DE19723087C2

DE19723087C2 - Fehlerkorrekturverfahren für Transmissionsmessungen in Vektornetzwerkanalysatoren

Info

Publication number: DE19723087C2
Application number: DE19723087A
Authority: DE
Inventors: David Vernon Blackham
Original assignee: Hewlett Packard Co
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 1996-08-01
Filing date: 1997-06-02
Publication date: 1999-07-01
Anticipated expiration: 2017-06-03
Also published as: GB2315873A; JP3980710B2; US5748000A; GB9715889D0; GB2315873B; DE19723087A1; JPH1082808A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Vektornetzwerk analysatoren und insbesondere auf ein Verfahren zum Korri gieren von Fehlern bei Transmissionsmessungen, die durch Im pedanzfehlanpassungen in einem Testset eines Vektornetzwerk analysators bewirkt werden.

Vektornetzwerkanalysatoren (VNAs), die Hochfrequenz-Trans missions/Reflexions- (T/R-) Testsets enthalten, werden ver wendet, um die Transmissions- und die Reflexions-Charakteri stika verschiedener Meßobjekte (DUTs; DUT = Device Under Test) zu bestimmen. Die Meßgenauigkeit eines VNA verbessert sich im allgemeinen, wenn die Impedanzen eines Quellentors und eines Lasttors des T/R-Testsets enger an eine vorbe stimmte charakteristische Impedanz angepaßt sind. Ungünsti gerweise bewirken Begrenzungen der elektronischen Hardware, die in dem T/R-Testset verwendet wird, Impedanzfehlanpassun gen an dem Quellen- und dem Lasttor, die die Meßunsicherheit erhöhen und die Meßgenauigkeit verschlechtern. Ein Transmis sionsmeßfehler entsteht während der Transmissionsmessung, wenn ein Durchgangsleitungsstandard zwischen das Quellentor und das Lasttor geschaltet ist. Impedanzfehlanpassungen zwi schen dem Quellen- und dem Lasttor erzeugen einen Transmis sionserfassungsfehler, der folgende Transmissionsmessungen, die von dem VNA durchgeführt werden, beeinflußt. Ein weite rer Transmissionsmeßfehler entsteht, wenn das DUT zwischen das Quellen- und das Lasttor des T/R-Testsets geschaltet ist. Impedanzfehlanpassungen zwischen dem Quellentor und dem DUT erzeugen einen DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler.

Das aus der US 5537046 bekannte Verfahren zum Reduzieren der Transmissionsmeß fehler in einem VNA baut auf einer vollständigen Zweitorcha rakterisierung des DUT, einschließlich einer Vorwärtstrans missions-, einer Rückwärtstransmissions- und von Reflexions messungen. Basierend auf dieser Zweitorcharakterisierung kann eine Vielzahl von bekannten Vektorfehlerkorrekturtech niken verwendet werden, um die Transmissionsmeßfehler mathe matisch zu korrigieren. Um jedoch die bekannten Vektorfeh lerkorrekturtechniken anzuwenden, wenn ein T/R-Testset ver wendet wird, müssen die Verbindungstore des DUT bezüglich des Quellen- und des Lasttors physisch umgekehrt werden, um eine vollständige Zweitorcharakterisierung des DUTs zu er fassen. Das Umkehren der Verbindungstore ist zeitaufwendig und stört den Betrieb des DUTs, besonders bei DUTs, die eine empfindliche Schaltungsanordnung umfassen, wie z. B. inte grierte Schaltungen oder Wafersondensysteme. In einer An strengung, um die Meßzeit zu reduzieren, und die Störungen an dem DUT zu reduzieren, werden Transmissionsmeßfehler auf grund von Impedanzfehlanpassungen nicht korrigiert, und die Meßgenauigkeit des VNA wird geopfert.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Korrigieren von Transmissionsmessungen zu schaffen, das Transmissionsmeßfehler reduziert und die Meß genauigkeit von Vektornetzwerkanalysatoren erhöht.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1, 3 oder 6 gelöst.

Gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung reduziert ein Fehlerkorrekturverfahren Transmissi onsmeßfehler und verbessert die Meßgenauigkeit von Vektor netzwerkanalysatoren. Transmissionserfassungsfehler oder "Transmissions-Tracking"-Fehler und Meßobjekts- (DUT-) Eingangsfehlanpassungsfehler, die durch Impedanzfehlanpas sungen bewirkt werden, werden reduziert. Eine Reflexions messung, die unter Verwendung eines Durchgangsleitungs standards, der zwischen ein Quellentor und ein Lasttor eines T/R-Testsets geschaltet ist, durchgeführt wird, charakteri siert die Impedanzanpassung des Lasttors, während eine Re flexionskalibration unter Verwendung von Reflexionsstandards und bekannten Kalibrationstechniken das Quellentor cha rakterisiert. Die Quellentorcharakterisierung und die Last torcharakterisierung werden dann verarbeitet, um den Trans missionserfassungsfehler zu korrigieren. Diese Korrektur wird auf folgende Transmissionsmessungen eines DUT ohne Beeinträchtigen der Meßgeschwindigkeit des VNA angelegt. Dann liefert eine Reflexionsmessung, die mit dem zwischen das Quellen- und das Lasttor geschalteten DUT durchgeführt wird, eine Messung des Eingangsreflexionskoeffizienten des DUTs, einschließlich der Auswirkung der Impedanzfehlanpas sung des Lasttors. Diese Reflexionsmessung und die Quellen torcharakterisierung werden dann verarbeitet, um den DUT- Eingangsfehlanpassungsfehler zu korrigieren. Eine Korrektur des Transmissionserfassungsfehlers oder des DUT-Eingangs fehlanpassungsfehlers verbessert die Genauigkeit von Trans missionsmessungen, die durch den VNA durchgeführt werden.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen detaillierter erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Flußgraphen eines T/R-Testsets, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird;

Fig. 2 einen Flußgraphen des T/R-Testsets, das ein Meßob jekt umfaßt, das gemäß dem bevorzugten Ausführungs beispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird; und

Fig. 3 ein Flußdiagramm des Verfahrens zum Korrigieren von Transmissionsmeßfehlern gemäß dem bevorzugten Aus führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 1 zeigt einen Flußgraphen eines Transmissions/Reflexi ons- (T/R-) Testsets, das gemäß dem bevorzugten Ausführungs beispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird, um einen Transmissionserfassungsfehler während einer Transmissionska libration des T/R-Testsets zu beurteilen. Wenn das T/R-Test set in Verbindung mit einem Vektornetzwerkanalysator (VNA) verwendet wird, versetzt dasselbe den VNA in die Lage, Vek tormessungen durchzuführen, einschließlich Betrags- und Pha senmessungen des Vorwärtstransmissionskoeffizienten S₂₁ und des Reflexionskoeffizienten S₁₁ eines Meßobjekts. Ein Quel lentor 1 sendet Signale a₁ und empfängt Signale b1, während ein Lasttor 2 Signale b₂ in dem T/R-Testset des VNA emp fängt. Während der Transmissionskalibration des VNA wird ein Durchgangsleitungsstandard zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 des T/R-Testsets geschaltet. Impedanzfehlanpassun gen an dem Quellentor 1 und an dem Lasttor 2 bilden einen Quellenreflexionskoeffizienten Γ_S und einen Lastreflexions koeffizienten Γ_L, welche eine Meßunsicherheit bei der Trans missionskalibration einführen. Diese Meßunsicherheit ver schlechtert, wenn sie nicht reduziert wird, die Genauigkeit folgender Transmissionsmessungen, die von dem VNA durchge führt werden. Eine gemessene Transmissionserfassung unter scheidet sich von einer tatsächlichen Transmissionserfassung T des Durchgangsleistungsstandards durch einen Transmis sionserfassungsfehler E_T. Diese Beziehung wird aus dem Flußgraphen von Fig. 1 wie folgt bestimmt ("thruline" = Durchgangsleitung):

Der Transmissionserfassungsfehler E_T lautet folgendermaßen:

Die Verwendung von Signalflußdiagrammen ist in Veröffentli chungen beschrieben, wie z. B. der Hewlett-Packard Company Application Note AN-154, S-Parameter Design, die im April 1972 veröffentlicht wurde.

Fig. 2 zeigt einen Flußgraphen des T/R-Testsets, das ein Meßobjekt umfaßt, das gemäß dem bevorzugten Ausführungsbei spiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird, um einen gemessenen Transmissionskoeffizienten ₂₁ des DUT zu beur teilen. Der gemessene Transmissionskoeffizient ₂₁ ist eine Funktion der S-Parameter S₁₁, S₂₂, S₂₁ und S₁₂ des DUT sowie des Quellenreflexionskoeffizienten Γ_S, des Lastreflexionsko effizienten Γ_L und der tatsächlichen Transmissionserfassung T. Der gemessene Transmissionskoeffizient ₂₁ wird aus dem Flußgraphen von Fig. 2 folgendermaßen abgeleitet:

Ein gemessener DUT-Eingangsreflexionskoeffizient Γ_∈ umfaßt die Auswirkung der Impedanzfehlanpassung des Lasttors 2 des T/R-Testsets und ist folgendermaßen ausgedrückt:

Das Einsetzen von Γ_∈ in Gleichung (2) ergibt den Ausdruck für den gemessenen Transmissionskoeffizienten ₂₁ wie folgt:

Ein korrigierter Transmissionskoeffizient ₂₁ wird erhalten, indem der gemessene Transmissionskoeffizient ₂₁ durch die gemessene Transmissionserfassung geteilt wird. Es ergibt sich:

Dabei lautet der DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler E_DI = 1 - Γ_S × Γ_∈, während der DUT-Ausgangsfehlanpassungsfehler E_DO = 1 - Γ_L × S₂₂ lautet, wobei E_T der vorher definierte Trans missionserfassungsfehler ist. Somit wird die Meßgenauigkeit des DUT-Vorwärtstransmissionskoeffizienten S₂₁ durch den DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler E_DI, den DUT-Ausgangsfehl anpassungsfehler E_DO und den Transmissionserfassungsfehler E_T verschlechtert. Da der DUT-Ausgangsreflexionskoeffizient S₂₂ nicht unter Verwendung des T/R-Testsets gemessen wurde, um eine Umkehrung der Verbindungen des DUTs bezüglich des Quellentors 1 und des Lasttors 2 zu vermeiden, wird der DUT-Ausgangsfehlanpassungsfehler E_DO nicht angegangen.

Reduktionen sowohl des DUT-Eingangsfehlanpassungsfehlers E_DI und des Transmissionserfassungsfehlers E_T werden erreicht, indem ein Fehlerkorrekturfaktor an den korrigierten Trans missionskoeffizienten ₂₁ gemäß dem bevorzugten Ausführungs beispiel der vorliegenden Erfindung angelegt wird. Die Impe danzfehlanpassungen des Quellentors 1 und des Lasttors 2 werden während einer Kalibration unter Verwendung des Durch gangsleitungsstandards und einer oder mehrerer Reflexions standards, wie z. B. einem Leerlauf-, einem Kurzschluß oder einem Last-Standard, charakterisiert. Die Auswirkungen des Quellenreflexionskoeffizienten Γ_S und des Lastreflexionsko effizienten Γ_L auf den DUT-Vorwärtstransmissionskoeffizien ten S₂₁ sind dann reduziert. Obwohl der DUT-Eingangsfehlan passungsfehler E_DI DUT-abhängig ist und gemäß der Impedanz anpassung des DUT variiert, resultiert der Transmissionser fassungsfehler E_T aus der Transmissionskalibration und ist von dem DUT unabhängig. Somit werden Korrekturen, die durch geführt werden, um den Transmissionserfassungsfehler E_T zu reduzieren, an Transmissionsmessungen nach der Transmissi onskalibration angelegt, ohne die Geschwindigkeit des VNA zu verringern.

Ein gemessener Quellenreflexionskoeffizient _S wird an dem Quellentor 1 des T/R-Testsets während der Ein-Tor-Reflexi onskalibration erhalten, wenn einer oder mehrere Reflexions standards, wie z. B. ein Leerlauf, ein Kurzschluß und eine Last, mit dem Quellentor 1 verbunden werden. Ein gemessener Lastreflexionskoeffizient _L wird aus einer Reflexionsmes sung erhalten, die durchgeführt wird, wenn ein Durchgangs leitungsstandard zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 geschaltet ist. Der gemessene Last- und der gemessene Quel lenreflexionskoeffizient _L, _S werden in Gleichung 3 ver wendet, um den Transmissionserfassungsfehler E_T zu reduzie ren, derart, daß die Auswirkungen des Restquellenreflexions koeffizienten ΔΓ_S und des Restlastreflexionskoeffizienten ΔΓ_L den Transmissionserfassungsfehler E_T dominieren. Rest fehler sind der begrenzten Genauigkeit zuschreibbar, mit der der Durchgangsleitungsstandard und die Reflexionsstandards bekannt sind. Der gemessene Quellenreflexionskoeffizient _S und der gemessene Lastreflexionskoeffizient _L sind auf den tatsächlichen Quellen- und Last-Reflexionskoeffizient _S, _L wie folgt bezogen:

_S = Γ_S + ΔΓ_S

_L = Γ_L + ΔΓ_L

Der Transmissionserfassungsfehler E_T wird dann aus dem ge messenen Quellen- und Last-Reflexionskoeffizienten _S und _L wie folgt abgeschätzt:

Unter Verwendung der Approximation, daß das Produkt ΔΓ_SΔΓ_L vernachlässigbar ist, ergibt sich folgende Gleichung:

Somit hat der abgeschätzte Erfassungsfehler 1/(1 - _S _L) einen Resterfassungsfehler 1/(1 - ΔΓ_SΓ_L - Γ_LΔΓ_S).

Ein gemessener Eingangsreflexionskoeffizient _∈, der die Auswirkung der Impedanz des Lasttors 2 umfaßt, wird erhal ten, indem der Eingangsreflexionskoeffizient gemessen wird, wobei das DUT mit dem Quellentor 1 und dem Lasttor 2 verbun den ist. Eine Restmeßunsicherheit ΔΓ_∈ in dem Eingangsrefle xionskoeffizienten hängt von Restfehlern ab, die mit der Re flexionsmessung verknüpft sind, und ist auf den tatsächli chen Eingangskoeffizienten Γ_∈ wie folgt bezogen:

_∈ = Γ_∈ + ΔΓ_∈

Somit wird der DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler E_DI aus dem gemessenen Quellenreflexionskoeffizienten _S und dem gemes senen Eingangsreflexionskoeffizienten _∈ wie folgt bestimmt:

E_DI ≅ 1 - _S _∈ = (1 - (Γ_S + ΔΓ_S)(Γ_∈ ΔΓ_∈))

Unter Verwendung der Approximation, daß das Produkt ΔΓ_SΔΓ_∈ vernachlässigbar ist, ergibt sich folgendes:

1 - _S _∈ ≅ (1 - Γ_SΓ_∈)(1 - ΔΓ_SΓ_∈ - ΔΓ_∈Γ_S))

Dabei ist der Ausdruck (1 - ΔΓ_SΓ_∈ - ΔΓ_∈Γ_S)) der DUT-Resteingangs fehlanpassungsfehler.

Die Fehlerterme E_DI und E_T in Gleichung 3 werden durch einen Fehlerkorrekturfaktor E_C, der auf dem gemessenen Quel lenreflexionskoeffizienten _S, dem gemessenen Lastreflexi onskoeffizienten _L und dem gemessenen DUT-Eingangsreflexi onskoeffizienten Γ_∈ basiert, reduziert. Dieser Fehlerkorrek turfaktor E_C = (1 - _S _∈)/(1 - _S _L) wird an den korrigierten Transmissionskoeffizienten in Gleichung 3 angelegt, um die Meßgenauigkeit zu verbessern, wie es nachfolgend dargelegt ist:

Der DUT-Resteingangsfehlanpassungsfehler und der Resterfas sungsfehler sind wesentlich kleiner als der Transmissionser fassungsfehler E_T und der DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler E_DI, wodurch bewirkt wird, daß der korrigierte Transmissi onskoeffizient ₂₁ in Gleichung 4 auf genaue Art und Weise den tatsächlichen DUT-Vorwärtstransmissionskoeffizienten S₂₁ darstellt. Eine Multiplikation von Gleichung 3 mit dem Feh lerkorrekturfaktor E_C reduziert den Transmissionserfassungs fehler E_T und den DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler E_DI auf den Pegel von Restfehlerbereichen, welche durch die Genauig keit begrenzt sind, mit der der Durchgangsleitungsstandard und die Reflexionsstandards bekannt sind.

Obwohl der Fehlerkorrekturfaktor E_C eine Korrektur sowohl bezüglich des Transmissionserfassungsfehlers E_T als auch be züglich des DUT-Eingangsfehlanpassungsfehlers E_DI umfaßt, kann entweder ein Korrekturfaktor

oder eine DUT-Fehlanpassungskorrektur

E_DIC = 1 - _S _∈ (6)

separat verwendet werden, um den gemessenen Transmissionsko effizienten ₂₁ des DUT zu korrigieren, wie es in Gleichung 3 ausgedrückt wurde. Wenn eine Korrektur gemäß dem Transmis sionserfassungskorrekturfaktor E_TC oder gemäß der DUT-Ein gangsfehlanpassungskorrektur E_DIC unabhängig voneinander verwendet werden, ist die Meßgenauigkeit des DUT-Vorwärts transmissionskoeffizienten S₂₁ durch den VNA verbessert. Wenn der Transmissionserfassungskorrekturfaktor E_TC auf Gleichung 3 angewendet wird, wird der Transmissionserfas sungsfehler E_T reduziert. Wenn die DUT-Eingangsfehlanpas sungskorrektur E_DIC auf Gleichung 3 verwendet wird, ist der DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler reduziert. Die Meßgenauig keit des VNA wird jedoch am meisten verbessert, wenn der Fehlerkorrekturfaktor E_C, welcher sowohl den Transmissions erfassungskorrekturfaktor E_TC als auch die DUT-Eingangsfehl anpassungskorrektur E_DIC umfaßt, verwendet wird, um den DUT-Vorwärtstransmissionskoeffienten S₂₁ zu korrigieren.

Fig. 3 zeigt ein Flußdiagramm 100 des Fehlerkorrekturverfah rens gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorlie genden Erfindung. In einem Schritt 101 wird eine Reflexions kalibration unter Verwendung eines oder mehrerer Reflexions standards durchgeführt, die mit dem Quellentor 1 verbunden sind, um den Quellenreflexionskoeffizienten _S zu charakte risieren, und um für genaue Reflexionsmessungen, die an schließend unter Verwendung des T/R-Testsets durchgeführt werden, zu sorgen. In einem Schritt 103 werden die Transmis sionserfassungsmessung und die Reflexionsmessung mit einem Durchgangsleitungsstandard durchgeführt, der zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 des T/R-Testsets geschaltet ist, um eine gemessene Transmissionserfassung bzw. um den Lastreflexionskoeffizienten _L zu erhalten. In einem Schritt 105 werden die Reflexionsmessung und die Transmissionsmes sung durchgeführt, wobei das DUT zwischen das Quellentor 1 und das Lasttor 2 geschaltet ist, um einen Eingangsreflexi onskoeffizienten _∈ bzw. einen gemessenen Vorwärtstransmis sionskoeffizienten ₂₁ zu erhalten. In einem Schritt 107 wird der Transmissionserfassungskorrekturfaktor E_TC berech net und entsprechend verwendet, um den Transmissionserfas sungsfehler E_T in der Messung des DUT-Vorwärtstransmissions koeffizienten S₂₁ zu reduzieren. Dies erhöht die Genauigkeit von Transmissionsmessungen, ohne daß die Meßgeschwindigkeit des VNA verringert wird. In einem Schritt 109 wird die DUT-Eingangsfehlanpassungskorrektur E_DIC gemäß dem Quellen reflexionskoeffizienten _S und dem Eingangsreflexionskoeffi zienten Γ_∈ berechnet und verwendet, um den DUT-Eingangsfehl anpassungsfehler E_DI in dem gemessenen Transmissionskoeffi zienten ₂₁ zu reduzieren. Die Korrektur der Schritte 107 und 109 umfaßt eine Teilung des gemessenen Transmissions koeffizienten ₂₁ durch die gemessene Transmissionserfassung , und ein Anlegen des Transmissionserfassungskorrekturfak tors E_TC und der DUT-Eingangsfehlanpassungskorrektur E_DIC an den gemessenen Transmissionskoeffizienten ₂₁, um den kor rigierten Transmissionskoeffizienten ₂₁ gemäß Gleichung 4 zu ergeben. In einer Anstrengung, um die Meßgeschwindigkeit eines VNA zu verbessern, können die Reflexionsmessung, die in dem Schritt 105 durchgeführt wird, und die Korrektur des DUT-Eingangsfehlanpassungsfehlers E_DI, die in dem Schritt 109 durchgeführt wird, beseitigt werden. Es werden jedoch sowohl der Transmissionserfassungsfehler E_T als auch der DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler E_DI auf den Pegel von Rest fehlern reduziert, wenn die Schritte 101 bis 109 des Fluß diagramms 100 implementiert sind.

Ein Fehlerkorrekturverfahren reduziert die Auswirkungen von Impedanzfehlanpassungen in einem T/R-Testset und verbessert die Genauigkeit von Transmissionsmessungen, die von Vektor netzwerkanalysatoren durchgeführt werden. Der Transmissions erfassungsfehler und der DUT-Eingangsfehlanpassungsfehler in DUT-Transmissionsmessungen werden auf einen Pegel reduziert, bei dem Restfehler dominant werden. Das Fehlerkorrekturver fahren kann softwaremäßig innerhalb oder außerhalb des VNA und des T/R-Testsets implementiert werden, oder das Fehler korrekturverfahren kann in der inneren Firmware des VNA im plementiert sein. Obwohl das Fehlerkorrekturverfahren, wie es gezeigt ist, auf ein T/R-Testset angewendet werden, kann das Fehlerkorrekturverfahren auf andere Typen von Testsets, wie z. B. auf Zweitor-Testsets angewendet werden, wenn eine Korrektur von Transmissionsmessungen erwünscht ist, ohne daß zusätzliche Meßzeit nötigt wird, die von einer vollen Zwei torcharakterisierung des DUT gebraucht wird.

Claims

1. Verfahren (100) zum Korrigieren von Transmissionsmes sungen eines Meßobjekts in einem Vektornetzwerkanalysa tor mit einem Quellentor (1) und einem Lasttor (2), wo bei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
Messen eines Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) basie rend auf zumindest einem Reflexionsstandard, der mit dem Quellentor (1) verbunden ist;
Messen einer Transmissionserfassung (T), wenn ein Durchgangsleitungsstandard zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist;
Messen eines Lastreflexionskoeffizienten (Γ_L), wenn der Durchgangsleitungsstandard zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist;
Messen eines Transmissionskoeffizienten (S₂₁), wenn das Meßobjekt zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist; und
Korrigieren des gemessenen Transmissionskoeffizienten (S₂₁) gemäß der gemessenen Transmissionserfassung (T), dem gemessenen Lastreflexionskoeffizienten (Γ_L) und dem gemessenen Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S).

2. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1, bei dem der Schritt des Korrigierens des gemessenen Transmissionskoeffizi enten (S₂₁) das Teilen des gemessenen Transmissionsko effizienten durch die gemessene Transmissionserfassung (T) und durch Eins minus das Produkt des gemessenen Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) und des gemessenen Lastreflexionskoeffizienten (Γ_L) umfaßt.

3. Verfahren (100) zum Korrigieren von Fehlern bei einer Transmissionsmessung eines Meßobjekts in einem Vektor netzwerkanalysator mit einem Quellentor (1) und einem Lasttor (2), wobei das Verfahren (100) folgende Schrit te aufweist:
Messen eines Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) basie rend auf zumindest einem Reflexionsstandard, der mit dem Quellentor (1) verbunden ist;
Messen eines Eingangsreflexionskoeffizienten (S₁₁), wenn das Meßobjekt zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist;
Messen eines Transmissionskoeffizienten (S₂₁), wenn das Meßobjekt zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist; und
Korrigieren des gemessenen Transmissionskoeffizienten gemäß dem gemessenen Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) und dem gemessenen Eingangsreflexionskoeffizienten (S₁₁).

4. Verfahren (100) gemäß Anspruch 3, bei dem der Schritt des Korrigierens des gemessenen Transmissionskoeffizi enten (S₂₁) die Schritte des Multiplizierens des gemes senen Transmissionskoeffizienten (S₂₁) mit Eins minus dem Produkt des gemessenen Quellenreflexionskoeffizien ten (Γ_S) und des gemessenen Eingangsreflexionskoeffizi enten (S₁₁) aufweist.

5. Verfahren (100) gemäß Anspruch 4, das ferner den Schritt des Messens der Transmissionserfassung (T) mit einem Durchgangsleitungsstandard, der zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist, auf weist, und wobei der Schritt des Korrigierens des ge messenen Transmissionskoeffizienten (S₂₁) ferner den Schritt des Teilens des gemessenen Transmissionskoeffi zienten (S₂₁) durch die gemessene Transmissionserfas sung (T) aufweist.

6. Verfahren (100) zum Korrigieren von Transmissionsmes sungen eines Meßobjekts in einem Vektornetzwerkanalysa tor mit einem Quellentor (1) und einem Lasttor (2), wo bei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
Messen eines Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) basie rend auf zumindest einem Reflexionsstandard, der mit dem Quellentor (1) verbunden ist;
Messen einer Transmissionserfassung (T), wenn ein Durchgangsleitungsstandard zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist;
Messen eines Lastreflexionskoeffizienten (Γ_L), wenn der Durchgangsleitungsstandard zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist;
Messen eines Eingangsreflexionskoeffizienten (S₁₁), wenn das Meßobjekt zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist;
Messen eines Transmissionskoeffizienten (S₂₁), wenn das Meßobjekt zwischen das Quellentor (1) und das Lasttor (2) geschaltet ist; und
Korrigieren des gemessenen Transmissionskoeffizienten (S₂₁) durch Anlegen eines Korrekturfaktors, der von der Transmissionserfassung (T), dem Reflexionskoeffizienten (Γ_L), dem Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) und dem Eingangsreflexionskoeffizienten (S₁₁) abhängt.

7. Verfahren (100) gemäß Anspruch 6, bei dem der Schritt des Korrigierens des gemessenen Transmissionskoeffizi enten (S₂₁) den Schritt des Teilens des gemessenen Transmissionskoeffizienten (S₂₁) durch die Transmissi onserfassung (T), den Schritt des Teilens des gemesse nen Transmissionskoeffizienten (S₂₁) durch Eins minus das Produkt des Quellenreflexionskoeffizienten (Γ_S) und des Lastreflexionskoeffizienten (Γ_L) und den Schritt des Multiplizierens des gemessenen Transmissionskoeffi zienten (S₂₁) mal Eins minus dem Produkt des Quellenre flexionskoeffizienten (Γ_S) und des Eingangsreflexions koeffizienten (S₁₁) aufweist.