DE19903573C2 - Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmessungen eines zu testenden reziproken Elements bei einem Vektornetzwerkanalysator - Google Patents
Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmessungen eines zu testenden reziproken Elements bei einem VektornetzwerkanalysatorInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Vektornetzwerk
analysatoren und insbesondere auf ein Verfahren zum Korri
gieren von Fehlern in Reflexionsmessungen von reziproken
Elementen, die durch Impedanzfehlanpassungen in einem Test
set eines Vektornetzwerkanalysators bewirkt werden.
Vektornetzwerkanalysatoren (VNA; VNA = Vector Network
Analyzer), die Hochfrequenztransmission/reflexion-(T/R)-
Testsets umfassen, werden verwendet, um die Transmissions-
und Reflexionscharakteristika verschiedener zu testender
Elemente (DUT; DUT = Device Under Test) zu bestimmen. Die
Meßgenauigkeit eines VNA verbessert sich im allgemeinen,
wenn die Impedanzen eines Quellentors und eines Lasttors des
T/R-Testsets enger an eine vorbestimmte charakteristische
Impedanz angepaßt sind. Ungünstigerweise bewirken Begren
zungen der elektronischen Hardware, die in dem T/R-Testset
verwendet wird, Impedanzfehlanpassungen an dem Quellen- und
dem Lasttor, die die Meßgenauigkeit verringern und die Meß
unsicherheit erhöhen. Ein Meßfehler entsteht während Re
flexionsmessungen eines Mehrtor-DUT. Wenn beispielsweise das
Ausgangstor eines Zweitor-DUT mit dem Lasttor des T/R-Test
sets verbunden ist, ist der gemessene Reflexionskoeffizient
eine Funktion sowohl der Reflexionscharakteristika des DUT
als auch der Impedanz des Lasttors des T/R-Testsets. Wenn
die Fehlanpassung zwischen der Lasttorimpedanz und der vor
bestimmten charakteristischen Impedanz zunimmt, nimmt auch
der Fehler bei der Reflexionsmessung zu. Dieser Reflexions
meßfehler fällt am meisten für DUT, wie z. B. Kabel oder
Filter, auf, die einen geringen Einfügungsverlust aufweisen
und Reflexionen von dem Lasttor des VNA nicht absorbieren.
Ein erstes bekanntes Verfahren zum Reduzieren der Re
flexionsmeßfehler in einem VNA beruht auf einer vollständi
gen Zweitorcharakterisierung des DUT, die sowohl Vorwärts-
als auch Rückwärtstransmissions- und -Reflexionsmessungen
aufweist. Basierend auf dieser Zweitorcharakterisierung kann
eine Vielzahl bekannter Vektorfehlerkorrekturtechniken ver
wendet werden, um die Reflexionsmeßfehler mathematisch zu
korrigieren. Um die bekannten Vektorfehlerkorrekturtechniken
bei Verwenden eines T/R-Testsets anzuwenden, müssen die Ver
bindungstore des DUT jedoch relativ zu dem Quellen- und dem
Lasttor physisch umgekehrt werden, um die vollständige Zwei
torcharakterisierung des DUT zu erhalten. Das Umkehren der
Verbindungstore ist zeitaufwendig und stört den Betrieb des
DUT. Ein zweites bekanntes Verfahren zum Reduzieren der Re
flexionsmeßfehler weist das Verbinden einer angepaßten Last
an das Ausgangstor des DUT auf, bevor die Reflexionsmessung
durchgeführt wird. Die Verwendung der angepaßten Last ist
ebenfalls zeitaufwendig und stört den Betrieb des DUT. Falls
die Reflexionsmeßfehler aufgrund der Impedanzfehlanpassungen
nicht korrigiert werden, um die Meßzeit und die Störungen
auf das DUT zu reduzieren, wird die Reflexionsmeßgenauigkeit
geopfert.
Aus der DE 197 23 087 A1 ist ein Fehlerkorrekturverfahren für
Transmissionsmessungen in Vektornetzwerkanalysatoren be
kannt, bei dem eine Reflexionsmessung zur Erfassung der Im
pedanzanpassung eines Lasttores und einer Reflexionskali
brierung eines Quellentores durchgeführt wird. Eine Reflex
ionsmessung, die mit eingeschaltetem Meßobjekt zwischen
Quellentor und Lasttor durchgeführt wird, liefert den Ein
gangsreflexionskoeffizienten des Meßobjekts. Aufgrund dieser
Messung und der erfaßten Charakteristik des Quellentores
wird ein die Eingangsfehlanpassung des Meßobjektes beschrei
bender Fehler korrigiert.
Aus der DE 38 21 575 A1 ist eine Anordnung zur Bestimmung
des Ersatzschaltbildes von Bauelementen, die durch ein Zwei
torelement oder ein Eintorelement dargestellt werden, bekannt.
Es werden die Parameter der Streumatrix des Zweitor
elementes bzw. der Reflexionsfaktor eines Eintorelementes
gemessen, wobei das Meßergebnis durch Einbeziehung von Zwei
torparametern der Verbindungsglieder korrigiert wird und ein
Ersatzschaltbild aus dem korrigierten Meßergebnis berechnet
wird.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein
verbessertes Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmes
sungen eines zu testenden reziproken Elements zu schaffen,
um die Meßgeschwindigkeit eines Vektoranalysators zu erhö
hen.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 ge
löst.
Eine breite Klasse von Elementen, wie z. B. Filter, Schal
ter, Kabel, Koppler, Dämpfungsglieder und andere passive
Elemente, die von Vektornetzwerkanalysatoren (VNA) getestet
werden, sind reziprok, d. h. sie weisen einen Vorwärtstrans
missionskoeffizient S21 und einen Rückwärtstransmissions
koeffizient S12 auf, die gleich sind. Gemäß dem bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verbessert
ein Fehlerkorrekturverfahren die Meßgenauigkeit eines Vek
tornetzwerkanalysators durch Reduzieren der Reflexionsmeß
fehler für reziproke Elemente. Die Fehler aufgrund von Im
pedanzfehlanpassungen an dem Lasttor eines Transmission/Re
flexion-(T/R)-Testsets werden korrigiert, ohne die Meßge
schwindigkeit des VNA zu beeinflussen. Sobald das Quellentor
des T/R-Testsets kalibriert ist, wird eine Reflexionsmessung
durchgeführt, während ein Impedanz-angepaßtes Durchgangs
normal einer bekannten elektrischen Länge zwischen das Quel
lentor und das Lasttor des T/R-Testsets geschaltet ist. Die
Reflexionsmessung wird bezüglich der elektrischen Länge des
Durchgangsnormals korrigiert, um eine Reflexionsmessung des
Lasttors des T/R-Testsets zu erhalten. Daraufhin werden die
Transmissions- und Reflexionscharakteristika des DUT gemes
sen. Die Reziprozität des DUT und die Reflexionsmessung des
Lasttors werden verwendet, um den tatsächlichen Eingangsre
flexionskoeffizienten des DUT zu extrahieren.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich
nungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets der zum Kali
brieren des Quellentors des T/R-Testsets gemäß dem
Fehlerkorrekturverfahren, das gemäß dem bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ge
staltet ist, verwendet wird;
Fig. 2 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets, der ein
Durchgangsnormal aufweist, das mit dem Fehlerkor
rekturverfahren, das gemäß dem bevorzugten Aus
führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung auf
gestaltet ist, verwendet wird;
Fig. 3 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets der ein zu
testendes Element aufweist, das mit dem Fehler
korrekturverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung gestal
tet ist, verwendet wird;
Fig. 4 ein Flußdiagramm des Fehlerkorrekturverfahrens, das
gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor
liegenden Erfindung gestaltet ist; und
Fig. 5 eine Reflexionsmessung, die das Fehlerkorrekturver
fahren verwendet, das gemäß dem bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gestaltet
ist.
Fig. 1-3 zeigen Flußgraphen eines Transmission/Reflexion-
Testsets (T/R-Testsets) zur Verwendung mit dem Fehlerkorrek
turverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung gestaltet ist. Das T/R-Testset
wird mit einem Vektornetzwerkanalysator (VNA) verwendet, um
ein zu testendes Element (DUT) zu charakterisieren. Impe
danzfehlanpassungen an dem Quellentor 1 und dem Lasttor 2
des T/R-Testsets führen eine Meßunsicherheit bei den Mes
sungen des DUT ein. Diese Meßunsicherheit vermindert, falls
dieselbe nicht korrigiert oder kompensiert wird, die Ge
nauigkeit der Messungen, die von dem VNA durchgeführt wer
den. Fig. 1 zeigt einen Flußgraphen eines Transmission/Re
flexion-Testsets (T/R-Testset), der zum Kalibrieren des
Quellentors 1 des T/R-Testsets gemäß dem bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird. Das
T/R-Testset versetzt den VNA in die Lage, Vektormessungen
durchzuführen, die eine Betrag- und Phasenmessung eines Vor
wärtstransmissionskoeffizienten S21 und eines Reflexions
koeffizienten S11 eines DUT umfassen. Bei dem T/R-Testset
des VNA überträgt ein Quellentor 1 Signale a1 und empfängt
Signale b1, und ein Lasttor 2 empfängt Signale b2. Die
Kalibrierung des Quellentors 1 des VNA wird durch Durch
führen einer Reflexionsmessung mit jedem von drei Kalibrie
rungsnormalen, z. B. einem Leerlauf-, einem Kurzschluß- und
einem Angepaßte-Last-Kalibrierungsnormal, die mit dem Quellentor
1 verbunden sind, durchgeführt. Die tatsächliche
Quellenanpassung Γs wird aus den Reflexionsmessungen der
Kalibrierungsnormale gemäß der Beziehung, die von dem Fluß
graphen von Fig. 1 bestimmt wird, extrahiert, wobei gilt:
Hierbei sind D die Richtwirkung (oder "Directivity") des
Quellentors 1, TR der Reflexionsnachlauf (oder "Reflection
Tracking") des Quellentors 1, ΓA der tatsächliche Re
flexionskoeffizient des speziellen verwendeten Kalibrie
rungsnormals und ΓM der gemessene Reflexionskoeffizient des
Quellentors 1, der die Auswirkungen von D, TR und der Quel
lenanpassung ΓS aufweist. Die drei Beiträge zu dem Fehler in
dem gemessenen Reflexionskoeffizienten ΓM sind die Richtwir
kung D, der Reflexionsnachlauf TR und die Quellenanpassung
ΓS. Diese Fehlerbeiträge sind als ein Ergebnis von Re
flexionsmessungen der drei Kalibrierungsnormale charakte
risiert. Die drei Kalibrierungsnormale, wie z. B. das Leer
laufnormal, das Kurzschlußnormal und das Angepaßte-Last-Nor
mal, weisen jeweils einen bekannten Reflexionskoeffizienten
ΓA auf, der eindeutig für das spezielle Kalibrierungsnormal
ist. Unter Verwendung des Ausdrucks für ΓM wird eine Re
flexionsmessung für jedes der Kalibrierungsnormale durchge
führt. Basierend auf diesen Messungen werden drei Gleichun
gen erhalten und verwendet, um die Fehlerbeiträge zu be
rechnen. Die Auswirkungen der drei Fehlerbeiträge werden
kompensiert, wenn nachfolgende Reflexionsmessungen unter
Verwendung des T/R-Testsets durchgeführt werden.
Fig. 2 zeigt einen Flußgraphen eines T/R-Testsets, der ein
Durchgangsnormal aufweist, das mit dem Fehlerkorrektur
verfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung gestaltet ist, verwendet wird. Die
Impedanzanpassung des Lasttors 2 oder die Lastanpassung ΓL
wird durch Schalten eines Durchgangsnormals zwischen das
Quellentor 1 und das Lasttor 2 des T/R-Testsets kalibriert.
Die elektrische Länge des Durchgangsnormals ist bekannt. Ei
ne Reflexionsmessung wird durchgeführt, und die Reflexions
messung ΓLM wird für die elektrische Länge Bl des Durch
gangsnormals korrigiert, um die Lastanpassung ΓL gemäß der
Beziehung, die von dem Flußgraphen von Fig. 2 bestimmt ist,
zu erhalten:
ΓL = ΓLM/e-j2Bl
Wenn das Quellentor 1 und das Lasttor 2 direkt aneinander
"anstoßen", ist die elektrische Länge Bl Null, und die Last
anpassung ΓL wird direkt gemessen. Wenn das Quellentor 1 und
das Lasttor 2 nicht direkt aneinander "anstoßen", wird ein
Durchgangsnormal der endlichen elektrischen Länge Bl verwen
det. Das Durchgangsnormal wird ausgewählt, um eine Anpassung
aufzuweisen, die zumindest 10 dB besser ist als die Anpas
sung des DUT, um die Genauigkeit der Reflexionsmessung des
DUT nicht negativ zu beeinflussen. Die Genauigkeit der Re
flexionsmessungen wird ferner durch Durchführen einer zu
sätzlichen Eintorkalibrierung verbessert, während das Durch
gangsnormal mit dem Quellentor 1 verbunden ist. Dies ermög
licht eine direkte Messung der Lastanpassung, während eine
Kompensierung sowohl der Fehlanpassung als auch der Verzöge
rung des Durchgangsnormals vorgesehen ist.
Fig. 3 zeigt einen Flußgraphen des T/R-Testsets der ein DUT
aufweist, der gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung verwendet wird, um einen gemessenen
Reflexionskoeffizienten S11M des DUT zu beurteilen. Der ge
messene Transmissionskoeffizient S11M ist eine Funktion der
S-Parameter S11, S22, S21 und S12 des DUT sowie der Last
anpassung ΓL. Der gemessene Reflexionskoeffizient S11M wird
von dem Flußgraphen von Fig. 3 abgeleitet und ergibt sich
zu:
Da das DUT ein reziprokes Element ist, sind der Vorwärts
transmissionskoeffizient S21 und der Rückwärtstransmissions
koeffizient S12 gleich. Unter der Annahme, daß das Produkt
S22ΓL klein ist, wird der Reflexionskoeffizient S11 aus dem
gemessenen Reflexionskoeffizienten S11M extrahiert und es
ergibt sich:
S11 = S11M - S21 2ΓL
Der Vorwärtstransmissionskoeffizient S21 kann unter Verwen
dung einer Vielzahl bekannter Messungstechniken oder alter
nativ unter Verwendung des "Error Correction Method For
Transmission Measurements In Vector Network Analyzers" be
stimmt werden, das in dem am 1. Juli 1996 eingereichten
U.S.-Patent Nr. 5,748,000 offenbart ist. Da das T/R-Testset
nicht auf einer vollständigen Zweitorkalibrierung des DUT
beruht, verbleibt der Term S22ΓL als ein Restfehlerterm,
wohingegen der Term S21 2ΓL korrigiert ist.
Fig. 4 ist ein Flußdiagramm 100 des Fehlerkorrekturverfah
rens für Reflexionsmessungen von reziproken Elementen, das
gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung gestaltet ist. Bei einem Schritt 101 wird eine
Reflexionskalibrierung unter Verwendung der Kalibrierungs
normale, die mit dem Quellentor 1 verbunden sind, durchge
führt. Bei einem Schritt 103 wird eine Reflexionsmessung
durchgeführt, während ein Durchgangsnormal zwischen das
Quellentor 1 und das Lasttor 2 des T/R-Testsets geschaltet
ist. Bei einem Schritt 105 wird die Reflexionsmessung bezüg
lich der elektrischen Länge des Durchgangsnormals korri
giert, um den Lastreflexionskoeffizienten ΓL zu erhalten.
Bei einem Schritt 107 werden die Vorwärtsreflexionscharak
teristika und Vorwärtstransmissionscharakteristika gemessen,
wobei das DUT zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2
geschaltet ist. Der Reflexionskoeffzient S11 wird daraufhin
aus den Messungen der Schritte 103 und 107 extrahiert.
Fig. 5 zeigt eine Reflexionsmessung, die das Fehlerkorrek
turverfahren, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung gestaltet ist, verwendet. Der
Betrag des Reflexionskoeffizienten S11, der unter Verwendung
des Fehlerkorrekturverfahrens extrahiert ist, ist im Ver
gleich zu einer Reflexionsmessung, bei der das DUT unter
Verwendung einer angepaßten Last anstatt des Lasttors 2
abgeschlossen ist, gezeigt. Ferner ist eine Reflexionsmes
sung gezeigt, bei der das DUT durch das Lasttor 2 abge
schlossen ist, wobei die Messung jedoch bezüglich der Last
anpassung ΓL des Lasttors 2 des T/R-Testsets nicht korri
giert ist.
Das Fehlerkorrekturverfahren reduziert die Auswirkungen der
Impedanzfehlanpassungen bei einem T/R-Testset und verbessert
die Genauigkeit der Transmissionsmessungen, die von Vektor
netzwerkanalysatoren durchgeführt werden, ohne die Meßge
schwindigkeit zu verringern. Das Fehlerkorrekturverfahren
kann softwaremäßig intern oder extern bezüglich des VNA und
des T/R-Testsets oder in der VNA-internen Firmware implemen
tiert sein.
Claims (3)
1. Verfahren (100) zum Korrigieren von Reflexionsmessun
gen eines zu testenden reziproken Elements bei einem
Vektornetzwerkanalysator, der ein Quellentor und ein
Lasttor (2) aufweist, wobei das Verfahren folgende
Schritte aufweist:
Durchführen einer Reflexionskalibrierung des Quellen tors (101);
Durchführen einer Reflexionsmessung mit einem ange paßten Durchgangsnormal, das eine vorbestimmte elek trische Länge aufweist und zwischen das Quellentor und das Lasttor (103) geschaltet ist;
Korrigieren der Reflexionsmessung gemäß der elek trischen Länge des Durchgangsnormals, um einen ersten Reflexionskoeffizienten des Lasttors (105) zu extra hieren;
Messen eines Transmissionskoeffizienten und eines zweiten Reflexionskoeffizienten, wenn das zu testende reziproke Element zwischen das Quellentor und das Lasttor (107) geschaltet ist; und
Korrigieren des zweiten Reflexionskoeffizienten gemäß der Reflexionskalibrierung des Quellentors und des Reflexionskoeffizienten des Lasttors (109).
Durchführen einer Reflexionskalibrierung des Quellen tors (101);
Durchführen einer Reflexionsmessung mit einem ange paßten Durchgangsnormal, das eine vorbestimmte elek trische Länge aufweist und zwischen das Quellentor und das Lasttor (103) geschaltet ist;
Korrigieren der Reflexionsmessung gemäß der elek trischen Länge des Durchgangsnormals, um einen ersten Reflexionskoeffizienten des Lasttors (105) zu extra hieren;
Messen eines Transmissionskoeffizienten und eines zweiten Reflexionskoeffizienten, wenn das zu testende reziproke Element zwischen das Quellentor und das Lasttor (107) geschaltet ist; und
Korrigieren des zweiten Reflexionskoeffizienten gemäß der Reflexionskalibrierung des Quellentors und des Reflexionskoeffizienten des Lasttors (109).
2. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1, bei dem der Schritt
des Korrigierens des zweiten Reflexionskoeffizienten
(109) das Subtrahieren des Produkts aus dem Quadrat
des gemessenen Transmissionskoeffizienten und dem
Lastreflexionskoeffizienten aufweist.
3. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem der
Schritt des Durchführens einer Reflexionskalibrierung
des Quellentors (101) das Durchführen einer Re
flexionsmessung mit einem Leerlaufkalibrierungsnormal,
das Durchführen einer Reflexionsmessung mit einem
Kurzschlußkalibrierungsnormal und das Durchführen
einer Reflexionsmessung mit einem Angepaßte-Last-Kali
brierungsnormal aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/066,801 US6060888A (en) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Error correction method for reflection measurements of reciprocal devices in vector network analyzers |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE19903573C2 true DE19903573C2 (de) | 2002-11-07 |
Family
ID=22071804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19903573A Expired - Fee Related DE19903573C2 (de) | 1998-04-24 | 1999-01-29 | Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmessungen eines zu testenden reziproken Elements bei einem Vektornetzwerkanalysator |
Country Status (4)
Country | Link |
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US (1) | US6060888A (de) |
JP (1) | JPH11326413A (de) |
DE (1) | DE19903573C2 (de) |
GB (1) | GB2336686B (de) |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
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|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
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