angewendet werden.

Claims (6)

1. Verfahren zur Korrektur eines Hochfrequenzcharakteristik-Fehlers beim Messen einer elektronischen Komponente (2) anhand eines Messsystems bezogen auf ein Referenzmesssystem, wobei das Messsystem ein ersten Tor (56, 1m), ein zweites Tor (66, 2m) und Verbindungsleitungen (22a, 22b, 26, 28) zur Verbindung der Anschlüsse der elektronischen Komponente (2) mit den Toren umfasst, wobei das Verfahren folgende Schritte ausweist: einen ersten Schritt des Erstellens von zumindest drei ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben, die unterschiedliche Referenz-Hochfrequenzcharakteristika (Z_d1, Z_d2, Z_d3, Y_d1, Y_d2, Y_d3) aufweisen, die anhand des Referenzmesssystems identifiziert werden; einen zweiten Schritt des Messens, anhand des Messsystems, der zumindest drei ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben oder zumindest dreier zweiter Korrekturdatenerfassungs-Proben, die Hochfrequenzcharakteristika aufweisen, die äquivalent denen der ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben sind, um tatsächliche Hochfrequenzcharakteristika (Z_m1, Z_m2, Zm₃, Y_m1, Ym₂, Ym₃) zu erhalten; einen dritten Schritt des Bestimmens einer Gleichung, die einen anhand des Messsystems gemessenen Wert unter Verwendung eines Fehlerkorrekturkoeffizienten (Z_f, Y_f) für die Übertragungsleitungen (22, 26, 28) des Messsystems einem anhand des Referenzmesssystems gemessenen Wert zuordnet, wobei der Fehlerkorrekturkoeffizient (Z_f, Y_f) auf den Referenz-Hochfrequenzcharakteristika (Z_d1, Z_d2, Z_d3, Y_d1, Y_d2, Y_d3) und den tatsächlichen Hochfrequenzcharakteristika (Z_m1, Z_m2, Z_m3, Y_m1, Y_m2, Y_m3) basiert; einen vierten Schritt des Messens der elektronischen Komponente (2) anhand des Messsystems; und einen fünften Schritt des Berechnens, unter Verwendung der bei dem dritten Schritt ermittelten Gleichung und auf der Basis des bei dem vierten Schritt erhaltenen Messergebnisses, eines geschätzten Hochfrequenzcharakteristikwerts der elektronischen Komponente (2), der erhalten werden kann, wenn die elektronische Komponente (2) anhand des Referenzmesssystems gemessen wird.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die erste oder zweite Korrekturdatenerfassungs-Probe bzw. die elektronische Komponente (2) in dem Messsystem in Reihe zwischen zwei Messanschlüsse (Id, 2d), die jeweils über die Verbindungsleitungen (22a, 22b, 26, 28) mit den Toren (1m, 2m) des Messsystems verbunden sind, geschaltet ist, die Gleichung auf der Basis von Fehlermodellen ermittelt wird, wobei ein erstes Fehlermodel zwischen das erste Tor (1m) und den ersten Messanschluss (1d) und ein zweites Fehlermodel zwischen das zweite Tor (2m) und den zweiten Messanschluss (2d) geschaltet ist, wobei anhand des Messsystems eine Impedanz Z_m der elektronischen Komponente an den Toren (1m, 2m) gemessen wird, und wobei anhand des Referenzmesssystems eine Impedanz Z_d der elektronischen Komponente an den Anschlüssen der elektronischen Komponente gemessen wird, wenn die Impedanz Z_m aus der Sicht des ersten Tores (1_m) berechnet wird, bei dem ersten Fehlermodelleine Impedanz Z₁₁ und eine Impedanz Z_f zwischen das erste Tor (1_m) und den ersten Messanschluss (1_d) in Reihe geschaltet sind, eine Impedanz Z₁₂ zwischen Masse und einen Verbindungspunkt der Impedanz Z₁₁ und der Impedanz Z_f geschaltet ist, und bei dem zweiten Fehlermodell eine Impedanz Z₂₁ zwischen das zweite Tor (2_d) und den zweiten Messanschluss (2_m) geschaltet ist, und eine Impedanz Z₂₂ zwischen den zweiten Messanschluss (2_d) und Masse geschaltet ist, die Impedanzen Zf, Z₁₁, Z₁₂, Z₂₁ und Z₂₂ unter Verwendung zumindest einer Kombination, die übereinstimmende Z_f1, Z_f2 und Z_f3 bezüglich der Gleichung 1 ergibt, aus 16 Kombinationen von Z₁₁, Z₁₂, Z₂₁ und Z₂₂ ermittelt werden, und $$\begin{array}{c}\begin{array}{l}{\text{Z}}_{\text{f1}}=-[\{\left({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right){\text{Z}}_{\text{d1}}+\left(\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)+{\text{Z}}_{12}\right){\text{Z}}_{22}+{\text{Z}}_{12}({\text{Z}}_{21}\\ +{\text{Z}}_0)\}{\text{Z}}_{\text{m11}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{d1}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\right\}{\text{Z}}_{22}-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{m11}}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)({\text{Z}}_{21}+\\ {\text{Z}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Z}}_{\text{f2}}=-[\{\left({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right){\text{Z}}_{\text{d2}}+\left(\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)+{\text{Z}}_{12}\right){\text{Z}}_{22}+{\text{Z}}_{12}({\text{Z}}_{21}\\ +{\text{ Z}}_0)\}{\text{Z}}_{\text{m12}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{d2}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\right\}{\text{Z}}_{22}-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{m12}}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)({\text{Z}}_{21}+\\ {\text{Z}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Z}}_{\text{f3}}=-[\{\left({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right){\text{Z}}_{\text{d3}}+\left(\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)+{\text{Z}}_{12}\right){\text{Z}}_{22}+{\text{Z}}_{12}({\text{Z}}_{21}\\ +{\text{ Z}}_0)\}{\text{Z}}_{\text{m13}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{d3}}\\ +\left\{\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\right\}{\text{Z}}_{22}-{\text{Z}}_{11}{\text{Z}}_{12}\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Z}}_{22}+\left({\text{Z}}_{21}+{\text{Z}}_0\right)\right\}{\text{Z}}_{\text{m13}}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right){\text{Z}}_{22}+\left(-{\text{Z}}_{12}-{\text{Z}}_{11}\right)({\text{Z}}_{21}+\\ {\text{Z}}_0)],\end{array}\end{array}$$

   

   Z₁₁, Z₁₂, Z₂₁ und Z₂₂ auf der Basis der Gleichungen 2a und 2b ermittelt werden, unter Verwendung von Impedanzen Z_d1, Z_d2 und Z_d3, die durch Messen der Impedanz der zumindest drei ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben bei dem ersten Schritt erhalten werden, von Impedanzen Z_m11, Z_m12 und Z_m13, die bei dem zweiten Schritt durch Messen der Impedanz der ersten bzw. zweiten Korrekturdatenerfassungs-Proben an dem ersten Tor (1_m) erhalten werden, und von Impedanzen Z_m21, Z_m22 und Z_m23, die bei dem zweiten Schritt durch Messen der Impedanz der ersten bzw. zweiten Korrekturdatenerfassungs-Proben an dem zweiten Tor (2_m) erhalten werden, $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m13}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m12}+\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m11}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{11}=[\pm \sqrt{Z_{d2}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d2}}\sqrt{Z_{m12}-Z_{m11}}\sqrt{Z_{m13}-Z_{m11}}\sqrt{Z_{m13}-Z_{m12}}\\ -\left\{\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m12}{Z}_{m13}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m11}{Z}_{m13}+\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m11}{Z}_{m12}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{12}=\pm \sqrt{\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)\left(Z_{d3}^2+\left(-Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{d3}+Z_{d1}{Z}_{d2}\right)\left(Z_{m12}-Z_{m11}\right)\left(Z_{m13}^2+\left(-Z_{m12}-Z_{m11}\right)Z_{m13}+Z_{m11}{Z}_{m12}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

   

   $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m23}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m22}+\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m21}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{21}=[\pm \sqrt{Z_{d2}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d1}}\sqrt{Z_{d3}-Z_{d2}}\sqrt{Z_{m22}-Z_{m21}}\sqrt{Z_{m23}-Z_{m21}}\sqrt{Z_{m23}-Z_{m22}}\\ -\left\{\left(Z_{d3}-Z_{d2}\right)Z_{m22}{Z}_{m23}+\left(Z_{d1}-Z_{d3}\right)Z_{m21}{Z}_{m23}+\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{m21}{Z}_{m22}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Z}_{22}=\pm \sqrt{\left(Z_{d2}-Z_{d1}\right)\left(Z_{d3}^2+\left(-Z_{d2}-Z_{d1}\right)Z_{d3}+Z_{d1}{Z}_{d2}\right)\left(Z_{m22}-Z_{m21}\right)\left(Z_{m23}^2+\left(-Z_{m22}-Z_{m21}\right)Z_{m23}+Z_{m21}{Z}_{m22}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

   
3. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die erste oder zweite Korrekturdatenerfassungs-Probe und bzw. die elektronische Komponente (2) in dem Messsystem im Nebenschluss zwischen zwei Messanschlüsse (Id, 2d), die jeweils über die Verbindungsleitungen (22a, 22b, 26, 28) mit den Toren (1m, 2m) des Messsystems verbunden sind, verschaltet ist, und die Gleichung auf der Basis von Fehlermodellen ermittelt wird, wobei ein erstes Fehlermodel zwischen das erste Tor (1m) und den ersten Messanschluss (1d) und ein zweites Fehlermodel zwischen das zweite Tor (2m) und den zweiten Messanschluss (2d) geschaltet ist, wobei anhand des Messsystems eine Admittanz Y_m der elektronischen Komponente an den Toren (1m, 2m) gemessen wird, und wobei anhand des Referenzmesssystems eine Admittanz Y_d der elektronischen Komponente an den Anschlüssen der elektronischen Komponente gemessen wird, wenn die Admittanz Y_m aus der Sicht des ersten Tores (1_m) berechnet wird, bei dem ersten Fehlermodell eine Admittanz Y₁₂ zwischen das erste Tor (1_m) und den ersten Messanschluss (1_d) geschaltet ist, eine Admittanz Y₁₁ zwischen Masse und einen Verbindungspunkt des ersten Tores (1m) und der Admittanz Y₁₂ geschaltet ist, und eine Admittanz Y_f zwischen Masse und einen Verbindungspunkt der Admittanz Y₁₂ und des ersten Messanschlusses (1_d) geschaltet ist, und bei dem zweiten Fehlermodell eine Admittanz Y₂₂ zwischen den zweiten Messanschluss (2_d) und das zweite Tor (2_m) geschaltet ist, und eine Admittanz Y₂₁ zwischen Masse und einen Verbindungspunkt der Admittanz Y₂₂ und dem zweiten Tor (2m) geschaltet ist, die Admittanz Y_f, Y₁₁. Y₁₂, Y₂₁ und Y₂₂ unter Verwendung zumindest einer Kombination, die übereinstimmende Y_f1, Y_f2, und Y_f3 bezüglich der Gleichung 3 ergibt, aus 16 Kombinationen von Y₁₁, Y₁₂, Y₂₁ und Y₂₂ ermittelt werden, $$\begin{array}{c}\begin{array}{l}{\text{Y}}_{\text{f1}}=-[\{\left({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right){\text{Y}}_{\text{d1}}+\left(\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)+{\text{Y}}_{12}\right){\text{Y}}_{22}+{\text{Y}}_{12}({\text{Y}}_{21}\\ +{\text{Y}}_0)\}{\text{Y}}_{\text{m11}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{d1}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\right\}{\text{Y}}_{22}-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{m11}}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)({\text{Y}}_{21}+\\ {\text{Y}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Y}}_{\text{f2}}=-[\{\left({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right){\text{Y}}_{\text{d2}}+\left(\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)+{\text{Y}}_{12}\right){\text{Y}}_{22}+{\text{Y}}_{12}({\text{Y}}_{21}\\ +{\text{Y}}_0)\}{\text{Y}}_{\text{m12}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{d2}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\right\}{\text{Y}}_{22}-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{m12}}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)({\text{Y}}_{21}+\\ {\text{Y}}_0)]\end{array}\\ \begin{array}{l}{\text{Y}}_{\text{f3}}=-[\{\left({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right){\text{Y}}_{\text{d3}}+\left(\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)+{\text{Y}}_{12}\right){\text{Y}}_{22}+{\text{Y}}_{12}({\text{Y}}_{21}\\ +{\text{Y}}_0)\}{\text{Y}}_{\text{m13}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{d3}}\\ +\left\{\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\right\}{\text{Y}}_{22}-{\text{Y}}_{11}{\text{Y}}_{12}\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)]\\ /[\left\{({\text{Y}}_{22}+\left({\text{Y}}_{21}+{\text{Y}}_0\right)\right\}{\text{Y}}_{\text{m13}}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right){\text{Y}}_{22}+\left(-{\text{Y}}_{12}-{\text{Y}}_{11}\right)({\text{Y}}_{21}+\\ {\text{Y}}_0)]\end{array}\end{array}$$

   

   Y₁₁, Y₁₂, Y₂₁ und Y₂₂ auf der Basis der Gleichungen 4a und 4b ermittelt werden, unter Verwendung von Admittanzen Y_d1, Y_d2 und Y_d3, die durch Messen der Admittanz der zumindest drei ersten Korrekturdatenerfassungs-Proben bei dem ersten Schritt erhalten werden, von Admittanzen Y_m11, Y_m12 und Y_m13, die bei dem zweiten Schritt durch Messen der Admittanz der ersten bzw. zweiten Korrekturdatenerfassungs-Proben an dem ersten Tor (1_m) erhalten werden, und von Admittanzen Y_m21, Y_m22 und Y_m23, , die bei dem zweiten Schritt durch Messen der Admittanz der ersten bzw. zweiten Korrekturdatenerfassungs-Proben an dem zweiten Tor (2_m) erhalten werden, $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m13}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m12}+\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m11}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{11}=\pm [\pm \sqrt{Y_{d2}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d2}}\sqrt{Y_{m12}-Y_{m11}}\sqrt{Y_{m13}-Y_{m11}}\sqrt{Y_{m13}-Y_{m12}}\\ -\left\{\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m12}{Y}_{m13}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m11}{Y}_{m13}+\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m11}{Y}_{m12}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{12}=\pm \sqrt{\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)\left(Y_{d3}^2+\left(-Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{d3}+Y_{d1}{Y}_{d2}\right)\left(Y_{m12}-Y_{m11}\right)\left(Y_{m13}^2+\left(-Y_{m12}-Y_{m11}\right)Y_{m13}+Y_{m11}{Y}_{m12}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

   

   $$\begin{array}{l}Nenner=\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m23}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m22}+\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m21}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{21}=[\pm \sqrt{Y_{d2}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d1}}\sqrt{Y_{d3}-Y_{d2}}\sqrt{Y_{m22}-Y_{m21}}\sqrt{Y_{m23}-Y_{m21}}\sqrt{Y_{m23}-Y_{m22}}\\ -\left\{\left(Y_{d3}-Y_{d2}\right)Y_{m22}{Y}_{m23}+\left(Y_{d1}-Y_{d3}\right)Y_{m21}{Y}_{m23}+\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{m21}{Y}_{m22}\right\}]\\ /Nenner\end{array}\hfill \\ \begin{array}{l}{Y}_{22}=\pm \sqrt{\left(Y_{d2}-Y_{d1}\right)\left(Y_{d3}^2+\left(-Y_{d2}-Y_{d1}\right)Y_{d3}+Y_{d1}{Y}_{d2}\right)\left(Y_{m22}-Y_{m21}\right)\left(Y_{m23}^2+\left(-Y_{m12}-Y_{m11}\right)Y_{m23}+Y_{m21}{Y}_{m22}\right)}\\ /Nenner\end{array}\hfill \end{array}$$

   
4. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die erste oder zweite Korrekturdatenerfassungs-Probe bzw. die elektronische Komponente (2) in dem Messsystem in Reihe zwischen zwei Messanschlüsse (Id, 2d), die jeweils über die Verbindungsleitungen (22a, 22b, 26, 28) mit den Toren (1m, 2m) des Messsystems verbunden sind, geschaltet ist, der dritte Schritt einen Teilschritt des Umwandelns der Referenz-Hochfrequenzcharakteristika (Z_d1, Z_d2, Z_d3), die bei dem ersten Schritt erstellt wurden, und der tatsächlichen Hochfrequenzcharakteristika (Z_m1, Z_m2, Z_m3), die bei dem zweiten Schritt erhalten wurden, in Impedanzparameter und des Bestimmens einer Differenzimpedanzkomponente umfasst, und die Gleichung eine Impedanz, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente (2) unter Verwendung der zwei Tore des Messsystems gemessen wird, einer Impedanz zuordnet, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente (2) bei dem Referenzmesssystem durch ein Zwei-Tor-Fehlermodell gemessen wird, wobei die Gleichung auf der Basis eines Ein-Tor-Fehlermodells ermittelt wird, das lediglich ein Tor aufweist, in das ein Differenzsignal der zwei Tore eingegeben wird, und wobei die Impedanz der elektronischen Komponente (2) anhand des Referenzmesssystems gemessen wird.
5. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die erste oder zweite Korrekturdatenerfassungs-Probe und bzw. die elektronische Komponente (2) in dem Messsystem im Nebenschluss zwischen zwei Messanschlüsse (1d, 2d), die jeweils über die Verbindungsleitungen (22a, 22b, 26, 28) mit den Toren (1m, 2m) des Messsystems verbunden sind, verschaltet ist, der dritte Schritt einen Teilschritt des Umwandelns der Referenz-Hochfrequenzcharakteristika (Y_d1, Y_d2, Y_d3), die bei dem ersten Schritt erstellt wurden, und der tatsächlichen Hochfrequenzcharakteristika (Y_m1, Y_m2, Y_m3), die bei dem zweiten Schritt erhalten wurden, in Admittanzparameter und des Bestimmens einer Gleichtakt-Admittanzkomponente umfasst, und die Gleichung eine Admittanz, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente (2) unter Verwendung der zwei Tore des Messsystems gemessen wird, einer Admittanz zuordnet wird, die erhalten wird, wenn die elektronische Komponente (2) bei dem Referenzmesssystem durch ein Zwei-Tor-Fehlermodell gemessen wird, wobei die Gleichung auf der Basis eines Ein-Tor-Fehlermodells ermittelt wird, das lediglich ein Tor aufweist, in das ein Gleichtaktsignal der zwei Tore eingegeben wird, und wobei die Admittanz der elektronischen Komponente (2) anhand des Referenzmesssystems gemessen wird.
6. Vorrichtung zum Durchführen des fünften Schrittes des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Vorrichtung umfasst: einen Speicher zum Speichern der bei dem dritten Schritt ermittelten Gleichung und eines Messwertes für die elektronische Komponente (2), der bei dem Messsystem in dem vierten Schritt erhalten wird; und eine Berechnungseinheit zum Durchführen einer Berechnung zum Korrigieren des in dem Speicher gespeicherten Messwertes unter Verwendung der in dem Speicher gespeicherten Gleichung, und zum Berechnen des geschätzten Hochfrequenzcharakteristikwerts der elektronischen Komponente (2).

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