DE19903573C2 - Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmessungen eines zu testenden reziproken Elements bei einem Vektornetzwerkanalysator - Google Patents

Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmessungen eines zu testenden reziproken Elements bei einem Vektornetzwerkanalysator

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    • G01R27/28Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Vektornetzwerk­ analysatoren und insbesondere auf ein Verfahren zum Korri­ gieren von Fehlern in Reflexionsmessungen von reziproken Elementen, die durch Impedanzfehlanpassungen in einem Test­ set eines Vektornetzwerkanalysators bewirkt werden.
Vektornetzwerkanalysatoren (VNA; VNA = Vector Network Analyzer), die Hochfrequenztransmission/reflexion-(T/R)- Testsets umfassen, werden verwendet, um die Transmissions- und Reflexionscharakteristika verschiedener zu testender Elemente (DUT; DUT = Device Under Test) zu bestimmen. Die Meßgenauigkeit eines VNA verbessert sich im allgemeinen, wenn die Impedanzen eines Quellentors und eines Lasttors des T/R-Testsets enger an eine vorbestimmte charakteristische Impedanz angepaßt sind. Ungünstigerweise bewirken Begren­ zungen der elektronischen Hardware, die in dem T/R-Testset verwendet wird, Impedanzfehlanpassungen an dem Quellen- und dem Lasttor, die die Meßgenauigkeit verringern und die Meß­ unsicherheit erhöhen. Ein Meßfehler entsteht während Re­ flexionsmessungen eines Mehrtor-DUT. Wenn beispielsweise das Ausgangstor eines Zweitor-DUT mit dem Lasttor des T/R-Test­ sets verbunden ist, ist der gemessene Reflexionskoeffizient eine Funktion sowohl der Reflexionscharakteristika des DUT als auch der Impedanz des Lasttors des T/R-Testsets. Wenn die Fehlanpassung zwischen der Lasttorimpedanz und der vor­ bestimmten charakteristischen Impedanz zunimmt, nimmt auch der Fehler bei der Reflexionsmessung zu. Dieser Reflexions­ meßfehler fällt am meisten für DUT, wie z. B. Kabel oder Filter, auf, die einen geringen Einfügungsverlust aufweisen und Reflexionen von dem Lasttor des VNA nicht absorbieren.
Ein erstes bekanntes Verfahren zum Reduzieren der Re­ flexionsmeßfehler in einem VNA beruht auf einer vollständi­ gen Zweitorcharakterisierung des DUT, die sowohl Vorwärts- als auch Rückwärtstransmissions- und -Reflexionsmessungen aufweist. Basierend auf dieser Zweitorcharakterisierung kann eine Vielzahl bekannter Vektorfehlerkorrekturtechniken ver­ wendet werden, um die Reflexionsmeßfehler mathematisch zu korrigieren. Um die bekannten Vektorfehlerkorrekturtechniken bei Verwenden eines T/R-Testsets anzuwenden, müssen die Ver­ bindungstore des DUT jedoch relativ zu dem Quellen- und dem Lasttor physisch umgekehrt werden, um die vollständige Zwei­ torcharakterisierung des DUT zu erhalten. Das Umkehren der Verbindungstore ist zeitaufwendig und stört den Betrieb des DUT. Ein zweites bekanntes Verfahren zum Reduzieren der Re­ flexionsmeßfehler weist das Verbinden einer angepaßten Last an das Ausgangstor des DUT auf, bevor die Reflexionsmessung durchgeführt wird. Die Verwendung der angepaßten Last ist ebenfalls zeitaufwendig und stört den Betrieb des DUT. Falls die Reflexionsmeßfehler aufgrund der Impedanzfehlanpassungen nicht korrigiert werden, um die Meßzeit und die Störungen auf das DUT zu reduzieren, wird die Reflexionsmeßgenauigkeit geopfert.
Aus der DE 197 23 087 A1 ist ein Fehlerkorrekturverfahren für Transmissionsmessungen in Vektornetzwerkanalysatoren be­ kannt, bei dem eine Reflexionsmessung zur Erfassung der Im­ pedanzanpassung eines Lasttores und einer Reflexionskali­ brierung eines Quellentores durchgeführt wird. Eine Reflex­ ionsmessung, die mit eingeschaltetem Meßobjekt zwischen Quellentor und Lasttor durchgeführt wird, liefert den Ein­ gangsreflexionskoeffizienten des Meßobjekts. Aufgrund dieser Messung und der erfaßten Charakteristik des Quellentores wird ein die Eingangsfehlanpassung des Meßobjektes beschrei­ bender Fehler korrigiert.
Aus der DE 38 21 575 A1 ist eine Anordnung zur Bestimmung des Ersatzschaltbildes von Bauelementen, die durch ein Zwei­ torelement oder ein Eintorelement dargestellt werden, bekannt. Es werden die Parameter der Streumatrix des Zweitor­ elementes bzw. der Reflexionsfaktor eines Eintorelementes gemessen, wobei das Meßergebnis durch Einbeziehung von Zwei­ torparametern der Verbindungsglieder korrigiert wird und ein Ersatzschaltbild aus dem korrigierten Meßergebnis berechnet wird.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein verbessertes Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmes­ sungen eines zu testenden reziproken Elements zu schaffen, um die Meßgeschwindigkeit eines Vektoranalysators zu erhö­ hen.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 ge­ löst.
Eine breite Klasse von Elementen, wie z. B. Filter, Schal­ ter, Kabel, Koppler, Dämpfungsglieder und andere passive Elemente, die von Vektornetzwerkanalysatoren (VNA) getestet werden, sind reziprok, d. h. sie weisen einen Vorwärtstrans­ missionskoeffizient S21 und einen Rückwärtstransmissions­ koeffizient S12 auf, die gleich sind. Gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verbessert ein Fehlerkorrekturverfahren die Meßgenauigkeit eines Vek­ tornetzwerkanalysators durch Reduzieren der Reflexionsmeß­ fehler für reziproke Elemente. Die Fehler aufgrund von Im­ pedanzfehlanpassungen an dem Lasttor eines Transmission/Re­ flexion-(T/R)-Testsets werden korrigiert, ohne die Meßge­ schwindigkeit des VNA zu beeinflussen. Sobald das Quellentor des T/R-Testsets kalibriert ist, wird eine Reflexionsmessung durchgeführt, während ein Impedanz-angepaßtes Durchgangs­ normal einer bekannten elektrischen Länge zwischen das Quel­ lentor und das Lasttor des T/R-Testsets geschaltet ist. Die Reflexionsmessung wird bezüglich der elektrischen Länge des Durchgangsnormals korrigiert, um eine Reflexionsmessung des Lasttors des T/R-Testsets zu erhalten. Daraufhin werden die Transmissions- und Reflexionscharakteristika des DUT gemes­ sen. Die Reziprozität des DUT und die Reflexionsmessung des Lasttors werden verwendet, um den tatsächlichen Eingangsre­ flexionskoeffizienten des DUT zu extrahieren.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets der zum Kali­ brieren des Quellentors des T/R-Testsets gemäß dem Fehlerkorrekturverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ge­ staltet ist, verwendet wird;
Fig. 2 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets, der ein Durchgangsnormal aufweist, das mit dem Fehlerkor­ rekturverfahren, das gemäß dem bevorzugten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung auf­ gestaltet ist, verwendet wird;
Fig. 3 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets der ein zu testendes Element aufweist, das mit dem Fehler­ korrekturverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestal­ tet ist, verwendet wird;
Fig. 4 ein Flußdiagramm des Fehlerkorrekturverfahrens, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor­ liegenden Erfindung gestaltet ist; und
Fig. 5 eine Reflexionsmessung, die das Fehlerkorrekturver­ fahren verwendet, das gemäß dem bevorzugten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestaltet ist.
Fig. 1-3 zeigen Flußgraphen eines Transmission/Reflexion- Testsets (T/R-Testsets) zur Verwendung mit dem Fehlerkorrek­ turverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestaltet ist. Das T/R-Testset wird mit einem Vektornetzwerkanalysator (VNA) verwendet, um ein zu testendes Element (DUT) zu charakterisieren. Impe­ danzfehlanpassungen an dem Quellentor 1 und dem Lasttor 2 des T/R-Testsets führen eine Meßunsicherheit bei den Mes­ sungen des DUT ein. Diese Meßunsicherheit vermindert, falls dieselbe nicht korrigiert oder kompensiert wird, die Ge­ nauigkeit der Messungen, die von dem VNA durchgeführt wer­ den. Fig. 1 zeigt einen Flußgraphen eines Transmission/Re­ flexion-Testsets (T/R-Testset), der zum Kalibrieren des Quellentors 1 des T/R-Testsets gemäß dem bevorzugten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird. Das T/R-Testset versetzt den VNA in die Lage, Vektormessungen durchzuführen, die eine Betrag- und Phasenmessung eines Vor­ wärtstransmissionskoeffizienten S21 und eines Reflexions­ koeffizienten S11 eines DUT umfassen. Bei dem T/R-Testset des VNA überträgt ein Quellentor 1 Signale a1 und empfängt Signale b1, und ein Lasttor 2 empfängt Signale b2. Die Kalibrierung des Quellentors 1 des VNA wird durch Durch­ führen einer Reflexionsmessung mit jedem von drei Kalibrie­ rungsnormalen, z. B. einem Leerlauf-, einem Kurzschluß- und einem Angepaßte-Last-Kalibrierungsnormal, die mit dem Quellentor 1 verbunden sind, durchgeführt. Die tatsächliche Quellenanpassung Γs wird aus den Reflexionsmessungen der Kalibrierungsnormale gemäß der Beziehung, die von dem Fluß­ graphen von Fig. 1 bestimmt wird, extrahiert, wobei gilt:
Hierbei sind D die Richtwirkung (oder "Directivity") des Quellentors 1, TR der Reflexionsnachlauf (oder "Reflection Tracking") des Quellentors 1, ΓA der tatsächliche Re­ flexionskoeffizient des speziellen verwendeten Kalibrie­ rungsnormals und ΓM der gemessene Reflexionskoeffizient des Quellentors 1, der die Auswirkungen von D, TR und der Quel­ lenanpassung ΓS aufweist. Die drei Beiträge zu dem Fehler in dem gemessenen Reflexionskoeffizienten ΓM sind die Richtwir­ kung D, der Reflexionsnachlauf TR und die Quellenanpassung ΓS. Diese Fehlerbeiträge sind als ein Ergebnis von Re­ flexionsmessungen der drei Kalibrierungsnormale charakte­ risiert. Die drei Kalibrierungsnormale, wie z. B. das Leer­ laufnormal, das Kurzschlußnormal und das Angepaßte-Last-Nor­ mal, weisen jeweils einen bekannten Reflexionskoeffizienten ΓA auf, der eindeutig für das spezielle Kalibrierungsnormal ist. Unter Verwendung des Ausdrucks für ΓM wird eine Re­ flexionsmessung für jedes der Kalibrierungsnormale durchge­ führt. Basierend auf diesen Messungen werden drei Gleichun­ gen erhalten und verwendet, um die Fehlerbeiträge zu be­ rechnen. Die Auswirkungen der drei Fehlerbeiträge werden kompensiert, wenn nachfolgende Reflexionsmessungen unter Verwendung des T/R-Testsets durchgeführt werden.
Fig. 2 zeigt einen Flußgraphen eines T/R-Testsets, der ein Durchgangsnormal aufweist, das mit dem Fehlerkorrektur­ verfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestaltet ist, verwendet wird. Die Impedanzanpassung des Lasttors 2 oder die Lastanpassung ΓL wird durch Schalten eines Durchgangsnormals zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 des T/R-Testsets kalibriert. Die elektrische Länge des Durchgangsnormals ist bekannt. Ei­ ne Reflexionsmessung wird durchgeführt, und die Reflexions­ messung ΓLM wird für die elektrische Länge Bl des Durch­ gangsnormals korrigiert, um die Lastanpassung ΓL gemäß der Beziehung, die von dem Flußgraphen von Fig. 2 bestimmt ist, zu erhalten:
ΓL = ΓLM/e-j2Bl
Wenn das Quellentor 1 und das Lasttor 2 direkt aneinander "anstoßen", ist die elektrische Länge Bl Null, und die Last­ anpassung ΓL wird direkt gemessen. Wenn das Quellentor 1 und das Lasttor 2 nicht direkt aneinander "anstoßen", wird ein Durchgangsnormal der endlichen elektrischen Länge Bl verwen­ det. Das Durchgangsnormal wird ausgewählt, um eine Anpassung aufzuweisen, die zumindest 10 dB besser ist als die Anpas­ sung des DUT, um die Genauigkeit der Reflexionsmessung des DUT nicht negativ zu beeinflussen. Die Genauigkeit der Re­ flexionsmessungen wird ferner durch Durchführen einer zu­ sätzlichen Eintorkalibrierung verbessert, während das Durch­ gangsnormal mit dem Quellentor 1 verbunden ist. Dies ermög­ licht eine direkte Messung der Lastanpassung, während eine Kompensierung sowohl der Fehlanpassung als auch der Verzöge­ rung des Durchgangsnormals vorgesehen ist.
Fig. 3 zeigt einen Flußgraphen des T/R-Testsets der ein DUT aufweist, der gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird, um einen gemessenen Reflexionskoeffizienten S11M des DUT zu beurteilen. Der ge­ messene Transmissionskoeffizient S11M ist eine Funktion der S-Parameter S11, S22, S21 und S12 des DUT sowie der Last­ anpassung ΓL. Der gemessene Reflexionskoeffizient S11M wird von dem Flußgraphen von Fig. 3 abgeleitet und ergibt sich zu:
Da das DUT ein reziprokes Element ist, sind der Vorwärts­ transmissionskoeffizient S21 und der Rückwärtstransmissions­ koeffizient S12 gleich. Unter der Annahme, daß das Produkt S22ΓL klein ist, wird der Reflexionskoeffizient S11 aus dem gemessenen Reflexionskoeffizienten S11M extrahiert und es ergibt sich:
S11 = S11M - S21 2ΓL
Der Vorwärtstransmissionskoeffizient S21 kann unter Verwen­ dung einer Vielzahl bekannter Messungstechniken oder alter­ nativ unter Verwendung des "Error Correction Method For Transmission Measurements In Vector Network Analyzers" be­ stimmt werden, das in dem am 1. Juli 1996 eingereichten U.S.-Patent Nr. 5,748,000 offenbart ist. Da das T/R-Testset nicht auf einer vollständigen Zweitorkalibrierung des DUT beruht, verbleibt der Term S22ΓL als ein Restfehlerterm, wohingegen der Term S21 2ΓL korrigiert ist.
Fig. 4 ist ein Flußdiagramm 100 des Fehlerkorrekturverfah­ rens für Reflexionsmessungen von reziproken Elementen, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestaltet ist. Bei einem Schritt 101 wird eine Reflexionskalibrierung unter Verwendung der Kalibrierungs­ normale, die mit dem Quellentor 1 verbunden sind, durchge­ führt. Bei einem Schritt 103 wird eine Reflexionsmessung durchgeführt, während ein Durchgangsnormal zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 des T/R-Testsets geschaltet ist. Bei einem Schritt 105 wird die Reflexionsmessung bezüg­ lich der elektrischen Länge des Durchgangsnormals korri­ giert, um den Lastreflexionskoeffizienten ΓL zu erhalten. Bei einem Schritt 107 werden die Vorwärtsreflexionscharak­ teristika und Vorwärtstransmissionscharakteristika gemessen, wobei das DUT zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 geschaltet ist. Der Reflexionskoeffzient S11 wird daraufhin aus den Messungen der Schritte 103 und 107 extrahiert.
Fig. 5 zeigt eine Reflexionsmessung, die das Fehlerkorrek­ turverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestaltet ist, verwendet. Der Betrag des Reflexionskoeffizienten S11, der unter Verwendung des Fehlerkorrekturverfahrens extrahiert ist, ist im Ver­ gleich zu einer Reflexionsmessung, bei der das DUT unter Verwendung einer angepaßten Last anstatt des Lasttors 2 abgeschlossen ist, gezeigt. Ferner ist eine Reflexionsmes­ sung gezeigt, bei der das DUT durch das Lasttor 2 abge­ schlossen ist, wobei die Messung jedoch bezüglich der Last­ anpassung ΓL des Lasttors 2 des T/R-Testsets nicht korri­ giert ist.
Das Fehlerkorrekturverfahren reduziert die Auswirkungen der Impedanzfehlanpassungen bei einem T/R-Testset und verbessert die Genauigkeit der Transmissionsmessungen, die von Vektor­ netzwerkanalysatoren durchgeführt werden, ohne die Meßge­ schwindigkeit zu verringern. Das Fehlerkorrekturverfahren kann softwaremäßig intern oder extern bezüglich des VNA und des T/R-Testsets oder in der VNA-internen Firmware implemen­ tiert sein.

Claims (3)

1. Verfahren (100) zum Korrigieren von Reflexionsmessun­ gen eines zu testenden reziproken Elements bei einem Vektornetzwerkanalysator, der ein Quellentor und ein Lasttor (2) aufweist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
Durchführen einer Reflexionskalibrierung des Quellen­ tors (101);
Durchführen einer Reflexionsmessung mit einem ange­ paßten Durchgangsnormal, das eine vorbestimmte elek­ trische Länge aufweist und zwischen das Quellentor und das Lasttor (103) geschaltet ist;
Korrigieren der Reflexionsmessung gemäß der elek­ trischen Länge des Durchgangsnormals, um einen ersten Reflexionskoeffizienten des Lasttors (105) zu extra­ hieren;
Messen eines Transmissionskoeffizienten und eines zweiten Reflexionskoeffizienten, wenn das zu testende reziproke Element zwischen das Quellentor und das Lasttor (107) geschaltet ist; und
Korrigieren des zweiten Reflexionskoeffizienten gemäß der Reflexionskalibrierung des Quellentors und des Reflexionskoeffizienten des Lasttors (109).
2. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1, bei dem der Schritt des Korrigierens des zweiten Reflexionskoeffizienten (109) das Subtrahieren des Produkts aus dem Quadrat des gemessenen Transmissionskoeffizienten und dem Lastreflexionskoeffizienten aufweist.
3. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem der Schritt des Durchführens einer Reflexionskalibrierung des Quellentors (101) das Durchführen einer Re­ flexionsmessung mit einem Leerlaufkalibrierungsnormal, das Durchführen einer Reflexionsmessung mit einem Kurzschlußkalibrierungsnormal und das Durchführen einer Reflexionsmessung mit einem Angepaßte-Last-Kali­ brierungsnormal aufweist.
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Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5914613A (en) 1996-08-08 1999-06-22 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system with local contact scrub
US6188968B1 (en) * 1998-05-18 2001-02-13 Agilent Technologies Inc. Removing effects of adapters present during vector network analyzer calibration
US6256882B1 (en) 1998-07-14 2001-07-10 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
US6873827B1 (en) * 1998-09-28 2005-03-29 Nokia Corporation Method and apparatus for providing feeder cable insertion loss detection in a transmission system without interfering with normal operation
US6445202B1 (en) 1999-06-30 2002-09-03 Cascade Microtech, Inc. Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current
US6647357B1 (en) * 2000-02-07 2003-11-11 Avaya Technology Corp. Method for correcting reciprocity error in two port network measurements
US6396285B1 (en) * 2000-08-14 2002-05-28 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for efficient measurement of reciprocal multiport devices in vector network analysis
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US6614237B2 (en) 2000-09-18 2003-09-02 Agilent Technologies, Inc. Multiport automatic calibration device for a multiport test system
US6920407B2 (en) * 2000-09-18 2005-07-19 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for calibrating a multiport test system for measurement of a DUT
DE10143173A1 (de) 2000-12-04 2002-06-06 Cascade Microtech Inc Wafersonde
WO2003052435A1 (en) 2001-08-21 2003-06-26 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
JP2005526250A (ja) * 2002-05-16 2005-09-02 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 較正及びデエンベッディングのための方法、デエンベッディングのためのデバイスセット、並びにベクトルネットワークアナライザ
US6836743B1 (en) * 2002-10-15 2004-12-28 Agilent Technologies, Inc. Compensating for unequal load and source match in vector network analyzer calibration
US20040100276A1 (en) * 2002-11-25 2004-05-27 Myron Fanton Method and apparatus for calibration of a vector network analyzer
US6928373B2 (en) * 2003-01-30 2005-08-09 Anritsu Company Flexible vector network analyzer measurements and calibrations
US7107170B2 (en) * 2003-02-18 2006-09-12 Agilent Technologies, Inc. Multiport network analyzer calibration employing reciprocity of a device
US7064555B2 (en) * 2003-02-18 2006-06-20 Agilent Technologies, Inc. Network analyzer calibration employing reciprocity of a device
US6838885B2 (en) * 2003-03-05 2005-01-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of correcting measurement error and electronic component characteristic measurement apparatus
US7130756B2 (en) * 2003-03-28 2006-10-31 Suss Microtec Test System Gmbh Calibration method for carrying out multiport measurements on semiconductor wafers
US6823276B2 (en) * 2003-04-04 2004-11-23 Agilent Technologies, Inc. System and method for determining measurement errors of a testing device
US7057404B2 (en) 2003-05-23 2006-06-06 Sharp Laboratories Of America, Inc. Shielded probe for testing a device under test
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7068049B2 (en) * 2003-08-05 2006-06-27 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for measuring a device under test using an improved through-reflect-line measurement calibration
US6997753B2 (en) * 2003-10-22 2006-02-14 Gore Enterprise Holdings, Inc. Apparatus, system and method for improved calibration and measurement of differential devices
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
DE202004021093U1 (de) 2003-12-24 2006-09-28 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Aktiver Halbleiterscheibenmessfühler
DE202005021435U1 (de) 2004-09-13 2008-02-28 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Doppelseitige Prüfaufbauten
JP4987718B2 (ja) * 2004-09-14 2012-07-25 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 負荷のインピーダンスの検出回路
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
FI20065339A0 (fi) * 2006-05-18 2006-05-18 Nokia Corp Antennin sovitusmittaus ja vahvistuksen ohjaus
US7723999B2 (en) 2006-06-12 2010-05-25 Cascade Microtech, Inc. Calibration structures for differential signal probing
US7764072B2 (en) 2006-06-12 2010-07-27 Cascade Microtech, Inc. Differential signal probing system
US7403028B2 (en) 2006-06-12 2008-07-22 Cascade Microtech, Inc. Test structure and probe for differential signals
US7876114B2 (en) 2007-08-08 2011-01-25 Cascade Microtech, Inc. Differential waveguide probe
US7777497B2 (en) * 2008-01-17 2010-08-17 Com Dev International Ltd. Method and system for tracking scattering parameter test system calibration
CN101339234B (zh) * 2008-07-31 2012-05-09 国网电力科学研究院武汉南瑞有限责任公司 便携式cvt误差测试方法及装置
US7888957B2 (en) 2008-10-06 2011-02-15 Cascade Microtech, Inc. Probing apparatus with impedance optimized interface
WO2010059247A2 (en) 2008-11-21 2010-05-27 Cascade Microtech, Inc. Replaceable coupon for a probing apparatus
US8319503B2 (en) 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test
CN101556320B (zh) * 2009-04-30 2011-10-26 厦门红相电力设备股份有限公司 电容式电压互感器现场校验方法
CN104297711B (zh) * 2014-10-21 2017-04-12 中国电子科技集团公司第四十一研究所 矢量网络分析仪的不确定度分析方法
US10145930B1 (en) * 2015-09-30 2018-12-04 Keysight Technologies, Inc. Method and system for phase synchronization and calibration of a multiport vector network analyzer using a single phase reference
US10148316B2 (en) * 2016-04-26 2018-12-04 Intel Corporation Technologies for PCB and cable loss characterization and fixture de-embedding
CN109375151B (zh) * 2018-12-24 2020-11-10 广东电网有限责任公司 电能表计量误差在线监测技术的监测通道调度方法及装置
CN109596944B (zh) * 2019-01-11 2021-03-23 上海仁童电子科技有限公司 线缆检测方法、装置及电子设备
CN111999560B (zh) * 2020-07-20 2024-01-16 杭州电子科技大学 一种基于阻抗的矢量网络分析仪的校准方法
CN111983431B (zh) * 2020-08-31 2022-11-15 中电科思仪科技股份有限公司 一种提高矢量网络分析仪端口反射系数模拟精度的方法
CN112564823B (zh) * 2020-12-03 2022-11-01 浙江铖昌科技股份有限公司 一种基于自校准算法的多端口射频微波校准方法
CN113296039B (zh) * 2021-04-25 2023-01-24 中国计量科学研究院 一种确定组合体校准因子的方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3821575A1 (de) * 1988-06-25 1989-12-28 Philips Patentverwaltung Anordnung zur naeherungsweisen bestimmung des ersatzschaltbildes eines elektrischen bzw. elektronischen bauelementes bei hohen frequenzen
DE19723087A1 (de) * 1996-08-01 1998-02-05 Hewlett Packard Co Fehlerkorrekturverfahren für Transmissionsmessungen in Vektornetzwerkanalysatoren

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4816767A (en) * 1984-01-09 1989-03-28 Hewlett-Packard Company Vector network analyzer with integral processor
US4845423A (en) * 1987-09-21 1989-07-04 Hewlett-Packard Company Electrically short air line for network analyzer calibration
US4853613A (en) * 1987-10-27 1989-08-01 Martin Marietta Corporation Calibration method for apparatus evaluating microwave/millimeter wave circuits
US4858160A (en) * 1988-03-18 1989-08-15 Cascade Microtech, Inc. System for setting reference reactance for vector corrected measurements
US4982164A (en) * 1988-04-22 1991-01-01 Rhode & Schwarz Gmbh & Co. K.G. Method of calibrating a network analyzer
JP2866011B2 (ja) * 1994-08-24 1999-03-08 日本ヒューレット・パッカード株式会社 回路網測定装置の校正方法
DE4435559A1 (de) * 1994-10-05 1996-04-11 Holger Heuermann Verfahren zur Durchführung elektrischer Präzisionsmessungen mit Selbstkontrolle
US5548538A (en) * 1994-12-07 1996-08-20 Wiltron Company Internal automatic calibrator for vector network analyzers

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3821575A1 (de) * 1988-06-25 1989-12-28 Philips Patentverwaltung Anordnung zur naeherungsweisen bestimmung des ersatzschaltbildes eines elektrischen bzw. elektronischen bauelementes bei hohen frequenzen
DE19723087A1 (de) * 1996-08-01 1998-02-05 Hewlett Packard Co Fehlerkorrekturverfahren für Transmissionsmessungen in Vektornetzwerkanalysatoren

Also Published As

Publication number Publication date
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DE19903573A1 (de) 1999-11-04

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