WO2006030547A1

WO2006030547A1 - 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置

Info

Publication number: WO2006030547A1
Application number: PCT/JP2005/002799
Authority: WO
Inventors: Taichi Mori; Gaku Kamitani
Original assignee: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority date: 2004-09-16
Filing date: 2005-02-22
Publication date: 2006-03-23
Also published as: JPWO2006030547A1; TWI296183B; TW200614888A; JP3965701B2

Abstract

　測定器の校正を行うことなく電気特性を測定することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供する。　測定誤差の補正方法は、第１の測定系と第２の測定系において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する第１のステップ（Ｓ１０，Ｓ１４）と、ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する第２のステップ（Ｓ１２，Ｓ１６）と、対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定する第３のステップ（Ｓ１８）と、任意の電子部品を第１の測定系において測定する第４のステップ（Ｓ２０）と、第３のステップで決定した数式を用いて、当該電子部品を第２の測定系において測定したならば得られるであろう電子部品の電気特性の推定値を算出する第５のステップ（Ｓ２２）とを備える。

Description

明細書

測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置

技術分野

[0001] 本発明は、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。

背景技術

[0002] 従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する治具に実装し、治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつき力測定誤差の原因となる。

[0003] 同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケープルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。

[0004] しかし、治具については、電子部品を実装する端子と同軸ケーブルに接続する同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、治具間の特性を一致するように治具を調整することは、極めて困難である。

[0005] そこで、補正データ取得用試料を複数の治具に実装して測定し、治具間における測定値のばらつきから、ある治具 (これを、「基準治具」と言う。）と他の治具 (これを、「試験治具」と言う。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、この数式を用いて、任意の電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出することが提案されている。例えば、基準治具はユーザに対して電気特性を保証するために用レ、、試験治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。具体的には、試験治具誤差を除去する散乱行列と基準治具誤差の散乱行歹 1Jを合成した散乱行列（これを、「相対補正アダプタ」という。）を各ポートごとに導出する。その相対補正アダプタを、試験治具測定値の散乱行列に対し合成することで基準治具測定値を推定する。相対補正アダプタは、各ポートごとに基準治具、試験治具の両方で少なくとも 3つの 1ポート標準試料を測定し、この測定結果から計算できる (例えば、非特許文献 1、 2参照)。

[0006] また、特許文献 1には、基準治具 (ユーザー保証状態等)の測定値を、試験治具（量産工程用等)の測定結果から数学的に推定する方法 (解析式相対補正法)が開示されている。具体的には、基準治具と試験治具において同じ試料を測定していることを利用し、基準治具における測定値と試料真値の関係式、及び試験治具における測定値と試料真値の関係式から試料真値の値を取り除くことにより、基準治具における測定値と試験治具における関係式を導出している。そして、その関係式を使い、試験治具測定値から基準治具測定値を推定する。関係式の未知数は、標準試料を基準治具、及び試験治具において測定した値から導出する。標準試料の数は関係式の未知数の数によって決定される。

[0007] 非特許文献 3には、ネットワークアナライザの試料測定値から、試料真値を導出する方法、すなわちネットワークアナライザの校正方法が開示されている。真値が機械寸法で値付けされた標準器を校正が行われていない測定器で測定をする。そして、その測定値と標準器真値の関係から、測定器の誤差を導出する。その誤差を試料測定値カ取り除く計算を行うことにより試料真値を推定する。

特許文献 1：特開 2003 - 2408727号公報

非特許文献 1 : GAKU KAMITANI (Murata manufacturing Co. , Ltd. ) " A METHOD TO CORRECT DIFFERENCE OF IN—FIXTURE MEA SUREMENTS AMONG FIXTURES ON RF DEVICES" APMC Vol . 2, pl094— 1097, 2003

非特許文献 2 :J. P. DUNSMORE, L. BETTS (Agilent Technologies) " NEW METHODS FOR CORRELATING FIXTURED MEASUREME NTS" APMC Vol. 1， p568— 571 , 2003 非特許文献 3 : Agilent Technologies Application Note 1287—3

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0008] 非特許文献 1 , 2の方法は、例えば図 26の手順で測定誤差の補正を行う。すなわち、基準治具に接続されるネットワークアナライザについて予め校正を行った後（S 1) 、 3種類の 1ポート標準試料を基準治具に実装して測定を行う（S2)。同様に、試験治具に接続されるネットワークアナライザについて予め校正を行った後（S3)、同じ 3種類の 1ポート標準試料を試験治具に実装して測定を行う（S4)。そして、 3種類の 1ポート標準試料について基準治具と試験治具とに実装してそれぞれ測定した測定結果から、試験治具と基準治具の測定値を対応つける相対補正アダプタを導出する（S5 )。相対補正アダプタが決まれば、試験治具に接続するネットワークアナライザについて予め校正を行った後（S6)、試験治具に試料を実装して測定し (S7)、その測定結果と相対補正アダプタとを合成することにより、基準治具にその試料を実装したならば得られるであろう測定値を推定する（S8)。

[0009] この場合、相対補正アダプタは、ネットワークアナライザは正しく校正されてレ、るとの前提で、治具間誤差の差異のみに着目した誤差モデルに基づいて導出されるため、ネットワークアナライザが持つ誤差要因（方向性等）には対応できない。基準治具と試験治具の双方の測定に際して、ネットワークアナライザの校正を必ず行う必要がある。そのため、電子部品の製造工程で用レ、る試験治具は、コネクタとケーブルを取り外して校正を行う作業が必要となる。しかし、この作業は困難であり、手間と時間がかかる。力 0えて、コネクタの付け外しの際にケーブルが断線したり、コネクタや校正用標準器が磨耗したり、コネクタ締め付けのばらつきにより測定誤差が発生したりする。

[0010] 特許文献 1に開示された解析式相対補正法の誤差モデルにぉレ、ては、ネットヮークアナライザが持つ誤差をモデルィ匕しているため、解析式相対補正法を使用する際においてネットワークアナライザの校正を行う必要はない。しかし、特許文献 1に開示されている試験治具測定値から基準治具測定値を求める関係式の導出方法、具体的には標準試料の真値が基準測定時と試験治具測定時で等しいとし、両測定値の標準試料真直と測定値の関係式から標準試料真値を消去し、試験治具測定値と基準治具測定値の関係式を求める方法では、数学的困難さから 2ポートまでしか導出されていない。そのため、 3ポート以上の試料には対応できない。

[0011] 非特許文献 3の方法では、同軸 (導波管)形状の試料に対しては、標準器が精度よく作製されるために試料直前での校正面を作ることができるが、同軸形 (導波管）状ではない試料に対しては標準器が精度よく作製できないために、試料直前で校正面を作ることは不可能である。そのため、測定治具を使用した同軸形 (導波管)状ではない試料測定において、治具先端で校正ができないため測定治具誤差要因の治具間ばらつきによって測定再現性が取れないという問題点がある。

[0012] 本発明は、上記実情に鑑み、測定器の校正を行うことなく電気特性を測定すること力 Sできる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しょうとするものである。

課題を解決するための手段

[0013] 本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。

[0014] 測定誤差の補正方法は、第 1の測定系において電子部品を測定した結果から、当該電子部品を第 2の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。測定誤差の補正方法は、第 1 乃至第 ₅のステップを備える。前記第 1のステップは、前記第 1の測定系と前記第 2の測定系において、対応する少なくとも 2つのポートの少なくとも一方について、少なくとも 3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第 2のステップは、前記第 1の測定系と前記第 2の測定系において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する。前記第 3のステップは、前記第 1のステップ及び前記第 2のステップで得られた測定結果から、前記第 1の測定系と前記第 2 の測定系の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する。前記第 4のステップは、任意の電子部品を前記第 1の測定系において測定する。前記第 5のステップは、前記第 4のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第 3のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記第 2の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する。 [0015] 上記方法は、第 1の測定系で測定した試験状態の測定値を第 2の測定系で測定した基準状態の測定値 (推定値）に補正するための数式を、補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイスの測定値に基づいて決める。測定系は、測定系に含まれる測定器そのものに電子部品を実装して測定しても、測定器に治具を接続し、この治具に電子部品を実装して測定するようにしてもよい。補正データ取得用試料や補正データ取得用スルーデバイスの真値は不明であっても、第 1の測定系と第 2の測定系の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができる。

[0016] 上記方法によれば、第 1の測定系の測定器の誤差特性や第 2の測定系の測定器の誤差特性を含めて、第 1の測定系と第 2の測定系の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができるので、第 1の測定系の測定器の校正や第 2の測定系の測定器の校正を行う必要がない。

[0017] これにより、第 1の測定系と第 2の測定系でそれぞれ別個の治具を用レ、る場合、多大な時間と労力を要する治具間差異の調整が不要となる。また、測定器と治具を含めた測定系全体について補正を行うので、測定器を構成するために治具を着脱することが不要となり、治具の着脱に伴う問題が解消される。すなわち、時間がかかり熟練を要する手作業による治具の着脱作業が不要になり、治具の着脱作業に伴うケープルの断線やコネタク等の着脱部分の摩耗、コネクタ等の締め付け力のばらつきによる測定誤差などが解消される。

[0018] 好ましくは、前記第 2の測定系が測定器を含み、該測定器が単独で校正される。

[0019] 第 1の測定系による測定値は第 2の測定系を基準に補正するので、基準となる第 2 の測定系の測定器は、校正されていることが好ましい。

[0020] 好ましくは、前記第 3のステップで決定する前記数式は、次の数式 1一数式 5を含む

[数 1] 基

へ ¾r

前記数式 1一前記数式 3は、前記第 1の測定系の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」とレ、う。 )の誤差成分を前記第 2の測定系の信号源側の前記ポート (以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第 1の相対補正アダプタである散乱係数（CA , CA , 1, CA )について、前記第 1のステップにおいて 3つの

DF RF SF

前記補正データ取得用試料 (i= l , 2, 3)について前記第 1の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )と、 3つの前記補正データ取得

l lTi

用試料 (i= l， 2, 3)について前記第 2の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )とを用いて表される。前記数式 4及び数式 5は、前記

HDi

第 1の測定系の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記第 2の測定系の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第 2の相対補正アダプタである散乱係数 (CA , X,

LF

CA , X) (Xは任意）について、前記第 2のステップにおいて前記補正データ取得用

TF

スルーデバイスについて測定した測定結果から算出した、前記第 2の測定系の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値 S と前

11TD 記第 2の測定系の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値 S と、前記第 1の相対補正アダプタを前記第 1の測定系における

21TD

前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（s ， s ， s , s )とを用いて表される。

11TI 12TI 21TI 22TI

[0021] この場合、第 1の測定系による測定値と第 2の測定系による測定値とを対応付ける相対補正アダプタを、測定の方向により誤差特性が異なる場合、測定方向ごとに求めること力 Sできる。したがって、測定系が測定方向によって誤差特定が異なる測定器を含んでも、相対補正アダプタを用いて、精度よく誤差を補正することができる。

[0022] 好ましくは、前記第 2のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数カ 10dB以上である。

[0023] ポート間で出力信号は入力信号より 1桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。

[0024] また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。

[0025] 電子部品特性測定装置は、電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。前記電子部品特性測定装置は、前記電子部品を測定する測定手段と、前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも 2つのポートの少なくとも一方について、少なくとも 3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第 1の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第 2の測定値とを格納する、記憶手段と、前記記憶手段に格納された前記第 1の測定値及び前記第 2の測定値から、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する、数式決定手段と、任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式決定手段が決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備る。

[0026] 上記構成にぉレ、て、測定手段で測定した試験状態の測定値を他の測定装置で測定した基準状態の測定値 (推定値）に補正するための数式を、補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイスの測定値に基づレ、て決める。測定手段や他の測定装置は、測定器そのものに電子部品を実装して測定しても、測定器に治具を接続し、この治具に電子部品を実装して測定するようにしてもよい。補正データ取得用試料や補正データ取得用スルーデバイスの真値は不明であっても、対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができる。

[0027] 上記構成によれば、測定手段の誤差特性と、測定手段の順方向と逆方向の特性差とを含めて、測定手段と他の測定装置の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができるので、測定手段の校正を行う必要がない。

[0028] 好ましくは、前記他の測定装置は、校正された測定器を含む。

[0029] すなわち、測定手段により測定された測定値を他の測定装置を基準に補正するので、基準となる他の測定装置の測定器は、校正されていることが好ましい。

[0030] 好ましくは、前記数式決定手段が決定する前記数式は、次の数式 1一数式 5を含む

[数 2] 基

へ ¾r

前記数式 1一前記数式 3は、前記測定手段の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」とレ、う。 )の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第 1の相対補正アダプタである散乱係数（CA , CA , 1 , CA )について、前記第 1の測定値に含まれる、 3つの前

DF RF SF

記補正データ取得用試料 (i= l , 2, 3)について前記測定手段の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )と、前記第 1の測定値に含まれる、 3つ

l lTi

の前記補正データ取得用試料 (i= l , 2， 3)について前記他の測定装置の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )とを用いて表される。前記数

HDi

式 4及び数式 5は、前記測定手段の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」とレ、う。）の誤差成分に変換する第 2の相対補正アダプタである散乱係数 (CA , X, CA , x) (xは任意）について、前記第 2の測定値力も算出した、

LF TF

前記他の測定装置の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値 S と前記他の測定装置の前記信号出力側ポートにおける前記補

11TD

正データ取得用スルーデバイスの測定値 S と、前記第 1の相対補正アダプタを前

21TD

記測定手段における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（s ， s ， s ， s )とを用いて表される。

11TI 12TI 21TI 22TI

[0031] この場合、測定手段による測定値と他の測定装置による測定値とを対応付ける相対補正アダプタを、測定の方向により誤差特性が異なる場合、測定方向ごとに求めることができる。したがって、測定手段や他の測定装置が測定方向によって誤差特定が異なる測定器を含んでいても、相対補正アダプタを用いて、精度よく誤差を補正すること力 sできる。

[0032] 好ましくは、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が _10dB以上である

[0033] ポート間で出力信号は入力信号より 1桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。

[0034] また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。

[0035] 電子部品特性測定装置は、電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。前記電子部品特性測定装置は、前記電子部品を測定する測定手段と、前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも 2つのポートの少なくとも一方について、少なくとも 3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第 1の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第 2の測定値とから決定した、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を格納する、数式格納手段と、任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式格納手段に格納された前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備える。

[0036] 上記構成にぉレ、て、測定手段で測定した試験状態の測定値を他の測定装置で測定した基準状態の測定値 (推定値）に補正するための数式を、補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイスの測定値に基づレ、て決める。測定手段や他の測定装置は、測定器そのものに電子部品を実装して測定しても、測定器に治具を接続し、この治具に電子部品を実装して測定するようにしてもよい。補正データ取得用試料や補正データ取得用スルーデバイスの真値は不明であっても、対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができる。

[0037] 上記構成によれば、測定手段の誤差特性と、測定手段の順方向と逆方向の特性差とを含めて、測定手段と他の測定装置の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができるので、測定手段の校正を行う必要がない。

[0038] 好ましくは、前記他の測定装置は、校正された測定器を含む。

[0039] すなわち、測定手段により測定された測定値を他の測定装置を基準に補正するので、基準となる他の測定装置の測定器は、校正されていることが好ましい。

[0040] 好ましくは、前記数式格納手段に格納される前記数式は、次の数式 1一数式 5を含む。

[数 3] 基

へ ¾r

DF RF SF

l lTi

HDi

LF TF

11TD

21TD

11TI 12TI 21TI 22TI

[0041] この場合、測定手段による測定値と他の測定装置による測定値とを対応付ける相対補正アダプタを、測定の方向により誤差特性が異なる場合、測定方向ごとに求めることができる。したがって、測定手段や他の測定装置が測定方向によって誤差特定が異なる測定器を含んでいても、相対補正アダプタを用いて、精度よく誤差を補正すること力 sできる。

[0042] 好ましくは、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が _10dB以上である。

[0043] ポート間で出力信号は入力信号より 1桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。

発明の効果

[0044] 本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、測定器の校正を行うことなく電気特性を測定することができる。また、 3ポート以上の電子部品にも適用すること力 Sできる。図面の簡単な説明

[図 1]相対アダプタ型補正法のフローチャートである。（実施例）

[図 2]測定系の構成図である。（実施例）

[図 3]誤差補正の基本原理を示す 2端子対回路図である。（実施例）

[図 4]誤差補正の基本原理を示す 2端子対回路図である。（実施例）

[図 5]誤差補正の基本原理を示す 2端子対回路図である。（実施例）

[図 6]相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例)

[図 7]相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例)

[図 8]相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例)

[図 9]相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例)

[図 10]測定装置のブロック図である。（実施例）

[図 11]電子部品の特性図である。（実施例）

[図 12]電子部品の特性図である。（実施例）

[図 13]電子部品の特性図である。（実施例）

[図 14]電子部品の特性図である。（比較例 1 )

[図 15]電子部品の特性図である。（比較例 1)

[図 16]電子部品の特性図である。（比較例 1)

[図 17]電子部品の特性図である。（実施例）

[図 18]電子部品の特性図である。（実施例）

[図 19]電子部品の特性図である。（比較例 1)

[図 20]電子部品の特性図である。（比較例 1)

[図 21]電子部品の特性図である。（比較例 2)

[図 22]電子部品の特性図である。（比較例 2)

[図 23]電子部品の特性図である。（比較例 2)

[図 24]電子部品の特性図である。（比較例 2)

[図 25]電子部品の特性図である。（比較例 2)

[図 26]相対アダプタ型補正法のフローチャートである。（従来例）

符号の説明 10 測定系（第 2の測定系）

12 測定装置

16 基準治具

20 測定系（第 1の測定系）

22 測定装置

26 基準治具

52 表示部

54 操作部

56 測定部 (測定手段）

58 制御部

60 記憶部 (記憶手段、数式記憶手段）

62 演算部 (数式決定手段、電気特性推定手段)

64 インターフェース咅

発明を実施するための最良の形態

[0047] 以下、本発明の実施の形態について、図 1一図 26を参照しながら説明する。

[0048] まず、本発明の相対補正法による測定誤差の補正方法の手順の概要について説明する。

[0049] 図 1に示すように、 3種類の 1ポート標準試料とスルー標準試料を基準治具に実装してそれぞれ測定を行う（S10， S12) ₀同じ 3種類の 1ポート標準試料とスルー標準試料を試験治具に実装してそれぞれ測定を行う（S14， S16)。そして、 3種類の 1ポート標準試料とスルー標準試料について、基準治具と試験治具とに実装して測定した測定結果から、試験治具での測定値と基準治具での測定値を対応つける相対補正アダプタを導出する（S 18)。次に、試験治具に試料を実装して測定し（S20)、その測定結果と相対補正アダプタとを合成することにより、基準治具にその試料を実装したならば得られるであろう測定値を推定する（S22)。本発明の相対補正法による測定誤差の補正方法では、従来例では必須であったネットワークアナライザの校正（図 26における S1 , S3, S6)力壬意となる。

[0050] 図 2 (a)及び (b)に示すように、電子部品は、異なる測定系 10, 20で測定する。レ、ずれの測定系 10, 20においても、治具 16, 26の実装部 18, 28に電子部品を実装した状態で、測定装置 12， 22を用いて電気特性の測定を行う。測定時には、治具 1 6, 26に設けられた同軸コネクタ 17a, 17b, 17c ; 27a, 27b, 27cに、測定装置 12, 22に接続された同軸ケープノレ 13a， 13b, 13c ; 23a, 23b, 23cの先端に設けられた同軸コネクタ 14a, 14b, 14c ; 24a, 24b, 24cを接続する。

[0051] 図示していないが、治具 16, 18の実装部 18, 28には、電子部品の各端子にそれぞれ圧接する接続端子が設けられ、その接続端子が同軸コネクタ 17a, 17b, 17c ; 2 7a, 27b, 27cにそれぞれ電気的に接続されている。

[0052] 測定装置 12, 22には、例えばネットワークアナライザを用いる。ネットワークアナライザは、複数のポートを有し高周波で用いられる電子部品の電気特性を単に測定するだけでなぐ任意に設定したプログラムにより測定した生データを演算して出力する機能も備えている。

[0053] 一方の測定系 10の治具 16 (以下、「基準治具 16」と言う。）は、例えばユーザに対して電気特性を保証するために用いる。他方の測定系 20の治具 26 (以下、「試験治具 26」と言う。）は、例えば電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。

[0054] 基準治具 16に実装して測定系 10で測定したとき（以下、「基準状態」ともいう。）の電子部品の電気的特性の測定結果と、試験治具 26に実装して測定系 20で測定したとき（以下、「試験状態」ともいう。）の電子部品の電気的特性の測定結果とは、それぞれ測定誤差を含む。この測定誤差は、相対補正法によって補正する。すなわち、予め、測定系 10, 20間の相対的な測定誤差を補正する数式を導出しておく。そして、任意の電子部品について、試験治具 26に実装して測定した結果から、導出した数式を用いて、その電子部品を基準治具 16に実装して測定したならば得られるであろう電気特性を推定する。

[0055] 次に、電子部品を試験治具 26に実装した試験状態の測定結果から、基準治具 16 に実装した基準状態の電気特性を推定する方法の基本原理について、説明する。

[0056] 以下では、簡単のため、 2ポート間の電気特性について 2端子対回路を例に説明する力 n端子対回路 (nは、 1、又は 3以上の整数）に対しても拡張することができる。 [0057] 図 3 (a)は、基準治具 16に、 2ポートの電子部品（以下、「試料 DUT」と言う。）を実装した基準状態の測定系 10の 2端子対回路を示す。試料 DUTの特性を散乱行列（ S )で表している。基準治具 16における同軸コネクタと試料 DUTのポートとの間の

DUT

誤差特性を散乱行列 (F ) , (F )で表している。基準治具 16に接続される測定装

Dl D2

置 12の誤差特性を散乱行歹 IKM ) , (M )で表している。

Dl D2

[0058] 図 4 (a)は、試験治具 26に試料 DUTを実装した試験状態の測定系 20の 2端子対回路を示す。試料 DUTの特性を散乱行列（S )で表している。試験治具 26におけ

DUT

る同軸コネクタと試料 DUTのポートとの間の誤差特性を散乱行列 (F ) , (F )で表

Tl T2 している。基準治具 26に接続された測定装置 22の誤差特性を散乱行歹 IKM ) , (M

T1

)で表している。

T2

[0059] 図 4 (a)におレ、て散乱行列（S )の左右の散乱行列をそれぞれ合成し、図 4 (b)の

DUT

ように散乱行列 (E )，（E )で表す。散乱行列 (E )，（E )は、試験治具 26と測定

Tl T2 Tl T2

装置 22の誤差特性を合成したものである。

[0060] 図 3 (b)は、図 4 (b)の回路の両側に、誤差特性 (E )，（E )を中和するアダプタ（

Tl T2

E (E ) ^_1を接続した状態を示す。このアダプタ (E (E Γ¹は、理論上は

Tl T2 Tl T2

、誤差特性の散乱行列 (E )，（E )を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性 (E )，（E )とアダプタ (E

Tl T2 T1

(E Γ¹との間の境界部分において、試験治具 26に試料 DUTを実装した試験状態

T2

の測定値 S , S が得られる。図 3 (b)の回路は、試験状態の測定系 20の誤差が

11T 21T

除去され、回路の両側の端子において、試料 DUTそのものの測定値 S , S

11DUT 21DUT が得られる。

[0061] 図 3 (b)の回路は試料 DUTのみと等価であるので、図 3 (a)と同様に、両側に、基準治具 16の誤差特性の散乱行列 (F ) , (F )と、基準治具 16に接続された測定

Dl D2

装置 12の誤差特性の散乱行歹 IKM )，（M )を接続すると、図 5 (a)のようになる。

Dl D2

[0062] 図 5 (a)において符号 30で示した (M ) , (E ) , (E

Dl Dl T1 Γ¹を合成した散乱行列を（

CA1)、符号 32で示した (E V¹, (E ) , (M )を合成した散乱行列を (CA2)とす

T2 D2 D2

ると、図 5 (b)のようになる。 (CA1) , (CA2)は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、試験状態の測定値 S , S と基準状態の測定値 S ， S とを関係付ける。した

11T 21T 11D 21D がって、相対補正アダプタ（CA1) , (CA2)が決まれば、試験状態の測定値 S , S

11T 2 から基準状態の測定値 S , S を推定することができる。

IT 11D 21D

[0063] この相対補正アダプタ（CA1) , (CA2)は、測定系 10, 20の測定装置 12, 22の誤差特性を含む。測定装置 12, 22は、方向性結合器等により誤差特性に方向性がある。そのため、図 6に示すように、順方向測定時と逆方向測定時で独立した相対補正アダプタを求める。このように順方向 ·逆方向 2つの独立した相対補正アダプタを仮定することにより、従来の補正アダプタ型相対補正法では対応不可能であった誤差方向性などネットワークアナライザに含まれる複雑な誤差にも対応可能となっている。そのため、ネットワークアナライザの校正を行わずして、相対補正法が適用可能となつている。

[0064] 図 6中の符号の意味は次の通りである。

Src：測定系に与えられる刺激（Stimulus)であり、具体的には信号源出力を示す。散乱係数測定は比測定であるので、これを基準 (つまり、 1)とする。

S ， S , S , S ：試験状態における測定値の散乱係数。

11T 21T 12T 22T

S , S ， S , S ：基準状態における測定値の散舌し係数。

11D 21D 12D 22D

CA , CA ：順方向'逆方向の方向性

DF DR

CA , CA ：順方向 ·逆方向の反射トラッキング

RF RR

CA , CA ：順方向'逆方向のソース整合

SF SR

CA , CA ：順方向'逆方向の負荷整合

LF LR

CA , CA ：順方向 '逆方向の伝送トラッキング

TF TR

[0065] なお、このモデルにおいて、従来の補正アダプタ型相対補正法のモデルと同様に

、基準状態及び試験状態における漏洩は考えない。

[0066] 図 6に示された相対補正アダプタの未知数は、順方向'逆方向含め 12個ある。この未知数は、任意に値付けされた標準試料を基準状態、試験状態にて測定することにより、導出する。相対補正アダプタの未知数の導出方法は順方向 ·逆方向とも同じであるので、ここでは、順方向を例に導出手順を示す。

[0067] まず、ポート 1側の相対補正アダプタの未知数 CA , CA , CA を導出する。こ

DF RF SF

れは、図 7に示すように、任意の異なった値を持つ 1ポート標準試料を 3つ用意し、基準状態及び試験状態にて S , S (i=l, 2， 3)を測定することによって、次のよう

HDi llTi

に導出される。

[数 4]

S _Tl *S_lir3 *5_11D3 - S_{1 lTl} * S] _iT2 * Sj _W2 * 5_11D3 -5_LIR2*5_N J_1IP3 +S_lin " _R2 ^JIIDI *^IIP ⁺^IIT *^n/>i IDI S_u,

S_UT3*S_UD2 ^r S_um " _UR2 ^rS _D2*S_u ~ _nn*S u_im * _11D1 Ji_1D3 S"DI *«S_{I 2} -<S_NN »S_|1D1 *5_LJ£>2 (数式 1)

〔数式 2)

(数式 3)

[0068] 次に、ポート 2側の相対補正アダプタの未知数を導出する。この場合、図 8に示すように、任意の値を持つスルーデバイス標準試料を 1つ用意し、試験状態における測定値散乱係数 S ， S , S ， S 、及び基準状態におけるポート 1に信号入

11TT 21TT 12TT 22TT

力した場合の測定値 S ， S を測定する。

11TD 21TD

[0069] ここで、すでに (数式 1)一（数式 3)により導出されたポート 1側の相対補正アダプタ CA , CA ， CA と、スルーデバイス標準試料の試験治具測定値散舌し係数 S

DF SF RF 11TT

, S , S , S を合成することにより、図 9 (a)から図 9 (b)のモデルに置きかえ

21TT 12TT 22TT

られる。

[0070] このとき、ポート 1側の相対補正アダプタ CA ， CA , CA と、スルーデバイス標

DF SF RF

準試料の試験治具測定値散乱係数 S , S ， S , S を合成した散乱係数

11TT 21TT 12TT 22TT

を S ， S ， S ， S と置いている。

11TI 21TI 12TI 22TI

[0071] 図 9 (b)のモデルから、以下に示すポート 2側の相対補正アダプタ導出式が導かれる。

[数 5]

[数 6] c = * (ト c ) (数式 ₅₎

2_lJ7

[0072] 以上により、順方向の相対補正アダプタが導出される。逆方向についても同様の手順により導出される。

[0073] 次に、測定装置 12, 22の構成について、図 10のブロック図を参照しながら説明する。

[0074] 測定装置 12, 22は、表示部 52と、操作部 54と、測定部 56と、制御部 58と、記憶部 60と、演算部 62と、インターフェース部 64とを備える。 [0075] 表示部 52は、表示パネル等を含み、測定装置 12， 22の動作状況や操作指示などを表示する。操作部 54は、ボタンやスィッチなどを含み、オペレータからの電子部品測定装置 12, 22に対する操作を受け付ける。測定部 56は、同軸ケーブル 13a— 13 c ; 23a— 23c及び治具 16, 26を介して電子部品の端子に接続され、電子部品の端子を適宜に選択して信号を入力し出力信号を測定する。制御部 58は、測定装置 12 , 22全体の制御を統括する。記憶部 60には、制御部 58や演算部 62を動作させるためのプログラム、測定部 56からの測定データ、演算部 62の演算結果データなどが格納される。演算部 62は、測定部 56からのデータや記憶部 60に格納されたデータを用レ、、所定のプログラムに従って演算を行う。インターフェース部 64は、外部機器とデータを送受信するためのインターフェースであり、記憶部 60に格納するためのデータゃプログラムや、演算部 62からの演算結果データなどを受け付け、入出力を行う

[0076] 測定装置 12, 22は、記憶部 60に格納されたプログラムに従って動作する。電子部品測定装置 12, 22は、校正モードと測定モードを含む複数の動作モードで動作させること力 Sできる。

[0077] 校正モードでは、基準治具 16を含む測定系 10と試験治具 26を含む測定系 20との間の相対的な測定誤差を補正するためのデータを取得し、電気特性を推定するための数式を決定する。すなわち、測定部 56は、基準治具 16や試験治具 26に 1ポート標準試料やスルー標準試料が実装された状態で、順次、電気特性の測定を行う。このとき、例えば表示部 52に測定対象が表示される。オペレータは、表示された測定対象の準備が完了すると、操作部 54を操作する。この操作を操作部 54が受け付けると、測定部 56は測定を開始し、測定データは記憶部 60に格納される。演算部 62 は、記憶部 60に格納された測定データを、適宜なタイミングで読み出して、補正ァダプタ（CA1)，（CA2)の値 CA ， CA , CA ， CA , CA などを演算し、電気特

DF RF SF LF TF

性を推定するための数式を決定する。このようにして決定されて数式は、記憶部 60に格納される。

[0078] 測定モードでは、試験治具 26を用いた試験状態の測定データから、基準治具 16 を用いた基準状態での電気特性を推定する。すなわち、測定部 56は、試験治具 26 に任意の電子部品が実装された状態で測定を行う。演算部 62は、測定部 56からの測定データを用いて、その電子部品の電気特性の推定値を算出する。このとき、演算部 62は、校正モードで決定された数式を記憶部 60から読み出し、その数式を用いて、電子部品の電気特性の推定値を算出する。算出された推定値は、表示部 52 に表示されたり、インターフェース部 64から外部機器に出力されたりする。

[0079] 試験治具 26を含む測定系 20の測定装置 22の記憶部 60には、基準治具 16を含む測定系 10で 1ポート標準試料やスルー標準試料を測定したデータを記憶しておく。校正モードにおいて、試験治具 26を含む測定系 20の測定装置 22を用いて 1ポート標準試料やスルー標準試料を測定し、基準治具 16を含む測定系 10については記憶部 60に記憶されたデータを用いる。これにより、基準治具 16を含む測定系 10を用レ、て 1ポート標準試料やスルー標準試料の測定を一度行うだけで、試験装置 22や試験治具 26を含む測定系 20を増やすことができる。

[0080] なお、上述した相対補正法によれば、測定装置 12， 22の測定誤差を含めて補正することができるので、測定装置 12, 22のキャリブレーションを行う必要はないが、基準治具 16を含む測定系 10で用いる測定装置 12については、電子部品の特性評価の基準として用いるので、同軸コネクタ 14a, 14b, 14cに既知の電気特性を有する標準器 (例えば、同軸形状の電子部品）を接続してキャリブレーションするなどして、誤差ができるだけ小さくなるようにすることが好ましい。

[0081] 次に、本発明の実施例について説明する。

[0082] 本発明によって、ネットワークアナライザの校正を行っていない試験状態から、ネットワークアナライザの校正を行っている基準状態を推定できるかどうか実験した。

[0083] 実験条件は、以下の通りである。

(試料） SAWフイノレタ（SAFC897. 5ML1C4T)

(測定装置） 8720ES (Agilent Technologies 20GHz ベクトルネットワークァナライザ）

(周波数範囲） 700MHz 1. 1GHz

(データ点数） 401点

(IF帯域幅） 100Hz (基準状態）ケーブル先端で校正を行い、治具にて測定する。

(試験状態）校正を行わず、基準治具状態からポート 2側のケーブルを交換し、さらに治具のポート 1側に 3dBのアツテネータを付け測定する。

(標準試料） SHORT (ポート 1 , 2)、 OPEN (ポート 1 , 2)、 LOAD (ポート 1 , 2)、 THRU (ポート 1， 2間）のような特性を持つ 4つの標準試料。

[0084] 本発明による相対補正結果を、 S については図 11一図 13に、 S については図 1

21 11

7、図 18に示す。また、比較例として、従来の治具の誤差のみを前提とする補正ァダプタ型相対補正法の場合の相対補正結果を、 S については図 14

21 一図 16に、 S に

11 ついては図 19、図 20に示す。逆方向（S , S )の測定についてはまったく同じ結果

12 22

が得られてレ、るため割愛する。

[0085] S の結果である図 11一図 16から明らかなように、誤差の方向性や信号源、負荷

21

整合のスィッチ切り替えによる順逆方向の差を考慮していない従来の補正アダプタ型相対補正法では、誤差モデルが不完全なため、基準状態を正確に推定できていない。しかし、上記誤差にも対応する本発明では、基準状態を正確に推定できている。この結果から、本発明の効果が実験確認できたといえる。

[0086] また、実際の運用状態における従来の補正アダプタ型相対補正法は、試験状態においてネットワークアナライザの校正を行ってから使用されているので、図 14一 16、図 19、図 20に対応する、試験状態においてもネットワークアナライザの校正を行った場合において従来の補正デダプタ型相対補正法を適用した結果を図 20—図 25に示す。図 11一 13、図 17、図 18に示した本発明は、図 20—図 25に示した現在使用されているように試験状態で校正を行った従来の補正アダプタ型相対補正法の結果と同等以上の補正結果を示している。このように補正精度が改善しているのは、本発明は試験状態で校正を行わないために、基準状態と試験状態の校正誤差がないためであると考えられる。この結果より、本発明は補正精度において従来の補正ァダプタ型相対補正法から置きかえても問題なレ、ものと言える。

[0087] なお、本発明は、上記実施形態や実施例に限定されるものではなぐ種々の変形をカロえて実施することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 第 1の測定系において電子部品を測定した結果から、当該電子部品を第 2の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、

前記第 1の測定系と前記第 2の測定系において、対応する少なくとも 2つのポートの少なくとも一方について、少なくとも 3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する第 1のステップと、

前記第 1の測定系と前記第 2の測定系において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する第 2のステップと、

前記第 1のステップ及び前記第 2のステップで得られた測定結果から、前記第 1の測定系と前記第 2の測定系の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する第 3のステップと、

任意の電子部品を前記第 1の測定系において測定する第 4のステップと、前記第 4のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第 3のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記第 2の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する第 5のステップとを備えたことを特徴とする、測定誤差の補正方法。

[2] 前記第 2の測定系が測定器を含み、該測定器が単独で校正されたことを特徴とする、請求項 1に記載の測定誤差の補正方法。

[3] 前記第 3のステップで決定する前記数式は、

前記第 1の測定系の信号源側の前記ポート (以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記第 2の測定系の信号源側の前記ポート (以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第 1の相対補正アダプタである散舌し係数（CA , CA , 1

DF RF

, CA )について、前記第 1のステップにおいて 3つの前記補正データ取得用試料 (i

SF

= 1 , 2, 3)について前記第 1の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )と、 3つの前記補正データ取得用試料 (i= l

l lTi ， 2, 3)について前記第 2の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )とを用いて表される次の数式 1一数式 3、及び前記第 1の測定系の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。 ) の誤差成分を前記第 2の測定系の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第 2の相対補正アダプタである散舌し係数 (CA

LF

, X, CA , X) (Xは任意）について、前記第 2のステップにおいて前記補正データ取

TF

得用スルーデバイスについて測定した測定結果から算出した、前記第 2の測定系の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値 S

11TD と前記第 2の測定系の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スル一デバイスの測定値 S と、前記第 1の相対補正アダプタを前記第 1の測定系にお

21TD

ける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（S , S , S , S )とを用いて表される、次の数式 4、数式 5

11TI 12TI 21TI 22TI

[数 1]

基

へ ¾r

を含むことを特徴とする、請求項 1又は 2に記載の測定誤差の補正方法。

前記第 2のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数力 S-10dB以上であることを特徴とする、請求項 1、 2又は 3 に記載の測定誤差の補正方法。

電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、

前記電子部品を測定する測定手段と、

前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも 2つのポートの少なくとも一方について、少なくとも 3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第 1 の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第 2の測定値とを格納する、記憶手段と、

前記記憶手段に格納された前記第 1の測定値及び前記第 2の測定値から、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する、数式決定手段と、

任意の前記電子部品につレ、て、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式決定手段が決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。前記他の測定装置は、校正された測定器を含むことを特徴とする、請求項 5に記載の電子部品特性測定装置。

前記数式決定手段が決定する前記数式は、

前記測定手段の信号源側の前記ポート (以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート (以下、「信号源側ポート」という。 )の誤差成分に変換する第 1の相対補正アダプタである散乱係数 (CA , CA ， 1 ,

DF RF

CA )について、前記第 1の測定値に含まれる、 3つの前記補正データ取得用試料

SF

(i= l， 2, 3)について前記測定手段の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )と、前記第 1の測定値に含まれる、 3つの前記補正データ取得

l lTi

用試料 (i= l， 2, 3)について前記他の測定装置の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果 (S )とを用いて表される次の数式 1一数式 3、及び

HDi

前記測定手段の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」とレ、う。）の誤差成分に変換する第 2の相対補正アダプタである散舌し係数（CA

LF，

X, CA , X) (Xは任意）について、前記第 2の測定値から算出した、前記他の測定装

TF

置の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値 S と前記他の測定装置の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用

11TD

スルーデバイスの測定値 S と、前記第 1の相対補正アダプタを前記測定手段にお

21TD

11TI 12TI 21TI 22TI

[数 2]

基

へ ¾r

を含むことを特徴とする、請求項 5又は 6に記載の電子部品特性測定装置。

前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数カ 10dB以上であることを特徴とする、請求項 5、 6又は 7に記載の電子部品特性測定装置。

[9] 電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、

前記電子部品を測定する測定手段と、

前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも 2つのポートの少なくとも一方について、少なくとも 3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第 1 の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第 2の測定値とから決定した、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を格納する、数式格納手段と、

任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式格納手段に格納された前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。

[10] 前記他の測定装置は、校正された測定器を含むことを特徴とする、請求項 9に記載の電子部品特性測定装置。

[11] 前記数式格納手段に格納される前記数式は、

前記測定手段の信号源側の前記ポート (以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。 )の誤差成分に変換する第 1の相対補正アダプタである散乱係数 (CA , CA

DF RF， 1 ,

SF

l lTi

HDi

前記測定手段の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート (以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第 2の相対補正アダプタである散舌し係数 (CA ，

LF

TF

11TD

21TD

11TI 12TI 21TI 22TI

[数 3]

基

へ ¾r

を含むことを特徴とする、請求項 9又は 10に記載の電子部品特性測定装置。前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数カ 10dB以上であることを特徴とする、請求項 9、 10又は 11に記載の電子部品特性測定装置。